KR20180056336A - Probe Card Low Leakage Current Measuring Device - Google Patents

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KR20180056336A
KR20180056336A KR1020160160173A KR20160160173A KR20180056336A KR 20180056336 A KR20180056336 A KR 20180056336A KR 1020160160173 A KR1020160160173 A KR 1020160160173A KR 20160160173 A KR20160160173 A KR 20160160173A KR 20180056336 A KR20180056336 A KR 20180056336A
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low leakage
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임창민
문영성
김웅겸
김일중
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주식회사 에스디에이
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Abstract

A probe card low leakage current measuring device is disclosed. A probe card low leakage current measuring device according to an embodiment comprises a body; a card holder formed at an upper portion of the body and fixing the probe card; a plurality of pogo pin connection blocks formed in the card holder in a circumferential direction so as to correspond to the respective channels of the probe card; a relay unit formed inside the body and inspecting each channel of the probe card and controlling the driving of the low current relay according to the control of the channel control unit having received the inspection value to turn on/off a connection with the probe of the probe card; and a channel controller for measuring a low leakage current of the probe card and outputting the measured data. According to the present invention, the maintenance can be simplified by designing the structure of the system as a separated type instead of an integrated type and it is possible to reduce the level of base measurement level to 100 fm due to the PCB optimal design and system shield reinforcement related to the measurement line and the relay part, and minimize fluctuation of measurement value due to external factors.

Description

프로브 카드 저누설전류 측정장치{Probe Card Low Leakage Current Measuring Device}Technical Field [0001] The present invention relates to a probe card low leakage current measuring device,

개시되는 내용은 프로브 카드 저누설전류 측정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프로브 카드의 저누설전류를 측정하여 불량여부를 판단할 수 있는 프로브 카드 저누설전류 측정장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe card low leakage current measuring apparatus, and more particularly, to a probe card low leakage current measuring apparatus capable of measuring a low leakage current of a probe card to determine whether the probe card is defective.

본 명세서에서 달리 표시되지 않는 한, 이 섹션에 설명되는 내용들은 이 출원의 청구항들에 대한 종래 기술이 아니며, 이 섹션에 포함된다고 하여 종래 기술이라고 인정되는 것은 아니다.Unless otherwise indicated herein, the contents set forth in this section are not prior art to the claims of this application and are not to be construed as prior art to be included in this section.

프로브 카드(Probe card)는 특정 반도체 제조 공정(FAB)이 완료된 웨이퍼(Wafer) 상에 있는 각각의 칩(Chip)들을 검사하기 위한 것이다. A probe card is for inspecting each chip on a wafer on which a specific semiconductor manufacturing process (FAB) is completed.

PCB 위에 에폭시(Epoxy)로 고정시킨 니들을 이용하여 각각의 테스트하려는 칩의 패드(Pad)에 접촉시킨 후 테스트 시스템의 전기적 신호를 칩 상에 전달하여 웨이퍼의 양품과 불량품을 구분하는데 사용되는 핵심 장치이다.A core device used to separate the good and defective parts of the wafer by transferring the electrical signals of the test system onto the chip after touching the pad of the chip to be tested with a needle fixed with epoxy on the PCB to be.

종래에는 SDL48의 검사 장비를 이용하여 검사 하였지만 시스템의 릴레이 불량, 접촉 포고핀 파손등으로 인한 교체 등의 유지보수의 문제점이 있었고, 다소 높은 베이스 측정 레벨 및 외부 요인에 의한 측정값 신뢰성 문제를 가지고 있었다.In the past, the test was performed using the test equipment of the SDL 48, but there were problems in maintenance such as relay failure of the system, replacement due to breakage of contact pogo pins, etc., and there was a somewhat high base measurement level and reliability of measured values due to external factors .

한국 등록특허 1557826호.Korean Patent No. 1557826.

개시되는 내용은, 팸토 레벨의 저누설 전류 프로브 카드를 검사할 수 있는 프로브 카드 저누설전류 측정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide a probe card low leakage current measuring device capable of inspecting a low leak current probe card at a low level.

실시예의 목적은, 본체; 본체의 상부에 형성되며 프로브카드를 고정하는 카드홀더; 프로브카드의 각 채널에 대응하도록 카드홀더에 원주방향으로 다수개 형성되며, 분리하여 장착할수 있도록 형성된 포고핀 연결 블록; 본체의 내부에 형성되며, 프로브카드의 각 채널을 검사하고, 검사값을 전송받은 채널 제어부의 제어에 따라 저전류 릴레이의 구동을 제어하여 프로브 카드의 프로브와의 접속을 온/오프하는 릴레이 부; 프로브 카드의 저누설전류(Low Leakage Current)를 측정하고, 측정된 데이터를 출력하는 채널 제어부;를 포함하는 프로브 카드 저누설전류 측정장치에 의해 달성될 수 있다. An object of an embodiment is to provide a display device, A card holder formed on an upper portion of the main body and fixing the probe card; A plurality of pogo pin connection blocks formed in the card holder in the circumferential direction so as to correspond to the respective channels of the probe card, A relay unit formed inside the main body and inspecting each channel of the probe card and controlling the driving of the low current relay under the control of the channel control unit which receives the inspection value to turn on / off connection of the probe card with the probe; And a channel controller for measuring a low leakage current of the probe card and outputting the measured data.

상기 릴레이 부는 커넥터 연결 방식으로 8채널에 대응하는 8개의 포트가 일측에 형성된 PCB로 구성되어 카드형 모듈로 실장되는 것을 특징으로 한다. The relay unit is composed of a PCB having eight ports corresponding to eight channels on one side in a connector connection manner, and is mounted as a card-type module.

상기 릴레이 부는 베이스 측정 레벨 수준을 낮게 하기 위해 PCB 설계시 계측라인 분리되게 형성되고, 신호층이 분리 형성되는 것을 특징으로 한다.The relay unit is formed to separate the measurement line in the PCB design to reduce the level of the base measurement level, and the signal layer is formed separately.

상기 PCB 소재는 DS7409DX인 것을 특징으로 한다.The PCB material is DS7409DX.

상기 릴레이 부는 외부 요인에 의한 측정값 신뢰성을 향상시키기 위해 모듈별 케이스 쉴드를 포함하는 것을 특징으로 한다.The relay unit includes a case shield for each module to improve the reliability of measured values due to external factors.

포고핀 연결 블록은 프로브카드의 각 채널에 대응하도록 카드홀더에 원주방향으로 다수개 형성되며, 분리하여 장착할수 있도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The pogo pin connection block is formed in the card holder so as to correspond to each channel of the probe card in a circumferential direction, and is formed so as to be removably mounted.

포고핀 연결 블록은 끼움부를 갖는 바디와, 바디의 상부 양측으로 돌출 형성되고 통공을 갖는 양측 숄더; 바디의 상단에 돌출 형성되는 제1단턱과, 제1단턱보다 높게 돌출 형성된 제2단턱; 제1단턱의 상부에 돌출 형성되는 쉴드와, 쉴드의 중앙에 돌출된 제1핀; 제2단턱의 상부에 돌출 형성되는 제2핀;을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.The pogo pin connecting block includes: a body having a fitting portion; both side shoulders protruding from both sides of the upper portion of the body and having a through hole; A first step protruding from an upper end of the body; a second step protruding from the first step; A first pin protruding from the center of the shield; And a second pin protruding from an upper portion of the second step.

개시된 실시예에 따르면, 시스템의 구조를 일체형에서 분리형으로 설계 함으로서 유지 보수 부분이 간편해질 수 있고, 계측라인, 릴레이 부 관련 PCB 최적 설계 및 시스템 쉴드 보강으로 인해 베이스 측정 레벨 수준을 100팸토 수준으로 낮추고 외부 요인에 의한 측정값 변동을 최소화 할 수 있는 효과가 있다.According to the disclosed embodiment, the maintenance part can be simplified by designing the structure of the system from an integrated type to a separate type, and the level of the base measurement level is reduced to 100 femtoseconds due to the PCB optimum design and the system shield reinforcement related to the measurement line, There is an effect that the fluctuation of the measurement value due to external factors can be minimized.

도 1은 실시예에 따른 프로브 카드 저누설전류 측정장치를 나타낸 사시도,
도 2는 상기 도 1의 요부 확대 사시도,
도 3은 실시예에 따른 프로브 카드 저누설전류 측정장치의 내부를 보여주는 단면도,
도 4는 실시예에 따른 프로브 카드 저누설전류 측정장치의 포고핀 연결 블록을 나타낸 사시도,
도 5는 실시예에 따른 프로브 카드 저누설전류 측정장치의 릴레이 보드 및 케이스 쉴드를 나타낸 사시도,
도 6은 실시예에 따른 프로브 카드 저누설전류 측정장치의 구성도,
도 7은 실시예에 따른 프로브 카드 저누설전류 측정장치를 이용한 측정 예를 나타낸 도면으로서 채널1의 작동을 나타낸 개념도,
도 8은 실시예에 따른 프로브 카드 저누설전류 측정장치를 이용한 측정 예를 나타낸 도면으로서 채널2의 작동을 나타낸 개념도.1 is a perspective view illustrating a probe card low leakage current measuring apparatus according to an embodiment,
Fig. 2 is an enlarged perspective view of the main part of Fig. 1,
FIG. 3 is a sectional view showing the inside of a probe card low leakage current measuring apparatus according to an embodiment,
FIG. 4 is a perspective view showing a pogo pin connecting block of the probe card low leakage current measuring apparatus according to the embodiment,
5 is a perspective view illustrating a relay board and a case shield of an apparatus for measuring a low leakage current of a probe card according to an embodiment,
6 is a configuration diagram of an apparatus for measuring a low leakage current of a probe card according to an embodiment,
7 is a diagram showing a measurement example using a probe card low leakage current measuring apparatus according to the embodiment,
FIG. 8 is a view showing an example of measurement using a probe card low leakage current measuring apparatus according to the embodiment, and is a conceptual view showing the operation of the channel 2. FIG.

이하 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 토대로 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

하기에서 설명될 실시예는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이며, 이로 인해 본 발명의 기술적인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are intended to provide further explanation of the invention as claimed. It does not mean anything.

또한, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있으며, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있고, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 함을 밝혀둔다. In addition, the sizes and shapes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation, and the terms defined specifically in consideration of the configuration and operation of the present invention may vary depending on the intention or custom of the user, operator It should be noted that the definitions of these terms should be made on the basis of the contents throughout this specification.

첨부된 도면 중에서, 도 1은 실시예에 따른 프로브 카드 저누설전류 측정장치를 나타낸 사시도, 도 2는 상기 도 1의 요부 확대 사시도, 도 3은 실시예에 따른 프로브 카드 저누설전류 측정장치의 내부를 보여주는 단면도, 도 4는 실시예에 따른 프로브 카드 저누설전류 측정장치의 포고핀 연결 블록을 나타낸 사시도, 도 5는 실시예에 따른 프로브 카드 저누설전류 측정장치의 릴레이 보드 및 케이스 쉴드를 나타낸 사시도, 도 6은 실시예에 따른 프로브 카드 저누설전류 측정장치의 구성도, 도 7은 실시예에 따른 프로브 카드 저누설전류 측정장치를 이용한 측정 예를 나타낸 도면으로서 채널1의 작동을 나타낸 개념도, 도 8은 실시예에 따른 프로브 카드 저누설전류 측정장치를 이용한 측정 예를 나타낸 도면으로서 채널2의 작동을 나타낸 개념도이다.1 is an enlarged perspective view of the probe card of FIG. 1, and FIG. 3 is a perspective view of a probe card low leakage current measuring apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 5 is a perspective view showing a relay board and a case shield of the probe card low leakage current measuring apparatus according to the embodiment. FIG. 5 is a perspective view showing the relay board and the case shield of the probe card low leakage current measuring apparatus according to the embodiment. Fig. 6 is a configuration diagram of an apparatus for measuring a low leakage current of a probe card according to an embodiment, Fig. 7 is a diagram showing a measurement example using a probe card low leakage current measuring apparatus according to an embodiment, 8 is a view showing a measurement example using the probe card low leakage current measuring apparatus according to the embodiment, and is a conceptual view showing the operation of the channel 2.

도 1 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 실시예에 따른 프로브 카드 저누설전류 측정장치는, 본체(2); 본체(2)의 상부에 형성되며 프로브카드(100)를 고정하는 카드홀더(4); 프로브카드(100)의 각 채널에 대응하도록 카드홀더(4)에 원주방향으로 다수개 형성되며, 분리하여 장착할수 있도록 형성된 포고핀 연결 블록(6); 본체(2)의 내부에 형성되며, 프로브카드(100)의 각 채널을 검사하고, 검사값을 전송받은 채널 제어부의 제어에 따라 저전류 릴레이의 구동을 제어하여 프로브 카드의 프로브와의 접속을 온/오프하는 릴레이 부(3); 프로브 카드(100)의 저누설전류(Low Leakage Current)를 측정하고, 측정된 데이터를 출력하는 채널 제어부(5);를 포함하여 구성된다. As shown in FIGS. 1 to 8, the probe card low leakage current measuring apparatus according to the embodiment includes a main body 2; A card holder 4 formed on the main body 2 and fixing the probe card 100; A plurality of pogo pin connection blocks 6 formed in the card holder 4 in the circumferential direction so as to correspond to the respective channels of the probe card 100, The probe card 100 is installed in the main body 2 and inspects each channel of the probe card 100 and controls the driving of the low current relay according to the control of the channel controller which receives the inspection value, A relay unit (3) for turning off / on; And a channel controller 5 for measuring a low leakage current of the probe card 100 and outputting the measured data.

본체(2)는 대략 육면체로 이루어져 내부에 공간이 형성되고, 전면 및 후면에는 도어(22)가 형성되어 개폐되도록 하고, 상부는 덮개를 갖는 함체가 형성되며, 함체의 내부에 카드홀더(4)가 형성된다. The body 2 is formed in a substantially hexahedron so that a space is formed therein. A door 22 is formed on the front and rear surfaces of the body 2 to open and close the body. .

본체(2)의 내부에는 릴레이 부(3)와 채널 제어부(5)가 설치된다. A relay unit 3 and a channel control unit 5 are installed inside the main body 2. [

카드홀더(4)는 원주방향으로 다수개가 배열되는 포고핀 연결 블록(6)과, 다수로 배열된 포고핀 연결 블록(6)의 외주연에 등간격으로 복수개 형성되는 클램프(42)로 구성된다. The card holder 4 is constituted by a pogo pin connecting block 6 in which a plurality of pogo pin connecting blocks 6 are arranged in the circumferential direction and a plurality of clamps 42 formed at equal intervals on the outer circumference of a plurality of pogo pin connecting blocks 6 .

클램프(42)는 대략 90도 간격으로 4개가 배치되며, 각 클램프(42)는 손잡이와, 손잡이에 힌지 연결된 가압대 및 손잡이와 가압대를 연결하는 링크로 구성된다. Four clamps 42 are arranged at intervals of about 90 degrees, and each clamp 42 is composed of a handle, a presser bar hinged to the handle, and a link connecting the handle and the presser bar.

따라서 손잡이를 세우면 가압대가 상승하게되고, 손잡이를 눕히면 가압대가 하강하면서 프로브 카드를 가압시켜 고정하게 된다. Therefore, when the handle is placed up, the pressure pad is raised, and when the handle is laid down, the pressure pad descends and the probe card is pressed and fixed.

도 5에 도시된 바와 같이, 릴레이 부(3)는 커넥터 연결 방식으로 8채널에 대응하는 8개의 포트가 일측에 형성된 PCB로 구성되어 카드형 모듈로 실장된다.As shown in FIG. 5, the relay unit 3 is composed of a PCB in which eight ports corresponding to eight channels are formed on one side in a connector connection manner, and is mounted with a card-type module.

상기 릴레이 부(3)는 베이스 측정 레벨 수준을 낮게 하기 위해 PCB 설계시 계측라인이 분리되게 형성되고, 신호층이 분리 형성된다. In order to lower the level of the base measurement level, the relay unit 3 is formed so that the measurement line is separated during the PCB design, and the signal layer is separately formed.

상기 PCB 소재는 상품명 DS7409DX가 사용된다. The PCB material is DS7409DX.

상기 릴레이 부(3)는 외부 요인에 의한 측정값 신뢰성을 향상시키기 위해 모듈별 케이스 쉴드(32)를 포함한다. The relay unit 3 includes a case shield 32 for each module to improve the reliability of measured values due to external factors.

모듈별 케이스 쉴드(32)에는 다수의 슬롯이 형성되고, 각 슬롯에 릴레이 부(3)가 삽입되어 결합됨으로써 릴레이 부(3)의 갯수 조절이 가능하여 프로브 카드의 채널 갯수에 부합되도록 조절할 수 있다. A plurality of slots are formed in the case shield 32 for each module and the number of relay units 3 can be adjusted by inserting the relay unit 3 into each slot so that the number of the relay units 3 can be adjusted to match the number of channels of the probe card .

도 4에 도시된 바와 같이, 포고핀 연결 블록(6)은 프로브카드의 각 채널에 대응하도록 카드홀더에 원주방향으로 다수개 형성되며, 분리하여 장착할수 있도록 형성된다. As shown in FIG. 4, the pogo pin connecting block 6 is formed in the card holder so as to correspond to each channel of the probe card in a circumferential direction, and is formed so as to be separately mountable.

포고핀 연결 블록(6)은 끼움부(62)를 갖는 바디와, 바디의 상부 양측으로 돌출 형성되고 통공을 갖는 양측 숄더(64); 바디의 상단에 돌출 형성되는 제1단턱(65)과, 제1단턱(65)보다 높게 돌출 형성된 제2단턱(66); 제1단턱(65)의 상부에 돌출 형성되는 쉴드(67)와, 쉴드(67)의 중앙에 돌출된 제1핀(68); 제2단턱(66)의 상부에 돌출 형성되는 제2핀(69);을 포함하여 구성된다. The pogo pin connection block 6 comprises a body having an insert 62, both side shoulders 64 protruding from both sides of the body and having a through-hole; A first step 65 protruding from an upper end of the body, a second step 66 protruding higher than the first step 65, A first pin (68) protruding from the center of the shield (67); And a second pin (69) protruding from the top of the second step (66).

제1핀(68) 및 제2핀(69)은 각기 스프링에 지지되어 탄성을 갖도록 하여, 프로브 카드가 안착되었을때 클램프(42)의 가압작동으로 인해 프로브 카드가 가압되면 제1핀(68) 및 제2핀(69)이 내측으로 인입되면서 접지상태가 유지될 수 있도록 하여 가압작동으로 인해 프로브 카드의 손상 방지 및 제1핀(68) 및 제2핀(69)의 손상이 방지된다. The first pin 68 and the second pin 69 are each supported by a spring so as to be resilient so that when the probe card is pressed by the pressing operation of the clamp 42 when the probe card is seated, The first pin 68 and the second pin 69 are prevented from being damaged by the pressing operation and the first pin 68 and the second pin 69 are prevented from being damaged.

이와 같이 구성된 본 실시예의 작용을 설명하면 다음과 같다.The operation of this embodiment will be described as follows.

본체의 덮개를 열고 함체 내의 카드홀더(4)에 프로브 카드(100)를 안착시킨 후 클램프(42)를 잠금 작동시킨다. The cover of the main body is opened and the probe card 100 is placed on the card holder 4 in the housing and then the clamp 42 is locked.

이후 프로브 카드(100)의 저누설전류(Low Leakage Current)를 측정하는 공정이 수행되고, 측정된 데이터를 채널 제어부(5)를 통해 출력하게 된다. Thereafter, a process of measuring a low leakage current of the probe card 100 is performed, and the measured data is output through the channel controller 5.

즉, 도 7을 참조하면, 포고핀 연결 블록(6)의 상부에 프로브카드(100)를 안착한 후 클램프(42)를 잠금작동시켜 고정한다. That is, referring to FIG. 7, the probe card 100 is mounted on the pogo pin connecting block 6, and then the clamp 42 is locked and fixed.

제1핀(68) 및 제2핀(69)은 프로브카드(100)의 채널에 접촉된다. The first pin (68) and the second pin (69) are in contact with the channel of the probe card (100).

채널 제어부(5)를 조작하여 제1채널을 온 시키면, 시그널이 릴레이 부(3)를 통해 인터페이스 보드(120)를 경유하여 포고핀 연결 블록(6)의 제1핀(68)으로 전송되어 프로브카드(100)로 전달된다. The signal is transmitted to the first pin 68 of the pogo pin connecting block 6 via the relay board 3 via the interface board 120 so that the probe pin And is transmitted to the card 100.

시그널(점선으로 표시함)이 제대로 전달되었는지에 대한 데이터는 피씨(300)에 전송되어 기록된다. Data indicating whether the signal (indicated by a dotted line) is properly transmitted is transmitted to the PC 300 and recorded.

도면부호 '52'은 릴레이 콘트롤러이고, '54'은 펨토어미터이다. 이들은 채널 제어부(5)에 포함되는 구성요소이다. Reference numeral 52 denotes a relay controller, and 54 denotes a femtometer. These are constituent elements included in the channel control unit 5.

한편 도 8을 참조하면, 제1핀(68) 및 제2핀(69)은 프로브카드(100)의 채널에 접촉된다. 8, the first pin 68 and the second pin 69 contact the channel of the probe card 100.

채널 제어부(5)를 조작하여 제2채널을 온 시키면, 시그널이 릴레이 부(3)를 통해 인터페이스 보드(120)를 경유하여 포고핀 연결 블록(6)의 제2핀(69)으로 전송되어 프로브카드(100)로 전달된다. The signal is transmitted to the second pin 69 of the pogo pin connecting block 6 via the relay board 3 via the interface board 120 so that the probe is connected to the second pin 69 of the pogo pin connecting block 6, And is transmitted to the card 100.

시그널(점선으로 표시함)이 제대로 전달되었는지에 대한 데이터는 피씨(300)에 전송되어 기록된다. Data indicating whether the signal (indicated by a dotted line) is properly transmitted is transmitted to the PC 300 and recorded.

도면부호 '52'은 릴레이 콘트롤러이고, '54'은 펨토어미터이다. 이들은 채널 제어부(5)에 포함되는 구성요소이다. Reference numeral 52 denotes a relay controller, and 54 denotes a femtometer. These are constituent elements included in the channel control unit 5.

비록 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 청구의 범위에 속함은 자명하다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the invention, and all such changes and modifications are intended to be within the scope of the appended claims. It is self-evident.

2 : 본체 3 : 릴레이 부
4 : 카드홀더 5 : 채널 제어부
6 : 포고핀 연결 블록 2: Main body 3: Relay section
4: Card holder 5: Channel control part
6: Pogo pin connection block

Claims (7)

본체;
본체의 상부에 형성되며 프로브카드를 고정하는 카드홀더;
프로브카드의 각 채널에 대응하도록 카드홀더에 원주방향으로 다수개 형성되며, 분리하여 장착할수 있도록 형성된 포고핀 연결 블록;
본체의 내부에 형성되며, 프로브카드의 각 채널을 검사하고, 검사값을 전송받은 채널 제어부의 제어에 따라 저전류 릴레이의 구동을 제어하여 프로브 카드의 프로브와의 접속을 온/오프하는 릴레이 부;
프로브 카드의 저누설전류(Low Leakage Current)를 측정하고, 측정된 데이터를 출력하는 채널 제어부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 저누설전류 측정장치. main body;
A card holder formed on an upper portion of the main body and fixing the probe card;
A plurality of pogo pin connection blocks formed in the card holder in the circumferential direction so as to correspond to the respective channels of the probe card,
A relay unit formed inside the main body and inspecting each channel of the probe card and controlling the driving of the low current relay under the control of the channel control unit that receives the inspection value to turn on / off connection with the probe of the probe card;
A channel controller for measuring a low leakage current of the probe card and outputting measured data;
Wherein the probe card low leakage current measuring apparatus comprises: 제 1항에 있어서,
상기 릴레이 부는 커넥터 연결 방식으로 8채널에 대응하는 8개의 포트가 일측에 형성된 PCB로 구성되어 카드형 모듈로 실장되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 저누설전류 측정장치. The method according to claim 1,
Wherein the relay unit is composed of a PCB having eight ports corresponding to eight channels on one side in a connector connection manner, and is mounted with a card-type module. 제 1항에 있어서,
상기 릴레이 부는
베이스 측정 레벨 수준을 낮게 하기 위해 PCB 설계시 계측라인이 분리되게 형성되고, 신호층이 분리 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 저누설전류 측정장치. The method according to claim 1,
The relay unit
Wherein the measurement line is formed to be separated when the PCB is designed so as to lower the level of the base measurement level, and the signal layer is separately formed. 제 1항에 있어서,
상기 릴레이 부는 다수의 슬롯이 형성된 모듈별 케이스 쉴드에 결합되며, 릴레이 부의 갯수 조절이 가능하도록 한 것을 특징으로 하는 프로브 카드 저누설전류 측정장치. The method according to claim 1,
Wherein the relay unit is coupled to a case shield of each module having a plurality of slots, and the number of the relay units can be adjusted. 제 1항에 있어서,
상기 포고핀 연결 블록은
프로브카드의 각 채널에 대응하도록 카드홀더에 원주방향으로 다수개 형성되며, 분리하여 장착할수 있도록 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 저누설전류 측정장치. The method according to claim 1,
The pogo pin connection block
Wherein a plurality of probe cards are formed in the card holder in a circumferential direction so as to correspond to the respective channels of the probe card, and the probe card can be separately mounted. 제 5항에 있어서,
상기 포고핀 연결 블록은
끼움부를 갖는 바디와,
바디의 상부 양측으로 돌출 형성되고 통공을 갖는 양측 숄더;
바디의 상단에 돌출 형성되는 제1단턱과, 제1단턱보다 높게 돌출 형성된 제2단턱;
제1단턱의 상부에 돌출 형성되는 쉴드와, 쉴드의 중앙에 돌출된 제1핀;
제2단턱의 상부에 돌출 형성되는 제2핀;
을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 카드 저누설전류 측정장치. 6. The method of claim 5,
The pogo pin connection block
A body having a fitting portion,
Both side shoulders protruding from both sides of the upper portion of the body and having a through hole;
A first step protruding from an upper end of the body; a second step protruding from the first step;
A first pin protruding from the center of the shield;
A second pin protruding from an upper portion of the second step;
Wherein the probe card low leakage current measuring device comprises: 제 6항에 있어서,
상기 제1핀 및 제2핀은 각기 스프링에 지지되어 탄성을 갖도록 한 것을 특징으로 하는 프로브 카드 저누설전류 측정장치. The method according to claim 6,
Wherein the first pin and the second pin are respectively supported by a spring to have elasticity.
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