KR101538509B1 - Pipe type leakage sensor - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 배관형 누설 감지 센서에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 배관에 장착이 용이하고 배관의 파손시 누설 액체로부터 주변을 보호할 수 있는 배관형 누설 감지 센서에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a pipe-type leak detection sensor, and more particularly, to a pipe-type leak detection sensor that can be easily installed in a pipe and can protect the periphery from leakage.
일반적으로 반도체 제조 공정에는 많은 화학 물질들이 이용된다. 예를 들면, 웨이퍼의 절단 및 연마 후 세정 공정에 사용되는 세정액, 웨이퍼의 감광 공정에 사용되는 감광액, 웨이퍼의 현상 공정에 사용되는 현상액, 웨이퍼 식각 공정에 사용되는 식각액 등이 반도체 제조 공정에 이용된다.In general, many chemicals are used in the semiconductor manufacturing process. For example, a cleaning liquid used in a cleaning process after cutting and polishing the wafer, a photosensitive liquid used in the photosensitive process of the wafer, a developing solution used in the developing process of the wafer, an etching solution used in the wafer etching process, .
이러한 화학 물질들은 이송관(배관)을 통해 각 공정이 수행되는 위치까지 내외부에서 이송되는데, 이송관의 불량 및 열화에 의해 화학 물질이 이송관 외부로 누설되는 일이 발생할 수 있다. 누설된 화학 물질은 사람은 물론 반도체 제조 현장의 다른 장치나 부품들에 악영향을 끼치므로, 이송관의 누설을 감지하여 빠르게 조치를 취할 필요가 있다.These chemicals are transported from inside and outside to the position where each process is performed through the transfer pipe (piping), and chemical substances may leak out of the transfer pipe due to defective or deteriorated transfer pipe. Leaked chemicals have an adverse effect on people and other devices and parts of the semiconductor manufacturing site, so it is necessary to detect leakage of the transfer pipe and take quick action.
이송관의 누설 감지는 일반적으로 전선의 플러스(+) 선과 마이너스(-) 선을 나란히 배치하고, 이 전선들 사이에 흡수제를 배치한 후, 누설된 화학 물질에 의해 발생하는 저항 변화를 측정하는 방법을 이용한다. 이러한 방법을 이용한 센서를 보통 라인형 누설 감지 센서라 한다.Leak detection of a transfer pipe is generally performed by placing positive (+) and minus (-) wires of a wire side by side, placing an absorbent between these wires, and then measuring the resistance change caused by the leaked chemical substance . The sensor using this method is called a normal line type leak detection sensor.
여기서, 라인형 누설 감지 센서의 누설 감지 방법은 이송관으로부터 연장되어 이송관으로부터 누설된 화학 물질이 수집되는 드레인에 플러스(+) 전선(또는 도체)와 마이너스(-) 전선(또는 도체)를 배치하여 누설 여부를 측정하게 된다. 이러한 라인형 누설 감지 센서의 일 예가 대한민국 공개특허공보 제10-2007-0005234호에 개시되어 있다.Here, the leakage detection method of a line-type leak detection sensor includes arranging a positive (+) wire and a negative (-) wire (or conductor) in a drain extended from a transfer pipe So that leakage is measured. An example of such a line-type leakage detection sensor is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2007-0005234.
한편, 누설 감지 대상 면적이 라인형 누설 감지 센서보다 더 넓게 형성된 면적형 누설 감지 센서가 있다. 면적형 감지 센서는 복수의 (+) 도체선들과 (-) 도체선들이 서로 교차 배열되거나 한 쌍의 (+) 도체선 및 (-) 도체선이 지그재그 형태로 배열되어 소정의 감지 면적을 형성한다. 이러한 면적형 감지 센서의 일 예가 일본 공개실용신안공보 평01-171340호에 개시되어 있다.On the other hand, there is an area type leak detection sensor in which the area subject to leak detection is wider than the line type leak detection sensor. In the area type sensing sensor, a plurality of (+) conductor lines and a pair of (-) conductor lines are arranged in a zigzag form, or a pair of (+) conductor lines and a (-) conductor line are arranged in a predetermined sensing area . An example of such an area type sensing sensor is disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open Publication No. Hei 01-171340.
여기서, 종래의 면적형 감지 센서는 일반적으로 배관의 외부를 감싸도록 설치되어 배관의 누설을 감지하게 된다. 그런데, 주름관과 같이 불규칙한 외형의 배관에는 이러한 면적형 센서를 설치하기가 쉽지 않았다. Here, the conventional area type sensing sensor is installed so as to surround the outside of the pipe, so that the leakage of the pipe is detected. However, it is not easy to install such an area type sensor in an irregularly shaped pipe such as a corrugated pipe.
한편, 센서가 설치된 배관이 파손되거나 또는 압력에 의해 폭발하는 경우에는 누설 액체가 튀어서 작업자에게 위험을 초래할 수 있었다.
On the other hand, if the piping provided with the sensor is broken or exploded by pressure, the leaked liquid may be splashed, resulting in a risk to the operator.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서, 배관에 장착이 용이하고, 배관의 파손시 누설 액체로부터 주변을 보호할 수 있는 배관형 누설 감지 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.
It is an object of the present invention to provide a pipe-type leak detection sensor which is easy to install in piping and can protect the periphery from leaked liquid in the event of breakage of piping.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 불소계 수지로 형성된 관 형상 하우징; 및 둥글게 말려서 상기 하우징 내부에 삽입될 수 있는 플렉시블한 판상의 구조물로 형성된 센서부를 포함하고, 상기 센서부는 베이스 층 및 액상의 불소계 수지와 도전성 재료의 혼합물을 패턴에 따라 상기 베이스 층에 도포 또는 인쇄하여 형성된 센서 층을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a tubular housing comprising: a tubular housing formed of a fluororesin; And a sensor portion formed of a flexible plate-like structure that can be inserted into the housing by being rolled round. The sensor portion is formed by applying or printing a mixture of a base layer and a liquid fluororesin and a conductive material to the base layer according to a pattern And a sensor layer formed thereon.
바람직하게는, 상기 센서부는 하단에 길이방향으로 연장된 적어도 하나 이상의 다리를 구비한 것을 특징으로 한다.Preferably, the sensor unit includes at least one leg extending in a longitudinal direction at a lower end thereof.
더 바람직하게는, 상기 센서부는 둥글게 말렸을 때 접촉하는 양측단에 서로 결합될 수 있는 결합 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.More preferably, the sensor unit is provided with engaging means capable of engaging with each other at both side ends which contact each other when they are rounded and curled.
여기서, 상기 결합 수단은 상기 센서부의 일측단에 구비된 삽입공과 상기 센서부의 타측단에 구비되어 상기 삽입공에 삽입되는 삽입 돌기를 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the coupling means includes an insertion hole provided at one end of the sensor unit and an insertion protrusion provided at the other end of the sensor unit and inserted into the insertion hole.
대안적으로, 상기 결합 수단은 상기 센서부의 양측단을 끼울 수 있도록 양측면에 각각 슬라이딩 홈을 구비한 몰딩인 것을 특징으로 한다.
Alternatively, the engaging means is a molding having sliding grooves on both sides thereof so as to engage opposite ends of the sensor unit.
본 발명에 따르면, 센서부를 누설 감지 대상 배관에 설치할 때, 별도의 체결 수단이나 작업을 할 필요없이, 센서부를 누설 감지 대상 배관의 외주에 간단하게 장착할 수 있다. 특히, 누설 감지 대상 배관이 주름관과 같이 외면이 불규칙한 형상을 갖는 경우에도 센서부의 장착이 용이하다.According to the present invention, when installing the sensor unit on the leak detection target pipe, the sensor unit can be easily mounted on the outer periphery of the leak detection target pipe without any additional fastening means or work. Particularly, even when the leak detecting pipe has an irregular outer surface shape such as a corrugated pipe, it is easy to mount the sensor portion.
또한, 배관 내부의 압력에 의해 배관이 파손된 경우에도 누설 액체가 외부로 유출되지 않아 누설 액체로부터 작업장 및 작업자를 보호할 수 있다.Further, even when the piping is broken by the pressure inside the piping, the leakage liquid does not flow out to the outside, thereby protecting the work site and the operator from the leakage liquid.
또한, 센서부의 결합 수단에 의해, 하우징에 센서부를 용이하게 삽입할 수 있고, 센서부가 삽입된 하우징에 누설 감지 대상 배관이 삽입되어도 센서부가 뒤틀리는 것을 방지할 수 있다.
Further, the sensor unit can be easily inserted into the housing by the coupling unit of the sensor unit, and it is possible to prevent the sensor unit from being twisted even if the leakage detection target pipe is inserted into the housing into which the sensor unit is inserted.
도 1은 본 발명에 따른 배관형 누설 감지 센서가 누설 감지 대상 배관에 장착된 상태를 개략적으로 도시한 사시도,
도 2는 도 1에 따른 분해 사시도,
도 3은 도 1에 따른 분해 사시도로서, 센서부가 말려있는 상태를 도시한 도면,
도 4는 본 발명에 따른 배관형 누설 감지 센서가 누설 감지 대상 배관인 주름관에 장착된 상태를 개략적으로 도시한 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 배관형 누설 감지 센서의 센서부의 일 예를 도시한 도면,
도 6은 본 발명에 따른 배관형 누설 감지 센서의 센서부의 다른 예를 도시한 도면,
도 7은 본 발명에 따른 배관형 누설 감지 센서의 센서부의 또 다른 예를 도시한 도면.1 is a perspective view schematically showing a state in which a pipe-type leakage sensor according to the present invention is installed in a pipe to be leak-
Fig. 2 is an exploded perspective view according to Fig. 1,
Fig. 3 is an exploded perspective view according to Fig. 1,
FIG. 4 is a perspective view schematically showing a state in which a pipe-type leak detection sensor according to the present invention is mounted on a corrugated tube which is a pipe to be leak-
5 is a view showing an example of a sensor unit of a pipe-type leak detection sensor according to the present invention,
6 is a view showing another example of a sensor unit of a pipe-type leak detection sensor according to the present invention,
7 is a view showing another example of a sensor unit of a pipe-type leak detection sensor according to the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 배관형 누설 감지 센서에 대한 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성 요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a piped leakage detection sensor according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, it is to be understood that the terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only, and is not intended to be limiting of the technical scope of the present invention. Will be.
도 1 내지 4를 참조하면, 본 발명에 따른 배관형 누설 감지 센서는 관 형상 하우징(100) 및 센서부(200)를 포함한다. 관 현상 하우징(100)은 누설 검사 대상 배관(300)의 외주에 장착되는 부재이고, 센서부(200)는 관 형상 하우징(100)의 내부에 삽입되어 누설 검사 대상 배관(300)의 외주에 장착된다.Referring to FIGS. 1 to 4, a pipe-type leak detection sensor according to the present invention includes a
구체적으로, 하우징(100)은 불소 수지 계열의 소재를 성형하여 제조될 수 있다. 그리고, 센서부(200)는 둥글게 말려서 하우징(100)의 내부에 삽입될 수 있도록 플렉시블한 판상의 구조물이다. 여기서, 센서부(200)는 베이스 층(210) 및 센서 층(220)으로 이루어진다. Specifically, the
베이스 층(210)은 불소 수지 계열의 소재, 예를 들면 불소 수지 시트를 사용한다. 또는, 베이스 층(210)은 베이스 층(210)의 뼈대를 이루는 메시 형태의 유리 섬유 또는 실리카 섬유를 불소 수지 용액에 침지시켜 만들 수 있다. 이러한 유리 섬유 또는 실리카 섬유는 내구성이 양호하여 베이스 층(210)이 열에 의해 변형되는 것을 방지하는 역할을 한다. As the
센서 층(220)은 액상의 불소계 수지와 도전성 재료를 혼합하고, 이 혼합물을 기 설정된 패턴에 따라 베이스 층(210)에 도포 또는 인쇄하여 소정 면적으로 형성된다. 여기서, 상기 패턴은 (+) 도선(221))과 (-) 도선(222)이 서로 지그재그 형상으로 교번적으로 배열되어 소정 면적의 감지 영역을 형성한다. 그리고, 센서 층(220)은 베이스 층(210)으로부터 입체적으로 돌출된 형태의 패턴으로 이루어질 수 있다. 대안적으로, 센서 층(220)은 베이스 층(210)에 침투 형태로 소성되어 베이스 층(210)과 동일한 높이의 패턴으로 이루어질 수 있다. 이러한 동일한 높이의 패턴은 이후 추가 패턴 도포 또는 인쇄 작업시에 유리할 수 있다.The
한편, 하우징(100) 및 센서부(200)를 제조하는데에 사용되는 불소계 수지는 내약품성 및 내열성이 우수한, 예를 들면 ETFE(Ethylene TetraFluoroEthylene), FEP(Flourinated Ethylene Prophylene), PTFE(PolyTetraFluoroeEhylene), PFA(Perfluorinated acids) 등일 수 있다.Meanwhile, the fluororesin used for manufacturing the
이와 같이, 본 발명에 따른 배관형 누설 감지 센서는, 센서부(200)를 누설 감지 대상 배관(300)에 설치할 때, 별도의 체결 수단이나 작업을 할 필요없이, 센서부(200)가 삽입된 하우징(100)의 내부에 누설 감지 대상 배관(300)을 삽입하여, 센서부(200)를 누설 감지 대상 배관(300)의 외주에 간단하게 장착할 수 있다. 특히, 도 4에 도시된 것처럼, 누설 감지 대상 배관(300)이 주름관과 같이 불규칙한 외형을 갖는 경우에도 센서부(200)의 장착이 용이하다.In this way, when the
또한, 센서부(200)가 장착된 배관(300)을 하우징(100)이 둘러싸고 있기 때문에, 배관(300) 내부의 압력에 의해 배관(300)이 파손된 경우에도 누설 액체가 외부로 유출되지 않고, 이에 따라 누설 액체로부터 작업장 및 작업자를 보호할 수 있다.
Further, since the
도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 배관형 누설 감지 센서의 센서부(200)는 바람직하게는 그 하단에 길이방향으로 연장된 적어도 하나 이상의 다리들(230)을 구비할 수 있다. 이 다리들(230)은 둥글게 말려서 하우징(100)에 삽입되는 센서부(200)가 하우징(100)에 삽입될 때, 또는 하우징(100)에 누설 감지 대상 배관(300)이 삽입될 때, 둥글게 말려 있는 센서부(200)가 뒤틀려 위치되는 것을 방지하기 위한 것이다. 즉, 사용자는 이 다리들(230)을 움직여서 하우징(100)에 삽입된 센서부(200)의 위치를 조정할 수 있다.
Referring to FIG. 5, the
또한, 본 발명에 따른 배관형 누설 감지 센서의 센서부(200)는 둥글게 말렸을 때 접촉하는 양측단에 서로 결합될 수 있는 결합 수단을 구비할 수 있다. In addition, the
센서부(200)의 결합 수단은, 도 6에 도시된 바와 같이, 센서부(200)의 일측단에 구비된 적어도 하나 이상의 삽입공(240) 및 센서부(200)의 타측단에 구비되어 센서부(200)가 둥글게 말렸을 때 삽입공(240)에 삽입될 수 있는 적어도 하나 이상의 삽입 돌기(250)로 이루어질 수 있다. 이러한 센서부(200)의 결합 수단에 의해, 하우징(100)에 센서부(200)를 삽입하기 위해 센서부(200)를 둥글게 말았을 때, 삽입공(240)에 삽입 돌기(250)가 결합되어 센서부(200)가 둥글게 말린 형태를 유지할 수 있다. 따라서, 하우징(100)에 누설 감지 대상 배관(300)을 삽입할 때, 센서부(200)가 뒤틀리는 것을 방지할 수 있다.6, the coupling means of the
대안적으로, 센서부(200)의 결합 수단은, 도 7에 도시된 바와 같이, 센서부(200)의 양측단을 끼울 수 있도록 양측면에 각각 슬라이딩 홈(410)을 구비한 몰딩(400) 및 센서부(200)의 양측단에 형성된 슬라이딩 돌기(260)를 포함할 수 있다. 이 몰딩(400)은 양측면에 각각 센서부(200)의 측단과 대응되는 길이의 슬라이딩 홈(410)을 구비한다. 그리고, 센서부(200)의 슬라이딩 돌기(260)는 슬라이딩 홈(410)에 삽입되어 끼워질 수 있게 주변보다 두껍게 형성된다. 이때, 몰딩(400)의 슬라이딩 홈(410)은 삽입된 슬라이딩 돌기(260)가 이탈하는 것을 방지하기 위해 단턱(411)을 구비할 수 있다. 이러한 센서부(200)의 결합 수단에 의해, 하우징(100)에 센서부(200)를 용이하게 삽입할 수 있고, 센서부(200)가 삽입된 하우징(100)에 누설 감지 대상 배관(300)이 삽입되어도 센서부(200)가 뒤틀리는 것을 방지할 수 있다.
7, the engaging means of the
이상에서 설명된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 보여준 것에 불과하며, 본 발명의 보호 범위는 이하 특허청구범위에 의하여 해석되어야 마땅할 것이다. 또한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것인 바, 본 발명과 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
The embodiments of the present invention described above are merely illustrative of the technical idea of the present invention, and the scope of protection of the present invention should be interpreted according to the claims. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It should be interpreted that it is included in the scope of right.
100: 하우징 200: 센서부
210: 베이스 층 220: 센서 층
230: 다리 240: 삽입공
250: 삽입 돌기 260: 슬라이딩 돌기
300: 누설 감지 대상 배관 400: 몰딩
410: 슬라이딩 홈 411: 단턱100: housing 200:
210: base layer 220: sensor layer
230: legs 240: insertion holes
250: insertion protrusion 260: sliding protrusion
300: Leak detection target pipe 400: Molding
410: Sliding groove 411:
Claims (5)
둥글게 말려서 상기 하우징 내부에 삽입될 수 있는 플렉시블한 판상의 구조물로 형성된 센서부를 포함하고,
상기 센서부는 베이스 층 및 액상의 불소계 수지와 도전성 재료의 혼합물을 패턴에 따라 상기 베이스 층에 도포 또는 인쇄하여 형성된 센서 층을 포함하고,
상기 센서부는 둥글게 말렸을 때 접촉하는 양측단에 서로 결합될 수 있는 결합 수단을 구비하고,
상기 결합 수단은 상기 센서부의 일측단에 구비된 삽입공과 상기 센서부의 타측단에 구비되어 상기 삽입공에 삽입되는 삽입 돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 배관형 누설 감지 센서.
A tubular housing formed of a fluororesin; And
And a sensor portion formed of a flexible plate-like structure that can be inserted into the housing by being rounded,
Wherein the sensor unit includes a base layer and a sensor layer formed by applying or printing a mixture of a liquid fluorine resin and a conductive material on the base layer in accordance with a pattern,
Wherein the sensor unit is provided with engaging means capable of engaging with each other at both side ends which contact each other when it is rounded,
Wherein the coupling means includes an insertion hole provided at one end of the sensor unit and an insertion protrusion provided at the other end of the sensor unit and inserted into the insertion hole.
둥글게 말려서 상기 하우징 내부에 삽입될 수 있는 플렉시블한 판상의 구조물로 형성된 센서부를 포함하고,
상기 센서부는 베이스 층 및 액상의 불소계 수지와 도전성 재료의 혼합물을 패턴에 따라 상기 베이스 층에 도포 또는 인쇄하여 형성된 센서 층을 포함하고,
상기 센서부는 둥글게 말렸을 때 접촉하는 양측단에 서로 결합될 수 있는 결합 수단을 구비하고,
상기 결합 수단은 상기 센서부의 양측단을 끼울 수 있도록 양측면에 각각 슬라이딩 홈을 구비한 몰딩 및 주변보다 두껍게 상기 센서부의 양측단을 따라 형성되어 상기 슬라이딩 홈에 삽입되는 슬라이딩 돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 배관형 누설 감지 센서.
A tubular housing formed of a fluororesin; And
And a sensor portion formed of a flexible plate-like structure that can be inserted into the housing by being rounded,
Wherein the sensor unit includes a base layer and a sensor layer formed by applying or printing a mixture of a liquid fluorine resin and a conductive material on the base layer in accordance with a pattern,
Wherein the sensor unit is provided with engaging means capable of engaging with each other at both side ends which contact each other when it is rounded,
The coupling means includes a molding having sliding grooves on both sides thereof so as to sandwich both ends of the sensor unit, and a sliding protrusion formed along both side edges of the sensor unit to be thicker than the periphery and inserted into the sliding groove. Pipe type leak detection sensor.
상기 센서부는 하단에 길이방향으로 연장된 적어도 하나 이상의 다리를 구비한 것을 특징으로 하는 배관형 누설 감지 센서.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the sensor unit includes at least one leg extending in a longitudinal direction at a lower end thereof.
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- 2014-11-21 KR KR1020140163588A patent/KR101538509B1/en active IP Right Grant
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