KR20140100893A - Substrate processing apparatus - Google Patents

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KR20140100893A
KR20140100893A KR1020140010075A KR20140010075A KR20140100893A KR 20140100893 A KR20140100893 A KR 20140100893A KR 1020140010075 A KR1020140010075 A KR 1020140010075A KR 20140010075 A KR20140010075 A KR 20140010075A KR 20140100893 A KR20140100893 A KR 20140100893A
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KR1020140010075A
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토루 나루오
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

The objective of this present invention is to provide a substrate processing apparatus that is provided with an adsorption reversal device that is capable of shortening the length of operation time from substrate reversal to putting on a table for the subsequent process. For such, the substrate processing apparatus (A) is provided with a scribe device (B) that forms a scribe line on a surface of a substrate (W) and the adsorption reversal device (C) that has an adsorption unit (14) which adsorbs and reverses the scribed substrate (W) and transfers the scribed substrate (W) to a receiving unit for the subsequent process. The adsorption unit (14) of the adsorption reversal device (C) is formed into a comb tooth shape having a plurality of comb tooth portions (14a) formed in sequence in a direction orthogonal to an axial center with an axis of rotation (13) as a base end and the receiving unit is formed to have a plurality of accommodating members (24) which are arranged apart in parallel. The axis of rotation (13) is arranged in the vicinity of the table (2) of the scribe device (B) and the receiving unit (14) so that the comb tooth portions (14a) are inserted into the accommodating members (24) and the substrate (W) on the comb tooth portions (14a) can be put on the accommodating members (24) when the substrate (W) is adsorbed from the table (2) of the scribe device (B) for a reverse rotation motion.

Description

기판 가공 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}[0001] SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS [0002]

본 발명은, 유리, 실리콘, 세라믹, 화합물 반도체 등의 취성 재료(brittle material)로 이루어지는 기판에 분단용의 스크라이브 라인을 가공하거나, 이 스크라이브 라인을 따라 기판을 분단하거나 하는 기판 가공 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate processing apparatus for processing a scribing line for dividing a substrate made of a brittle material such as glass, silicon, ceramic, or compound semiconductor, or dividing the substrate along the scribing line.

종래부터, 테이블 상에 올려놓은 대면적의 마더 기판(mother substrate)에 대하여, 스크라이브 장치에서 커터 휠(스크라이빙 휠(scribing wheel)이라고도 함)을 소정의 스크라이브압을 더한 상태로 전동(rolling)시키거나, 레이저 빔의 조사에 의한 열 변형을 이용하거나 하여, 서로 직교하는 복수조의 평행한 스크라이브 라인을 형성하고, 그 후에, 마더 기판을 흡착 반전 장치에 의해 반전시켜 브레이크 장치의 테이블에 올려놓고, 당해 스크라이브 라인을 형성한 면과는 반대측의 면으로부터 브레이크 바를 눌러 대어 기판을 휘게 함으로써 기판을 분단하여, 단위 제품을 취출하는 방법이, 예를 들면 특허문헌 1 등에서 개시되어 있다.BACKGROUND ART Conventionally, a large-sized mother substrate mounted on a table is rolled in a scribing apparatus in a state of adding a predetermined scribing pressure to a cutter wheel (also referred to as a scribing wheel) A plurality of sets of parallel scribe lines orthogonal to each other are formed by using thermal deformation by irradiation of a laser beam and then the mother substrate is inverted by a suction reversal device and placed on a table of a brake device, A method of separating a substrate by bending a substrate by pressing a brake bar from a surface opposite to a surface on which the scribe line is formed to take out a unit product is disclosed in, for example, Patent Document 1.

또한, 2매의 유리 기판을 접합한 마더 기판을 분단하는 경우, 스크라이브 장치의 테이블 상에 올려놓여진 마더 기판에 대하여, 커터 휠을 전동시킴으로써 기판의 한쪽 면인 A면에 스크라이브 라인을 형성한다. 이어서, 흡착 반전 장치로 기판을 흡착하여 반전시킨 후, 브레이크 장치의 테이블 상에 올려놓고, 기판 A면의 이면이 되는 기판 B면을 브레이크 바 등으로 압압(pushing)하여 기판 A면을 분단한다. 이어서, 상기와 동일하게, 기판 B면에 스크라이브 라인을 형성하고, 기판을 반전시킨 후, 기판 A면을 브레이크 바 등으로 압압하여 기판 B면을 분단한다. 이 후, 분단된 기판을 브레이크 장치로부터 제거하고 다음 공정으로 이행하는 방법이, 예를 들면 특허문헌 2(도 45) 등에서 개시되어 있다.Further, in the case of dividing a mother substrate to which two glass substrates are bonded, a scribe line is formed on the A side, which is one side of the substrate, by driving the cutter wheel to the mother substrate placed on the table of the scribing apparatus. Subsequently, the substrate is adsorbed by the adsorption inversion device and inverted. Then, the substrate is placed on the table of the brake device, and the substrate B surface, which is the back surface of the substrate A surface, is pressed by a brake bar or the like to separate the substrate A surface. Subsequently, similarly to the above, a scribe line is formed on the B surface of the substrate, and after the substrate is inverted, the surface of the substrate A is pressed with a brake bar or the like to separate the B surface of the substrate. Thereafter, a method of removing the divided substrates from the braking device and proceeding to the next step is disclosed in, for example, Patent Document 2 (Fig. 45).

국제공개공보 WO2005/053925호International Publication No. WO2005 / 053925 국제공개공보 WO2002/057192호International Publication No. WO2002 / 057192

상기와 같은 기판의 가공 방법에 있어서, 기판을 반전시키는 데에 이용되는 흡착 반전 장치는, 기판을 흡착하여 반전시키는 흡착판을 구비하고 있다. 그리고, 예를 들면, 스크라이브 장치에서 스크라이브되어 테이블 상에 올려놓여져 있는 마더 기판을 흡착 반전 장치의 흡착판으로 흡착하여 반전시킨 후, 상향이 된 흡착 반전 장치의 흡착판 상에 흡착 지지(holding)되어 있는 기판을, 별도로 설치한 흡착 반송 장치의 흡착판으로 흡착하여 다음 공정, 예를 들면 브레이크 장치의 테이블로 반송하는 등의 수단이 취해지고 있다. 또한 반대로, 스크라이브 장치의 테이블 상에 있는 마더 기판을 흡착 반송 장치의 흡착판으로 흡착하고, 상향에서 대기하고 있는 흡착 반전 장치의 흡착판 상까지 이동하여 인수인도하고, 당해 흡착판을 반전시켜 앞뒤 반전된 기판을 다음 공정인 브레이크 장치의 테이블 상에 올려놓도록 하고 있다.In the method of processing a substrate as described above, the adsorption inverting apparatus used for inverting the substrate has an adsorption plate for adsorbing and reversing the substrate. Then, for example, after the mother substrate scribed in the scribing apparatus and placed on the table is adsorbed by the adsorption plate of the adsorption inverting apparatus and inverted, the substrate held on the adsorption plate of the upward adsorption inverting apparatus Is adsorbed onto a suction plate of a separately installed adsorption conveyance apparatus and conveyed to a next step, for example, a table of a brake apparatus. On the contrary, the mother substrate on the table of the scribing device is sucked by the sucking plate of the sucking and conveying device, the sucking plate of the scraping device is moved to the sucking plate of the sucking inverting device waiting in the upward direction, and the sucking plate is reversed, And is placed on the table of the brake apparatus as the next step.

따라서, 종래의 방법에서는, 스크라이브 장치로부터 마더 기판을 수취하여 반전시키고, 반전시킨 기판을 다음 공정의 테이블 상에 올려놓기 위해, 흡착 반전 장치와는 별도로 흡착 반송 장치를 필요로 하고 있었기 때문에, 장치 구성이 대규모로 되어, 비용이 높아진다는 문제점이 있었다.Therefore, in the conventional method, since the adsorption transport device is required separately from the adsorption inverting device in order to receive the mother substrate from the scribe device and reverse the substrate, and to place the inverted substrate on the table of the next step, There is a problem in that the cost becomes high.

덧붙여, 흡착 반전 장치의 흡착판으로부터 반전된 기판을 다음 공정의 테이블로 인수인도하거나, 혹은, 스크라이브 장치의 테이블로부터 흡착 반전 장치의 흡착판에 기판을 인수인도할 때에 시간이 걸려, 기판의 분단에 필요로 하는 작업 시간이 길어진다는 문제점도 있었다.In addition, it takes time to transfer the substrate inverted from the suction plate of the suction reversal device to the table of the next process, or to take the substrate from the table of the scribing device to the suction plate of the suction reversal device, There is also a problem that the working time is long.

그래서 본 발명은, 상기한 종래 과제를 감안하여, 기판을 반전시켜 다음 공정의 테이블 등의 수취부에 올려놓는 동작을 행할 때에, 종래보다도 간단한 장치 구성이며, 게다가 작업 시간을 단축할 수 있는 흡착 반전 장치를 구비한 기판 가공 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems and it is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for reversing a substrate and placing the substrate on a receiving portion such as a table of a next step, And an object thereof is to provide a substrate processing apparatus provided with an apparatus.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에서는 다음과 같은 기술적 수단을 강구했다. 즉, 본 발명의 기판 가공 장치에서는, 취성 재료 기판을 순차 반송하는 주(主)경로를 제1 방향으로 하고, 상기 주경로의 도중에, 취성 재료 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치와, 스크라이브 장치에 의해 스크라이브된 상기 취성 재료 기판을 흡착하여 반전시키고, 다음 공정의 수취부에 인수인도하는 흡착부를 갖는 흡착 반전 장치를 구비한 기판 가공 장치로서, 상기 흡착 반전 장치의 흡착부는, 회전축을 기단(基端)으로 하여 회전축의 축심으로부터 직교하는 방향으로 연달아 설치된 복수의 빗살부를 갖는 빗살 형상으로, 상기 회전축에 의해 반전 회전 운동 가능하게 형성되어 있으며, 상기 수취부는 간격을 두고 평행으로 배치된 복수의 수용 부재로 형성되고, 상기 흡착부의 회전축은, 상기 제1 방향과 직교하는 방향을 따라 연달아 설치되어 있으며, 상기 흡착부의 빗살부가, 취성 재료 기판을 스크라이브 장치의 테이블로부터 흡착하여 회전축에 의해 반전 회전 운동했을 때에, 상기 수용 부재의 사이에 끼워 넣어져 빗살부 상의 취성 재료 기판을 상기 수용 부재에 올려놓을 수 있도록, 상기 회전축이 스크라이브 장치의 테이블 그리고 상기 수취부의 근방 위치에 배치되어 있는 구성으로 했다.In order to achieve the above object, the present invention takes the following technical means. That is, in the substrate processing apparatus according to the present invention, the scribe device for forming the scribe line on the surface of the brittle material substrate in the first direction with the main path for successively transporting the brittle material substrate, A substrate processing apparatus comprising an adsorption inverting apparatus having an adsorption section for adsorbing and inverting the brittle material substrate scribed by a scribing apparatus and for transferring the adsorbed adsorbent to a receiving section of a next step, wherein the adsorption section of the adsorption inversion apparatus comprises: And a plurality of comb teeth having a plurality of comb teeth arranged in a direction orthogonal to the axis of the rotary shaft as a proximal end of the rotary shaft and being rotatable reversely by the rotary shaft, And the rotary shaft of the suction unit is formed in a direction perpendicular to the first direction Wherein when a comb tooth portion of the attracting portion sucks the brittle material substrate from the table of the scribing device and rotates in reverse by the rotating shaft, the comb teeth portion is sandwiched between the receiving members so that the brittle material substrate on the comb- The rotary shaft is arranged at a position near the table of the scribing apparatus and the receiving section so as to be placed on the receiving section.

본 발명에서는, 흡착 반전 장치의 흡착부가, 기판을 스크라이브 장치의 테이블로부터 흡착하여 회전축에 의해 반전 회전 운동했을 때에, 반전된 기판을, 수용 부재의 상면에 인수인도할 수 있기 때문에, 종래와 같은 기판을 인수인도하기 위한 흡착 반송 장치를 생략할 수 있어 장치 구성이 간략화되고, 설비 비용의 저감화를 도모할 수 있다.According to the present invention, since the attracted portion of the attraction reversing device can attract the substrate from the table of the scribing device and rotate in reverse by the rotation shaft, the inverted substrate can be guided to the upper surface of the housing member, It is possible to omit the adsorption conveying device for delivering the adsorbent, thereby simplifying the structure of the apparatus and reducing the facility cost.

또한, 흡착 반전 장치의 회전축이 스크라이브 장치의 테이블 그리고 수취부의 사이에서, 게다가 이들 부재의 근방에 배치되어 있기 때문에, 흡착부를 반전시키는 것만으로, 기판을 반전시키는 동작과, 반전 후의 기판을 수용부 상에 올려놓는 동작을 동시에 행하는 것이 가능해진다. 이에 따라, 작업 시간을 대폭으로 단축할 수 있다는 효과가 있다.In addition, since the rotation axis of the attraction reversing device is disposed between the table and the receiving portion of the scribing device and further in the vicinity of these members, it is possible to perform the operation of reversing the substrate only by reversing the attracting portion, It is possible to simultaneously carry out the operation of placing it on the screen. Thus, there is an effect that the working time can be remarkably shortened.

본 발명에 있어서, 상기 수취부의 수용 부재는, 흡착부로부터 기판을 수취할 때에, 기판을 수평 자세로 수취할 수 있는 위치에 배치되어 있는 구성으로 하는 것이 좋다. In the present invention, it is preferable that the receiving member of the receiving portion is arranged at a position where the substrate can be received in a horizontal posture when receiving the substrate from the attracting portion.

이에 따라, 기판을 수평인 자세로 수용 부재로 인수인도할 수 있어, 인수인도시에 기판에 흠집이 생기는 것을 미연에 방지할 수 있다.Thus, the substrate can be transferred to the housing member in a horizontal posture, and scratches on the substrate can be prevented from occurring in advance.

본 발명에 있어서, 상기 수취부는, 브레이크 장치의 테이블 상면으로 출몰이 자유롭게 설치된 복수의 수용 부재로 이루어지고, 당해 수용 부재는, 기판의 인수인도시에 돌출 자세로 상기 흡착부의 빗살부의 사이에 위치하도록 형성되어 있는 구성으로 하는 것이 좋다.In the present invention, the receiving portion comprises a plurality of receiving members which are provided so as to freely protrude and retreat from the upper surface of the table of the braking device, and the receiving member is formed so as to be positioned between the comb- .

이에 따라, 기판 인수인도시에, 브레이크 장치의 테이블로부터 돌출된 수용 부재에 효과적으로 인수인도할 수 있음과 함께, 인수인도된 기판은 수용 부재를 강하함으로써 테이블 표면에 올려놓을 수 있고, 다음 브레이크 공정을 계속해서 행할 수 있다.Accordingly, it is possible to effectively take over the receiving member protruding from the table of the braking device to the position of the substrate register, and the substrate which has been taken in can be placed on the table surface by descending the receiving member, .

본 발명에 있어서, 상기 수취부는, 브레이크 장치의 테이블의 일단부(一端部)에서 서로 간격을 두고 평행하게 형성된 복수의 수용 부재로 이루어지고, 기판의 인수인도시에 상기 흡착부의 빗살부가 수용 부재의 사이에 끼워 넣어지도록 형성되어 있는 구성으로 하는 것이 좋다.In the present invention, the receiving portion comprises a plurality of receiving members formed at one end of the table of the braking device and spaced apart from each other at a distance from each other, and the comb- As shown in Fig.

이에 따라, 수용 부재를 승강시키는 기구를 생략할 수 있어, 수취부의 구성을 간단하게 형성할 수 있다.Thus, the mechanism for lifting and lowering the housing member can be omitted, and the structure of the receiving section can be easily formed.

본 발명에 있어서, 상기 수취부는, 복수의 컨베이어 벨트로 이루어지는 수용 부재에 의해 형성되고, 상기 각 컨베이어는, 상기 흡착부의 빗살부의 사이의 간격보다 작은 폭으로 형성되고, 기판 인수인도시에, 상기 흡착부의 빗살부가 각 컨베이어의 사이에 끼워 넣어지도록 형성되어 있는 구성으로 해도 좋다.In the present invention, the receiving portion is formed by a receiving member composed of a plurality of conveyor belts, and each of the conveyors is formed to have a width smaller than the interval between the comb teeth portions of the suction portion, And the comb may be formed to be sandwiched between the conveyors.

이에 따라, 기판 인수인도 후, 컨베이어에 의해 다음 공정까지 기판을 연속하여 반송시킬 수 있다.Thus, after delivery of the substrate is completed, the substrate can be continuously conveyed to the next process by the conveyor.

도 1은 본 발명에 따른 기판 가공 장치의 개략적인 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 기판 가공 장치에 있어서의 스크라이브 장치의 사시도이다.
도 3은 도 1의 기판 가공 장치에 있어서의 흡착 반전 장치의 사시도이다.
도 4는 도 1의 기판 가공 장치에 있어서의 브레이크 장치의 사시도이다.
도 5는 브레이크 장치의 테이블에 형성된 수취부의 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 기판 가공 장치에 의한 작업 공정을 나타내는 설명도이다.
도 7은 수취부의 다른 실시예를 나타내는 사시도이다.
도 8은 도 7의 수취부를 구비한 기판 가공 장치에 의한 작업 공정을 나타내는 설명도이다.
도 9는 수취부의 또 다른 실시예를 나타내는 사시도이다.
도 10은 도 9의 수취부를 구비한 기판 가공 장치에 의한 작업 공정을 나타내는 설명도이다.
1 is a perspective view showing a schematic overall configuration of a substrate processing apparatus according to the present invention.
Fig. 2 is a perspective view of a scribing apparatus in the substrate processing apparatus of Fig. 1. Fig.
3 is a perspective view of the adsorption inversion apparatus in the substrate processing apparatus of FIG.
Fig. 4 is a perspective view of a brake device in the substrate processing apparatus of Fig. 1. Fig.
5 is a sectional view of the receiving portion formed on the table of the braking device.
6 is an explanatory diagram showing a working process by the substrate processing apparatus according to the present invention.
7 is a perspective view showing another embodiment of the receiving portion.
FIG. 8 is an explanatory view showing a work process by the substrate processing apparatus having the receiving portion of FIG. 7;
9 is a perspective view showing another embodiment of the receiving portion.
Fig. 10 is an explanatory view showing a work process by the substrate processing apparatus provided with the receiving section of Fig. 9;

(발명을 실시하기 위한 형태)(Mode for carrying out the invention)

이하, 본 발명에 따른 기판 가공 장치의 상세를, 도 1∼6에서 나타낸 실시예에 기초하여 설명한다.Hereinafter, the details of the substrate processing apparatus according to the present invention will be described with reference to the embodiments shown in Figs.

본 실시예에서 나타내는 기판 가공 장치(A)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 장치(B)와, 흡착 반전 장치(C)와, 브레이크 장치(D)로 구성된다.As shown in Fig. 1, the substrate processing apparatus A shown in this embodiment is constituted by a scribing device B, a suction reversing device C, and a brake device D.

피가공 기판(W)(도 6 참조)은, 스크라이브 장치(B)로부터 흡착 반전 장치(C)를 거쳐 브레이크 장치(D)까지, 제1 방향을 따라 순차 이행되도록 되어 있다. 「제1 방향」이란, 도면에 있어서의 X방향이다. 이 제1 방향을 따른 기판의 이송 경로를, 본 발명에서는 「기판의 주경로」라고 한다.The substrate W to be processed (see Fig. 6) is sequentially moved from the scribing device B to the braking device D via the attraction reversing device C in the first direction. The " first direction " is the X direction in the figure. The transfer path of the substrate along the first direction is referred to as " main path of substrate " in the present invention.

스크라이브 장치(B)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, X방향으로 연달아 설치된 레일(1)을 따라 이동하는 테이블(2)을 구비하고 있으며, 모터에 의해 회전하는 나사축(3)에 의해 구동된다. 또한, 테이블(2)은 상면에 다수의 에어 흡착구멍(도시외)을 구비하고, 이동 스테이지(4) 상에서 모터를 내장하는 회전 구동부(5)에 의해 수평면 내에서 회전 운동할 수 있도록 되어 있다. 또한, 좌우 한쌍의 지주(6, 6)와, 이들 지주(6, 6)에 가교된 Y방향으로 연장되는 가이드(7)를 구비한 빔(8)에 의해 문형(門型)의 지지체가 형성되어 있다. 가이드(7)에는 커터 휠(9)을 갖는 스크라이브 헤드(10)가 가이드(7)를 따라 Y방향으로 이동할 수 있도록 부착되어 있다.As shown in Fig. 2, the scribe device B is provided with a table 2 that moves along a rail 1 provided in the X direction and is driven by a screw shaft 3 rotated by a motor . The table 2 is provided with a plurality of air suction holes (not shown) on its upper surface and is capable of rotating in a horizontal plane by a rotary driving part 5 incorporating a motor on the moving stage 4. [ A gate support is formed by a beam 8 having a pair of pillars 6 on the left and right and a guide 7 extending in the Y direction bridged to the pillars 6, . A scribe head 10 having a cutter wheel 9 is attached to the guide 7 so as to move along the guide 7 in the Y direction.

흡착 반전 장치(C)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 틀(11) 상에서 좌우의 측판(12, 12)에 지지된 Y방향으로 연장되는 회전축(13)과, 회전축(13)과 함께 회전하는 빗살 형상의 흡착부(14)를 구비하고 있다.3, the attraction reversing device C includes a rotation shaft 13 extending in the Y direction supported on the left and right side plates 12, 12 on the frame 11, And has a comb-shaped suction part (14).

빗살 형상의 흡착부(14)는, 회전축(13)을 기단으로 하여 회전축(13)으로부터 직교하는 방향으로 연달아 형성된 복수의 빗살부(14a)에 의해 형성되어 있다. 흡착부(14)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 장치(B)의 테이블(2) 상에 면접하는 위치에서, 후술하는 브레이크 장치(D)의 수취부를 형성하는 수용 부재(24)까지, 회전축(13)과 함께 반전 회전 운동하도록 형성되어 있다. 또한, 흡착부(14)의 빗살부(14a)가 테이블(2) 상에 면접한 자세에 있어서, 빗살부(14a)의 하면에는 다수의 에어 흡착구멍(도시 외)이 형성되어 있다.The comb-shaped suction portion 14 is formed by a plurality of comb teeth 14a formed in a direction perpendicular to the rotation axis 13 with the rotary shaft 13 as a base. 1, the suction unit 14 is provided at a position where it is placed on the table 2 of the scribing device B to the housing member 24 that forms the receiving portion of a later-described braking device D, And is formed so as to rotate reversely together with the rotating shaft (13). A plurality of air suction holes (not shown) are formed on the lower surface of the comb 14a in a posture in which the comb teeth 14a of the suction unit 14 are placed on the table 2.

또한, 회전축(13)은, 스크라이브 장치(B)의 테이블(2)과, 브레이크 장치(D)의 수취부와의 사이에서, 테이블(2) 그리고 수취부에 근접한 위치에 배치되어 있다. 또한, 회전축(13)은 모터를 내장하는 반전 구동부(15)에 의해 구동된다.The rotating shaft 13 is disposed between the table 2 of the scribing apparatus B and the receiving section of the brake apparatus D at a position close to the table 2 and the receiving section. Further, the rotary shaft 13 is driven by a reverse drive unit 15 incorporating a motor.

브레이크 장치(D)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, X방향으로 연장되는 레일(16)을 따라 나사축(17)의 회전 운동에 의해 이동하는 이동 스테이지(18)를 구비하고, 이 이동 스테이지(18)에 다수의 에어 흡착구멍(도시 외)을 갖는 테이블(19)이 부착되어 있다.4, the braking device D is provided with a moving stage 18 which is moved by the rotational motion of the screw shaft 17 along the rail 16 extending in the X direction, 18) is attached with a table 19 having a plurality of air suction holes (not shown).

또한, 좌우 한쌍의 지주(20, 20)와, 이들 지주(20, 20)에 가교되어 Y방향으로 연장되는 빔(21)에 의해 문형의 지지체가 형성되고, 당해 빔(21)에는, Y방향으로 연장되는 판 형상의 브레이크 바(22)가 유체 실린더(23)에 의해 승강 가능하게 부착되어 있다.A columnar support is formed by a pair of left and right columns 20 and a beam 21 which is bridged between the columns 20 and 20 and extends in the Y direction. Shaped brake bar 22 extending upwardly is attached by a fluid cylinder 23 so as to be able to move up and down.

브레이크 장치(D)의 테이블(19)에는, 그의 상면으로부터 돌출된 돌출 자세에서 테이블면과 면일하게 되는 몰입 자세까지 출몰하는 복수의 수용 부재(24)가 형성되어 있으며, 이 수용 부재(24)가, 흡착 반전 장치(C)에 의해 반전된 기판(W)을 흡착부(14)로부터 수취하는 실질적인 수취부를 형성하고 있다.The table 19 of the brake device D is provided with a plurality of receiving members 24 which protrude from the upper surface of the table 19 in a protruding posture up to an immersive posture that becomes a plane with the table surface, , And a substantial receiving portion for receiving the substrate W inverted by the attracting and reversing device C from the attracting portion 14 is formed.

수취부로서의 수용 부재(24)는, 기판(W)의 인수인도시에는 돌출 자세로 상기 흡착부(14)의 빗살부(14a)의 사이에 끼워 넣어지도록 병렬로 배치되어 있으며, 하방에 배치된 유체 실린더(25) 등의 승강 기구(도 5 참조)에 의해 승강하도록 형성되어 있다.The receiving member 24 as the receiving portion is arranged in parallel so as to be sandwiched between the comb teeth 14a of the attracting portion 14 in a protruding posture in the figure of the substrate W, (See Fig. 5) such as the cylinder 25 and the like.

상기한 스크라이브 장치(B) 그리고 브레이크 장치(D)의 테이블(2, 19) 그리고 흡착 반전 장치(C)의 흡착부(14)의 에어 흡착구멍은, 도시는 생략하지만, 배관을 통하여 진공 펌프 등의 에어 흡인 장치에 접속되고, 에어 흡착구멍을 통하여 흡인 에어에 의해 기판(W)을 흡착할 수 있도록 형성되어 있다.The tables 2 and 19 of the scribing device B and the brake device D and the air adsorption holes of the adsorption part 14 of the adsorption inverting device C are connected to a vacuum pump And is formed so that the substrate W can be sucked by the suction air through the air suction hole.

다음으로, 상기의 기판 가공 장치에 의한 기판(W)의 가공 공정을, 도 6을 이용하여 순서대로 설명한다.Next, the processing steps of the substrate W by the above-described substrate processing apparatus will be described in order with reference to Fig.

도 6(a)에 있어서, 스크라이브 장치(B)의 테이블(2) 상에 올려놓여져 있는 기판(W)은, 스크라이브 장치(B)에 의해 그의 상면에 Y방향(도면에 있어서의 전후 방향)을 따른 복수의 스크라이브 라인이 이미 가공된 상태에 있다. 이 스크라이브 라인의 가공은, 테이블(2) 상에 기판(W)을 올려놓은 후, 테이블(2)을 스크라이브 헤드(10)(도 1, 2 참조)의 위치까지 이동시켜 커터 휠(9)을 기판(W)의 표면에 압접시키고, 커터 휠(9)을 Y방향으로 이동시킴으로써 행해진다.6A, the substrate W placed on the table 2 of the scribing device B is moved in the Y direction (the front-rear direction in the figure) on its upper surface by the scribing device B A plurality of scribe lines are already processed. The scribe line is processed by placing the substrate W on the table 2 and then moving the table 2 to the position of the scribe head 10 (see Figs. 1 and 2) Is brought into contact with the surface of the substrate W, and the cutter wheel 9 is moved in the Y direction.

이 테이블(2) 상에 올려놓여진 스크라이브 라인 형성 후의 기판(W)을, 도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 흡착 반전 장치(C)의 흡착부(14)의 빗살부(14a)에서 흡착하여 반전 회전 운동시킨다. 반전 회전 운동된 빗살부(14a)는, 복수 형성된 수용 부재(24)에 끼워 넣어져, 반전하여 상측에 지지한 기판(W)을 수용 부재(24)의 상면으로 인수인도한다. 빗살부(14a)는 기판(W)을 수용 부재(24)로 인수인도한 후에도, 도 6(c)에 나타내는 바와 같이, 기판(W)으로부터 유리(遊離)하는 각도 α까지 회전 운동한다. 이에 따라, 기판(W)을 완전하게 수용 부재(24)의 상면에 남길 수 있다.The substrate W after the formation of the scribe lines placed on the table 2 is adsorbed by the comb teeth 14a of the adsorption unit 14 of the adsorption inverting apparatus C as shown in Fig. Inverse rotational motion. The comb teeth portion 14a which has been rotated in the reverse direction is inserted into a plurality of housing members 24 formed to be inverted and guides the substrate W supported on the upper side to the upper surface of the housing member 24. 6 (c), the comb tooth portion 14a rotates from the substrate W to an angle? Free from the substrate W even after receiving the substrate W by the receiving member 24. Thus, the substrate W can be completely left on the upper surface of the housing member 24.

이어서, 도 6(d), 도 6(e)에 나타내는 바와 같이, 브레이크 장치(D)의 테이블(19)을 이동시켜 빗살부(14a)로부터 떼어 놓은 후, 빗살부(14a)를 다음 기판(W')을 위해 스크라이브 장치(B)측으로 반전 회전 운동시킨다.Subsequently, as shown in Figs. 6 (d) and 6 (e), after the table 19 of the brake unit D is moved and separated from the comb teeth 14a, the comb teeth 14a are moved to the next substrate W 'to the scribing device B side.

브레이크 장치(D)에서는, 기판(W)을 올려놓은 테이블(19)을 브레이크 바(22)(도 1, 4 참조)의 하방까지 이동시켜 브레이크 바(22)를 하동(下動)시켜, Y방향의 스크라이브 라인을 따라 기판(W)을 단책(短冊) 형상으로 브레이크한다. 이 후, 브레이크된 기판(W)은 테이블(19)로부터 제거되게 된다.In the brake device D, the table 19 on which the substrate W is placed is moved to below the brake bar 22 (see Figs. 1 and 4) to move the brake bar 22 downward, The substrate W is braked in a short shape along the scribe line in the direction of the substrate W. Thereafter, the brake wafers W are removed from the table 19.

또한, 빗살부(14a)를 반전시켜 수용 부재(24)의 표면에 기판(W)을 인수인도할 때, 기판(W)이 수용 부재(24)의 표면에 대하여 경사 자세로 접촉하면 기판(W)의 표면을 손상시킬 우려가 있다. 따라서, 기판 인수인도시, 도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 빗살부(14a)의 흡착면이 수평한 자세가 되었을 때, 기판(W)이 수용 부재(24)의 상면으로 인수인도되도록, 수용 부재(24)의 돌출 위치를 미리 설정해 두는 것이 좋다. 이에 따라, 기판(W)을 손상시키는 일 없이 인수인도할 수 있다.When the substrate W comes into contact with the surface of the housing member 24 in an inclined posture when the comb tooth portion 14a is inverted to guide the substrate W to the surface of the housing member 24, There is a fear of damaging the surface of the substrate. 6 (b), when the adsorption surface of the comb tooth 14a assumes a horizontal posture, the substrate W is guided to the upper surface of the containing member 24, It is preferable to set the protruding position of the housing member 24 in advance. Thus, it is possible to deliver the substrate W without damaging the substrate W.

도 7은 본 발명에 있어서의 수취부의 다른 실시예를 나타낸다. 이 실시예에서 수취부는, 브레이크 장치(D)의 테이블(19)의 일단에 빗살 형상으로 가공된 복수의 수용 부재(26)에 의해 형성되어 있다. 수용 부재(26)는 서로 간격을 두고 평행하게 배치되고, 기판(W)의 인수인도시에 상기 흡착부(14)의 빗살부(14a)가 수용 부재(26)의 사이에 끼워 넣어져, 수용 부재(26)의 상면에서 기판(W)을 수평 자세로 수취하도록 형성되어 있다.7 shows another embodiment of the receiving portion in the present invention. In this embodiment, the receiving portion is formed by a plurality of receiving members 26 machined into a comb shape at one end of the table 19 of the braking device D. The housing member 26 is disposed parallel to and spaced from the housing member 26 and the comb teeth 14a of the suction unit 14 are inserted between the housing members 26 in the figure of the substrate W, And is formed to receive the substrate W in the horizontal posture from the upper surface of the substrate 26. [

도 8은, 상기 도 7에 나타낸 실시예에서의 작업 순서를 나타내는 도 6과 동일한 설명도이다.Fig. 8 is an explanatory diagram similar to Fig. 6 showing the working procedure in the embodiment shown in Fig.

앞의 실시예와 동일하게, 테이블(2) 상에 올려놓여진 기판(W)은, 도 8(a), 도 8(b)에 나타내는 바와 같이, 흡착 반전 장치(C)의 흡착부(14)의 빗살부(14a)에서 흡착되어 반전 회전 운동된다. 반전 회전 운동된 빗살부(14a)는, 복수 형성된 수용 부재(26)의 사이에 끼워 넣어져, 기판(W)을 수용 부재(26)의 상면으로 인수인도한다. 빗살부(14a)는 기판(W)을 수용 부재(26)로 인수인도한 후에도, 도 8(c)에 나타내는 바와 같이, 기판(W)으로부터 유리하는 각도 α까지 회전 운동한다.8 (a) and 8 (b), the substrate W placed on the table 2 is moved in the same direction as the adsorption unit 14 of the adsorption inverting apparatus C, And is reversely rotationally moved. The comb teeth portion 14a that has been rotated in the reverse direction is sandwiched between the plurality of housing members 26 to guide the substrate W to the upper surface of the housing member 26. [ The comb tooth portion 14a rotates from the substrate W to the free angle? As shown in Fig. 8 (c) even after receiving the substrate W with the receiving member 26. [

이어서, 도 8(d)에 나타내는 바와 같이, 브레이크 장치(D)의 테이블(19)을 이동시켜 빗살부(14a)로부터 떼어낸 후, 빗살부(14a)를 도 8(e)에 나타내는 바와 같이 스크라이브 장치(B)측으로 반전 회전 운동시킨다.Subsequently, as shown in Fig. 8 (d), the table 19 of the brake unit D is moved and removed from the comb tooth 14a, and then the comb tooth 14a is moved as shown in Fig. 8 (e) And is reversely rotated to the scribing device (B) side.

이 실시예에서는, 기판의 수취부가 되는 수용 부재(26)가, 앞의 실시예에서 나타낸 수용 부재(24)와 같이 상하로 승강하는 기구를 필요로 하지 않기 때문에, 수취부의 구성을 간략화할 수 있다.In this embodiment, since the housing member 26 serving as the receiving portion of the substrate does not require a mechanism for lifting up and down like the housing member 24 shown in the previous embodiment, the structure of the receiving portion can be simplified .

도 9는, 본 발명의 수취부로서의 수용 부재(27)를 복수의 컨베이어 벨트(28)로 구성한 실시예를 나타낸다. 각 컨베이어(27)는, 상기 흡착 반전 장치(C)의 빗살부(14a)의 사이의 간격보다 작은 폭으로 형성되고, 기판 인수인도시에 빗살부(14a)가 각 컨베이어(27)의 사이에 끼워 넣어져, 컨베이어(27)의 상면에서 기판(W)을 수평 자세로 수취하도록 형성되어 있다.Fig. 9 shows an embodiment in which the housing member 27 as the receiving portion of the present invention is constituted by a plurality of conveyor belts 28. Fig. Each of the conveyors 27 is formed to have a smaller width than the interval between the comb teeth 14a of the attraction reversing device C. The comb teeth 14a are sandwiched between the conveyors 27 And is formed so as to receive the substrate W in the horizontal posture from the upper surface of the conveyor 27.

도 10은, 상기 도 9에서 나타낸 실시예의 작업 순서를 나타내는 것이다.FIG. 10 shows a working procedure of the embodiment shown in FIG.

앞의 실시예와 동일하게, 테이블(2) 상에 올려놓여진 기판(W)은, 도 10(a), 도 10(b)에 나타내는 바와 같이, 흡착 반전 장치(C)의 흡착부(14)의 빗살부(14a)에 흡착되어 반전 회전 운동된다. 반전 회전 운동한 빗살부(14a)는, 복수 형성된 컨베이어(28)의 사이에 끼워 넣어져, 기판(W)을 컨베이어(28)의 상면으로 인수인도한다. 빗살부(14a)는 기판(W)을 컨베이어(28)로 인수인도한 후에도, 도 10(c)에 나타내는 바와 같이, 기판(W)으로부터 유리하는 각도 α까지 회전 운동한다.As shown in Figs. 10 (a) and 10 (b), the substrate W placed on the table 2 is held in the adsorption unit 14 of the adsorption inverting apparatus C, And is reversely rotationally moved. The comb teeth 14a which are rotated in reverse rotation are sandwiched between a plurality of conveyors 28 to guide the substrate W to the upper surface of the conveyor 28. [ The comb teeth portion 14a rotates from the substrate W to the free angle? As shown in Fig. 10 (c) even after receiving the substrate W by the conveyor 28. [

이어서, 도 10(d)에 나타내는 바와 같이, 컨베이어(28)에 인수인도된 기판(W)은, 컨베이어(28)에 의해 다음 공정까지 반송되고, 빗살부(14a)는 도 10(e)에 나타내는 바와 같이 스크라이브 장치(B)측으로 반전 회전 운동시킨다.Subsequently, as shown in Fig. 10 (d), the substrate W transferred to the conveyor 28 is conveyed to the next process by the conveyor 28, and the comb 14a is transferred to the next process And is reversely rotated to the scribing device B side as shown in Fig.

이상과 같이, 본 발명에서는, 흡착 반전 장치(C)의 흡착부(14)가, 기판(W)을 스크라이브 장치(B)의 테이블(2)로부터 흡착하여 회전축(13)에 의해 반전 회전 운동했을 때에, 반전된 기판(W)을 수용 부재(24, 26, 27)의 상면으로 인수인도할 수 있기 때문에, 종래와 같이 기판을 인수인도하기 위한 흡착 반송 장치를 생략할 수 있어, 기판 가공 장치(A)를 간략화하는 것이 가능해진다. 또한, 흡착 반전 장치(C)의 회전축(13)이 스크라이브 장치(B)의 테이블(2) 그리고 수용부의 사이에서, 게다가 이들 부재의 근접 위치에 배치되어 있기 때문에, 흡착부(14)를 반전시키는 것만으로, 기판(W)을 반전시키는 동작과, 반전 후의 기판(W)을 수취부 상에 올려놓는 동작을 동시에 행하는 것이 가능해진다. 이에 따라, 작업 시간을 대폭으로 단축할 수 있다.As described above, in the present invention, the adsorption unit 14 of the adsorption inverting apparatus C adsorbs the substrate W from the table 2 of the scribing apparatus B and reversely rotates by the rotation shaft 13 The reversed substrate W can be transferred to the upper surfaces of the housing members 24, 26, 27, so that the suction conveying apparatus for transferring the substrate to the substrate can be omitted, A) can be simplified. Since the rotary shaft 13 of the adsorption inverting device C is disposed between the table 2 and the accommodating portion of the scribing device B and further disposed at a position close to these members, the adsorbing portion 14 is reversed It is possible to simultaneously perform the operation of inverting the substrate W and the operation of placing the substrate W after the inversion on the receiving portion. Accordingly, the working time can be greatly shortened.

이상 본 발명의 대표적인 실시예에 대해서 설명했지만, 본 발명은 반드시 상기 실시 형태에 특정되는 것은 아니다. 예를 들면, 도시는 생략하지만, 흡착 반전 장치(C)의 흡착부(14)를 측판(12)에 대하여 상하 위치 조정 가능하게 형성해도 좋다. 이에 따라, 흡착부(14)를 반전시켜 수취부의 표면으로 기판(W)을 인수인도할 때에, 기판(W)이 수취부의 표면에 대하여 바르게 수평 자세가 되는 위치에 흡착부(14)의 위치를 미세조정할 수 있다.Although the exemplary embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not necessarily limited to the above embodiments. For example, though not shown, the adsorption section 14 of the adsorption inverting device C may be formed so as to be vertically adjustable with respect to the side plate 12. The position of the suction unit 14 is set at a position where the substrate W is positioned in the correct horizontal position with respect to the surface of the receiving unit when the suction unit 14 is reversed to guide the substrate W to the surface of the receiving unit Fine adjustment is possible.

그 외 본 발명에서는, 그 목적을 달성하고, 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 수정, 변경하는 것이 가능하다.In addition, in the present invention, it is possible to appropriately modify or change the scope of the present invention without departing from the scope of the present invention.

본 발명은, 기판 상에 스크라이브 라인을 형성하고, 그 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 기판 가공 장치에 이용된다.The present invention is used in a substrate processing apparatus for forming a scribe line on a substrate and breaking along the scribe line.

A : 기판 가공 장치
B : 스크라이브 장치
C : 흡착 반전 장치
D : 브레이크 장치
W : 기판
2 : 스크라이브 장치의 테이블
9 : 커터 휠
14 : 흡착 반전 장치의 흡착부
14a : 빗살부
19 : 브레이크 장치의 테이블
24, 26, 27 : 수취부로서의 수용 부재
28 : 컨베이어
A: Substrate processing apparatus
B: Scribe device
C: Adsorption inversion device
D: Brake device
W: substrate
2: Table of scribe device
9: Cutter wheel
14: Adsorption section of the adsorption inversion device
14a:
19: Table of brake unit
24, 26, 27: receiving member as a receiving portion
28: Conveyor

Claims (5)

취성 재료 기판을 순차 반송하는 주(主)경로를 제1 방향으로 하고, 상기 주경로의 도중에, 취성 재료 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치와,
스크라이브 장치에 의해 스크라이브된 상기 취성 재료 기판을 흡착하여 반전시키고, 다음 공정의 수취부에 인수인도하는 흡착부를 갖는 흡착 반전 장치를 구비한 기판 가공 장치로서,
상기 흡착 반전 장치의 흡착부는, 회전축을 기단(基端)으로 하여 회전축의 축심으로부터 직교하는 방향으로 연달아 형성된 복수의 빗살부를 갖는 빗살 형상으로, 상기 회전축에 의해 반전 회전 운동 가능하게 형성되어 있으며,
상기 수취부는 간격을 두고 평행하게 배치된 복수의 수용 부재로 형성되고,
상기 흡착부의 회전축은, 상기 제1 방향과 직교하는 방향을 따라 연달아 설치되어 있으며,
상기 흡착부의 빗살부가, 취성 재료 기판을 스크라이브 장치의 테이블로부터 흡착하여 회전축에 의해 반전 회전 운동했을 때에, 상기 수용 부재의 사이에 끼워 넣어져 빗살부 상의 취성 재료 기판을 상기 수용 부재에 올려놓을 수 있도록, 상기 회전축이 스크라이브 장치의 테이블 그리고 상기 수취부의 근방 위치에 배치되어 있는 기판 가공 장치.
A scribe device for forming a scribe line on the surface of the brittle material substrate in the first direction with the main path for successively transporting the brittle material substrate,
There is provided a substrate processing apparatus provided with an adsorption inverting apparatus having an adsorbing portion for adsorbing and inverting the brittle material substrate scribed by a scribing device and delivering the resultant to a receiving portion of a next process,
The adsorption unit of the adsorption inverting apparatus is formed in a comb shape having a plurality of comb teeth portions formed in a direction orthogonal to the axial center of the rotary shaft with the rotary shaft as a base end and being reversibly rotatable by the rotary shaft,
Wherein the receiving portion is formed of a plurality of receiving members arranged in parallel with an interval,
Wherein a rotation axis of the adsorption unit is provided along a direction orthogonal to the first direction,
The comb teeth portion of the attracting portion is sandwiched between the receiving members when the brittle material substrate is adsorbed from the table of the scribing device and is reversely rotated by the rotating shaft so that the brittle material substrate on the comb teeth portion can be placed on the receiving member And the rotary shaft is disposed at a position near the table of the scribing apparatus and the receiving section.
제1항에 있어서,
상기 수취부의 수용 부재는, 흡착부로부터 기판을 수취할 때에, 기판을 수평 자세로 수취할 수 있는 위치에 배치되어 있는 기판 가공 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the receiving member of the receiving portion is disposed at a position where the substrate can be received in a horizontal posture when receiving the substrate from the attracting portion.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 수취부는, 브레이크 장치의 테이블 상면으로 출몰이 자유롭게 형성된 복수의 수용 부재로 이루어지고, 당해 수용 부재는, 기판의 인수인도시에 돌출 자세로 상기 흡착부의 빗살부의 사이에 위치하도록 형성되어 있는 기판 가공 장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the receiving section comprises a plurality of receiving members which are formed on the top surface of the table of the braking device so as to freely protrude and retract and the receiving member is formed to be positioned between the comb- .
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 수취부는, 브레이크 장치의 테이블의 일단부에서 서로 간격을 두고 평행하게 형성된 복수의 수용 부재로 이루어지고, 기판의 인수인도시에 상기 흡착부의 빗살부가 수용 부재의 사이에 끼워 넣어지도록 형성되어 있는 기판 가공 장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the receiving portion comprises a plurality of receiving members formed at one end of the table of the braking device in parallel with each other at a distance from each other, and wherein a comb-like portion of the attracting portion is formed to be sandwiched between the receiving members Device.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 수취부는, 복수의 컨베이어 벨트로 이루어지는 수용 부재에 의해 형성되고, 상기 각 컨베이어는, 상기 흡착부의 빗살부의 사이의 간격보다 작은 폭으로 형성되고, 기판 인수인도시에, 상기 흡착부의 빗살부가 각 컨베이어의 사이에 끼워 넣어지도록 형성되어 있는 기판 가공 장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the receiving portion is formed by a receiving member composed of a plurality of conveyor belts and each of the conveyors is formed to have a smaller width than a space between the comb teeth of the attracting portion, The substrate processing apparatus comprising:
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