KR20180129600A

KR20180129600A - 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법, 및, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템

Info

Publication number: KR20180129600A
Application number: KR1020170161414A
Authority: KR
Inventors: 도시모토 나카가와
Original assignee: 가부시키가이샤 히라마리카겐큐죠
Priority date: 2017-05-26
Filing date: 2017-11-29
Publication date: 2018-12-05
Also published as: TW201901501A; CN108957968A; CN207516724U; JP2018200942A; TWM560049U

Abstract

본 발명은 기판의 제조에 사용되는 약액을 최적의 상태로 관리하는 역무에 최적한 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법, 및, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.
이러한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템은 기판 처리 장치와, 약액의 신액을 조제하는 약액 조제 장치, 사용후의 약액을 재생하는 약액 재생 장치 등이, 적산 유량계를 구비하는 배관에 의해 접속되어 있다. 농도 관리 장치는 기판 처리 장치의 약액의 농도를 측정하고, 약액의 원액이나 신액, 재생액을 보충하여, 약액을 항상 최적의 농도로 관리한다. 공급된 보충액의 적산 유량은 적산 유량계에 의해 계측된다. 적산 유량계가 네트워크에 직접 접속된다.

Description

기판 처리 장치의 약액 관리 시스템, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법, 및, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템{CHEMICAL SOLUTION MANAGEMENT SYSTEM FOR SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, CALCULATION METHOD OF CHEMICAL SOLUTION MANAGEMENT CHARGE FOR SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND CHEMICAL SOLUTION MANAGEMENT CHARGE CALCULATION SYSTEM FOR SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}

본 발명은, 반도체 또는 액정 디스플레이 기판의 제조 프로세스에서 반복 사용할 수 있는 각종의 약액을 이용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법, 및, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템에 관한 것이다.

반도체 또는 액정 디스플레이 기판의 제조 프로세스에서는, 예를 들면 현상액, 에칭액, 박리액, 대전방지제, 세정액 등, 각종의 약액이 사용되고 있다. 이들 약액(이하, 이들 약액의 구체적인 구별을 필요로 하지 않을 경우에는 이들을 통합해서「약액」이라고 함)은, 그 성능이 최대한으로 발휘되도록, 필요에 따른 소정의 농도로 유지관리되어서 사용된다. 약액의 농도 관리는, 약액의 농도의 감시와 측정된 농도에 근거하는 보충액의 보급에 의해 이루어진다. 보급되는 보충액으로서는, 약액의 원액이나 순수 외에도, 새롭게 조제된 약액(이하「신액」이라고도 함)이나 재이용 가능하게 재생 처리된 약액(이하「재생액」이라고도 함) 등을 이용할 수 있다.

종래에는, 약액을 사용해서 기판을 처리하는 사람(이하「기판 제조자」라고 하는 경우가 있음)은, 약액의 농도를 유지관리하기 위해서, 약액의 농도 관리 장치를 구입해서 사용하고 있었다. 기판 제조자는, 약액의 농도를 관리하기 위해 보급되는 보충액으로서, 약액의 원액이나 신액 등을 조달하지 않으면 안되었다. 기판 제조자는, 기판 제조자 자신에 의해서 약액의 신액을 조제할 때에는, 약액을 그 원료로부터 자동으로 조제하는 약액 조제 장치를 구입하여, 이것을 운용하지 않으면 안되었다. 또한, 기판 제조자는, 재생액을 기판 제조자 자신에 의해서 준비하기 위해서는, 사용된 약액을 재이용 가능하게 재생 처리하는 약액 재생 처리 장치를 구입하지 않으면 안되었다.

약액의 농도 관리 장치로서, 예를 들면 다음의 특허문헌이 개시되어 있다. 특허문헌 1에서는, 현상액의 알칼리 농도와 용해 수지 농도를 관리하는 현상액 농도 관리 장치가 개시되어 있다. 또한 특허문헌 2에서는, 산농도와 용해 인듐 농도를 관리하는 에칭액 관리 장치가 개시되어 있다. 약액 재생 처리 장치로서는, 예를 들면 특허문헌 3에, 현상 폐액을 정밀 여과에 의해 재생하는 현상 폐액의 재생 처리 장치가 개시되어 있다.

일본국 특허 제2561578호 공보 일본국 특허 제2747647호 공보 일본국 특개 2005-175118호 공보

그러나, 종래와 같이 농도 관리 장치나 약액 조제 장치, 약액 재생 장치를 구입해서 사용하는 태양에서는, 기판 제조자가, 농도 관리 장치나 약액 재생 장치를 구입하고, 이들을 운전하여 유지관리하는 것이 필요했다. 또한 종래의 태양에서는, 농도 관리 장치나 약액 조제 장치, 약액 재생 장치를 제조 판매하는 사람(이하「장치 판매자」라고 하는 경우가 있음)에게도, 장치 판매 시점밖에 이들 장치의 대가를 얻는 기회가 없었다.

그 때문에, 기판 제조자는, 농도 관리 장치나 약액 조제 장치, 약액 재생 장치를 구입하기 위한 일시적으로 다액의 비용부담과, 구입 후의 운전 및 유지관리에 관계되는 수많은 시간이나 부담을 짊어지지 않으면 안되었다. 또한, 장치 판매자는 한정된 시장 중에서, 장치의 구입을 희망하는 기판 제조자를 연이어 찾아서 장치를 판매하지 않으면, 충분한 이익을 올리는 것이 어렵다는 문제를 안고 있었다.

본 발명은 상기의 여러 과제를 감안하여 이루어진 것이다. 발명자는, 장치를 판매하는 것이 아니라, 농도 관리 장치나 약액 조제 장치, 약액 재생 장치를 이용하여 기판의 처리에 최적인 원하는 상태로 약액을 유지관리하는 역무(役務)를 기판 제조자에게 제공하는 것을 발안했다. 본 발안의 신규한 비지니스 모델에서는, 기판 제조자가 상기와 같은 부담을 지지 않고 항상 최적의 상태로 유지된 약액을 사용할 수 있으며, 또한, 장치 판매자가 계속해서 수익을 올릴 수 있다. 본 발명은, 상기 발안의 신규한 비지니스 모델에 있어서, 상기 역무를 제공하는 사람이 그 역무의 제공에 사용하는 농도 관리 장치나 약액 조제 장치, 약액 재생 장치에 의해 구성되어 기판 제조자가 운용하는 기판 처리 장치에 접속하는 상기 역무를 제공하는데 최적한 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법, 및, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 약액을 반복 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템은, 상기 기판 처리 장치에서 사용되는 상기 약액을 신액으로서 조제하는 약액 조제부와, 상기 약액 조제부에서 조제된 상기 신액을 저류하는 신액 저류부와, 상기 신액 저류부에 저류된 상기 신액을 상기 기판 처리 장치에 송액하는 신액 송액 수단을 구비하고, 상기 신액이 유통하는 신액용 배관에 의해 상기 기판 처리 장치와 접속된 약액 조제 장치와, 상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 보충액이 유통하는 보충액용 배관에 의해 상기 기판 처리 장치와 접속된, 상기 보충액을 상기 기판 처리 장치에 송액하는 보충액 송액 수단과, 상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액의 농도가, 소정의 농도값 또는 소정의 농도 범위 내가 되도록, 상기 신액 송액 수단, 및, 상기 보충액 송액 수단 중 적어도 어느 하나를 제어하는 농도 관리 장치를 구비하며, 상기 신액용 배관, 및, 상기 보충액용 배관에 적산 유량계를 구비한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 약액을 반복 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템은, 상기 기판 처리 장치에서 사용된 상기 약액을 재생액으로서 재이용 가능하게 재생하는 약액 재생부와, 상기 약액 재생부에서 재생된 상기 재생액을 저류하는 재생액 저류부와, 상기 재생액 저류부에 저류된 상기 재생액을 상기 기판 처리 장치에 송액하는 재생액 송액 수단을 구비하고, 상기 재생액이 유통하는 재생액용 배관에 의해 상기 기판 처리 장치와 접속된 약액 재생 장치와, 상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 보충액이 유통하는 보충액용 배관에 의해 상기 기판 처리 장치와 접속된, 상기 보충액을 상기 기판 처리 장치에 송액하는 보충액 송액 수단과, 상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액의 농도가, 소정의 농도값 또는 소정의 농도 범위 내가 되도록, 상기 재생액 송액 수단, 및, 상기 보충액 송액 수단 중 적어도 어느 하나를 제어하는 농도 관리 장치를 구비하며, 상기 재생액용 배관, 및, 상기 보충액용 배관에 적산 유량계를 구비한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 약액을 반복 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템은, 상기 기판 처리 장치에서 사용되는 상기 약액을 신액으로서 조제하는 약액 조제부와, 상기 약액 조제부에서 조제된 상기 신액을 저류하는 신액 저류부와, 상기 신액 저류부에 저류된 상기 신액을 상기 기판 처리 장치에 송액하는 신액 송액 수단을 구비하고, 상기 신액이 유통하는 신액용 배관에 의해 상기 기판 처리 장치와 접속된 약액 조제 장치와, 상기 기판 처리 장치에서 사용된 상기 약액을 재생액으로서 재이용 가능하게 재생하는 약액 재생부와, 상기 약액 재생부에서 재생된 상기 재생액을 저류하는 재생액 저류부와, 상기 재생액 저류부에 저류된 상기 재생액을 상기 기판 처리 장치에 송액하는 재생액 송액 수단을 구비하고, 상기 재생액이 유통하는 재생액용 배관에 의해 상기 기판 처리 장치와 접속된 약액 재생 장치와, 상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 보충액이 유통하는 보충액용 배관에 의해 상기 기판 처리 장치와 접속된, 상기 보충액을 상기 기판 처리 장치에 송액하는 보충액 송액 수단과, 상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액의 농도가, 소정의 농도값 또는 소정의 농도 범위 내가 되도록, 상기 신액 송액 수단, 상기 재생액 송액 수단, 및, 상기 보충액 송액 수단 중 적어도 어느 하나를 제어하는 농도 관리 장치를 구비하며, 상기 신액용 배관, 상기 재생액용 배관, 및, 상기 보충액용 배관에 적산 유량계를 구비한다.

본 발명의 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템에 의하면, 보충액이 유통하는 보충액용 배관, 약액 조제 장치에 의해 조제된 약액의 신액이 유통하는 신액용 배관, 및, 약액 재생 장치에 의해 재생된 약액이 유통하는 재생액용 배관에 적산 유량계가 설치되어 있으므로, 소정 기간(예를 들면 1주일이라든지 1개월이라든지)마다 기판 처리 장치에 공급한 보충액, 신액 또는 재생액의 양을 파악할 수 있다. 그 때문에, 예를 들면 이 소정 기간에 있어서의 보충액, 신액 또는 재생액 공급량에 이들의 단위량당의 요금을 곱해서 얻은 공급 요금에, 그 밖의 제경비 등에 근거하는 기본 요금을 가산한 금액을, 기판 처리를 위해서 제공한 약액 관리 역무의 제공에 관계되는 요금, 즉,「약액 관리 요금」으로서 산출하는 것이 가능해진다. 그리고, 산출한 요금을 기판 제조자에게 청구하는 것이 가능해진다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템에 있어서, 적산 유량계가 통신 기능을 구비한다.

본 발명의 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템에 의하면, 기판 제조자의 공장에서 사용되고 있는 적산 유량계를 네트워크에 접속할 수 있으므로, 적산 유량계가 측정하는 보충액, 신액 또는 재생액의 적산 유량의 각종 측정 데이터를, 당해 네트워크에 접속된 서버 시스템에 의해 원격에서 감시하는 것이 가능해진다. 적산 유량계의 미터를 검침하기 위해서 기판 제조자의 공장에 나갈 필요가 없다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법은, 상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에, 적산 유량계를 구비한 배관을 통해 공급되는, 약액 조제 장치에 의해 새롭게 조제된 상기 약액, 및, 보충액의 적산 유량을 상기 적산 유량계에 의해 계측하고, 상기 적산 유량계에 의해 계측된 소정 기간의 적산 유량에 의거하여 상기 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 산출하는 것을 포함한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법은, 상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에, 적산 유량계를 구비한 배관을 통해 공급되는, 약액 재생 장치에 의해 상기 기판 처리 장치에서 사용된 상기 약액으로부터 재이용가능하게 재생된 재생액, 및, 보충액의 적산 유량을 상기 적산 유량계에 의해 계측하고, 상기 적산 유량계에 의해 계측된 소정 기간의 적산 유량에 의거하여 상기 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 산출하는 것을 포함한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법은, 약액을 사용하여 기판을 처리하는 상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에, 적산 유량계를 구비한 배관을 통해 공급되는, 약액 조제 장치에 의해 새롭게 조제된 상기 약액, 약액 재생 장치에 의해 상기 기판 처리 장치에서 사용된 상기 약액으로부터 재이용가능하게 재생된 재생액, 및, 보충액의 적산 유량을 상기 적산 유량계에 의해 계측하고, 상기 적산 유량계에 의해 계측된 소정 기간의 적산 유량에 의거하여 상기 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 산출하는 것을 포함한다.

본 발명의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법에 의하면, 약액의 농도 관리의 역무를 제공하는 사람(이하「역무 제공자」라고 하는 경우가 있음)이, 약액 조제 장치, 농도 관리 장치나 약액 재생 장치를 기판 제조자의 공장에 두고서 약액을 사용하는 설비(기판 처리 장치)에 접속해서 농도 관리를 행하므로, 기판 제조자는 약액 조제 장치, 농도 관리 장치 또는 약액 재생 장치를 구입할 필요가 없다. 역무 제공자의 소유 물건으로서 농도 관리 장치, 약액 관리 장치 또는 약액 재생 장치를 설치하므로, 기판 제조자는 이것을 유지관리하는 부담도 지지 않는다. 기판 제조자는, 아무것도 하지 않고, 반복 사용하고 있는 약액의 농도가 소정의 농도로 관리되는 것이며, 또한 신액이나 재생 약액의 공급을 받을 수 있다. 역무 제공자는, 약액의 농도 관리의 역무 제공에 관계되는 요금을, 적산 유량계에 의해 계측된 적산 유량에 의거하여 합리적으로 계산하는 것이 가능해진다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법은, 약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 접속되며 약액 조제 장치에 의해 새롭게 조제된 상기 약액이 유통하는 배관, 및, 보충액이 유통하는 배관에 각각 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계, 및, 서버 시스템이 접속된 네트워크를 이용해서 상기 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 산출하는 방법에 있어서, 상기 서버 시스템이 상기 네트워크를 통해 상기 각 적산 유량계가 계측한 적산 유량을 취득하는 스텝과, 상기 서버 시스템이 취득한 상기 적산 유량의 이력을 상기 적산 유량계마다 기억하는 스텝과, 상기 서버 시스템이 상기 이력에 의거하여 상기 기판 처리 장치마다 소정 기간에 있어서의 약액 관리 요금을 산출하는 스텝을 포함한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법은, 약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 접속되며 약액 재생 장치에 의해 상기 기판 처리 장치에서 사용된 상기 약액으로부터 재이용가능하게 재생된 재생액이 유통하는 배관, 및, 보충액이 유통하는 배관에 각각 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계, 및, 서버 시스템이 접속된 네트워크를 이용해서 상기 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 산출하는 방법에 있어서, 상기 서버 시스템이 상기 네트워크를 통해 상기 각 적산 유량계가 계측한 적산 유량을 취득하는 스텝과, 상기 서버 시스템이 취득한 상기 적산 유량의 이력을 상기 적산 유량계마다 기억하는 스텝과, 상기 서버 시스템이 상기 이력에 의거하여 상기 기판 처리 장치마다 소정 기간에 있어서의 약액 관리 요금을 산출하는 스텝을 포함한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법은, 약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 접속되며 약액 조제 장치에 의해 새롭게 조제된 상기 약액이 유통하는 배관, 약액 재생 장치에 의해 상기 기판 처리 장치에서 사용된 상기 약액으로부터 재이용가능하게 재생된 재생액이 유통하는 배관, 및, 보충액이 유통하는 배관에 각각 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계, 및, 서버 시스템이 접속된 네트워크를 이용해서 상기 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 산출하는 방법에 있어서, 상기 서버 시스템이 상기 네트워크를 통해 상기 각 적산 유량계가 계측한 적산 유량을 취득하는 스텝과, 상기 서버 시스템이 취득한 상기 적산 유량의 이력을 상기 적산 유량계마다 기억하는 스텝과, 상기 서버 시스템이 상기 이력에 의거하여 상기 기판 처리 장치마다 소정 기간에 있어서의 약액 관리 요금을 산출하는 스텝을 포함한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템은, 약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 새롭게 조제된 상기 약액이 유통하는 배관에 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계와, 상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 보충액이 유통하는 배관에 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계와, 상기 적산 유량계와 네트워크를 통해 접속되는 서버 시스템을 구비하며, 상기 서버 시스템은, 상기 네트워크를 통해 상기 각 적산 유량계가 계측한 적산 유량을 수신하는 수신부와, 수신한 상기 적산 유량의 이력을 상기 적산 유량계마다 기억하는 기억부와, 상기 이력에 의거하여 상기 기판 처리 장치마다 소정 기간에 있어서의 약액 관리 요금을 산출하는 연산부를 구비한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템은, 약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 사용된 상기 약액을 재이용 가능하게 재생한 재생액이 유통하는 배관에 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계와, 상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 보충액이 유통하는 배관에 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계와, 상기 적산 유량계와 네트워크를 통해 접속되는 서버 시스템을 구비하며, 상기 서버 시스템은, 상기 네트워크를 통해 상기 각 적산 유량계가 계측한 적산 유량을 수신하는 수신부와, 수신한 상기 적산 유량의 이력을 상기 적산 유량계마다 기억하는 기억부와, 상기 이력에 의거하여 상기 기판 처리 장치마다 소정 기간에 있어서의 약액 관리 요금을 산출하는 연산부를 구비한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템은, 약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 새롭게 조제된 상기 약액이 유통하는 배관에 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계와, 상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 사용된 상기 약액을 재이용 가능하게 재생한 재생액이 유통하는 배관에 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계와, 상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 보충액이 유통하는 배관에 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계와, 상기 각 적산 유량계와 네트워크를 통해 접속되는 서버 시스템을 구비하고, 상기 서버 시스템은, 상기 네트워크를 통해 상기 각 적산 유량계가 계측한 적산 유량을 수신하는 수신부와, 수신한 상기 적산 유량의 이력을 상기 적산 유량계마다 기억하는 기억부와, 상기 이력에 의거하여 상기 기판 처리 장치마다 소정 기간에 있어서의 약액 관리 요금을 산출하는 연산부를 구비한다.

본 발명의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법, 또는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템에 의하면, 각 기판 제조자의 공장에서 사용되고 있는 적산 유량계를 네트워크에 접속된 서버 시스템에 의해 원격에서 일원적으로 감시할 수 있다. 적산 유량계의 미터를 검침하기 위해서 기판 제조자의 공장에 나갈 필요가 없다. 기판 제조자의 설비에 공급한 보충액, 신액 또는 재생액의 소정 기간에 있어서의 적산 유량에 따른, 약액 관리 역무의 합리적인 제공 요금을 산출할 수 있으며, 이것을 기판 제조자에게 청구하는 것이 가능해진다.

본 발명에 따르면, 기판 처리 장치에 보충액, 신액 또는 재생액을 보급하는 배관에 적산 유량계를 구비하므로, 소정 기간에 보급한 보충액, 신액 또는 재생액 공급량을 파악할 수 있으며, 이 공급량에 근거한 합리적인 요금의 계산이 가능해진다. 이 때문에, 기판의 처리에 최적인 원하는 상태로 약액을 유지관리하는 역무를 기판 제조자에게 제공한다고 하는, 이 업계에 지금까지 없었던 새로운 비지니스 방법을 실현할 수 있다. 그 때문에, 본 발명에 따르면, 이 역무를 제공하는 사람은, 장치를 판매하고 있었던 종래의 경우와 비교하여, 한정된 시장 내에서 장치 구입 희망자를 연이어 찾지 않아도, 계속적으로 안정한 수익을 확보할 수 있다.

본 발명에 따르면, 기판 제조자는, 약액의 농도를 관리하는 관리 장치, 약액을 새롭게 조제하는 약액 조제 장치, 약액을 재생 처리하는 약액 재생 장치 등을 구입하거나 운전하거나 유지관리하거나 하는 부담을 지지 않고, 약액에 공급된 보충액, 신액 또는 재생액의 적산 유량에 근거한 약액 관리 역무 제공의 요금을 지불하는 것만으로, 항상 원하는 상태로 관리된 약액을 사용할 수 있다.

본 발명에 따르면, 이 역무를 제공하는 사람은, 복수의 기판 제조자의 공장에서 사용되고 있는 각 농도 관리 장치나 각 약액 재생 장치의 적산 유량계를 원격에서 일원적으로 감시할 수도 있다.

도 1은 약액 조제 장치와 농도 관리 장치와 적산 유량계를 구비하는 실시형태의 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템의 모식도.
도 2는 약액 재생 장치와 농도 관리 장치와 적산 유량계를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템의 모식도.
도 3은 약액 조제 장치와 약액 재생 장치와 농도 관리 장치와 적산 유량계를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템의 모식도.
도 4는 통신 기능을 갖는 적산 유량계가 네트워크에 접속되는 실시형태의 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템의 모식도.
도 5는 통신 기능을 갖는 적산 유량계가 네트워크에 접속되는 다른 실시형태의 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템의 모식도.
도 6은 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템의 구성을 나타내는 모식도.

이하, 적절하게 도면을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해서 상세하게 설명한다. 단, 이들 실시형태에 기재되어 있는 장치 등의 형상, 크기, 치수비, 그 상대 배치 등은, 특히 특정적인 기재가 없는 한, 본 발명의 범위에 도시되어 있는 것만으로 한정하는 것이 아니다. 단순한 설명예로서, 모식적으로 도시하고 있는 것에 지나지 않는다.

또한 이하의 설명에서는, 반도체 또는 액정 디스플레이 기판의 제조 프로세스에서 사용되는 약액의 구체예로서, 현상 공정에서 현상액으로서 주로 사용되는 2.38wt%(이하, wt%을 단지 %로 기재함)의 테트라메틸 암모늄 하이드로옥사이드 수용액(이하, 테트라메틸 암모늄 하이드로옥사이드를 TMAH라고 함)을, 적절하게 사용하여 설명한다.

단, 본 발명이 적용되는 약액은 이것에 한정되는 것이 아니다. 본 발명을 적용할 수 있는 다른 약액의 예로서는, 현상액 이외에, 에칭액, 박리액, 대전방지제, 또는, 세정액 등을 들 수 있다.

이들 약액은, 각각, 다양한 종류나 조성의 약액이 더 존재한다. 현상액으로서는, 예를 들면 그 외에, 수산화칼륨, 수산화나트륨, 인산나트륨, 규산나트륨 등의 무기 화합물의 수용액이나, 트리메틸 모노에탄올 암모늄 하이드로옥사이드(콜린) 등의 유기 화합물의 수용액 등을 들 수 있다. 에칭액으로서는, 예를 들면 옥살산수용액, 황산과 과산화수소의 혼합 수용액, 황산동 용액, 인산과 초산과 질산의 혼합 수용액, 열인산, 초산제2세륨암모늄 수용액, 염화제2철 용액 등을 들 수 있다. 박리액으로서는, 예를 들면 디메틸설폭사이드계 원액과 순수의 용액, N-메틸피롤리돈계 원액과 순수의 용액, 알칸올아민과 글리콜에테르와 순수의 용액 등의 수계 레지스트 박리액이나, 모노에탄올아민과 부틸글리콜과 첨가제의 혼합 용액 등의 비수계 레지스트 박리액 등을 들 수 있다.

종래, 상기의 각종의 약액을 이용하여 기판을 처리해서 기판의 제조를 하는 기판 제조자는, 농도 관리 장치나 약액 조제 장치, 약액 재생 장치를 구입하고, 이것을 현상 설비나 에칭 설비 등의 약액을 사용하는 기판 처리 설비에 접속하고, 이들 장치를 운전하여, 약액을 사용한 기판의 처리를 행하고 있었다. 그 때문에, 기판 제조자는 농도 관리 장치나 약액 조제 장치, 약액 재생 장치를 구입할 때의 일시적으로 다액의 비용부담, 장치의 운전의 때의 보충액이나 필요 원료 조달의 부담, 장치의 운전이나 유지관리에 관련되는 그 밖의 수많은 시간이나 부담을 지지 않으면 안되었다.

또한, 장치 판매자측에서 보면, 종래의 장치 자체를 판매하는 비지니스에서는, 장치 판매 시점밖에 장치의 대가 회수의 기회가 없고, 장치 구입 희망자를 연달아 찾아서 장치를 팔지 않으면 충분한 이익을 올리는 것이 어려웠다.

본 발명자는, 이들 여러가지 점을 감안하여, 신규한 비지니스 방법을 발안했다. 즉, 농도 관리 장치나 약액 조제 장치, 약액 재생 장치를 이용하여 기판 제조자가 반복 사용하는 약액의 농도를 소정의 농도값, 또는 소정의 농도 범위로 관리하는 역무를 제공하는 비지니스이다. 이 신규한 비지니스 방법에 대해 설명한다.

먼저, 약액을 관리하는 역무를 제공하는 비지니스에 대해 설명한다.

약액 관리 역무 제공자는, 약액 관리 장치(이하「농도 관리 장치」라고도 함)을 이용하여 기판 제조자가 반복 사용하고 있는 약액을 기판 제조자가 바라는 소정의 농도 또는 소정의 농도 범위로 관리한다. 약액의 농도 관리는, 반복 사용되고 있는 약액에 보충액을 보급함으로써 행해진다. 약액 관리 장치는, 반복 사용되고 있는 약액의 농도를 반복 측정해서 항상 감시하고, 적절한 보충액이 필요량 보급되도록 보충액을 보급하는 배관에 구비된 제어 밸브를 제어한다. 보충액은, 보충액을 보급하는 배관에 구비된 적산 유량계에 의해 적산 유량을 계측되면서, 보급된다. 역무 제공자는, 보급된 보충액의 적산 유량을 감시함으로써 소정 기간마다(예를 들면, 1주일간마다라든지 1개월마다라든지)의 적산 유량에 의거하여, 약액 관리 역무 제공에 관계되는 요금을 산출하고, 이것을 당해 소정 기간마다 기판 제조자에게 청구한다. 이것이, 약액의 농도를 관리하는 역무를 제공하는 비지니스의 개요이다.

약액의 농도를 관리하는 역무에 사용하는 약액 관리 장치는, 역무 제공자의 소유 물건으로서, 역무 제공자가 운전 및 유지관리를 행하고, 농도 관리에 사용한다. 따라서, 기판 제조자는, 약액 관리 장치를 구입할 필요가 없으며, 그 운전이나 유지관리를 할 필요도 없다. 단지, 역무 제공자에게 약액의 농도를 관리하게 할 뿐이다.

역무 제공자는, 자신이 가진 약액 관리 장치를 기판 제조자의 공장에 설치하고, 기판 제조자가 운용하는 약액을 사용해서 기판을 처리하는 기판 처리 설비(이하「기판 처리 장치」라고도 함)에 접속한다. 여기서, 약액을 사용해서 기판을 처리하는 기판 처리 설비란, 약액이 현상액이면 현상 장치, 에칭액이면 에칭 장치, 박리액이면 박리 장치 등의 것이다.

농도 관리는 약액의 농도 측정과, 측정된 약액의 농도에 근거하는 보충액의 보급에 의하여 실현된다. 단, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면 약액의 신액의 조제나 사용된 약액 재생 처리를 조합시키는 등 하여, 농도 관리해도 된다.

예를 들면, 현상 처리 공정에서 많이 사용되고 있는 TMAH 수용액을 2.38%의 농도로 관리할 경우에는, 특허문헌 1에 있는 바와 같이, 다음과 같은 농도 관리가 이루어진다. 즉, 현상액 관리 장치는 알칼리 성분 농도와 용해 수지 농도를 반복 측정해서 항상 감시하고, 알칼리 성분 농도가 약 2.38%의 농도가 되도록, 및, 용해 수지 농도가 소정의 설정 농도를 넘지 않도록, 보충액을 보급해서 농도 관리한다.

이 경우, 보충액으로서는, 현상액의 원액, 현상액의 신액, 순수 등이 보급된다. 현상액의 원액이란, 농도가 진한 현상액, 예를 들면 20% 내지 25% 정도의 TMAH 수용액이다. 현상액의 신액이란, 미사용의 현상액, 즉 용해 수지 등의 불요물(不要物)을 포함하지 않는 신선한 현상액이다. 예를 들면, 미사용의 2.38% TMAH 수용액이다. 사용된 현상액으로부터 용해 수지 등의 불요물을 제거한 현상액의 재생액을 보충액으로서 사용해도 된다. 또한, 현상액의 신액으로서, 현상액 조제 장치(이하「약액 조제 장치」라고도 함)에 의하여 조제된 것을 이용해도 된다.

농도 측정은, 현상 설비에서 반복 사용되고 있는 현상액을 샘플링하고, 현상액 관리 장치(이하「농도 관리 장치」라고도 함)의 측정부에서 행해진다. 알칼리 성분 농도는 현상액의 도전율을 측정함으로써, 또한, 용해 수지 농도는 현상액의 특정 파장에 있어서의 흡광도를 측정함으로써 행해진다. 이들 성분 농도와 대응하는 현상액의 물성값 사이에는, 양호한 상관 관계가 있는 것이 알려져 있다(특허문헌 1 참조). 이러한 상관 관계를 이용하면, 측정된 도전율값으로부터 알칼리 성분 농도가, 측정된 흡광도값으로부터 용해 수지 농도가, 도출된다.

농도 측정의 결과, 알칼리 성분 농도가 2.38%보다 낮은 때에는, 현상액 관리 장치는, 보충액으로서 현상액의 원액을 보급한다. 반대로, 2.38%보다 높은 때에는, 현상액 관리 장치는, 보충액으로서 순수 또는 현상액의 신액을 보급한다. 마찬가지로, 용해 수지 농도가 소정의 설정 농도를 초과했을 때에는, 현상액 관리 장치는, 보충액으로서 현상액의 신액을 보급한다.

보충액은, 배관을 통해, 보충액을 저류하고 있는 저류 용기나 신액을 조제해서 공급하는 약액 조제 장치나 재생액을 공급하는 약액 재생 장치로부터 기판 제조자의 기판 처리 장치로 송액(送液)된다. 보충액이 보급되는 배관에는, 약액 관리 장치에 의해 제어되는 제어 밸브와 적산 유량계가 설치되어 있다. 제어 밸브가 개방 시에 단위시간당 흐르는 유량이 제어 밸브마다 미리 설정되어 있으면, 약액 관리 장치는, 보급해야 할 보충액이 흐르는 배관에 마련되어진 제어 밸브를 소정 시간 개방시킴으로써 적당량의 보충액을 보급할 수 있다. 보충액의 보급의 때에, 적산 유량계는, 보충액의 적산 유량을 측정한다. 이것은, 기판 처리 장치에 공급된 보충액의 공급량이다.

역무 제공자는, 예를 들면 1개월마다 등의 소정 기간마다, 적산 유량계에 의해 측정된 보충액의 적산 유량(공급량)에 의거하여 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 산출한다. 역무 제공자는, 기판 처리에 사용하는 약액을 관리하는 역무의 제공 대가로서, 산출한 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 기판 제조자에게 청구한다.

기판 제조자는, 소정 기간마다 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 지불함으로써 농도 관리 장치의 구입이나 운전 및 유지관리를 하지 않고, 농도 관리된 약액을 계속해서 사용할 수 있다. 한편, 역무 제공자는, 장치를 판매하고 있었을 때와 비교하여, 계속해서 안정한 수익을 올리는 것이 가능해진다.

여기서, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로서는, 다양한 태양이 존재할 수 있다. 이하에, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금의 구체예를, 몇가지 예시한다. 단, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법은, 이들에 한정되지 않는다. 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법은, 보충액의 적산 유량(공급량)에 근거하는 각종 요금 산출 방법을 포함하는 것이다.

첫째로, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로서, 소정 기간에 공급한 보충액의 공급 요금을 기준으로 요금을 계산하는 경우가 있다. 보충액을 판매한다라고 하는 사고방식에 의한 것이다.

예를 들면, 소정 기간을 한달마다로 한다. 적산 유량계에서 보충액의 적산 유량을 계측하고 있으므로, 이번달 검침 시점에 있어서의 적산 유량으로부터 저번달 검침 시점에 있어서의 적산 유량을 빼는 것에 의해, 이번달 보급한 보충액의 공급량이 구해진다. 이것을 Q(L/월)라고 한다. 보충액의 공급 단가를 A(엔/L)라고 한다. 그러면, 이번달의 보충액의 공급 요금이, Q×A(엔/월)로 구해진다. 보충액이 복수 존재할 경우에는, 복수 존재하는 보충액의 각각에 대해서, 공급량을 Q₁, Q₂, Q₃, …(L/월), 공급 단가를 A₁, A₂, A₃, …(엔/L)로 하고, 보충액의 공급 요금은, ΣQ_i×A_i(i=1, 2, 3, …)(엔/L)로 구해진다. 이것을, 이번달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로서, 기판 제조자에게 청구한다.

이 변형예로서, 상기한 바와 같이 계산한 보충액의 공급 요금에 각종 요금을 가산해서 얻은 요금을, 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로 하는 경우가 있다. 가산하는 각종 요금의 대표적인 것으로서, 기본 요금이 있다. 약액 관리 역무 제공에 관계되는 계약시에, 매달의 기본 요금을 정하고, 이것을 보충액의 공급 유무에 관계없이, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금에 포함시켜서 청구하는 것이다. 물론, 기본 요금이라고 하는 명목 여하에 관계없이, 설비 유지관리 비용이나 장치 운전원의 인건비, 원료 조달비, 그 밖의 제경비 등을, 가산하는 요금에 포함시켜도 된다. 가산되는 요금(예를 들면 기본 요금)을 Z(엔/월)라고 하면, 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금은, Q×A+Z(엔/월)가 된다. 보충액이 복수 존재하고, 가산되는 요금이 여러가지 요금의 합 Z=ΣZ_j일 때에는, 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금은, ΣQ_i×A_i+ΣZ_j(i, j=1, 2, 3, …)(엔/월)이 된다.

또 다른 변형예로서는, 보충액의 공급 요금에 할증률 B를 곱해서 얻은 금액을, 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로 할 경우도 있다. 예를 들면 보충액의 원료 조달에 드는 제경비나 장치의 유지관리 비용 등은, 보충액의 공급량(이것은 장치의 운전 시간과도 관계됨)에 연동하는 것으로 인식하는 것이 합리적이다. 이러한 경우에는, 할증률 B를 보충액의 공급 요금 Q×A(엔/월)에 곱하여, 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금은, Q×A×B(엔/월)로 구해진다. 할증률 B를 보충액의 공급 단가 A(엔/L)에 포함시켜버리는 것도 좋다. 또한, 기본 요금 등이 가산될 경우에는, 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금은, Q×A×B+Z(엔/월)가 된다. 보다 일반적으로는, 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금은, (ΣQ_i×A_i)×B+ΣZ_j(i, j=1, 2, 3, …)(엔/월)로 구해진다.

둘째로, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로서, 소정 기간에 제공한 약액 관리 역무에 의해 기판 제조자에게 초래된 경제적인 이익에 소정의 비율을 곱해서 얻은 액을, 기판 제조자에게 청구한다라고 하는 것이다. 약액 관리 역무의 제공에 의해 기판 제조자에게 발생시킨 경제적인 이익을, 기판 제조자와 역무 제공자로 서로 나눈다라고 하는 사고방식에 의한 것이다. 이것은, 예를 들면 약액 관리를 실시하지 않고 있었던 기판 제조자에 대하여, 약액 관리 역무를 제공할 경우 등에 적합하게 적용된다.

약액 관리를 하지 않는 경우, 약액 사용자는, 약액을 소정 횟수 사용한 뒤 전량 폐기하고, 새로운 약액으로 교환하고 있었다. 이 때문에, 약액의 액 성능은, 액의 교환 때마다 크게 변동하고 있었다. 한편, 약액의 농도 관리를 실시하면, 기판 제조자는, 다음과 같은 다양한 효능을 향수할 수 있다. 즉, 약액의 사용량이 대폭 삭감된다. 약액의 폐액량(廢液量)도 대폭 삭감된다. 또한, 약액의 액 성능이 항상 일정하게 되기 때문에, 반도체나 액정 기판의 제조 품질이 안정되고, 제조 수율이 향상된다. 액교환 때문에 제조 장치를 정지할 필요가 없어, 제조 장치의 가동률이 향상되고, 반도체나 액정 기판의 제조량이 증가한다.

이러한 경우에 있어서의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출의 구체적인 예로서, 약액 사용량의 삭감에 의한 약액 코스트 경감액의 몇할분을 소정 기간의 약액 관리 요금으로 하는 경우를 들 수 있다.

예를 들면, 소정 기간을 한달마다로 한다. 기판 제조자가 본 발명에 따른 약액 관리 역무의 제공을 받기 전, 즉, 약액의 농도 관리를 실시하지 않고 있었을 때에, 기판 제조자가 구입한 한달당 약액의 구입량을 R(L/월)이라고 하고, 그 구입 단가를 C(엔/L)라고 한다. 약액 구입량 R의 변동이 클 경우에는, 과거의 적당한 기간에 있어서의 약액 구입량의 평균값을 R이라고 한다.

본 발명에 따른 약액 관리 역무의 제공에 의해 공급되는 보충액의 공급량은, 적산 유량계에 의해 측정된 적산 유량으로부터, Q(L/월)로 구해진다. 보충액의 공급 단가 A(엔/L)를 곱하여, 매달의 보충액의 공급 요금은, Q×A(엔/월)로 구해진다.

그러면, 약액 사용자가 본 발명에 따른 약액의 농도 관리의 역무의 제공을 받음으로써 얻을 수 있는 약액 코스트 경감액은, R×C-Q×A(엔/월)이 된다. 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금은, 비율을 D로 해서, (R×C-Q×A)×D(엔/월)로 구해진다. 물론, 이것에 기본 요금 등을 가산해도 된다. 비율 D로서는, 예를 들면 1할(0.1)이라든지, 2할(0.2)이라든지, 3할(0.3) 등이다.

변형예로서, 약액의 폐액량의 삭감에 의한 폐액 처리 코스트 경감액의 몇할분을 소정 기간의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로 해도 된다.

약액 관리 실시 이전의 약액의 매달 폐액 처리 비용을 S(엔/월), 약액 관리 실시 이후의 매달 폐액 처리 비용을 T(엔/월)(단 S>T로 함)라고 하면, 농도 관리에 의해 삭감된 폐액 처리 비용의 경감액은, S-T(엔/월)이다. 약액 사용자는, 농도 관리에 의해, 매달 Q×A(엔/월)의 보충액의 공급 요금을 지불하기 때문에, 약액 사용자의 폐액량 삭감에 관련되는 경제적인 이익의 액은, (S-T)-Q×A(엔/월)이 된다. 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금은, 이것에 비율 D를 곱하여, ((S-T)-Q×A)×D(엔/월)로 구해진다. 이것에 기본 요금 등을 가산해도 된다.

다른 변형예로서, 기판 제조자의 경제적인 이익의 액에, 약액 코스트 경감액이나 폐액 처리 비용의 경감액 대신에, 수율 향상이나 제품 품질 향상, 장치 가동률의 향상 등에 의해 초래된 기판 제조자측의 수익 증가액 등을 이용하도록 해도 된다. 또한, 약액 코스트 경감액, 폐액 처리 비용의 경감액, 약액 사용자의 수익 증가액 등을 총 합계한 액으로부터 보충액의 공급 요금 Q×A(엔/월)를 뺀 액을, 기판 제조자의 약액 관리에 의한 종합적인 경제적 이익의 액이라고 보아, 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 산출하는 것이어도 된다. 이 경우, 수익 증가액 등을 총 합계해서 얻어진 액을 U(엔/월)라고 하면, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금은, (U-Q×A)×D(엔/월)이 된다. 이것에 기본 요금 등을 가산해도 된다.

새로운 변형예로서, 이미 약액의 농도 관리를 실시하고 있었던 기판 제조자에게, 본 발명에 따른 약액 관리 역무를 제공함으로써, 기판 제조자에게 다양한 경제적 이익을 생기게 할 수 있다. 이것들을, 마찬가지로, 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로서 계산하고, 기판 제조자에게 청구한다.

많은 기판 제조자는, 이미 약액의 농도 관리를 실시하고 있을 경우여도, 여전히, 농도 관리 장치를 구입하고, 스스로 운전하고, 유지관리하여, 약액의 농도 관리를 하고 있다. 그 때문에, 기판 제조자는 약액의 농도 관리에, 원료나 자재의 조달의 제경비나 장치 운전원의 인건비 등의 비용을 부담하고 있다. 또한, 낡은 약액 관리 장치를 아직까지도 사용하고 있거나, 약액마다에 충분 최적화되어 있지 않은 농도 측정 원리에 근거한 약액 관리 장치를 사용하고 있거나 하는 경우도 많다.

이러한 경우, 종래의 약액 관리를 본 발명에 따른 약액 관리 역무로 대체함으로써 기판 제조자에게, 약액 코스트나 폐액 코스트의 삭감, 수율 향상, 제품 품질 향상과 안정, 설비 가동률의 향상, 제품 제조 수량의 향상 등에 따르는 경제적인 이익을 초래할 수 있다. 이러한 경우에도, 상기와 마찬가지로, 보충액의 적산 유량에 근거해서 얻은 경제적 이익의 액의 몇할분을, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로서 산출하여, 기판 제조자에게 청구하는 것이 가능하다.

다음으로, 사용된 약액을 재이용 가능하게 재생 처리해서 얻어진 재생액을 보충액의 하나로서 공급하여 약액을 관리하는 역무를 제공하는 비지니스에 대해 설명한다.

재생액을 공급하여 약액을 관리하는 역무의 역무 제공자는, 약액 재생 장치를 이용하여 기판 처리 장치에서 사용된 약액에 축적된 불필요 성분을 제거하고, 기판 처리 장치에서 사용된 약액의 농도를 기판 제조자가 기대하는 소정의 농도 또는 소정의 농도 범위로 조절하여, 재이용 가능하게 재생한다. 재생 처리는, 여과, 전석(電析), 정석(晶析), 막분리 등의 기술을 사용해서, 축적된 불필요 성분을 제거함으로써, 행해진다. 재생 처리의 방식은, 이들에 한정되지 않는다. 대상으로 하는 약액이나 제거해야 할 성분에 따라, 적절하게 바람직한 기술이 선택되어, 적용된다. 약액 재생 장치는, 재생된 약액(재생액)을 공급하는 배관에 구비된 제어 밸브를 개방시킴으로써, 재생액을 기판 처리 장치에 공급한다. 재생액은, 재생액을 공급하는 배관에 구비된 적산 유량계에 의해 적산 유량을 계측되면서, 공급된다. 역무 제공자는, 공급된 재생액의 적산 유량을 감시함으로써 소정 기간마다(예를 들면 1주일간마다라든지 1개월마다라든지)의 적산 유량에 의거하여 재생액을 공급하여 약액을 관리하는 역무의 역무 제공에 관계되는 요금을 산출하고, 이것을 당해 소정 기간마다 기판 제조자에게 청구한다. 이것이, 사용된 약액을 재생 처리해서 얻어진 재생액을 공급하여 약액을 관리하는 역무를 제공하는 비지니스의 개요이다.

사용된 약액을 재생 처리해서 얻어진 재생액을 공급하여 약액을 관리하는 역무에 사용하는 약액 재생 장치는, 역무 제공자의 소유 물건으로서, 역무 제공자가 운전 및 유지관리를 행하고, 약액 재생 처리에 사용한다. 따라서, 기판 제조자는, 약액 재생 장치를 구입할 필요가 없으며, 그 운전이나 유지관리를 할 필요도 없다. 단지, 역무 제공자에게 약액 재생 처리를 하게 하는 것뿐이다.

역무 제공자는, 자신이 가진 약액 재생 장치를 기판 제조자의 공장에 설치하고, 기판 제조자가 운용하는 기판 처리 장치에 접속한다. 여기서, 기판 처리 장치란, 약액이 현상액이면 현상 장치, 에칭액이면 에칭 장치, 박리액이면 박리 장치 등의 것이다.

재생 처리는, 약액이 사용됨으로써 약액중에 축적된 불요물을, 여과, 전석, 정석, 막분리 등의 분리 제거 기술을 이용하여 약액중에서 제거함으로써 실현된다. 적절한, 보충액의 보급 등에 의해, 약액의 각 성분을 조절하게 되어 있어도 된다. 단, 재생 처리에 사용되는 분리 기술은, 이들에 한정되지 않는다. 약액중에 축적된 불요물이란, 예를 들면 현상액의 경우에서는, 현상 처리에 의해 기판으로부터 용출된 레지스트 성분 등이다.

재생된 약액은, 배관을 통해, 기판 제조자의 기판 처리 장치에 송액된다. 재생액이 보급되는 배관에는, 제어 밸브와 적산 유량계가 설치되어 있다. 제어 밸브가 개방 시에 단위시간당 흐르는 유량이 미리 설정되어 있으면, 이 제어 밸브를 소정 시간 개방시킴으로써, 적량의 재생액을 공급할 수 있다. 재생액 공급의 때에, 적산 유량계는, 재생액의 적산 유량을 측정한다. 이것은, 기판 처리 장치에 공급된 재생액 공급량이다.

역무 제공자는, 예를 들면 1개월마다 등의 소정 기간마다, 적산 유량계에 의해 측정된 재생액의 적산 유량(공급량)에 의거하여 재생액 공급에 따르는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 산출한다. 역무 제공자는, 재생액 공급에 의한 약액 관리 역무의 제공 대가로서, 산출한 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 기판 제조자에게 청구한다.

약액 사용자는, 소정 기간마다 재생액 공급에 따르는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 지불함으로써, 약액 재생 장치의 구입이나 운전 및 유지관리를 하지 않고, 재생 처리된 약액을 입수해서 기판 처리에 사용할 수 있다. 한편, 역무 제공자는, 장치를 판매하고 있었을 때와 비교하여, 계속해서 안정한 수익을 올리는 것이 가능해진다.

여기서, 재생액 공급에 따르는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로서는, 다양한 태양이 존재할 수 있다. 이하에, 그 약액 관리 요금의 구체예를, 몇가지 예시한다. 단, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법은, 이들에 한정되지 않는다. 본 발명의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법은, 재생액의 적산 유량(공급량)에 근거하는 각종 요금 산출 방법을 포함하는 것이다.

첫째로, 재생액 공급에 따르는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로서, 소정 기간에 공급한 재생액 공급 요금을 기준으로 요금을 계산하는 경우가 있다. 재생액을 판매한다라고 하는 사고방식에 의한 것이다.

예를 들면, 소정 기간을 한달마다로 한다. 적산 유량계에서 재생 약액의 적산 유량을 계측하고 있으므로, 이번달 검침 시점에 있어서의 적산 유량으로부터 저번달 검침 시점에 있어서의 적산 유량을 빼는 것에 의해, 이번달 공급한 재생액 공급량이 구해진다. 이것을 K(L/월)라고 한다. 재생액 공급 단가를 E(엔/L)라고 한다. 그러면, 이번달의 재생액 공급 요금이, K×E(엔/월)로 구해진다. 이것을, 이번달의 재생액 공급에 따르는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로서, 기판 제조자에게 청구한다.

이 변형예로서, 상기한 바와 같이 계산한 재생액 공급 요금에 각종 요금을 가산해서 얻은 요금을, 매달의 재생액 공급에 따르는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로 하는 경우가 있다. 가산하는 각종 요금의 대표적인 것으로서, 기본 요금이 있다. 약액 재생 처리에 의한 약액 관리 역무 제공에 관계되는 계약시에, 매달의 기본 요금을 정하고, 이것을 재생액 공급 유무에 관계없이, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금에 포함시켜서 청구하는 것이다. 물론, 기본 요금이라고 하는 명목 여하에 관계없이, 설비 유지관리 비용이나 장치 운전원의 인건비, 원료 조달비, 그 밖의 제경비 등을, 가산하는 요금에 포함시켜도 된다. 가산되는 요금(예를 들면 기본 요금)을 Z(엔/월)라고 하면, 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금은, K×E+Z(엔/월)가 된다. 가산되는 요금이 다양한 요금의 합 Z=ΣZ_j일 때에는, 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금은, K×E+ΣZ_j(j=1, 2, 3, …)(엔/월)이 된다.

또 다른 변형예로서는, 재생액 공급 요금에 할증률 F를 곱해서 얻은 금액을, 매달의 재생액 공급에 따르는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로 할 경우도 있다. 예를 들면, 재생액의 자재나 원료 조달에 드는 제경비, 장치의 유지관리 비용 등은, 재생액 공급량(이것은 장치의 운전 시간과도 관계됨)에 연동하는 것으로 인식하는 것이 합리적이다. 이러한 경우에는, 할증률 F를 재생액 공급 요금 K×E(엔/월)에 곱해서, 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금은, K×E×F(엔/월)로 구해진다. 할증률 F를 재생액 공급 단가 E(엔/L)에 포함시켜버리는 것도 좋다. 또한, 기본 요금 등이 가산될 경우에는, 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금은, K×E×F+Z(엔/월)가 된다. 보다 일반적으로는, 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금은, (K×E)×F+ΣZ_j(j=1, 2, 3, …)(엔/월)로 구해진다.

둘째로, 재생액 공급에 따르는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로서, 소정 기간에 제공한 약액 재생 처리에 의한 약액 관리 역무에 의해 기판 제조자에게 초래된 경제적인 이익에 소정의 비율을 곱해서 얻은 액을, 기판 제조자에게 청구한다라고 하는 경우이다. 약액 재생 처리에 의한 약액 관리 역무의 제공에 의해 기판 제조자에게 발생시킨 경제적인 이익을, 기판 제조자와 역무 제공자로 서로 나눈다라고 하는 사고방식에 의한 것이다. 이것은, 예를 들면 약액 재생 처리를 실시하지 않고 있었던 기판 제조자에 대하여, 약액 재생 처리에 의한 약액 관리 역무를 제공할 경우 등에 적합하게 적용된다.

약액 재생 처리를 하지 않는 경우, 기판 제조자는, 약액을 소정 횟수 사용한 뒤 전량 폐기하고, 새로운 약액으로 교환하고 있었다. 이 때문에, 약액의 폐액량이 매우 많으며, 새로운 약액도 다량으로 조달하지 않으면 안되었다. 한편, 약액을 재생 처리해서 재이용하면, 기판 제조자는, 다음과 같은 다양한 효능을 향수할 수 있다. 즉, 새로운 약액의 사용량이 대폭 삭감된다. 약액의 폐액량도 대폭 삭감된다.

이러한 경우에 있어서의 재생액 공급에 따르는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출의 구체예로서, 약액 사용량의 삭감에 의한 약액 코스트 경감액의 몇할분을 소정 기간의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로 하는 경우를 들 수 있다.

예를 들면, 소정 기간을 한달마다로 한다. 기판 제조자가 본 발명에 따른 약액 재생 처리에 의한 약액 관리 역무의 제공을 받기 전, 즉, 약액 재생 처리를 실시하지 않고 있었을 때에, 기판 제조자가 구입한 한달당 약액의 구입량을 M(L/월)이라고 하고, 그 구입 단가를 G(엔/L)라고 한다. 약액 구입량 M의 변동이 클 경우에는, 과거의 적당한 기간에 있어서의 약액 구입량의 평균값을 M이라고 한다.

본 발명에 따른 약액 재생 처리에 의한 약액 관리 역무의 제공에 의해 공급되는 재생액 공급량은, 적산 유량계에 의해 측정된 적산 유량으로부터, K(L/월)로 구해진다. 보충액의 공급 단가 E(엔/L)를 곱해서, 매달의 재생액 공급 요금은, K×E(엔/월)로 구해진다.

그러면, 기판 제조자가 본 발명에 따른 약액 재생 처리에 의한 약액 관리 역무의 제공을 받음으로써 얻을 수 있는 약액 코스트 경감액은, M×G-K×E(엔/월)가 된다. 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금은, 비율을 F로 해서, (M×G-K×E)×F(엔/월)로 구해진다. 물론, 이것에 기본 요금 등을 가산해도 된다. 비율 F로서는, 예를 들면 1할(0.1)이라든지, 2할(0.2)이라든지, 3할(0.3) 등이다.

변형예로서, 약액의 폐액량의 삭감에 의한 폐액 처리 코스트 경감액의 몇할분을 소정 기간의 약액 재생 처리에 따르는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로 해도 된다.

재생 처리 실시 이전의 약액의 매달 폐액 처리 비용을 N(엔/월), 재생 처리 실시 이후의 매달 폐액 처리 비용을 P(엔/월)(단 N>P로 함)라고 하면, 약액 재생 처리에 의해 삭감된 폐액 처리 비용의 경감액은, N-P(엔/월)이다. 기판 제조자는, 약액 재생 처리에 의해, 매달 K×E(엔/월)의 재생 약액의 공급 요금을 지불하기 때문에, 기판 제조자의 폐액량 삭감에 관련되는 경제적인 이익의 액은, (N-P)-K×E(엔/월)가 된다. 매달의 약액 재생 처리에 따르는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금은, 이것에 비율 F를 곱하여, ((N-P)-K×E)×F(엔/월)로 구해진다. 이것에 기본 요금 등을 가산해도 된다.

다른 변형예로서, 기판 제조자의 경제적인 이익의 액에, 약액 코스트 경감액이나 폐액 처리 비용의 경감액 등을 총 합계한 액을 이용해도 된다. 약액 코스트 경감액이나 폐액 처리 비용의 경감액 등을 총 합계한 액으로부터 보충액의 공급 요금 K×E(엔/월)를 뺀 액을, 기판 제조자의 약액 재생 처리에 의한 종합적인 경제적 이익의 액이라고 보아, 매달의 약액 관리 요금을 산출해도 된다. 이 경우, 약액 코스트 경감액이나 폐액 처리 비용의 경감액 등을 총 합계한 액을 V(엔/월)라고 하면, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금은, (V-K×E)×F(엔/월)이 된다. 이것에 기본 요금 등을 가산해도 된다.

새로운 변형예로서, 이미 약액 재생 처리를 실시하고 있었던 기판 제조자에게, 본 발명에 따른 약액 재생 처리의 역무를 제공함으로써, 기판 제조자에게 다양한 경제적 이익을 생기게 할 수 있다. 이것들을, 마찬가지로, 매달의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로서 계산하고, 기판 제조자에게 청구한다.

많은 기판 제조자는, 이미 약액 재생 처리를 실시하고 있을 경우여도, 여전히, 약액 재생 장치를 구입하고, 스스로 운전하고, 유지관리해서, 약액 재생 처리를 하고 있다. 그 때문에, 기판 제조자는 약액 재생 처리에, 원료나 자재의 조달의 제경비나 장치 운전원의 인건비 등의 비용을 부담하고 있다. 또한, 낡은 재생 처리 장치를 아직까지도 사용하고 있는 것도 많다.

이러한 경우, 종래의 재생 처리를 본 발명에 따른 약액 재생 처리에 의한 약액 관리 역무로 대체함으로써 기판 제조자에게, 약액 코스트나 폐액 코스트의 삭감 등에 따르는 경제적인 이익을 초래할 수 있다. 이러한 경우에도, 상기와 마찬가지로, 보충액의 적산 유량에 근거해서 얻은 경제적 이익의 액의 몇할분을, 재생액 공급에 따르는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금으로서 산출하여, 기판 제조자에게 청구하는 것이 가능하다.

기판 제조자가 바라는 성분 농도의 약액을 약액의 원료로부터 약액의 신액으로서 자동적으로 조제해서 공급하는 약액 조제 장치를 이용하여 약액의 신액을 조제하고, 보충액의 하나로서 기판 제조자가 운용하는 기판 처리 장치에 공급함으로써, 약액 관리 역무를 제공하는 비지니스에 관해서도, 재생액 공급에 의한 약액 관리 역무의 경우와 마찬가지로 생각할 수 있다. 이 경우의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금에 대해서는, 재생액을 신액으로 대체하여 동일하게 생각하면 되며, 설명이 중복되므로, 구체적인 설명은 생략한다.

다음으로, 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템에 대해 설명한다. 본 발명의 약액 관리 역무를 제공하는 비지니스를 실현하기 위해서는, 약액의 농도 관리에 필요로 하는 보충액의 공급량을 측정하는 것이 가능한, 보충액의 배관에 구비된 적산 유량계가 필요 불가결하다. 이하에, 이러한 적산 유량계를 구비한 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템을, 도면을 참조하면서 설명한다.

[제 1 실시형태]

도 1은, 본 실시형태의 약액 조제 장치와 농도 관리 장치와 적산 유량계를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템을 설명하기 위한 모식도이다. 본 실시형태의 설명에 있어서는, 약액으로서 2.38% 농도의 TMAH 수용액(현상액)을 예로, 보충액으로서, 20% TMAH 수용액(현상액의 원액)과 미사용의 2.38% TMAH 수용액(현상액의 신액)과 순수를 보급해서 농도 관리를 하는 약액 관리에 대해 설명한다.

도 1에서는, 보충액으로서 공급되는 약액의 신액의 일례인 현상액 신액이, 약액 조제 장치의 일례인 현상액 조제 장치(3)에 의해, 그 원료가 되는 약액의 원액인 현상액 원액과 순수로부터 자동적으로 조제되어 공급된다. 현상액 조제 장치(3)는, 신액용 배관인 배관(84)을 통해 기판 처리 장치의 일례인 현상 공정 설비(1)와 접속되어 있다. 배관(84)은, 제어 밸브(44)와 적산 유량계(54)를 구비하고 있다.

적산 유량계(51, 53)를 구비한 보충액용 배관인 배관(81, 83)이 현상 공정 설비(1)에 접속되어 있다. 배관(81)은 현상액 원액 저류 용기(91)에 접속되며, 배관(83)은 순수 공급구에 접속되어 있다. 이들 보충액이, 배관(81, 83)을 통해, 현상 공정 설비(1)에서 반복 사용되는 약액에, 공급된다. 현상액 원액 저류 용기(91)에는, 약액에 공급되는 보충액의 하나인 현상액의 원액이 저류되어 있다. 현상액 원액 저류 용기(91)가 보충액 저류부로서 기능한다. 배관(81)에는, 송액 펌프(71), 및 밸브(48)가 접속되어 있다. 밸브(48)는, 보통, 항상 개방으로 되어 있지만, 용기가 비었을 때에는, 밸브를 폐쇄하고, 보충액으로 채워진 새로운 현상액 원액 저류 용기(91)로 교환한다.

보충액 송액 수단은, 예를 들면 보충액의 공급원이 가압되고 있을 경우에는, 제어 밸브와 배관에 의해 구성할 수 있다. 또한, 보충액의 공급원이 가압되고 있지 않을 경우에는, 보충액 송액 수단은, 제어 밸브와 송액 펌프와 배관에 의해 구성할 수 있다. 보충액 송액 수단은, 보충액을 송액할 수 있으면, 그 구성은 한정되지 않는다.

먼저, 현상 공정 설비(1)에 대해 간단하게 설명한다. 단, 도 1의 현상 공정 설비(1)는 기판 처리 장치의 예시이며, 이것에 한정되지 않는다. 농도 관리 장치의 일례인 현상액 관리 장치(2)가 접속되는 현상 공정 설비(1)는, 현상 처리에 사용될 수 있는 도 1과는 다른 각종 태양의 것도 포함된다.

현상 공정 설비(1)는, 주로, 현상액 저류조(161), 오버플로우조(162), 현상실 후드(164), 롤러 컨베이어(165), 현상액 샤워 노즐(167) 등으로 이루어진다. 현상액 저류조(161)에는, 현상 처리에 반복 사용되고 있는 현상액(약액)이 저류되어 있다. 현상액 저류조(161)는, 액면계(163)와 오버플로우조(162)를 구비하며, 보충액을 보급하는 것에 따른 액량의 증가를 관리하고 있다. 현상액 저류조(161)와 현상액 샤워 노즐(167)은, 현상액 관로(180)에 의해 접속된다. 현상액 저류조(161) 내에 저류된 현상액은, 현상액 관로(180)에 마련되어진 순환 펌프(172)에 의해서, 필터(173)를 통해, 현상액 샤워 노즐(167)에 송액된다. 롤러 컨베이어(165)는, 현상액 저류조(161)의 상방에 구비되며, 포토레지스트 막이 제막된 기판(166)을 반송한다. 현상액은 현상액 샤워 노즐(167)로부터 적하(滴下)된다. 롤러 컨베이어(165)에 의해 반송되는 기판(166)은, 적하되는 현상액 속을 통과함으로써 현상액에 담가진다. 그 후에, 현상액은 현상액 저류조(161)에 회수되어, 다시 저류된다. 현상액 저류조(161)에 저류되어 있는 현상액은, 순환 펌프(174)에 의해 빼내져, 필터(175)를 구비한 순환 관로(185)를 통해서, 다시 현상액 저류조(161)에 되돌려진다. 순환 관로(185)를 통한 현상액의 순환에 의해, 현상액 저류조(161) 내의 현상액은, 항상 교반된다. 또, 열화한 현상액은, 폐액 펌프(171)를 작동함으로써 폐액(드레인)된다.

다음으로, 본 실시형태의 농도 관리 장치의 일례인 현상액 관리 장치(2)에 관하여 설명한다.

본 실시형태의 현상액 관리 장치(2)는, 주로, 측정부(210), 연산부(220), 및, 제어부(230)를 구비하고 있다.

측정부(210)는 샘플링 배관(215) 및 복귀 배관(216)에 의해 현상액 저류조(161)와 접속되어 있다. 측정부(210)는, 측정 데이터용의 신호선(256, 257)에 의해, 연산부(220)와 접속되어 있다.

측정부(210)는 샘플링 펌프(214)와, 측정 수단(211, 212)을 구비하고 있다. 측정 수단(211 및 212)은, 예를 들면 현상액의 알칼리 성분 농도를 측정하기 위한 도전율계라든지, 현상액의 용해 수지 농도를 측정하기 위한 흡광광도계 등이다. 측정 수단(211, 212)은, 샘플링 펌프(214)의 뒤에 직렬로 접속된다. 샘플링 배관(215)은, 샘플링 펌프(214)에 접속되고, 복귀 배관(216)은, 측정 수단(212)의 말단의 배관과 접속되어 있다.

측정부(210)는, 측정 정밀도를 향상시키기 위해서, 또한, 샘플링한 현상액을 소정의 온도로 안정시키는 온도 조절 수단(미도시)을 구비하는 것이 바람직하다. 이 때, 온도 조절 수단은, 측정 수단의 바로 앞에 설치되어 있는 것이 바람직하다.

연산부(220)는, 측정부(210)에서 측정된 측정 데이터로부터 현상액의 성분 농도(예를 들면 알칼리 성분 농도나 용해 수지 농도 등)을 산출하기 위한 연산 블록(221)을 포함하고 있다. 연산 블록(221)에서는, 측정부(210)에서 측정된 측정 데이터로부터 현상액의 성분 농도가 산출된다.

연산부(220)는, 신호선(258)에 의해, 제어부(230)와 접속되어 있다. 연산부와 제어부는, 예를 들면 컴퓨터 등에 의해, 일체로 구성되어 있어도 된다.

제어부(230)는, 제어 블록(231)을 포함한다. 제어부(230)는, 보충액용 배관인 배관(81, 83)에 마련되어진 제어 밸브(41, 43)와, 제어용의 신호선(251, 253)에 의해, 접속되어 있다. 또한 제어부(230)는, 신액용 배관인 배관(84)에 마련되어진 제어 밸브(44)와, 제어용의 신호선(254)에 의해, 접속되어 있다. 제어 블록(231)은, 연산부(220)에서 산출된 현상액의 농도에 따라, 어떤 보충액을 얼만큼 보충할지를 결정하고, 보충액을 송액하는 배관에 마련되어진 제어 밸브를 개폐 제어한다.

본 실시형태에서는 보충액용 배관인 배관(81, 83)에는, 각각, 공급된 보충액의 적산 유량을 측정하는 적산 유량계(51, 53)가 구비되어 있지만, 순수를 보충액으로서 공급하는 배관(83)에는, 적산 유량계를 설치하지 않는 경우도 있다

약액 조제 장치의 일례인 현상액 조제 장치(3)는, 주로, 현상액의 신액을 조제하는 신액 조제조(301)와, 조제된 신액을 저류해 두는 신액 저류조(302)와, 현상액 조제 장치(3)의 동작을 제어하는 제어 장치(331)를 구비하고 있다. 제어 장치(331)로서, 컴퓨터를 예시할 수 있다. 현상액 조제 장치(3)는, 현상액 원액 저류 용기(91)와, 현상액 원액 공급 배관인 배관(86)을 통해 접속되어 있다. 현상액 원액 저류 용기(91)는, 현상액 조제 장치(3)에 접속되는 것과 현상 공정 설비(1)에 접속되는 것을 공통인 하나의 용기로서 도시하였지만, 별개로 준비되어 있어도 된다. 또한, 현상액 조제 장치(3)는, 순수 공급 배관인 배관(87)과 접속되어 있다. 본 실시형태에서는 신액 조제조(301)가 약액 조제부를 구성하고, 신액 저류조(302)가 신액 저류부를 구성하지만, 이들 구조에 한정되지 않는다.

신액 조제조(301)는, 배관(86)을 통해 현상액 원액 저류 용기(91)와 접속되어, 현상액의 원액의 공급을 받을 수 있다. 신액 조제조(301)는, 배관(87)과 접속되어, 순수의 공급을 받을 수 있다. 배관(86) 및 배관(87)에는, 제어 밸브(341, 342)가 구비되어 있다. 제어 밸브(341, 342)는, 제어 장치(331)에 의해 동작 제어된다. 또한, 배관(87)에는 현상액 원액을 송액하기 위한 송액 펌프(72), 및 밸브(48)가 구비되어 있다. 밸브(48)는, 보통, 항상 개방으로 되어 있지만, 용기가 비었을 때에는, 밸브를 폐쇄하고, 보충액으로 채워진 새로운 현상액 원액 저류 용기(91)로 교환한다.

신액 조제조(301)는, 농도계(311)와 액면계(312)를 구비한다. 농도계(311) 및 액면계(312)는, 각각 신호선(351, 352)을 통해 제어 장치(331)와 접속되어, 측정한 신액 조제조(301)의 농도 정보나 액면 위치 정보가 제어 장치(331)에 보내진다. 또한, 신액 조제조(301)와 신액 저류조(302)는, 연통관(380)에 의해 접속된다. 신액 저류조(302)는 액면계(322)를 구비하고 있다. 액면계(322)는, 신호선(353)에 의해 제어 장치(331)와 접속되어 있고, 신액 저류조(302)의 액면 위치 정보가 제어 장치(331)에 보내진다. 신액 저류조(302)는, 별도, 농도계를 구비하고 있어도 된다.

현상액의 신액을 조제할 때는, 제어 장치(331)에 의해 제어 밸브(341 및 342)가 적절하게 동작 제어되어서, 신액 조제조(301)에 현상액의 원액이나 순수가 공급된다. 신액 조제조(301)에서는, 현상액의 원액과 순수가 혼합되어, 소정 농도의 현상액이 조제된다. 농도계(311)는, 신액 조제조(301)에서 조제되는 현상액의 농도를 항상 감시한다.

신액 조제조(301)의 농도를 감시한 결과, 예를 들면 조제된 현상액의 농도가 묽을 때에는, 제어 장치(331)에 의해 배관(87)에 구비된 제어 밸브(342)가 폐쇄된다. 그 때문에, 현상액의 원액의 공급이 상대적으로 늘어나서, 신액 조제조(301) 내의 현상액의 농도가 상승한다. 또한, 예를 들면 조제된 현상액의 농도가 진할 때에는, 제어 장치(331)에 의해 배관(86)에 구비된 제어 밸브(341)가 폐쇄되어, 순수에 의해 신액 조제조(301) 내의 현상액의 농도가 묽어진다. 제어 장치(331)는, 농도계(311)의 농도 정보에 의거하여 신액 조제조(301)에서 조제되는 현상액을 소정의 농도로 한다.

신액 조제조(301) 내의 액면 위치가 소정의 하한값보다 내려갔을 때는, 제어 장치(331)는, 제어 밸브(341, 342)를 개방하여, 현상액 원액 및 순수의 공급량을 늘리고, 액면 위치의 회복을 도모한다. 신액 조제조(301) 내의 액면 위치가 소정의 상한값보다 올라갔을 때는, 제어 장치(331)는, 제어 밸브(341 및 342)를 폐쇄하여, 현상액 원액 및 순수의 공급을 중지한다. 신액 저류조(302)의 액면 위치에 관해서도 마찬가지이다. 양쪽 조의 액면은, 조제된 신액을 현상 공정 설비(1)에 공급함으로써 감소한다. 제어 장치(331)는, 액면계(312, 322)의 액면 위치 정보에 의거하여, 양쪽 조의 액면 위치가 소정의 범위 내에 들어가도록 조제되는 현상액의 액량을 제어한다.

신액 조제조(301) 내의 현상액은, 그 일부가 순환 관로(381)에 구비된 순환 펌프(371)에 의해 빼내져 다시 되돌아옴으로써, 순환 교반된다. 신액 저류조(302) 내의 현상액도, 마찬가지로, 그 일부가 순환 관로(382)에 구비된 순환 펌프(372)에 의해 빼내져 다시 되돌아옴으로써, 순환 교반된다.

신액 조제조(301)에서 조제된 현상액은, 연통관(380)을 통해서, 신액 저류조(302)에 보내진다. 신액 저류조(302) 내의 현상액의 액량이 감소함으로써, 신액 조제조(301) 내의 현상액은, 신액 저류조(302)에 자연송액된다. 연통관(380)은 적당한 내경과 길이를 구비하며, 신액 조제조(301) 내의 농도 변동이 신액 저류조(302)에 미치지 못하도록 하는 농도 변동의 평준화의 효과를 갖는다.

신액 저류조(302)에 저류된 현상액의 신액은, 송액 펌프(373)에 의해, 배관(84)을 통해서 현상 공정 설비(1)에 송액된다. 이 때, 배관(84)에 구비된 적산 유량계(54)에 의해, 공급된 신액의 적산 유량이 계측된다. 배관(84)의 제어 밸브(343)는 신호선(354)을 통해 제어 장치(331)와 접속되어 있으며, 제어 밸브(343)는 제어 장치(331)에 의해 동작 제어된다. 조제한 현상액의 신액을 송액할 때에는, 제어 장치(331)는 제어 밸브(343)를 개방시킨다. 신액 송액 수단은, 송액 펌프(373)에 한정되지 않는다. 신액 송액 수단이란, 예를 들면 신액의 공급원이 가압되고 있을 경우에는, 제어 밸브와 배관에 의해 구성할 수 있으며, 또한 신액의 공급원이 가압되고 있지 않을 경우에는, 제어 밸브와 송액 펌프와 배관으로 구성할 수 있다. 신액 송액 수단은, 신액을 송액할 수 있으면, 그 구성은 한정되지 않는다. 농도 관리 장치의 일례인 현상액 관리 장치(2)의 동작은, 예를 들면 다음과 같다.

먼저, 현상 공정 설비(1)에서 반복 사용되고 있는 현상액을 샘플링 펌프(214)에 의해서 샘플링하고, 적절하게 온도 조절 등 측정 조건을 조절한 후, 측정 수단(211 및 212)에서 예를 들면 그 도전율과 흡광도를 측정한다. 측정된 현상액의 도전율값과 흡광도값은, 측정 데이터용의 신호선(256, 257)을 통해, 연산부(220)에 보내진다.

연산부(220)는, 측정부(210)의 측정 수단(211 및 212)에서 측정된 현상액의 도전율이나 흡광도 등의 특성값에 의거하여, 대응하는 현상액의 성분 농도를 산출한다. 산출된 현상액의 성분 농도는, 신호선(258)을 통해, 제어부(230)에 보내진다.

제어부(230)는, 연산부(220)에서 산출된 현상액의 성분 농도와 미리 기억해 둔 성분 농도의 관리 목표값을 비교한다. 제어부(230)는, 성분 농도를 관리 목표값으로 유지하기 위해서 보급하는 것이 필요한 보충액의 선택, 보충액의 공급량의 계산 또는 보충액을 송액하는 배관에 마련되어진 제어 밸브를 개방시켜야할 시간의 계산을 한다. 제어부(230)는, 제어용의 신호선(251, 253, 254)을 통해서, 보충액용 배관인 배관(81, 83)에 마련되어진 제어 밸브(41, 43), 신액용 배관인 배관(84)에 마련되어진 제어 밸브(44) 중 어느 적절한 제어 밸브에, 개폐 제어의 신호를 보낸다. 본 실시형태에서는 보충액으로서, 신액, 원액, 및 순수를 사용했을 경우를 예시한다.

제어 신호를 받은 제어 밸브(41, 43, 44)는, 그 제어 신호에 의거하여 소정 시간 유로를 개방시킨다. 제어 밸브는, 미리 개방 시의 유량이 설정되어 있다. 그 때문에, 소정 시간 유로를 개방시킴으로써 소정량의 보충액이 공급된다.

예를 들면, TMAH 수용액(현상액)의 알칼리 성분 농도를 2.38%로 관리하는 제어는 다음과 같다. 측정부(210)와 연산부(220)에 의해 측정되어 산출된 알칼리 성분 농도가 2.38%보다 낮을 때에는, 보충액용 배관인 배관(81)에 마련되어진 제어 밸브(41)를 소정 시간 개방하고, 현상액 원액 저류 용기(91)에 준비해 둔 현상액의 원액(20% TMAH 수용액)을 보급한다. 현상액의 원액은, 송액 펌프(71)에 의해 배관(81)을 통해 현상 공정 설비(1)에 송액된다. 알칼리 성분 농도가 2.38%보다 높을 때에는, 보충액용 배관인 배관(83)에 마련되어진 제어 밸브(43)를 소정 시간 개방하고, 보충액으로서 순수를 보급한다. 순수는, 배관(83)을 통해 현상 공정 설비(1)에 송액된다.

마찬가지로, 용해 수지 농도를 소정의 관리 농도 이하로 관리하는 제어는, 다음과 같다. 측정부(210)와 연산부(220)에 의해 측정되어 산출된 용해 수지의 농도가 소정의 관리값보다 높을 때에는, 신액용 배관인 배관(84)에 마련되어진 제어 밸브(44)를 소정 시간 개방하고, 신액 저류조(302)에 저류된 현상액의 신액(미사용의 2.38% TMAH 수용액)을 보급한다. 신액 저류조(302)에 저류된 현상액의 신액은, 송액 펌프(373)에 의해서, 배관(84)을 통해 현상 공정 설비(1)에 송액된다.

예를 들면, 제어 장치(331)를 현상 공정 설비(1)와 접속해 둔다. 이 경우, 현상 공정 설비(1)로부터 신액 공급 리퀘스트 신호를 받았을 때에, 제어 장치(331)가 제어 밸브(343)를 개방시키도록 할 수 있다. 또한, 현상액 관리 장치(2)와 제어 장치(331)를 접속해 두면, 현상액 관리 장치(2)가 보충액으로서 신액을 보급하는 타이밍에서, 현상액 조제 장치(3)로부터 현상 공정 설비(1)로 현상액의 신액을 공급하도록 할 수도 있다. 이 경우, 신액용 배관인 배관(84)에는 제어 밸브(44)가 있으므로, 제어 밸브(343)를 생략해도 된다. 이와 같이 하여, TMAH 수용액의 알칼리 성분 농도가 2.38%로, 용해 수지 농도가 소정의 관리값 이하로, 농도 관리된다. 농도 관리는, 예를 들면 PID 제어(Proportional-Integral-Differential Control) 등에 의해 행해진다.

보충액용 배관인 배관(81, 83)에는, 적산 유량계(51, 53)가 마련되어져 있다. 또한 신액용 배관인 배관(84)에는, 적산 유량계(54)가 마련되어져 있다. 적산 유량계(51, 53, 54)는, 배관(81, 83, 84)을 통해 공급된 보충액의 적산 유량을 측정한다. 현상액 관리 장치(2)에 의해 공급된 보충액은, 적산 유량계(51, 53, 54)를 통과한 후, 순환 관로(185)를 통해, 현상액 저류조(161)에 보급된다. 적산 유량계(51, 53, 54)는, 통신 기능을 구비하는 것이 바람직하다. 통신 기능을 구비하고 있으면, 적산 유량계를 네트워크에 접속시킬 수 있다. 측정된 적산 유량의 측정값을, 네트워크를 통해, 파악할 수 있다.

적산 유량계(51, 53, 54)는, 직접적으로 네트워크에 접속될 경우에 한하지 않고, 간접적으로 네트워크에 접속되는 것이어도 된다. 예를 들면, 적산 유량계(51, 53, 54)가, 현상액 관리 장치(2) 내에서, 현상액 관리 장치(2)의 연산이나 제어의 기능을 담당하는 컴퓨터에 접속되고, 네트워크에는 현상액 관리 장치(2)가 접속되는 것 같은 태양으로, 간접적으로 네트워크에 접속되는 것이어도 된다.

또한, 적산 유량계(51, 53, 54)가 접속되는 네트워크는, 공장 내의 로컬 에어리어 네트워크여도 되고, 인터넷 등의 광역적인 네트워크여도 된다.

이상과 같이, 본 실시형태의 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템에 의해 약액의 농도 관리가 실현되어, 기판 제조자는 항상 최적의 상태로 관리된 약액을 이용하여 기판을 처리할 수 있다. 이 때, 보충액을 공급하는 배관에 구비된 적산 유량계에 의해, 공급된 보충액의 적산 유량이 계측된다. 보충액의 적산 유량이 계측되므로, 보충액의 공급량에 근거하는 합리적인 요금 산출이 가능해진다.

도 1에 나타낸 본 실시형태의 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템은, 어디까지나 예시이다. 본 발명의 약액 조제 장치와 농도 관리 장치와 적산 유량계를 구비한 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템은 이 태양에 한정되지 않는다. 농도 관리 장치의 일례인 도 1의 현상액 관리 장치(2)에서는, 각 구성 요소가 일체로 구성된 장치를 도시하였지만, 측정부(210) 등이, 별체로 되어 있어도 된다. 측정부(210)의 내부 구성 등도, 도 1에 한정되지 않으며, 약액의 종류 등에 의해 각종의 태양을 취할 수 있다.

본 발명의 약액 조제 장치와 농도 관리 장치와 적산 유량계를 구비한 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템은, 요약하면, 약액으로 기판을 처리하는 각종 태양의 기판 처리 장치에서 반복 사용되는 약액의 농도를 측정하여 보충액을 보급함으로써 약액의 농도를 관리하는 각종 태양의 농도 관리 장치와, 약액의 신액을 자동적으로 조제하는 각종 태양의 약액 조제 장치와, 농도 관리 장치에 의해 기판 처리 장치의 약액에 보급되는 보충액이 송액되는 배관(보충액용 배관, 및, 신액용 배관 중의 적어도 어느 하나)과, 그 배관에 보충액의 적산 유량을 계측하는 적산 유량계를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다. 또한, 그 적산 유량계가 통신 기능을 구비하고 있으면, 바람직하다. 또, 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템에 있어서, 보충액이 유통되는 모든 배관에 적산 유량계를 마련할 필요는 없다. 예를 들면, 순수를 공급하는 배관에는 적산 유량계가 생략될 경우가 있다.

통신 기능을 구비한 적산 유량계로서는, 예를 들면 KEYENCE사의 코리올리식 디지털 유량 센서 FD-S 시리즈 등이 알려져 있다. 통신 유닛을 부착함으로써, 측정한 적산 유량 데이터 등의 다양한 데이터를, PC 등과 통신할 수 있다. 따라서, 적산 유량을 원격에서 모니터할 수 있다.

[제 2 실시형태]

도 2는, 본 실시형태의 약액 재생 장치와 농도 관리 장치와 적산 유량계를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템을 설명하기 위한 모식도이다.

도 2에서는, 기판 처리 장치의 일례인 현상 공정 설비(1)에서 사용된 약액이, 약액 재생 장치의 일례인 현상액 재생 장치(4)에 의해 재이용 가능하게 재생된다. 현상액 재생 장치(4)에 의해 재생된 재생액인 재생 현상액은, 보충액의 하나로서 현상 공정 설비(1)에 공급된다. 현상액 재생 장치(4)는 재생액용 배관인 배관(85)을 통해 현상 공정 설비(1)와 접속되어 있다.

또한, 도 2의 농도 관리 장치의 일례인 현상액 관리 장치(2)에서는, 제 1 실시형태와 달리, 제어 밸브(41, 42, 43, 45), 및 배관(81, 82, 83, 85)이 현상액 관리 장치(2)와 일체의 태양이다. 도 2 에 나타나 있는 바와 같이, 보충액용 배관인 배관(81, 82, 83)은, 각각 현상액 원액 저류 용기(91), 현상액 신액 저류 용기(92), 및 순수 공급구에 접속되어 있다. 배관(81, 82, 83, 85)에는, 각각 적산 유량계(51, 52, 53, 55)가 구비되어 있다.

적산 유량계(51, 52, 53, 55)는, 배관(81, 82, 83, 85)을 통해 공급된 보충액의 적산 유량을 측정한다. 현상액 관리 장치(2)에 의해 공급된 보충액은, 적산 유량계(51, 52, 53, 55)를 통과한 후, 순환 관로(185)를 통해, 현상액 저류조(161)에 보급된다.

제 2 실시형태에서는, 배관(82)에는 밸브(49)가 구비되며, 배관(82)이 현상액 신액 저류 용기(92)에 접속된다. 현상액 신액 저류 용기(92)에는, 미리 현상액의 신액(미사용의 2.38% TMAH 수용액)이 저류되며, 이 신액이 보충액으로서 현상액 저류조(161)에 보급된다. 제 2 실시형태에서는, 제 1 실시형태와 달리 현상액 조제 장치를 사용하지 않고 신액이 준비된다.

현상액 원액 저류 용기(91) 및 현상액 신액 저류 용기(92)는, 질소 가스용 배관인 배관(89)과 접속되며, 배관(89)을 통해 도입되는 질소 가스에 의해서 가압된다. 제 2 실시형태에서는 제 1 실시형태와 달리 송액 펌프가, 배관(81)에 구비되어 있지 않다.

현상액 원액 저류 용기(91) 및 현상액 신액 저류 용기(92)의 저류되어 있는 보충액은, 제어 밸브(41, 42)가 개방됨으로써, 압송된다. 현상액 원액 저류 용기(91)로 질소 가스를 안내하는 배관(89)에는 제어 밸브(46)가, 현상액 신액 저류 용기(92)로 질소 가스를 안내하는 배관(89)에는 제어 밸브(47)가 구비되어 있다. 제어 밸브(46, 47)는, 각 저류 용기 내의 액의 감소 상태에 따라 적절하게 개폐 제어되어, 각 저류 용기의 내압이 유지된다.

현상액 관리 장치(2)는 제어부(230)를 구비하며, 제어부(230)는, 보충액 공급용의 배관(81, 82, 83, 85)에 마련되어진 제어 밸브(41, 42, 43, 45)와, 제어용의 신호선(251, 252, 253, 255)에 의해, 접속되어 있다. 제어 블록(231)은, 연산부(220)에서 산출된 현상액의 농도에 따라, 어떤 보충액을 얼만큼 보충할지를 결정하고, 보충액을 송액하는 배관에 마련되어진 제어 밸브를 개폐 제어한다.

현상 공정 설비(1), 및 현상액 관리 장치(2)의 구성이나 동작에 대해서는, 제 1 실시형태와 마찬가지이므로, 그 중복되는 설명을 생략한다.

약액 재생 장치의 일례인 현상액 재생 장치(4)는, 주로, 사용된 현상액으로부터 불요물을 제거해서 현상액을 재생하는 필터(461, 462, 463)와, 재생액을 저류해 두는 재생액 저류부인 재생액 저류조(493)와, 현상액 재생 장치(4)의 동작을 제어하는 제어 장치(431)를 구비하고 있다. 제어 장치(431)는 예를 들면 컴퓨터이다. 현상액 재생 장치(4)는, 현상 공정 설비(1)로부터 폐액(드레인)된 현상액을 저류하는 사용이 끝난 현상액 저류 용기(99)와 사용이 끝난 현상액 송액 배관인 배관(88)을 통해 접속되어 있다. 배관(88)에는 송액 펌프(73)가 마련되어져, 사용이 끝난 현상액 저류 용기(99) 내의 현상액이 현상액 재생 장치(4)에 송액된다.

필터(461, 462, 463)는, 배관(88)과 접속되어 있으며, 현상 공정 설비(1)로부터 폐액(드레인)된 현상액이 송액된다. 필터(461, 462, 463)는, 현상액 중의 불요물, 예를 들면 현상액 중에 현탁한 레지스트 잔류물 등을 제거한다. 필터(461, 462, 463)에 의해 재생된 현상액은, 재생액 저류조(493)에 저류된다. 본 실시형태에서는 필터(461, 462, 463)가 약액 재생부를 구성하지만, 이 구조에 한정되지 않는다.

재생액 저류조(493)에 저류된 재생액은, 송액 펌프(471)에 의해 제어 밸브(441)를 통해서, 현상액 재생 장치(4)와 현상 공정 설비(1)를 접속하는 재생액용 배관인 배관(85)에 송액되며, 배관(85)을 통해 현상 공정 설비(1)에 송액된다. 이 때, 배관(85)에 구비된 적산 유량계(55)에 의해, 공급된 재생액의 적산 유량이 계측된다.

제어 밸브(441), 및 재생액 송액 수단의 일례인 송액 펌프(471)는, 각각 신호선(451, 452)에 의해 제어 장치(431)와 접속되어 있다. 제어 밸브(441) 및 송액 펌프(471)는, 제어 장치(431)에 의해 동작 제어된다. 재생액을 송액할 때에는, 제어 장치(431)는, 송액 펌프(471)를 구동하고, 제어 밸브(441)를 개방시킨다. 재생액 송액 수단은 송액 펌프(471)에 한정되지 않는다.

예를 들면, 제어 장치(431)를 현상 공정 설비(1)와 접속해 둔다. 이 경우, 현상 공정 설비(1)로부터 재생액 공급 리퀘스트 신호를 받았을 때에, 제어 장치(431)가 제어 밸브(441)를 개방시키도록 할 수 있다. 또한, 현상액 관리 장치(2)와 제어 장치(431)를 접속해 두면, 현상액 관리 장치(2)가 보충액으로서 재생액을 보급하는 타이밍에서, 현상액 재생 장치(4)로부터 현상 공정 설비(1)로 재생액을 공급하도록 할 수도 있다. 이 경우, 배관(85)에는 제어 밸브(45)가 있으므로, 제어 밸브(441)를 생략해도 된다.

도 2에 나타낸 본 실시형태의 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템은, 어디까지나 예시이다. 본 발명의 약액 재생 장치와 약액 관리 장치와 적산 유량계를 구비한 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템은, 이 태양에 한정되지 않는다.

약액을 재생하는데 이용되는 원리는, 필터에 의한 여과에 한정되지 않는다. 예를 들면, 필터에 의한 여과 대신에, 정석, 전석, 막분리 등을 이용할 수 있다. 약액이나 분리해야 할 불요물의 성질 등에 따라, 적절하게 어울리는 원리에 의한 설비를 이용하는 것이 바람직하다.

또한 도 2에서는, 필터가 3개 병렬로 접속된 태양을 도시하였지만, 필터의 개수는 3개에 한정되지 않는다. 하나여도 된다. 필터는, 사용에 따라 시간 경과적으로 막힘을 일으키는 경우가 있으므로, 그 때의 메인터넌스의 상황을 고려하여, 복수의 필터를 병렬로 구비하는 것이 바람직하다.

본 발명의 본 실시형태의 약액 재생 장치와 농도 관리 장치와 적산 유량계를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템은, 요약하면, 약액으로 기판을 처리하는 각종 태양의 기판 처리 장치에서 반복 사용되는 약액의 농도를 측정해서 보충액을 보급함으로써 약액의 농도를 관리하는 각종 태양의 농도 관리 장치와, 사용된 약액을 재이용 가능하게 재생하는 각종 태양의 약액 재생 장치와, 약액 관리 장치에 의해 기판 처리 장치의 약액에 보급되는 보충액이 송액되는 배관(보충액용 배관, 및, 재생액용 배관 중의 적어도 어느 하나)과, 그 배관에 보충액의 적산 유량을 계측하는 적산 유량계를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다. 또한, 그 적산 유량계가 통신 기능을 구비하고 있으면, 바람직하다. 또, 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템에 있어서, 보충액이 유통되는 모든 배관에 적산 유량계를 마련할 필요는 없다. 예를 들면, 순수를 공급하는 배관에는 적산 유량계가 생략될 경우가 있다.

[제 3 실시형태]

도 3은 본 실시형태의 농도 관리 장치와 약액 조제 장치와 약액 재생 장치와 적산 유량계를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템을 설명하기 위한 모식도이다.

본 실시형태는, 도 1에 나타나 있는 제 1 실시형태의 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템에, 도 2에 나타나 있는 제 2 실시형태에서 설명한 약액 재생 장치의 일례인 현상액 재생 장치(4)를 추가한 것이다. 현상 공정 설비(1), 현상액 관리 장치(2), 현상액 조제 장치(3), 및, 그 밖의 본 실시형태의 구성 물품에 대해서는, 제 1 및 제 2 실시형태와 마찬가지이므로, 그 중복되는 설명을 생략한다.

도 3에 나타낸 본 실시형태의 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템은, 어디까지나 예시이다. 본 발명의 농도 관리 장치와 약액 조제 장치와 약액 재생 장치와 적산 유량계를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템은, 이 태양에 한정되지 않는다.

본 발명의 농도 관리 장치와 약액 조제 장치와 약액 재생 장치와 적산 유량계를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템은, 요약하면, 약액으로 기판을 처리하는 각종 태양의 기판 처리 장치에서 반복 사용되는 약액의 농도를 측정해서 보충액을 보급함으로써 약액의 농도를 관리하는 각종 태양의 농도 관리 장치와, 약액의 신액을 자동적으로 조제하는 각종 태양의 약액 조제 장치와, 사용된 약액을 재이용 가능하게 재생하는 각종 태양의 약액 재생 장치와, 농도 관리 장치에 의해 기판 처리 장치의 약액에 보급되는 보충액이 송액되는 배관(신액용 배관, 보충액용 배관, 및, 재생액용 배관 중의 적어도 어느 하나)과, 그 배관에 보충액의 적산 유량을 계측하는 적산 유량계를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다. 또한, 그 적산 유량계가 통신 기능을 구비하고 있으면, 바람직하다. 또, 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템에 있어서, 보충액이 유통되는 모든 배관에 적산 유량계를 마련할 필요는 없다. 예를 들면, 순수를 공급하는 배관에는 적산 유량계가 생략될 경우가 있다.

[제 4 실시형태]

도 4는 통신 기능을 갖는 적산 유량계를 구비한 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템을 설명하기 위한 모식도이다. 제 1 내지 제 3 실시형태와 동일한 구성에는 동일한 부호를 부여하고 설명을 생략할 경우가 있다.

도 4는, 도 3을 사용하여 설명한 제 3 실시형태의 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템에 있어서의 적산 유량계(51, 53, 54, 55)가, 신호선(60)에 의해 네트워크에 직접 접속되어 있는 태양을 나타내고 있다. 단, 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템은, 이것에 한정되지 않는다. 약액 관리 시스템 자체는, 제 1 로부터 제 3 까지의 각 실시형태에서 설명한 바와 같은, 어느 태양의 약액 관리 시스템이어도 된다. 요점은, 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템이, 통신 기능을 갖는 적산 유량계를 구비하고 있다는 것이다.

본 실시형태의 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템은, 적산 유량계가 통신 기능을 갖고 있으므로, 적산 유량계를 네트워크에 직접 접속시킬 수 있다. 네트워크 경유로 적산 유량계가 계측하는 적산 유량을 감시할 수 있다.

[제 5 실시형태]

도 5는 통신 기능을 갖는 적산 유량계를 구비한 다른 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템을 설명하기 위한 모식도이다. 제 1 내지 제 4 실시형태와 동일한 구성에는 동일한 부호를 부여하고 설명을 생략할 경우가 있다.

도 5의 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템은, 약액 관리 시스템 전체를 관리하고 제어하는 시스템 제어 컴퓨터(31)를 구비한다. 시스템 제어 컴퓨터(31)는, 현상 공정 설비(1)의 제어 장치(131), 현상액 관리 장치(2)의 연산 제어부(225), 현상액 조제 장치(3)의 제어 장치(331), 및, 현상액 재생 장치(4)의 제어 장치(431)와, 각각 신호선(61, 62, 63, 64)을 통해 접속된다. 현상 공정 설비(1)의 제어 장치(131)는, 현상 공정 설비(1)의 각 부의 상황을 감시하고, 현상 공정 설비(1)가 원활하면서 또한 적절하게 동작하도록 현상 공정 설비(1) 전체를 제어하고 있다. 또, 현상 공정 설비(1)의 제어 장치(131)와 현상 공정 설비(1)의 각 부를 접속시키는 신호선 등은 도시하는 것을 생략했다. 제어 장치(131), 연산 제어부(225), 제어 장치(331), 및, 제어 장치(431)로서, 예를 들면 컴퓨터를 들 수 있다.

약액 관리 시스템의 시스템 제어 컴퓨터(31)는, 신호선(65)에 의해 적산 유량계(51, 53, 54, 55)와도 접속된다. 시스템 제어 컴퓨터(31)는, 또한 신호선(69)에 의해 네트워크에 접속된다.

시스템 제어 컴퓨터(31)는, 현상 공정 설비(1), 현상액 관리 장치(2), 현상액 조제 장치(3), 현상액 재생 장치(4)와 접속되므로, 각 장치의 상태가 파악된다. 시스템 제어 컴퓨터(31)는, 약액의 농도 정보나, 설비, 각 장치의 동작 정보 등에 의거하여 약액 관리 시스템이 원활하게 동작하도록, 약액 관리 시스템 전체를 제어할 수 있다. 또한, 시스템 제어 컴퓨터(31)는 적산 유량계(51, 53, 54, 55) 등과도 접속되어 있으므로, 약액의 농도 정보와 마찬가지로, 공급된 각종 보충액(원액, 재생액, 신액, 순수 등)의 적산 유량의 정보 등도 수집할 수 있다. 또한, 시스템 제어 컴퓨터(31)가 네트워크에 접속되어 있으므로, 적산 유량을 비롯하여, 수집된 각종의 정보를 네트워크 상에서 감시할 수 있다.

제 4 실시형태, 또는 제 5 실시형태에서 설명한 바와 같이, 적산 유량계가 통신 기능을 갖고 있으면, 직접적인지 간접적인지를 불문하고, 적산 유량계를 네트워크에 접속시킬 수 있다. 현상 공정 설비(1)에 공급된 보충액의 공급량(적산 유량)을 네트워크 상에서 원격 감시할 수 있다. 기판 제조자의 공장까지 적산 유량계를 검침하러 가지 않아도, 보충액의 공급량(적산 유량)에 근거한 합리적인 약액 관리 요금을 산출할 수 있다.

또한, 적산 유량계가 접속되는 네트워크는, 공장 내의 로컬 에어리어 네트워크여도 되고, 인터넷 등의 광역적인 네트워크여도 된다.

또, 제 4 및 제 5 실시형태에서 나타나 있는 현상 공정 설비(1), 현상액 관리 장치(2), 현상액 조제 장치(3), 현상액 재생 장치(4)는, 각각 기판 처리 장치, 농도 관리 장치, 약액 조제 장치, 약액 재생 장치의 일례이며, 이들 구성에 한정되지 않는다.

[제 6 실시형태]

다음으로, 통신 기능을 구비한 적산 유량계와 서버 시스템이 접속된 네트워크를 이용한 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템에 대해 설명한다. 도 6은, 기판 제조자의 공장(511, 512, 513, 514, 515)의 적산 유량계(521, 522, 523, 524, 525)와, 네트워크를 통해 접속되는 약액 관리 역무 제공자의 서버 시스템(502)을 구비하는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템(5)의 모식도이다.

도 6에 나타내는 본 실시형태의 기판의 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템(5)은, 약액을 관리하는 역무의 역무 제공자가 갖는 1대의 서버 시스템(502)과, 네트워크(501)를 통해 접속되는 기판 제조자의 공장(511, 512, 513, 514, 515)의 각각 설치된 통신 기능을 갖는 적산 유량계(521, 522, 523, 524, 525)를 구비하고 있다.

기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템(5)을 구성하는 적산 유량계 및 서버 시스템의 수는, 도 6에 기재한 수에 한정되는 것이 아니다. 본 발명의 약액 관리 요금 산출 시스템은, 적어도, 네트워크를 통해 접속되는 1대의 적산 유량계와, 1대의 서버 시스템을 구비하고 있으면 된다.

도 6에서는 상세하게 도시하지 않았지만, 각 공장에서는, 지금까지 각 실시 태양에서 설명해 온 바와 같은 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템이 가동하고 있으며, 각 약액 관리 시스템에서는, 기판 처리 장치에 농도 관리 장치, 약액 조제 장치, 약액 재생 장치 등이 접속되어 있다. 이것들에 의해, 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 약액에 보충액이 공급되어서 약액이 관리된다. 기판 처리 장치에 보충액을 공급하기 위한 배관에는, 통신 기능을 갖는 적산 유량계가 설치된다. 적산 유량계는, 기판 처리 수단에 공급되는 보충액의 공급량을 적산 유량으로서 계측한다. 도 6의 적산 유량계(521, 522, 523, 524, 525)는, 각 공장에 있어서의 이들 적산 유량계를 나타내는 것으로서 모식적으로 도시된 것이다. 각 공장의 기판 처리 시스템은, 통신 기능을 갖는 적산 유량계를 구비하고 있으면, 지금까지 설명한 어느 실시 태양의 것이어도 된다.

통신 기능을 갖는 적산 유량계로서는, KEYENCE사의 코리올리식 디지털 유량 센서 FD-S 시리즈 등을 이용할 수 있다. 적산 유량 등의 계측 데이터를, 인터넷 등의 네트워크를 통해, 원격에서 취득할 수 있다.

서버 시스템(502)은 수신부(503), 기억부(504), 및 연산부(505)를 구비하고 있다. 또한, 서버 시스템(502)은 디스플레이(506)를 구비하고 있다. 서버 시스템(502)은, 네트워크(501)에 접속되어 있는 적산 유량계(521, 522, 523, 524, 525)의 각각에 대하여, 차례대로, 적산 유량의 측정 데이터를 송신하도록, 측정 데이터의 송신 요구 신호를 발신한다. 적산 유량계(521, 522, 523, 524, 525)는, 송신 요구 신호에 따라, 적산 유량의 측정 데이터를 서버 시스템(502)에 송신한다.

이와 같이 하여 서버 시스템(502)의 수신부(503)는, 각 적산 유량계(521, 522, 523, 524, 525)로부터 적산 유량의 측정 데이터를 수신하고, 취득한다. 이 때, 적산 유량의 측정 데이터와 함께, 적산 유량계의 개체 식별 번호(소위 장치 ID)와 측정 일시(즉 측정한 날짜와 시각)를 취득해 둔다. 측정 일시가 아니라, 통신 일시여도 된다.

서버 시스템(502)은, 각 적산 유량계(521, 522, 523, 524, 525)의 개체 식별 번호에 의거하여 적산 유량계(521, 522, 523, 524, 525)마다, 취득한 적산 유량의 계측값과 측정 일시를, 메모리나 하드디스크 등의 기억매체로 구성되는 기억부(504)에 추기(追記)함으로써, 기억한다.

적산 유량계로부터 측정 데이터를 취득하는 스텝을, 소정의 시간 간격(예를 들면 1분 간격이라든지 1시간 간격이라든지)으로 연속적으로 반복함으로써, 보충액의 공급량의 추이(즉 적산 유량의 이력)가 기억된다.

서버 시스템(502)의 기억부(504)에는, 적산 유량계(521, 522, 523, 524, 525)마다 그 적산 유량의 이력이 기억되어 있으므로, 소정 기간(예를 들면 1주일이라든지 1개월이라든지)마다의 보충액의 공급량을 파악할 수 있다. 예를 들면 한달마다 보충액의 공급량을 파악할 경우에는, 이번달의 검침 일시에 있어서의 적산 유량으로부터 저번달의 검침 일시의 적산 유량을 뺌으로써, 이번달의 보충액의 공급량을 구할 수 있다.

서버 시스템(502)은, 또한, 소정 기간에 있어서의 보충액의 공급량으로부터, 당해 소정 기간의 약액 관리 역무의 제공에 관계되는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 계산한다. 예를 들면, 한달마다 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 산출할 필요가 있을 경우에는, 전술한 바와 같이 해서 구해진 적산 유량에, 예를 들면 보충액의 단위 액량당의 요금(단가)을 곱하는 등 해서, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 산출한다. 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출식과 계산에 필요한 정수 등을 서버 시스템(502)의 연산부(505)에 프로그래밍해 두면 된다.

이렇게 해서, 약액 관리 역무 제공자는, 소정 기간마다, 보충액의 적산 유량에 의거하여 합리적으로 산출된 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 기판 제조자에게 청구할 수 있다. 서버 시스템(502)이 기판 처리 장치의 약액 관리 요금의 지불원인 기판 제조자의 컴퓨터와 네트워크로 접속되어 있으면, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금의 청구는, 서버 시스템(502)에 의해 자동적으로 전자적으로 행하는 것이어도 된다. 이 경우에는, 서버 시스템(502)은, 산출된 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 청구하는 청구서를 전자적으로 자동으로 작성하고, 소정 기간마다 당해 청구서를 기판 제조자에게 자동적으로 전자송부하도록, 프로그래밍되어 있으면 된다.

기판 제조자가 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 지불함으로써, 소정 기간마다 약액을 관리하는 역무의 제공이 완결된다. 이와 같이 하여, 네트워크를 이용하여, 각 처의 약액의 농도 관리에 필요로 하는 보충액의 공급량을 원격에서 일원적으로 감시하면서, 약액의 농도 관리의 역무의 제공에 관계되는 약액 관리 요금을 산출한다고 하는, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법이 실현된다. 네트워크를 통해, 각 처에서 약액의 농도 관리를 위해 공급된 보충액의 적산 유량을 원격에서 일원적으로 감시하면서, 약액의 농도를 관리한다고 하는 역무를 제공할 수 있다.

본 실시형태의 네트워크(501)는, 별개의 공장에 설치된 적산 유량계에 의해 구성된 것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 규모가 큰 공장에 복수의 제조라인이 있고, 그 각각의 제조라인에 설치된 적산 유량계를 접속한 비교적 소규모의 로컬 네트워크여도 된다. 예를 들면, 어떤 적산 유량계는 중국의 공장에 설치되고, 어떤 적산 유량계는 대만의 공장에 설치되고, 어떤 적산 유량계는 한국의 공장에 설치되며, 또한 어떤 적산 유량계는 일본의 공장에 설치되는 바와 같이, 각각 세계 각국의 공장에 설치된 적산 유량계를 접속한 세계 규모의 네트워크(예를 들면 인터넷 등)이어도 된다.

이상, 도면을 참조하면서 각 실시형태에 대하여 설명해 온 내용은, 반도체나 액정 디스플레이 기판의 제조 프로세스에서 사용되는 각종의 약액에 대하여도, 마찬가지로 실시가능한 것이다.

본 발명에 따르면, 기판 제조자는, 농도 관리 장치나 약액 재생 장치를 구입하거나 운전하거나 유지관리하거나 하는 부담을 지지 않고, 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 지불하는 것만으로, 원하는 농도로 관리된 약액을 사용할 수 있고, 신액이나 재생액을 입수해서 사용할 수 있다. 그 때문에, 기판 제조자는, 장치의 구입이나 유지관리에 관계되는 코스트의 삭감, 약액 조달이나 폐액 처리에 관계되는 코스트의 삭감, 생산 라인의 가동률이나 수율의 향상, 제조하는 기판의 품질 향상 등에 따르는 다양한 경제적 메리트를 향수할 수 있다.

본 발명에 따르면, 역무 제공자는, 본 발명에 의해 실현 가능해지는 비지니스 방법에 의해, 장치를 판매할 경우에 비해, 계속적으로 안정한 수익을 얻을 수 있다. 또한 본 발명에 따르면, 이 새로운 비지니스 방법의 실현에 불가결한 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템이나 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템을 제공할 수 있다. 본 발명에 따르면, 각 사용자의 공장에서 사용되고 있는 적산 유량계를 네트워크에 접속된 서버 시스템에 의해 원격에서 일원적으로 감시할 수도 있다.

1…현상 공정 설비, 2…현상액 관리 장치, 3…현상액 조제 장치, 4…현상액 재생 장치, 5…약액 관리 요금 산출 시스템, 31…시스템 제어 컴퓨터, 41, 42, 43, 44, 45, 46, 47…제어 밸브, 48, 49…밸브, 51, 52, 53, 54, 55…적산 유량계, 60, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 69…신호선, 71, 72, 73…송액 펌프, 80…합류 배관, 81, 82, 83, 84, 85, 86, 87, 88, 89…배관, 91…현상액 원액 저류 용기, 92…현상액 신액 저류 용기, 99…사용이 끝난 현상액 저류 용기, 131…제어 장치, 161…현상액 저류조, 162…오버플로우조, 163…액면계, 164…현상실 후드, 165…롤러 컨베이어, 166…기판, 167…현상액 샤워 노즐, 171…폐액 펌프, 172, 174…순환 펌프, 173, 175…필터, 180…현상액 관로, 185…순환 관로, 210…측정부, 211, 212…측정 수단, 214…샘플링 펌프, 215…샘플링 배관, 216…복귀 배관, 220…연산부, 221…연산 블록, 225…연산 제어부, 230…제어부, 231…제어 블록, 251, 252, 253, 254, 255, 256, 257, 258, 259…신호선, 301…신액 조제조, 302…신액 저류조, 311…농도계, 312, 322…액면계, 331…제어 장치, 341, 342, 343…제어 밸브, 351, 352, 353, 354, 355…신호선, 371, 372…순환 펌프, 373…송액 펌프, 380…연통관, 381, 382…순환 관로, 431…제어 장치, 441…제어 밸브, 451, 452…신호선, 461, 462, 463…필터, 471…송액 펌프, 493…재생액 저류조, 501…네트워크, 502…서버 시스템, 503…수신부, 504…기억부, 505…연산부, 506…디스플레이, 511, 512, 513, 514, 515…공장, 521, 522, 523, 524, 525…적산 유량계

Claims

약액(藥液)을 반복 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템으로서,
상기 기판 처리 장치에서 사용되는 상기 약액을 신액(新液)으로서 조제하는 약액 조제부와, 상기 약액 조제부에서 조제된 상기 신액을 저류(貯留)하는 신액 저류부와, 상기 신액 저류부에 저류된 상기 신액을 상기 기판 처리 장치에 송액(送液)하는 신액 송액 수단을 구비하고, 상기 신액이 유통하는 신액용 배관에 의해 상기 기판 처리 장치와 접속된 약액 조제 장치와,
상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 보충액이 유통하는 보충액용 배관에 의해 상기 기판 처리 장치와 접속된, 상기 보충액을 상기 기판 처리 장치에 송액하는 보충액 송액 수단과,
상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액의 농도가, 소정의 농도값 또는 소정의 농도 범위 내가 되도록, 상기 신액 송액 수단, 및, 상기 보충액 송액 수단 중 적어도 어느 하나를 제어하는 농도 관리 장치를 구비하며,
상기 신액용 배관, 및, 상기 보충액용 배관에 적산 유량계를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템.
약액을 반복 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템으로서,
상기 기판 처리 장치에서 사용된 상기 약액을 재생액으로서 재이용 가능하게 재생하는 약액 재생부와, 상기 약액 재생부에서 재생된 상기 재생액을 저류하는 재생액 저류부와, 상기 재생액 저류부에 저류된 상기 재생액을 상기 기판 처리 장치에 송액하는 재생액 송액 수단을 구비하고, 상기 재생액이 유통하는 재생액용 배관에 의해 상기 기판 처리 장치와 접속된 약액 재생 장치와,
상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 보충액이 유통하는 보충액용 배관에 의해 상기 기판 처리 장치와 접속된, 상기 보충액을 상기 기판 처리 장치에 송액하는 보충액 송액 수단과,
상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액의 농도가, 소정의 농도값 또는 소정의 농도 범위 내가 되도록, 상기 재생액 송액 수단, 및, 상기 보충액 송액 수단 중 적어도 어느 하나를 제어하는 농도 관리 장치를 구비하며,
상기 재생액용 배관, 및, 상기 보충액용 배관에 적산 유량계를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템.
약액을 반복 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템으로서,
상기 기판 처리 장치에서 사용되는 상기 약액을 신액으로서 조제하는 약액 조제부와, 상기 약액 조제부에서 조제된 상기 신액을 저류하는 신액 저류부와, 상기 신액 저류부에 저류된 상기 신액을 상기 기판 처리 장치에 송액하는 신액 송액 수단을 구비하고, 상기 신액이 유통하는 신액용 배관에 의해 상기 기판 처리 장치와 접속된 약액 조제 장치와,
상기 기판 처리 장치에서 사용된 상기 약액을 재생액으로서 재이용 가능하게 재생하는 약액 재생부와, 상기 약액 재생부에서 재생된 상기 재생액을 저류하는 재생액 저류부와, 상기 재생액 저류부에 저류된 상기 재생액을 상기 기판 처리 장치에 송액하는 재생액 송액 수단을 구비하고, 상기 재생액이 유통하는 재생액용 배관에 의해 상기 기판 처리 장치와 접속된 약액 재생 장치와,
상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 보충액이 유통하는 보충액용 배관에 의해 상기 기판 처리 장치와 접속된, 상기 보충액을 상기 기판 처리 장치에 송액하는 보충액 송액 수단과,
상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액의 농도가, 소정의 농도값 또는 소정의 농도 범위 내가 되도록, 상기 신액 송액 수단, 상기 재생액 송액 수단, 및, 상기 보충액 송액 수단 중 적어도 어느 하나를 제어하는 농도 관리 장치를 구비하며,
상기 신액용 배관, 상기 재생액용 배관, 및, 상기 보충액용 배관에 적산 유량계를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템.
상기 적산 유량계가 통신 기능을 구비하는 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 기판 처리 장치의 약액 관리 시스템.
약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법으로서,
상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에, 적산 유량계를 구비한 배관을 통해 공급되는, 약액 조제 장치에 의해 새롭게 조제된 상기 약액, 및, 보충액의 적산 유량을 상기 적산 유량계에 의해 계측하고,
상기 적산 유량계에 의해 계측된 소정 기간의 적산 유량에 의거하여, 상기 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 산출하는 것,
을 포함하는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법.
약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법으로서,
상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에, 적산 유량계를 구비한 배관을 통해 공급되는, 약액 재생 장치에 의해 상기 기판 처리 장치에서 사용된 상기 약액으로부터 재이용가능하게 재생된 재생액, 및, 보충액의 적산 유량을 상기 적산 유량계에 의해 계측하고,
상기 적산 유량계에 의해 계측된 소정 기간의 적산 유량에 의거하여, 상기 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 산출하는 것,
을 포함하는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법.
약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법으로서,
상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에, 적산 유량계를 구비한 배관을 통해 공급되는, 약액 조제 장치에 의해 새롭게 조제된 상기 약액, 약액 재생 장치에 의해 상기 기판 처리 장치에서 사용된 상기 약액으로부터 재이용가능하게 재생된 재생액, 및, 보충액의 적산 유량을 상기 적산 유량계에 의해 계측하고,
상기 적산 유량계에 의해 계측된 소정 기간의 적산 유량에 의거하여, 상기 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 산출하는 것,
을 포함하는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법.
약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 접속되며 약액 조제 장치에 의해 새롭게 조제된 상기 약액이 유통하는 배관, 및, 보충액이 유통하는 배관에 각각 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계, 및, 서버 시스템이 접속된 네트워크를 이용해서 상기 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 산출하는 방법에 있어서,
상기 서버 시스템이 상기 네트워크를 통해 상기 각 적산 유량계가 계측한 적산 유량을 취득하는 스텝과,
상기 서버 시스템이 취득한 상기 적산 유량의 이력을 상기 적산 유량계마다 기억하는 스텝과,
상기 서버 시스템이 상기 이력에 의거하여 상기 기판 처리 장치마다 소정 기간에 있어서의 약액 관리 요금을 산출하는 스텝,
을 포함하는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법.
약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 접속되며 약액 재생 장치에 의해 상기 기판 처리 장치에서 사용된 상기 약액으로부터 재이용가능하게 재생된 재생액이 유통하는 배관, 및, 보충액이 유통하는 배관에 각각 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계, 및, 서버 시스템이 접속된 네트워크를 이용해서 상기 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 산출하는 방법에 있어서,
상기 서버 시스템이 상기 네트워크를 통해 상기 각 적산 유량계가 계측한 적산 유량을 취득하는 스텝과,
상기 서버 시스템이 취득한 상기 적산 유량의 이력을 상기 적산 유량계마다 기억하는 스텝과,
상기 서버 시스템이 상기 이력에 의거하여 상기 기판 처리 장치마다 소정 기간에 있어서의 약액 관리 요금을 산출하는 스텝,
을 포함하는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법.
약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 접속되며 약액 조제 장치에 의해 새롭게 조제된 상기 약액이 유통하는 배관, 약액 재생 장치에 의해 상기 기판 처리 장치에서 사용된 상기 약액으로부터 재이용가능하게 재생된 재생액이 유통하는 배관, 및, 보충액이 유통하는 배관에 각각 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계, 및, 서버 시스템이 접속된 네트워크를 이용해서 상기 기판 처리 장치의 약액 관리 요금을 산출하는 방법에 있어서,
상기 서버 시스템이 상기 네트워크를 통해 상기 각 적산 유량계가 계측한 적산 유량을 취득하는 스텝과,
상기 서버 시스템이 취득한 상기 적산 유량의 이력을 상기 적산 유량계마다 기억하는 스텝과,
상기 서버 시스템이 상기 이력에 의거하여 상기 기판 처리 장치마다 소정 기간에 있어서의 약액 관리 요금을 산출하는 스텝,
을 포함하는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 방법.
약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 새롭게 조제된 상기 약액이 유통하는 배관에 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계와,
상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 보충액이 유통하는 배관에 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계와,
상기 각 적산 유량계와 네트워크를 통해 접속되는 서버 시스템을 구비하며,
상기 서버 시스템은,
상기 네트워크를 통해 상기 각 적산 유량계가 계측한 적산 유량을 수신하는 수신부와,
수신한 상기 적산 유량의 이력을 상기 적산 유량계마다 기억하는 기억부와,
상기 이력에 의거하여 상기 기판 처리 장치마다 소정 기간에 있어서의 약액 관리 요금을 산출하는 연산부,
를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템.
약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 사용된 상기 약액을 재이용 가능하게 재생한 재생액이 유통하는 배관에 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계와,
상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 보충액이 유통하는 배관에 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계와,
상기 각 적산 유량계와 네트워크를 통해 접속되는 서버 시스템을 구비하며,
상기 서버 시스템은,
상기 네트워크를 통해 상기 각 적산 유량계가 계측한 적산 유량을 수신하는 수신부와,
수신한 상기 적산 유량의 이력을 상기 적산 유량계마다 기억하는 기억부와,
상기 이력에 의거하여 상기 기판 처리 장치마다 소정 기간에 있어서의 약액 관리 요금을 산출하는 연산부,
를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템.
약액을 사용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 새롭게 조제된 상기 약액이 유통하는 배관에 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계와,
상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 사용된 상기 약액을 재이용 가능하게 재생한 재생액이 유통하는 배관에 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계와,
상기 기판 처리 장치에서 반복 사용되고 있는 상기 약액에 보급되는 보충액이 유통하는 배관에 구비된 통신 기능을 갖는 적산 유량계와,
상기 각 적산 유량계와 네트워크를 통해 접속되는 서버 시스템을 구비하며,
상기 서버 시스템은,
상기 네트워크를 통해 상기 각 적산 유량계가 계측한 적산 유량을 수신하는 수신부와,
수신한 상기 적산 유량의 이력을 상기 적산 유량계마다 기억하는 기억부와,
상기 이력에 의거하여 상기 기판 처리 장치마다 소정 기간에 있어서의 약액 관리 요금을 산출하는 연산부,
를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 관리 요금 산출 시스템.