KR20180104674A - 기판을 처리하는 방법 - Google Patents

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KR20180104674A
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티모시 마이클 밀러
조셉 윌리엄 소퍼
로스 존슨 스튜어트
게리 칼 웨버
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코닝 인코포레이티드
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Abstract

본 발명은 기판을 처리하는 방법에 관한 것으로, 기판에 결합된 캐리어의 적어도 하나의 외측 부분에 대해 웨지를 가압하는 단계를 포함한다. 방법은 기판과 캐리어 사이에 외측 주변 결합 계면의 위치에서 탈거를 개시하는 단계를 추가로 포함한다. 탈거 개시 단계는 웨지와 기판의 외측 엣지 부분 사이에 상대 이동을 제공함으로써 달성된다.

Description

기판을 처리하는 방법
본 출원은 2016년 1월 21일자로 출원된 미국 가출원번호 제US 62/281,302호에 의거하여 우선권을 주장하였으며, 이의 내용은 본 명세서에 참고로 병합된다.
본 개시는 일반적으로 기판을 처리하는 방법에 관한 것으로, 더욱 특별하기로 기판과 캐리어 사이에 외측 주변 결합 계면의 위치에서 탈거를 개시함으로써 기판을 처리하는 방법에 관한 것이다.
플렉시블 전자 장치 또는 다른 기기의 제조에서 얇고 플렉시블(flexible) 유리의 사용에 대한 관심을 갖는다. 플렉시블 유리는 전자 장치, 예컨대 액정표시장치(LCD), 전기영동 디스플레이(EPD), 유기발광다이오드 디스플레이(OLED), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 터치 센서, 광전지(photovoltaics) 등의 제조 또는 성능과 관련하여 여러 유익한 특성을 가질 수 있다. 플렉시블 유리를 사용하는 일 구성요소는 유리를 시트 형식으로 취급할 수 있다는 점이다.
플렉시블 유리의 처리 동안에 플렉시블 유리를 취급하는 일 방식으로, 플렉시블 유리는 결합제를 사용하여 비교적 경질의 캐리어에 결합된다. 일단 캐리어에 결합되면, 캐리어의 비교적 경질의 특성과 크기가 플렉시블 유리에 바람직하지 않은 굽힘 또는 손상없이 결합된 구조로 생산 중에 취급되도록 한다. 예컨대, 플렉시블 유리는 캐리어에 결합될 수 있으며, 그런 다음에 기능성 구성요소(예컨대, 칼라 필터, 터치 센서, 또는 박막 트랜지스터(TFT) 구성요소)가 플렉시블 유리에 부착되어 액정표시장치(LCD)의 생산에 사용될 수 있는 유리 기판을 생산될 수 있다.
예컨대 취급 및/또는 다른 처리 단계가 완료되면, 기판에서 캐리어를 제거할 때가 있을 수도 있다. 하지만, 기판의 민감한 본질로 인해, 캐리어를 제거하려고 시도할 때 캐리어 및/또는 캐리어에 결합된 기판에 불행하게도 손상이 발생할 수 있다. 예컨대, 강력한 결합 계면을 위해 상당한 외력이 가해질 필요가 있는데 이러한 외력은 캐리어를 기판에서 박리하려고 시도할 때 캐리어 및/또는 기판을 손상시킬 수 있다. 덧붙여서, 예리한 물체로 결합 계면을 약화시키려는 시도는 캐리어 및/또는 결합된 기판에 더 많은 수축 응력을 도입할 수 있어, 캐리어 및/또는 결합된 기판을 손상시킬 수 있다. 따라서, 캐리어 및/또는 캐리어에 부착된 기판에 손상을 입히지 않고 캐리어로부터 기판을 분리하기 위한 실용적인 해결책이 필요하다.
다음은 상세한 설명에 기술된 몇몇 실시예의 기본적인 이해를 제공하기 위해 본 발명의 간추려진 요약을 제공한다. 본 발명의 실시예는 기판(예컨대, 하나 이상의 단일 기판 또는 2개 이상의 단일 기판의 스택)을 처리하는 방법을 제공한다.
본 명세서 전반에 걸쳐 단일 기판은 단일 유리 기판(예컨대, 단일 플렉시블 유리 기판 또는 단일 경질 유리 기판), 단일 유리-세라믹 기판, 단일 세라믹 기판, 또는 단일 실리콘 기판을 포함한 광범위한 기판으로 이루어질 수 있다. 몇몇 실시예에서, 단일 기판은 단일 블랭크 유리 기판(예컨대, 다운-인발 퓨전 공정 또는 다른 기술로 생산된 유리 리본에서 분리될 수 있는 오염되지 않은 면을 포함한 유리 시트), 단일 블랭크 유리-세라믹 기판, 또는 단일 블랭크 실리콘 기판(예컨대, 단일 블랭크 실리콘 웨이퍼)와 같은 물질의 단일 블랭크 기판으로 이루어질 수 있다. 단일 블랭크 유리 기판으로 제공되는 경우에, 단일 블랭크 유리 기판은 투명, 반투명, 불투명할 수 있으며, 선택적으로 단일 블랭크 유리 기판의 제1 주 표면에서 제2 주 표면까지 단일 블랭크 유리 기판의 전체 두께에 걸쳐 동일한 유리 조성물을 포함할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 단일 블랭크 유리 기판은 화학적으로 강화된 단일 블랭크 유리 기판으로 이루어질 수 있다.
본 발명에서 임의의 단일 기판이 선택적으로 광범위한 기능성을 포함할 수 있다. 예컨대, 단일 유리 기판은 단일 기판을 디스플레이, 터치 센서 구성요소, 또는 다른 장치에 통합되거나 광을 변환시킬 수 있도록 하는 특징을 포함할 수 있다. 예컨대, 단일 유리 기판은 칼라 필터, 편광기, 박막 트랜지스터(TFT) 또는 다른 구성요소를 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 만약 단일 기판이 단일 실리콘 기판으로 제공되면, 단일 실리콘 기판은 직접회로, 광전지소자, 또는 다른 전기 구성요소에 통합되게 하는 특징을 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 기판은 단일 기판의 스택(stack), 예컨대 전술된 단일 기판들 중 임의의 하나 또는 이들의 조합으로 이루어질 수 있다. 단일 기판의 스택은 서로 결합될 인접해 있는 단일 기판들의 마주하는 주 표면들을 갖춰 서로에 대해 적층된 2개 이상의 단일 기판으로 조립될 수 있다. 단지 일 실시예에서, 단일 기판들의 스택은 단일 유리 기판들의 스택으로 이루어질 수 있다. 예컨대, 제1 단일 유리 기판은 칼라 필터를 포함할 수 있고 제2 단일 유리 기판은 박막 트랜지스터를 포함할 수 있다. 제1 및 제2 단일 유리 기판은 디스플레이 분야용 디스플레이 패널로 형성될 수 있는 단일 기판의 스택과 같이 예컨대 엣지 결합(edge bond)으로 함께 결합될 수 있다. 이와 같이, 본 발명의 기판들은 임의의 하나 이상의 단일 기판 또는 전술된 단일 기판들의 스택을 포함할 수 있다.
본 발명은 기판에 결합된 하나 이상의 캐리어에서 앞서 언급된 기판을 제거할 수 있는 다양한 방법을 포함한다. 몇몇 실시예에서, 기판(예컨대, 하나 이상의 단일 기판, 단일 기판의 스택)은 하나 이상의 캐리어에서 제거가능하게 결합된다. 몇몇 실시예에서, 기판의 제1 주 표면은 단일 캐리어에 결합된다. 다른 실시예에서, 기판의 양쪽 주 표면은 각각의 캐리어에 결합될 수 있는데, 기판은 2개의 캐리어 사이에 위치선정된다.
캐리어(들)에 기판을 결합한 후의 어느 시점에서, 기판에 손상없이 캐리어(들)을 제거할 수 있다. 본 발명은 캐리어(들)에 결합된 기판과 접촉되지 않고 캐리어(들)의 분리를 가능하게 하는 실시예들을 제공한다. 결과적으로, 기판과 접촉하는 종래의 기술로 인한 손상이 배제될 수 있다. 덧붙여서, 본 발명은 캐리어에 결합된 기판에서 캐리어를 완전히 제거(예컨대, 박피)하기 전에 캐리어에 결합된 기판과 캐리어 사이에 탈거를 개시할 수 있는 기술을 제공한다. 탈거가 개시되는 결합 계면의 개시 위치는 결합 계면에 바람직한 취약 지점으로 제공된다. 이와 같이, 후속 박피(peeling) 기술은 탈거가 이미 개시되고 있기 때문에 현저히 작은 외력을 수반할 수 있다. 캐리어를 완전히 제거(예컨대, 박피)를 위한 최대 인가 외력이 감소됨으로써, 기판에 가해질 관련 응력 또한 감소할 수 있으며, 이로 인해 기판에 손상 가능성을 줄일 수 있다.
일 실시예에서, 방법은 제1 캐리어의 제1 주 표면에서 제거가능하게 결합된 기판의 제1 주 표면과 제2 캐리어의 제1 주 표면에서 제거가능하게 결합된 기판의 제2 주 표면을 갖는 기판을 처리한다. 기판의 외측 엣지 부분은 제1 캐리어의 외측 부분과 제2 캐리어의 외측 부분 사이에 배치된다. 방법은 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분에 대해 웨지를 가압하는 단계(Ⅰ)를 포함할 수 있다. 방법은 기판과 제1 캐리어 사이에 외측 주변 결합 계면의 위치에서 탈거를 개시하는 단계(Ⅱ)를 추가로 포함할 수 있다. 탈거 개시 단계는 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분을 떼어내기 위해 웨지와 기판의 외측 엣지 부분 사이에 상대 이동을 제공함으로써 달성될 수 있다.
다른 실시예에서, 단계(Ⅰ)과 단계(Ⅱ)는 웨지로 기판의 임의의 부분과 접촉되지 않고 진행될 수 있다.
다른 실시예에서, 삽입공구의 제1 부분은 웨지를 한정하는 테이퍼진 두께를 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 단계(Ⅱ) 이후에, 방법은 기판에서 제1 캐리어의 추가 부분을 탈거하기 위해 삽입공구로 제1 캐리어의 탈거 부분과 제2 캐리어 사이에 거리를 증가시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 삽입공구는 일정한 두께를 갖는 제2 부분을 추가로 포함할 수 있다. 방법은 적어도 제1 및 제2 캐리어의 떼어낸 외측 부분의 마주보는 내측 표면들이 삽입공구의 제2 부분의 일정한 두께와 동일한 거리만큼 이격될 때까지 웨지와 기판의 외측 엣지 부분 사이에 거리를 줄이는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 삽입공구의 제2 부분의 일정한 두께는 단계(Ⅰ)의 시작시에 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분의 마주보는 내측 표면들 사이에 거리보다 약 20 미크론 내지 약 40 미크론 더 커질 수 있다.
다른 실시예에서, 삽입공구의 제2 부분은 일정한 두께를 한정하는 대향된 외측 평행 표면을 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 단계(Ⅱ) 이후에, 방법은 기판에서 제1 캐리어의 추가 부분을 탈거하기 위해 제1 캐리어의 외측 부분의 내측 표면과 맞물리는 삽입공구의 제2 부분의 표면으로 제1 캐리어의 탈거 부분과 제2 캐리어 사이에 거리를 증가시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 방법은 단계(Ⅱ) 동안에 제2 캐리어의 굽힘을 억제하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 방법은 단계(Ⅱ) 동안에 제2 캐리어의 굽힘을 억제하기 위해 플레이트에 제2 캐리어의 제2 주 표면을 제거가능하게 부착하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 플레이트는 진공 플레이트로 이루어질 수 있고, 방법은 단계(Ⅱ) 동안에 제2 캐리어의 굽힘을 억제하기 위해 진공 플레이트에 제2 캐리어의 제2 주 표면을 진공 부착하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 기판은 유리 기판과 실리콘 기판 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 기판은 약 50 미크론 내지 약 300 미크론의 두께를 갖는 단일 유리 기판을 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 제1 캐리어와 제2 캐리어 중 적어도 하나는 약 200 미크론 내지 약 700 미크론의 두께를 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 제1 및 제2 캐리어 중 적어도 하나와 기판 사이에 세트백 측방향 거리는 약 2mm 내지 약 10mm 일 수 있다.
다른 실시예에서, 단계(Ⅱ) 이후에, 방법은 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분을 떼어내기 위해 기판의 외측 엣지 부분과 웨지 사이에 상대 이동을 제공함으로써 기판과 제2 캐리어 사이에 외측 주변 결함 계면의 위치에서 탈거를 개시하는 단계(Ⅲ)를 추가로 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 방법은 단계(Ⅲ) 동안에 제1 캐리어의 굽힘을 억제하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 방법은 단계(Ⅲ) 동안에 제1 캐리어의 굽힘을 억제하기 위해 진공 플레이트에 제1 캐리어의 제2 주 표면을 진공 부착하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 단계(Ⅲ) 이후에, 방법은 기판에서 제1 캐리어와 제2 캐리어 중 하나를 완전히 제거하는 단계(Ⅳ)를 추가로 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 단계(Ⅳ) 이후에, 방법은 기판에서 제1 캐리어와 제2 캐리어 중 나머지 하나를 완전히 제거하는 단계(Ⅴ)를 추가로 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 방법은 제1 캐리어의 제1 주 표면에서 제거가능하게 결합된 유리 기판의 제1 주 표면과 제2 캐리어의 제1 주 표면에서 제거가능하게 결합된 유리 기판의 제2 주 표면을 갖는 유리 기판을 처리한다. 유리 기판의 외측 엣지 부분은 제1 캐리어의 외측 부분과 제2 캐리어의 외측 부분 사이에 배치된다. 방법은 제2 캐리어의 굽힘을 억제하기 위해 플레이트에 제2 캐리어의 제2 주 표면을 제거가능하게 부착하는 단계(Ⅰ)를 포함한다. 방법은 제2 캐리어의 제2 주 표면이 플레이트에 부착되어 있는 동안에 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분에 대해 삽입공구의 웨지를 가압하는 단계(Ⅱ)를 추가로 포함한다. 방법은 제2 캐리어의 제2 주 표면이 플레이트에 부착되어 있는 동안에 유리 기판과 제1 캐리어 사이의 외측 주변 결함 계면의 위치에서 탈거를 개시하는 단계(Ⅲ)를 추가로 포함한다. 탈거 개시는 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분을 떼어내기 위해 유리 기판의 외측 엣지 부분와 웨지 사이에서 상대 이동을 제공함으로써 달성될 수 있다. 단계(Ⅱ)와 단계(Ⅲ)은 웨지로 유리 기판의 임의의 부분과 접촉되지 않고 진행될 수 있다.
다른 실시예에서, 삽입공구는 웨지를 포함하는 제1 부분과 일정한 두께를 갖는 제2 부분을 포함할 수 있다. 방법 적어도 제1 및 제2 캐리어의 떼어낸 외측 부분의 마주보는 내측 표면들이 삽입공구의 제2 부분의 일정한 두께와 동일한 거리만큼 이격될 때까지 웨지와 유리 기판의 외측 엣지 부분 사이에 거리를 줄이는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 단계(Ⅲ) 이후에, 제1 캐리어의 탈거 부분과 제2 캐리어 사이에 거리를 증가시키는 단계를 추가로 포함한다. 거리 증가는 유리 기판에서 제1 캐리어의 추가 부분을 탈거하기 위해 제1 캐리어의 외측 부분의 내측 표면과 맞물리는 삽입공구의 제2 부분의 표면으로 달성될 수 있다.
다른 실시예에서, 방법은 캐리어의 제1 주 표면에서 제거가능하게 결합된 기판의 제1 주 표면을 가진 기판을 처리한다. 방법은 기판의 굽힘을 억제하기 위해 플레이트에 대해 기판의 제2 주 표면을 제거가능하게 부착하는 단계(Ⅰ)를 포함한다. 일단 제거가능하게 부착되면, 기판의 외측 엣지 부분은 캐리어의 외측 부분과 플레이트의 표면 사이에 배치된다. 방법은 캐리어의 외측 부분과 플레이트의 표면에 대해 웨지를 가압하는 단계(Ⅱ)를 추가로 포함할 수 있다. 방법은 기판의 제2 주 표면이 플레이트의 표면에 대해서 제거가능하게 부착되어 있는 동안에 캐리어의 외측 부분과 플레이트의 표면을 떼어내기 위해 기판의 외측 엣지 부분과 웨지 사이에 상대 이동을 제공함으로써 기판과 캐리어 사이에 외측 주변 결함 계면의 위치에서 탈거를 개시하는 단계(Ⅲ)를 추가로 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 단계(Ⅱ)와 단계(Ⅲ)은 웨지로 기판의 임의의 부분과 접촉되지 않고 진행될 수 있다.
다른 실시예에서, 삽입공공구의 제1 부분은 웨지를 한정하는 테이퍼진 두께를 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 단계(Ⅲ) 이후에, 방법은 기판에서 캐리어의 추가 부분을 탈거하기 위해 삽입공구로 캐리어의 탈거 부분과 플레이트의 표면 사이에 거리를 증가시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 삽입공구는 일정한 두께를 갖는 제2 부분을 추가로 포함할 수 있다. 방법은 적어도 캐리어의 내측 표면과 플레이트의 표면이 삽입공구의 제2 부분의 일정한 두께와 동일한 거리만큼 이격될 때까지 웨지와 기판의 외측 엣지 부분 사이에 거리를 줄이는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 삽입공구의 제2 부분의 일정한 두께는 단계(Ⅱ)의 시작시에 캐리어의 내측 표면과 플레이트의 표면 사이에 거리보다 약 20 미크론 내지 약 40 미크론 더 커질 수 있다.
다른 실시예에서, 삽입공구의 제2 부분은 일정한 두께를 한정하는 대향된 외측 평행 표면을 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 단계(Ⅲ) 이후에, 방법은 기판에서 캐리어의 추가 부분을 탈거하기 위해 캐리어의 외측 부분의 내측 표면과 맞물리는 삽입공구로 캐리어의 탈거 부분과 플레이트의 표면 사이에 거리를 증가시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 플레이트는 진공 플레이트를 포함할 수 있고, 단계(Ⅰ)은 진공 플레이트에 기판의 제2 주 표면을 진공 부착하는 단계를 추가로 포함한다.
다른 실시예에서, 기판은 유리 기판과 실리콘 기판 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 기판은 단일 기판을 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 기판은 유리 기판을 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 기판은 약 50 미크론 내지 약 300 미크론의 두께를 갖는 단일 기판을 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 캐리어는 약 200 미크론 내지 약 700 미크론의 두께를 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 기판과 캐리어 사이에 세트백 측면 거리는 약 2mm 내지 약 10mm 일 수 있다.
다른 실시예에서, 단계(Ⅲ) 이후에, 방법은 기판에서 캐리어를 완전히 제거하는 단계(Ⅳ)를 추가로 포함할 수 있다.
아래에 상세한 설명은 첨부도면을 참조로 하여 판독될 때 전술되고 다른 특징들이 더욱 이해될 수 있다.
도 1은 기판의 일부, 제1 캐리어, 및 진공 플레이트의 진공포트를 설명하기 위해 절취된 제2 캐리어를 진공 플레이트에 진공 부착된 제2 캐리어의 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1의 선 2-2를 따라 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 3은 도 2의 원호부(3)를 개략적으로 도시한 확대도로서, 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분에 대해 웨지를 가압하기 전에 위치에서 위치선정된 웨지를 도해하고 있다.
도 4는 본 발명의 임의의 실시예의 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분 및/또는 웨지의 선택가능한 단면 프로파일의 실시예를 도시한다.
도 5는 본 발명의 임의의 실시예의 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분 및/또는 웨지의 선택가능한 단면 프로파일의 실시예를 도시한다.
도 6은 도 3과 유사하게 개략적으로 도시한 확대도로서, 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분에 대해 웨지를 가압하는 단계를 도시한다.
도 7은 도 6과 유사하게 개략적으로 도시한 확대도로서, 제1 및 제2 캐리어 사이에서 탈거를 개시하는 단계를 도시한다.
도 8은 도 7과 유사하게 개략적으로 도시한 확대도로서, 제1 및 제2 캐리어의 떼어낸 외측 부분이 삽입공구의 제2 부분의 일정한 두께와 동일한 거리만큼 이격되도록 삽입공구를 추가로 삽입하는 단계를 도시한다.
도 9는 도 8과 유사하게 개략적으로 도시한 확대도로서, 삽입공구로 제1 캐리어의 탈거 부분과 제2 캐리어 사이에 거리를 증가시키는 단계를 도시한다.
도 10은 도 9와 유사하게 개략적으로 도시한 확대도로서, 기판에서 제1 캐리어를 완전히 제거하는 단계를 도시한다.
도 11은 제2 캐리어의 외측 부분과 진공 플레이트의 표면에 대해 가압되는 웨지와 진공 플레이트에 대해 진공 부착된 기판을 도시한다.
도 12는 도 11의 웨지 및/또는 캐리어의 외측 부분의 선택가능한 단면 프로파일의 실시예를 도시한다.
도 13은 도 11의 웨지 및/또는 캐리어의 외측 부분의 선택가능한 단면 프로파일의 다른 실시예를 도시한다.
도 14는 도 11과 유사하게 개략적으로 도시한 확대도로서, 제2 캐리어와 기판 사이에서 탈거를 개시하는 단계를 도시한다.
도 15는 도 11과 유사하게 개략적으로 도시한 확대도로서, 삽입공구를 추가로 삽입하는 단계를 도시한다.
도 16은 도 11과 유사하게 개략적으로 도시한 확대도로서, 제2 캐리어의 탈거 부분과 플레이트의 표면 사이의 거리를 증가시키는 단계를 도시한다.
도 17은 도 16의 기판에서 제2 캐리어를 완전히 제거하는 단계를 개략적으로 도시한 확대도이다.
도 18은 본 발명의 선택가능한 실시예의 단계를 도시한 블록선도이다.
도 19는 세트백 측면 거리에 대한 탈거의 개시를 백분율로 나타낸 그래프도이다.
이제, 실시예들은 하기에서 다양한 실시예들이 도시된 첨부도면을 참조로 하여 더욱 충실하게 기술될 것이다. 가능할 때마다, 동일한 도면 부호는 동일하거나 유사한 부분들을 나타내기 위해 도면 전체에 걸쳐 사용될 것이다. 하지만, 실례들이 많은 다른 형태로 구체화될 수 있으며 여기에 기술된 실시예들에 한정되는 것으로 이해되어서는 안된다.
처리하는 동안에 기판의 취급을 가능하도록, 기판은 하나 이상의 캐리어에 결합될 수 있다. 캐리어의 비교적 경질 특징과 크기는 기판 및/또는 기판에 장착된 구성요소에 손상을 유발시킬 수 있는 상당한 굽힘없이 생산 중에 결합된 기판을 취급할 수 있도록 허용한다. 본 발명의 임의의 실시예에서 기판은 전술된 바와 같이 하나 이상의 단일 기판 또는 2개 이상의 단일 기판의 스택(stack)을 포함할 수 있다. 단일 기판은 다른 실시예에서 다른 두께로 제공될 수 있지만 약 50 마이크로미터 내지 약 300 마이크로미터의 두께를 가질 수 있다. 일 실시예에서, 단일 플렉시블 유리 기판 또는 약 50 마이크로미터 내지 약 300 마이크로미터의 두께를 갖는 각각의 단일 플렉시블 유리 기판로 구성된 단일 플렉시블 유리 기판의 스택은 결합제(binding agent), 예컨대 폴리머 결합제 또는 미국 특허출원공개 제US 2014/0170378호, 동 제US 2015/0329415호에 개시된 결합제, 국제특허출원공개 제WO 2015/113020호, 동 제WO 2015/113023호, 동 제WO 2015/112958호, 동 제WO 2015/157202호에 개시된 결합제, 또는 2015년 6월 26일자로 출원된 미국 가특허출원 제US 62/185095호, 2015년 5월 19일자로 출원된 제US 62/163821호, 2015년 8월 5일자로 출원된 제US 62/201245호에 개시된 결합제를 사용하여 경질의 캐리어에 제거가능하게 결합될 수 있다. 마찬가지로, 결합제는 제EP 2025650호에 기재된 실리콘 물질 또는 제KR 2013044774호에 기재된 표면 조도 매커니즘을 포함할 수 있다. 캐리어는 캐리어에 제거가능하게 결합된 기판을 처리하는 동안에 조건들을 견딜 수 있는 유리, 수지 또는 다른 물질로 제작될 수 있다. 본 명세서 전체에 걸쳐 캐리어는 캐리어에서 제거가능하게 결합된 기판의 두께보다 큰 두께를 갖는 캐리어를 제공하여 바람직한 수준의 강성을 선택적으로 도입할 수 있다. 도시된 바와 같이, 캐리어는 캐리어의 제1 주 표면과 제2 주 표면 사이에 두께를 갖는 플레이트(예컨대, 경질 플레이트)를 포함할 수 있다. 몇몇 실시예에서, 본 명세서 전반에 걸쳐 캐리어는 약 200 마이크로미터 내지 700 마이크로미터의 두께를 포함할 수 있다. 몇몇 추가 실시예에서, 캐리어는 캐리어에 결합된 단일 기판의 두께보다 큰 두께를 포함할 수 있다. 덧붙여서, 몇몇 실시예에서, 캐리어는 캐리어와 캐리어에 결합된 기판의 전체 두께가 캐리어와 캐리어에 결합된 기판의 전체 두께의 범위 내에 두께를 갖는 비교적 두꺼운 유리 기판을 처리하도록 이미 구성된 기존의 공정설비에서 사용될 수 있는 범위 내에 있는 두께로 선택될 수 있다.
도 1 및 도 2에 개략적으로 도시된 바와 같이, 기판(301)은 단일 기판 또는 단일 기판의 스택을 선택적으로 포함할 수 있다. 단지 일 실시예에서, 도 3은 제2 단일 유리 기판(315b)에 결합된 제1 단일 유리 기판(315a)를 포함하는 2개의 단일 기판의 선택적인 형상의 기판(301)를 도해한다. 도 3의 기판은 다양한 방식으로 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 단일 플렉시블 유리 시트는 제1 결합 구조체(323a)를 생성하기 위해 제1 캐리어(307)에 결합될 수 있다. 마찬가지로, 제2 플렉시블 유리 시트는 제2 결합 구조체(323b)를 생성하기 위해 제2 캐리어(313)에 결합될 수 있다. 제1 결합 구조체(323a)는 제1 단일 유리 기판(315a)을 생성하기 위해 제1 플렉시블 유리 시트에 하나 이상의 기능성 구성요소, 예컨대 칼라 필터(317)를 부가하도록 제1 결합 구조체를 취급할 수 있도록 설계된 기존의 기계설비로 처리될 수 있다. 몇몇 실시예에서, 제1 단일 유리 기판(315a)은 경질의 제1 캐리어(307)와의 결합으로 구부러지지 않지만, 제1 캐리어(307)에서 완전히 탈거(debonding)된다면 단일 플렉시블 유리 기판일 수 있다.
제2 결합 구조체(323b)는 제2 결합 구조체를 취급하고 하나 이상의 기능성 구성요소, 예컨대 박막 트랜지스터(TFT)를 제2 플렉시블 유리 시트에 부가하여 제2 단일 유리 기판(315b)을 생성하도록 설계된 기존의 기계설비로 처리될 수 있다. 몇몇 실시예에서, 제2 단일 유리 기판(315b)은 경질의 제2 캐리어(313)와의 결합으로 구부러지지 않지만, 제2 캐리어(313)에서 완전히 탈거된다면 단일 가요성 유리 기판일 수 있다.
제1 결합 구조체(323a)의 제1 단일 유리 기판(315a)의 외측면은 제2 단일 기판(315b)에 결합된 제1 단일 기판(315a)으로 이루어진 기판(301;예컨대, 단일 기판의 도해된 스택)을 형성하기 위해 제2 결합 구조체(323b)의 제2 단일 유리 기판(315b)의 외측면에 결합될 수 있다. 도시된 바와 같이, 단일 유리 기판의 스택 형태의 기판(301)은, 비록 다른 구조체가 추가 실시예에서 형성될 수 있더라도, 디스플레이 분야용 유리 패널 형태일 수 있다. 몇몇 실시예에서, 단일 기판의 스택 형태에 기판(301)은 경질의 제1 캐리어(307)와 경질의 제2 캐리어(313)와의 결합으로 구부러지지 않지만, 제1 및 제2 캐리어(307,313)에서 완전히 탈거된다면 단일 기판의 플렉시블 스택일 수 있다. 도시된 바와 같이, 기판(301)은 제1 캐리어(307)의 제1 주 표면(305)에 제거가능하게 결합된 제1 주 표면(303)과 제2 캐리어(313)의 제1 주 표면(311)에 제거가능하게 결합된 제2 주 표면(309)을 포함한다.
캐리어에 기판을 결합한 후의 어느 시점에서, 기판을 손상시키지 않고 캐리어를 제거할 수 있다. 실제로, (예컨대, 하나 이상의 기능성 구성요소를 부가하여) 단일 기판을 처리하기 전에, 캐리어에서 단일 기판을 제거할 수 있다. 다른 실시예에서, 기판이 기능성 구성요소들로 단일 기판을 처리한 후에 그리고 단일 기판의 스택으로 기판을 생성하기 전에 캐리어로부터 단일 기판을 제거할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 단일 기판의 스택을 포함한 기판, 예컨대 앞서 기술된 기판(301)에서 하나 이상의 캐리어를 제거할 수 있다.
결과적으로 앞서 기술된 임의의 기판에서 캐리어(들)을 제거할 수 있다. 기판의 민감한 본질로 인해, 몇몇 실시예에서, 기판의 외측 엣지 부분(321)과 맞물리지 않고 캐리어(들)를 제거할 수 있다.
몇몇 실시예에서, 외측 주변 결합 계면의 미리 결정된 위치에서 탈거를 개시할 수 있다. 이러한 탈거 개시는 응력을 감소시킬 수 있고 기판 및/또는 캐리어에 손상을 초래할 수 있어, 이와 달리 탈거 개시 단계없이 발생할 수 있다. 실제로, 탈거 개시 단계의 제공 단계는 외측 주변 결합 계면의 상대적으로 작은 위치를 표적으로 하여 제1 외력으로 작은 영역에서 초기 탈거를 허용하여, 제1 외력에 비해 줄어든 제2 외력으로 기판에서 캐리어의 (예컨대, 박피(peeling)로) 더 쉽고 완전 제거를 허용할 수 있도록 결합에 취약점을 제공하는 단계이다.
비록 유사하거나 동일한 단계가 전술된 임의의 다른 기판에 적용될 수 있더라도 도 3 내지 도 10에 도해된 기판(301)에 적용할 수 있기 때문에 기판을 처리하는 방법은 도 18을 먼저 참조하여 기술될 것이다. 도시된 바와 같이, 방법은 제2 캐리어(313)의 굽힘을 억제하는 단계(1803)를 선택적으로 포함함으로써 단계(1801)에서 시작할 수 있다. 예컨대, 제2 캐리어(313)는 굽힘 모멘트 하에서 굽힘에 저항하도록 실질적으로 고정될 수 있다. 이러한 방식으로, 방법은 어느 캐리어가 먼저 풀려질지 이성적으로 예측할 수 있도록 허용한다. 실제로, 제2 캐리어(313)의 굽힘을 억제함으로써, 캐리어의 굽힘이 주로 제1 캐리어(307)로 제한된다. 이와 같이, 제2 캐리어(313)의 굽힘 억제는 기판(301)과 제1 캐리어(307) 사이에 외측 주변 결합 계면의 위치에서 탈거를 개시하도록 촉진할 수 있다.
제2 캐리어(313)의 굽힘을 억제하는 단계(1803)는 다양한 방식으로 달성될 수 있다. 예컨대, 방법 단계(1803)는 제2 캐리어(313)의 굽힘을 억제하기 위해 플레이트에 제2 캐리어(313)의 제2 주 표면(325)을 제거가능하게 부착하는 단계를 포함할 수 있다. 플레이트는 금속(예컨대, 스테인리스강, 알루미늄 등), 플라스틱, 수지, 또는 다른 재질로 만들어진 경질의 플레이트를 포함할 수 있다. 제거가능한 부착은 접착 본딩 또는 다른 기술로 달성될 수 있다. 일 실시예에서, 참조도면에 도시된 바와 같이, 플레이트는 진공 플레이트(327)를 포함할 수 있다. 도시된 바와 같이, 진공 플레이트(327)는 제2 캐리어(313)의 제2 주 표면(325)에 진공 부착되어 진공 플레이트(327)에 대해 정위치에서 제2 캐리어(313)를 분리가능하게 고정시킬 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 진공 플레이트(327)는 하나 이상의 진공 포트(port)를 포함할 수 있는데, 예컨대 도해된 다수의 진공 포트(101)는 진공 플레이트(327)의 표면(103;예컨대, 실질적으로 편평한 표면)에서 개방되어 있다. 다수의 진공 포트(101)는 진공원(201;도 2 참조), 예컨대 진공 탱크 또는 진공 펌프와 선택적으로 유체연통가능하게 배치될 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 진공 도관(203), 예컨대 플렉시블 호스는 진공 포트(101)와 진공원(201) 사이에 유체연통가능하게 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 도 2에 도시된 바와 같이, 진공 플레이트는 다수의 진공 포트(101)와 유체연통가능하게 배치될 수 있는 진공 챔버(205)를 포함할 수 있는데, 다수의 진공 포트(101)는 진공 도관(203)과 유체연통가능하다.
도시되어 있지는 않지만, 하나 이상의 스탠드오프(standoff)가 제2 캐리어(313)의 제2 주 표면(325)과 진공 플레이트(327)의 표면(103) 사이에 실제로 맞물리는 것을 방지하기 위해 제공될 수 있다. 이러한 스탠드오프는 주변 스탠드오프, 예컨대 다수의 진공 포트(101)를 둘러싸는 링을 포함할 수 있다. 부가적으로 또는 선택적으로, 스탠드오프는 진공 포트(101)의 패턴 전체에 걸쳐 진공 포트 사이에 분배된 필러(pillar)로 이루어질 수 있다. 필러는 다양한 재질, 예컨대 폴리머 재질로 이루어질 수 있다. 비록 다른 거리가 다른 실시예에서 사용될 수 있지만, 스탠드오프는 약 1.6 밀리미터(mm)의 거리로 연장될 수 있다.
도 18에서 화살표(1805)로 표시되었듯이, 방법은 선택적으로 제2 캐리어(313)의 굽힘을 억제하는 단계(1803)에서 웨지(601;도 6 참조), 예컨대 제2 캐리어(313)의 외측 부분(603b)과 제1 캐리어(307)의 외측 부분(603a)에 대해 삽입공구(329)의 웨지를 가압하는 단계(1807)로 진행할 수 있다. 대안적으로, 화살표(1809)로 표시되었듯이, 방법은 제1 및 제2 캐리어(307,313)의 외측 부분(603a,603b)에 대해 웨지(601)를 가압하는 단계(1807)로 시작할 수 있다. 이는 처리 시간을 줄이고 어느 캐리어가 우선적으로 풀려질지 우선 순위가 없는 경우에 바람직할 것이다. 하지만, 기판(301)을 파지하고 미리 선택된 제1 캐리어(307)의 우선적인 탈거를 제공하기 위해, 제2 캐리어(313)는 예컨대 앞서 기술된 진공 플레이트(327)로 굽힘을 억제시킬 수 있다.
도 1을 참조로 하면, 웨지(601)는 각각 제1 캐리어(307)와 제2 캐리어(313)의 외측 부분(603a,603b)을 포함하는 모따기 코너(107)를 향하는 방향(105)으로 삽입될 수 있다. 이러한 접근 각도는 캐리어들과의 맞물림 지점에서 응력 집중을 저감시킬 수 있으며, 기판으로부터 캐리어의 탈거 개시를 촉진시키기 위해 기판(301)의 코너에서 응력 집중을 최대화할 수 있다. 도 1에 개략적으로 도시되었듯이, 모따기 코너 보다는, 캐리어들의 임의의 혹은 모든 코너는 라운딩 코너(109) 또는 다른 코너 형상을 포함할 수 있다. 덧붙여서, 캐리어의 임의의 혹은 모든 코너는 모따기 코너(107,110a,110b)와 같이 모따기를 포함할 수 있다. 덧붙여서, 대체 형상이 하나 이상의 캐리어 코너에 제공될 수 있다. 도 1에 점선으로 개략적으로 도시되었듯이, 기판(301)의 코너들은 라운딩 코너(113), 모따기 코너(115), 또는 다른 코너 형상을 선택적으로 포함할 수 있다. 덧붙여서, 기판은 라운딩 코너 또는 모따기 코너 또는 다른 코너 형상의 혼합을 포함할 수 있다. 추가로, 모든 코너들은 라운드 코너, 모따기 코너 또는 다른 코너 형상을 포함할 수 있다.
도 18로 되돌아가서, 단계(1807) 후에, 방법은 적어도 하나의 제1 및 제2 캐리어(307,313)의 외측 부분(603a,603b)을 떼어내기 위해 기판(301)의 외측 엣지 부분(321)과 웨지(601) 사이에 상대 이동을 제공함으로써 제1 캐리어(307)와 기판(301) 사이에 외측 주변 결합 계면(605;도 6 참조)의 위치(701;도 7 참조)에서 탈거를 개시하는 단계(1811)를 실행할 수 있다. 단계(1811) 동안에, 제2 캐리어는 전술된 단계(1803)과 관련하여 기술된 바와 같이 굽힘을 억제될 수 있다. 예컨대, 앞서 기술된 바와 같이, 단계(1803) 동안에, 방법은 단계(1803) 동안에 제2 캐리어(313)의 굽힘을 억제하기 위해 진공 플레이트(327)에 제2 캐리어(313)의 제2 주 표면(325)을 진공 부착하는 단계를 포함할 수 있다.
제1 및 제2 캐리어(307,313)의 외측 부분(603a,603b) 중 적어도 하나를 떼어내는 동작은 예컨대 도 1, 도 6 및 도 7에 도시된 화살표(105) 방향으로 외측 부분(603a,603b)에 대해 웨지(601)를 선형으로 가압하여 달성될 수 있다. 웨지(601)에 의한 떼어내는 동작은 외측 부분(603a,603b)과 웨지(601)의 상대적인 프로파일 형상에 의해 달성될 수 있다. 단지 일 실시예에서, 삽입공구의 테이퍼진 두께는 웨지(601)를 한정한다. 예컨대, 도 3에 도시된 바와 같이, 삽입공구(329)는 외측 방향(331)으로 광폭 두께(T1)에서 협폭 두께(T2)로 테이퍼지는 웨지(601)를 제공하는 외측 단부를 포함할 수 있다. 다양한 대체 형상이 삽입공구(329)의 테이퍼진 두께에 의해 한정된 웨지에 제공될 수 있다. 예컨대, 도 4는 무딘 단부(407)에서 종결될 수 있는 경사면(405)을 포함한 모따기 웨지(403)를 갖춘 삽입공구(401)의 다른 실시예를 도시하고 있다. 도 5는 무딘 단부(507)에서 종결될 수 있는 라운딩 코너(505)를 포함한 라운딩 웨지(503)를 갖춘 삽입공구(501)의 또 다른 실시예를 도시하고 있다. 테이퍼진 웨지를 갖춘 삽입공구의 제공은 삽입공구 및/또는 외측 부분(603a,603b)을 손상시킬 수 있는 응력 지점을 제공할 수 있는 예리한 코너를 감소시킬 수 있다. 덧붙여서, 삽입공구(329)의 최대 두께(607;도 6 참조)는 단계(1807)의 시작에서 제1 및 제2 캐리어(307,313)의 외측 부분(603a,603b)의 마주보는 내측 표면 사이에 거리(D1) 보다 크기 때문에 외측 부분(603a,603b)을 떼어낼 수 있다.
추가로 도시된 바와 같이, 외측 부분(603a,603b)은 앞서 기술된 임의의 실시예에서 기술된 웨지와 같이 유사한 라운딩 프로파일을 가질 수 있다. 즉, 외측 부분(603a,603b)은 도 4, 도 5, 도 12, 또는 도 13 중 어느 하나에 도시된 바와 같은 프로파일을 가질 수 있다. 덧붙여서, 외측 부분(603a,603b)은 삽입공구의 웨지가 삽입공구의 단부의 테이퍼진 두께에 의해 한정된 웨지를 포함하는 실시예에서 90도 코너를 갖는 반듯한(flat) 엣지를 가질 수 있다는 것이 또한 고려된다. 대안적으로, 삽입공구의 웨지는 외측 부분(603a,603b)이 테이퍼진 단부를 포함하는 실시예에서 90도 코너를 갖는 반듯한 엣지를 갖는 단부를 포함할 수 있다. 그러나, 외측 부분(603a,603b)과 테이퍼진 프로파일(예컨대, 도시된 바와 같이)를 갖춘 삽입공구의 웨지(601) 모두를 제공하여 응력 지점을 감소시킬 수 있어, 삽입공구 및/또는 캐리어에 마모와 손상을 줄일 수 있는 한편 바람직한 떼어내는 동작을 제공하게 된다.
몇몇 실시예에서, 방법 단계(1807,1811)는 웨지(601)를 기판(301)의 임의 부분과 접촉되지 않고서도 수행될 수 있다. 실제로, 예컨대, 도 8에 도시된 바와 같이, 완전히 삽입된 위치에서, 웨지(601)의 정점(601a)은 기판(301)의 외측 엣지 부분(321)과 이격된다. 기판(301)과 웨지(601) 사이의 접촉 방지는 기판(301)에 압력을 가하는 것을 피할 수 있으며, 외측 주변 결합 계면(605)을 파괴하기 위해 기판 및/또는 블레이드를 갖춘 캐리어를 맞물리게 하는 다른 기술에서 발생할 수 있는 기판(301)의 손상 가능성을 줄일 수 있다. 덧붙여서, 삽입공구의 웨지 상에 예리한 지점을 감소시키는 것은 그럼에도 불구하고 만약에 어떠한 접촉이 발생하더라도 기판(301)에 손상을 추가로 줄이거나 방지할 수 있다. 예컨대, 무딘 단부(407,507) 또는 라운딩 정점(601a)을 갖춘 삽입공구의 웨지를 제공하여 예리한 엣지, 지점 또는 코너를 줄이거나 제거할 수 있어서, 부주의한 접촉이 발생하여도 기판(301)의 외측 엣지 부분(321)에 손상을 방지할 수 있다.
도 18에 도시된 바와 같이, 탈거 개시 단계(1811) 이후에, 방법은 삽입공구(329)로 제1 캐리어(307)의 탈거 부분과 제2 캐리어(313) 사이의 거리를 증가시키는 단계(1813)를 선택적으로 진행하여 기판(301)으로부터 제1 캐리어(307)의 추가 부분을 탈거할 수 있다. 더욱 신뢰할 수 있는 리프팅 계면을 달성하기 위해서, 삽입공구(329)의 최대 두께가 제1 캐리어(307)의 제1 주 표면(305) 아래에 위치될 때까지 삽입공구는 삽입방향(105)으로 선택적으로 더욱 삽입될 수 있다. 도 8에 도시된 바와 같이, 몇몇 실시예에서, 삽입공구는 삽입공구(329)의 제2 부분(801)의 길이에 걸쳐 일정한 두께(609)를 포함한 제2 부분(801)을 포함한다. 도시된 바와 같이, 몇몇 실시예에서, 제2 부분(801)의 길이부에 걸쳐 일정한 두께(609)는 삽입공구의 최대 두께를 포함할 수 있다. 몇몇 실시예에서, 도 8에 도시된 바와 같이, 일정한 두께(609)는 2개의 대향된 외측 평행 표면(803a,803b)에 의해 제공될 수 있다. 평행 표면은 제1 및 제2 캐리어(307,313)의 외측 부분(603a,603b) 사이에 바람직한 공간을 제공할 수 있는 일정한 두께(609)를 구비할 수 있다. 몇몇 실시예에서, 일정한 두께(609)는 단계(1807)의 시작시 외측 부분(603a,603b)의 마주보는 내측 표면 사이에 거리(D1) 보다 약 20 마이크로미터 내지 약 40 마이크로미터 더 크게 이루어질 수 있다. 광범위한 두께 차가 사용될 수 있지만, 20 마이크로미터 미만의 두께 차는 몇몇 적용예에서 탈거를 성공적으로 개시하지 못하는 반면에, 40 마이크로미터 이상의 두께 차는 몇몇 적용예에서 삽입공구의 삽입을 어렵게 만들 수 있다.
도 8에 도시된 바와 같이, 몇몇 실시예에서, 방법은 적어도 제1 및 제2 캐리어(307,313)의 떼어낸 외측 부분(603a,603b)의 마주보는 내측 표면이 삽입공구(329)의 제2 부분(801)의 일정한 두께(609)와 동일한 거리(D2)만큼 이격될 때까지 기판(301)의 외측 엣지 부분(321)와 웨지(601) 사이에 거리를 추가로 감소시키는 단계를 포함할 수 있다. 거리 감소는 전술된 리프팅 작업 동안에 제1 캐리어(307)와 부주의하게 삽입공구의 해체 가능성을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 응력을 줄일 수 있는 중첩 평면 계면(805)를 구비할 수 있다. 거리 감소는 예컨대 방향(105)으로 삽입공구의 추가 삽입으로 달성될 수 있다. 공구를 삽입할 수 있는 정도는 기판(301)의 세트백 측면 거리(setback lateral distance)에 종속될 수 있다. 본 발명의 목적상, 도 6을 참조로 하면, 세트백 측면 거리(L1)은 삽입공구가 탈거를 개시하기 위해 삽입될 위치에서 리프팅될 캐리어(예컨대, 제1 캐리어(307))의 최외측 지점과 기판(301)의 외측 엣지 부분(321)의 최외측 지점 사이에 측면 거리로 고려된다. 광범위한 세트백 측면 거리는 본 발명에 따라 사용될 수 있다. 예컨대, 몇몇 실시예에서, 세트백 측면 거리는 약 2mm 내지 약 10mm 일 수 있다. 도 19는 수직축에 성공적인 탈거 개시에 대한 비율 대 수평축에 밀리미터 단위의 세트백 거리를 그래프로 도해하고 있다. 사각형은 실제 데이터를 나타내고 있으며, 만곡선은 실제 데이터에 맞는 함수를 나타내고 있다. 보여지듯이, 세트백 거리가 높아질수록 성공적인 탈거 개시를 달성하는 기판의 비율이 커진다. 보여지듯이, 70% 이상에서 약 100% 까지의 인상적인 결과가 약 2mm 내지 약 10mm의 세트백 측면 거리를 갖는 몇몇 실시예에서 달성될 수 있다. 심지어 더욱 큰 결과는 약 6mm 내지 약 10mm의 세트백 측면 거리로 달성될 수 있다.
일 실시예에서, 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 캐리어(307)와 제2 캐리어(313)의 탈거 부분 사이에 거리를 증가시키는 단계(1813)는 제2 캐리어(313)의 제1 주 표면(311)에서 방향(901)으로 삽입공구(329)를 리프팅(lifting)하는 단계를 포함할 수 있다. 몇몇 실시예에서, 방향(901)은 삽입공구(329)에 대해 제1 캐리어의 측방향 미끄러짐을 감소시키기 위해 제1 주 표면(311)과 직교될 수 있다. 추가로 도시된 바와 같이, 거리는 제1 및 제2 캐리어(307,313)의 떼어낸 외측 부분(603a,603b)의 마주보는 내측 표면들이 기판(301)에서 제1 캐리어(307)의 추가 부분을 탈거하도록 제1 캐리어(307)의 외측 부분(603a)의 내측 부분과 맞물려 있는 삽입공구(329)의 제2 부분(801)의 표면을 거리(D3)까지 이격될 때까지 증가시킬 수 있다.
도 18에서 화살표(1815,1817)로 도시되었듯이, 단계(1811) 또는 단계(1813) 이후에, 방법은 기판(301)으로부터 제2 캐리어(313)의 탈거를 개시하기 위해서 반대측에서 유사한 공정을 수행할 수 있도록 기판을 뒤집는 단계(1819)를 선택적으로 진행할 수 있다. 예컨대, 도 6 내지 도 9에 도시된 공정은 도면에서 진공 플레이트(327)에 장착된 제1 캐리어(307)를 사용하여 전술된 바와 같이 다시 수행될 수 있다. 실제로, 방법은 제1 및 제2 캐리어(307,313)의 외측 부분(603a,603b)을 떼어내기 위해 기판(301)의 외측 엣지 부분(321)와 웨지(601) 사이에 상대적인 이동을 제공함으로써 기판(310)과 제2 캐리어(313) 사이에 외측 주변 결합 계면의 위치에서 탈거를 개시하도록 진행할 수 있다. 전술된 공정과 유사하게, 방법은 탈거를 개시하는 동안에 예컨대 플레이트로 제1 캐리어의 굽힘을 억제하는 단계를 포함할 수 있다.
몇몇 실시예에서, 각각의 캐리어(307,313)와 기판(301) 사이에서의 탈거 개시는 단계(1821) 중에 캐리어(307,313) 중 하나 또는 둘을 완전히 제거하기 전에 수행될 수 있다. 실제로, 몇몇 실시예에서, 공정은 화살표(1823,1825)로 표시되듯이 캐리어들을 제거하지 않고 단계(1830)에서 종료된다. 이는 완전한 제거가 다른 시간 또는 위치에서 수행되면 발생할 수 있다. 예컨대, 기판에서 캐리어를 완전히 탈거하지 않고 탈거를 개시하는 것은 운송 중에 캐리어가 기판을 보호할 수 있도록 한다. 동시에, 목적 위치에서 캐리어를 제거하는 것은 캐리어들의 완전한 탈거없이 탈거를 개시하는 공정 덕분에 단순화될 수 있다. 덧붙여서, 도 1을 참조로 하면, 탈거 개시는 캐리어의 대향 코너에서 발생할 수 있다. 예컨대, 제1 캐리어의 탈거 개시는 모따기 코너(107)에서 발생될 수 있는데 반해 제2 캐리어의 탈거 개시는 대향되어 있는 코너들(110a,110b) 중 하나에서 유사하게 수행될 수 있다. 대향 코너들(110a,110b) 중 하나에서 탈거 개시의 제공은 제2 캐리어의 제2 탈거 개시 공정 중에 진공 플레이트에 대해 진공 밀봉되는 기판 또는 캐리어의 강성을 유지하는 데에 도움을 줄 수 있다. 추가로, 도 18에서 화살표(1810)로 표시되었듯이, 기판으로부터 임의의 일 캐리어(예컨대 제1 캐리어 또는 제2 캐리어)의 탈거 개시는 하나 이상의 위치에서 발생할 수 있고, 이는 스택 주변의 하나 이상의 위치에서 기판으로부터 임의의 다른 캐리어의 탈거를 개시하기 위해 스택을 플립핑(flipping) 전에 수행될 수 있다.
도 10은 기판(301)에서 제1 캐리어(307)를 완전히 제거하는 단계(1821)를 도시한다. 도시된 바와 같이, 진공 바아(1001)가 탈거가 개시된 캐리어의 부분을 파지하고 기판(301)에서 제1 캐리어(307)를 완전히 제거(예컨대, 박피)하기 위해 부분을 방향(1003)으로 상방으로 계속 리프팅하기 위해 사용될 수 있다. 유사 공정이 기판(301)에서 제2 캐리어(313)를 제거하기 위해 실행될 수 있다.
전술된 내용을 고려하여, 본 발명의 일 실시예는 유리 기판, 예컨대 유리 기판(301)을 처리하고 전술된 단일 유리 기판의 스택을 포함하는 방법을 포함하는 것으로 이해할 것이다. 이 실시예에서, 유리 기판(301)의 제1 주 표면(303)은 제1 캐리어(307)의 제1 주 표면(305)에서 제거가능하게 결합되고, 유리 기판(310)의 제2 주 표면(309)은 제2 캐리어(313)의 제1 주 표면(311)에서 제거가능하게 결합된다. 도 3에 도시된 바와 같이, 유리 기판(301)의 외측 엣지 부분(321)은 제1 캐리어(307)의 외측 부분(603a)과 제2 캐리어(313)의 외측 부분(603b) 사이에 배치된다. 이러한 실시예에서, 방법은 제2 캐리어(313)의 굽힘을 억제하기 위해 플레이트(예컨대, 진공 플레이트)에 제2 캐리어(313)의 제2 주 표면(325)을 제거가능하게 부착하는 단계(1803)를 포함할 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 방법은 제2 캐리어(313)의 제2 주 표면(325)이 플레이트(예컨대, 진공 플레이트)에 부착되어 있는 동안에 제1 및 제2 캐리어(307,313)의 외측 부분(603a,603b) 사이에 대해 삽입공구(329)의 웨지(601)를 가압하는 단계(1807)를 추가로 포함할 수 있다. 방법은 제2 캐리어(313)의 제2 주 표면(325)이 플레이트(예컨대, 진공 플레이트)에 부착되어 있는 동안에 유리 기판(301)과 제1 캐리어(307) 사이에 외측 주변 결합 계면(605;도 6 참조)의 위치(701;도 7 참조)에서 탈거를 개시하는 단계(1811)를 추가로 포함할 수 있다. 도 7에 도시된 바와 같이, 탈거 개시의 단계는 제1 및 제2 캐리어(307,313)의 외측 부분을 떼어내기 위해 기판(301)의 외측 엣지 부분(321)과 웨지(601) 사이에 상대적인 이동을 제공하여 달성될 수 있으며, 여기서 단계(1807)와 단계(1811)는 유리 기판(301)의 임의 부분에서도 웨지(601)와 접촉되지 않고 수행될 수 있다.
도 18에 도시된 바와 같이, 리프팅 단계(1813)는 선택적이다. 실제로, 화살표(1827)로 표시되었듯이, 방법은 기판에서 캐리어를 완전히 제거하는 단계(1811)에서 단계(1821)까지 직접 진행할 수 있다. 예컨대, 단계(1811) 이후에 기판을 플립핑하기 보다는, 제1 캐리어(307)가 도 10에 도시된 바와 같이 완전히 제거될 수 있다. 그런 다음에, 화살표(1829)로 표시되었듯이, 방법은 플립핑하는 단계(1819)를 선택적으로 진행할 수 있다. 제2 캐리어(313)의 제거 공정은 도 11 내지 도 17에 도시되어 있다. 별도의 표시가 없다면, 도 11 내지 도 17과 관련된 공정은 도 1 내지 도 10에 표시된 공정과 유사하거나 동일할 수 있다. 더욱이, 도 11 내지 도 17에 도시된 공정은 유리 기판(301)에서 캐리어의 제거를 도시하고 있지만, 유사 공정이 임의의 다른 기판에 적용될 수 있다.
도 11에 도시되었듯이, 방법은 기판, 예컨대 제2 캐리어(301)의 제1 주 표면(311)에서 제거가능하게 결합된 기판(301)의 제2 주 표면(309)을 갖춘 도해된 기판(301)을 처리하는 단계를 포함할 수 있다. 방법은 기판(301)의 굽힘을 억제하기 위해 플레이트(327;예컨대 진공 플레이트)에 대해 기판(301)의 제1 주 표면(303)을 제거가능하게 부착하는 단계를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 기판(301)의 제1 주 표면(303) 또는 기판(301)의 제1 주 표면(303)의 적어도 일 부분은 플레이트(301)와 접촉되지 않을 수 있는 반면에, 기판의 제1 주 표면(303)은 여전히 플레이트(327)에 대해 제거가능하게 부착되어 있다. 이러한 실시예들은 진공 부착 중에 제1 주 표면(303) 상에 특성(예컨대, 구성요소)와의 접촉이 플레이트(327)와 접촉되어 손상될 수 있는 분야에서 특히 사용될 수 있다. 대안적으로, 다른 실시예에서, 기판의 제1 주 표면(303)이 여전히 플레이트(327)에 대해 제거가능하게 부착되어 있는 동안에 기판(301)의 전체 제1 주 표면(303)은 플레이트(327)와 직접 접촉될 수 있다.
도시되었듯이, 기판(301)의 외측 엣지 부분(321)은 제2 캐리어(313)의 외측 부분(603b)과 플레이트(327)의 표면(103) 사이에 배치된다. 방법은 제2 캐리어(313)의 외측 부분(603b)과 플레이트(327)의 표면(103) 사이에 대해 웨지(601)를 가압하는 단계를 추가로 포함할 수 있다. 도 12는 도 4에 도시된 모따기 웨지(403)과 유사한 모따기 웨지(1201)의 다른 실시예를 도시한다. 도 13은 도 5에 도시된 라운딩 웨지(503)와 유사하게 라운딩 웨지(1301)의 다른 실시예를 도시한다. 도시된 다른 예시된 웨지들과 마찬가지로, 도 12 및 도 13의 웨지는 또한 삽입공구의 테이퍼진 두께로 한정될 수 있다. 또 다른 실시예에서, 웨지(403,503)는 도 11 내지 도 16의 공정에서도 사용될 수 있다.
도 14에 도시된 바와 같이, 방법은 기판(301)의 제1 주 표면(303)이 플레이트(327)의 표면(103)에서 제거가능하게 부착되어 있는 동안에 플레이트(327)의 표면(103)과 제2 캐리어(313)의 외측 부분(603b)을 떼어내기 위해 웨지(601)와 기판(301)의 외측 엣지 부분(321) 사이에 상대 이동을 제공함으로써 기판(301)과 제2 캐리어(313) 사이에 외측 주변 결합 계면(1101;도 11 참조)의 위치(1401)에서 탈거를 개시하는 단계를 추가로 구비할 수 있다. 도 11, 도 14, 및 도 15에 도시된 바와 같이, 방법은 기판(301)의 임의 부분을 웨지(601)와 접촉되지 않게 실행될 수 있다.
위치(1401)에서 탈거를 개시한 이후에, 방법은 기판(301)에서 제2 캐리어(313)의 추가 부분을 탈거하기 위해 삽입공구(329)로 제2 캐리어(313)의 탈거 부분과 플레이트(327)의 표면(103) 사이에 거리를 증가시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다. 전술된 바와 같이, 삽입공구(329)는 일정한 두께(609)를 갖는 제2 부분(801)을 포함한다. 도 15에 도시된 바와 같이, 방법은 적어도 제2 캐리어(313)의 내측 표면과 플레이트(327)의 표면(103)이 삽입공구(329)의 제2 부분(801)의 일정한 두께(609)와 동일한 거리(D2) 만큼 이격될 때까지 기판(301)의 외측 엣지 부분(321)과 웨지(601) 사이에 거리를 줄이는 단계를 추가로 포함할 수 있다. 전술된 바와 같이, 삽입공구(329)의 제2 부분(801)의 일정한 두께(609)는 제2 캐리어에 대해 웨지의 가압 단계 시작시에 제2 캐리어(313)의 내측 표면과 플레이트(327)의 표면(103) 사이에 거리(D1;도 11 참조) 보다 20 마이로미터 내지 약 40 마이크로미터 더 크게 이루어질 수 있다. 덧붙여서, 전술된 바와 같이, 도 8에 대하여, 삽입공구(329)의 제2 부분(801)은 일정한 두께(601)를 한정하는 대향된 평행 표면(803a,803b)을 포함할 수 있다.
제2 캐리어(313)의 탈거를 개시한 이후에, 도 16에 도시된 바와 같이, 방법은 기판(301)에서 제2 캐리어(313)의 추가 부분을 탈거하도록 제2 캐리어(313)의 외측 부분의 내측 표면과 맞물려 있는 삽입공구(329)로 플레이트(327)의 표면(103)과 제2 캐리어(313)의 탈거 부분 사이를 거리(D3)로 증가시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
도 17에 도시된 바와 같이, 방법은 기판(301)에서 제2 캐리어(313)를 완전히 제거하는 단계를 추가로 포함할 수 있다. 전술된 바와 같이, 도 11 내지 도 17에 도해된 공정은 캐리어에서 임의의 기판을 제거하는 데에 사용될 수 있다. 일 실시예에서, 다른 기판들이 다른 실시예들에 제공될 수 있지만, 기판들은 단일 유리 기판 및 단일 실리콘 웨이퍼 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 단일 기판은 기능성 구성요소를 포함한 단일 기판(예컨대, 편광판, 칼라 필터, 박박 트랜지슨터 등을 갖춘 단일 유리 기판)으로 이루어질 수 있다. 또 다른 실시예에서, 기판은 단일 기판들의 스택, 예컨대 단일 기판들의 도해된 스택으로 이루어질 수 있다. 앞서 기술된 바와 같이, 임의의 단일 기판(예컨대, 단일 유리 기판)은 다른 실시예에서 가능한 다른 두께일 수 있지만 약 50 마이크로미터 내지 약 300 마이크로미터의 두께를 가질 수 있다. 덧붙여서, 캐리어는 약 200 마이크로미터 내지 약 700 마이크로미터의 두께를 포함할 수 있지만, 다른 두께가 다른 실시예에서 제공될 수 있다. 또한, 기판과 캐리어 사이에 세트백 측면 거리는 약 2 mm 내지 약 10 mm 일 수 있다.
달리 언급되지 않는 한, 본 발명의 방법 단계들은 다양한 순서로 실행될 수 있다. 예컨대, 방법 단계들은 도 18에 도해된 임의의 순서로 실행될 수 있다. 일 실시예에서, 앞서 기술된 2개의 캐리어 사이에 결합된 기판에서, 방법은 기판에서 제1 캐리어의 탈거를 개시하기 위해 단계(180)과 단계(1811)를 거쳐갈 수 있으며, 단계(1813)를 선택적으로 거쳐갈 수도 있다. 그런 다음에, 방법은 단계(1819) 동안에 기판을 플립핑하는 단계를 포함할 수 있고, 그런 다음에 기판에서 제2 캐리어의 탈거를 개시하기 위해 단계(1807)과 단계(1811)를 거쳐하고, 단계(1813)를 선택적으로 거쳐갈 수도 있다. 그런 다음에, 방법은 도 10에 도시된 바와 같이 기판에서 캐리어들 중 하나를 완전히 하기 위해 단계(1821)를 수행할 수 있고, 그런 다음에 도 11 및 도 14 내지 도 17에 도시된 바와 같이 다른 캐리어를 완전히 제거할 수 있다.
다른 실시예에서, 앞서 기술된 2개의 캐리어들 사이에 결합된 기판에서, 방법은 기판에서 제1 캐리어의 탈거를 개시하기 위해 단계(1807)와 단계(1811)를 거쳐갈 수 있고, 단계(1813)를 선택적으로 거쳐갈 수도 이다. 그런 다음에, 방법은 도 10에 도시된 바와 같이 기판에서 제1 캐리어를 완전히 제거하는 단계(1821)를 직접 진행할 수 있다. 그런 다음에, 기판은 단계(181) 동안에 플립핑될 수 있고, 그런 다음에 방법은 기판에서 제2 캐리어의 탈거를 개시하기 위해 단계(1807)과 단계(1811)를 다시 거쳐갈 수 있으며, 단계(1813)를 선택적으로 거쳐갈 수도 있다. 그런 다음에, 방법은 도 11 및 도 14 내지 도 17에 도시된 바와 같이 기판에서 제2 캐리어를 완전히 제거하는 단계(1821)를 진행할 수 있다.
이는 전술된 방법으로 이루어질 수 있는 몇몇 변형예일 뿐이다. 여러 다양한 변경예와 변형예는 청구범위의 사상과 범위에서 벗어나지 않고 이루어질 수 있다.
실시예 1. 제1 캐리어의 제1 주 표면에서 제거가능하게 결합된 기판의 제1 주 표면과 제2 캐리어의 제1 주 표면에서 제거가능하게 결합된 기판의 제2 주 표면을 갖는 기판을 처리하는 방법으로, 여기서 기판의 외측 엣지 부분은 제1 캐리어의 외측 부분과 제2 캐리어의 외측 부분 사이에 배치되되, 방법은,
(Ⅰ) 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분에 대해 웨지를 가압하는 단계와;
(Ⅱ) 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분을 떼어내기 위해 웨지와 기판의 외측 엣지 부분 사이에 상대 이동을 제공함으로써 기판과 제1 캐리어 사이에 외측 주변 결합 계면의 위치에서 탈거를 개시하는 단계;를 포함한다.
실시예 2. 실시예 1의 방법에서, 단계(Ⅰ)와 단계(Ⅱ)는 웨지로 기판의 임의 부분과 접촉되지 않고 진행된다.
실시예 3. 실시예 1 또는 실시예 2의 방법에서, 삽입공구의 제1 부분은 웨지를 한정하는 테이퍼진 두께를 포함한다.
실시예 4. 실시예 3의 방법에서, 단계(Ⅱ) 이후에, 기판에서 제1 캐리어의 추가 부분을 탈거하기 위해 삽입공구로 제1 캐리어의 탈거 부분과 제2 캐리어 사이에 거리를 증가시키는 단계를 추가로 포함한다.
실시예 5. 실시예 4의 방법에서, 삽입공구는 일정한 두께를 갖는 제2 부분을 추가로 포함하고, 방법은 적어도 제1 및 제2 캐리어의 떼어낸 외측 부분의 마주보는 내측 표면들이 삽입공구의 제2 부분의 일정한 두께와 동일한 거리만큼 이격될 때까지 웨지와 기판의 외측 엣지 부분 사이에 거리를 줄이는 단계를 추가로 포함한다.
실시예 6. 실시예 5의 방법에서, 삽입공구의 제2 부분의 일정한 두께는 단계(Ⅰ)의 시작시에 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분의 마주보는 내측 표면들 사이에 거리보다 약 20 마이크로미터 내지 약 40 마이크로미터 더 크게 이루어질 수 있다.
실시예 7. 실시예 5 또는 실시예 6의 방법에서, 삽입공구의 제2 부분은 일정한 두께를 한정하는 대향된 외측 평행 표면을 포함한다.
실시예 8. 실시예 5 내지 실시예 7 중 어느 한 실시예의 방법에서, 단계(Ⅱ) 이후에, 기판에서 제1 캐리어의 추가 부분을 탈거하기 위해 제1 캐리어의 외측 부분의 내측 표면과 맞물리는 삽입공구의 제2 부분의 표면으로 제1 캐리어의 탈거 부분과 제2 캐리어 사이에 거리를 증가시키는 단계를 추가로 포함한다.
실시예 9. 실시예 1 내지 실시예 8 중 어느 한 실시예의 방법에서, 단계(Ⅱ) 동안에 제2 캐리어의 굽힘을 억제하는 단계를 추가로 포함한다.
실시예 10. 실시예 9의 방법에서, 단계(Ⅱ) 동안에 제2 캐리어의 굽힘을 억제하기 위해 플레이트에 제2 캐리어의 제2 주 표면을 제거가능하게 부착하는 단계를 추가로 포함한다.
실시예 11. 실시예 10의 방법에서, 플레이트는 진공 플레이트로 이루어지고, 방법은 단계(Ⅱ) 동안에 제2 캐리어의 굽힘을 억제하기 위해 진공 플레이트에 제2 캐리어의 제2 주 표면을 진공 부착하는 단계를 추가로 포함한다.
실시예 12. 실시예 1 내지 실시예 11 중 어느 한 실시예의 방법에서, 기판은 유리 기판과 실리콘 기판 중 적어도 하나를 포함한다.
실시예 13. 실시예 1 내지 실시예 12 중 어느 한 실시예의 방법에서, 기판은 약 50 마이크로미터 내지 약 300 마이크로미터의 두께를 갖는 단일 유리 기판을 포함한다.
실시예 14. 실시예 1 내지 실시예 13 중 어느 한 실시예의 방법에서, 제1 캐리어와 제2 캐리어 중 적어도 하나는 약 200 마이크로미터 내지 약 700 마이크로미터의 두께를 포함한다.
실시예 15. 실시예 1 내지 실시예 14 중 어느 한 실시예의 방법에서, 기판과 제1 및 제2 캐리어 중 적어도 하나 사이에 세트백 측면 거리는 약 2mm 내지 약 10mm 이다.
실시예 16. 실시예 1 내지 실시예 15 중 어느 한 실시예의 방법에서, 단계(Ⅱ) 이후에, 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분을 떼어내기 위해 기판의 외측 엣지 부분와 웨지 사이에 상대 이동을 제공함으로써 기판과 제2 캐리어 사이에 외측 주변 결합 계면의 위치에서 탈거를 개시하는 단계(Ⅲ)를 추가로 포함한다.
실시예 17. 실시예 16의 방법에서, 단계(Ⅲ) 동안에 제1 캐리어의 굽힘을 억제하는 단계를 추가로 포함한다.
실시예 18. 실시예 17의 방법에서, 단계(Ⅲ) 동안에 제1 캐리어의 굽힘을 억제하기 위해 진공 플레이트에 제1 캐리어의 제2 주 표면을 진공 부착하는 단계를 추가로 포함한다.
실시예 19. 실시예 16의 방법에서, 단계(Ⅲ) 이후에, 기판에서 제1 캐리어와 제2 캐리어 중 하나를 완전히 제거하는 단계(Ⅳ)를 추가로 포함한다.
실시예 20. 실시예 19의 방법에서, 단계(Ⅳ) 이후에, 기판에서 제1 캐리어와 제2 캐리어 중 나머지 하나를 완전히 제거하는 단계(Ⅴ)를 추가로 포함한다.
실시예 21. 제1 캐리어의 제1 주 표면에서 제거가능하게 결합된 유리 기판의 제1 주 표면과 제2 캐리어의 제1 주 표면에서 제거가능하게 결합된 유리 기판의 제2 주 표면을 갖는 유리 기판을 처리하는 방법으로, 여기서 유리 기판의 외측 엣지 부분은 제1 캐리어의 외측 부분과 제2 캐리어의 외측 부분 사이에 배치되되, 방법은,
(Ⅰ) 제2 캐리어의 굽힘을 억제하기 위해 플레이트에 제2 캐리어의 제2 주 표면을 제거가능하게 부착하는 단계와;
(Ⅱ) 제2 캐리어의 제2 주 표면이 플레이트에 부착되어 있는 동안에 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분에 대해 삽입공구의 웨지를 가압하는 단계; 및
(Ⅲ) 제2 캐리어의 제2 주 표면이 플레이트에 부착되어 있는 동안에 유리 기판과 제1 캐리어 사이의 외측 주변 결합 계면의 위치에서 탈거를 개시하는 단계를 포함하는데, 여기서 탈거 개시는 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분을 떼어내기 위해 유리 기판의 외측 엣지 부분와 웨지 사이에서 상대 이동을 제공함으로써 달성되며, 단계(Ⅱ)와 단계(Ⅲ)은 웨지로 유리 기판의 임의 부분과 접촉되지 않고 진행된다.
실시예 22. 실시예 21의 방법에서, 삽입공구는 웨지를 포함하는 제1 부분과 일정한 두께를 갖는 제2 부분을 포함하고, 방법은 적어도 제1 및 제2 캐리어의 떼어낸 외측 부분의 마주보는 내측 표면들이 삽입공구의 제2 부분의 일정한 두께와 동일한 거리만큼 이격될 때까지 웨지와 유리 기판의 외측 엣지 부분 사이에 거리를 줄이는 단계를 추가로 포함한다.
실시예 23. 실시예 22의 방법에서, 단계(Ⅲ) 이후에, 유리 기판에서 제1 캐리어의 추가 부분을 탈거하기 위해 제1 캐리어의 외측 부분의 내측 표면과 맞물리는 삽입공구의 제2 부분의 표면으로 제1 캐리어의 탈거 부분과 제2 캐리어 사이에 거리를 증가시키는 단계를 추가로 포함한다.
실시예 24. 캐리어의 제1 주 표면에 제거가능하게 결합된 기판의 제1 주 표면을 가진 기판을 처리하는 방법으로, 방법은,
(Ⅰ) 기판의 굽힘을 억제하기 위해 플레이트에 대해 기판의 제2 주 표면을 제거가능하게 부착하는 단계로, 여기서 기판의 외측 엣지 부분은 캐리어의 외측 부분과 플레이트의 표면 사이에 배치되며;
(Ⅱ) 캐리어의 외측 부분과 플레이트의 표면에 대해 웨지를 가압하는 단계; 및
(Ⅲ) 기판의 제2 주 표면이 플레이트의 표면에 대해서 제거가능하게 부착되어 있는 동안에 캐리어의 외측 부분과 플레이트의 표면을 떼어내기 위해 기판의 외측 엣지 부분와 웨지 사이에 상대 이동을 제공함으로써 기판과 캐리어 사이에 외측 주변 결합 계면의 위치에서 탈거를 개시하는 단계;를 포함한다.
실시예 25. 실시예 24의 방법에서, 단계(Ⅱ)와 단계(Ⅲ)는 웨지로 기판의 임의 부분과 접촉되지 않고 진행된다.
실시예 26. 실시예 24 또는 실시예 25의 방법에서, 삽입공공구의 제1 부분은 웨지를 한정하는 테이퍼진 두께를 포함한다.
실시예 27. 실시예 26의 방법에서, 단계(Ⅲ) 이후에, 기판에서 캐리어의 추가 부분을 탈거하기 위해 삽입공구로 캐리어의 탈거 부분과 플레이트의 표면 사이에 거리를 증가시키는 단계를 추가로 포함한다.
실시예 28. 실시예 27의 방법에서, 삽입공구는 일정한 두께를 갖는 제2 부분을 추가로 포함하고, 방법은 적어도 캐리어의 내측 표면과 플레이트의 표면이 삽입공구의 제2 부분의 일정한 두께와 동일한 거리만큼 이격될 때까지 웨지와 기판의 외측 엣지 부분 사이에 거리를 줄이는 단계를 추가로 포함한다.
실시예 29. 실시예 28의 방법에서, 삽입공구의 제2 부분의 일정한 두께는 단계(Ⅱ)의 시작시에 캐리어의 내측 표면과 플레이트의 표면 사이에 거리보다 약 20 마이크로미터 내지 약 40 마이크로미터 더 크게 이루어질 수 있다.
실시예 30. 실시예 28 또는 실시예 29의 방법에서, 삽입공구의 제2 부분은 일정한 두께를 한정하는 대향된 외측 평행 표면을 포함한다.
실시예 31. 실시예 28 내지 실시예 30 중 어느 한 실시예의 방법에서, 단계(Ⅲ) 이후에, 기판에서 캐리어의 추가 부분을 탈거하기 위해 캐리어의 외측 부분의 내측 표면과 맞물리는 삽입공구로 캐리어의 탈거 부분과 플레이트의 표면 사이에 거리를 증가시키는 단계를 추가로 포함한다.
실시예 32. 실시예 24 내지 실시예 31 중 어느 한 실시예의 방법에서, 플레이트는 진공 플레이트로 이루어지고, 단계(Ⅰ)는 진공 플레이트에 기판의 제2 주 표면을 진공 부착하는 단계를 추가로 포함한다.
실시예 33. 실시예 24 내지 실시예 32 중 어느 한 실시예의 방법에서, 기판은 유리 기판과 실리콘 기판 중 적어도 하나를 포함한다.
실시예 34. 실시예 24 내지 실시예 33 중 어느 한 실시예의 방법에서, 기판은 단일 기판으로 이루어져 있다.
실시예 35. 실시예 24 내지 실시예 34 중 어느 한 실시예의 방법에서, 기판은 유리 기판으로 이루어져 있다.
실시예 36. 실시예 24 내지 실시예 35 중 어느 한 실시예의 방법에서, 기판은 약 50 마이크로미터 내지 약 300 마이크로미터의 두께를 갖는 단일 기판을 포함한다.
실시예 37. 실시예 24 내지 실시예 36 중 어느 한 실시예의 방법에서, 캐리어는 약 200 마이크로미터 내지 약 700 마이크로미터의 두께를 포함한다.
실시예 38. 실시예 24 내지 실시예 37 중 어느 한 실시예의 방법에서, 기판과 캐리어 사이에 세트백 측면 거리는 약 2mm 내지 약 10mm 이다.
실시예 39. 실시예 24 내지 실시예 38 중 어느 한 실시예의 방법에서, 단계(Ⅲ) 이후에, 기판에서 캐리어를 완전히 제거하는 단계(Ⅳ)를 추가로 포함한다.

Claims (17)

  1. 제1 캐리어의 제1 주 표면에서 제거가능하게 결합된 기판의 제1 주 표면과 제2 캐리어의 제1 주 표면에서 제거가능하게 결합된 기판의 제2 주 표면을 갖는 기판을 처리하는 방법으로,
    상기 기판의 외측 엣지 부분은 상기 제1 캐리어의 외측 부분과 상기 제2 캐리어의 외측 부분 사이에 배치되고,
    (Ⅰ) 상기 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분에 대해 웨지를 가압하는 단계와;
    (Ⅱ) 상기 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분을 떼어내기 위해 상기 웨지와 상기 기판의 상기 외측 엣지 부분 사이에 상대 이동을 제공함으로써 상기 기판과 상기 제1 캐리어 사이에 외측 주변 결합 계면의 위치에서 탈거를 개시하는 단계;를 포함하는, 기판을 처리하는 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    단계(Ⅰ)와 단계(Ⅱ)는 상기 웨지로 상기 기판의 임의 부분과 접촉되지 않고 진행되는, 기판을 처리하는 방법.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 기판은 유리 기판과 실리콘 기판 중 적어도 하나를 포함하는, 기판을 처리하는 방법.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 캐리어와 상기 제2 캐리어 중 적어도 하나는 약 200 마이크로미터 내지 약 700 마이크로미터의 두께를 포함하는, 기판을 처리하는 방법.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 캐리어 중 적어도 하나와 상기 기판 사이에 세트백 측면 거리(setback lateral distance)는 약 2mm 내지 약 10mm 로 되어 있는, 기판을 처리하는 방법.
  6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판은 약 50 마이크로미터 내지 약 300 마이크로미터의 두께를 갖는 단일 기판을 포함하는, 기판을 처리하는 방법.
  7. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
    단계(Ⅱ) 이후에, 상기 기판에서 상기 캐리어를 완전히 제거하는 단계(Ⅲ)를 추가로 포함하는, 기판을 처리하는 방법.
  8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
    삽입공구의 제1 부분은 상기 웨지를 한정하는 테이퍼진 두께를 포함하는, 기판을 처리하는 방법.
  9. 청구항 8에 있어서,
    단계(Ⅱ) 이후에, 상기 기판에서 상기 제1 캐리어의 추가 부분을 탈거하기 위해 상기 삽입공구로 상기 제1 캐리어의 탈거 부분과 상기 제2 캐리어 사이에 거리를 증가시키는 단계를 추가로 포함하는, 기판을 처리하는 방법.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 삽입공구는 일정한 두께를 갖는 제2 부분을 추가로 포함하고, 상기 방법은 적어도 상기 제1 및 제2 캐리어의 떼어낸 외측 부분의 마주보는 내측 표면들이 상기 삽입공구의 상기 제2 부분의 일정한 두께와 동일한 거리만큼 이격될 때까지 상기 웨지와 상기 기판의 상기 외측 엣지 부분 사이에 거리를 줄이는 단계를 추가로 포함하는, 기판을 처리하는 방법.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 삽입공구의 상기 제2 부분의 일정한 두께는 단계(Ⅰ)의 시작시에 상기 제1 및 제2 캐리어의 외측 부분의 마주보는 내측 표면들 사이에 거리보다 약 20 마이크로미터 내지 약 40 마이크로미터 더 크게 되어 있는, 기판을 처리하는 방법.
  12. 청구항 10 또는 청구항 11에 있어서,
    상기 삽입공구의 상기 제2 부분은 일정한 두께를 한정하는 대향된 외측 평행 표면을 포함하는, 기판을 처리하는 방법.
  13. 청구항 10 내지 청구항 12 중 어느 한 항에 있어서,
    단계(Ⅱ) 이후에, 상기 기판에서 상기 제1 캐리어의 추가 부분을 탈거하기 위해 상기 제1 캐리어의 외측 부분의 내측 표면과 맞물리는 상기 삽입공구의 제2 부분의 표면으로 상기 제1 캐리어의 탈거 부분과 상기 제2 캐리어 사이에 거리를 증가시키는 단계를 추가로 포함하는, 기판을 처리하는 방법.
  14. 청구항 1 내지 청구항 13 중 어느 한 항에 있어서,
    단계(Ⅱ) 동안에 상기 제2 캐리어의 굽힘을 억제하는 단계와, 단계(Ⅱ) 동안에 상기 제2 캐리어의 굽힘을 억제하기 위해 플레이트에 상기 제2 캐리어의 제2 주 표면을 제거가능하게 부착하는 단계를 추가로 포함하는, 기판을 처리하는 방법.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 플레이트는 진공 플레이트로 이루어지고, 상기 방법은 단계(Ⅱ) 동안에 상기 제2 캐리어의 굽힘을 억제하기 위해 상기 진공 플레이트에 상기 제2 캐리어의 제2 주 표면을 진공 부착하는 단계를 추가로 포함하는, 기판을 처리하는 방법.
  16. 청구항 1 내지 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판은 단일 기판으로 이루어지는, 기판을 처리하는 방법.
  17. 청구항 16에 있어서,
    상기 기판은 유리 기판으로 이루어지는, 기판을 처리하는 방법.
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