KR20180062754A - Substrate align and supply apparatus - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a substrate alignment and loading apparatus and, more specifically, to a substrate alignment and loading apparatus, capable of correctly aligning and loading a substrate, such as a wafer, and the like, on a cassette. According to the present invention, the substrate alignment and loading apparatus comprises: a frame to load a flat-shaped substrate through one end; a transfer unit mounted on the frame to transfer the substrate loaded through the one end in an X-direction, which is an opposite direction to the frame; a driving unit to operate the transfer unit; and the cassette disposed on the other end of the frame in the X-direction, and inserting and disposing a plurality of substrates, transferred in the X-direction through the transfer unit, therein. The transfer unit comprises: a first belt lengthily mounted on the upper part of the frame in the X-direction and rotating on a Y-direction to transfer the substrate towards the cassette while supporting the substrate disposed on an upper part; and a second belt lengthily mounted on both sides of the first belt in the X-direction and rotating on a Z-direction. The driving unit rotates the first and second belts, and the second belt comes in contact with the substrate loaded on the frame from the outside to transfer the substrate towards the cassette (X-direction) while aligning the substrate.

Description

기판 정렬 및 투입장치 { SUBSTRATE ALIGN AND SUPPLY APPARATUS }[0001] SUBSTRATE ALIGN AND SUPPLY APPARATUS [0002]

본 발명은 기판 정렬 및 투입장치에 관한 것으로서, 특히 웨이퍼 등의 기판을 카세트에 올바르게 정렬시켜 투입시킬 수 있는 기판 정렬 및 투입장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate sorting and dispensing apparatus, and more particularly, to a substrate sorting and dispensing apparatus capable of correctly aligning a substrate such as a wafer to a cassette.

반도체용 기판, LCD, 태양전지 등의 기판을 제조하기 위해, 일반적으로 증착, 식각, 세정 등의 다양한 기판 처리 공정들이 수행된다.Various substrate processing processes such as deposition, etching, cleaning and the like are generally carried out in order to manufacture substrates for semiconductors, LCDs, and solar cells.

이러한 공정들을 수행하기 위해서는 상기 기판들을 각 공정으로 일정한 간격을 유지시키면 이동시켜야 한다.In order to perform these processes, the substrates must be moved by maintaining a predetermined gap in each process.

종래에는 기판들을 이동시키기 위해 일반적인 벨트타입의 컨베이어를 이용하였고, 벨트타입의 컨베이어에 의해 이동된 기판들은 카세트의 내부에 삽입되게 된다.Conventionally, a general belt type conveyor is used to move the substrates, and the substrates moved by the belt type conveyor are inserted into the cassette.

그러나, 이러한 컨베이어는 단순히 상부에 놓인 기판들을 이동시키는 기능만 가지고 있어, 기판이 틀어지게 투입될 경우 카세트에 기판이 정확하게 투입되지 않게 되는 문제가 있었다.However, such a conveyor merely has the function of moving the substrates placed on the upper part, and there has been a problem that when the substrate is turned on, the substrate is not accurately inserted into the cassette.

이러한 문제점을 해결하기 위해 기판의 이동방향으로 양측에 가이드바를 장착하였고, 이러한 가이드바는 경사지게 배치되어 틀어지게 투입되는 기판을 올바르게 정렬하도록 하였다.To solve this problem, a guide bar is mounted on both sides in the moving direction of the substrate, and such a guide bar is arranged at an angle so that the substrate to be inserted is correctly aligned.

그러나, 이러한 고정타입의 가이드바는 기판이 이동하면서 접촉하여 마찰이 발생하고 이로 인해 기판이 마모되거나 손상되는 문제가 있었다.However, such a fixed type guide bar has a problem in that the substrate contacts and moves while being moved, thereby causing a problem of abrasion or damage of the substrate.

또한, 기판이 카세트로 투입되는 부위에서는 상기 기판이 가이드바에 의한 마찰없이 카세트로 용이하게 투입되도록 하기 위해, 기판과 가이드바 사이에 약간의 유격이 있다.In addition, there is a slight clearance between the substrate and the guide bar so that the substrate can be easily inserted into the cassette without friction by the guide bar at a position where the substrate is inserted into the cassette.

이로 인해, 기판은 가이드바 사이의 유격에 의해 흔들림이 발생하게 되고, 이는 곧 기판이 카세트에 올바르게 투입되지 못하는 문제를 야기시켰다.As a result, the substrate is shaken due to the gap between the guide bars, which causes the problem that the substrate can not be correctly inserted into the cassette.

공개특허공보 제10-2016-0027716호Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-2016-0027716 공개특허공보 제10-2008-0093824호Published Patent Application No. 10-2008-0093824

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 기판이 흔들림없이 정렬된 상태로 카세트에 올바르게 투입되고, 또한 기판의 측면이 마모되는 것을 최소화할 수 있는 기판 정렬 및 투입장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a substrate sorting and dispensing apparatus capable of minimizing abrasion of a side surface of a substrate while properly loading the substrate into a cassette in a state in which the substrate is aligned without shaking have.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 기판 정렬 및 투입장치는, 일단을 통해 평판형상의 기판이 투입되는 프레임과; 상기 프레임에 장착되어 일단을 통해 투입되는 상기 기판을 상기 프레임의 타단방향인 X축방향으로 이동시키는 이송부와; 상기 이송부를 구동시키는 구동부와; X축방향을 따라 상기 프레임의 타단에 배치되고, 상기 이송부를 통해 X축방향으로 이동되는 다수개의 상기 기판이 삽입 배치되는 카세트;를 포함하여 이루어지되, 상기 이송부는, 상기 프레임의 상부에 X축방향으로 길게 장착되고, Y축방향을 중심으로 회전하여 상부에 배치된 상기 기판을 지지하면서 상기 기판을 상기 카세트 방향으로 이동시키는 제1벨트와; 상기 제1벨트의 양측에서 X축방향으로 길게 배치되고, Z축방향을 중심으로 회전하는 제2벨트;를 포함하여 이루어지고, 상기 구동부는 상기 제1벨트와 제2벨트를 회전시키며, 상기 제2벨트는 외부에서 상기 프레임으로 투입되는 상기 기판의 양측면에 접하여 상기 기판을 정렬하면서 상기 카세트 방향(X축방향)으로 이송시키는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate alignment and dispensing apparatus comprising: a frame into which a substrate in a flat plate shape is inserted through one end; A transfer unit mounted on the frame and moving the substrate, which is inserted through one end, in the X axis direction which is the other one direction of the frame; A driving unit for driving the conveying unit; And a cassette disposed at the other end of the frame along the X axis direction and in which a plurality of the substrates moved in the X axis direction are inserted through the transfer unit, A first belt which is long in the Y-axis direction and rotates about the Y-axis direction to move the substrate in the cassette direction while supporting the substrate disposed on the upper side; And a second belt disposed on both sides of the first belt and extending in the X-axis direction and rotating about the Z-axis direction, wherein the driving unit rotates the first belt and the second belt, And the two belts are transported in the cassette direction (X-axis direction) while aligning the substrates in contact with both side surfaces of the substrate to be fed into the frame from the outside.

상기 제1벨트의 양측에 배치된 상기 제2벨트 간의 간격은, 상기 프레임의 일단에서의 간격이 타단에서의 간격보다 더 크게 형성되고, 상기 프레임의 일단에서 상기 제2벨트 간의 간격은 상기 기판의 폭보다 크게 형성된다.Wherein the interval between the second belts disposed on both sides of the first belt is larger than the interval between one end of the frame and the interval between the second belts at one end of the frame, Width.

상기 제2벨트는 상기 프레임의 일단에서 타단으로 갈수록 상기 제1벨트에 인접한 방향으로 경사지게 배치된다.The second belt is arranged to be inclined in a direction adjacent to the first belt from one end to the other end of the frame.

상기 프레임의 타단에서 상기 제2벨트 간의 간격은 상기 기판의 폭과 같다.The interval between the second belts at the other end of the frame is equal to the width of the substrate.

상기 프레임의 타단에서 상기 제2벨트 간의 간격은 상기 기판의 폭보다 작되, 상기 제2벨트는 탄성재질로 이루어져 상기 기판의 양측면에 접하여 압축된다.Wherein the second belt at the other end of the frame is spaced from the substrate by a width smaller than the width of the substrate and the second belt is made of an elastic material and pressed against both sides of the substrate.

상기 제1벨트와 제2벨트의 회전속도는 동일하다.The rotation speeds of the first belt and the second belt are the same.

상기 구동부는, 모터와; Y축방향으로 배치되어 상기 모터에 의해 회전하는 제1구동축과; Z축방향으로 배치되어 상기 제1구동축과 직교하여 결합되는 제2구동축;을 포함하여 이루어지되, 상기 제1구동축은 상기 제1벨트를 회전시키고, 상기 제2구동축은 상기 제2벨트를 회전시킨다.The driving unit includes: a motor; A first drive shaft disposed in the Y-axis direction and rotated by the motor; And a second drive shaft disposed in the Z-axis direction and coupled to the first drive shaft in a direction perpendicular to the first drive shaft, wherein the first drive shaft rotates the first belt and the second drive shaft rotates the second belt .

X축방향으로 길게 배치된 상기 제2벨트는 일단 또는 타단이 Y축방향으로 이동 가능하게 상기 프레임에 장착된다.The second belt, which is long in the X-axis direction, is mounted on the frame so that one end or the other end is movable in the Y-axis direction.

상기 제2벨트를 Z축방향으로 이동시키는 승강부재를 더 포함하여 이루어진다.And an elevating member for moving the second belt in the Z-axis direction.

상기 승강부재는 상기 기판의 이송량이 미리 설정된 기준량을 초과하면 상기 제2벨트를 미리 설정된 일정 높이만큼 승강시킨다.The elevating member elevates and lowers the second belt by a predetermined height when the conveyance amount of the substrate exceeds a predetermined reference amount.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 기판 정렬 및 투입장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.According to the substrate sorting and dispensing apparatus of the present invention as described above, the following effects can be obtained.

본 발명은 이송되는 기판을 정지시키지 않고 자동으로 올바르게 정렬시켜 카세트에 정확하게 투입시킬 수 있어, 작업속도를 향상시킬 수 있다.According to the present invention, the transferred substrate can be automatically aligned correctly without stopping, and can be precisely introduced into the cassette, thereby improving the working speed.

또한, 이송되는 기판이 정렬되면서 마모되는 것을 최소하고, 기판을 정렬하는 제2벨트를 승강시켜 제2벨트를 모다 효율적으로 사용할 수 있다.In addition, it is possible to minimize the abrasion of the transferred substrate while being aligned, and the second belt for aligning the substrate can be raised and lowered to efficiently use the second belt.

뿐만 아니라, 제2벨트의 타단이 기판의 양측에 접하여 유격없이 이송시키기 때문에, 기판이 카세트에 보다 정확하게 투입되도록 할 수 있다.In addition, since the other end of the second belt is brought into contact with both sides of the substrate without any clearance, the substrate can be more accurately inserted into the cassette.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 정렬 및 투입장치의 사시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 정렬 및 투입장치의 평면도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 정렬 및 투입장치에서 구동부의 구조를 설명하기 위한 구조도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 정렬 및 투입장치에 의해 기판이 투입되는 상태를 도시한 평면도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 정렬 및 투입장치에서 승강부재에 의해 제2벨트가 승강되는 것을 도시한 정면구조도.1 is a perspective view of a substrate sorting and dispensing apparatus according to an embodiment of the present invention,
2 is a plan view of a substrate alignment and dispensing apparatus according to an embodiment of the present invention,
3 is a structural view illustrating a structure of a driving unit in a substrate sorting and dispensing apparatus according to an embodiment of the present invention;
4 is a plan view showing a state in which a substrate is inserted by a substrate aligning and introducing apparatus according to an embodiment of the present invention,
5 is a front structural view showing that the second belt is lifted and lowered by the lifting member in the substrate sorting and feeding apparatus according to the embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 기판 정렬 및 투입장치는, 프레임(10)과, 이송부(20)와, 구동부(30)와, 카세트(40)를 포함하여 이루어진다.1 to 3, the substrate sorting and dispensing apparatus of the present invention includes a frame 10, a transfer unit 20, a driving unit 30, and a cassette 40.

상기 프레임(10)은 전후방향으로 길게 형성되고, 일단을 통해 평판형상의 기판(60)이 투입된다.The frame 10 is elongated in the front-rear direction, and a plate-like substrate 60 is inserted through one end.

상기 이송부(20)는 상기 프레임(10)에 장착되어 일단을 통해 투입되는 상기 기판(60)을 상기 프레임(10)의 타단방향인 X축방향으로 이동시킨다.The transfer unit 20 is mounted on the frame 10 and moves the substrate 60, which is inserted through one end, in the X axis direction which is the other direction of the frame 10.

이러한 상기 이송부(20)는, 제1벨트(21)와 제2벨트(22)로 포함하여 이루어진다.The transfer unit 20 includes the first belt 21 and the second belt 22.

제1벨트(21)는 상기 프레임(10)의 상부에서 X축방향으로 길게 장착되고, Y축방향을 중심으로 회전하여 상부에 배치된 상기 기판(60)을 지지하면서 상기 기판(60)을 상기 카세트(40)가 배치된 타단 방향으로 이동시킨다.The first belt 21 is mounted in the X-axis direction on the upper part of the frame 10 and rotates around the Y-axis direction to support the substrate 60, And moves in the other end direction in which the cassette 40 is disposed.

상기 제2벨트(22)는 상기 제1벨트(21)의 양측에서 X축방향으로 길게 배치되고, Z축방향을 중심으로 회전한다.The second belt 22 is arranged long on both sides of the first belt 21 in the X-axis direction and rotates about the Z-axis direction.

상기 제2벨트(22)는 외부에서 상기 프레임(10)으로 투입되는 상기 기판(60)의 양측면에 접하여 상기 기판(60)을 올바르게 정렬시키면서 동시에 상기 카세트(40) 방향 즉 X축방향으로 상기 기판(60)을 이송시킨다.The second belt 22 contacts the side surfaces of the substrate 60 that are inserted into the frame 10 from the outside and aligns the substrate 60 in the direction of the cassette 40, (60).

즉, 상기 기판(60)은 하면이 상기 제1벨트(21)에 접하고 측면이 상기 제2벨트(22)에 접하여, 상기 제1벨트(21)와 제2벨트(22)의 회전에 의해 상기 카세트(40)가 배치된 방향으로 이동된다.That is, the substrate 60 has a lower surface contacting the first belt 21 and a side surface contacting the second belt 22, and the rotation of the first belt 21 and the second belt 22 And is moved in the direction in which the cassette 40 is disposed.

그리고, 상기 기판(60)이 상기 제1벨트(21)의 상부로 약간 비틀어지게 투입된 경우, 상기 제2벨트(22)는 상기 기판(60)을 올바르게 정렬시키는 기능도 한다.When the substrate 60 is slightly twisted to the upper side of the first belt 21, the second belt 22 also functions to align the substrate 60 properly.

이를 위해, 상기 제1벨트(21)의 양측에 배치된 상기 제2벨트(22) 간의 간격은, 상기 프레임(10)의 일단에서의 간격이 타단에서의 간격보다 더 크게 형성된다.To this end, the spacing between the second belts 22 disposed on both sides of the first belt 21 is greater than the spacing at one end of the frame 10 is greater than the spacing at the other end.

그리고 상기 기판(60)이 투입되는 상기 프레임(10)의 일단에서 상기 제2벨트(22) 간의 간격은 상기 기판(60)의 폭보다 크게 형성된다.The spacing between the second belts 22 at one end of the frame 10 into which the substrate 60 is inserted is greater than the width of the substrate 60.

보다 구체적으로, 상기 제2벨트(22)는 상기 프레임(10)의 일단에서 타단으로 갈수록 상기 제1벨트(21)에 인접한 방향으로 경사지게 배치된다.More specifically, the second belt 22 is disposed to be inclined in a direction adjacent to the first belt 21 from one end of the frame 10 toward the other end.

따라서, 상기 프레임(10)의 일단으로 경사지게 기판(60)이 투입되더라도, 상부에서 봤을 때 경사지게 배치된 상기 제2벨트(22)에 의해 상기 기판(60)은 상기 제2벨트(22)에 접하여 이동되면서 올바르게 정렬된다.Therefore, even if the substrate 60 is inclined at one end of the frame 10, the substrate 60 is brought into contact with the second belt 22 by the second belt 22 arranged obliquely as viewed from above Moved and aligned correctly.

또한, 상기 프레임(10)의 타단에서 상기 제2벨트(22) 간의 간격은 상기 기판(60)의 폭과 같거나 약간 작게 형성되도록 한다.The gap between the second belt 22 and the other end of the frame 10 may be equal to or slightly smaller than the width of the substrate 60.

특히, 상기 프레임(10)의 타단에서 상기 제2벨트(22) 간의 간격이 상기 기판(60)의 폭보다 약간 작게 될 경우에는, 탄성재질로 이루어진 상기 제2벨트(22)가 상기 기판(60)의 양측면에 접하여 압축되면서 상기 기판(60)을 흔들림없이 보다 견고하게 지지하면서 상기 카세트(40)에 올바르게 삽입되도록 할 수 있다.Particularly, when the interval between the second belts 22 at the other end of the frame 10 is slightly smaller than the width of the substrate 60, the second belt 22 made of an elastic material, So that the substrate 60 can be properly inserted into the cassette 40 while firmly supporting the substrate 60 without shaking.

이러한 상기 제1벨트(21)와 제2벨트(22)의 회전속도는 서로 약간 차이가 날 수도 있지만, 상기 기판(60)에 슬립현상이 발생되지 않도록 동일하도록 함이 바람직하다.The rotational speeds of the first belt 21 and the second belt 22 may be slightly different from each other. However, it is preferable that the rotational speeds of the first belt 21 and the second belt 22 are the same so that the substrate 60 does not slip.

또한, X축방향으로 길게 배치된 상기 제2벨트(22)는 일단 또는 타단이 Y축방향으로 이동 가능하게 상기 프레임(10)에 장착되어, 사용자가 필요에 따라 양측에 배치된 상기 제2벨트(22) 간의 간격을 조정할 수 있다.The second belt 22 arranged in the X-axis direction is mounted on the frame 10 so that one end or the other end of the second belt 22 can move in the Y-axis direction, (22) can be adjusted.

상기 구동부(30)는 상기 이송부(20)를 구동시킨다.The driving unit 30 drives the transfer unit 20.

즉, 상기 구동부(30)는 상기 제1벨트(21)와 제2벨트(22)를 회전시킨다.That is, the driving unit 30 rotates the first belt 21 and the second belt 22.

이러한 상기 구동부(30)는, 상기 제1벨트(21)를 구동시키는 구성과, 상기 제2벨트(22)를 구동시키는 구성이 각각 별개로 이루어질 수도 있다.The driving unit 30 may be configured to drive the first belt 21 and to drive the second belt 22 separately.

즉, 2개의 모터로 이루어져, 각각 제1벨트(21)와 제2벨트(22)를 구동시킬 수도 있다.In other words, the first belt 21 and the second belt 22 may be driven by two motors, respectively.

바람직하게는 본 실시예와 같이 하나의 모터를 이용하여 상기 제1벨트(21)와 제2벨트(22)가 회전되도록 한다.Preferably, the first belt 21 and the second belt 22 are rotated using one motor as in the present embodiment.

이를 위해 본 실시예에서의 구동부(30)는, 모터와, 제1구동축(32)과, 제2구동축(33)을 포함하여 이루어진다.To this end, the driving unit 30 in the present embodiment includes a motor, a first driving shaft 32, and a second driving shaft 33. [

상기 모터는 상기 프레임(10)에 고정 장착된다.The motor is fixedly mounted on the frame (10).

상기 제1구동축(32)은 Y축방향으로 배치되고, 상기 모터의 구동축에 결합되어 회전한다.The first drive shaft 32 is disposed in the Y-axis direction, and is coupled to the drive shaft of the motor and rotates.

상기 제2구동축(33)은 Z축방향으로 배치되고, 기어에 의해 상기 제1구동축(32)과 직교하여 결합된다.The second drive shaft 33 is disposed in the Z-axis direction and is coupled to the first drive shaft 32 in a direction perpendicular to the Z-axis direction.

상기 제1구동축(32)은 상기 제1벨트(21)를 회전시키고, 상기 제2구동축(33)은 상기 제2벨트(22)를 회전시킨다.The first drive shaft 32 rotates the first belt 21 and the second drive shaft 33 rotates the second belt 22. [

따라서, 상기 모터가 작동하게 되면, 상기 제1구동축(32)이 회전하면서 상기 제1벨트(21)를 회전시킨다.Accordingly, when the motor is operated, the first driving shaft 32 rotates and rotates the first belt 21. [

그리고, 상기 제1구동축(32)에 직교하여 결합된 상기 제2구동축(33)은 회전하면서 상기 제2벨트(22)를 회전시킨다.The second drive shaft (33) coupled to the first drive shaft (32) rotates and rotates the second belt (22).

위와 같은 상기 구동부(30)에 의해, 하나의 모터를 이용하면서 상기 제1벨트(21)와 제2벨트(22)를 동기화시켜 함께 회전시킬 수 있다.The first belt 21 and the second belt 22 can be synchronized with each other and rotated together using the single motor by the driving unit 30 as described above.

상기 카세트(40)는 X축방향을 따라 상기 프레임(10)의 타단에 배치되고, 상기 이송부(20)를 통해 X축방향으로 이동되는 다수개의 상기 기판(60)이 삽입 배치된다.The cassette 40 is disposed at the other end of the frame 10 along the X-axis direction and a plurality of the substrates 60 moved in the X-axis direction through the transfer unit 20 are inserted and arranged.

이러한 상기 카세트(40)는 종래의 공지된 것을 이용하면 충분한 바, 이에 대한 자세한 구조 설명은 생략한다.The cassette 40 may be any known cassette, and detailed description of the cassette 40 will be omitted.

한편, 본 발명은 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제2벨트(22)를 Z축방향으로 이동시키는 승강부재(50)를 더 포함하여 이루어질 수도 있다.5, the present invention may further include an elevating member 50 for moving the second belt 22 in the Z-axis direction.

상기 승강부재(50)는 상기 기판(60)의 이송량이 미리 설정된 기준량을 초과하면 상기 제2벨트(22)를 미리 설정된 일정 높이만큼 승강시킨다.The elevating member 50 elevates the second belt 22 by a preset height when the amount of conveyance of the substrate 60 exceeds a predetermined reference amount.

이러한 상기 승강부재(50)는 실린더, 모터 등 다양한 부품으로 이루어질 수 있다.The elevating member 50 may be formed of various parts such as a cylinder and a motor.

상기 제2벨트(22)의 높이는 상기 기판(60)의 두께보다 크다.The height of the second belt 22 is greater than the thickness of the substrate 60.

따라서, 도 5에 도시된 나와 같이 상기 제2벨트(22)의 특정부위가 상기 기판(60)과 접하여 마모되었을 때, 상기 승강부재(50)에 의해 상기 제2벨트(22)를 승강시킴으로써 마모되지 않은 제2벨트(22)의 부위가 상기 기판(60)에 접하도록 할 수 있다.5, when the specific portion of the second belt 22 abrades the substrate 60, the second belt 22 is moved up and down by the elevating member 50, The portion of the second belt 22 that is not in contact with the substrate 60 can be brought into contact with the substrate 60.

이를 통해 마모된 상기 제2벨트(22)의 잦은 교체를 최소화할 수 있다.So that frequent replacement of the worn second belt 22 can be minimized.

이하, 상술한 구성으로 이루어진 본 발명의 작동과정에 대하여 살펴본다.Hereinafter, an operation process of the present invention having the above-described configuration will be described.

먼저, 상기 모터의 작동에 의해 제1구동축(32)과 제2구동축(33)이 회전하게 되고, 이로 인해 상기 제1벨트(21)와 제2벨트(22)도 회전하게 된다.First, the first drive shaft 32 and the second drive shaft 33 are rotated by the operation of the motor, so that the first belt 21 and the second belt 22 also rotate.

이러한 상태에서 별도의 투입장치 등을 통해 상기 기판(60)을, 상기 제1벨트(21)와 제2벨트(22)가 회전하는 있는 상기 프레임(10)의 일단으로 투입시킨다.In this state, the substrate 60 is inserted into one end of the frame 10 through which the first belt 21 and the second belt 22 rotate, through a separate charging device or the like.

그러면, 상기 기판(60)은 하면이 상기 제1벨트(21)에 접하고, 측면이 상기 제2벨트(22)에 전하여 X축방향으로 이동하게 된다.The lower surface of the substrate 60 is in contact with the first belt 21 and the side surface of the substrate 60 is transferred to the second belt 22 to move in the X-axis direction.

이때, 상기 기판(60)이 틀어짐없이 올바르게 투입될 경우에는 아무런 문제가 없으나, 도 4(a)에 도시된 바와 같이 상기 기판(60)이 틀어진 상태로 상기 프레임(10)의 일단으로 투입될 수도 있다.At this time, there is no problem when the substrate 60 is properly inserted without any distortion. However, as shown in FIG. 4 (a), the substrate 60 may be inserted into one end of the frame 10 have.

상기 제2벨트(22) 간의 간격은 상기 기판(60)의 폭보다 크기 때문에, 초기에 상기 기판(60)은 상기 제1벨트(21)의 의해 이송된다.Since the distance between the second belts 22 is greater than the width of the substrate 60, the substrate 60 is initially conveyed by the first belt 21.

그러다가 어느 정도 이동된 상기 기판(60)의 측면이 경사지게 배치된 상기 제2벨트(22)에 접하면서 도 4(b)에 도시된 바와 같이 상기 기판(60)은 올바르게 정렬되게 된다.Then, the substrate 60 is properly aligned as shown in FIG. 4 (b) while the side of the substrate 60 moved to some extent contacts the inclined second belt 22.

이때, 상기 제2벨트(22)는 상기 제1벨트(21)와 동일한 속도로 회전하기 때문에, 상기 제1벨트(21)에 의해 이송중인 상기 기판(60)이 상기 제2벨트(22)와 접하였을 때 속도차에 따른 마모가 발생되지 않으면서 이동하게 된다.Since the second belt 22 rotates at the same speed as that of the first belt 21, the substrate 60 being conveyed by the first belt 21 is rotated by the second belt 22 When it is touched, it moves without causing wear due to speed difference.

그리고, 상기 제2벨트(22)의 타단 간의 간격이 상기 기판(60)의 폭과 같거나 약간 작기 때문에, 도 4(c)에 도시된 바와 같이 상기 기판(60)은 상기 제2벨트(22)의 타단과 유격이 없이 상기 프레임(10)의 타단에서 흔들림없이 상기 카세트(40)의 내부에 정확하게 투입될 수 있다.4 (c), since the distance between the other ends of the second belt 22 is equal to or slightly smaller than the width of the substrate 60, The cassette 40 can be accurately inserted into the cassette 40 without any other shaking at the other end of the frame 10 without the other end and the clearance of the frame 10.

특히, 상기 제2벨트(22)의 타단 간의 간격이 상기 기판(60)의 폭보다 약간 작은 경우에는, 상기 기판(60)에 의해 상기 제2벨트(22)가 압축되면서 상기 기판(60)을 좀더 흔들림없이 상기 카세트(40)로 이동시킬 수 있다.Particularly, when the interval between the other ends of the second belt 22 is slightly smaller than the width of the substrate 60, the second belt 22 is compressed by the substrate 60, It can be moved to the cassette 40 more easily.

한편, 도 5(a)에 도시된 바와 같이 상기 기판(60)의 측면이 상기 제2벨트(22)의 특정부위에 지속적으로 접하면서 상기 제2벨트(22)의 특정부위가 마모될 수 있다.On the other hand, as shown in FIG. 5 (a), the side surface of the substrate 60 may continuously contact a specific portion of the second belt 22, and a specific portion of the second belt 22 may be worn .

이때에는 도 5(b)에 도시된 바와 같이 상기 승강부재(50)를 이용하여 상기 제2벨트(22)를 승강시킴으로써, 상기 제2벨트(22)의 마모되지 않은 부위에 상기 기판(60)의 측면이 새롭게 접하여 정렬되면서 이송되도록 할 수 있다.5 (b), the second belt 22 is lifted and lowered using the lifting member 50 to move the substrate 60 to a non-worn portion of the second belt 22, The side surfaces of the first and second projecting portions can be transferred while being aligned.

위와 같이 본 발명은 이송되는 기판(60)을 정지시키지 않고 자동으로 올바르게 정렬시켜 카세트(40)에 정확하게 투입시킬 수 있어, 작업속도를 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, the substrate 60 to be transferred can be automatically aligned correctly without stopping it, and can be precisely introduced into the cassette 40, thereby improving the working speed.

또한, 이송되는 기판(60)이 정렬되면서 마모되는 것을 최소화하고, 기판(60)을 정렬하는 제2벨트(22)를 승강시켜 제2벨트(22)를 모다 효율적으로 사용할 수 있다.In addition, it is possible to minimize the abrasion of the transferred substrate 60 while aligning the substrate 60, and to elevate the second belt 22 aligning the substrate 60, thereby efficiently using the second belt 22 more efficiently.

뿐만 아니라, 제2벨트(22)의 타단이 기판(60)의 양측에 접하여 유격없이 이송시키기 때문에, 기판(60)이 카세트(40)에 보다 정확하게 투입되도록 할 수 있다.In addition, since the other end of the second belt 22 is brought into contact with both sides of the substrate 60 without clearance, the substrate 60 can be more accurately inserted into the cassette 40.

본 발명인 기판 정렬 및 투입장치는 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.The substrate sorting and dispensing apparatus of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but can be variously modified and practiced within the scope of the technical idea of the present invention.

10 : 프레임,
20 : 이송부, 21 : 제1벨트, 22 : 제2벨트,
30 : 구동부, 31 : 모터, 32 : 제1구동축, 33 : 제2구동축,
40 : 카세트,
50 : 승강부재,
60 : 기판.10: frame,
20: conveying section, 21: first belt, 22: second belt,
30: drive unit, 31: motor, 32: first drive shaft, 33: second drive shaft,
40: cassette,
50:
60: substrate.

Claims (10)

일단을 통해 평판형상의 기판이 투입되는 프레임과;
상기 프레임에 장착되어 일단을 통해 투입되는 상기 기판을 상기 프레임의 타단방향인 X축방향으로 이동시키는 이송부와;
상기 이송부를 구동시키는 구동부와;
X축방향을 따라 상기 프레임의 타단에 배치되고, 상기 이송부를 통해 X축방향으로 이동되는 다수개의 상기 기판이 삽입 배치되는 카세트;를 포함하여 이루어지되,
상기 이송부는,
상기 프레임의 상부에 X축방향으로 길게 장착되고, Y축방향을 중심으로 회전하여 상부에 배치된 상기 기판을 지지하면서 상기 기판을 상기 카세트 방향으로 이동시키는 제1벨트와;
상기 제1벨트의 양측에서 X축방향으로 길게 배치되고, Z축방향을 중심으로 회전하는 제2벨트;를 포함하여 이루어지고,
상기 구동부는 상기 제1벨트와 제2벨트를 회전시키며,
상기 제2벨트는 외부에서 상기 프레임으로 투입되는 상기 기판의 양측면에 접하여 상기 기판을 정렬하면서 상기 카세트 방향(X축방향)으로 이송시키는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 및 투입장치.A frame into which a plate-shaped substrate is inserted through one end;
A transfer unit mounted on the frame and moving the substrate, which is inserted through one end, in the X axis direction which is the other one direction of the frame;
A driving unit for driving the conveying unit;
And a cassette disposed at the other end of the frame along the X-axis direction and in which a plurality of the substrates moved in the X-axis direction through the transfer unit are inserted and arranged,
The transfer unit
A first belt mounted on an upper portion of the frame in the X-axis direction and rotating about the Y-axis direction to move the substrate in the cassette direction while supporting the substrate disposed on the upper portion;
And a second belt disposed at both sides of the first belt in the X-axis direction and rotating about the Z-axis direction,
The driving unit rotates the first belt and the second belt,
Wherein the second belt is conveyed in the cassette direction (X-axis direction) while aligning the substrates in contact with both side surfaces of the substrate to be fed into the frame from the outside. 청구항1에 있어서,
상기 제1벨트의 양측에 배치된 상기 제2벨트 간의 간격은, 상기 프레임의 일단에서의 간격이 타단에서의 간격보다 더 크게 형성되고,
상기 프레임의 일단에서 상기 제2벨트 간의 간격은 상기 기판의 폭보다 크게 형성된 것을 특징으로 하는 기판 정렬 및 투입장치.The method according to claim 1,
Wherein the interval between the second belts disposed on both sides of the first belt is larger than the interval at one end of the frame larger than the interval at the other end,
Wherein an interval between the second belts at one end of the frame is greater than a width of the substrate. 청구항2에 있어서,
상기 제2벨트는 상기 프레임의 일단에서 타단으로 갈수록 상기 제1벨트에 인접한 방향으로 경사지게 배치된 것을 특징으로 하는 기판 정렬 및 투입장치.The method of claim 2,
Wherein the second belt is arranged to be inclined in a direction adjacent to the first belt from one end to the other end of the frame. 청구항2에 있어서,
상기 프레임의 타단에서 상기 제2벨트 간의 간격은 상기 기판의 폭과 같은 것을 특징으로 하는 기판 정렬 및 투입장치.The method of claim 2,
And the distance between the second belts at the other end of the frame is equal to the width of the substrate. 청구항2에 있어서,
상기 프레임의 타단에서 상기 제2벨트 간의 간격은 상기 기판의 폭보다 작되,
상기 제2벨트는 탄성재질로 이루어져 상기 기판의 양측면에 접하여 압축되는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 및 투입장치.The method of claim 2,
Wherein an interval between the second belts at the other end of the frame is smaller than a width of the substrate,
Wherein the second belt is made of an elastic material and is compressed in contact with both sides of the substrate. 청구항1에 있어서
상기 제1벨트와 제2벨트의 회전속도는 동일한 것을 특징으로 하는 기판 정렬 및 투입장치.Claim 1
Wherein the rotation speed of the first belt and that of the second belt are the same. 청구항6에 있어서,
상기 구동부는,
모터와;
Y축방향으로 배치되어 상기 모터에 의해 회전하는 제1구동축과;
Z축방향으로 배치되어 상기 제1구동축과 직교하여 결합되는 제2구동축;을 포함하여 이루어지되,
상기 제1구동축은 상기 제1벨트를 회전시키고,
상기 제2구동축은 상기 제2벨트를 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 및 투입장치.The method of claim 6,
The driving unit includes:
A motor;
A first drive shaft disposed in the Y-axis direction and rotated by the motor;
And a second driving shaft disposed in the Z-axis direction and coupled to the first driving shaft at right angles,
The first drive shaft rotates the first belt,
And the second drive shaft rotates the second belt. 청구항1에 있어서,
X축방향으로 길게 배치된 상기 제2벨트는 일단 또는 타단이 Y축방향으로 이동 가능하게 상기 프레임에 장착된 것을 특징으로 하는 기판 정렬 및 투입장치.The method according to claim 1,
And the second belt arranged long in the X-axis direction is mounted on the frame such that one end or the other end of the second belt is movable in the Y-axis direction. 청구항1에 있어서,
상기 제2벨트를 Z축방향으로 이동시키는 승강부재를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 정렬 및 투입장치.The method according to claim 1,
Further comprising an elevating member for moving the second belt in the Z-axis direction. 청구항9에 있어서,
상기 승강부재는 상기 기판의 이송량이 미리 설정된 기준량을 초과하면 상기 제2벨트를 미리 설정된 일정 높이만큼 승강시키는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 및 투입장치.

The method of claim 9,
Wherein the elevating member raises and lowers the second belt by a predetermined height when the amount of conveyance of the substrate exceeds a predetermined reference amount.

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