KR101937437B1 - Multiple leak detection sensor - Google Patents

Multiple leak detection sensor Download PDF

Info

Publication number
KR101937437B1
KR101937437B1 KR1020170089177A KR20170089177A KR101937437B1 KR 101937437 B1 KR101937437 B1 KR 101937437B1 KR 1020170089177 A KR1020170089177 A KR 1020170089177A KR 20170089177 A KR20170089177 A KR 20170089177A KR 101937437 B1 KR101937437 B1 KR 101937437B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sensor
base sheet
sensor unit
line
unit
Prior art date
Application number
KR1020170089177A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이재희
Original Assignee
이재희
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이재희 filed Critical 이재희
Priority to KR1020170089177A priority Critical patent/KR101937437B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101937437B1 publication Critical patent/KR101937437B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/042—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point by using materials which expand, contract, disintegrate, or decompose in contact with a fluid
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/16—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means

Landscapes

  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

The present invention relates to a multiple leak sensor including a base sheet made of a non-conductive material; a sensor unit formed by applying or printing a conductive material to the base sheet in accordance with a predetermined pattern; and a detection unit installed at one end of the base sheet and connected to the sensor unit to detect leakage by means of a change in electrical conductivity of the sensor unit. The sensor unit forms a closed circuit by including a first sensor line extending to the other end of the base sheet from the detection unit in the longitudinal direction of the base sheet and a second sensor line connected to the first sensor line at the other end of the base sheet and returning to the detection unit. The sensor unit is made of a drug-soluble conductive material. The sensor unit includes at least two sensor units respectively soluble in different drugs.

Description

다중 누설 감지 센서{Multiple leak detection sensor}[0001] Multiple leak detection sensor [0002]

본 발명은 약품 저장 탱크의 약품 누설을 감지하는 누설 감지 센서 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 여러 종류의 약품의 누설을 구분하여 감지할 수 있는 다중 누설 감지 센서에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a leak detection sensor for detecting leakage of a chemical in a chemical storage tank, and more particularly, to a multiple leakage detection sensor capable of detecting leakage of various kinds of chemicals.

일반적으로 반도체 제조 공정에는 많은 화학 물질들이 이용된다. 예를 들면, 웨이퍼의 절단 및 연마 후 세정 공정에 사용되는 세정액, 웨이퍼의 감광 공정에 사용되는 감광액, 웨이퍼의 현상 공정에 사용되는 현상액, 웨이퍼 식각 공정에 사용되는 식각액 등이 반도체 제조 공정에 이용된다.In general, many chemicals are used in the semiconductor manufacturing process. For example, a cleaning liquid used in a cleaning process after cutting and polishing the wafer, a photosensitive liquid used in the photosensitive process of the wafer, a developing solution used in the developing process of the wafer, an etching solution used in the wafer etching process, .

이러한 화학 물질들은 이송관을 통해 각 공정이 수행되는 위치로 이송되는데, 이송관의 불량 및 열화에 의해 화학 물질이 이송관 외부로 누설되는 일이 발생할 수 있다. 누설된 화학 물질은 사람은 물론 반도체 제조 현장의 다른 장치나 부품들에 악영향을 끼치므로, 이송관의 누액을 감지하여 빠르게 조치를 취할 필요가 있다.These chemicals are transported to the position where each process is carried out through the transfer pipe. The chemical substance may leak out of the transfer pipe due to the failure and deterioration of the transfer pipe. Leaked chemicals have an adverse effect on people and other devices and parts of the semiconductor manufacturing site, so it is necessary to detect the leakage of the transfer pipe and take quick action.

이송관의 누액 감지는 일반적으로 플러스(+) 도체와 마이너스(-) 도체를 나란히 또는 교차 배치하고, 이 도체들과 누설 액체의 접촉에 따른 저항 변화를 측정하여 누설 여부를 판단하는 정전용량 검출형 센서를 주로 이용한다.Liquid leakage detection of a transfer pipe is generally a capacitance detection type in which a positive (+) conductor and a negative (-) conductor are arranged side by side or crosswise and a resistance change due to contact between the conductors and a leakage liquid is measured to determine leakage Sensor is mainly used.

이러한 정전용량 검출형 센서 대한민국 공개특허공보 제10-2007-0005234호 및 공개실용신안공보 평01-171340호에 개시되어 있다.Such a capacitance detection type sensor is disclosed in Korean Patent Application Laid-Open No. 10-2007-0005234 and Published Utility Model Publication No. 01-171340.

한편, 최근에는 눈이나 빗물 등의 수분에는 반응하지 않고 특정 약품에만 반응하거나 특정 약품에 용해되어 약품의 누설만을 감지할 수 있는 약액 반응형 또는 약액 침투형 누설 감지 센서가 개발되어 사용되고 있다.On the other hand, recently, a chemical reaction type or drug solution infiltration type leak sensor has been developed and used which can react only with a specific drug or dissolve in a specific drug without reacting to moisture such as snow or rainwater, thereby detecting leakage of the drug.

그러나, 이러한 약액 반응형 또는 약액 침투형 누설 감지 센서는 특정 약품에만 반응하도록 구성되어 있기 때문에, 여러 종류의 약품이 저장된 탱크의 경우, 약품 종류에 대응하는 여러 개의 누설 감지 센서를 구비해야 한다.However, since the chemical-liquid reaction type or chemical-liquid immersion type leak detection sensor is configured to react only with specific medicines, in the case of a tank in which various kinds of medicines are stored, it is necessary to provide a plurality of leakage detection sensors corresponding to the types of medicines.

본 발명은 여러 종류의 화학 약품의 누설을 구분하여 감지할 수 있는 다중 누설 감지 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a multiple leakage sensor capable of detecting leakage of various types of chemical agents separately.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 비도전성 소재로 이루어진 베이스 시트; 도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 상기 베이스 시트에 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서부; 및 상기 베이스 시트의 일측 단부에 설치되고, 상기 센서부와 연결되어 상기 센서부의 전기 전도도 변화에 의해 누설을 감지하는 검출부를 포함하고, 상기 센서부는 상기 검출부로부터 상기 베이스 시트의 길이방향을 따라 상기 베이스 시트의 타측 단부까지 연장되는 제1 센서 라인 및 상기 베이스 시트의 타측 단부에서 상기 제1 센서 라인과 연결되고 상기 검출부로 되돌아오는 제2 센서 라인을 포함하여 폐회로를 형성하고, 상기 센서부는 약품에 용해되는 도전성 물질로 이루어지고, 상기 센서부는 서로 다른 종류의 약품에 각각 용해되는 적어도 2개 이상의 센서부들로 이루어진 것을 특징으로 한다.To achieve the above object, the present invention provides a base sheet comprising a base sheet made of a non-conductive material; A sensor unit formed by applying or printing a conductive material to the base sheet according to a predetermined pattern; And a detection unit installed at one end of the base sheet and connected to the sensor unit to detect leakage due to a change in electrical conductivity of the sensor unit, A first sensor line extending to the other end of the sheet, and a second sensor line connected to the first sensor line at the other end of the base sheet and returning to the detection unit, wherein the sensor unit forms a closed circuit And the sensor unit is composed of at least two or more sensor units that are respectively dissolved in different kinds of drugs.

바람직하게는, 상기 센서부는 서로 나란하게 배치된 제1 센서부와 제2 센서부로 이루어지고, 서로 인접하게 대면하는 제1 센서부의 제2 센서 라인 및 제2 센서부의 제1 센서 라인은 방수 코팅되고, 서로 떨어져 있는 제1 센서부의 제1 센서 라인 및 제2 센서부의 제2 센서 라인은 외부로 노출되어 있는 것을 특징으로 한다.Preferably, the sensor unit includes a first sensor unit and a second sensor unit arranged in parallel to each other, and the second sensor line of the first sensor unit and the first sensor line of the second sensor unit facing each other are waterproof coated , The first sensor line of the first sensor part and the second sensor line of the second sensor part which are apart from each other are exposed to the outside.

여기서, 상기 제1 센서부 및 상기 제2 센서부 중 적어도 하나의 제1 센서 라인과 제1 센서 라인은 상기 베이스 시트의 타측 단부에서 종단 저항에 의해 서로 연결되는 것을 특징으로 한다.Here, the first sensor line and the first sensor line of at least one of the first sensor unit and the second sensor unit are connected to each other at the other end of the base sheet by termination resistors.

또한, 본 발명은 비도전성 소재로 이루어진 베이스 시트; 도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 상기 베이스 시트에 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서부; 및 상기 베이스 시트의 일측 단부에 설치되고, 상기 센서부와 연결되어 상기 센서부의 전기 전도도 변화에 누설을 감지하는 검출부를 포함하고, 상기 센서부는 상기 검출부로부터 상기 베이스 시트의 길이방향을 따라 상기 베이스 시트의 타측 단부까지 연장되는 공통 라인 및 상기 베이스 시트의 타측 단부에서 상기 공통 라인과 연결되고 상기 검출부로 되돌아오는 적어도 2개 이상의 센서 라인을 포함하여 폐회로를 형성하고, 상기 센서 라인들은 각각 서로 다른 종류의 약품에 용해되는 도전성 물질로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The present invention also relates to a base sheet made of a non-conductive material; A sensor unit formed by applying or printing a conductive material to the base sheet according to a predetermined pattern; And a detection unit connected to the sensor unit and configured to detect a leakage in a change in electrical conductivity of the sensor unit, the sensor unit being disposed at one end of the base sheet, And at least two sensor lines connected to the common line at the other end of the base sheet and returning to the detection unit, wherein the sensor lines form a closed circuit, And is made of a conductive material dissolved in a medicine.

바람직하게는, 상기 공통 라인은 방수 코팅되는 것을 특징으로 한다.Preferably, the common line is waterproof coated.

여기서, 상기 센서 라인들 중 하나와 상기 공통 라인은 상기 베이스 시트의 타측 단부에서 종단 저항에 의해 서로 연결되는 것을 특징으로 한다.Here, one of the sensor lines and the common line are connected to each other at the other end of the base sheet by termination resistors.

본 발명에 따르면, 옥외에 설치된 약품 저장 탱크로부터 누설되는 약품과 눈이나 빗물, 결빙 등의 수분을 구별하여 약품의 누설만을 정확하게 감지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to accurately detect leakage of medicine by distinguishing chemicals leaked from a medicine storage tank installed outdoors and moisture such as snow, rainwater, and ice.

또한, 본 발명에 따르면, 1개의 센서를 이용하여 여러 종류의 약품의 누설을 구분하여 감지할 수 있다. 더욱이, 본 발명은 1개의 센서를 이용하여 도전성 화학 약품과 비도전성 화학 약품의 누설을 감지할 수 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to distinguish and detect leakage of various kinds of medicines by using one sensor. Furthermore, the present invention can detect leakage of conductive chemicals and non-conductive chemicals using one sensor.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 다중 누설 감지 센서의 구성을 개략적으로 도시한 도면,
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 다중 누설 감지 센서의 구성을 개략적으로 도시한 도면,
도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따른 다중 누설 감지 센서의 구성을 개략적으로 도시한 도면,
도 4는 본 발명의 제4 실시예에 따른 다중 누설 감지 센서의 구성을 개략적으로 도시한 도면,
도 5는 본 발명의 제5 실시예에 따른 다중 누설 감지 센서의 구성을 개략적으로 도시한 도면.1 is a schematic view illustrating a configuration of a multiple leakage sensor according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view schematically showing a configuration of a multiple leakage sensor according to a second embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 3 is a view schematically showing a configuration of a multiple leakage sensor according to a third embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 4 is a view schematically showing a configuration of a multiple leakage sensor according to a fourth embodiment of the present invention. FIG.
5 is a view schematically showing a configuration of a multi-leakage detection sensor according to a fifth embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 다중 누설 감지 센서에 대한 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성 요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a multi-leakage detection sensor according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, it is to be understood that the terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the technical scope of the present invention. Will be.

도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 다중 누설 감지 센서는 도전성을 갖지 않는 비도전성 소재로 이루어진 베이스 시트(100), 베이스 시트(100)에 도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서부(200), 및 베이스 시트(100)의 일측 단부에서 센서부(200)와 연결된 검출부(300)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the multi-leakage sensor according to the first embodiment of the present invention includes a base sheet 100 made of a non-conductive material having no conductivity, a base sheet 100 coated with a conductive material according to a predetermined pattern, And a detection unit 300 connected to the sensor unit 200 at one end of the base sheet 100. The sensor unit 200 includes a sensor unit 200,

베이스 시트(100)는 예를 들면 내약품성 및 내열성을 갖는 불소 수지 계열의 비도전성 소재로 이루어져서, 화학 약품과의 접촉 후에도 거의 손상되지 않는다.The base sheet 100 is made of, for example, a fluororesin-based non-conductive material having chemical resistance and heat resistance, and is hardly damaged even after contact with a chemical.

센서부(200)는 도전성 물질을 기 설정된 패턴(라인)에 따라 베이스 시트(100)에 인쇄 또는 도포하여 형성된다. 또한, 센서부(200)는 도전성 물질과 불소 수지의 혼합물로 이루어진 도전성 물질로 형성될 수 있다. 여기서, 베이스 시트(100) 및 센서부(200)에 포함된 불소 수지는, 예를 들면 내약품성 및 내열성이 우수한 ETFE(Ethylene TetraFluoroEthylene), FEP(Flourinated Ethylene Prophylene), PTFE(PolyTetraFluoroeEhylene), PFA(Perfluorinated acids) 등일 수 있다.The sensor unit 200 is formed by printing or applying a conductive material to the base sheet 100 according to a predetermined pattern (line). In addition, the sensor unit 200 may be formed of a conductive material made of a mixture of a conductive material and a fluororesin. The fluororesin included in the base sheet 100 and the sensor unit 200 may be selected from the group consisting of ETFE (Ethylene TetraFluoroEthylene), FEP (Flourinated Ethylene Prophylene), PTFE (PolyTetraFluoroEyeylene), PFA acids, and the like.

검출부(300)는 센서부(200)와 연결되고, 센서부(200)에 화학 약품이 접촉할 때 변화하는 전기 전도도를 검출하여 약품의 누설을 감지한다. 이러한 검출부(300)는 빗물 등의 수분 및 화학 약품에 의해 손상을 입지 않도록 불소 수지로 이루어진 방수 하우징(미도시)에 내장될 수 있다.The detecting unit 300 is connected to the sensor unit 200 and detects the electrical conductivity of the sensor unit 200 when the chemical unit contacts the sensor unit 200 to detect the leakage of the chemical. The detection unit 300 may be embedded in a waterproof housing (not shown) made of a fluororesin to prevent damage by moisture and chemicals such as rainwater.

여기서, 센서부(200)는 서로 나란하게 배치된 한 쌍의 센서 라인들(210, 220)로 이루어진다. 구체적으로, 센서부(200)는 검출부(300)로부터 베이스 시트(100)의 길이방향을 따라 베이스 시트(100)의 타측 단부까지 연장된 제1 센서 라인(210) 및 베이스 시트(100)의 타측 단부에서 제1 센서 라인(210a 또는 210b)과 연결되고 베이스 시트(100)의 길이방향을 따라 다시 검출부(300)로 되돌아오는 제2 센서 라인(220a 또는 220b)을 포함한다. 즉, 센서부(200)의 제1 센서 라인과 제2 센서 라인은 폐회로를 형성한다. 또한, 센서부(200)는 특정 약품에 용해되는 도전성 물질로 이루어진다.Here, the sensor unit 200 includes a pair of sensor lines 210 and 220 arranged in parallel with each other. More specifically, the sensor unit 200 includes a first sensor line 210 extending from the detecting unit 300 along the longitudinal direction of the base sheet 100 to the other end of the base sheet 100, And a second sensor line 220a or 220b connected to the first sensor line 210a or 210b at the end and returning back to the detection unit 300 along the longitudinal direction of the base sheet 100. [ That is, the first sensor line and the second sensor line of the sensor unit 200 form a closed circuit. In addition, the sensor unit 200 is made of a conductive material dissolved in a specific medicine.

그리고, 센서부(200)는 여러 종류의 화학 약품을 구분하여 감지하기 위해 적어도 2개 이상의 센서부들로 이루어진다. 도 1에는 서로 나란하게 배치된 제1 센서부(200a)와 제2 센서부(200b)가 도시되어 있다. 이 2개의 센서부들(200a, 200b)은 각각 서로 다른 종류의 화학 약품에 용해되는 도전성 물질로 이루어진다. In addition, the sensor unit 200 includes at least two sensor units for discriminating and detecting various kinds of chemicals. FIG. 1 shows a first sensor unit 200a and a second sensor unit 200b arranged in parallel with each other. The two sensor units 200a and 200b are made of a conductive material dissolved in different kinds of chemicals.

따라서, 본 발명의 제1 실시예에 따른 다중 누설 감지 센서는 하나의 센서를 이용하여 여러 종류의 화학 약품의 누설을 구분하여 감지할 수 있다. 특히, 본 발명의 제1 실시예에 따른 다중 누설 감지 센서는 도전성을 갖지 않는 비도전성 화학 약품의 누설 감지에 용이하다. 예를 들면, 비도전성 화학 약품이 제1 센서부(200a) 또는 제2 센서부(200b)에 접촉하면, 센서 라인들이 용해 또는 손상되고, 이에 따라 제1 센서부(200a) 또는 제2 센서부(200b)는 통전되지 않고, 검출부(300)는 화학 약품의 누설을 감지할 수 있다.Therefore, the multi-leakage detection sensor according to the first embodiment of the present invention can detect leakage of various kinds of chemicals by using one sensor. In particular, the multi-leakage detection sensor according to the first embodiment of the present invention is easy to detect leakage of non-conductive chemical substances having no conductivity. For example, when the non-conductive chemical comes into contact with the first sensor unit 200a or the second sensor unit 200b, the sensor lines are dissolved or damaged, and accordingly, the first sensor unit 200a or the second sensor unit 200b, The power source 200b is not energized, and the detection unit 300 can detect the leakage of the chemical.

바람직하게는, 서로 인접하게 대면하는 제1 센서부(200a)의 제2 센서 라인(220a) 및 제2 센서부(200b)의 제1 센서 라인(210b)은 방수 코팅 처리된다. 그리고, 서로 떨어져 있는 제1 센서부(200a)의 제1 센서 라인(210a) 및 제2 센서부(200b)의 제2 센서 라인(220b)은 외부로 노출되어 있다. 여기서, 방수 코팅 처리된 제1 센서부(200a)의 제2 센서 라인(220a) 및 제2 센서부(200b)의 제1 센서 라인(210b)은 편의를 위해 점선으로 표시하였지만, 실제로는 연속적인 라인으로 되어 있다. 그리고, 이하의 도 2 내지 4에서도, 점선으로 표시된 영역은 방수 코팅 처리된 영역을 나타낸 것이다.Preferably, the second sensor line 220a of the first sensor portion 200a and the first sensor line 210b of the second sensor portion 200b, which are adjacent to each other, are waterproof coated. The first sensor line 210a of the first sensor unit 200a and the second sensor line 220b of the second sensor unit 200b are exposed to the outside. Here, the second sensor line 220a of the first sensor portion 200a and the first sensor line 210b of the second sensor portion 200b are shown by dotted lines for the sake of convenience, Line. Also, in the following Figs. 2 to 4, the area indicated by the dotted line indicates the area covered with the waterproof coating.

이러한 구성에 의해, 제1 센서부(200a)의 제1 센서 라인(210a)과 제2 센서 라인(220a)은 빗물 등의 수분에 의해 쇼트가 발생하지 않는다. 마찬가지로, 제2 센서부(200b)의 제1 센서 라인(210b)과 제2 센서 라인(220b)도 빗물 등의 수분에 의해 쇼트가 발생하지 않는다. 따라서, 화학 약품 저장 탱크가 옥외에 설치된 경우에도, 빗물 등의 수분에 의해 센서가 오작동하는 문제를 해결할 수 있다.With this configuration, the first sensor line 210a and the second sensor line 220a of the first sensor unit 200a are not short-circuited by moisture such as rainwater. Likewise, the first sensor line 210b and the second sensor line 220b of the second sensor unit 200b are not short-circuited by moisture such as rainwater. Therefore, even when the chemical storage tank is installed outdoors, it is possible to solve the problem that the sensor malfunctions due to moisture such as rainwater.

도 2를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 다중 누설 감지 센서는 도전성을 갖는 화학 약품의 누설을 감지할 수 있도록 구성된다. 이를 위해, 제1 센서부(200a) 및 제2 센서부(200b) 중 적어도 하나는 종단 저항(400)을 갖는다. 도 2에는 제1 센서부(200a)의 제1 센서 라인(210a)과 제2 센서 라인(220a)이 베이스 시트(100)의 타측 단부에서 종단 저항(400)에 의해 서로 연결되어 있다. Referring to FIG. 2, the multi-leakage sensor according to the second embodiment of the present invention is configured to detect leakage of chemicals having conductivity. To this end, at least one of the first sensor portion 200a and the second sensor portion 200b has a terminating resistor 400. [ 2, the first sensor line 210a and the second sensor line 220a of the first sensor unit 200a are connected to each other by a terminating resistor 400 at the other end of the base sheet 100. [

이러한 구성에 있어서, 도전성 화학 약품이 제1 센서부(200a)에 접촉하는 경우, 도전성 화학 약품이 제1 센서부(200a)의 센서 라인을 용해시키지만, 약품 자체가 도전성을 지니므로 센서 라인의 역할을 하게 된다. 따라서, 제1 센서부(200a)에는 여전히 전류가 흐르게 된다. 이때, 검출부(300)는 제1 센서부(200a)의 저항 변화에 따른 전기 전도도 변화를 감지함으로써, 약품의 누설을 감지할 수 있다. 또한, 종단 저항(400)이 설치되지 않은 제2 센서부(200b)는 쇼트에 의해 비도전성 약품의 누설을 감지할 수 있다.In this configuration, when the conductive chemical comes into contact with the first sensor unit 200a, the conductive chemical dissolves the sensor line of the first sensor unit 200a, but since the chemical itself has conductivity, . Therefore, the first sensor unit 200a is still supplied with a current. At this time, the detection unit 300 can detect the leakage of the medicine by sensing the change in the electrical conductivity according to the resistance change of the first sensor unit 200a. In addition, the second sensor unit 200b, which is not provided with the terminating resistor 400, can detect leakage of non-conductive chemicals by a short circuit.

도 3을 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 다중 누설 감지 센서는 전술한 제1 실시예와 마찬가지로, 비도전성 소재로 이루어진 베이스 시트(100), 도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 베이스 시트(100)에 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서부(200), 및 베이스 시트(100)의 일측 단부에 설치되고 센서부(200)와 연결되어 센서부(200)의 전기 전도도 변화에 의해 약품의 누설을 감지하는 검출부(300)를 포함한다.Referring to FIG. 3, a multi-leakage sensor according to a third embodiment of the present invention includes a base sheet 100 made of a non-conductive material, a base sheet 100 made of a conductive material, A sensor unit 200 formed by coating or printing on the sensor unit 100 and a sensor unit 200 installed at one end of the base sheet 100 and connected to the sensor unit 200 to change the electrical conductivity of the sensor unit 200, And a detection unit 300 for detecting the detection signal.

그리고, 센서부(200)는 하나의 공통 라인(210)과 2개의 센서 라인들(220, 230)로 이루어진다. 공통 라인(210)은 검출부(300)로부터 베이스 시트(100)의 길이방향을 따라 베이스 시트(100)의 타측 단부까지 연장된다. 센서 라인들(220, 230)은 베이스 시트(100)의 타측 단부에서 공통 라인(210)과 연결되고 다시 검출부(300)로 되돌아오도록 배치된다. 즉, 하나의 공통 라인(210)과 2개의 센서 라인들(220, 230)은 폐회로를 형성한다. 여기서, 센서 라인들(220, 230)은 각각 서로 다른 종류의 약품에 용해되는 도전성 물질로 이루어진다.The sensor unit 200 includes one common line 210 and two sensor lines 220 and 230. The common line 210 extends from the detecting portion 300 to the other end of the base sheet 100 along the longitudinal direction of the base sheet 100. The sensor lines 220 and 230 are connected to the common line 210 at the other end of the base sheet 100 and are arranged to return to the detection unit 300 again. That is, one common line 210 and two sensor lines 220 and 230 form a closed circuit. Here, the sensor lines 220 and 230 are made of a conductive material that dissolves in different kinds of chemicals.

또한, 도 4에는 본 발명의 제4 실시예에 따른 다중 누설 감지 센서가 도시된다. 본 발명의 제4 실시예에 따른 다중 누설 감지 센서는 센서부(200)가 3개의 센서 라인들(220, 230, 240)을 포함한다. 그러나, 센서부(200)는 3개 이상의 센서 라인들을 포함할 수 있다. 이러한 센서 라인들(220, 230, 240)은 각각 서로 다른 종류의 화학 약품에 의해 용해되는 도전성 물질로 이루어지기 때문에, 본 발명은 하나의 센서를 이용하여 복수의 화학 약품이 저장된 탱크의 약품 누설을 감지하기에 용이하다.In addition, FIG. 4 shows a multiple leakage detection sensor according to a fourth embodiment of the present invention. In the multi-leakage detection sensor according to the fourth embodiment of the present invention, the sensor unit 200 includes three sensor lines 220, 230, and 240. However, the sensor unit 200 may include three or more sensor lines. Since each of the sensor lines 220, 230, and 240 is made of a conductive material that is dissolved by different kinds of chemicals, the present invention can prevent leakage of chemicals in a tank storing a plurality of chemicals by using one sensor. It is easy to detect.

바람직하게는, 센서부(200)의 공통 라인(210)은 방수 코팅 처리되어, 센서부(200)가 빗물 등의 수분에 의해 쇼트가 발생하는 것을 방지할 수 있다.Preferably, the common line 210 of the sensor unit 200 is coated with a waterproof coating, so that the sensor unit 200 can be prevented from being short-circuited by moisture such as rainwater.

도 5를 참조하면, 본 발명의 제5 실시예에 따른 다중 누설 감지 센서는 도전성 화학 약품의 누설을 감지하기 위해, 센서 라인들(220, 230, 240) 중 하나와 공통 라인(210)이 베이스 시트(100)의 타측 단부에서 종단 저항(400)에 의해 서로 연결되어 있다. 따라서, 종단 저항(400)과 연결된 센서 라인(220)은 도전성 화학 약품의 누설 감지에 용이하고, 종단 저항과 연결되지 않은 나머지 센서 라인들(230, 240)은 쇼트에 의해 비도전성 화학 약품의 누설 감지에 용이하다.5, a multi-leakage sensor according to a fifth embodiment of the present invention includes a plurality of sensor lines 220, 230, and 240 and a common line 210 for detecting leakage of the conductive chemical, And are connected to each other by a terminating resistor 400 at the other end of the sheet 100. Therefore, the sensor line 220 connected to the terminating resistor 400 is easy to detect the leakage of the conductive chemical, and the remaining sensor lines 230 and 240 not connected to the terminating resistor are short- It is easy to detect.

이상에서 설명된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 보여준 것에 불과하며, 본 발명의 보호 범위는 이하 특허청구범위에 의하여 해석되어야 마땅할 것이다. 또한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것인 바, 본 발명과 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The embodiments of the present invention described above are merely illustrative of the technical idea of the present invention, and the scope of protection of the present invention should be interpreted according to the claims. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It should be interpreted that it is included in the scope of right.

Claims (6)

비도전성 소재로 이루어진 베이스 시트;
도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 상기 베이스 시트에 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서부; 및
상기 베이스 시트의 일측 단부에 설치되고, 상기 센서부와 연결되어 상기 센서부의 전기 전도도 변화에 의해 누설을 감지하는 검출부를 포함하고,
상기 센서부는 상기 검출부로부터 상기 베이스 시트의 길이방향을 따라 상기 베이스 시트의 타측 단부까지 연장되는 제1 센서 라인 및 상기 베이스 시트의 타측 단부에서 상기 제1 센서 라인과 연결되고 상기 검출부로 되돌아오는 제2 센서 라인을 포함하여 폐회로를 형성하고, 상기 센서부는 약품에 용해되는 도전성 물질로 이루어지고, 상기 센서부는 서로 다른 종류의 약품에 각각 용해되는 적어도 2개 이상의 센서부들로 이루어진 것을 특징으로 하는 다중 누설 감지 센서.
A base sheet made of a non-conductive material;
A sensor unit formed by applying or printing a conductive material to the base sheet according to a predetermined pattern; And
And a detection unit installed at one end of the base sheet and connected to the sensor unit to detect leakage due to a change in electrical conductivity of the sensor unit,
The sensor unit includes a first sensor line extending from the detection unit along the longitudinal direction of the base sheet to the other end of the base sheet and a second sensor line connected to the first sensor line at the other end of the base sheet, Wherein the sensor section is formed of a conductive material which is dissolved in a drug, and the sensor section is composed of at least two sensor sections which are respectively dissolved in different kinds of drugs. sensor.
제1항에 있어서,
상기 센서부는 서로 나란하게 배치된 제1 센서부와 제2 센서부로 이루어지고, 서로 인접하게 대면하는 제1 센서부의 제2 센서 라인 및 제2 센서부의 제1 센서 라인은 방수 코팅되고, 서로 떨어져 있는 제1 센서부의 제1 센서 라인 및 제2 센서부의 제2 센서 라인은 외부로 노출되어 있는 것을 특징으로 하는 다중 누설 감지 센서.
The method according to claim 1,
The sensor unit includes a first sensor unit and a second sensor unit arranged in parallel to each other, and the second sensor line of the first sensor unit and the first sensor line of the second sensor unit facing each other are waterproof coated, Wherein the first sensor line of the first sensor unit and the second sensor line of the second sensor unit are exposed to the outside.
제2항에 있어서,
상기 제1 센서부 및 상기 제2 센서부 중 적어도 하나의 제1 센서 라인과 제1 센서 라인은 상기 베이스 시트의 타측 단부에서 종단 저항에 의해 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 다중 누설 감지 센서.
3. The method of claim 2,
Wherein the first sensor line and the first sensor line of at least one of the first sensor unit and the second sensor unit are connected to each other at the other end of the base sheet by termination resistors.
비도전성 소재로 이루어진 베이스 시트;
도전성 물질을 기 설정된 패턴에 따라 상기 베이스 시트에 도포 또는 인쇄하여 형성한 센서부; 및
상기 베이스 시트의 일측 단부에 설치되고, 상기 센서부와 연결되어 상기 센서부의 전기 전도도 변화에 누설을 감지하는 검출부를 포함하고,
상기 센서부는 상기 검출부로부터 상기 베이스 시트의 길이방향을 따라 상기 베이스 시트의 타측 단부까지 연장되는 공통 라인 및 상기 베이스 시트의 타측 단부에서 상기 공통 라인과 연결되고 상기 검출부로 되돌아오는 적어도 2개 이상의 센서 라인을 포함하여 폐회로를 형성하고, 상기 센서 라인들은 각각 서로 다른 종류의 약품에 용해되는 도전성 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다중 누설 감지 센서.
A base sheet made of a non-conductive material;
A sensor unit formed by applying or printing a conductive material to the base sheet according to a predetermined pattern; And
And a detection unit installed at one end of the base sheet and connected to the sensor unit to detect leakage of electric conductivity change of the sensor unit,
The sensor unit includes a common line extending from the detection unit along the longitudinal direction of the base sheet to the other end of the base sheet and at least two sensor lines connected to the common line at the other end of the base sheet, Wherein the sensor lines are formed of a conductive material that dissolves in different types of chemicals, respectively.
제4항에 있어서,
상기 공통 라인은 방수 코팅되는 것을 특징으로 하는 다중 누설 감지 센서.
5. The method of claim 4,
Wherein the common line is waterproof coated.
제4항 또는 제5항에 있어서,
상기 센서 라인들 중 하나와 상기 공통 라인은 상기 베이스 시트의 타측 단부에서 종단 저항에 의해 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 다중 누설 감지 센서.The method according to claim 4 or 5,
Wherein one of the sensor lines and the common line are connected to each other by termination resistors at the other end of the base sheet.
KR1020170089177A 2017-07-13 2017-07-13 Multiple leak detection sensor KR101937437B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170089177A KR101937437B1 (en) 2017-07-13 2017-07-13 Multiple leak detection sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170089177A KR101937437B1 (en) 2017-07-13 2017-07-13 Multiple leak detection sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101937437B1 true KR101937437B1 (en) 2019-01-10

Family

ID=65020914

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170089177A KR101937437B1 (en) 2017-07-13 2017-07-13 Multiple leak detection sensor

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101937437B1 (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101346381B1 (en) 2013-08-12 2014-01-03 지기환 Flexible leak sensor
KR101693761B1 (en) 2015-09-16 2017-01-09 플로우닉스 주식회사 Leak sensor for top and lateral face detection

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101346381B1 (en) 2013-08-12 2014-01-03 지기환 Flexible leak sensor
KR101693761B1 (en) 2015-09-16 2017-01-09 플로우닉스 주식회사 Leak sensor for top and lateral face detection

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI403710B (en) Liquid leakage sensor
KR101538507B1 (en) Leak sensor for side detection
KR102109143B1 (en) Leak detector with liquid inflow means
KR101460020B1 (en) Acidic solution leakage sensor
KR101623537B1 (en) Liquid leak detect sensor and liquid leak detect system comprising the same
KR101776006B1 (en) Pipe attaching type leakage sensor
JP5760027B2 (en) Center for organic liquid detection
KR101571398B1 (en) Liquid leak detect sensor
KR101505439B1 (en) Leakage sensor and Manufacturing method thereof
KR101937437B1 (en) Multiple leak detection sensor
KR101799836B1 (en) Rain distinguishable type leak detector
KR20190042453A (en) Leak detector for pipe flange
KR101799834B1 (en) Multiple leak detection sensor
KR101693761B1 (en) Leak sensor for top and lateral face detection
KR101895750B1 (en) Leaking sensor for target area
KR101952340B1 (en) Area division type leak sensor
KR101843075B1 (en) Acid and base leak detection sensor capable of distinguishing the leak phase of harmful chemical substance by passivation layer
KR102021427B1 (en) Rain distinguishable type leak detector
KR20190054261A (en) Flexible leak detector
KR20140099634A (en) Acidic solution leakage sensor
KR101842541B1 (en) Leak sensor for detecting of non-conducting liquid
KR101538504B1 (en) Leak sensor for distance detection
EP0191547B1 (en) Sensorcable
KR20180075943A (en) Signal distinguishing type multiple leak detection sensor
KR20200041009A (en) Leakage sensor for nozzle

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant