KR101799836B1 - Rain distinguishable type leak detector - Google Patents

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KR101799836B1
KR101799836B1 KR1020170008801A KR20170008801A KR101799836B1 KR 101799836 B1 KR101799836 B1 KR 101799836B1 KR 1020170008801 A KR1020170008801 A KR 1020170008801A KR 20170008801 A KR20170008801 A KR 20170008801A KR 101799836 B1 KR101799836 B1 KR 101799836B1
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이재희
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이재희
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Abstract

The present invention relates to a rain distinguishable type leak detector comprising: a first sensor installed outside of a medicine storage tank installed outdoors, and detecting moisture by contact with a liquid as a conductive material is applied or printed; a second sensor installed in a lower portion of the medicine storage tank, detecting leakage of a medicine by contact with a liquid as a conductive material is applied or printed; and a control unit determining whether medicine of the medicine storage tank leaks by comparing detection results of the first sensor and the second sensor.

Description

강우 구분형 누설 감지 센서{Rain distinguishable type leak detector}[0001] The present invention relates to a rain detection type leak detector,

본 발명은 옥외에 설치된 약품 저장 탱크의 약품 누설을 감지하는 누설 감지 센서에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 눈이나 빗물 등을 구분하여 약품의 누설만을 감지할 수 있는 강우 구분형 누설 감지 센서에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a leakage detection sensor for detecting a leakage of a medicine in a medicine storage tank installed outdoors, and more particularly, to a leakage detection type leakage sensor capable of detecting leakage of medicine by distinguishing snow, .

일반적으로 반도체 제조 공정에는 많은 화학 물질들이 이용된다. 예를 들면, 웨이퍼의 절단 및 연마 후 세정 공정에 사용되는 세정액, 웨이퍼의 감광 공정에 사용되는 감광액, 웨이퍼의 현상 공정에 사용되는 현상액, 웨이퍼 식각 공정에 사용되는 식각액 등이 반도체 제조 공정에 이용된다.In general, many chemicals are used in the semiconductor manufacturing process. For example, a cleaning liquid used in a cleaning process after cutting and polishing the wafer, a photosensitive liquid used in the photosensitive process of the wafer, a developing solution used in the developing process of the wafer, an etching solution used in the wafer etching process, .

이러한 화학 물질들은 이송관을 통해 각 공정이 수행되는 위치로 이송되는데, 이송관의 불량 및 열화에 의해 화학 물질이 이송관 외부로 누설되는 일이 발생할 수 있다. 누설된 화학 물질은 사람은 물론 반도체 제조 현장의 다른 장치나 부품들에 악영향을 끼치므로, 이송관의 누액을 감지하여 빠르게 조치를 취할 필요가 있다.These chemicals are transported to the position where each process is carried out through the transfer pipe. The failure of the transfer pipe and the deterioration may cause the chemical substance to leak out of the transfer pipe. Leaked chemicals have an adverse effect on people and other devices and parts of the semiconductor manufacturing site, so it is necessary to detect the leakage of the transfer pipe and take quick action.

이송관의 누액 감지는 일반적으로 전선의 플러스(+) 선과 마이너스(-) 선을 나란히 배치하고, 이 전선들 사이에 흡수제를 배치한 후, 누설된 화학 물질에 의해 발생하는 저항 변화를 측정하는 방법을 이용한다. 이러한 방법을 이용한 센서를 보통 라인형 누액 감지 센서라 한다.Leakage detection of a transfer pipe is generally carried out by arranging the positive (+) and negative (-) wires of a wire side by side, placing an absorbent between the wires and measuring the resistance change caused by the leaked chemical substance . The sensor using this method is commonly referred to as a line-type leak detection sensor.

여기서, 라인형 누액 감지 센서의 누액 감지 방법은 이송관으로부터 연장되어 이송관으로부터 누설된 화학 물질이 수집되는 드레인에 플러스(+) 전선(또는 도체)와 마이너스(-) 전선(또는 도체)를 배치하여 누액 여부를 측정하게 된다. 이러한 라인형 누액 감지 센서의 일 예가 대한민국 공개특허공보 제10-2007-0005234호에 개시되어 있다.Here, the leak detection method of a line-type leak detection sensor includes a step of arranging a positive (+) wire and a negative (-) wire (or conductor) in a drain extending from a transfer pipe and collecting chemical substances leaked from the transfer pipe And the leakage is measured. An example of such a line-type leak detection sensor is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2007-0005234.

또한, 누액 감지 대상 면적이 라인형 누액 감지 센서보다 더 넓게 형성된 면적형 누액 감지 센서가 있다. 면적형 감지 센서는 복수의 (+) 도체선들과 (-) 도체선들이 서로 교차 배열되거나 한 쌍의 (+) 도체선 및 (-) 도체선이 지그재그 형태로 배열되어 소정의 감지 면적을 형성한다. 이러한 면적형 누액 감지 센서의 일 예가 일본 공개실용신안공보 평01-171340호에 개시되어 있다.In addition, there is an area type leak detection sensor in which the leakage detection target area is wider than the line type leakage detection sensor. In the area type sensing sensor, a plurality of (+) conductor lines and a pair of (-) conductor lines are arranged in a zigzag form, or a pair of (+) conductor lines and a (-) conductor line are arranged in a predetermined sensing area . One example of such an area leak detection sensor is disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open Publication No. Hei 01-171340.

이러한 누액 감지 센서는 위에서 아래로 낙하하는 누설된 유체와의 접촉에 의해 누액 여부를 감지한다. 그런데, 누액 감지 대상이 옥외에 설치된 경우, 예를 들면 화학 약품을 저장하는 탱크가 옥외에 설치된 경우, 누액 감지 센서는 눈이나 빗물 등의 탱크 외부의 액체와 탱크 내부에 저장되어 누설된 액체를 구별하여 누액 여부를 판단해야 할 필요가 있다.The leakage detection sensor senses leakage by contact with the leaked fluid falling from the top to the bottom. However, when the leakage detection object is installed outdoors, for example, when a tank for storing chemicals is installed outdoors, the leakage detection sensor distinguishes the liquid outside the tank such as snow or rainwater and the liquid stored in the tank, It is necessary to judge whether or not leakage occurs.

한편, 최근에는 눈이나 빗물 등의 수분에는 반응하지 않고 특정 약품에만 반응하거나 특정 약품에 용해되어 약품의 누설만을 감지할 수 있는 약액 반응형 또는 약액 침투형 누설 감지 센서가 개발되어 사용되고 있다.On the other hand, recently, a chemical reaction type or drug solution infiltration type leak sensor has been developed and used which can react only with a specific drug or dissolve in a specific drug without reacting to moisture such as snow or rainwater, thereby detecting leakage of the drug.

그러나, 이러한 약액 반응형 또는 약액 침투형 누설 감지 센서는 눈이나 빗물 등의 수분과 누설된 약품이 혼합되어 희석에 따른 약품의 농도 저하로 인해 약품의 누설 감지가 실질적으로 불가능하다.However, such a liquid reaction type or chemical liquid permeation type leakage sensor is mixed with moisture such as snow, rainwater, and leaked medicine, and it is practically impossible to detect the leakage of the medicine due to the concentration decrease of the medicine due to dilution.

본 발명은 옥외에 설치된 약품 저장 탱크로부터 누설되는 액체와 눈이나 빗물 등의 수분을 구별하여 약품의 누설만을 감지할 수 있는 강우 구분형 누설 감지 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a rainfall-type leak detection sensor capable of distinguishing between a liquid leaked from a medicine storage tank installed outdoors and moisture such as snow or rainwater to detect leakage of medicine.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 옥외에 설치된 약품 저장 탱크의 외부에 설치되고, 도전성 물질이 도포 또는 인쇄되어 액체와의 접촉에 의해 수분을 감지하는 제1 센서; 상기 약품 저장 탱크의 하부에 설치되고, 도전성 물질이 도포 또는 인쇄되어 액체와의 접촉에 의해 약품의 누설을 감지하는 제2 센서; 및 상기 제1 센서와 제2 센서의 검출 결과를 비교하여 상기 약품 저장 탱크의 약품 누설 여부를 판단하는 제어부를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a medical device comprising: a first sensor installed outside of a medicine storage tank installed outdoors and coated with or printed with a conductive material to detect moisture by contact with a liquid; A second sensor installed at a lower portion of the chemical storage tank and coated with or printed with a conductive material to detect leakage of the medicine by contact with the liquid; And a control unit comparing the detection results of the first sensor and the second sensor to determine whether the medicine is leaked in the chemical storage tank.

바람직하게는, 상기 제어부는, 상기 제1 센서로부터 수분이 감지되지 않고 상기 제2 센서로부터 약품의 누설이 감지되는 경우, 상기 약품 저장 탱크의 약품이 누설되었다고 판단하고, 상기 제1 센서와 제2 센서 모두로부터 누설이 감지되는 경우, 상기 제1 센서와 제2 센서의 검출값의 차이를 이용하여 상기 약품 저장 탱크의 약품 누설을 판단하는 것을 특징으로 한다.Preferably, when the leakage of the medicine from the second sensor is detected without moisture from the first sensor, the control unit determines that the medicine in the medicine storage tank has leaked, The leakage of the chemical in the chemical storage tank is determined using the difference between the detected values of the first sensor and the second sensor when leakage is detected from all of the sensors.

한편, 상기 제어부는, 상기 제1 센서와 제2 센서의 'on/off' 작동 상태에 따른 경우의 수들을 기초로 약품 저장 탱크의 주변 상황 및 누설 결과를 판단하는 알고리즘을 포함하고, 상기 알고리즘은, 1) 상기 제1 센서가 'off' 상태이고, 상기 제2 센서가 'off' 상태인 경우, 비가 오는 날씨이고 센서가 정상 상태라 판단하고, 2) 상기 제1 센서가 'on/off'를 반복하는 상태이고, 상기 제2 센서가 'off' 상태인 경우, 소량의 비가 오는 날씨이고 센서가 정상 상태라 판단하고, 3) 상기 제1 센서가 'on' 상태를 유지하고, 상기 제2 센서가 'off'에서 'on' 상태로 시간차를 두고 변하는 경우, 비가 오는 날씨이고 센서가 정상 상태라 판단하고, 4) 상기 제1 센서가 'on' 상태를 유지하고, 상기 제2 센서가 'off' 상태를 유지하는 경우, 눈이 오는 날씨이거나 센서가 정상 또는 비정상 상태라 판단하고, 5) 상기 제1 센서가 'off' 상태 또는 'on/off'를 반복하는 상태이고, 상기 제2 센서가 'on' 상태인 경우, 약품 저장 탱크의 약품이 누설되거나 물청소 상황이라 판단하고, 누설 경고를 발생시키고, 6) 상기 제1 센서가 'on' 상태이고, 상기 제2 센서가 'on' 상태인 경우, 비가 오는 날씨이고 센서가 정상 상태라 판단하는 것을 특징으로 한다.On the other hand, the control unit includes an algorithm for determining a peripheral condition and a leakage result of the chemical storage tank based on the number of cases of the 'on / off' operation state of the first sensor and the second sensor, , 1) the first sensor is in the off state and the second sensor is in the off state, it is determined that it is rainy and the sensor is in a normal state, 2) the first sensor is on / off, The first sensor is in an on state, the second sensor is in an off state, a small amount of rainy weather and the sensor is determined to be in a normal state, 3) the first sensor maintains an on state, If the sensor changes from 'off' to 'on' state, it is determined that it is rainy and the sensor is in a normal state, (4) the first sensor is kept 'on' off 'state, the weather is snowy or the sensor is in a normal or abnormal state. 5) If the first sensor is in the 'off' state or the 'on / off' state is repeated and the second sensor is in the 'on' state, the medicine in the medicine storage tank is leaked or the water is cleaned And 6) the first sensor is in an on state and the second sensor is in an on state, it is determined that the weather is rainy and the sensor is in a normal state.

바람직하게는, 상기 제1 센서 또는 상기 제2 센서는, 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 형성한 베이스 시트; 및 불소 수지와 도전성 혼합물이 혼합되어 이루어진 도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 상기 베이스 시트에 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서층을 포함하는 것을 특징으로 한다.Preferably, the first sensor or the second sensor comprises a base sheet formed of a fluororesin-based non-conductive material; And a sensor layer formed by applying or printing a conductive material formed by mixing a fluororesin and a conductive mixture on the base sheet according to a predetermined pattern.

대안적으로, 상기 제2 센서는, 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어진 베이스 시트; 불소 수지와 도전성 혼합물이 혼합되어 이루어진 도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 상기 베이스 시트에 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서층; 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어지고, 상기 베이스 시트와 센서층을 수용하는 하우징; 상기 하우징의 상면에 형성되고, 누설된 화학 약품을 상기 센서층으로 안내하는 복수의 유입 구멍들; 및 상기 유입 구멍들을 막도록 상기 하우징의 내측 또는 외측에 형성되고, 상기 약품 저장 탱크에서 누설된 화학 약품에 의해 용해되는 용해막들을 포함하는 것을 특징으로 한다.Alternatively, the second sensor may include a base sheet made of a fluororesin-based non-conductive material; A sensor layer formed by applying or printing a conductive material formed by mixing a fluororesin and a conductive mixture on the base sheet according to a predetermined pattern; A housing made of a fluororesin-based non-conductive material and housing the base sheet and the sensor layer; A plurality of inflow holes formed in the upper surface of the housing for guiding the leaked chemicals to the sensor layer; And dissolution films formed on the inside or outside of the housing to cover the inlet holes and dissolved by chemicals leaked from the chemical storage tank.

본 발명에 따르면, 도전성의 센서층을 구비한 단순 구조의 2개의 센서를 약품 저장 탱크의 외측과 하부에 각각 배치하고 2개의 센서들의 검출 결과를 비교하여 강우 또는 약품의 누설을 감지할 수 있다.According to the present invention, two sensors of a simple structure having a conductive sensor layer can be disposed on the outer side and the lower side of the chemical storage tank, respectively, and the detection results of the two sensors can be compared to detect the leakage of rainfall or chemicals.

도 1은 본 발명에 따른 강우 구분형 누설 감지 센서를 개략적으로 도시한 개념도,
도 2는 본 발명에 따른 강우 구분형 누설 감지 센서의 제1 센서 또는 제2 센서를 개략적으로 도시한 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 강우 구분형 누설 감지 센서의 제2 센서의 다른 예를 개략적으로 도시한 사시도.1 is a conceptual diagram schematically showing a rainfall-type leak detection sensor according to the present invention,
FIG. 2 is a perspective view schematically showing a first sensor or a second sensor of a rainfall-type leak detection sensor according to the present invention;
3 is a perspective view schematically showing another example of a second sensor of a rainfall-type leak detection sensor according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 강우 구분형 누설 감지 센서에 대한 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성 요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a rainfall-type leak detection sensor according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, it is to be understood that the terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the technical scope of the present invention. Will be.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 강우 구분형 누설 감지 센서는 옥외에 배치된 약품 저장 탱크(10)의 외부에 설치되어, 약품 저장 탱크(10)의 약품 누설을 감지하는 역할을 한다. 구체적으로, 본 발명에 따른 강우 구분형 누설 감지 센서는 약품 저장 탱크(10)의 외부에 설치된 제1 센서(100), 약품 저장 탱크(10)의 하부에 설치된 제2 센서(200) 및 제1 센서(100)와 제2 센서(200)의 검출값을 기초로 하여 약품 저장 탱크(10)의 약품 누설을 판단하는 제어부(300)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the rainfall-type leakage sensor according to the present invention is installed outside the medicine storage tank 10 disposed outside the room, and detects the leakage of the medicine in the medicine storage tank 10. Specifically, the rainfall-type leak detection sensor according to the present invention includes a first sensor 100 installed outside the medicine storage tank 10, a second sensor 200 installed below the medicine storage tank 10, And a control unit 300 for determining the leakage of the chemical in the chemical storage tank 10 based on the detection values of the sensor 100 and the second sensor 200.

약품 저장 탱크(10)는 옥외에 설치된 탱크로서, 내부에 불산(플루오르산) 등의 약품을 저장하고, 이 약품은 액체 상태로 약품 저장 탱크(10)에 저장된다.The chemical storage tank 10 is a tank installed outdoors and stores chemical such as hydrofluoric acid (fluoric acid) therein, and the chemical is stored in the chemical storage tank 10 in a liquid state.

제1 센서(100)는 약품 저장 탱크(10)의 상부 또는 외측에 설치되고, 도전성 물질이 도포 또는 인쇄되어 액체와의 접촉에 의해 수분을 감지함으로써 온(on) 상태가 된다. 제1 센서(100)에 대해서는 도 2를 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.The first sensor 100 is installed on the upper side or the outer side of the chemical storage tank 10 and is turned on by sensing moisture by contact or printing with a conductive material. The first sensor 100 will be described in detail with reference to FIG.

제2 센서(200)는 약품 저장 탱크(10)의 하부에 설치되고, 제1 센서(100)와 마찬가지로 도전성 물질이 도포 또는 인쇄되어 액체와의 접촉에 의해 수분을 감지함으로써 온(on) 상태가 된다. 제2 센서(200)에 대해서도 역시 도 2를 참조하여 상세히 설명하기로 한다.The second sensor 200 is installed in the lower portion of the chemical storage tank 10 and is in an on state as a conductive material is applied or printed as in the case of the first sensor 100 and moisture is detected by contact with the liquid do. The second sensor 200 will also be described in detail with reference to FIG.

제어부(300)는 눈이나 빗물 또는 외부로부터 유입된 물과 약품 저장 탱크(10)의 약품 누설을 구분하여 약품의 누설을 판단한다. 이를 위해, 제어부(300)는 제1 센서(100)와 제2 센서(200)의 누설 감지 결과, 즉 검출 결과를 기초로 약품 저장 탱크(10)의 약품이 누설되었는지를 판단한다.The control unit 300 distinguishes leakage of chemicals from snow, rainwater, or water that has flowed in from the outside and chemicals in the chemical storage tank 10. For this, the controller 300 determines whether the medicine in the chemical storage tank 10 has leaked based on the leakage detection result of the first sensor 100 and the second sensor 200, that is, the detection result.

구체적으로, 제어부(300)는 제1 센서(100)가 'off' 상태이고 제2 센서(200)가 액체와 접촉하여 'on' 상태가 되는 경우, 약품 저장 탱크(10)의 화학 약품이 누설되었다고 판단한다. 한편, 제1 센서(100)와 제2 센서(200)가 모두 'on' 상태가 되는 경우는 비나 눈이 오는 상황일 수 있는데, 이 경우 제어부(300)는 제1 센서(100)와 제2 센서(200)의 검출값의 차이를 이용하여 약품 저장 탱크(10)의 약액의 누설을 판단한다. 일반적으로, 빗물과 약품은 성분의 특성상 고유의 전기 전도도를 가지며, 이러한 전기 전도도의 차이에 의해 센서로부터 감지되는 저항값이 달라지게 된다. 제어부(300)는 이러한 물질의 전기 전도도 차이에 따른 저항값의 차이에 기초하여 우천시 제1 센서(100)와 제2 센서(200)가 모두 'on' 상태일 때, 이 검출 결과가 단순히 눈이나 빗물에 의한 것인지 아니면 약픔의 누설에 의한 것인지를 판단한다. 다시 말하면, 제어부(300)는 제1 센서(100)와 제2 센서(200)가 모두 'on' 상태가 되는 경우에 제1 센서(100)와 제2 센서(200)의 검출값이 다른 경우에 약품이 누설되었다고 판단한다.Specifically, when the first sensor 100 is in the off state and the second sensor 200 is in contact with the liquid, the controller 300 determines that the chemical in the chemical storage tank 10 leaks . If both the first sensor 100 and the second sensor 200 are in the on state, the controller 300 may detect the first sensor 100 and the second sensor 200. In this case, The leakage of the chemical liquid in the chemical storage tank 10 is determined using the difference in the detection value of the sensor 200. [ In general, rainwater and chemicals have inherent electrical conductivity due to the characteristics of the components, and the resistance value sensed by the sensor changes due to the difference in electrical conductivity. The control unit 300 determines that the detection result is in the 'on' state when both the first sensor 100 and the second sensor 200 are 'on' in a rainy state based on the difference in resistance value due to the difference in electrical conductivity of the material. It is judged whether it is by the rain water or leakage of the weakness. In other words, when both the first sensor 100 and the second sensor 200 are in the 'on' state, when the detection values of the first sensor 100 and the second sensor 200 are different from each other It is determined that the medicine has leaked.

전술한 바와 같이, 제어부(300)는 제1 센서(100)로부터 수분이 감지되지 않고 제2 센서(200)로부터 약품의 누설이 감지되는 경우, 약품 저장 탱크(10)의 약품이 누설되었다고 판단하고, 제1 센서(100)와 제2 센서(200) 둘 다로부터 누설이 감지되는 경우, 제1 센서(100)와 제2 센서(200)의 검출값의 차이를 이용하여 약품 저장 탱크(10)의 약품 누설을 판단할 수 있다.As described above, when moisture is not detected from the first sensor 100 and leakage of the medicine is detected from the second sensor 200, the controller 300 determines that the medicine in the medicine storage tank 10 has leaked The difference between the detection values of the first sensor 100 and the second sensor 200 is used to detect the leakage from both the first sensor 100 and the second sensor 200, It is possible to judge the leakage of the medicine.

한편, 제어부(300)는 제1 센서(100)와 제2 센서(200)의 'on/off' 작동 상태에 따른 경우의 수들을 기초로 약품 저장 탱크(10)의 주변 상황 및 누설 결과를 판단하는 알고리즘을 포함한다. 이 알고리즘은 아래의 표에 나타낸 바와 같은 여러 경우의 수를 포함한다.On the other hand, the controller 300 determines the peripheral condition of the chemical storage tank 10 and the leakage result based on the numbers of the cases where the first sensor 100 and the second sensor 200 are in an 'on / off' Lt; / RTI > The algorithm includes a number of different cases as shown in the table below.

제1 센서(100)The first sensor 100, 제2 센서(200)The second sensor 200, 주변 상황Surrounding situation 센서 결과Sensor results offoff offoff 맑음Sunny 정상normal onon on/off 반복on / off iteration offoff 소량 강우Slight rainfall 정상normal on 유지keep on off → on (지연)off → on 소량 강우Slight rainfall 정상normal off 유지keep off 눈, 기타 상황Snow, other situations 정상 또는 센서 오류Normal or sensor error off(on/off 반복)off (repeat on / off) onon 약품 누설, 물청소Drug leakage, water cleaning 경고/인지, resetWarning / acknowledgment, reset onon onon 강우rainfall 정상normal

먼저, 제1 센서(100)가 'off' 상태이면, 상기 제2 센서(200)가 'off' 상태인 경우, 제어부(300)는 현재 비가 오는 날씨라 판단하고, 센서는 정상 상태라 판단한다.If the first sensor 100 is in an off state and the second sensor 200 is in an off state, the controller 300 determines that the current weather is rainy and determines that the sensor is in a normal state .

이어서, 제1 센서(100)가 'on/off'를 반복하는 상태이고, 제2 센서(200)가 'off' 상태인 경우, 제어부(300)는 소량의 비가 오는 날씨이고 센서는 정상 상태라 판단한다.Then, when the first sensor 100 repeats 'on / off' and the second sensor 200 is 'off', the controller 300 receives a small amount of rain and the sensor is in a normal state .

또한, 제1 센서(100)가 'on' 상태를 유지하고, 제2 센서(200)가 'off'에서 'on' 상태로 시간차를 두고 변하는 경우, 제어부(300)는 현재 소량의 비가 오는 날씨이고 센서는 정상 상태라 판단한다.If the first sensor 100 maintains the on state and the second sensor 200 changes the off state from the off state to the on state, And the sensor is determined to be in a normal state.

또한, 제1 센서(100)가 'on' 상태를 유지하고, 제2 센서(200)가 'off' 상태를 유지하는 경우, 제어부(300)는 현재 눈이 오는 날씨이거나 기타 수분이 약품 저장 탱크(10) 외부에 가해질 수 있는 상황이라 판단하고, 센서는 정상 작동 중이거나 또는 비정상적인 오류 상태라 판단한다.When the first sensor 100 maintains the on state and the second sensor 200 maintains the off state, the controller 300 determines whether the current weather is snowing or other moisture is stored in the chemical storage tank It is determined that the sensor 10 is in a state where it can be externally applied, and the sensor is judged to be in normal operation or in an abnormal error state.

또한, 제1 센서(100)가 'off' 상태 또는 'on/off'를 반복하는 상태이고, 제2 센서(200)가 'on' 상태인 경우, 제어부(300)는 약품 저장 탱크(10)의 약품이 누설되거나 물청소 상황이라 판단하고, 누설 경고를 발생시킨다. 그리고, 제어부(300)는 센서를 초기 상태로 리셋(reset) 시킨다.When the first sensor 100 is in the 'off' state or the 'on / off' state is repeated and the second sensor 200 is in the 'on' state, the controller 300 controls the medicine storage tank 10, Of the medicine is leaked or the water is cleaned, and a leak warning is generated. Then, the controller 300 resets the sensor to the initial state.

또한, 제1 센서(100)가 'on' 상태이고, 제2 센서(200)가 'on' 상태인 경우, 제어부(300)는 현재 비가 오는 날씨, 즉 강우 상황이라 판단하고, 센서는 정상적으로 작동 중인 상태라 판단한다.If the first sensor 100 is in an on state and the second sensor 200 is in an on state, the controller 300 determines that the current weather is rainy or not, .

이와 같이, 본 발명에 따른 강우 구분형 누설 감지 센서는 액체와의 접촉에 의해 작동되는 2개의 센서(100, 200)를 약품 저장 탱크(10)의 외측과 하부에 각각 배치하고 2개의 센서(100, 200)들의 검출 결과를 비교하여 강우 또는 약품의 누설을 감지할 수 있다.As described above, the rainfall-type leak detection sensor according to the present invention includes two sensors 100 and 200, which are operated by contact with liquid, respectively, on the outer side and the lower side of the chemical storage tank 10, , 200) to detect the leakage of rainfall or chemicals.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 강우 구분형 누액 감지 센서의 제1 센서(100) 또는 제2 센서(200)가 도시된다. 이하에서는, 도 2에 도시된 센서를 제2 센서(200)로 가정하여 설명한다.Referring to FIG. 2, a first sensor 100 or a second sensor 200 of a rainfall-type leakage sensor according to the present invention is shown. Hereinafter, it is assumed that the sensor shown in FIG. 2 is the second sensor 200. FIG.

구체적으로, 제2 센서(200)는 베이스 시트(210) 및 베이스 시트(210) 상에 형성된 센서층(220)으로 이루어진다. 베이스 시트(210)는 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어진다. 센서층(220)은 소정의 패턴으로 형성된 + 단자 및 이와 대응되는 - 단자로 구성된다. 여기서, 센서층(220)은 불소 수지와 도전성 혼합물이 혼합되어 이루어진 도전성 물질로 형성될 수 있다. 그리고, 전술한 베이스 시트(210) 및 센서층(220)에 포함된 불소 수지는, 예를 들면 내약품성 및 내열성이 우수한 ETFE(Ethylene TetraFluoroEthylene), FEP(Flourinated Ethylene Prophylene), PTFE(PolyTetraFluoroeEhylene), PFA(Perfluorinated acids) 등일 수 있다. 이러한, 불소 수지로 이루어진 센서층(220)은 화학 약품과의 접촉 후에도 거의 손상되지 않아 반영구적인 사용이 가능하다.Specifically, the second sensor 200 includes a base sheet 210 and a sensor layer 220 formed on the base sheet 210. The base sheet 210 is made of a fluororesin-based non-conductive material. The sensor layer 220 is composed of a positive terminal formed in a predetermined pattern and a corresponding negative terminal. Here, the sensor layer 220 may be formed of a conductive material formed by mixing a fluororesin and a conductive mixture. The fluororesin included in the base sheet 210 and the sensor layer 220 may be selected from the group consisting of ETFE (Ethylene TetraFluoroEthylene), FEP (Flourinated Ethylene Prophylene), PTFE (PolyTetrafluoroEyeylene), PFA Perfluorinated acids and the like. The sensor layer 220 made of the fluororesin is hardly damaged even after contact with the chemical, so that the sensor layer 220 can be used semi-permanently.

한편, 도 3을 참조하면, 제2 센서(200)는 눈이나 비 등에는 반응하지 않고 특정 화학 약품에만 반응하도록 구성될 수 있다.Referring to FIG. 3, the second sensor 200 may be configured to respond only to specific chemicals without reacting to snow, rain, or the like.

예를 들면, 제2 센서(200)는 베이스 시트(210), 센서층(220) 및 하우징(230)을 포함한다. 도 2에 도시된 제2 센서(200)와 마찬가지로, 베이스 시트(210)는 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어지고, 센서층(220)은 소정의 패턴으로 형성된 + 단자 및 이와 대응되는 - 단자로 구성된다. 그리고, 하우징(230)은 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어지고, 베이스 시트(210)와 센서층(220)을 수용하는 수용 슬릿(231)을 구비한다.For example, the second sensor 200 includes a base sheet 210, a sensor layer 220, and a housing 230. 2, the base sheet 210 is made of a fluororesin-based non-conductive material, and the sensor layer 220 has a positive terminal formed in a predetermined pattern and a corresponding terminal . The housing 230 is made of a non-conductive fluororesin material and includes a base sheet 210 and a receiving slit 231 for receiving the sensor layer 220.

여기서, 하우징(230)의 상면에는 복수의 유입 구멍들(232)이 형성된다. 이 유입 구멍들(232)은 누설된 화학 약품을 센서층(220)으로 안내하는 역할을 한다. 그리고, 하우징(230)의 내측 또는 외측에는 유입 구멍들(232)을 막는 용해막들(233)이 구비된다. 이 용해막(233)은 특정 화학 약품과 접촉하여 용해됨으로써, 유입 구멍들(232)을 개방할 수 있다. Here, a plurality of inflow holes 232 are formed on the upper surface of the housing 230. These inlet holes 232 serve to guide leaked chemicals to the sensor layer 220. Inside or outside of the housing 230, dissolution membranes 233 for blocking the inflow holes 232 are provided. This dissolving membrane 233 is dissolved in contact with a specific chemical agent, so that the inlet holes 232 can be opened.

이러한 구성에 의해, 약품 저장 탱크(10)에서 누설된 화학 약품이 제2 센서(200)와 접촉하는 경우, 화학 약품과의 반응에 의해 용해막(233)이 용해되고, 이에 따라 유입 구멍(232)을 통해 화학 약품이 하우징(230) 내부의 센서층(220)과 접촉할 수 있다. 그러나, 용해막(233)은 화학 약품이 아닌 눈이나 빗물 등의 수분이 접촉하는 경우에는 용해되지 않기 때문에, 수분이 하우징(230) 내부의 센서층(220)과 접촉할 수 있다. 따라서, 제2 센서(200)는 빗물, 눈, 물 등의 수분을 제외한 특정 화학 약품의 누설만을 감지할 수 있다.With this configuration, when the chemical leaking from the chemical storage tank 10 comes into contact with the second sensor 200, the dissolution film 233 is dissolved by the reaction with the chemical, The chemical agent may contact the sensor layer 220 within the housing 230. However, since the dissolving film 233 is not dissolved when it comes into contact with moisture such as snow or rainwater, which is not a chemical agent, moisture can come into contact with the sensor layer 220 inside the housing 230. Therefore, the second sensor 200 can detect leakage of specific chemicals except moisture such as rain, snow, water, and the like.

이상에서 설명된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 보여준 것에 불과하며, 본 발명의 보호 범위는 이하 특허청구범위에 의하여 해석되어야 마땅할 것이다. 또한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것인 바, 본 발명과 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The embodiments of the present invention described above are merely illustrative of the technical idea of the present invention, and the scope of protection of the present invention should be interpreted according to the claims. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It should be interpreted that it is included in the scope of right.

Claims (5)

옥외에 설치된 약품 저장 탱크의 외부에 설치되고, 도전성 물질이 도포 또는 인쇄되어 액체와의 접촉에 의해 수분을 감지하는 제1 센서;
상기 약품 저장 탱크의 하부에 설치되고, 도전성 물질이 도포 또는 인쇄되어 액체와의 접촉에 의해 약품의 누설을 감지하는 제2 센서; 및
상기 제1 센서와 제2 센서의 검출 결과를 비교하여 상기 약품 저장 탱크의 약품 누설 여부를 판단하는 제어부를 포함하는 강우 구분형 누설 감지 센서.
A first sensor installed outside of a medicine storage tank installed outdoors and coated with or printed with a conductive material and detecting moisture by contact with a liquid;
A second sensor installed at a lower portion of the chemical storage tank and coated with or printed with a conductive material to detect leakage of the medicine by contact with the liquid; And
And a controller for comparing the detection results of the first sensor and the second sensor to determine whether the medicine in the medicine storage tank has leaked.
제1항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 제1 센서로부터 수분이 감지되지 않고 상기 제2 센서로부터 약품의 누설이 감지되는 경우, 상기 약품 저장 탱크의 약품이 누설되었다고 판단하고,
상기 제1 센서와 제2 센서 모두로부터 누설이 감지되는 경우, 상기 제1 센서와 제2 센서의 검출값의 차이를 이용하여 상기 약품 저장 탱크의 약품 누설을 판단하는 것을 특징으로 하는 강우 구분형 누설 감지 센서.
The method according to claim 1,
Wherein,
Wherein when the leakage of the medicine from the second sensor is detected without detecting moisture from the first sensor, it is determined that the medicine in the medicine storage tank has leaked,
Wherein when a leakage is detected from both the first sensor and the second sensor, a chemical leakage of the chemical storage tank is determined using a difference between the detection values of the first sensor and the second sensor. Detection sensor.
제1항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 제1 센서와 제2 센서의 'on/off' 작동 상태에 따른 경우의 수들을 기초로 약품 저장 탱크의 주변 상황 및 누설 결과를 판단하는 알고리즘을 포함하고,
상기 알고리즘은,
1) 상기 제1 센서가 'off' 상태이고, 상기 제2 센서가 'off' 상태인 경우, 비가 오는 날씨이고 센서가 정상 상태라 판단하고,
2) 상기 제1 센서가 'on/off'를 반복하는 상태이고, 상기 제2 센서가 'off' 상태인 경우, 소량의 비가 오는 날씨이고 센서가 정상 상태라 판단하고,
3) 상기 제1 센서가 'on' 상태를 유지하고, 상기 제2 센서가 'off'에서 'on' 상태로 시간차를 두고 변하는 경우, 비가 오는 날씨이고 센서가 정상 상태라 판단하고,
4) 상기 제1 센서가 'on' 상태를 유지하고, 상기 제2 센서가 'off' 상태를 유지하는 경우, 눈이 오는 날씨이거나 센서가 정상 또는 비정상 상태라 판단하고,
5) 상기 제1 센서가 'off' 상태 또는 'on/off'를 반복하는 상태이고, 상기 제2 센서가 'on' 상태인 경우, 약품 저장 탱크의 약품이 누설되거나 물청소 상황이라 판단하고, 누설 경고를 발생시키고,
6) 상기 제1 센서가 'on' 상태이고, 상기 제2 센서가 'on' 상태인 경우, 비가 오는 날씨이고 센서가 정상 상태라 판단하는 것을 특징으로 하는 강우 구분형 누설 감지 센서.
The method according to claim 1,
Wherein the controller includes an algorithm for determining a peripheral condition of the chemical storage tank and a leakage result based on the number of cases when the first sensor and the second sensor are in an 'on / off' operating state,
The algorithm comprises:
1) When the first sensor is in an 'off' state and the second sensor is in an 'off' state, it is determined that it is rainy and the sensor is in a normal state,
2) When the first sensor is in the 'on / off' state repeatedly and the second sensor is in the 'off' state, it is determined that the sensor is in a normal state,
3) If the first sensor maintains the 'on' state and the second sensor changes in time from 'off' to 'on', it is determined that it is rainy and the sensor is in a normal state,
4) When the first sensor maintains the 'on' state and the second sensor maintains the 'off' state, it is determined that the snow is coming or the sensor is in the normal or abnormal state,
5) When the first sensor is in the 'off' state or 'on / off' repeatedly and the second sensor is in the 'on' state, it is determined that the medicine in the medicine storage tank is leaked or the water is cleaned. Generates a leakage warning,
6) The rainfall-type leak detection sensor according to claim 1, wherein when the first sensor is in an on state and the second sensor is in an on state, it is determined that the weather is rainy and the sensor is in a normal state.
제1항에 있어서,
상기 제1 센서 또는 상기 제2 센서는,
불소 수지 계열의 비도전성 소재로 형성한 베이스 시트; 및
불소 수지와 도전성 혼합물이 혼합되어 이루어진 도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 상기 베이스 시트에 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서층을 포함하는 것을 특징으로 하는 강우 구분형 누설 감지 센서.
The method according to claim 1,
Wherein the first sensor or the second sensor comprises:
A base sheet formed of a fluororesin-based non-conductive material; And
And a sensor layer formed by applying or printing a conductive material formed by mixing a fluororesin and a conductive mixture to the base sheet according to a predetermined pattern.
제1항에 있어서,
상기 제2 센서는,
불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어진 베이스 시트;
불소 수지와 도전성 혼합물이 혼합되어 이루어진 도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 상기 베이스 시트에 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서층;
불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어지고, 상기 베이스 시트와 센서층을 수용하는 하우징;
상기 하우징의 상면에 형성되고, 누설된 화학 약품을 상기 센서층으로 안내하는 복수의 유입 구멍들; 및
상기 유입 구멍들을 막도록 상기 하우징의 내측 또는 외측에 형성되고, 상기 약품 저장 탱크에서 누설된 화학 약품에 의해 용해되는 용해막들을 포함하는 것을 특징으로 하는 강우 구분형 누설 감지 센서.The method according to claim 1,
Wherein the second sensor comprises:
A base sheet made of a fluororesin-based non-conductive material;
A sensor layer formed by applying or printing a conductive material formed by mixing a fluororesin and a conductive mixture on the base sheet according to a predetermined pattern;
A housing made of a fluororesin-based non-conductive material and housing the base sheet and the sensor layer;
A plurality of inflow holes formed in the upper surface of the housing for guiding the leaked chemicals to the sensor layer; And
And a dissolution film formed on an inner side or an outer side of the housing to close the inflow holes, the dissolution films being dissolved by chemicals leaked from the chemical storage tank.
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