KR20180058751A - 조사 장치 및 유체 살균 방법 - Google Patents

조사 장치 및 유체 살균 방법 Download PDF

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KR20180058751A
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테츠미 오치
히데노리 코나가요시
노부히로 토리이
히로키 키우치
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니기소 가부시키가이샤
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Abstract

조사 장치(10)는, PTFE(Polytetrafluoroethylene)로 구성되는 직관(20)과, 직관(20)의 단부(제1단부(22))에 배치되고, 직관(20)의 내부를 향해 자외광을 조사하는 광원(40)을 구비한다. 광원(40)은, 자외광을 발광하는 발광 소자(42)와, 발광 소자(42)로부터의 자외광이 직관(20)의 내벽면(20a)에 75도 이상의 입사각(θ)으로 입사하도록 자외광의 방향을 조정하는 조정 기구(50)를 구비한다.

Description

조사 장치 및 유체 살균 방법
본 발명은, 조사 장치 및 유체 살균 방법에 관한 것이고, 특히, 자외광을 조사하여 유체를 살균하는 기술에 관한 것이다.
자외광에는 살균 능력이 있는 것이 알려져 있고, 의료나 식품 가공 현장 등에서의 살균 처리에 자외광을 조사하는 장치가 사용되고 있다. 또한, 물 등의 유체에 자외광을 조사하는 것에 의해, 유체를 연속적으로 살균하는 장치도 사용되고 있다. 이와 같은 장치로서, 예를 들면, 직관 형태의 금속 파이프로 형성되는 유로의 관단부 내벽에 자외선 LED를 배치한 장치를 들 수 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
일본국 특허공개공보 2011-16074호 공보
직관 형태의 유로 내를 흐르는 유체에 고효율로 자외광을 조사하기 위해서는, 유로 내벽면에서의 자외광 반사율이 높아지는 구조로 하는 것이 바람직하다. 또한, 유로 내를 흐르는 유체에 의해 쉽게 부식하지 않는 재료로 유로 내벽면을 구성하는 것이 바람직하다.
본 발명은 이와 같은 과제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 그 예시적인 일 목적은, 직관 내부로의 자외광의 조사 효율을 높인 조사 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 조사 장치는, PTFE(Polytetrafluoroethylene)로 구성되는 직관과, 직관의 단부에 배치되고, 직관의 내부를 향해 자외광을 조사하는 광원을 구비한다. 광원은, 자외광을 발광하는 발광 소자와, 발광 소자로부터의 자외광이 직관의 내벽면에 75도 이상의 입사각으로 입사하도록 자외광의 방향을 조정하는 조정 기구를 구비한다.
이 실시예에 의하면, PTFE의 내벽면에 75도 이상의 입사각으로 자외광을 입사시키는 것에 의해, 내벽면에 있어서의 자외광의 반사율을 향상시켜 직관의 길이 방향으로 자외광을 효율적으로 가이드할 수 있다. 발명자들의 지견에 의해, PTFE의 표면에 75도 이상의 입사각으로 자외광을 입사시키면, 확산 반사 성분보다 경면 반사 성분이 커지고, 또한, 자외광이 거의 전반사하는 것을 알고 있다. 따라서, 본 실시예에 의하면, PTFE의 내벽면에 있어서 자외광이 투과하거나, 확산 반사가 우위가 되는 것에 의해 광원측으로 자외광이 되돌아오거나 하는 영향을 억제하고, 직관의 길이 방향에 걸쳐 직관 내부의 자외광 강도를 높게 유지할 수 있다. 이에 의해, 직관 내부에 있어서의 자외광의 조사 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 유로를 구성하는 직관으로서 화학적으로 안정한 불소수지인 PTFE를 사용하기 때문에, 장치의 내구성을 향상시킬 수 있다.
조정 기구는, 직관의 내부에 조사되는 자외광의 배광각이 30도 이하가 되도록 자외광의 방향을 조정해도 좋다.
직관은, 직관의 길이가 직관의 지름의 3배 이상이어도 좋다.
광원은, 직관의 내부를 흐르는 유체에 자외광을 조사하여 유체에 살균 처리를 해도 좋다.
본 발명의 다른 실시예는, 유체 살균 방법이다. 이 방법은, PTFE(Polytetrafluoroethylene)로 구성되는 직관의 내부를 흐르는 유체에 자외광을 조사하여 유체에 살균 처리를 하는 공정을 포함한다. 자외광은, 직관의 내벽면에 75도 이상의 입사각으로 입사하는 방향이 되도록 조사된다.
이 실시예에 의하면, PTFE의 내벽면에 75도 이상의 입사각으로 자외광을 입사시키는 것에 의해, 내벽면에 있어서의 자외광의 반사율을 향상시켜 직관의 길이 방향으로 자외광을 효율적으로 가이드할 수 있다. 이에 의해, 직관 내부에 있어서의 자외광의 조사 효율을 높여, 직관 내부를 흐르는 유체에 대한 살균 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 유로를 구성하는 직관으로서 화학적으로 안정한 불소수지인 PTFE를 사용하는 것에 의해, 직관의 내구성을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 의하면, 직관 내부로의 자외광의 조사 효율을 높여 살균 능력을 향상시킬 수 있다.
도 1은 실시예에 따른 조사 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 2는 PTFE판의 반사 특성을 계측하는 양상을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 PTFE판의 반사 특성을 나타내는 그래프이다.
도 4는 비교예에 따른 조사 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 5는 직관 내부의 자외광 강도를 나타내는 그래프이다.
도 6은 변형예에 따른 광원의 구성을 모식적으로 나타내는 단면도이다.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명을 실시예에 대해 상세하게 설명한다. 한편, 설명에 있어서 동일한 요소에는 동일한 부호를 첨부하고, 중복되는 설명을 적절히 생략한다.
도 1은 실시예에 따른 조사 장치(10)의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다. 조사 장치(10)는, 직관(20)과, 접속관(30)과, 광원(40)을 구비한다. 광원(40)은, 직관(20)의 단부(제1단부(22))에 배치되고, 직관(20)의 내부를 향해 자외광을 조사한다. 조사 장치(10)는, 예를 들면, 직관(20)의 내부를 흐르는 물 등의 유체에 자외광을 조사하여 살균 처리를 하기 위해 사용된다.
직관(20)은, 제1단부(22)와, 제2단부(24)와, 윈도(26)와, 제2플랜지(28)를 구비한다. 직관(20)은, 제1단부(22)에서 제2단부(24)를 향해 길이 방향으로 연장되어 있고, 내경(지름)(d)의 3배 이상의 길이(l)를 구비한다. 제1단부(22)에는, 광원(40)으로부터의 자외광을 투과시키기 위한 윈도(26)가 마련된다. 윈도(26)는, 석영(SiO2)이나 사파이어(Al2O3), 비정질의 불소계 수지 등의 자외광의 투과율이 높은 부재로 구성된다. 제2단부(24)에는, 직관(20)을 다른 배관 등에 접속하기 위한 플랜지(제2플랜지(28))가 마련된다.
또한, 제1단부(22)에는, 직관(20)의 길이 방향과 교차하는 방향 또는 직교하는 방향으로 연장되는 접속관(30)이 장착되어 있다. 접속관(30)은, 일단에 플랜지(제1플랜지(32))가 마련되고, 타단에 직관(20)이 장착되어 있다. 직관(20) 및 접속관(30)은, L자 모양의 유로를 형성한다. 예를 들면, 제1플랜지(32)로부터 유입되는 유체는, 접속관(30) 및 직관(20)을 지나 제2플랜지(28)로부터 유출된다. 한편, 유체가 흐르는 방향은 역방향이어도 좋고, 제2플랜지(28)로부터 유입되는 유체가 제1플랜지(32)로부터 유출되도록 구성되어도 좋다.
직관(20) 및 접속관(30)은, 모두 불소화 수지인 PTFE(Polytetrafluoroethylene)로 구성된다. PTFE는, 화학적으로 안정된 재료이며, 내구성, 내열성 및 내약품성에 우수한 재료이다. 또한, PTFE는, 자외광의 반사율이 높은 재료이다. 그 때문에, 직관(20)은, 광원(40)이 발광하는 자외광을 내벽면(20a)에서 반사시켜 직관(20)의 길이 방향으로 자외광을 전반시킬 수 있다.
한편, 직관(20) 및 접속관(30)은, 그 전체가 PTFE로 구성되어 있을 필요는 없고, 적어도 유로를 구성하여 유체와 접촉하는 내벽면이 PTFE로 구성되어 있으면 된다. 예를 들면, 다른 수지 재료 혹은 금속 재료로 구성되는 관의 내면에 PTFE의 라이너를 장착하여 직관(20)이나 접속관(30)을 구성해도 좋다.
광원(40)은, 발광 소자(42)와, 기판(44)과, 조정 기구(50)를 포함한다. 발광 소자(42)는, 자외광을 발광하는 LED(Light Emitting Diode)이고, 그 중심 파장 또는 피크 파장이 약 200nm~350nm의 범위에 포함된다. 발광 소자(42)는, 살균 효율이 높은 파장인 260nm~270nm 부근의 자외광을 발광하는 것이 바람직하다. 이와 같은 자외광 LED로서, 예를 들면, AlGaN을 사용한 것이 알려져 있다.
발광 소자(42)는, 조정 기구(50)와 대향하도록 기판(44)에 장착된다. 기판(44)은, 열전도성이 높은 부재로 구성되고, 예를 들면, 구리(Cu)나 알루미늄(Al) 등이 베이스 재료로서 사용된다. 발광 소자(42)가 발하는 열은, 기판(44)을 통해 방열된다.
발광 소자(42)는, 지향각 또는 배광각이 60도 이상, 90도 이상 또는 120도 이상의 넓은 배광각의 LED이다. 이와 같은 발광 소자(42)로서, 출력 강도가 높은 표면 실장(SMD: surfacemount device)형 LED를 들 수 있다. 발광 소자(42)가 발광하는 자외광은, 조정 기구(50)에 입사되어, 조정 기구(50)에 의해 자외광의 방향이 조정된다.
조정 기구(50)는, 발광 소자(42)로부터의 자외광이 직관(20)의 내벽면(20a)에 75도 이상의 입사각(θ)으로 입사하도록 자외광의 방향을 조정한다. 조정 기구(50)는, 발광 소자(42)가 발광하는 자외광의 배광각을 조정하여, 조정 기구(50)로부터 출사되는 자외광의 배광각(φ)이 30도 이하가 되도록 한다. 또한, 조정 기구(50)는, 조정 기구(50)로부터 출사되는 자외광의 광축 방향이 직관(20)의 길이 방향이 되도록 배치된다. 이와 같은 조정 기구(50)를 사용하여 내벽면(20a)에 입사하는 자외광의 입사각(θ)을 75도 이상으로 하는 것에 의해, 내벽면(20a)에 있어서의 자외광의 반사율을 향상시켜, 직관(20)의 길이 방향에 걸쳐 고강도의 자외광을 전반시킬 수 있다.
조정 기구(50)는, 제1렌즈(51)와, 제2렌즈(52)와, 제3렌즈(53)를 구비한다. 각 렌즈는, 자외광의 투과율이 높은 석영 유리로 구성된다. 발광 소자(42)가 발광하는 자외광은, 제1렌즈(51), 제2렌즈(52), 제3렌즈(53), 윈도(26)의 차례로 투과하고, 직관(20)의 내부에 조사된다. 도시되어 있는 바와 같이, 제1렌즈(51)는 평면 볼록 렌즈이고, 제2렌즈(52)는 양면 볼록 렌즈이고, 제3렌즈(53)는 평면 볼록 렌즈이다. 한편, 조정 기구(50)는, 2장 이하의 렌즈로 구성되어도 좋고, 4장 이상의 렌즈로 구성되어도 좋다. 또한, 조정 기구(50)가 구비하는 각 렌즈는, 도시된 바와 같은 형상의 렌즈여도 좋고, 다른 형상의 렌즈여도 좋다.
이어서, 직관(20)의 내벽면(20a)을 구성하는 PTFE의 반사 특성에 대해 설명한다. PTFE는, 다양한 용도로 범용적으로 이용되고 있는 수지 재료이지만, 심자외광에 대한 정량적인 반사 특성은 그다지 알려져 있지 않다. PTFE는, 수지 재료인 특성상, 입사광의 각도에 따라 반사광의 각도 성분이 달라질 수 있는 특징이 시사되어 있지만, 심자외광을 조사했을 때의 상세한 반사 특성에 대해서는 그다지 알려져 있지 않다. 여기서, 본 발명자들은, 심자외광에 대한 PTFE의 반사 특성을 측정하고, 그 특성을 잘 이용하는 것에 의해, PTFE를 사용한 조사 장치(10)의 광학 특성을 향상시키고자 했다.
도 2는 PTFE판(70)의 반사 특성을 계측하는 양상을 모식적으로 나타내는 도면이다. 자외광을 발광하는 광원(71)으로부터의 입사광(73)은, PTFE판(70)의 표면(70a)에서 투과, 반사 또는 산란한다. 물체 표면에서의 반사는, 일반적으로, 제1경면 반사(specular spike) 성분(76), 제2경면 반사(specular lobe) 성분(77), 확산 반사(diffuse lobe) 성분(78)인 3개로 분류할 수 있는 것이 알려져 있다. 본 발명자들은, 입사광(73)의 입사각(θ1)과 동일한 반사각(θ2)을 구비하는 반사광(74)이나, 입사각(θ1)과 상이한 산란각(θ3)을 구비하는 산란광(75) 등의 강도를 측정기(72)로 계측하는 것에 의해, PTFE판(70)에 관한 이들 3개 성분의 반사 특성을 구했다.
도 2에 도시되는 3개 성분 중, 제1경면 반사 성분(76)은, 표면(70a)에서 반사되어, 경면 반사 방향 θ2로 매우 좁은 각도 범위로 방사되는 매우 강한 반사광을 말한다. 제2경면 반사 성분(77)은, 표면(70a)에서 반사되어, 경면 반사 방향 θ2를 거의 중심으로 하여 확신을 갖고 방사되는 강한 반사광을 말한다. 확산 반사 성분(78)은, PTFE판(70)의 내부에서의 산란을 반복하여 방사되는 반사광을 말하고, 방사광(θ3)에 의존하지 않고 표면(70a)으로부터 등방적으로 방사된다.
도 3은 PTFE판(70)의 반사 특성을 나타내는 그래프이고, 입사광(73)의 입사각(θ1)에 대한 제1경면 반사 성분(76), 제2경면 반사 성분(77) 및 확산 반사 성분(78)의 반사율과, 이들 3개 성분의 반사율을 합한 합계 반사율을 나타낸다. 광원(71)으로서, 파장 λ=280nm의 자외광을 발광하는 LED를 사용했다. 도시되어 있는 바와 같이, 입사각(θ1)이 0도에서 60도까지의 범위에서는, 반사광의 대부분이 확산 반사 성분(78)이고, 제1경면 반사 성분(76) 및 확산 반사 성분(78)의 비율이 작은 것을 알 수 있다. 또한, 합계 반사율이 80% 미만이고, 입사광(73)의 20% 이상이 반사되지 않고 투과한 것을 알 수 있다.
한편, 입사각(θ1)이 60도를 넘어 70도 이상이 되면, 확산 반사 성분(78)의 비율이 줄어들고, 제2경면 반사 성분(77)의 비율이 증가한다. 또한, 합계 반사율이 100%가 되어 입사광(73)의 투과에 의한 손실의 영향이 없어져 간다. 나아가, 입사각(θ1)이 75도 이상이 되면, 확산 반사 성분(78)이 20% 정도 혹은 20% 이하가 되고, 입사광(73)에 80% 정도 혹은 80% 이상이 경면 반사 방향으로 손실 없이 반사되는 것을 알 수 있다. 이 측정 결과로부터, 본 발명자들은, PTFE의 내벽면(20a)에 입사하는 자외광의 입사각(θ)을 75도 이상으로 하면, 반사광의 대부분을 직관(20)의 길이 방향에 전반시켜 더욱 멀리까지 강도가 높은 자외광을 도광할 수 있다고 생각했다.
이어서, 조사 장치(10)의 효과에 대해 비교예를 참조하면서 설명한다. 도 4는 비교예에 따른 조사 장치(110)의 구성을 개략적으로 나타내는 단면도이다. 조사 장치(110)는, 광원(140)에 상술한 조정 기구(50)가 포함되지 않고, 발광 소자(42)가 발광하는 자외광을 그대로 직관(20)의 내부에 조사시키는 구성으로 하고 있는 점에서 상술한 실시예와 상이하다.
광원(140)은, 발광 소자(42)로부터의 자외광을 그대로 직관(20)의 내부에 조사하고 있어, 상술한 실시예에 따른 광원(40)보다 배광각(φ)이 크다. 그 때문에, 광원(140)이 조사되는 자외광의 일부는, 도시되어 있는 바와 같이, 75도보다 작은 입사각(θ4, θ5)으로 직관(20)의 내벽면(20a)에 입사한다. 이와 같은 입사각(θ4, θ5)을 갖는 자외광의 경면 반사 성분은 작고, 입사하는 자외광의 대부분은 확산 반사에 의해 등방적으로 산란되거나, 직관(20)의 내벽을 투과해버린다. 그렇게 되면, 직관(20)의 길이 방향으로 반사되어 가는 성분이 매우 작아져, 직관(20)의 길이 방향에 걸쳐 강도가 높은 자외광을 도광시키기 어려워진다.
도 5는 직관(20)의 내부 자외광 강도를 나타내는 그래프이고, 조정 기구(50)를 구비하는 실시예에 따른 조사 장치(10)에 있어서의 자외광 강도와, 조정 기구(50)를 구비하지 않는 비교예에 따른 조사 장치(110)에 있어서의 자외광 강도를 나타내고 있다. 도 5는 직관(20)의 내경을 d=20mm으로 하여 직관(20)의 길이(l)를 변화시킨 경우의 직관(20)의 중심 위치에서의 자외광 강도를 나타내고 있다.
도시되어 있는 바와 같이, 조정 기구(50)를 구비하지 않는 비교예에 따른 계측 결과에서는, 자외광 강도가 직관(20)의 길이(l)에 따라 서서히 감소하고 있음을 알 수 있다. 이는, 직관(20)의 내벽면(20a)에 있어서 반사가 생길 때마다 직관(20)의 길이 방향을 향하는 성분이 감소해 가기 때문인 것으로 생각된다. 한편, 조정 기구(50)를 구비하는 실시예에 따른 계측 결과에서는, 직관(20)의 길이(l)가 길어져도 소정 이상의 강도가 유지되는 것을 알 수 있다. 특히, 직관(20)의 길이(l)가 내경(d)(20mm)의 3배 이상인 60mm 이상이 되는 범위에서, 비교예보다 실시예에 있어서의 자외광 강도가 유의하게 큰 것을 알 수 있다.
이상의 구성에 있어서, 조사 장치(10)는, PTFE로 구성되는 직관(20)의 내부를 흐르는 유체에 자외광을 조사하여 유체에 살균 처리를 한다. 자외광은, 직관(20)의 내벽면(20a)에 75도 이상의 입사각(θ)으로 입사하는 방향이 되도록 조사된다. 내벽면(20a)에 75도 이상의 입사각(θ)으로 입사하는 자외광은, 내벽면(20a)에 있어서 거의 모든 성분이 반사됨과 함께, 그 대부분의 성분이 경면 반사되어 직관(20)의 길이 방향으로 진행해 간다. 따라서, 직관(20)의 길이 방향을 따라 흐르는 유체에 대해, 그 길이 방향에 걸쳐 강도가 높은 자외광을 조사할 수 있다. 이에 의해, 유체에 강도가 높은 자외광이 작용하는 범위 및 시간을 길게 하여, 유체에 대한 살균 작용을 향상시킬 수 있다.
본 실시예에 의하면, 직관(20)의 내벽에 PTFE를 사용하기 때문에, 알루미늄(Al) 등의 금속 재료를 사용하는 경우에 비해 직관(20)의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 알루미늄은, 자외광 반사율이 높은 재료로 알려져 있지만, 유체로서 물을 사용하는 경우에는, 물과의 접촉에 의해 전식 내지 부식되어, 자외광 반사율이 저하되거나, 위생면에서의 우려가 생기거나 한다. 한편, 본 실시예에 의하면, 화학적으로 안정한 PTFE를 사용하기 때문에, 이와 같은 우려를 억제할 수 있다. 따라서, 본 실시예에 의하면, 자외광의 조사 효율을 높이면서 조사 장치(10)의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 6은 변형예에 따른 광원(240)의 구성을 모식적으로 나타내는 단면도이다. 광원(240)은, 발광 소자(42)와, 기판(44)과, 조정 기구(250)를 포함한다. 비교예에 따른 조정 기구(250)는, 반사형의 구성에 의해 발광 소자(42)로부터의 자외광의 방향을 조정하는 점에서 상술한 실시예와 상이하다. 이하, 상이점을 중심으로 설명한다.
조정 기구(250)는, 반사체(252)를 구비한다. 반사체(252)는, 금속 재료나 수지 재료로 구성되고, 반사면(254)이 자외선 반사율이 높은 재질로 구성된다. 반사체(252)는, 예를 들면, 자외선 반사율이 높은 알루미늄(Al)을 경면 연마한 것으로 구성되고, 반사면(254)이 불화 마그네슘(MgF2)으로 피복된다. 반사체(252)는, PTFE 등의 불소수지 재료로 구성되어도 좋다.
반사체(252)는, 그릇 형상을 구비하고 있고, 오목한 곡면이 되는 반사면(254)을 구비한다. 반사체(252)의 저부 부근에는, 발광 소자(42)를 배치하기 위한 장착 구멍(256)이 마련된다. 반사체(252)는, 발광 소자(42)가 발광하는 자외광의 일부를 반사시켜, 개구부(258)로부터 출사되는 자외광의 배광각이 30도 이내가 되도록 자외광의 방향을 조정한다. 본 변형예에 따른 조정 기구(250)를 상술한 조사 장치에 적용하는 것에 의해, 상술한 실시예와 동일한 효과를 낼 수 있다.
이상, 본 발명을 실시예를 바탕으로 설명했다. 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 다양한 설계 변경이 가능하고, 다양한 변형예가 가능하고, 또한 그러한 변형예도 본 발명의 범위에 있는 것은, 당업자에게 이해되는 바이다.
상술한 실시예에 따른 조사 장치(10)는, 유체에 자외광을 조사하여 살균 처리를 하기 위한 장치로서 설명했다. 변형예에 있어서는, 자외광의 조사에 의해 유체에 포함되는 유기물을 분해시키는 정화 처리에 본 조사 장치를 사용해도 좋다.
상술한 실시예에 따른 조사 장치(10)는, 유체의 일례로서 물 등의 액체에 자외광을 조사하여 살균 처리를 하기 위한 장치로서 설명했다. 변형예에 있어서는, 유체로서 기체를 대상으로 자외광을 조사해도 좋다.
[산업상 이용가능성]
본 발명에 의하면, 직관 내부로의 자외광의 조사 효율을 높여 살균 능력을 향상시킬 수 있다.
10: 조사 장치
20: 직관
20a: 내벽면
40: 광원
42: 발광 소자
50: 조정 기구

Claims (5)

  1. PTFE(Polytetrafluoroethylene)로 구성되는 직관과,
    상기 직관의 단부에 배치되고, 상기 직관의 내부를 향해 자외광을 조사하는 광원을 구비하고,
    상기 광원은, 자외광을 발광하는 발광 소자와, 상기 발광 소자로부터의 자외광이 상기 직관의 내벽면에 75도 이상의 입사각으로 입사하도록 상기 자외광의 방향을 조정하는 조정 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 조사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 조정 기구는, 상기 직관의 내부에 조사되는 자외광의 배광각이 30도 이하가 되도록 상기 자외광의 방향을 조정하는 것을 특징으로 하는 조사 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 직관은, 상기 직관의 길이가 상기 직관의 지름의 3배 이상인 것을 특징으로 하는 조사 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광원은, 상기 직관의 내부를 흐르는 유체에 자외광을 조사하여 상기 유체에 살균 처리를 하는 것을 특징으로 하는 조사 장치.
  5. PTFE(Polytetrafluoroethylene)로 구성되는 직관의 내부를 흐르는 유체에 자외광을 조사하여 상기 유체에 살균 처리를 하는 공정을 포함하고,
    상기 자외광은, 상기 직관의 내벽면에 75도 이상의 입사각으로 입사하는 방향이 되도록 조사되는 것을 특징으로 하는 유체 살균 방법.
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