KR101799834B1 - Multiple leak detection sensor - Google Patents

Multiple leak detection sensor Download PDF

Info

Publication number
KR101799834B1
KR101799834B1 KR1020160179930A KR20160179930A KR101799834B1 KR 101799834 B1 KR101799834 B1 KR 101799834B1 KR 1020160179930 A KR1020160179930 A KR 1020160179930A KR 20160179930 A KR20160179930 A KR 20160179930A KR 101799834 B1 KR101799834 B1 KR 101799834B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
housing
sensor
dissolved
dissolving
chemical
Prior art date
Application number
KR1020160179930A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이재희
Original Assignee
이재희
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이재희 filed Critical 이재희
Priority to KR1020160179930A priority Critical patent/KR101799834B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101799834B1 publication Critical patent/KR101799834B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D11/00—Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G01D11/24—Housings ; Casings for instruments
    • G01D11/245—Housings for sensors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/416—Systems
    • G01N27/4163—Systems checking the operation of, or calibrating, the measuring apparatus
    • G01N27/4165—Systems checking the operation of, or calibrating, the measuring apparatus for pH meters

Landscapes

  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

The present invention relates to a multi-leak detection sensor capable of detecting leak of various types of medicines. According to the present invention, the sensor comprises: a sensor part including a base sheet made of a fluorine resin based non-conductive material, and a sensor layer formed by coating or printing a conductive material formed by mixing a fluorine resin and a conductive mixture on the base sheet in accordance with a predetermined pattern; a housing made of a fluorine resin based non-conductive material, including a reception part to receive the sensor part; a plurality of inlet holes formed on an upper surface of the reception part of the housing guiding a leaked chemical to the sensor layer of the sensor part; and soluble members formed on an inner or outer side of the housing to seal the inlet holes, and dissolved by a predetermined chemical wherein the soluble members are formed with a material of a type different from each other dissolved by chemicals of a type different from each other.

Description

다중 누설 감지 센서{Multiple leak detection sensor}[0001] Multiple leak detection sensor [0002]

본 발명은 빗물과 같은 수분을 제외한 특정 약품의 누설을 감지할 수 있는 다중 누설 감지 센서에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a multi-leakage sensor capable of detecting leakage of a specific medicine except moisture such as rainwater.

일반적으로 반도체 제조 공정에는 많은 화학 물질들이 이용된다. 예를 들면, 웨이퍼의 절단 및 연마 후 세정 공정에 사용되는 세정액, 웨이퍼의 감광 공정에 사용되는 감광액, 웨이퍼의 현상 공정에 사용되는 현상액, 웨이퍼 식각 공정에 사용되는 식각액 등이 반도체 제조 공정에 이용된다.In general, many chemicals are used in the semiconductor manufacturing process. For example, a cleaning liquid used in a cleaning process after cutting and polishing the wafer, a photosensitive liquid used in the photosensitive process of the wafer, a developing solution used in the developing process of the wafer, an etching solution used in the wafer etching process, .

이러한 화학 물질들은 이송관(배관)을 통해 각 공정이 수행되는 위치까지 내외부에서 이송되는데, 이송관의 불량 및 열화에 의해 화학 물질이 이송관 외부로 누설되는 일이 발생할 수 있다. 누설된 화학 물질은 사람은 물론 반도체 제조 현장의 다른 장치나 부품들에 악영향을 끼치므로, 이송관의 누설을 감지하여 빠르게 조치를 취할 필요가 있다. These chemicals are transported from inside and outside to the position where each process is performed through the transfer pipe (piping), and chemical substances may leak out of the transfer pipe due to defective or deteriorated transfer pipe. Leaked chemicals have an adverse effect on people and other devices and parts of the semiconductor manufacturing site, so it is necessary to detect leakage of the transfer pipe and take quick action.

특히, 저장 탱크 내부로 누설된 화학 물질은 일정량 이상으로 누설되기 전에 작업자가 조치를 취해야 물적 그리고 인적 피해를 최소화할 수 있다.In particular, chemical agents leaked into the storage tank must be taken by the operator before the leakage of the chemical to a certain extent or more, thereby minimizing physical and personnel damage.

이에 따라, 종래의 누설 감지 센서들은 누설된 화학 물질이 센서의 도전성 표면에 접촉함으로써 발생하는 저항 변화를 측정하여 누설 여부를 판별하였다. 예를 들면, 종래의 누설 감지 센서들은 도전성 패턴이 형성된 센서의 표면에 누설된 도전성 액체가 접촉하게 되면, 도전성 패턴이 전기적으로 통전되는 원리를 이용하여 화학 물질의 누설 여부를 감지하였다.Accordingly, the conventional leak detection sensors measure the resistance change caused by the contact of the leaked chemical substance to the conductive surface of the sensor to determine whether or not the leakage occurs. For example, in the conventional leak detection sensors, when a leaked conductive liquid comes into contact with a surface of a sensor on which a conductive pattern is formed, the leakage of chemical substances is detected using the principle that the conductive pattern is electrically energized.

그런데, 종래의 누설 감지 센서들은 도전성을 갖는 유체와의 접촉에 의해 작동되기 때문에, 이송관 내부에 누설되는 화학 약품 이외에 빗물이나 물 등의 수분이 센서에 접촉하는 경우에도 누설이 감지된다는 문제가 있었다.However, since the conventional leak detecting sensors are operated by contact with a fluid having conductivity, there is a problem that leakage is detected even when moisture such as rain water or water touches the sensor in addition to the chemical leaking into the transfer pipe .

선행기술문헌 1: 공개특허공보 제10-2015-0041564호(2015.04.16.)Prior Art Document 1: Published Japanese Patent Application No. 10-2015-0041564 (Apr.

선행기술문헌 2: 공개특허공보 제10-2016-0010931호(2016.01.29.)Prior Art Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-2016-0010931 (Feb.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서, 여러 종류의 약품의 누설을 감지할 수 있는 다중 누설 감지 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a multiple leakage detection sensor capable of detecting leakage of various kinds of chemicals.

또한, 본 발명은 약품에 의해 손상된 하우징을 간단하게 교환할 수 있는 다중 누설 감지 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide a multiple leakage sensor capable of simply replacing a housing damaged by a medicine.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어진 베이스 시트 및 불소 수지와 도전성 혼합물이 혼합되어 이루어진 도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 상기 베이스 시트에 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서층을 포함하는 센서부; 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어지고, 상기 센서부를 수용하는 수용부를 구비한 하우징; 상기 하우징의 수용부의 상면에 형성되고, 누설된 화학 약품을 상기 센서부의 센서층으로 안내하는 복수의 유입 구멍들; 및 상기 유입 구멍들을 막도록 상기 하우징의 내측 또는 외측에 형성되고, 특정 화학 약품에 의해 용해되는 용해 부재들을 포함하고, 상기 용해 부재들은, 각각 다른 종류의 화학 약품에 용해되는 서로 다른 종류의 물질로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a base sheet comprising a base sheet made of a fluororesin-based non-conductive material, and a conductive material formed by mixing a fluororesin and a conductive mixture in a predetermined pattern, A sensor unit including a sensor layer; A housing made of a fluororesin-based non-conductive material and having a housing portion for housing the sensor portion; A plurality of inflow holes formed on an upper surface of the housing portion of the housing, the plurality of inflow holes guiding the leaked chemicals to the sensor layer of the sensor portion; And dissolution members formed on the inside or outside of the housing to cover the inlet holes, the dissolution members being dissolved by a specific chemical, the dissolution members being made of different kinds of materials dissolved in different kinds of chemicals .

바람직하게는, 상기 하우징의 수용부는 상기 센서부를 삽입 또는 인출 가능하게 하는 슬릿 형태인 것을 특징으로 한다.Preferably, the receiving portion of the housing is in the form of a slit for inserting or withdrawing the sensor portion.

바람직하게는, 상기 하우징은 서로 포개어진 상부 시트와 하부 시트를 포함하고, 상기 상부 시트와 하부 시트는 상기 하우징의 적어도 일측단이 개방되도록 테두리 부분이 용착 또는 접착되어 상기 수용부를 형성하는 것을 특징으로 한다.Preferably, the housing includes an upper sheet and a lower sheet superimposed on each other, and the upper sheet and the lower sheet form the receiving portion by welding or bonding the rim portions so that at least one side of the housing is opened. do.

바람직하게는, 상기 용해 부재는 산성 약품, 염기성 약품, 유기 약품 또는 오일에 용해되는 용해 물질로 이루어지고, 상기 용해 물질은 상기 하우징에 도포 또는 함침된 후 건조 또는 경화되어 필름, 시트 또는 메시 형태로 상기 용해 부재를 형성하며, 상기 용해 부재들은 서로 다른 종류의 약품에 의해 용해되도록 형성된 것을 특징으로 한다.Preferably, the dissolution member is made of an acidic chemical, a basic chemical, an organic chemical, or a dissolution substance dissolved in oil, and the dissolution substance is applied or impregnated into the housing and then dried or cured to form a film, sheet or mesh And the dissolving members are formed so as to be dissolved by different kinds of medicines.

본 발명에 따르면, 빗물, 눈, 물 등의 수분의 침투를 방지하고, 여러 종류의 화학 약품들의 누설을 감지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to prevent penetration of moisture such as rainwater, snow, water and the like, and to detect leakage of various kinds of chemicals.

또한, 본 발명에 따르면, 센서부가 용이하게 삽입 또는 인출되는 하우징을 구비하여, 화학 약품에 의해 용해 부재가 용해된 하우징을 용이하게 교체할 수 있다.Further, according to the present invention, it is possible to easily replace the housing in which the dissolving member is dissolved by the chemical agent, with the housing in which the sensor unit is easily inserted or withdrawn.

도 1은 본 발명에 따른 다중 누설 감지 센서를 개략적으로 도시한 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 다중 누설 감지 센서의 센서부의 일 예를 개략적으로 도시한 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 다중 누설 감지 센서의 센서부의 또 하나의 예를 개략적으로 도시한 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 다중 누설 감지 센서를 개략적으로 도시한 횡단면도,
도 5 내지 7은 본 발명에 따른 다중 누설 감지 센서의 용해 부재들의 배열 예들을 개략적으로 나타낸 평면도.1 is a perspective view schematically showing a multi-leakage detection sensor according to the present invention,
2 is a perspective view schematically illustrating an example of a sensor unit of a multi-leakage sensor according to the present invention,
FIG. 3 is a perspective view schematically showing another example of the sensor unit of the multi-leakage sensor according to the present invention,
4 is a cross-sectional view schematically illustrating a multi-leakage detection sensor according to the present invention,
5 to 7 are plan views schematically showing examples of arrangements of dissolution members of a multi-leakage detection sensor according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 다중 누설 감지 센서에 대한 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성 요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a multi-leakage detection sensor according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, it is to be understood that the terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the technical scope of the present invention. Will be.

도 1 내지 4를 참조하면, 본 발명에 따른 다중 누설 감지 센서는 도전성 물질과 접촉하여 누설을 감지하는 센서부(100), 센서부(100)를 수용하는 하우징(200), 하우징(200)에 떨어진 누설 유체를 센서부(100)로 안내하는 복수의 유입 구멍(210)들 및 유입 구멍들(210)을 개별적으로 막고 특정 화학 약품에 의해 용해되는 용해 부재들(300)을 포함한다.1 to 4, a multi-leakage sensor according to the present invention includes a sensor unit 100 for sensing leakage by contacting a conductive material, a housing 200 for accommodating the sensor unit 100, And dissolution members 300 that individually block the plurality of inflow holes 210 and the inflow holes 210 that guide the separated leakage fluid to the sensor unit 100 and are dissolved by the specific chemical.

센서부(100)는 베이스 시트(110) 및 베이스 시트(110) 상에 도포 또는 인쇄된 센서층(120)을 포함한다. 베이스 시트(110)는 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어진다. 센서층(120)은 소정의 패턴으로 형성된 + 단자 및 이와 대응되는 - 단자로 구성된다. 여기서, 센서층(120)은 불소 수지와 도전성 혼합물이 혼합되어 이루어진 도전성 물질로 형성될 수 있다. 그리고, 전술한 베이스 시트(110) 및 센서층(120)에 포함된 불소 수지는, 예를 들면 내약품성 및 내열성이 우수한 ETFE(Ethylene TetraFluoroEthylene), FEP(Flourinated Ethylene Prophylene), PTFE(PolyTetraFluoroeEhylene), PFA(Perfluorinated acids) 등일 수 있다. 이러한, 불소 수지로 이루어진 센서부(100)는 화학 약품과의 접촉 후에도 거의 손상되지 않아 반영구적인 사용이 가능하다. The sensor unit 100 includes a base sheet 110 and a sensor layer 120 coated or printed on the base sheet 110. The base sheet 110 is made of a fluororesin-based non-conductive material. The sensor layer 120 is composed of a positive terminal formed in a predetermined pattern and a corresponding negative terminal. Here, the sensor layer 120 may be formed of a conductive material formed by mixing a fluororesin and a conductive mixture. The fluororesin contained in the base sheet 110 and the sensor layer 120 may be selected from the group consisting of ETFE (Ethylene TetraFluoroEthylene), FEP (Flourinated Ethylene Prophylene), PTFE (PolyTetrafluoroEyeylene), PFA Perfluorinated acids and the like. The sensor unit 100 made of a fluororesin is hardly damaged even after contact with a chemical, so that the sensor unit 100 can be used semi-permanently.

하우징(200)은 베이스 시트(110)와 마찬가지로 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어지고, 센서부(100)를 수용하는 역할을 한다. 여기서, 센서부(100)는 하우징(200)에 삽입되거나 하우징(200)으로부터 인출 가능하다. 이를 위해, 하우징(200)은 센서부(100)가 삽입 또는 인출될 수 있는 슬릿 형태의 수용부(220)를 구비한다.Like the base sheet 110, the housing 200 is made of a fluororesin-based non-conductive material and functions to receive the sensor unit 100. Here, the sensor unit 100 is inserted into the housing 200 or can be drawn out from the housing 200. To this end, the housing 200 has a slit-shaped receiving portion 220 into which the sensor portion 100 can be inserted or withdrawn.

유입 구멍들(210)은 하우징(200)의 수용부(220)의 상면에 서로 일정 간격으로 이격되어 배치된다. 이 유입 구멍들(210)은 누설된 화학 약품을 하우징(200)의 수용부(220) 내부에 수용된 센서부(100)의 센서층(120)으로 안내하는 역할을 한다.The inlet holes 210 are spaced apart from each other on the upper surface of the receiving portion 220 of the housing 200. The inlet holes 210 serve to guide the leaked chemicals to the sensor layer 120 of the sensor unit 100 accommodated in the housing 220 of the housing 200.

용해 부재(300)는 유입 구멍(210)을 막도록 하우징(200)의 내측 또는 외측에 형성된다. 이 용해 부재(300)는 특정 화학 약품에 용해되는 용해 물질로 이루어진다.The dissolving member 300 is formed on the inside or outside of the housing 200 so as to close the inlet hole 210. The dissolving member 300 is made of a dissolving material dissolved in a specific chemical.

구체적으로, 용해 물질은 산성 약품, 염기성 약품, 유기 약품 또는 오일에 용해되는 물질일 수 있다. 예를 들면, 용해 부재(300)는 산성 약품과 접촉하여 용해되는 폴리우레탄, 유성 도료, 유리 섬유, 폴리에틸렌 등의 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 용해 부재(300)는 염기성 약품과 접촉하여 용해되는 알루미늄, 아연, 탄산칼륨 등의 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 용해 부재(300)는 유기 약품과 접촉하여 용해되는 PVC, 유성 도료 등의 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 용해 부재(300)는 오일과 접촉하여 용해되는 파라핀 등의 지용성 물질로 이루어질 수 있다. Specifically, the dissolution substance may be an acidic drug, a basic drug, an organic drug, or a substance dissolved in an oil. For example, the dissolving member 300 may be made of a material such as polyurethane, oil paint, glass fiber, polyethylene or the like which dissolves in contact with an acidic chemical. In addition, the dissolution member 300 may be made of a material such as aluminum, zinc, or potassium carbonate, which is dissolved in contact with a basic chemical. In addition, the dissolving member 300 may be made of a material such as PVC or a solvent-based paint which is dissolved in contact with the organic chemicals. Further, the dissolving member 300 may be made of a lipophilic material such as paraffin dissolved in contact with the oil.

따라서, 본 발명에 따른 다중 누설 감지 센서에 누설된 화학 약품이 접촉하는 경우, 화학 약품과의 반응에 의해 용해 부재(300)가 용해되고, 이에 따라 유입 구멍(210)을 통해 화학 약품이 하우징(200) 내부의 센서부(100)와 접촉할 수 있다. 그러나, 본 발명에 따른 다중 누설 감지 센서에 화학 약품이 아닌 빗물 등의 수분이 접촉하는 경우에는 용해 부재(300)가 용해되지 않기 때문에, 수분이 하우징(200) 내부의 센서부(100)와 접촉할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 다중 누설 감지 센서는 빗물, 눈, 물 등의 수분을 제외한 특정 화학 약품의 누설을 감지할 수 있다.Accordingly, when the leaked chemical is contacted to the multi-leakage sensor according to the present invention, the dissolution member 300 is dissolved due to the reaction with the chemical, so that the chemical is supplied through the inlet hole 210 to the housing 200 of the present invention. However, when moisture, such as rainwater, is brought into contact with the multi-leakage sensor according to the present invention, the dissolving member 300 is not dissolved, so that moisture is contacted with the sensor unit 100 inside the housing 200 can do. Accordingly, the multi-leakage sensor according to the present invention can detect leakage of specific chemicals except moisture such as rainwater, snow, water, and the like.

또한, 하우징(200)의 수용부(220)의 상면에는 다양한 종류의 용해 부재들(300), 즉 서로 다른 화학 약품에 의해 용해되는 용해 부재들(300)이 배열된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 다중 누설 감지 센서는 산성 약품, 염기성 약품 또는 유기 약품 등의 다양한 종류의 화학 약품의 누설을 감지할 수 있다. In addition, various kinds of dissolving members 300, that is, dissolving members 300 that are dissolved by different chemicals, are arranged on the upper surface of the receiving portion 220 of the housing 200. Accordingly, the multi-leakage sensor according to the present invention can detect leakage of various kinds of chemicals such as acidic chemicals, basic chemicals, and organic chemicals.

바람직하게는, 전술한 용해 물질은 하우징(200)에 도포 또는 함침된 후 건조 또는 경화되어 필름, 시트 또는 메시 형태로 용해 부재(300)를 형성할 수 있다. 그리고, 용해 부재(300)는 하우징(200)의 수용부(220) 안에서 유입 구멍(210)을 막도록 유입 구멍(210)보다 더 큰 면적으로 하우징(200)의 내부에 용해 물질을 함침 또는 도포하여 형성된다.Preferably, the above-described dissolution material may be applied or impregnated to the housing 200 and dried or cured to form the dissolution member 300 in the form of a film, sheet, or mesh. The dissolving member 300 may be formed by impregnating or applying a dissolution material to the inside of the housing 200 with a larger area than the inflow hole 210 so as to close the inflow hole 210 in the housing part 220 of the housing 200. [ .

또한, 하우징(200)은 서로 포개어져 결합되는 상부 시트(201)와 하부 시트(202)로 이루어진다. 여기서, 상부 시트(201)와 하부 시트(202)는 테두리 부분이 용착 또는 접착되어 내부에 전술한 슬릿 형태의 수용부(220)가 형성된다. 이때, 상부 시트(201)와 하부 시트(202)는 하우징(200)의 적어도 일측단이 개방되도록, 즉 하우징(200)의 4개의 측면 엣지들 중 하나의 측면 엣지가 개방되도록 용착 또는 접착된다. 따라서, 센서부(100)를 하우징(200)에 용이하게 삽입하거나 센서부(100)를 하우징(200)으로부터 용이하게 인출할 수 있다.In addition, the housing 200 includes an upper sheet 201 and a lower sheet 202 which are superposed and joined to each other. Here, the upper sheet 201 and the lower sheet 202 are welded or bonded to each other to form a slit-shaped receiving portion 220 therein. At this time, the upper sheet 201 and the lower sheet 202 are welded or bonded such that at least one side edge of the housing 200 is opened, that is, one side edge of the four side edges of the housing 200 is opened. Therefore, the sensor unit 100 can be easily inserted into the housing 200 or the sensor unit 100 can be easily drawn out from the housing 200. [

이와 같이 본 발명에 따른 다중 누설 감지 센서는 센서부(100)의 교환성이 우수하여, 누설된 화학 약품에 의해 용해 부재(300)가 용해된 하우징(200)을 용이하게 교체할 수 있다.As described above, the multi-leakage sensor according to the present invention is excellent in the replaceability of the sensor unit 100, so that the housing 200 in which the dissolving member 300 is dissolved by the leaked chemical can be easily replaced.

한편, 전술한 센서부(100)는 도 2에 도시된 것처럼 베이스 시트(110) 상에 센서층(120)을 도포 또는 인쇄한 후 건조하여, 센서층(120)이 베이스 시트(110) 상에서 돌출된 형태로 제조될 수 있다. 그러나, 도 3에 도시된 것처럼, 센서부(100')는 베이스 시트(110')와 센서 층(120')이 일체로 소성 가공되어 베이스 시트(110')와 센서층(120')이 동일한 높이로 제조될 수도 있다. 2, the sensor unit 100 may be formed by applying or printing the sensor layer 120 on the base sheet 110 and then drying the sensor layer 120 so that the sensor layer 120 protrudes from the base sheet 110 Or the like. However, as shown in FIG. 3, the sensor unit 100 'is formed by integrally molding the base sheet 110' and the sensor layer 120 'so that the base sheet 110' and the sensor layer 120 ' May also be manufactured.

도 5 내지 7을 참조하면, 본 발명에 따른 다중 누설 감지 센서는 유입 구멍들(210) 및 용해 부재들(300)이 다양한 방식으로 배열될 수 있다.Referring to FIGS. 5 to 7, the multi-leakage sensor according to the present invention may be configured such that the inlet holes 210 and the dissolving members 300 are arranged in various ways.

구체적으로, 본 발명에 따른 다중 누설 감지 센서는 하우징(200)의 수용부(220)의 상면에는 복수의 유입 구멍들(210)이 일렬로 또는 지그재그 형태로 배열될 수 있다. 그리고, 이 복수의 유입 구멍들(210)에는 서로 다른 용해 물질로 이루어진 용해 부재들(300)이 배열된다.Specifically, in the multi-leakage sensor according to the present invention, a plurality of inflow holes 210 may be arranged in a row or in a zigzag form on the upper surface of the receiving portion 220 of the housing 200. In addition, dissolution members (300) made of different dissolution materials are arranged in the plurality of inflow holes (210).

도 5를 참조하면, 하우징(200)의 길이방향을 따라 복수의 유입 구멍들(210)이 일렬로 배열되고, 이 유입 구멍들(210)에는 서로 다른 용해 물질로 이루어진 용해 부재(300)가 교번적으로 배열될 수 있다. 예를 들면, 용해 부재들은 산성 약품에 용해되는 물질로 이루어진 용해 부재(301), 염기성 약품에 용해되는 물질로 이루어진 용해 부재(302)가 교번적으로 배열될 수 있다.Referring to FIG. 5, a plurality of inflow holes 210 are arranged in a row along the longitudinal direction of the housing 200, and the dissolution members 300, which are made of different dissolving materials, As shown in FIG. For example, the dissolving members may be alternately arranged in the form of a dissolving member 301 made of a substance dissolved in an acidic drug, and a dissolving member 302 made of a substance dissolved in a basic drug.

도 6을 참조하면, 하우징(200)의 길이방향을 따라 2열로 복수의 유입 구멍들(210)이 배열되고, 한 열의 유입 구멍들(210)에는 산성 약품에 용해되는 물질로 이루어진 용해 부재(301)가 배열되고, 다른 한 열의 유입 구멍들(210)에는 염기성 약품에 용해되는 물질로 이루어진 용해 부재(302)가 배열될 수 있다.6, a plurality of inflow holes 210 are arranged in two rows along the longitudinal direction of the housing 200, and a row of the inflow holes 210 is provided with a dissolution member 301 And the other row of the inlet holes 210 may be arranged with a dissolving member 302 made of a substance dissolved in basic chemicals.

도 7을 참조하면, 하우징(200)의 길이방향을 따라 지그재그 형태로 복수의 유입 구멍들(210)이 배열되고, 유입 구멍들(210)에는 산성 약품에 용해되는 물질로 이루어진 용해 부재(301), 염기성 약품에 용해되는 물질로 이루어진 용해 부재(302) 및 유기 약품에 용해되는 물질로 이루어진 용해 부재(303)가 교번적으로 배열될 수 있다. 물론, 용해 부재를 이루고 있는 물질의 종류 및 배열은 도면에 도시되어 있지 않은 다른 다양한 조합으로도 가능하다.Referring to FIG. 7, a plurality of inflow holes 210 are arranged in a zigzag shape along the longitudinal direction of the housing 200, and the inflow holes 210 are provided with a dissolution member 301 made of a material soluble in acidic chemicals, A dissolution member 302 made of a substance dissolved in a basic drug, and a dissolution member 303 made of a substance dissolved in an organic drug may be alternately arranged. Of course, the kinds and arrangement of the substances constituting the dissolving member are also possible in various other combinations not shown in the drawings.

이러한 유입 구멍들 및 용해 부재들의 배열에 의해, 하나의 센서로 다양한 종류의 화학 약품의 누설을 감지할 수 있다.With the arrangement of the inflow holes and the dissolving members, one sensor can detect leakage of various kinds of chemicals.

이상에서 설명된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 보여준 것에 불과하며, 본 발명의 보호 범위는 이하 특허청구범위에 의하여 해석되어야 마땅할 것이다. 또한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것인 바, 본 발명과 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The embodiments of the present invention described above are merely illustrative of the technical idea of the present invention, and the scope of protection of the present invention should be interpreted according to the claims. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It should be interpreted that it is included in the scope of right.

Claims (4)

불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어진 베이스 시트 및 불소 수지와 도전성 혼합물이 혼합되어 이루어진 도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 상기 베이스 시트에 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서층을 포함하는 센서부;
불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어지고, 상기 센서부를 수용하는 수용부를 구비한 하우징;
상기 하우징의 수용부의 상면에 형성되고, 누설된 화학 약품을 상기 센서부의 센서층으로 안내하는 복수의 유입 구멍들; 및
상기 유입 구멍들을 막도록 상기 하우징의 내측 또는 외측에 형성되고, 화학 약품에 의해 용해되는 용해 부재들을 포함하고,
상기 용해 부재들은 각각, 다른 종류의 화학 약품에 용해되는 서로 다른 종류의 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다중 누설 감지 센서.
A sensor unit including a base sheet made of a fluororesin-based non-conductive material, and a sensor layer formed by applying or printing a conductive material made by mixing a fluororesin and a conductive mixture on the base sheet according to a predetermined pattern;
A housing made of a fluororesin-based non-conductive material and having a housing portion for housing the sensor portion;
A plurality of inflow holes formed on an upper surface of the housing portion of the housing, the plurality of inflow holes guiding the leaked chemicals to the sensor layer of the sensor portion; And
And dissolution members formed on the inside or outside of the housing to cover the inlet holes, the dissolution members being dissolved by the chemical,
Wherein each of the dissolving members is made of different kinds of materials dissolved in different kinds of chemicals.
제1항에 있어서,
상기 하우징의 수용부는 상기 센서부를 삽입 또는 인출 가능하게 하는 슬릿 형태인 것을 특징으로 하는 다중 누설 감지 센서.
The method according to claim 1,
Wherein the receiving portion of the housing is in the form of a slit that allows the sensor portion to be inserted or withdrawn.
제1항에 있어서,
상기 하우징은 서로 포개어진 상부 시트와 하부 시트를 포함하고, 상기 상부 시트와 하부 시트는 상기 하우징의 적어도 일측단이 개방되도록 테두리 부분이 용착 또는 접착되어 상기 수용부를 형성하는 것을 특징으로 하는 다중 누설 감지 센서.
The method according to claim 1,
Wherein the housing comprises an upper sheet and a lower sheet which are superimposed on each other and the upper sheet and the lower sheet form the receiving portion by welding or bonding the rim portions so that at least one end of the housing is opened. sensor.
제1항에 있어서,
상기 용해 부재는 산성 약품, 염기성 약품, 유기 약품 또는 오일에 용해되는 용해 물질로 이루어지고, 상기 용해 물질은 상기 하우징에 도포 또는 함침된 후 건조 또는 경화되어 필름, 시트 또는 메시 형태로 상기 용해 부재를 형성하며, 상기 용해 부재들은 서로 다른 종류의 약품에 의해 용해되도록 형성된 것을 특징으로 하는 다중 누설 감지 센서.The method according to claim 1,
Wherein the dissolving member is made of an acidic chemical, a basic chemical, an organic chemical, or a dissolving material dissolved in oil, and the dissolving material is applied or impregnated to the housing and then dried or cured to form the dissolving member in a film, And the dissolution members are formed to be dissolved by different kinds of chemicals.
KR1020160179930A 2016-12-27 2016-12-27 Multiple leak detection sensor KR101799834B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160179930A KR101799834B1 (en) 2016-12-27 2016-12-27 Multiple leak detection sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160179930A KR101799834B1 (en) 2016-12-27 2016-12-27 Multiple leak detection sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101799834B1 true KR101799834B1 (en) 2017-11-21

Family

ID=60808785

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160179930A KR101799834B1 (en) 2016-12-27 2016-12-27 Multiple leak detection sensor

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101799834B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190112529A (en) * 2018-03-26 2019-10-07 플로우닉스 주식회사 Leak detector with liquid inflow means
KR102064608B1 (en) 2018-05-30 2020-01-10 플로우닉스 주식회사 Optical type leak detecting sensor

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100909242B1 (en) 2008-04-24 2009-07-27 (주)유민에쓰티 Leak sensor apparatus for sensing moisture
KR101521155B1 (en) 2013-12-24 2015-05-18 (주)유민에쓰티 Leak detecting sensor

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100909242B1 (en) 2008-04-24 2009-07-27 (주)유민에쓰티 Leak sensor apparatus for sensing moisture
KR101521155B1 (en) 2013-12-24 2015-05-18 (주)유민에쓰티 Leak detecting sensor

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190112529A (en) * 2018-03-26 2019-10-07 플로우닉스 주식회사 Leak detector with liquid inflow means
KR102109143B1 (en) * 2018-03-26 2020-05-11 플로우닉스 주식회사 Leak detector with liquid inflow means
KR102064608B1 (en) 2018-05-30 2020-01-10 플로우닉스 주식회사 Optical type leak detecting sensor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101538507B1 (en) Leak sensor for side detection
KR101460020B1 (en) Acidic solution leakage sensor
KR102109143B1 (en) Leak detector with liquid inflow means
KR101799834B1 (en) Multiple leak detection sensor
KR101521155B1 (en) Leak detecting sensor
KR20150140007A (en) Liquid leak detect sensor and liquid leak detect system comprising the same
KR101505439B1 (en) Leakage sensor and Manufacturing method thereof
KR20190042453A (en) Leak detector for pipe flange
KR101799836B1 (en) Rain distinguishable type leak detector
KR20180075943A (en) Signal distinguishing type multiple leak detection sensor
KR101830026B1 (en) Flexible stick type leak detection sensor
KR101776006B1 (en) Pipe attaching type leakage sensor
KR101693761B1 (en) Leak sensor for top and lateral face detection
KR101952340B1 (en) Area division type leak sensor
KR101842541B1 (en) Leak sensor for detecting of non-conducting liquid
KR20140099634A (en) Acidic solution leakage sensor
KR20180067070A (en) Exchangeable leak detection sensor
KR102021427B1 (en) Rain distinguishable type leak detector
KR20190054261A (en) Flexible leak detector
KR101822862B1 (en) Alkali detection sensor fabricated by conductive polymer and conductive carbon
KR102141930B1 (en) Cover for leakage detection sensor
KR101937437B1 (en) Multiple leak detection sensor
KR101538504B1 (en) Leak sensor for distance detection
KR20200041009A (en) Leakage sensor for nozzle
KR102064606B1 (en) Leak detector for less conductive liquid

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant