KR20180067070A - Exchangeable leak detection sensor - Google Patents

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KR20180067070A
KR20180067070A KR1020160168404A KR20160168404A KR20180067070A KR 20180067070 A KR20180067070 A KR 20180067070A KR 1020160168404 A KR1020160168404 A KR 1020160168404A KR 20160168404 A KR20160168404 A KR 20160168404A KR 20180067070 A KR20180067070 A KR 20180067070A
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이재희
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이재희
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Abstract

The present invention relates to a replaceable leakage detecting sensor, which comprises: a sensor unit including a base sheet made of a fluororesin-based non-conductive material and a sensor layer formed by applying or printing a conductive material made of a mixture of fluororesin and a conductive mixture to the base sheet in accordance with a preset pattern; a housing made of a fluororesin-based non-conductive material and storing the sensor unit; at least one inflow hole formed on an upper surface of the housing and guiding leaked chemical substances to the sensor layer of the sensor unit; and a dissolution member formed inside or outside the housing to block the inflow holes and dissolved by a certain chemical substance.

Description

교환형 누설 감지 센서{Exchangeable leak detection sensor}[0001] The present invention relates to an exchangeable leak detection sensor,

본 발명은 빗물과 같은 수분을 제외한 특정 약품의 누설을 감지할 수 있는 교환형 누설 감지 센서에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an exchangeable leak detection sensor capable of detecting leakage of a specific medicine except moisture such as rainwater.

일반적으로 반도체 제조 공정에는 많은 화학 물질들이 이용된다. 예를 들면, 웨이퍼의 절단 및 연마 후 세정 공정에 사용되는 세정액, 웨이퍼의 감광 공정에 사용되는 감광액, 웨이퍼의 현상 공정에 사용되는 현상액, 웨이퍼 식각 공정에 사용되는 식각액 등이 반도체 제조 공정에 이용된다.In general, many chemicals are used in the semiconductor manufacturing process. For example, a cleaning liquid used in a cleaning process after cutting and polishing the wafer, a photosensitive liquid used in the photosensitive process of the wafer, a developing solution used in the developing process of the wafer, an etching solution used in the wafer etching process, .

이러한 화학 물질들은 이송관(배관)을 통해 각 공정이 수행되는 위치까지 내외부에서 이송되는데, 이송관의 불량 및 열화에 의해 화학 물질이 이송관 외부로 누설되는 일이 발생할 수 있다. 누설된 화학 물질은 사람은 물론 반도체 제조 현장의 다른 장치나 부품들에 악영향을 끼치므로, 이송관의 누설을 감지하여 빠르게 조치를 취할 필요가 있다. These chemicals are transported from inside and outside to the position where each process is performed through the transfer pipe (piping), and chemical substances may leak out of the transfer pipe due to defective or deteriorated transfer pipe. Leaked chemicals have an adverse effect on people and other devices and parts of the semiconductor manufacturing site, so it is necessary to detect leakage of the transfer pipe and take quick action.

특히, 저장 탱크 내부로 누설된 화학 물질은 일정량 이상으로 누설되기 전에 작업자가 조치를 취해야 물적 그리고 인적 피해를 최소화할 수 있다.Particularly, chemical agents leaked into the storage tank can be minimized in material and human damage by taking measures before the leakage of chemical substances over a certain amount.

이에 따라, 종래의 누설 감지 센서들은 누설된 화학 물질이 센서의 도전성 표면에 접촉함으로써 발생하는 저항 변화를 측정하여 누설 여부를 판별하였다. 예를 들면, 종래의 누설 감지 센서들은 도전성 패턴이 형성된 센서의 표면에 누설된 도전성 액체가 접촉하게 되면, 도전성 패턴이 전기적으로 통전되는 원리를 이용하여 화학 물질의 누설 여부를 감지하였다.Accordingly, the conventional leak detection sensors measure the resistance change caused by the contact of the leaked chemical substance to the conductive surface of the sensor to determine whether or not the leakage occurs. For example, in the conventional leak detection sensors, when a leaked conductive liquid comes into contact with a surface of a sensor on which a conductive pattern is formed, the leakage of chemical substances is detected using the principle that the conductive pattern is electrically energized.

그런데, 종래의 누설 감지 센서들은 도전성을 갖는 유체와의 접촉에 의해 작동되기 때문에, 이송관 내부에 누설되는 화학 약품 이외에 빗물이나 물 등의 수분이 센서에 접촉하는 경우에도 누설이 감지된다는 문제가 있었다.However, since the conventional leak detecting sensors are operated by contact with a fluid having conductivity, there is a problem that leakage is detected even when moisture such as rain water or water touches the sensor in addition to the chemical leaking into the transfer pipe .

선행기술문헌 1: 공개특허공보 제10-2015-0041564호(2015.04.16.)Prior Art Document 1: Published Japanese Patent Application No. 10-2015-0041564 (Apr.

선행기술문헌 2: 공개특허공보 제10-2016-0010931호(2016.01.29.)Prior Art Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-2016-0010931 (Feb.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서, 특정 약품의 누설을 감지할 수 있는 교환형 누설 감지 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide an exchange type leak detection sensor capable of detecting leakage of a specific medicine.

또한, 본 발명은 약품에 의해 손상된 하우징을 간단하게 교환할 수 있는 교환형 누설 감지 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide an exchange type leak detection sensor capable of simply replacing a housing damaged by a medicine.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어진 베이스 시트 및 불소 수지와 도전성 혼합물이 혼합되어 이루어진 도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 상기 베이스 시트에 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서층을 포함하는 센서부; 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어지고, 상기 센서부를 수용하는 하우징; 상기 하우징의 상면에 형성되고, 누설된 화학 약품을 상기 센서부의 센서층으로 안내하는 적어도 하나 이상의 유입 구멍; 및 상기 유입 구멍을 막도록 상기 하우징의 내측 또는 외측에 형성되고, 특정 화학 약품에 의해 용해되는 용해 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a base sheet comprising a base sheet made of a fluororesin-based non-conductive material, and a conductive material formed by mixing a fluororesin and a conductive mixture in a predetermined pattern, A sensor unit including a sensor layer; A housing made of a fluororesin-based non-conductive material and housing the sensor unit; At least one inlet hole formed in the upper surface of the housing for guiding the leaked chemical to the sensor layer of the sensor portion; And a dissolution member formed on the inside or outside of the housing to cover the inlet hole, the dissolution member being dissolved by a specific chemical.

바람직하게는, 상기 하우징은 상기 센서부를 삽입 또는 인출 가능하게 하는 슬릿을 구비한 것을 특징으로 한다.Preferably, the housing is provided with a slit for inserting or withdrawing the sensor unit.

더 바람직하게는, 상기 하우징은 서로 포개어진 상부 시트와 하부 시트를 포함하고, 상기 상부 시트와 하부 시트는 상기 하우징의 적어도 일측단이 개방되도록 테두리 부분이 융착 또는 접착되어 상기 상부 시트와 하부 시트 사이에 상기 슬릿이 형성되는 것을 특징으로 한다.More preferably, the housing includes an upper sheet and a lower sheet, wherein the upper sheet and the lower sheet are fused or bonded together such that at least one end of the housing is opened, And the slit is formed in the second surface.

한편, 상기 용해 부재는 산성 약품, 염기성 약품, 유기 약품 또는 오일에 용해되는 용해 물질로 이루어지고, 상기 용해 물질은 상기 하우징에 도포 또는 함침된 후 건조 또는 경화되어 필름, 시트 또는 메시 형태로 상기 용해 부재를 형성하는 것을 특징으로 한다.The dissolving member may be formed of a dissolving material dissolved in an acidic chemical, a basic chemical, an organic chemical, or an oil, and the dissolving material may be applied or impregnated in the housing, dried or cured, Thereby forming a member.

또한, 본 발명은 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어진 베이스 시트 및 불소 수지와 도전성 혼합물이 혼합되어 이루어진 도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 상기 베이스 시트에 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서층을 포함하는 센서부; 및 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어지고, 상기 센서부를 수용하는 하우징을 포함하고, 상기 하우징은 상부 시트 및 하부 시트를 포함하고, 상기 상부 시트는 특정 화학 약품에 용해되는 용해 물질을 상기 하부 시트에 열융착, 도포 또는 침지하여 형성되고, 상기 상부 시트와 하부 시트 사이에는 상기 센서부가 수용되는 것을 특징으로 한다.The present invention also relates to a sensor comprising a base sheet made of a fluororesin-based non-conductive material and a sensor layer formed by applying or printing a conductive material made by mixing a fluororesin and a conductive mixture onto the base sheet according to a predetermined pattern, part; And a housing for housing the sensor unit, wherein the housing comprises an upper sheet and a lower sheet, wherein the upper sheet comprises a dissolving material dissolved in a specific chemical, And the sensor portion is accommodated between the upper sheet and the lower sheet.

본 발명에 따르면, 빗물, 눈, 물 등의 수분의 침투를 방지하고, 특정 화학 약품의 누설을 감지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to prevent penetration of moisture such as rainwater, snow, water and the like, and to detect leakage of a specific chemical.

또한, 본 발명에 따르면, 센서부가 용이하게 삽입 또는 인출되는 하우징을 구비하여, 화학 약품에 의해 용해 부재가 용해된 하우징을 용이하게 교체할 수 있다.Further, according to the present invention, it is possible to easily replace the housing in which the dissolving member is dissolved by the chemical agent, with the housing in which the sensor unit is easily inserted or withdrawn.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 교환형 누설 감지 센서를 개략적으로 도시한 사시도,
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 교환형 누설 감지 센서의 하우징을 개략적으로 도시한 사시도,
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 교환형 누설 감지 센서의 센서부의 일 예를 개략적으로 도시한 사시도,
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 교환형 누설 감지 센서의 센서부의 또 하나의 예를 개략적으로 도시한 사시도,
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 교환형 누설 감지 센서를 개략적으로 도시한 횡단면도,
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 교환형 누설 감지 센서의 다른 형태를 개략적으로 도시한 사시도.1 is a perspective view schematically showing an exchange type leakage sensor according to a first embodiment of the present invention,
FIG. 2 is a perspective view schematically showing a housing of a replaceable leak sensor according to a first embodiment of the present invention, FIG.
FIG. 3 is a perspective view schematically showing an example of a sensor part of an exchange type leakage sensor according to the first embodiment of the present invention, FIG.
FIG. 4 is a perspective view schematically showing another example of the sensor unit of the replaceable leak sensor according to the first embodiment of the present invention, FIG.
FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing a replaceable leak detection sensor according to the first embodiment of the present invention,
6 is a perspective view schematically showing another form of an exchangeable leakage sensor according to a second embodiment of the present invention;

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 교환형 누설 감지 센서에 대한 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성 요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT Hereinafter, a preferred embodiment of an exchange type leakage sensor according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, it is to be understood that the terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the technical scope of the present invention. Will be.

도 1 내지 5를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 교환형 누설 감지 센서는 도전성 물질과 접촉하여 누설을 감지하는 센서부(100), 센서부(100)를 수용하는 하우징(200), 하우징(200)에 떨어진 누설 유체를 센서부(100)로 안내하는 유입 구멍(210) 및 유입 구멍(210)을 막고 특정 화학 약품에 의해 용해되는 용해 부재(300)를 포함한다.1 to 5, the exchange type leakage sensor according to the first embodiment of the present invention includes a sensor unit 100 for detecting leakage by contacting with a conductive material, a housing 200 for accommodating the sensor unit 100, An inflow hole 210 for guiding the leaked fluid that has fallen into the housing 200 to the sensor unit 100 and a dissolution member 300 which is closed by the inflow hole 210 and is dissolved by a specific chemical.

센서부(100)는 베이스 시트(110) 및 베이스 시트(110) 상에 도포 또는 인쇄된 센서층(120)을 포함한다. 베이스 시트(110)는 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어진다. 센서층(120)은 소정의 패턴으로 형성된 + 단자 및 이와 대응되는 - 단자로 구성된다. 여기서, 센서층(120)은 불소 수지와 도전성 혼합물이 혼합되어 이루어진 도전성 물질로 형성될 수 있다. 그리고, 전술한 베이스 시트(110) 및 센서층(120)에 포함된 불소 수지는, 예를 들면 내약품성 및 내열성이 우수한 ETFE(Ethylene TetraFluoroEthylene), FEP(Flourinated Ethylene Prophylene), PTFE(PolyTetraFluoroeEhylene), PFA(Perfluorinated acids) 등일 수 있다. 이러한, 불소 수지로 이루어진 센서부(100)는 화학 약품과의 접촉 후에도 거의 손상되지 않아 반영구적인 사용이 가능하다. The sensor unit 100 includes a base sheet 110 and a sensor layer 120 coated or printed on the base sheet 110. The base sheet 110 is made of a fluororesin-based non-conductive material. The sensor layer 120 is composed of a positive terminal formed in a predetermined pattern and a corresponding negative terminal. Here, the sensor layer 120 may be formed of a conductive material formed by mixing a fluororesin and a conductive mixture. The fluororesin contained in the base sheet 110 and the sensor layer 120 may be selected from the group consisting of ETFE (Ethylene TetraFluoroEthylene), FEP (Flourinated Ethylene Prophylene), PTFE (PolyTetrafluoroEyeylene), PFA Perfluorinated acids and the like. The sensor unit 100 made of a fluororesin is hardly damaged even after contact with a chemical, so that the sensor unit 100 can be used semi-permanently.

하우징(200)은 베이스 시트(110)와 마찬가지로 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어지고, 센서부(100)를 수용하는 역할을 한다. 여기서, 센서부(100)는 하우징(200)에 삽입되거나 하우징(200)으로부터 인출 가능하다. 이를 위해, 하우징(200)은 센서부(100)가 삽입 또는 인출될 수 있는 슬릿(220)을 구비한다.Like the base sheet 110, the housing 200 is made of a fluororesin-based non-conductive material and functions to receive the sensor unit 100. Here, the sensor unit 100 is inserted into the housing 200 or can be drawn out from the housing 200. To this end, the housing 200 includes a slit 220 through which the sensor unit 100 can be inserted or withdrawn.

유입 구멍(210)은 하우징(200)의 상면에 서로 일정 간격으로 이격되어 배치된다. 이 유입 구멍(210)은 누설된 화학 약품을 하우징(200) 내부에 수용된 센서부(100)의 센서층(120)으로 안내하는 역할을 한다.The inlet holes 210 are disposed on the upper surface of the housing 200 at a predetermined distance from one another. The inlet hole 210 serves to guide the leaked chemical to the sensor layer 120 of the sensor unit 100 accommodated in the housing 200.

용해 부재(300)는 유입 구멍(210)을 막도록 하우징(200)의 내측 또는 외측에 형성된다. 이 용해 부재(300)는 특정 화학 약품에 용해되는 용해 물질로 이루어진다.The dissolving member 300 is formed on the inside or outside of the housing 200 so as to close the inlet hole 210. The dissolving member 300 is made of a dissolving material dissolved in a specific chemical.

구체적으로, 용해 물질은 산성 약품, 염기성 약품, 유기 약품 또는 오일에 용해되는 물질일 수 있다. 예를 들면, 용해 부재(300)는 산성 약품과 접촉하여 용해되는 폴리우레탄, 유성 도료, 유리 섬유, 폴리에틸렌 등의 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 용해 부재(300)는 염기성 약품과 접촉하여 용해되는 알루미늄, 아연, 탄산칼륨 등의 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 용해 부재(300)는 유기 약품과 접촉하여 용해되는 PVC, 유성 도료 등의 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 용해 부재(300)는 오일과 접촉하여 용해되는 파라핀 등의 지용성 물질로 이루어질 수 있다.Specifically, the dissolution substance may be an acidic drug, a basic drug, an organic drug, or a substance dissolved in an oil. For example, the dissolving member 300 may be made of a material such as polyurethane, oil paint, glass fiber, polyethylene or the like which dissolves in contact with an acidic chemical. In addition, the dissolution member 300 may be made of a material such as aluminum, zinc, or potassium carbonate, which is dissolved in contact with a basic chemical. In addition, the dissolving member 300 may be made of a material such as PVC or a solvent-based paint which is dissolved in contact with the organic chemicals. Further, the dissolving member 300 may be made of a lipophilic material such as paraffin dissolved in contact with the oil.

따라서, 본 발명의 제1 실시예에 따른 교환형 누설 감지 센서에 누설된 화학 약품이 접촉하는 경우, 화학 약품과의 반응에 의해 용해 부재(300)가 용해되고, 이에 따라 유입 구멍(210)을 통해 화학 약품이 하우징(200) 내부의 센서부(100)와 접촉할 수 있다. 그러나, 본 발명의 제1 실시예에 따른 교환형 누설 감지 센서에 화학 약품이 아닌 빗물 등의 수분이 접촉하는 경우에는 용해 부재(300)가 용해되지 않기 때문에, 수분이 하우징(200) 내부의 센서부(100)와 접촉할 수 있다.Therefore, when the leaked chemical is contacted to the exchange-type leakage sensor according to the first embodiment of the present invention, the dissolution member 300 is dissolved by the reaction with the chemical, The chemical agent can contact the sensor unit 100 inside the housing 200. However, when moisture, such as rainwater, is brought into contact with the exchange-type leakage sensor according to the first embodiment of the present invention, the dissolving member 300 is not dissolved, The contact portion 100 can be contacted.

따라서, 본 발명의 제1 실시예에 따른 교환형 누설 감지 센서는 빗물, 눈, 물 등의 수분을 제외한 특정 화학 약품의 누설을 감지할 수 있다.Therefore, the exchange-type leakage sensor according to the first embodiment of the present invention can detect leakage of specific chemicals except moisture such as rainwater, snow, water, and the like.

바람직하게는, 전술한 용해 물질은 하우징(200)에 도포 또는 융착된 후 건조 또는 경화되어 필름, 시트 또는 메시 형태로 용해 부재(300)를 형성할 수 있다. 그리고, 용해 부재(300)는 하우징(200)의 슬릿(220) 안에서 유입 구멍(210)을 막도록 유입 구멍(210)보다 더 큰 면적으로 하우징(200)의 내부에 용해 물질을 융착 또는 도포하여 형성된다.Preferably, the above-described dissolution material is applied or fused to the housing 200 and then dried or cured to form the dissolution member 300 in the form of film, sheet, or mesh. The dissolving member 300 fuses or applies the dissolving material to the inside of the housing 200 with a larger area than the inflow hole 210 so as to close the inflow hole 210 in the slit 220 of the housing 200 .

또한, 하우징(200)은 서로 포개어져 결합되는 상부 시트(201)와 하부 시트(202)로 이루어진다. 여기서, 상부 시트(201)와 하부 시트(202)는 테두리 부분이 융착 또는 접착되어 내부에 전술한 슬릿(220)이 형성된다. 이때, 상부 시트(201)와 하부 시트(202)는 하우징(200)의 적어도 일측단이 개방되도록, 즉 하우징(200)의 4개의 측면 엣지들 중 하나의 측면 엣지가 개방되도록 융착 또는 접착된다.In addition, the housing 200 includes an upper sheet 201 and a lower sheet 202 which are superposed and joined to each other. Here, the slits 220 are formed inside the upper sheet 201 and the lower sheet 202 by fusing or bonding the edges. At this time, the upper sheet 201 and the lower sheet 202 are fused or bonded such that at least one side edge of the housing 200 is opened, that is, one side edge of one of four side edges of the housing 200 is opened.

따라서, 센서부(100)를 하우징(200)에 용이하게 삽입하거나 센서부(100)를 하우징(200)으로부터 용이하게 인출할 수 있다. 이와 같이 본 발명의 제1 실시예에 따른 교환형 누설 감지 센서는 센서부(100)의 교환성이 우수하여, 누설된 화학 약품에 의해 용해 부재(300)가 용해된 하우징(200)을 용이하게 교체할 수 있다.Therefore, the sensor unit 100 can be easily inserted into the housing 200 or the sensor unit 100 can be easily drawn out from the housing 200. [ As described above, the replaceable leak sensor according to the first embodiment of the present invention is excellent in the exchangeability of the sensor unit 100, and can easily (easily) house the housing 200 in which the dissolving member 300 is dissolved by the leaked chemical Can be replaced.

한편, 전술한 센서부(100)는 도 3에 도시된 것처럼 베이스 시트(110) 상에 센서층(120)을 도포 또는 인쇄한 후 건조하여, 센서층(120)이 베이스 시트(110) 상에서 돌출된 형태로 제조될 수 있다. 그러나, 도 4에 도시된 것처럼, 센서부(100')는 베이스 시트(110')와 센서 층(120')이 일체로 소성 가공되어 베이스 시트(110')와 센서층(120')이 동일한 높이로 제조될 수도 있다. 3, the sensor unit 100 may be formed by applying or printing the sensor layer 120 on the base sheet 110 and then drying the sensor layer 120 so that the sensor layer 120 protrudes from the base sheet 110 Or the like. However, as shown in FIG. 4, the sensor unit 100 'is formed by integrally molding the base sheet 110' and the sensor layer 120 'so that the base sheet 110' and the sensor layer 120 ' May also be manufactured.

도 6을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 교환형 누설 감지 센서는 전술한 유입 구멍(210) 및 용해 부재가 형성되지 않은 하우징(200)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6, the replaceable leak sensor according to the second embodiment of the present invention may include the inlet hole 210 and the housing 200 in which the dissolving member is not formed.

구체적으로, 본 발명의 제2 실시예에 따른 교환형 누설 감지 센서는 센서부와 하우징(200')을 포함한다. 도면에 도시하지는 않았지만, 센서부는 전술한 제1 실시예와 마찬가지로 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어진 베이스 시트 및 불소 수지와 도전성 혼합물이 혼합되어 이루어진 도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 베이스 시트에 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서층을 포함한다. 그리고, 하우징(200')은 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어지고, 센서부를 수용하는 슬릿(220')을 구비한다.Specifically, the replaceable leakage sensor according to the second embodiment of the present invention includes a sensor unit and a housing 200 '. Although not shown in the drawing, the sensor portion may be formed by applying a base sheet made of a fluororesin-based non-conductive material and a conductive material prepared by mixing a fluororesin and a conductive mixture to a base sheet in accordance with a predetermined pattern, And a sensor layer formed by printing. The housing 200 'is made of a fluororesin-based non-conductive material and has a slit 220' for accommodating the sensor unit.

여기서, 하우징(200')은 상부 시트(201') 및 하부 시트(202')로 이루어진다. 그리고, 상부 시트(201')는 특정 화학 약품에 용해되는 용해 물질로 형성된다. 바람직하게는, 상부 시트(201')는 하부 시트(202')에 상기한 용해 물질을 열융착하거나 도포하거나 또는 침지하여 형성될 수 있다. Here, the housing 200 'is composed of an upper sheet 201' and a lower sheet 202 '. The upper sheet 201 'is formed of a dissolving material dissolved in a specific chemical. Preferably, the upper sheet 201 'may be formed by thermally fusing, applying, or immersing the dissolving material to the lower sheet 202'.

이때, 상부 시트(201')와 하부 시트(202')는 전술한 제1 실시예와 마찬가지로, 하우징(200')의 4개의 측면 엣지들 중 하나의 측면 엣지를 제외한 나머지 테두리 부분만이 결합되어 상부 시트(201')와 하부 시트(202') 사이에 센서부가 삽입될 수 있는 슬릿(220')이 형성된다.At this time, the upper sheet 201 'and the lower sheet 202' are combined with each other except for one side edge of the four side edges of the housing 200 ', as in the first embodiment described above A slit 220 'is formed between the upper sheet 201' and the lower sheet 202 ', into which the sensor part can be inserted.

이와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 교환형 누설 감지 센서는 상부 시트(201')가 전체적으로 용해 물질로 이루어져서, 특정 화학 약품이 상부 시트(201')에 누설되는 경우에 상부 시트(201')가 용해되면서 센서부의 센서층에 화학 약품이 접촉하여 누설이 감지될 수 있다.As described above, the exchangeable leakage sensor according to the second embodiment of the present invention is characterized in that the upper sheet 201 'is made of a dissolving material as a whole so that when the specific chemical leaks to the upper sheet 201' 'May dissolve and the chemical layer may contact the sensor layer of the sensor section to detect leakage.

이상에서 설명된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 보여준 것에 불과하며, 본 발명의 보호 범위는 이하 특허청구범위에 의하여 해석되어야 마땅할 것이다. 또한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것인 바, 본 발명과 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The embodiments of the present invention described above are merely illustrative of the technical idea of the present invention, and the scope of protection of the present invention should be interpreted according to the claims. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It should be interpreted that it is included in the scope of right.

Claims (5)

불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어진 베이스 시트 및 불소 수지와 도전성 혼합물이 혼합되어 이루어진 도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 상기 베이스 시트에 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서층을 포함하는 센서부;
불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어지고, 상기 센서부를 수용하는 하우징;
상기 하우징의 상면에 형성되고, 누설된 화학 약품을 상기 센서부의 센서층으로 안내하는 적어도 하나 이상의 유입 구멍; 및
상기 유입 구멍을 막도록 상기 하우징의 내측 또는 외측에 형성되고, 특정 화학 약품에 의해 용해되는 용해 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 교환형 누설 감지 센서.
A sensor unit including a base sheet made of a fluororesin-based non-conductive material, and a sensor layer formed by applying or printing a conductive material made by mixing a fluororesin and a conductive mixture on the base sheet according to a predetermined pattern;
A housing made of a fluororesin-based non-conductive material and housing the sensor unit;
At least one inlet hole formed in the upper surface of the housing for guiding the leaked chemical to the sensor layer of the sensor portion; And
And a dissolution member which is formed on the inside or outside of the housing to cover the inlet hole and is dissolved by a specific chemical.
제1항에 있어서,
상기 하우징은 상기 센서부를 삽입 또는 인출 가능하게 하는 슬릿을 구비한 것을 특징으로 하는 교환형 누설 감지 센서.
The method according to claim 1,
Wherein the housing is provided with a slit for inserting or withdrawing the sensor unit.
제2항에 있어서,
상기 하우징은 서로 포개어진 상부 시트와 하부 시트를 포함하고, 상기 상부 시트와 하부 시트는 상기 하우징의 적어도 일측단이 개방되도록 테두리 부분이 융착 또는 접착되어 상기 상부 시트와 하부 시트 사이에 상기 슬릿이 형성되는 것을 특징으로 하는 교환형 누설 감지 센서.
3. The method of claim 2,
The housing includes upper and lower sheets superimposed on each other, and the upper and lower sheets are fused or bonded such that at least one end of the housing is opened so that the slit is formed between the upper sheet and the lower sheet Wherein the sensor is a sensor.
제1항에 있어서,
상기 용해 부재는 산성 약품, 염기성 약품, 유기 약품 또는 오일에 용해되는 용해 물질로 이루어지고, 상기 용해 물질은 상기 하우징에 도포 또는 함침된 후 건조 또는 경화되어 필름, 시트 또는 메시 형태로 상기 용해 부재를 형성하는 것을 특징으로 하는 교환형 누설 감지 센서.
The method according to claim 1,
Wherein the dissolving member is made of an acidic chemical, a basic chemical, an organic chemical, or a dissolving material dissolved in oil, and the dissolving material is applied or impregnated to the housing and then dried or cured to form the dissolving member in a film, sheet, Wherein the sensor is formed on a surface of the sensor chip.
불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어진 베이스 시트 및 불소 수지와 도전성 혼합물이 혼합되어 이루어진 도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 상기 베이스 시트에 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서층을 포함하는 센서부; 및
불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어지고, 상기 센서부를 수용하는 하우징을 포함하고,
상기 하우징은 상부 시트 및 하부 시트를 포함하고, 상기 상부 시트는 특정 화학 약품에 용해되는 용해 물질을 상기 하부 시트에 열융착, 도포 또는 침지하여 형성되고, 상기 상부 시트와 하부 시트 사이에는 상기 센서부가 수용되는 것을 특징으로 하는 교환형 누설 감지 센서.A sensor unit including a base sheet made of a fluororesin-based non-conductive material, and a sensor layer formed by applying or printing a conductive material made by mixing a fluororesin and a conductive mixture on the base sheet according to a predetermined pattern; And
And a housing that is made of a non-conductive material of fluororesin type and accommodates the sensor portion,
Wherein the housing comprises an upper sheet and a lower sheet, wherein the upper sheet is formed by thermally fusing, applying or immersing a dissolving material dissolved in a specific chemical to the lower sheet, and between the upper sheet and the lower sheet, And the sensor is accommodated in the housing.
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