KR102021427B1 - Rain distinguishable type leak detector - Google Patents

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Abstract

본 발명은 옥외에 설치된 약품 저장 탱크의 하부에 설치되고, 상기 약품 저장 탱크로부터 누설된 약품 및 외부의 수분과의 접촉에 의한 전기 전도도 또는 정전용량 변화를 검출하는 제1 센서; 상기 약품 저장 탱크의 외측에 설치되고, 외부의 수분과의 접촉에 의한 전기 전도도 변화를 검출하는 제2 센서; 및 상기 제1 센서와 제2 센서의 검출 결과를 비교하여 상기 약품 저장 탱크의 누액 여부를 판단하는 제어부를 포함하는 강우 구분형 누액 감지 장치에 관한 것이다.The present invention is installed in the lower portion of the chemical storage tank installed outdoors, the first sensor for detecting a change in electrical conductivity or capacitance due to contact with the chemical leaked from the chemical storage tank and the external moisture; A second sensor installed outside the chemical storage tank and detecting a change in electrical conductivity caused by contact with external moisture; And a control unit for comparing the detection results of the first sensor and the second sensor to determine whether the medicine storage tank is leaked.

Description

강우 구분형 누액 감지 장치{Rain distinguishable type leak detector}Rain distinguishable type leak detector

본 발명은 옥외에 설치된 약품 저장 탱크의 약품 누설을 감지하는 누액 감지 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 눈이나 빗물 또는 결빙 등을 구분하여 약품의 누설만을 감지할 수 있는 강우 구분형 누액 감지 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a leakage detection device for detecting a leakage of a chemical in a chemical storage tank installed outdoors, and more particularly, to a rain classification type leakage detection device capable of detecting only leakage of a chemical by distinguishing snow, rain, or ice. It is about.

일반적으로 반도체 제조 공정에는 많은 화학 물질들이 이용된다. 예를 들면, 웨이퍼의 절단 및 연마 후 세정 공정에 사용되는 세정액, 웨이퍼의 감광 공정에 사용되는 감광액, 웨이퍼의 현상 공정에 사용되는 현상액, 웨이퍼 식각 공정에 사용되는 식각액 등이 반도체 제조 공정에 이용된다.In general, many chemicals are used in the semiconductor manufacturing process. For example, the cleaning liquid used for the cleaning process after cutting and polishing the wafer, the photosensitive liquid used for the photosensitive process of the wafer, the developing solution used for the developing process of the wafer, the etching liquid used for the wafer etching process, and the like are used in the semiconductor manufacturing process. .

이러한 화학 물질들은 이송관을 통해 각 공정이 수행되는 위치로 이송되는데, 이송관의 불량 및 열화에 의해 화학 물질이 이송관 외부로 누설되는 일이 발생할 수 있다. 누설된 화학 물질은 사람은 물론 반도체 제조 현장의 다른 장치나 부품들에 악영향을 끼치므로, 이송관의 누액을 감지하여 빠르게 조치를 취할 필요가 있다.These chemicals are transferred to the position where each process is performed through the transfer pipe, and the leakage of the chemical to the outside of the transfer pipe may occur due to the failure and deterioration of the transfer pipe. The leaked chemicals adversely affect humans and other devices and components in the semiconductor manufacturing site, so it is necessary to detect leaks in the transfer pipes and take quick action.

이송관의 누액 감지는 일반적으로 플러스(+) 도체와 마이너스(-) 도체를 나란히 또는 교차 배치하고, 이 도체들과 누설 액체의 접촉에 따른 저항 변화를 측정하여 누설 여부를 판단하는 정전용량 검출형 센서를 주로 이용한다.Leakage detection in transfer pipes is generally a capacitance detection type that determines whether a leak is obtained by measuring the change in resistance caused by the contact of the leaking liquid with the positive (+) and negative (-) conductors side by side or intersecting. The sensor is mainly used.

이러한 정전용량 검출형 센서 대한민국 공개특허공보 제10-2007-0005234호 및 공개실용신안공보 평01-171340호에 개시되어 있다.Such capacitive detection type sensors are disclosed in Korean Unexamined Patent Publication No. 10-2007-0005234 and Korean Utility Model Publication No. Hei 01-171340.

한편, 최근에는 눈이나 빗물 등의 수분에는 반응하지 않고 특정 약품에만 반응하거나 특정 약품에 용해되어 약품의 누설만을 감지할 수 있는 약액 반응형 또는 약액 침투형 누설 감지 센서가 개발되어 사용되고 있다.On the other hand, recently, a chemical-responsive or chemical-liquid leakage detection sensor has been developed that does not react to water such as snow or rainwater, but reacts only to a specific drug or is dissolved in a specific drug to detect only a leak of the drug.

그러나, 이러한 약액 반응형 또는 약액 침투형 누설 감지 센서는 눈이나 빗물 또는 결빙에 의한 수분과 누설된 약품이 혼합되어 희석에 따른 약품의 농도 저하로 인해 약품의 누설 감지가 실질적으로 불가능하다.However, such chemically reactive or chemically infiltrating type leak detection sensor is substantially impossible to detect leakage of the drug due to a decrease in concentration of the drug due to dilution by mixing the leaked drug with water due to snow, rain or ice.

본 발명은 옥외에 설치된 약품 저장 탱크로부터 누설되는 약품과 눈이나 빗물, 결빙 등의 수분을 구별하여 약품의 누설만을 감지할 수 있는 강우 구분형 누액 감지 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a rainfall-class leak-tight detection device that can detect only the leakage of the drug by distinguishing the chemical leakage from the chemical storage tank installed in the outdoors and snow, rain water, freezing and the like.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 옥외에 설치된 약품 저장 탱크의 하부에 설치되고, 상기 약품 저장 탱크로부터 누설된 약품 및 외부의 수분과의 접촉에 의한 전기 전도도 또는 정전용량 변화를 검출하는 제1 센서; 상기 약품 저장 탱크의 외측에 설치되고, 외부의 수분과의 접촉에 의한 전기 전도도 변화를 검출하는 제2 센서; 및 상기 제1 센서와 제2 센서의 검출 결과를 비교하여 상기 약품 저장 탱크의 누액 여부를 판단하는 제어부를 포함한다.In order to achieve the above object, the present invention is installed in the lower portion of the chemical storage tank installed outdoors, and the agent for detecting the electrical conductivity or capacitance change due to contact with the chemical leaked from the chemical storage tank and the external water 1 sensor; A second sensor installed outside the chemical storage tank and detecting a change in electrical conductivity caused by contact with external moisture; And a controller for comparing the detection result of the first sensor and the second sensor to determine whether the medicine storage tank is leaked.

바람직하게는, 상기 제어부는, 상기 제1 센서의 전기 전도도 또는 정전용량이 변화하고 상기 제2 센서의 전기 전도도가 변화한 경우에, 강우, 강설, 물청소 또는 결빙 상황이라 판단하고, 상기 제1 센서의 전기 전도도 또는 정전용량이 변화하지 않고 상기 제2 센서의 전기 전도도가 변화한 경우에, 약품 저장 탱크의 약품이 누설된 것이라 판단하는 것을 특징으로 한다.Preferably, when the electrical conductivity or capacitance of the first sensor changes and the electrical conductivity of the second sensor changes, the controller determines that it is a rainfall, snowfall, water cleaning or freezing situation, and the first When the electrical conductivity of the sensor does not change or the electrical conductivity of the second sensor is changed, it is determined that the chemical in the chemical storage tank is leaked.

바람직하게는, 상기 제1 센서는 상기 약품 저장 탱크의 하부에서 상기 약품 저장 탱크의 주변을 따라 서로 이격되어 배치된 복수 개의 센서들로 이루어진 것을 특징으로 하다.Preferably, the first sensor is characterized by consisting of a plurality of sensors spaced apart from each other along the periphery of the chemical storage tank in the lower portion of the chemical storage tank.

또한, 상기 제2 센서는, 종방향으로 연장된 판 형상의 하부 하우징과 횡방향으로 연장된 판 형상의 상부 하우징으로 이루어진 하우징; 상기 하부 하우징의 측면에 종방향을 따라 도전성 물질을 도포 또는 인쇄하여 형성되고, 액체와의 접촉에 의한 전기 전도도 변화에 따라 결빙이나 침수 여부를 감지하기 위한 하부 센서부; 상기 상부 하우징의 상면에 횡방향을 따라 도전성 물질을 도포 또는 인쇄하여 형성되고, 액체와의 접촉에 의한 전기 전도도 변화에 따라 강우 여부를 감지하기 위한 상부 센서부; 및 상기 하우징의 내부에서 상기 상부 센서부와 하부 센서부 사이에 배치되고, 상기 상부 센서부와 하부 센서부의 전기 전도도 변화를 감지하는 인쇄회로기판을 포함하는 것을 특징으로 하다.In addition, the second sensor, the housing consisting of a plate-shaped lower housing extending in the longitudinal direction and the plate-shaped upper housing extending in the transverse direction; A lower sensor unit which is formed by applying or printing a conductive material along a longitudinal direction of the lower housing and detecting freezing or immersion according to a change in electrical conductivity caused by contact with a liquid; An upper sensor unit which is formed by applying or printing a conductive material along a transverse direction on an upper surface of the upper housing, and detecting whether the rainfall is due to a change in electrical conductivity due to contact with a liquid; And a printed circuit board disposed between the upper sensor part and the lower sensor part in the housing and detecting a change in electrical conductivity of the upper sensor part and the lower sensor part.

여기서, 상기 상부 하우징은 상면이 일측을 향하여 기울어진 형태를 갖고, 상기 상부 센서부는 종방향으로 형성된 복수의 설치 구멍들, 및 상기 설치 구멍들에 개별적으로 끼워지고 상기 상부 하우징의 상면과 동일한 높이에 배열되는 헤드를 구비하며 상기 인쇄회로기판에 연결되는 복수의 금속 핀들을 포함하고, 상기 금속 핀들의 헤드에는 각각 불소 수지 계열의 도전성 물질이 도포 또는 인쇄되는 것을 특징으로 한다.Here, the upper housing has a form in which the upper surface is inclined toward one side, the upper sensor portion is a plurality of mounting holes formed in the longitudinal direction, and the mounting holes are individually fitted in the same height as the upper surface of the upper housing And a plurality of metal pins connected to the printed circuit board and having a head arranged thereon, wherein the heads of the metal pins are coated or printed with a fluororesin-based conductive material.

바람직하게는, 상기 복수의 금속 핀들은 헤드의 높이에 따라 복수의 영역들로 구분되고, 상기 인쇄회로기판은 상기 금속 핀들의 상부 영역에서 하부 영역으로 순차적으로 전기 전도도 변화가 검출되는 경우, 상기 금속 핀들의 전체 영역에서 동시에 전기 전도도 변화가 검출되는 경우, 그리고 상기 금속 핀들의 국소 영역에서 지속적으로 전기 전도도 변화가 검출되는 경우를 구분하여 강우량을 판단하는 것을 특징으로 하다.Preferably, the plurality of metal fins are divided into a plurality of regions according to the height of the head, and the printed circuit board is the metal when the electrical conductivity change is sequentially detected from the upper region to the lower region of the metal fins. Rainfall is determined by discriminating when the electrical conductivity change is simultaneously detected in the entire region of the fins and when the electrical conductivity change is continuously detected in the local region of the metal fins.

본 발명에 따르면, 옥외에 설치된 약품 저장 탱크로부터 누설되는 약품과 눈이나 빗물, 결빙 등의 수분을 구별하여 약품의 누설만을 정확하게 감지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to accurately detect only the leakage of the medicine by distinguishing the chemical leakage from the chemical storage tank installed in the outdoors and the water, such as snow, rain water, freezing.

또한, 본 발명에 따르면, 외부 환경, 예를 들면 강우량의 정도를 추정할 수 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to estimate the external environment, for example, the degree of rainfall.

도 1은 약품 저장 탱크에 설치된, 본 발명에 따른 강우 구분형 누액 감지 장치를 개략적으로 도시한 개념도,
도 2는 본 발명에 따른 강우 구분형 누액 감지 장치의 제2 센서를 개략적으로 도시한 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 강우 구분형 누액 감지 장치의 제2 센서의 바람직한 실시예를 개략적으로 도시한 사시도로서, 하우징 내부의 금속 핀들이 드러나도록 하우징 내부를 투시하여 도시한 도면.1 is a conceptual diagram schematically showing a rainfall-dividing type leakage detection device according to the present invention, installed in a chemical storage tank,
Figure 2 is a perspective view schematically showing a second sensor of the rainfall-separable leak detection device according to the present invention,
3 is a perspective view schematically showing a preferred embodiment of the second sensor of the rainfall-separated leak detection apparatus according to the present invention, a perspective view of the inside of the housing to expose the metal pins inside the housing.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 강우 구분형 누액 감지 장치에 대한 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성 요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the rainfall type leak-tight detection device according to the present invention. For reference, in the following description of the present invention, terms referring to the components of the present invention are named in consideration of the function of each component, and should not be understood as a meaning of limiting the technical components of the present invention. Will be.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 강우 구분형 누액 감지 장치는 옥외에 설치된 약품 저장 탱크의 약품 누설과 빗물, 눈 또는 결빙에 의한 수분을 구분하여 약품의 누설만을 정확하게 검출하기 위한 것으로서, 액체와의 접촉에 의해 전기 전도도 또는 정전용량이 변화하는 제1 센서(100), 액체와의 접촉에 의해 전기 전도도가 변화하는 제2 센서(200), 및 제1 센서(100)와 제2 센서(200)의 검출값을 비교하여 약품 누설을 검출하는 제어부(300)를 포함한다. Referring to Figure 1, the rain classification type leakage detection device according to the present invention is to accurately detect only the leakage of the drug by distinguishing the chemical leakage of the chemical storage tank installed in the outdoor and rain water, snow or ice, The first sensor 100 whose electrical conductivity or capacitance changes due to contact of the second sensor, the second sensor 200 whose electrical conductivity changes due to contact with liquid, and the first sensor 100 and the second sensor 200. The control unit 300 for detecting the drug leakage by comparing the detection value of the).

제1 센서(100)는 옥외에 설치된 약품 저장 탱크(10)의 하부에 설치된다. 즉, 제1 센서(100)는 약품 저장 탱크(10)로부터 누설된 약품과 접촉하도록 배치된다. 이와 동시에, 제1 센서(100)는 비나 눈이 올 경우에, 또는 추위로 인해 결빙될 경우에 수분과 접촉하도록 배치된다. 이 제1 센서(100)는 약품 저장 탱크(10)로부터 누설된 약품, 그리고 약품 저장 탱크(10) 외부의 수분과 접촉하여 전기 전도도 또는 정전용량 변화를 검출하도록 구성된다. 예를 들면, 제1 센서(100)는 표면에 불소 수지 계열의 도전성 물질이 소성, 도포 또는 인쇄되고, 이 도전성 물질과 액체(약품 및/또는 수분)와의 접촉에 의해 전기 전도도가 변화하거나 정전용량이 변화함으로써, 온(on) 상태가 된다. The first sensor 100 is installed below the chemical storage tank 10 installed outdoors. That is, the first sensor 100 is disposed to contact the chemical leaked from the chemical storage tank 10. At the same time, the first sensor 100 is arranged to be in contact with moisture when it rains or snows, or when frozen due to cold. The first sensor 100 is configured to detect an electrical conductivity or capacitance change in contact with the chemical leaked from the chemical storage tank 10 and moisture outside the chemical storage tank 10. For example, the first sensor 100 has a fluorine resin-based conductive material baked, coated or printed on its surface, and the electrical conductivity is changed or the capacitance is caused by contact of the conductive material with a liquid (drug and / or moisture). By this change, the state is turned on.

여기서, 제1 센서(100)는 하우징 및 하우징 상에 형성된 센서층으로 이루어진다. 그리고, 하우징은 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어지고, 센서층은 소정의 패턴으로 형성된 + 단자 및 이와 대응되는 - 단자로 구성된다. 또한, 센서층은 불소 수지와 도전성 혼합물이 혼합되어 이루어진 도전성 물질로 형성될 수 있다. 그리고, 하우징 및 센서층에 포함된 불소 수지는, 예를 들면 내약품성 및 내열성이 우수한 ETFE(Ethylene TetraFluoroEthylene), FEP(Flourinated Ethylene Prophylene), PTFE(PolyTetraFluoroeEhylene), PFA(Perfluorinated acids) 등일 수 있다. 이러한, 불소 수지로 이루어진 하우징과 센서층은 화학 약품과의 접촉 후에도 거의 손상되지 않아 반영구적인 사용이 가능하다.Here, the first sensor 100 is composed of a housing and a sensor layer formed on the housing. The housing is made of a fluororesin-based non-conductive material, and the sensor layer is composed of a + terminal and a corresponding-terminal formed in a predetermined pattern. In addition, the sensor layer may be formed of a conductive material formed by mixing a fluororesin and a conductive mixture. In addition, the fluorine resin included in the housing and the sensor layer may be, for example, ethylene ethylene (Ethylene TetraFluoroEthylene), FEP (Flourinated Ethylene Prophylene), PTFE (PolyTetraFluoroeEhylene), PFA (Perfluorinated acids), etc., having excellent chemical resistance and heat resistance. Such a housing and sensor layer made of fluororesin are hardly damaged even after contact with chemicals and thus can be used semi-permanently.

제2 센서(200)는 약품 저장 탱크(10)의 외측에 설치된다. 이때, 제2 센서(200)는 약품 저장 탱크(10)에서 누설되는 약품과는 접촉하지 않고, 빗물이나 눈 또는 결빙에 의한 수분과 접촉하도록 약품 저장 탱크(10)의 외측에 설치된다. 이 제2 센서(200)는 약품 저장 탱크(10) 외부의 수분, 예를 들면 빗물이나 눈 또는 결빙에 의한 수분과 접촉하여 전기 전도도 변화를 검출하도록 구성된다. 예를 들면, 제2 센서(200)는 표면에 불소 수지 계열의 도전성 물질이 소성, 도포 또는 인쇄되고, 이 도전성 물질과 외부 수분의 접촉에 의해 전기 전도도가 변화함으로써, 온(on) 상태가 된다. 또한, 제2 센서(200)는 제1 센서(100)와 마찬가지로, 하우징과 센서층으로 이루어지고, 하우징은 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어지고, 센서층은 불소 수지와 도전성 혼합물이 혼합된 도전성 물질로 이루어지고, 소정의 패턴으로 형성된 + 단자 및 이와 대응되는 - 단자로 구성된다.The second sensor 200 is installed outside the chemical storage tank 10. In this case, the second sensor 200 is installed outside the chemical storage tank 10 so as not to contact the chemical leaking from the chemical storage tank 10 but to contact with moisture due to rain water, snow, or ice. The second sensor 200 is configured to detect a change in electrical conductivity in contact with moisture outside the chemical storage tank 10, for example, water due to rain or snow or ice. For example, the second sensor 200 is turned on by firing, applying, or printing a fluororesin-based conductive material on the surface thereof, and changing its electrical conductivity due to contact of the conductive material with external moisture. . In addition, like the first sensor 100, the second sensor 200 includes a housing and a sensor layer, the housing is made of a fluororesin-based nonconductive material, and the sensor layer is a mixture of a fluororesin and a conductive mixture. It is made of a conductive material and consists of a + terminal and a corresponding-terminal formed in a predetermined pattern.

제어부(300)는 제1 센서(100)와 제2 센서(200)의 검출 결과, 즉 전기 전도도 또는 정전용량 변화를 비교하여 약품 저장 탱크의 누액 여부를 판단한다. 예를 들면, 제어부(300)는 제1 센서(100)의 전기 전도도 또는 정전용량 검출값과 제2 센서(200)의 전기 전도도 검출값이 동일한 경우에, 제1 센서(100)와 제2 센서(200)의 검출 결과가 빗물이나 눈, 물청소 또는 결빙에 따른 수분에 의한 것이라 추측하여, 약품 저장 탱크(10)의 약품이 누설될지 않은 것으로 판단한다. 또한, 제어부(300)는 제1 센서(100)의 전기 전도도 또는 정전용량 검출값과 제2 센서(200)의 전기 전도도 검출값이 동일하지 않은 경우에, 제1 센서(100)와 제2 센서(00)의 검출값의 차이가 제1 센서(100)와 약품의 접촉에 의한 것으로 추측하여, 약품 저장 탱크(10)의 약품이 누설된 것으로 판단한다.The controller 300 compares the detection result of the first sensor 100 and the second sensor 200, that is, the electrical conductivity or the capacitance change to determine whether the chemical storage tank leaks. For example, the control unit 300 is the first sensor 100 and the second sensor when the electrical conductivity or capacitance detection value of the first sensor 100 and the electrical conductivity detection value of the second sensor 200 are the same. It is assumed that the detection result of 200 is caused by rain, snow, water cleaning or water freezing, and it is determined that the chemical in the chemical storage tank 10 has not leaked. In addition, when the electrical conductivity or capacitance detection value of the first sensor 100 and the electrical conductivity detection value of the second sensor 200 are not equal to each other, the control unit 300 includes the first sensor 100 and the second sensor. It is estimated that the difference in the detected value (00) is due to the contact between the first sensor 100 and the medicine, and it is determined that the medicine in the medicine storage tank 10 is leaked.

이와 같이, 본 발명에 따른 강우 구분형 누액 감지 장치는 빗물이나 눈 또는 결빙에 영향을 받지 않고 옥외에 설치된 약품 저장 탱크의 약품 누설을 정확하게 감지할 수 있다.As described above, the rainfall type leak-tight detection device according to the present invention can accurately detect the chemical leakage of the chemical storage tank installed outdoors without being affected by rain, snow or ice.

바람직하게는, 전술한 제1 센서(100)는 약품 저장 탱크(10)의 하부에서 약품 저장 탱크(10)의 주변을 따라 서로 이격되어 배치된 복수 개의 센서들로 이루어지고, 이 센서들은 서로 연결되어 제어부(300)와 전기적으로 연결된다. 따라서, 약품 저장 탱크(10)가 대형인 경우에도, 약품 누설 위치에 영향을 받지 않고 약품 누설을 정확하게 감지할 수 있다.Preferably, the above-described first sensor 100 is composed of a plurality of sensors spaced apart from each other along the periphery of the chemical storage tank 10 at the bottom of the chemical storage tank 10, the sensors are connected to each other And is electrically connected to the control unit 300. Therefore, even when the chemical storage tank 10 is large, chemical leakage can be accurately detected without being affected by the chemical leakage position.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 강우 구분형 누액 감지 장치는 정면에서 볼 때 대략 'T'자 형상의 하우징(210)을 갖는 제2 센서(200)를 포함한다. 이 제2 센서(200)는 하우징(210), 하부 센서부(220), 상부 센서부(230) 및 인쇄회로기판(240; 도 3 참조)을 포함한다. Referring to FIG. 2, the rainfall-dividing type leakage detecting device according to the present invention includes a second sensor 200 having a housing 210 having a substantially 'T' shape when viewed from the front. The second sensor 200 includes a housing 210, a lower sensor unit 220, an upper sensor unit 230, and a printed circuit board 240 (see FIG. 3).

하우징(210)은 종방향으로 연장된 판 형상의 상부 하우징(210A)과 횡방향으로 연장된 판 형상의 하부 하우징(210B)을 포함한다.The housing 210 includes a plate-shaped upper housing 210A extending in the longitudinal direction and a plate-shaped lower housing 210B extending in the transverse direction.

하부 센서부(220)는 하부 하우징(210B)의 측면에 종방향을 따라 불소 수지 계열의 도전성 물질을 소성, 도포 또는 인쇄하여 형성되고, 액체와의 접촉에 의한 전기 전도도 변화에 따라 주변 결빙이나 침수 여부를 감지하는 역할을 한다. 즉, 하부 센서부(220)는 약품 저장 탱크(10)의 외측에서 약품 저장 탱크가 설치된 파운데이션(foundation) 또는 지면에 설치되어, 빗물이나 눈에 의한 침수 또는 결빙에 의해 수분과 접촉함으로써, 주변 상황을 감지한다. 여기서, 하부 센서부(220)는 하부 하우징(210B)의 길이방향을 따라 복수의 영역들로 구획되고, 각각의 영역별로 개별 검출값을 출력함으로써, 강우량이나 침수 높이를 감지하도록 구성될 수 있다.The lower sensor unit 220 is formed by firing, applying, or printing a fluororesin-based conductive material along the longitudinal direction on the side of the lower housing 210B, and surrounding freezing or immersion according to a change in electrical conductivity caused by contact with a liquid. Detect whether or not. That is, the lower sensor unit 220 is installed in the foundation (foundation) or the ground in which the chemical storage tank is installed outside of the chemical storage tank 10, and is in contact with moisture by flooding or freezing by rainwater or snow, Detect. Here, the lower sensor unit 220 may be divided into a plurality of areas along the longitudinal direction of the lower housing 210B, and may be configured to detect rainfall or flooding height by outputting individual detection values for each area.

상부 센서부(230)는 상부 하우징(210A)의 상면에 횡방향을 따라 불소 수지 계열의 도전성 물질을 소성, 도포 또는 인쇄하여 형성되고, 액체와의 접촉에 의한 정전용향 변화에 따라 비나 눈이 오는지를 감지할 수 있다. 즉, 상부 센서부(230)는 하늘을 향하여 위치함으로써, 강우 여부를 감지할 수 있다.The upper sensor unit 230 is formed by firing, applying or printing a fluororesin-based conductive material along the transverse direction on the upper surface of the upper housing 210A, and whether it rains or snows according to the change in the electrostatic orientation due to contact with the liquid. Can be detected. That is, the upper sensor unit 230 may be located toward the sky to detect whether there is a rainfall.

인쇄회로기판(240)은 상부 센서부(230)와 하부 센서부(220) 사이에서 상부 센서부(230) 및 하부 센서부(220)와 전기적으로 연결되고, 상부 센서부(230)와 하부 센서부(220)의 전기 전도도 변화를 감지하고, 그 결과를 제어부(300)에 전달한다.The printed circuit board 240 is electrically connected to the upper sensor unit 230 and the lower sensor unit 220 between the upper sensor unit 230 and the lower sensor unit 220, and the upper sensor unit 230 and the lower sensor. The electrical conductivity of the unit 220 is detected, and the result is transmitted to the controller 300.

도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 강우 구분형 누액 감지 장치의 제2 센서(200)는 비가 오는 경우에 강우 정도를 구분할 수 있도록 구성된다. Referring to FIG. 3, the second sensor 200 of the rain classification type leakage detection apparatus according to the present invention is configured to distinguish the degree of rainfall in the rain.

구체적으로, 상부 하우징(210A)은 상면이 일측을 향하여 기울어진 형태를 갖는다. 즉, 상부 하우징(210A)의 상면은 경사면으로 형성된다. 이에 따라, 비가 오는 경우 빗물이 일측으로 흘러내리게 된다.Specifically, the upper housing 210A has an upper surface inclined toward one side. That is, the upper surface of the upper housing 210A is formed as an inclined surface. Accordingly, when it rains, rainwater flows down to one side.

또한, 제2 센서(200)의 상부 센서부(230)는 종방향으로 형성된 복수의 설치 구멍들과 이 설치 구멍들에 개별적으로 끼워지는 복수의 금속 핀들(232)을 포함한다. 또한, 금속 핀(232)은 상부 하우징(210A)의 상면과 동일한 높이에 배열되는 헤드(232a)를 구비하고, 금속 핀(232)의 하단은 인쇄회로기판(240)에 전기적으로 연결된다. In addition, the upper sensor part 230 of the second sensor 200 includes a plurality of mounting holes formed in the longitudinal direction and a plurality of metal pins 232 that are individually fitted into the mounting holes. In addition, the metal pin 232 has a head 232a arranged at the same height as the upper surface of the upper housing 210A, and the lower end of the metal pin 232 is electrically connected to the printed circuit board 240.

여기서, 금속 핀(232)의 헤드(232a)에는 각각 불소 수지 계열의 도전성 물질이 소성, 도포 또는 인쇄되어, 액체와의 접촉에 의해 전기 전도도가 변하는 접촉 단자로서의 역할을 한다. 이때, 금속 핀(232)의 헤드(232a)에 배치되는 도전성 물질은 헤드(232a)와 설치 구멍 사이를 밀봉하도록 형성되어, 액체가 하우징(210) 내부의 인쇄회로기판(240)으로 진입하는 것을 방지한다.Here, the conductive material of the fluororesin series is fired, coated or printed on the head 232a of the metal pin 232, and serves as a contact terminal whose electrical conductivity is changed by contact with a liquid. At this time, the conductive material disposed on the head 232a of the metal pin 232 is formed to seal between the head 232a and the mounting hole, so that liquid enters the printed circuit board 240 inside the housing 210. prevent.

한편, 상부 센서부(230)에 배치된 복수의 금속 핀들(232)은 상부 하우징(210A)의 상면, 즉 경사면에 의해 헤드(232a)의 높이가 달라지게 된다. 여기서, 바람직하게는 복수의 금속 핀들(232)의 헤드들(232a)은 그 높이에 따라 복수의 영역들로 구분된다. 예를 들면, 도 3에서, 상부 센서부(230)의 금속 핀들(232)은 헤드(232a)의 높이가 가장 높은 도면 우측의 제1 영역(230A), 제1 영역(230A)의 바로 좌측에 위치한 제2 영역(230B), 제2 영역(230B)의 바로 좌측에 위치한 제3 영역(230C) 및 헤드(232)의 높이가 가장 낮은 도면 좌측의 제4 영역(230D)으로 구분된다. 그리고, 제1 영역 내지 제4 영역(230A 내지 230D)은 각각의 전기 전도도 검출값을 출력하게 된다.On the other hand, the plurality of metal pins 232 disposed in the upper sensor unit 230, the height of the head 232a is changed by the upper surface, that is, the inclined surface of the upper housing 210A. Here, preferably, the heads 232a of the plurality of metal pins 232 are divided into a plurality of regions according to their heights. For example, in FIG. 3, the metal pins 232 of the upper sensor unit 230 are located on the right side of the first region 230A and the first region 230A of the right side of the drawing, in which the height of the head 232a is the highest. The second region 230B is positioned, the third region 230C positioned immediately to the left of the second region 230B, and the fourth region 230D at the left side of the drawing having the lowest height. In addition, the first to fourth regions 230A to 230D output respective electric conductivity detection values.

이러한 상부 센서부(230)의 구성에 의해, 인쇄회로기판(240)은 내리는 비의 양을 어느 정도 추정할 수 있다.By the configuration of the upper sensor unit 230, the printed circuit board 240 can estimate the amount of the rain to some extent.

구체적으로, 인쇄회로기판(240)은 금속 핀들(232)의 상부 영역에서 하부 영역으로 순차적으로 전기 전도도 변화가 검출되는 경우, 즉 내리는 비의 양이 적어서 상부 센서부(230)의 상부 영역, 즉 제1 영역(230A)에 내린 비가 제2 영역(230B), 제3 영역(230C) 및 제4 영역(230D)을 거쳐 흘러내리는 것으로 판단하여, 비의 양이 소량인 것으로 추정할 수 있다.Specifically, the printed circuit board 240 is the upper region of the upper sensor portion 230, that is, when the electrical conductivity change is sequentially detected from the upper region of the metal pins 232 to the lower region, that is, the amount of falling rain is small It may be determined that the amount of the rain is a small amount by determining that the rain that falls in the first region 230A flows through the second region 230B, the third region 230C, and the fourth region 230D.

또한, 인쇄회로기판(240)은 금속 핀들(232)의 전체 영역들에서 동시에 전기 전도도 변화가 검출되는 경우, 즉 내리는 비의 양이 많아서 상부 센서부(230)의 전체 영역들이 빗물과 접촉하는 것으로 판단하여, 비의 양이 많은 강우 상황이라 추정할 수 있다.In addition, when the electrical conductivity change is simultaneously detected in the entire areas of the metal pins 232, that is, the printed circuit board 240 has a large amount of rain, so that the entire areas of the upper sensor part 230 come into contact with rainwater. By judging, it can be estimated that the amount of rain is heavy.

또한, 인쇄회로기판(240)은 금속 핀들(232)의 국소 영역에서만 지속적으로 전기 전도도 변화가 검출되는 경우에는 내리는 비의 양이 극소량이라 추정할 수 있다.In addition, the printed circuit board 240 may be estimated to have a very small amount of rain when the electrical conductivity change is continuously detected only in the local region of the metal pins 232.

이상에서 설명된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 보여준 것에 불과하며, 본 발명의 보호 범위는 이하 특허청구범위에 의하여 해석되어야 마땅할 것이다. 또한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것인 바, 본 발명과 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The embodiments of the present invention described above are merely illustrative of the technical idea of the present invention, and the protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims. In addition, one of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will be capable of various modifications and variations without departing from the essential characteristics of the present invention, all technical ideas within the scope equivalent to the present invention of the present invention It should be interpreted as being included in the scope of rights.

Claims (6)

옥외에 설치된 약품 저장 탱크의 하부 둘레에 설치되고, 상기 약품 저장 탱크로부터 누설된 약품 및 외부의 수분과의 접촉에 의한 전기 전도도 또는 정전용량 변화를 검출하는 제1 센서;
상기 약품 저장 탱크와 일정거리 이격된 위치에 설치되고, 외부의 수분과의 접촉에 의한 전기 전도도 변화를 검출하는 제2 센서; 및
상기 제1 센서와 제2 센서의 검출 결과를 비교하여 상기 약품 저장 탱크의 누액 여부를 판단하는 제어부를 포함하는 강우 구분형 누액 감지 장치.
A first sensor installed around a lower portion of a chemical storage tank installed outdoors and detecting a change in electrical conductivity or capacitance due to contact with chemicals leaked from the chemical storage tank and external moisture;
A second sensor installed at a position spaced apart from the chemical storage tank by a predetermined distance and detecting a change in electrical conductivity due to contact with external moisture; And
Rainfall type leakage detection device comprising a control unit for comparing the detection results of the first sensor and the second sensor to determine whether the drug storage tank leakage.
제1항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 제1 센서의 전기 전도도 또는 정전용량이 변화하고 상기 제2 센서의 전기 전도도가 변화한 경우에, 강우, 강설, 물청소 또는 결빙 상황이라 판단하고,
상기 제1 센서의 전기 전도도 또는 정전용량이 변화하지 않고 상기 제2 센서의 전기 전도도가 변화한 경우에, 약품 저장 탱크의 약품이 누설된 것이라 판단하는 것을 특징으로 하는 강우 구분형 누액 감지 장치.
The method of claim 1,
The control unit,
When the electrical conductivity or capacitance of the first sensor is changed and the electrical conductivity of the second sensor is changed, it is determined that the rainfall, snow, water cleaning or freezing situation,
Rainfall-type leakage detection device characterized in that it is determined that the chemical in the chemical storage tank has leaked when the electrical conductivity of the first sensor or the electrical conductivity of the second sensor does not change.
제1항에 있어서,
상기 제1 센서는 상기 약품 저장 탱크의 하부에서 상기 약품 저장 탱크의 주변을 따라 서로 이격되어 배치된 복수 개의 센서들로 이루어진 것을 특징으로 하는 강우 구분형 누액 감지 장치,
The method of claim 1,
The first sensor is a rain classification type leakage detection device, characterized in that consisting of a plurality of sensors spaced apart from each other along the periphery of the chemical storage tank in the lower portion of the chemical storage tank,
제1항에 있어서,
상기 제2 센서는,
종방향으로 연장된 판 형상의 하부 하우징과 횡방향으로 연장된 판 형상의 상부 하우징으로 이루어진 하우징;
상기 하부 하우징의 측면에 종방향을 따라 도전성 물질을 도포 또는 인쇄하여 형성되고, 수분과의 접촉에 의한 전기 전도도 변화에 따라 결빙이나 침수 여부를 감지하기 위한 하부 센서부;
상기 상부 하우징의 상면에 횡방향을 따라 도전성 물질을 도포 또는 인쇄하여 형성되고, 수분과의 접촉에 의한 전기 전도도 변화에 따라 강우 여부를 감지하기 위한 상부 센서부; 및
상기 하우징의 내부에서 상기 상부 센서부와 하부 센서부 사이에 배치되고, 상기 상부 센서부와 하부 센서부의 전기 전도도 변화를 감지하는 인쇄회로기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 강우 구분형 누액 감지 장치.
The method of claim 1,
The second sensor,
A housing comprising a plate-shaped lower housing extending in the longitudinal direction and a plate-shaped upper housing extending in the transverse direction;
A lower sensor unit which is formed by coating or printing a conductive material along a longitudinal direction of the lower housing and detecting freezing or immersion according to a change in electrical conductivity due to contact with moisture;
An upper sensor part formed on the upper surface of the upper housing by coating or printing a conductive material along a transverse direction, and detecting rain based on a change in electrical conductivity caused by contact with moisture; And
Rainfall-type leakage detection device characterized in that it comprises a printed circuit board disposed between the upper sensor portion and the lower sensor portion in the housing, and detecting a change in electrical conductivity of the upper sensor portion and the lower sensor portion.
제4항에 있어서,
상기 상부 하우징은 상면이 일측을 향하여 기울어진 형태를 갖고,
상기 상부 센서부는 종방향으로 형성된 복수의 설치 구멍들, 및 상기 설치 구멍들에 개별적으로 끼워지고 상기 상부 하우징의 상면과 동일한 높이에 배열되는 헤드를 구비하며 상기 인쇄회로기판에 연결되는 복수의 금속 핀들을 포함하고,
상기 금속 핀들의 헤드에는 각각 불소 수지 계열의 도전성 물질이 도포 또는 인쇄되는 것을 특징으로 하는 강우 구분형 누액 감지 장치.
The method of claim 4, wherein
The upper housing has an upper surface inclined toward one side,
The upper sensor portion includes a plurality of installation holes formed in a longitudinal direction, and a plurality of metal pins connected to the printed circuit board and having a head that is individually fitted to the installation holes and arranged at the same height as the upper surface of the upper housing. Including,
Rainfall type leakage detection device, characterized in that the head of the metal fins is coated or printed with a fluorine resin-based conductive material, respectively.
제5항에 있어서,
상기 복수의 금속 핀들은 동일한 높이의 헤드들로 각각 무리지어진 복수의 영역들로 구분되고,
상기 인쇄회로기판은 상기 금속 핀들의 상부에 위치한 영역에서 하부에 위치한 영역으로 순차적으로 전기 전도도 변화가 검출되는 경우, 상기 금속 핀들의 전체 영역에서 동시에 전기 전도도 변화가 검출되는 경우, 그리고 상기 금속 핀들의 국소 영역에서 지속적으로 전기 전도도 변화가 검출되는 경우를 구분하여 강우량을 판단하는 것을 특징으로 하는 강우 구분형 누액 감지 장치.The method of claim 5,
The plurality of metal pins are divided into a plurality of regions, each grouped by heads of the same height,
When the printed circuit board is sequentially detected from the region located above the metal pins to the region located below, when the electrical conductivity change is detected in the entire region of the metal pins at the same time, and when the electrical conductivity change is detected Rainfall-type leak detection device, characterized in that for determining the rainfall by distinguishing the case where the change in electrical conductivity continuously in the local area.
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