KR20180101149A - Transfer unit and processing apparatus for processing using the same - Google Patents

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KR20180101149A
KR20180101149A KR1020170135698A KR20170135698A KR20180101149A KR 20180101149 A KR20180101149 A KR 20180101149A KR 1020170135698 A KR1020170135698 A KR 1020170135698A KR 20170135698 A KR20170135698 A KR 20170135698A KR 20180101149 A KR20180101149 A KR 20180101149A
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최상진
최재혁
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(주)인스케이프
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Abstract

According to the present invention, a transfer unit, which can freely change a posture of an object to be processed according to a posture of an object to be processed to be carried into or out of a process unit, comprises: a support unit for supporting the object to be processed; an alignment unit for aligning a position of the support unit for the process unit; and a rotation unit for rotating the support unit according to the posture of the object to be processed which is carried into or out of the process unit. Therefore, the object to be processed can be smoothly carried into or out without having an additional transfer unit according to the posture of the object to be processed, thereby reducing the initial equipment costs.

Description

트랜스퍼 유닛 및 이를 이용한 공정 장치{TRANSFER UNIT AND PROCESSING APPARATUS FOR PROCESSING USING THE SAME}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a transfer unit and a process apparatus using the transfer unit.

본 발명은 트랜스퍼 유닛 및 이를 이용한 공정 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피공정 대상물에 공정을 수행하는 공정 유닛으로 상기 피공정 대상물을 전달하거나, 상기 공정 유닛으로부터 상기 피공정 대상물을 전달받는 트랜스퍼 유닛 및 이를 이용한 공정 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer unit and a process apparatus using the transfer unit. More particularly, the present invention relates to a transfer unit for transferring the object to be processed to a process unit for performing a process on an object to be processed, And a process apparatus using the same.

휴대 전화 단말기나 휴대용 컴퓨터 등의 휴대용 전자기기에는 카메라가 장착되어 있는 모델들이 있으며, 휴대용 전자기기에 카메라 기능을 추가하는 요구는 갈수록 늘어가고 있다. There are models equipped with cameras in portable electronic devices such as cellular phones and portable computers, and the demand for adding camera functions to portable electronic devices is increasing.

휴대용 전자기기에 장착되는 카메라는 소형의 카메라 모듈로 구성되는데, 이러한 카메라 모듈의 자동 생산을 위해서는 다양한 공정들이 수행된다.A camera mounted on a portable electronic device is composed of a small camera module. Various processes are performed for the automatic production of such a camera module.

한편, 휴대용 전자기기는 눕혀서 사용하기도 하지만, 카메라 모듈을 이용하여 사진이나 영상을 촬영할 때에는 주로 휴대용 전자기기를 세워서 사용하기도 한다. 따라서 카메라 모듈의 제조 공정, 초기 설정 공정 및 검사 공정은 실제로 카메라 모듈이 사용되는 다양한 자세에 대응하여 검사가 수행되어야 한다.On the other hand, although portable electronic devices are used in a lying down position, portable electronic devices are mainly used when photographing or photographing images using a camera module. Therefore, the manufacturing process, the initial setting process, and the inspection process of the camera module must be performed in response to various postures in which the camera module is actually used.

하지만 카메라 모듈을 안정적으로 지지하고, 이송의 편의를 위하여 종래에는 상기 공정들을 카메라 모듈이 가로 방향인 상태에서 수행되고 있는 실정이여서, 실제 카메라 모듈의 사용 상태에 따른 상기 공정들의 공정 결과에 따른 신뢰도를 확보하기 곤란한 문제점이 있다.However, in order to stably support the camera module and to facilitate the transfer, in the past, the processes have been performed in a state in which the camera module is in the horizontal direction. Therefore, the reliability according to the process results of the processes There is a problem that it is difficult to secure.

대한민국 등록특허 제0534023호 (2005. 12. 07. 공고)Korean Registered Patent No. 0534023 (Notice of Dec. 07, 2005)

본 발명의 목적은 피공정 대상물이 실제 사용되는 자세로 피공정 대상물을 처리하는 공정 장치를 제공하며, 공정 유닛으로 반입되거나 반출되는 피공정 대상물의 자세에 따라 피공정 대상물의 자세를 자유롭게 변경할 수 있도록 한 트랜스퍼 유닛 및 이를 이용한 공정 장치를 제공하는 데 있다.It is an object of the present invention to provide a process apparatus for processing an object to be processed in a posture in which an object to be processed is actually used and to change the posture of the object to be processed in accordance with the posture of the object to be processed, And a process unit using the transfer unit.

피공정 대상물에 공정을 수행하는 공정 유닛으로 상기 피공정 대상물을 반입하거나, 상기 공정 유닛으로부터 배출되는 상기 피공정 대상물을 반출하는 본 발명에 따른 트랜스퍼 유닛은 상기 피공정 대상물을 지지하는 지지부, 상기 공정 유닛에 대한 상기 지지부의 위치를 정렬하는 정렬부 및 상기 공정 유닛으로 반입되거나 상기 공정 유닛으로부터 반출되는 상기 피공정 대상물의 자세에 따라 상기 지지부를 회전시키는 회전부를 포함할 수 있다. A transfer unit according to the present invention for carrying the object to be processed into a processing unit for carrying out a process on the object to be processed and carrying out the object to be processed discharged from the processing unit comprises a support for supporting the object to be processed, An alignment unit for aligning the position of the support unit with respect to the unit, and a rotation unit for rotating the support unit in accordance with the posture of the object to be processed that is carried into or out of the processing unit.

상기 피공정 대상물은 상기 공정 유닛에 수평 방향으로 반입되며, 상기 회전부는 상기 지지부가 상기 피공정 대상물을 수평 방향으로 지지하도록 상기 지지부를 회전시킬 수 있다.The object to be processed is brought into the processing unit in a horizontal direction, and the rotation unit can rotate the support unit such that the support unit supports the object to be processed in a horizontal direction.

상기 피공정 대상물은 상기 공정 유닛에 수평 방향으로 반출되며, 상기 회전부는 상기 지지부가 상기 피공정 대상물을 수평 방향으로 지지하도록 상기 지지부를 회전시킬 수 있다.The object to be processed is carried out in the horizontal direction to the processing unit, and the rotation unit can rotate the support unit such that the support unit supports the object to be processed in the horizontal direction.

상기 피공정 대상물은 상기 공정 유닛에 수직 방향으로 반입되며, 상기 회전부는 상기 지지부가 상기 피공정 대상물을 수직 방향으로 지지하도록 상기 지지부를 회전시킬 수 있다.The object to be processed is brought into the processing unit in a vertical direction, and the rotation unit can rotate the support unit such that the support unit supports the object to be processed in a vertical direction.

상기 피공정 대상물은 상기 공정 유닛에 수직 방향으로 반출되며, 상기 회전부는 상기 지지부가 상기 피공정 대상물을 수직 방향으로 지지하도록 상기 지지부를 회전시킬 수 있다.The object to be processed is carried out in a vertical direction to the processing unit, and the rotating part can rotate the supporting part such that the supporting part supports the object to be processed in a vertical direction.

상기 지지부는 상기 공정 유닛으로 반입되는 제 1피공정 대상물을 지지하는 제 1지지모듈 및 상기 공정 유닛으로부터 반출되는 제 2피공정 대상물을 지지하는 제 2지지모듈을 포함할 수 있다.The supporting portion may include a first supporting module for supporting a first object to be processed to be carried into the processing unit and a second supporting module for supporting a second object to be processed to be carried out from the processing unit.

상기 공정 유닛은 상기 피공정 대상물이 수평 방향으로 반입되고 수평 방향으로 반출되는 제 1공정 유닛과, 상기 피공정 대상물이 수직 방향으로 반입되고 수직 방향으로 반출되는 제 2공정 유닛을 포함하며, 상기 회전부는 상기 제 1공정 유닛에 대응하여 상기 지지부가 상기 피공정 대상물을 수평 방향으로 지지하도록 상기 지지부를 회전시키고, 상기 제 2공정 유닛에 대응하여 상기 지지부가 상기 피공정 대상물을 수직 방향으로 지지하도록 상기 지지부를 회전시킬 수 있다.Wherein the processing unit includes a first processing unit in which the object to be processed is carried in a horizontal direction and carried out in a horizontal direction and a second processing unit in which the object to be processed is carried in a vertical direction and taken out in a vertical direction, The support unit rotates the support unit so that the support unit supports the object to be processed in the horizontal direction corresponding to the first processing unit and the support unit rotates the support unit in the vertical direction corresponding to the second processing unit The supporting portion can be rotated.

상기 지지부는 상기 제 1공정 유닛으로 반입되는 제 1피공정 대상물을 지지하는 제 1지지모듈 및 상기 제 1공정 유닛으로부터 반출되는 제 2피공정 대상물을 지지하는 제 2지지모듈을 포함할 수 있다.The supporting portion may include a first supporting module for supporting a first object to be processed to be carried into the first processing unit and a second supporting module for supporting a second object to be processed to be carried out from the first processing unit.

상기 제 2피공정 대상물은 상기 제 2공정 유닛으로 반입되며, 상기 제 1지지모듈은 상기 제 2공정 유닛으로부터 반출되는 제 3피공정 대상물을 지지할 수 있다.The second object to be processed is brought into the second processing unit and the first supporting module can support a third object to be processed to be carried out from the second processing unit.

한편, 본 발명에 따른 공정 장치는 피공정 대상물에 공정을 수행하는 공정 유닛, 상기 피공정 대상물을 지지하는 지지부, 상기 공정 유닛에 대한 상기 지지부의 위치를 정렬하는 정렬부 및 상기 공정 유닛으로 반입되거나 상기 공정 유닛으로부터 반출되는 상기 피공정 대상물의 자세에 따라 상기 지지부를 회전시키는 회전부를 포함할 수 있다.Meanwhile, a processing apparatus according to the present invention includes a processing unit for performing a process on an object to be processed, a support for supporting the object to be processed, an alignment unit for aligning the position of the support unit with respect to the processing unit, And a rotating unit that rotates the support unit in accordance with the posture of the object to be processed carried out of the processing unit.

상기 지지부는 상기 공정 유닛으로 반입되는 상기 피공정 대상물을 지지하는 제 1지지모듈 및 상기 공정 유닛으로부터 반출되는 피공정 대상물을 지지하는 제 2지지모듈을 포함할 수 있다.The supporting unit may include a first supporting module for supporting the object to be processed to be carried into the processing unit and a second supporting module for supporting the object to be processed carried out from the processing unit.

한편, 본 발명에 따른 공정 장치는 피공정 대상물이 수평 방향으로 반입되고 수평 방향으로 반출되는 제 1공정 유닛, 상기 피공정 대상물이 수직 방향으로 반입되고 수직 방향으로 반출되는 제 2공정 유닛, 상기 피공정 대상물을 지지하는 지지부, 상기 제 1공정 유닛과 상기 제 2공정 유닛에 대한 상기 지지부의 위치를 정렬하는 정렬부 및 상기 제 1공정 유닛에 대응하여 상기 지지부가 상기 피공정 대상물을 수평 방향으로 지지하도록 상기 지지부를 회전시키고, 상기 제 2공정 유닛에 대응하여 상기 지지부가 상기 피공정 대상물을 수직 방향으로 지지하도록 상기 지지부를 회전시키는 회전부를 포함할 수 있다.On the other hand, the processing apparatus according to the present invention includes a first processing unit in which the object to be processed is carried in the horizontal direction and taken out in the horizontal direction, a second processing unit in which the object to be processed is carried in the vertical direction and taken out in the vertical direction, An alignment unit for aligning the position of the support unit with respect to the first process unit and the second process unit, and a support unit for supporting the process target in a horizontal direction corresponding to the first process unit, And a rotating unit that rotates the support unit in such a manner that the support unit supports the object to be processed in the vertical direction corresponding to the second processing unit.

상기 지지부는 상기 제 1공정 유닛으로 반입되는 제 1피공정 대상물을 지지하는 제 1지지모듈 및 상기 제 1공정 유닛으로부터 반출되는 제 2피공정 대상물을 지지하는 제 2지지모듈을 포함할 수 있다.The supporting portion may include a first supporting module for supporting a first object to be processed to be carried into the first processing unit and a second supporting module for supporting a second object to be processed to be carried out from the first processing unit.

상기 제 2피공정 대상물은 상기 제 2공정 유닛으로 반입되며, 상기 제 1지지모듈은 상기 제 2공정 유닛으로부터 반출되는 제 3피공정 대상물을 지지할 수 있다.The second object to be processed is brought into the second processing unit and the first supporting module can support a third object to be processed to be carried out from the second processing unit.

본 발명에 따른 트랜스퍼 유닛 및 이를 이용한 공정 장치는 피공정 대상물의 실제 사용 상태에 따른 피공정 대상물의 자세를 변경하면서 공정을 수행할 수 있으므로, 피공정 대상물에 대한 제조 공정, 초기 설정 공정, 검사 공정 등에 대한 신뢰성을 확보할 수 있는 효과가 있다.The transfer unit and the process apparatus using the transfer unit according to the present invention can perform the process while changing the posture of the process target according to the actual use state of the process target object. Therefore, the manufacturing process, the initial setting process, And the like can be secured.

또한 본 발명에 따른 트랜스퍼 유닛 및 이를 이용한 공정 장치는 공정 유닛으로 반입되거나 반출되는 피공정 대상물의 자세에 따라 별도의 트랜스퍼 유닛을 별도로 마련하지 않더라도 피공정 대상물를 원활하게 반입 또는 반출할 수 있으므로, 초기 장비 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다. Further, according to the transfer unit and the process apparatus using the transfer unit according to the present invention, depending on the posture of the process target to be carried in or out of the process unit, the process target can be smoothly carried or unloaded without separately providing a separate transfer unit. The cost can be reduced.

또한 본 발명에 따른 트랜스퍼 유닛 및 이를 이용한 공정 장치는 공정 유닛으로 반입되거나 반출되는 피공정 대상물의 자세에 따른 트랜스퍼 유닛의 교체가 불필요하고 공정을 마친 피공정 대상물과 새로운 피공정 대상물의 교체가 거의 동시에 이루어지므로, 공정의 연속성을 부여하여 생산성을 향상할 수 있는 효과가 있다.Further, according to the transfer unit and the process apparatus using the same according to the present invention, it is not necessary to replace the transfer unit according to the posture of the process target to be carried in or out of the process unit, and the replacement of the process target object and the new process target object So that the productivity can be improved by providing continuity of the process.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜스퍼 유닛과 공정 유닛의 배치 관계를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜스퍼 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 3 내지 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜스퍼 유닛에 의한 피공정 대상물의 반입 및 반출 동작을 나타낸 작동도이다. 1 is a perspective view showing the arrangement relationship between a transfer unit and a process unit according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing a transfer unit according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 3 to 6 are operation diagrams illustrating the loading and unloading operations of the object to be processed by the transfer unit according to the embodiment of the present invention.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 일실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.The terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary terms and the inventor may appropriately define the concept of the term in order to best describe its invention It should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention. Therefore, the embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are only examples of the present invention, and are not intended to represent all of the technical ideas of the present invention, so that various equivalents and modifications may be made thereto .

이하, 본 발명에 따른 트랜스퍼 유닛에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a transfer unit according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜스퍼 유닛과 공정 유닛의 배치 관계를 나타낸 사시도이다. 1 is a perspective view showing the arrangement relationship between a transfer unit and a process unit according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이 공정 유닛(10, 20)이 복수로 마련되는 경우, 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜스퍼 유닛(이하, '트랜스퍼 유닛'이라 함)(100)은 외부로부터 로딩된 피공정 대상물(1)을 복수의 공정 유닛(10, 20) 중 처음 공정을 수행하는 공정 유닛으로 전달하고, 복수의 공정 유닛(10, 20) 중 마지막 공정을 수행하는 공정 유닛으로부터 피공정 대상물(1)을 전달받아 외부로 언로딩할 수 있다. 또한, 트랜스퍼 유닛(100)은 복수의 공정 유닛(10, 20) 중 어느 하나의 공정 유닛으로부터 배출되는 피공정 대상물(1)을 다른 하나의 공정 유닛으로 전달할 수 있다. When a plurality of process units 10 and 20 are provided as shown in FIG. 1, a transfer unit (hereinafter, referred to as a 'transfer unit') 100 according to an embodiment of the present invention is a transfer unit (1) from a process unit which performs the last process among a plurality of process units (10, 20) and transfers the process object (1) to a process unit for performing a first process out of a plurality of process units ) And can unload it to the outside. Further, the transfer unit 100 can transfer the object 1 to be processed, which is discharged from one of the plurality of processing units 10, 20, to another processing unit.

만약 공정 유닛이 단수로 마련되는 경우, 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜스퍼 유닛(100)은 외부로부터 로딩된 피공정 대상물(1)을 공정 유닛으로 전달하고, 공정 유닛으로부터 배출되는 피공정 대상물(1)을 외부로 언로딩할 수 있다. If the process unit is provided in a single unit, the transfer unit 100 according to an embodiment of the present invention transfers the externally loaded process object 1 to the process unit, and the process object 1 ) Can be unloaded to the outside.

이하에서는 설명과 이해의 편의를 위하여, 본 발명의 일 실시예에서는 도 1에 도시된 바와 같이 공정 유닛(10, 20)이 복수로 마련되는 실시예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, for convenience of explanation and understanding, an embodiment in which a plurality of process units 10 and 20 are provided as shown in FIG. 1 will be described in an embodiment of the present invention.

또한, 복수의 공정 유닛(10, 20)은 휴대용 전자기기에 장착되는 소형의 카메라 모듈(1a)의 제조 공정, 초기 설정 공정, 검사 공정 등을 각각 수행하는 독립된 공정 유닛일 수 있다. 피공정 대상물(1)은 휴대용 전자기기에 설치되는 카메라 모듈(1a)이 수납된 카메라 모듈 어레이(1)를 기준으로 설명한다. 카메라 모듈 어레이(1)는 판상의 트레이에 복수의 카메라 모듈(1a)을 함께 지지할 수 있도록 복수의 수납구가 형성되는 실시예에 대하여 설명하도록 한다. In addition, the plurality of process units 10 and 20 may be independent process units that respectively perform the manufacturing process, the initial setting process, the inspection process, and the like of the small camera module 1a mounted on the portable electronic device. The object to be processed 1 is described with reference to a camera module array 1 in which a camera module la installed in a portable electronic device is housed. The camera module array 1 will be described with respect to an embodiment in which a plurality of receiving ports are formed so as to support a plurality of camera modules 1a on a plate-shaped tray.

한편, 각 공정 유닛(10, 20)은 함체 형상으로 이루어지며, 그 내부에는 각 공정 유닛(10, 20)에 해당되는 공정을 수행할 수 있는 장치(미도시)들이 설치될 수 있다. 따라서 각 공정 유닛(10, 20)의 일면에는 각 공정 유닛(10, 20)에 해당되는 공정을 수행할 수 있는 장치(미도시)의 설치, 유지, 관리 등을 위하여 일면이 개폐 가능하도록 하는 도어(31, 32)가 설치될 수 있다. 그리고 각 도어(31, 32)에는 카메라 모듈 어레이(1)의 출입을 위한 출입구(41, 42)가 형성될 수 있다. 물론, 출입구(31)에는 도어(31, 32)와 별도로 개폐 가능한 출입 도어(51, 52)가 설치될 수 있다.Each of the process units 10 and 20 is formed into a box shape, and devices (not shown) capable of performing processes corresponding to the process units 10 and 20 can be installed therein. Therefore, on one surface of each of the process units 10 and 20, a door (not shown) for opening / closing one surface for installing, maintaining, and managing a device (not shown) (31, 32) can be installed. The doors (41, 42) for entering and exiting the camera module array (1) can be formed in each of the doors (31, 32). Of course, the door 31 may be provided with access doors 51 and 52 which can be opened and closed separately from the doors 31 and 32.

상술한 바와 같이, 카메라 모듈 어레이(1)는 카메라 모듈(1a)의 실제 사용 상태를 고려하여, 수평 방향으로 공정 유닛(10)에 반입되어 해당 공정이 수행되거나, 수직 방향으로 공정 유닛(20)에 반입되어 해당 공정이 수행될 수 있다. 따라서 복수의 공정 유닛(10, 20) 중 적어도 어느 하나의 공정 유닛(10)에는 수평 방향의 출입구(41)가 형성될 수 있으며, 적어도 어느 하나의 공정 유닛(20)에는 수직 방향의 출입구(42)가 형성될 수 있다. The camera module array 1 is brought into the process unit 10 in the horizontal direction to perform the corresponding process in consideration of the actual use state of the camera module 1a or the process unit 20 in the vertical direction, And the corresponding process can be performed. Therefore, a horizontally oriented exit 41 may be formed in at least one of the plurality of process units 10 and 20, and at least one of the vertically oriented process units 20 May be formed.

그러므로 수평 방향의 출입구(41)와 수직 방향의 출입구(42)에 대응하여, 트랜스퍼 유닛(100)은 카메라 모듈 어레이(1)를 수평 방향으로 공정 유닛(10)에 반입 또는 반출하거나, 수직 방향으로 공정 유닛(20)에 반입 또는 반출할 수 있다.Therefore, corresponding to the entrance 41 in the horizontal direction and the entrance 42 in the vertical direction, the transfer unit 100 can carry the camera module array 1 horizontally into or out of the process unit 10, And can be brought into or out of the processing unit 20.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜스퍼 유닛을 나타낸 사시도이다. 2 is a perspective view showing a transfer unit according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 트랜스퍼 유닛(100)은 지지부(110), 정렬부(130) 및 회전부(150)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 2, the transfer unit 100 may include a support 110, an alignment unit 130, and a rotation unit 150.

지지부(110)는 카메라 모듈 어레이(1)를 지지한다. 지지부(110)는 제 1지지모듈(111)과 제 2지지모듈(112)을 포함할 수 있다. 제 1지지모듈(111)은 공정 유닛에 반입되는 카메라 모듈 어레이(1)를 지지하고, 제 2지지모듈(112)은 공정 유닛으로부터 반출되는 카메라 모듈 어레이(1)를 지지한다. The support 110 supports the camera module array 1. The support 110 may include a first support module 111 and a second support module 112. The first supporting module 111 supports the camera module array 1 which is brought into the processing unit and the second supporting module 112 supports the camera module array 1 which is taken out of the processing unit.

제 1지지모듈(111)과 제 2지지모듈(112)은 카메라 모듈 어레이(1)의 폭 방향(x축 방향), 길이 방향(y축 방향), 두께 방향(z축 방향) 중 적어도 어느 한 방향으로 카메라 모듈 어레이(1)를 기구적으로 클램핑하는 한쌍의 클램퍼, 또는 진공 흡착력에 의해 카메라 모듈 어레이(1)를 진공 흡착하는 진공 척, 또는 점착력에 의해 카메라 모듈 어레이(1)를 점착하는 점착 척 등의 형태로 이루어질 수 있다. The first supporting module 111 and the second supporting module 112 can be mounted on the camera module array 1 in at least one of a width direction (x axis direction), a longitudinal direction (y axis direction), and a thickness direction A pair of clamper for mechanically clamping the camera module array 1 in the direction of the camera module array 1 or a vacuum chuck for vacuum adsorbing the camera module array 1 by vacuum attraction force or a vacuum chuck for adhering the camera module array 1 by adhesive force Chuck or the like.

정렬부(130)는 공정 유닛(10, 20)에 대한 지지부(110)의 위치를 정렬한다. 정렬부(130)는 도 2에 표기된 x축, y축 및 z축의 길이를 가지는 복수의 리니어 액츄에이터의 조합, 또는 지지부(110)를 3차원으로 이송할 수 있는 다관절 로봇의 형태로 마련될 수 있다.The alignment unit 130 aligns the position of the support 110 relative to the process units 10, 20. The alignment unit 130 may be provided in the form of a combination of a plurality of linear actuators having lengths of x axis, y axis, and z axis shown in FIG. 2, or a joint articulated robot capable of three- have.

회전부(150)는 공정 유닛(10, 20)으로 반입되거나 공정 유닛(10, 20)으로부터 반출되는 카메라 모듈 어레이(1)의 자세에 따라 지지부(110)를 회전시킨다. 회전부(150)는 정렬부(130)에 지지되고 회전축이 지지부(110)에 연결되는 회전 모터, 또는 정렬부(130)에 지지되고 회전축이 지지부(110)에 연결되는 유/공압 로터리 액츄이이터, 또는 정렬부(130)에 지지되고 피니언에 연결된 회전축이 지지부(110)에 연결되어 랙의 직선운동을 회전운동으로 변환하는 랙 앤 피니언의 형태 등으로 이루어질 수 있다. The rotation unit 150 rotates the support unit 110 according to the orientation of the camera module array 1 that is carried into the process units 10 and 20 or carried out from the process units 10 and 20. The rotation unit 150 includes a rotation motor supported by the alignment unit 130 and connected to the support unit 110 by a rotation shaft or an oil / pneumatic rotary actuator supported by the alignment unit 130 and having a rotation axis connected to the support unit 110 Or a rack and pinion type that is supported by the alignment unit 130 and connected to the pinion so that the rotation axis is connected to the support unit 110 to convert linear motion of the rack into rotational motion.

회전부(150)에 의한 지지부(110)의 회전 각도는, 기 설정된 공정 순서에 따른 각 공정 유닛(10, 20)의 출입구(41, 42)의 형태에 따라 기 설정될 수 있다. The rotation angle of the support part 110 by the rotation part 150 can be preset according to the shapes of the entrance and exit ports 41 and 42 of the process units 10 and 20 according to a predetermined process sequence.

도시되지 않았지만, 공정 유닛(10, 20)의 출입구(41, 42) 주변에는 공정 유닛(10, 20)의 출입구(41, 42)의 형태를 식별할 수 있도록 하는 식별 부호, 식별 센서 등이 마련되고, 지지부(110)의 선단부에는 식별 부호, 식별 센서 등을 감지하는 리더기가 설치될 수 있다. 회전부(150)는 리더기에 의해 감지되는 각 공정 유닛(10, 20)의 출입구(41, 42)의 형태에 따라 지지부(110)를 회전시킬 수 있다. Although not shown, an identification code, an identification sensor or the like for identifying the shape of the entry / exit ports 41 and 42 of the processing units 10 and 20 is provided around the entry / exit ports 41 and 42 of the processing units 10 and 20 And a reader for detecting an identification code, an identification sensor, or the like may be installed at the distal end of the support part 110. The rotation unit 150 may rotate the support unit 110 according to the shapes of the entrance and exit ports 41 and 42 of the process units 10 and 20 sensed by the reader.

이와 같이 트랜스퍼 유닛(100)은 회전부(150)에 의해 지지부(110)의 회전이 가능하다. 따라서 트랜스퍼 유닛(100)은 수평 방향의 출입구(41)가 형성된 공정 유닛(10)과, 수직 방향의 출입구(42)가 형성된 공정 유닛(20)으로 카메라 모듈 어레이(1)를 출입시킬 수 있다. As described above, the transfer unit 100 is capable of rotating the support unit 110 by the rotation unit 150. Therefore, the transfer unit 100 can move the camera module array 1 into and out of the processing unit 10 in which the entrance 41 in the horizontal direction is formed and the process unit 20 in which the entrance 42 in the vertical direction is formed.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜스퍼 유닛의 작용에 대해 설명하도록 한다.Hereinafter, the operation of the transfer unit according to one embodiment of the present invention will be described.

먼저, 설명과 이해의 편의를 위하여 피공정 대상물을 하기와 같이 정의하도록 한다. First, for convenience of explanation and understanding, the object to be processed is defined as follows.

제 1공정 유닛은 복수의 공정 유닛 중 어느 하나의 공정 유닛을 지칭한다. 제 2공정 유닛은 복수의 공정 유닛 중 제 1공정 유닛을 제외한 나머지 공정 유닛 중 어느 하나를 지칭한다. 제 1카메라 모듈 어레이(제 1피공정 대상물)은 제 1공정 유닛에 반입되는 카메라 모듈 어레이를 지칭한다. 제 2카메라 모듈 어레이(제 2피공정 대상물)은 제 1공정 유닛으로부터 배출되는 카메라 모듈 어레이를 지칭한다. 제 3카메라 모듈 어레이(제 3피공정 대상물)은 제 2공정 유닛으로부터 배출되는 카메라 모듈 어레이를 지칭한다. The first processing unit refers to any one of the plurality of processing units. And the second process unit refers to any one of the process units other than the first process unit among the plurality of process units. The first camera module array (first to-be-processed object) refers to a camera module array that is brought into the first processing unit. The second camera module array (second to-be-processed object) refers to an array of camera modules that are ejected from the first processing unit. The third camera module array (the third to-be-processed object) refers to the camera module array that is ejected from the second processing unit.

도 3 내지 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 트랜스퍼 유닛에 의한 피공정 대상물의 반입 및 반출 동작을 나타낸 작동도이다. FIGS. 3 to 6 are operation diagrams illustrating the loading and unloading operations of the object to be processed by the transfer unit according to the embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 트랜스퍼 유닛(100)은 외부로부터 로딩된 제 1카메라 모듈 어레이(3)를 지지할 수 있다. 즉, 정렬부(130)는 제 1카메라 모듈 어레이(3)가 로딩되는 위치에 제 1지지모듈(111)을 정렬하고, 제 1지지모듈(111)에는 제 1카메라 모듈 어레이(3)가 지지될 수 있다. Referring to FIG. 3, the transfer unit 100 can support the first camera module array 3 loaded from the outside. That is, the alignment unit 130 aligns the first support module 111 at a position where the first camera module array 3 is loaded, and the first camera module array 3 is supported by the first support module 111 .

도 4를 참조하면, 트랜스퍼 유닛(100)은 제 1공정 유닛(10)의 출입구(41)에 제 1카메라 모듈 어레이(3)를 정렬한다. 즉, 정렬부(130)는 2차원 내지 3차원으로 지지부(110)를 이송하여 제 1공정 유닛(10)의 출입구(41)에 대해 지지부(110)를 정렬한다. 4, the transfer unit 100 aligns the first camera module array 3 with the entrance 41 of the first processing unit 10. [ That is, the aligning unit 130 aligns the supporting unit 110 with respect to the entrance 41 of the first processing unit 10 by transferring the supporting unit 110 in two-dimensional or three-dimensional directions.

이때, 제 1공정 유닛(10)의 출입구(41)가 수평 방향으로 형성되어 있다면, 회전부(150)는 지지부(110)를 회전시켜 제 1카메라 모듈 어레이(3)를 수평 방향으로 정렬할 수 있다. 물론, 초기에 로딩된 제 1카메라 모듈 어레이(3)가 수평 방향으로 로딩되고 트랜스퍼 유닛(100)이 제 1카메라 모듈 어레이(3)를 수평 방향으로 지지하고 있다면, 회전부(150)는 지지부(110)를 회전시키지 않아도 좋다.At this time, if the entrance 41 of the first processing unit 10 is formed in the horizontal direction, the rotation unit 150 can rotate the support unit 110 to align the first camera module array 3 in the horizontal direction . Of course, if the initially loaded first camera module array 3 is loaded in the horizontal direction and the transfer unit 100 supports the first camera module array 3 in the horizontal direction, May not be rotated.

계속해서, 정렬부(130)는 제 1공정 유닛(10)의 출입구(41)의 내측으로 지지부(110)를 이송하며, 제 1지지모듈(111)은 제 1공정 유닛(10)의 출입구(41)의 내측에 제 1카메라 모듈 어레이(3)를 반입할 수 있다. 제 1카메라 모듈 어레이(3)가 제 1공정 유닛(10)으로 반입되면, 제 1공정 유닛(10)은 제 1카메라 모듈 어레이(3)에 해당 공정을 수행할 수 있다. The alignment unit 130 transfers the support unit 110 to the inside of the entrance 41 of the first processing unit 10 and the first support module 111 is connected to the entrance / The first camera module array 3 can be carried in the inside of the first camera module array 41. When the first camera module array 3 is brought into the first processing unit 10, the first processing unit 10 can perform the corresponding process on the first camera module array 3. [

이와 같이, 제 1공정 유닛(10)에서 해당 공정이 수행되는 동안, 트랜스퍼 유닛(100)은 새로운 제 1카메라 모듈 어레이(3)를 제 1지지모듈(111)에 지지할 수 있다.In this manner, the transfer unit 100 can support the new first camera module array 3 to the first supporting module 111 while the corresponding process is performed in the first processing unit 10.

계속해서, 제 1공정 유닛(10)에서 해당 공정이 종료되면, 공정을 마친 제 2카메라 모듈 어레이(4)가 배출될 수 있다. 정렬부(130)는 제 2카메라 모듈 어레이(4)의 배출을 위해 제 2지지모듈(112)을 제 1공정 유닛(10)의 출입구(41)에 정렬할 수 있다. 제 1공정 유닛(10)의 출입구(41)는 수평 방향으로 형성되어 있기 때문에, 회전부(150)는 제 1지지모듈(111)이 새로운 제 1카메라 모듈 어레이(3)를 수평 방향으로 지지하고, 제 2지지모듈(112)이 제 2카메라 모듈 어레이(4)를 수평 방향으로 지지할 수 있도록 지지부(110)를 회전시킨다. 마찬가지로, 제 1카메라 모듈 어레이(3)가 수평 방향으로 제 1지지모듈(111)에 지지된 상태라면, 회전부(150)는 지지부(110)를 회전시키지 않아도 좋다.Subsequently, when the corresponding process is completed in the first process unit 10, the second camera module array 4 after completion of the process can be discharged. The alignment unit 130 may align the second support module 112 to the entrance 41 of the first processing unit 10 for ejection of the second camera module array 4. [ The entrance portion 41 of the first processing unit 10 is formed in the horizontal direction so that the first supporting module 111 supports the new first camera module array 3 in the horizontal direction, The support unit 110 is rotated so that the second support module 112 can support the second camera module array 4 in the horizontal direction. Likewise, if the first camera module array 3 is supported by the first support module 111 in the horizontal direction, the rotation unit 150 may not rotate the support unit 110.

계속해서, 정렬부(130)는 제 1공정 유닛(10)의 출입구(41)의 내측으로 지지부(110)를 이송하며, 제 2지지모듈(112)은 제 1공정 유닛(10)의 출입구(41)의 내측으로부터 제 2카메라 모듈 어레이(4)를 반출할 수 있다. 그리고 정렬부(130)는 제 2지지모듈(112)을 제 1공정 유닛(10)의 출입구(41)에 정렬한다. The alignment unit 130 transfers the support unit 110 to the inside of the entrance 41 of the first processing unit 10 and the second support module 112 transfers the support unit 110 to the entrance The second camera module array 4 can be taken out from the inside of the first camera module 41. The alignment unit 130 aligns the second support module 112 with the entrance 41 of the first processing unit 10.

계속해서, 정렬부(130)는 제 1공정 유닛(10)의 출입구(41)의 내측으로 지지부(110)를 이송하며, 제 1지지모듈(111)은 제 1공정 유닛(10)의 출입구(41)의 내측에 새로운 제 1카메라 모듈 어레이(3)를 반입할 수 있다.The alignment unit 130 transfers the support unit 110 to the inside of the entrance 41 of the first processing unit 10 and the first support module 111 is connected to the entrance / The new first camera module array 3 can be brought into the inside of the first camera module 41.

이와 같이 트랜스퍼 유닛(100)은 제 1공정 유닛(10)으로부터 배출되는 제 2카메라 모듈 어레이(4)를 반출하는 동작과, 제 1공정 유닛(10)에 제 1카메라 모듈 어레이(3)를 반입하는 동작을 거의 동시에 수행할 수 있으므로, 공정의 연속성을 부여할 수 있다.As described above, the transfer unit 100 carries out the operation of carrying out the second camera module array 4 discharged from the first processing unit 10 and the operation of bringing the first camera module array 3 into the first processing unit 10 Can be performed almost simultaneously, so that the continuity of the process can be given.

도 5를 참조하면, 트랜스퍼 유닛(100)은 제 2공정 유닛(20)의 출입구(42)에 제 2카메라 모듈 어레이(4)를 정렬한다. 즉, 정렬부(130)는 2차원 내지 3차원으로 지지부(110)를 이송하여 제 2공정 유닛(20)의 출입구(42)에 대해 제 2지지모듈(112)을 정렬한다. Referring to FIG. 5, the transfer unit 100 aligns the second camera module array 4 with the entrance 42 of the second processing unit 20. That is, the aligning unit 130 aligns the second supporting module 112 with respect to the entrance 42 of the second processing unit 20 by transferring the supporting unit 110 in two-dimensional or three-dimensional directions.

도 5을 참조하면, 제 2공정 유닛(20)의 출입구(42)가 수직 방향으로 형성되어 있다면, 회전부(150)는 지지부(110)를 회전시켜 제 2카메라 모듈 어레이(4)를 수직 방향으로 정렬할 수 있다.5, if the entrance 42 of the second processing unit 20 is formed in the vertical direction, the rotation unit 150 rotates the support unit 110 to rotate the second camera module array 4 in the vertical direction You can sort.

도 6을 참조하면, 정렬부(130)는 제 2공정 유닛(20)의 출입구(42)의 내측으로 지지부(110)를 이송하며, 제 2지지모듈(112)은 제 2공정 유닛(20)의 출입구(42)의 내측에 제 2카메라 모듈 어레이(4)를 반입할 수 있다. 제 2카메라 모듈 어레이(4)가 제 2공정 유닛(20)으로 반입되면, 제 2공정 유닛(20)은 제 2카메라 모듈 어레이(4)에 해당 공정을 수행할 수 있다.6, the alignment unit 130 transfers the support unit 110 to the inside of the entrance 42 of the second processing unit 20, and the second support module 112 transfers the support unit 110 to the second processing unit 20, The second camera module array 4 can be loaded into the entrance 42 of the second camera module 4. When the second camera module array 4 is brought into the second process unit 20, the second process unit 20 can perform the corresponding process on the second camera module array 4. [

한편, 제 2카메라 모듈 어레이(4)에 대한 공정이 완료되고, 제 2공정 유닛(20)으로부터 제 3카메라 모듈 어레이(5)가 반출될 때, 트랜스퍼 유닛(100)은 제 1지지모듈(111)을 이용하여 제 3카메라 모듈 어레이(5)를 먼저 반출한 다음, 상술한 바와 같When the process for the second camera module array 4 is completed and the third camera module array 5 is transferred from the second process unit 20 to the first transfer module 100, , The third camera module array 5 is taken out first, and then, as described above

은 제 2카메라 모듈 어레이(4)를 반입하여 공정의 연속성을 유지할 수 있다. The second camera module array 4 can be carried in and the continuity of the process can be maintained.

이와 같이 트랜스퍼 유닛(100)은 공정 유닛(10, 20)의 출입구(41, 42)의 형태에 따라 회전부(150)가 지지부(110)를 회전시켜 카메라 모듈 어레이(1)의 반입 또는 반출 자세를 자유롭게 변경할 수 있다. 따라서 공정 유닛(10, 20)으로 반입되거나 반출되는 카메라 검사 모듈의 자세에 따라, 별도의 트랜스퍼 유닛(100)을 별도로 마련하지 않더라도 카메라 모듈 어레이(1)를 원활하게 반입 또는 반출할 수 있다.The transfer unit 100 rotates the support unit 110 according to the shapes of the entrance and exit ports 41 and 42 of the process units 10 and 20 so that the camera module array 1 You can change it freely. Therefore, the camera module array 1 can be smoothly carried in or out of the process units 10 and 20, even if a separate transfer unit 100 is not separately provided, depending on the posture of the camera inspection module.

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호 범위에 속하게 될 것이다.The embodiments of the present invention described above and shown in the drawings should not be construed as limiting the technical idea of the present invention. The scope of protection of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and those skilled in the art will be able to modify the technical idea of the present invention in various forms. Accordingly, such improvements and modifications will fall within the scope of the present invention as long as they are obvious to those skilled in the art.

1 : 피공정 대상물
10, 20 : 공정 유닛 31, 32 : 도어
41, 42 : 출입구 100 : 트랜스퍼 유닛
110 : 지지부 111 : 제 1지지모듈
112 : 제 2지지모듈 130 : 정렬부
150 : 회전부 1: Process object
10, 20: processing unit 31, 32: door
41, 42: Entry / exit port 100: Transfer unit
110: support part 111: first support module
112: second supporting module 130:
150:

Claims (14)

피공정 대상물에 공정을 수행하는 공정 유닛으로 상기 피공정 대상물을 반입하거나, 상기 공정 유닛으로부터 배출되는 상기 피공정 대상물을 반출하는 트랜스퍼 유닛에 있어서,
상기 피공정 대상물을 지지하는 지지부;
상기 공정 유닛에 대한 상기 지지부의 위치를 정렬하는 정렬부;및
상기 공정 유닛으로 반입되거나 상기 공정 유닛으로부터 반출되는 상기 피공정 대상물의 자세에 따라 상기 지지부를 회전시키는 회전부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 트랜스퍼 유닛.A transfer unit for carrying the object to be processed into a processing unit for carrying out a process on the object to be processed or carrying out the object to be processed discharged from the processing unit,
A support for supporting the object to be processed;
An alignment unit for aligning the position of the support unit with respect to the processing unit;
And a rotation unit that rotates the support unit in accordance with the posture of the object to be processed that is carried into or out of the processing unit. 제 1항에 있어서,
상기 피공정 대상물은 상기 공정 유닛에 수평 방향으로 반입되며,
상기 회전부는 상기 지지부가 상기 피공정 대상물을 수평 방향으로 지지하도록 상기 지지부를 회전시키는 것을 특징으로 하는 트랜스퍼 유닛.The method according to claim 1,
Wherein the object to be processed is carried in a horizontal direction into the processing unit,
Wherein the rotation unit rotates the support unit such that the support unit supports the object to be processed in a horizontal direction. 제 1항에 있어서,
상기 피공정 대상물은 상기 공정 유닛에 수평 방향으로 반출되며,
상기 회전부는 상기 지지부가 상기 피공정 대상물을 수평 방향으로 지지하도록 상기 지지부를 회전시키는 것을 특징으로 하는 트랜스퍼 유닛.The method according to claim 1,
Wherein the object to be processed is carried out in a horizontal direction to the processing unit,
Wherein the rotation unit rotates the support unit such that the support unit supports the object to be processed in a horizontal direction. 제 1항에 있어서,
상기 피공정 대상물은 상기 공정 유닛에 수직 방향으로 반입되며,
상기 회전부는 상기 지지부가 상기 피공정 대상물을 수직 방향으로 지지하도록 상기 지지부를 회전시키는 것을 특징으로 하는 트랜스퍼 유닛.The method according to claim 1,
Wherein the object to be processed is carried in a vertical direction to the processing unit,
Wherein the rotation unit rotates the support unit such that the support unit supports the object to be processed in the vertical direction. 제 1항에 있어서,
상기 피공정 대상물은 상기 공정 유닛에 수직 방향으로 반출되며,
상기 회전부는 상기 지지부가 상기 피공정 대상물을 수직 방향으로 지지하도록 상기 지지부를 회전시키는 것을 특징으로 하는 트랜스퍼 유닛.The method according to claim 1,
Wherein the object to be processed is taken out in a vertical direction to the processing unit,
Wherein the rotation unit rotates the support unit such that the support unit supports the object to be processed in the vertical direction. 제 1항에 있어서,
상기 지지부는
상기 공정 유닛으로 반입되는 제 1피공정 대상물을 지지하는 제 1지지모듈;및
상기 공정 유닛으로부터 반출되는 제 2피공정 대상물을 지지하는 제 2지지모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 트랜스퍼 유닛. The method according to claim 1,
The support
A first supporting module for supporting a first object to be processed to be carried into the processing unit;
And a second support module for supporting a second object to be processed to be carried out from the processing unit. 제 1항에 있어서,
상기 공정 유닛은
상기 피공정 대상물이 수평 방향으로 반입되고 수평 방향으로 반출되는 제 1공정 유닛과,
상기 피공정 대상물이 수직 방향으로 반입되고 수직 방향으로 반출되는 제 2공정 유닛을 포함하며,
상기 회전부는
상기 제 1공정 유닛에 대응하여 상기 지지부가 상기 피공정 대상물을 수평 방향으로 지지하도록 상기 지지부를 회전시키고,
상기 제 2공정 유닛에 대응하여 상기 지지부가 상기 피공정 대상물을 수직 방향으로 지지하도록 상기 지지부를 회전시키는 것을 특징으로 하는 트랜스퍼 유닛. The method according to claim 1,
The process unit
A first processing unit in which the object to be processed is carried in a horizontal direction and taken out in a horizontal direction,
And a second processing unit in which the object to be processed is carried in a vertical direction and taken out in a vertical direction,
The rotating part
The support unit rotates the support unit to support the object to be processed in the horizontal direction corresponding to the first processing unit,
And the support unit rotates the support unit so that the support unit supports the object to be processed in the vertical direction corresponding to the second processing unit. 제 7항에 있어서,
상기 지지부는
상기 제 1공정 유닛으로 반입되는 제 1피공정 대상물을 지지하는 제 1지지모듈;및
상기 제 1공정 유닛으로부터 반출되는 제 2피공정 대상물을 지지하는 제 2지지모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 트랜스퍼 유닛. 8. The method of claim 7,
The support
A first supporting module for supporting a first object to be processed to be carried into the first processing unit;
And a second supporting module for supporting a second object to be processed to be carried out from the first processing unit. 제 8항에 있어서,
상기 제 2피공정 대상물은 상기 제 2공정 유닛으로 반입되며,
상기 제 1지지모듈은 상기 제 2공정 유닛으로부터 반출되는 제 3피공정 대상물을 지지하는 것을 특징으로 하는 트랜스퍼 유닛.9. The method of claim 8,
The second object to be processed is brought into the second processing unit,
Wherein the first supporting module supports a third object to be processed to be carried out from the second processing unit. 피공정 대상물에 공정을 수행하는 공정 유닛;
상기 피공정 대상물을 지지하는 지지부;
상기 공정 유닛에 대한 상기 지지부의 위치를 정렬하는 정렬부;및
상기 공정 유닛으로 반입되거나 상기 공정 유닛으로부터 반출되는 상기 피공정 대상물의 자세에 따라 상기 지지부를 회전시키는 회전부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 장치.A process unit for performing a process on an object to be processed;
A support for supporting the object to be processed;
An alignment unit for aligning the position of the support unit with respect to the processing unit;
And a rotating unit that rotates the support unit in accordance with the posture of the object to be processed that is carried into or out of the processing unit. 제 10항에 있어서,
상기 지지부는
상기 공정 유닛으로 반입되는 상기 피공정 대상물을 지지하는 제 1지지모듈;및
상기 공정 유닛으로부터 반출되는 피공정 대상물을 지지하는 제 2지지모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 장치.11. The method of claim 10,
The support
A first supporting module for supporting the object to be processed to be carried into the processing unit;
And a second supporting module for supporting the object to be processed carried out from the processing unit. 피공정 대상물이 수평 방향으로 반입되고 수평 방향으로 반출되는 제 1공정 유닛;
상기 피공정 대상물이 수직 방향으로 반입되고 수직 방향으로 반출되는 제 2공정 유닛;
상기 피공정 대상물을 지지하는 지지부;
상기 제 1공정 유닛과 상기 제 2공정 유닛에 대한 상기 지지부의 위치를 정렬하는 정렬부;및
상기 제 1공정 유닛에 대응하여 상기 지지부가 상기 피공정 대상물을 수평 방향으로 지지하도록 상기 지지부를 회전시키고, 상기 제 2공정 유닛에 대응하여 상기 지지부가 상기 피공정 대상물을 수직 방향으로 지지하도록 상기 지지부를 회전시키는 회전부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 장치.A first processing unit in which the object to be processed is carried in a horizontal direction and taken out in a horizontal direction;
A second processing unit in which the object to be processed is carried in a vertical direction and taken out in a vertical direction;
A support for supporting the object to be processed;
An alignment unit for aligning the position of the support unit with respect to the first process unit and the second process unit;
The support unit rotates the support unit so that the support unit supports the object to be processed in the horizontal direction corresponding to the first processing unit and the support unit rotates the support unit in the vertical direction so as to support the object to be processed in the vertical direction, And a rotating unit for rotating the rotating shaft. 제 12항에 있어서,
상기 지지부는
상기 제 1공정 유닛으로 반입되는 제 1피공정 대상물을 지지하는 제 1지지모듈;및
상기 제 1공정 유닛으로부터 반출되는 제 2피공정 대상물을 지지하는 제 2지지모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 장치. 13. The method of claim 12,
The support
A first supporting module for supporting a first object to be processed to be carried into the first processing unit;
And a second support module for supporting a second object to be processed to be carried out from the first processing unit. 제 13항에 있어서,
상기 제 2피공정 대상물은 상기 제 2공정 유닛으로 반입되며,
상기 제 1지지모듈은 상기 제 2공정 유닛으로부터 반출되는 제 3피공정 대상물을 지지하는 것을 특징으로 하는 공정 장치.14. The method of claim 13,
The second object to be processed is brought into the second processing unit,
Wherein the first supporting module supports a third object to be processed to be carried out from the second processing unit.
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