KR20180133035A - 화학기상증착공정 중 단결정웨이퍼와 다결정웨이퍼 혼합형 상부 카본트레이의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 화학기상증착공정 중 단결정 및 다결정 웨이퍼용 혼합형 Moving Tray의 상부 카본트레이의 제조방법에 관한 것이다.
Description
본 발명은 화학기상증착공정 중 단결정 및 다결정 웨이퍼용 혼합형 Moving Tray의 상부 카본트레이의 제조방법에 관한 것이다.
화학기상증착공정 중 사용되는 웨이퍼의 Moving Tray는 단결정용과 다결정용 두 가지 형태가 있으며 이는 상호 호환이 되지 않아 두 가지 형태의 Moving Tray를 모두 갖추고 있어야 하므로 구매비용과 유지비용이 두 배로 들어가는 문제점이 있다.
또한, Tray의 두께가 1.2mm로 매우 얇아 사용 중 형태의 변형과 세정 후 웨이퍼 안착부위의 파손으로 웨이퍼가 정위치에 안착 되지 않은 문제와 파손 부위의 돌출된 부위와 웨이퍼 접촉면이 Chipping을 유발하는 문제점이 있다.
상기의 문제점을 해결하고자 고안된 것으로 단결정 및 다결정 웨이퍼의 화학기상증착을 목적으로 별도로 구매하여 운영하지 않아 초기 구매비용 및 유지비용을 줄일 수 있도록 단결정 및 다결정 웨이퍼를 혼용하여 사용할 수 있는데 그 목적이 있다. 또한, Tray의 두께를 기존의 1.2mm에서 2.0mm로 더 두껍게 제작하여 웨이퍼 Chipping을 예방하고 Tray의 형태 변형 및 세정 후의 파손을 예방하여 해당 부품의 수명을 늘리는 효과가 있다.
새롭게 고안된 Tray는 웨이퍼 안착부위의 Edge 부분에 있어서 외각은 다결정웨이퍼 안착을 위하여 사용하고 안쪽부위는 단결정웨이퍼 안착을 위하여 사용하여 단결정 및 다결정 웨이퍼를 혼용으로 사용할 수 있으며, Tray의 두께를 1.2mm에서 2.0mm로 두껍게 제작하여 세정 중 Tray의 형태가 쉽게 변형되지 않으며 웨이퍼가 놓여지는 부위의 두께가 0.5mm에서 1.3mm로 기존의 두께보다 0.8mm가 두꺼워져 해당부위의 파손현상이 줄어든다.
종래의 화학기상증착공정에 사용되는 Tray는 단결정 또는 다결정 특정 웨이퍼만 사용해야 했지만 새롭게 고안된 Tray는 단결정 및 다결정 웨이퍼를 혼용으로 사용할 수 있어 구매비용 및 세척 등의 관리비용을 크게 줄일 수 있다.
또한, Tray의 두께를 종래의 1.2mm에서 2.0mm로 두껍게 제작하여 세정 중 발생할 수 있는 Tray의 변형을 막을 수 있고 웨이퍼가 안착 되는 부위의 두께가 종래의 0.5mm에서 1.3mm로 기존 두께보다 0.8mm 두껍게 제작하여 세정 후 웨이퍼가 놓여지는 부위의 파손현상이 기존의 Tray에 비해 현저히 줄어들며 부품의 수명이 늘어난다.
도 1은 화학기상증착공정 시 사용되는 단/다결정용 웨이퍼 Moving Tray의 완성도이다.
도 2는 화학기상증착공정 시 사용되는 단/다결정용 웨이퍼 Moving Tray의 웨이퍼 안착부위의 형태와 규격을 설명하는 것이다.
도 3은 화학기상증착공정 시 사용되는 단/다결정용 웨이퍼 Moving Tray의 웨이퍼 안착부위의 상세한 규격을 설명하는 것이다.
도 4는 화학기상증착공정 시 사용되는 단/다결정용 웨이퍼 Moving Tray의 전체형태와 규격을 설명하는 것이다.
도 2는 화학기상증착공정 시 사용되는 단/다결정용 웨이퍼 Moving Tray의 웨이퍼 안착부위의 형태와 규격을 설명하는 것이다.
도 3은 화학기상증착공정 시 사용되는 단/다결정용 웨이퍼 Moving Tray의 웨이퍼 안착부위의 상세한 규격을 설명하는 것이다.
도 4는 화학기상증착공정 시 사용되는 단/다결정용 웨이퍼 Moving Tray의 전체형태와 규격을 설명하는 것이다.
화학기상증착공정에 사용되는 Moving Tray의 웨이퍼 안착부위의 규격은 동일하게 외측 가로 x 세로 각각 158mm x 158mm이며 내측 가로 x 세로 각각 148mm x 148mm이나 안착부위의 모서리부위는 단결정의 경우 4개의 모서리 부위가 내외측 동일하게 R3값을 유지하면서 중심으로부터 내측은 R96 외측은 중심으로부터 R101이다. 그러나 다결정의 경우 4개의 모서리 부위가 내측 R3 그리고 외측 R1값으로 중심으로부터 내측의 경우 R101이다. 이러한 단결정웨이퍼와 다결정웨이퍼의 안착부위의 형태의 차이로 동시에 사용이 불가능하므로 이를 혼용으로 사용할 수 있도록 안착부위의 규격은 동일하게 외측 가로 x 세로 각각 158mm x 158mm, 내측 가로 x 세로 각각 148mm x 148mm로 유지하고 4개의 모서리 부위에 있어서 내측은 R3로 외측은 R1으로 하며 중심으로부터 내측은 R96으로 중심으로부터 외측은 R101로 제작한다. 이로써 단결정웨이퍼와 다결정웨이퍼가 안착될 수 있는 두 가지 구조를 혼합하여 새롭게 고안된 Tray는 웨이퍼 안착부위의 Edge 부분에 있어서 외각은 다결정웨이퍼 안착을 위하여 사용하고 안쪽부위는 단결정웨이퍼 안착을 위하여 사용하여 단결정 및 다결정 웨이퍼를 혼용으로 사용할 수 있으며, Tray의 두께를 1.2mm에서 2.0mm로 두껍게 제작하여 세정 중 Tray의 형태가 쉽게 변형되지 않으며 웨이퍼가 놓여지는 부위의 두께가 0.5mm에서 1.3mm로 기존의 두께보다 0.8mm가 두꺼워져 해당부위의 파손현상을 줄일 수 있다.
Claims (5)
- 화학기상증착공정에 사용되는 Moving Tray의 두께와 웨이퍼 안착부위의 형태를 변형시킴으로써 단결정웨이퍼와 다결정웨이퍼를 혼용으로 사용할 수 있는 Tary의 제작.
- 제1청구항에 있어서, 두께를 종래의 1.2mm에서 2.0mm으로 0.8mm 두껍게 제작하는 방법.
- 제1청구항에 있어서, 웨이퍼 안착부위의 규격을 단결정웨이퍼와 다결정웨이퍼를 혼용하여 사용할 수 있도록 안착부위의 규격은 동일하게 외측 가로 x 세로 각각 158mm x 158mm, 내측 가로 x 세로 각각 148mm x 148mm로 유지하고 4개의 모서리 부위에 있어서 내측은 R3로 외측은 R1으로 하며 중심으로부터 내측은 R96으로 중심으로부터 외측은 R101로 제작하는 방법.
- 제1청구항에 있어서, 웨이퍼 안착부위의 Edge부분에 있어서 외각은 다결정웨이퍼 안착을 위하여 사용하고 안쪽부위는 단결정웨이퍼 안착을 위하여 사용하여 단결정 및 다결정 웨이퍼를 혼용으로 사용할 수 있도록 제작하는 방법.
- 제1청구항에 있어서, 웨이퍼가 놓여지는 부위의 두께가 0.5mm에서 1.3mm로 기존의 두께보다 0.8mm가 두꺼워져 해당부위의 파손현상을 줄일 수 있는 방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020170069447A KR20180133035A (ko) | 2017-06-05 | 2017-06-05 | 화학기상증착공정 중 단결정웨이퍼와 다결정웨이퍼 혼합형 상부 카본트레이의 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1020170069447A KR20180133035A (ko) | 2017-06-05 | 2017-06-05 | 화학기상증착공정 중 단결정웨이퍼와 다결정웨이퍼 혼합형 상부 카본트레이의 제조 방법 |
Publications (1)
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| KR20180133035A true KR20180133035A (ko) | 2018-12-13 |
Family
ID=64671213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020170069447A KR20180133035A (ko) | 2017-06-05 | 2017-06-05 | 화학기상증착공정 중 단결정웨이퍼와 다결정웨이퍼 혼합형 상부 카본트레이의 제조 방법 |
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2017
- 2017-06-05 KR KR1020170069447A patent/KR20180133035A/ko unknown
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