KR20140135055A - Probe card pin examination system and apparatus and method - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 프로브 카드 핀 검사 시스템 및 그 장치와 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 인터페이스 장치가 프로브 카드의 각 채널의 식별자(예: 채널 번호 또는 채널 ID) 정보를 가지고 있어 입력단자로 프로브 카드의 어느 한 핀을 찍으면 그 핀의 채널 식별자 정보를 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치(예: PC)에 알려줄 수 있도록 하고, 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치(예: PC)는 이를 가지고 어떤 핀이 접촉되었는지를 사용자에게 알려 줌과 더불어, 현재 검사할 프로브 카드 채널 맵(map) 데이터와 비교하여 오픈, 쇼트, 크로스(Open, Short, Cross) 등의 핀 검사 결과를 알려줄 수 있도록 하는, 프로브 카드 핀 검사 시스템 및 그 장치와 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a probe card pin inspecting system, and more particularly, to a probe card pin inspecting system, and more particularly to a probe card pin inspecting system, When a pin is shot, the channel identifier information of the pin can be notified to the probe card pin inspecting information processing device (for example, PC), and the probe card pin inspecting information processing device (for example, PC) And a probe card pin inspection system (not shown) for informing the user of the result of pin inspection such as open, short, cross (Open, Short, Cross) by comparing with the probe card channel map data to be inspected at present. And a device and a method thereof.
일반적으로, RSF의 품질부에서는 프로브 카드의 각 핀에 대한 오픈, 쇼트, 크로스(Open, Short, Cross)를 검사하기 위해 멀티 메타를 사용하여 사람이 수동으로 핀을 하나씩 검사한다. In general, the Quality Department of the RSF uses a multimeter to manually inspect the pins one by one to inspect the open, short, and cross (Cross, Open, Short, Cross)
그러나, 이 공정은 상당히 힘든 작업으로 3명의 인력이 필요로 한다. However, this process is a very difficult task and requires three people.
즉, 핀 이름을 불러 주는 사람 1명, 인쇄회로기판(PCB) 위에 그 핀에 해당하는 패드(Pad)에 멀티 메타의 한쪽 단자를 접촉하는 사람 1명, 지정된 핀에 해당하는 니들(핀)에 멀티 메타 또 다른 한쪽 단자를 접촉하는 사람 1명이 필요하다. One person who calls the pin name. One person who contacts one terminal of the multimeter to the pad corresponding to that pin on the printed circuit board (PCB). Multimeter One person who touches the other terminal is required.
따라서, 이 공정을 간소화하여 생산성을 높일 수 있는 장비가 필요로 한다. Therefore, there is a need for equipment that can simplify this process and increase productivity.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 개발된 것으로, 인터페이스 장치가 프로브 카드의 각 채널의 식별자(예: 채널 번호 또는 채널 ID) 정보를 가지고 있어 입력단자로 프로브 카드의 어느 한 핀을 찍으면 그 핀의 채널 식별자 정보를 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치(예: PC)에 알려줄 수 있도록 하고, 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치(예: PC)는 이를 가지고 어떤 핀이 접촉되었는지를 사용자에게 알려 줌과 더불어 현재 검사할 프로브 카드 채널 맵(map) 데이터와 비교하여 오픈, 쇼트, 크로스(Open, Short, Cross) 등의 핀 검사 결과를 알려줄 수 있도록 하는, 프로브 카드 핀 검사 시스템 및 그 장치와 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been developed in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a probe card in which when an interface device has an identifier (e.g., channel number or channel ID) And the probe card pin inspection information processing device (for example, PC) notifies the user of which pin has been contacted, and in addition, the probe card pin inspection information processing device The present invention provides a probe card pin inspection system and a device and a method thereof for enabling a pin check result such as open, short, cross (Open, Short, Cross) and the like to be compared with a probe card channel map data to be inspected at present It has its purpose.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 프로브 카드 핀 검사 시스템은,According to an aspect of the present invention, there is provided a probe card pin inspection system,
프로브 카드 핀 검사 정보처리장치를 구비한 프로브 카드 핀 검사 시스템에 있어서, 프로브 카드의 채널 개수에 상응하여 그 개수가 구비된 서로 다른 위치의 다수의 포고 핀 및, 입력 단자와 특정 위치의 포고 핀 접촉시, 접촉된 해당 포고 핀의 채널 식별자를 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치로 출력하는 인터페이스 장치를 포함하고, 상기 인터페이스 장치는 상기 다수의 포고 핀 각각에 자리가 일대일 매핑되어, 입력 단자와 특정 위치의 포고 핀 접촉시, 상기 접촉된 포고 핀에 매핑된 자리에서 접촉 신호를 인가하는 시프트 레지스터를 구비한 신호 입력부 및, 상기 시프트 레지스터의 각 자리마다 서로 다른 채널 식별자를 매핑시키고, 상기 신호 입력부가 접촉 신호를 인가한 자리에 매핑된 채널 식별자를 상기 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치로 출력하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
A probe card pin inspection system having probe card pin inspection information processing apparatus, comprising: a plurality of pogo pins at different positions corresponding to the number of channels of the probe card; and a plurality of pogo pins And an interface device for outputting a channel identifier of the corresponding pogo pin contacted to the probe card pin inspecting information processing device, wherein the pogo pin is mapped to one of the plurality of pogo pins, A signal input unit having a shift register for applying a contact signal at a position mapped to the pogo pin when the pogo pin is touched; and a signal input unit for mapping different channel identifiers for each position of the shift register, To the probe card pin inspection information processing device And a control unit for outputting the control signal.
바람직하게, 상기 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치는 프로브 카드의 각 채널별로 서로 다른 검사 순서가 설정된 프로브 카드 채널 맵 데이터를 구비하고, 상기 제어부로부터 출력되는 채널 식별자의 출력 순서가 해당되는 채널의 설정 검사 순서와 상이한 경우 크로스(cross) 된 것으로 판별하여 사용자에게 알려주는 것을 특징으로 한다.
Preferably, the probe card pin inspecting information processing apparatus includes probe card channel map data in which different inspection orders are set for each channel of the probe card, and the output order of the channel identifiers output from the controller is set And if it is different from the order, it is determined that it is crossed and the user is informed.
그리고, 상기 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치는 상기 프로브 카드 채널 맵 데이터에 연결된 채널 정보를 더 구비하고, 상기 제어부로부터 다수의 채널 식별자가 더불어 출력되는 경우, 상기 더불어 출력되는 채널 식별자가 연결된 채널들이고 그 더불어 출력되는 채널 식별자의 개수가 설정 개수보다 적은 경우 오픈(open) 된 것으로 판별하여 사용자에게 알려주고, 상기 더불어 출력되는 채널 식별자가 연결된 채널들이고, 그 더불어 출력되는 채널 식별자의 개수가 설정 개수보다 많은 경우 쇼트(short) 된 것으로 판별하여 사용자에게 알려주는 것을 특징으로 한다.
The probe card pin inspection information processing apparatus further includes channel information connected to the probe card channel map data. When a plurality of channel identifiers are output from the control unit, If the number of output channel identifiers is less than the set number, it is determined that the channel identifiers are open and the user is informed. If the number of the channel identifiers output together with the channel identifiers output is larger than the set number It is determined that it is short, and the user is notified.
상기 목적을 달성하기 위한 또 다른 본 발명에 따른 프로브 카드 핀 검사 장치는,According to another aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting a probe card pin,
프로브 카드의 채널 개수에 상응하여 그 개수가 구비된 서로 다른 위치의 다수의 포고 핀 각각에 자리가 일대일 매핑되어, 입력 단자와 특정 위치의 포고 핀 접촉시, 상기 접촉된 포고 핀에 매핑된 자리에서 접촉 신호를 인가하는 시프트 레지스터를 구비한 신호 입력부 및, 상기 시프트 레지스터의 각 자리마다 서로 다른 채널 식별자를 매핑시키고, 상기 신호 입력부가 접촉 신호를 인가한 자리에 매핑된 채널 식별자를 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치로 출력하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
The positions of the pogo pins are mapped to each of the plurality of pogo pins at different positions corresponding to the number of channels of the probe card, and when the pogo pin at a specific position contacts the input terminal, A signal input unit having a shift register for applying a contact signal and a channel identifier mapped to a position where the signal input unit applies a contact signal for each position of the shift register, And outputting it to the processing device.
상기 목적을 달성하기 위한 또 다른 본 발명에 따른 프로브 카드 핀 검사 방법은,According to another aspect of the present invention, there is provided a method for inspecting a probe card pin,
프로브 카드의 채널 개수에 상응하여 그 개수가 구비된 서로 다른 위치의 다수의 포고 핀과, 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치 및, 상기 다수의 포고 핀과 상기 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치 사이의 인터페이스 장치를 구비한 프로브 카드 핀 검사 시스템의 프로브 카드 핀 검사 방법에 있어서, 상기 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치가 입력 단자와 특정 위치의 포고 핀 접촉시, 접촉된 해당 포고 핀의 채널 식별자를 상기 인터페이스 장치로부터 입력받는 단계 및, 상기 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치가 상기 입력받은 채널 식별자를 화면에 표시하여 사용자에게 알려주는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
A plurality of pogo pins arranged at different positions corresponding to the number of channels of the probe card; a probe card pin inspection information processing device; and an interface device between the plurality of pogo pins and the probe card pin inspection information processing device Wherein the probe card pin inspecting information processing apparatus of the probe card pin inspecting information processing system comprises: a probe card pin inspecting information processing unit for inspecting a probe card pin inspecting system of the probe card pin inspecting system, And displaying the input channel identifier on the screen to inform the user of the probe card pin inspection information processing apparatus.
바람직하게, 상기 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치는 프로브 카드의 각 채널별로 서로 다른 검사 순서가 설정된 프로브 카드 채널 맵 데이터를 구비하고, 상기 인터페이스 장치로부터 입력된 채널 식별자의 출력 순서가 해당되는 채널의 설정 검사 순서와 상이한 경우 크로스(cross) 된 것으로 판별하여 사용자에게 알려주는 단계를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
Preferably, the probe card pin inspecting information processing device includes probe card channel map data having different inspection orders set for each channel of the probe card, and the output order of the channel identifiers input from the interface device is set to a corresponding channel And if it is different from the inspection order, it is determined that it is crossed and the user is informed.
그리고, 상기 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치는 상기 프로브 카드 채널 맵 데이터에 연결된 채널 정보를 더 구비하고, 상기 인터페이스 장치로부터 다수의 채널 식별자가 더불어 입력되는 경우, 상기 더불어 출력되는 채널 식별자가 연결된 채널들이고 그 더불어 출력되는 채널 식별자의 개수가 설정 개수보다 적은 경우 오픈(open) 된 것으로 판별하고, 상기 더불어 출력되는 채널 식별자가 연결된 채널들이고, 그 더불어 출력되는 채널 식별자의 개수가 설정 개수보다 많은 경우 쇼트(short) 된 것으로 판별하는 단계 및, 상기 판별 결과를 화면에 표시하여 사용자에게 알려주는 단계를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
The probe card pin inspecting information processing apparatus further includes channel information connected to the probe card channel map data, and when a plurality of channel identifiers are input from the interface apparatus, And when the number of output channel identifiers is less than the set number, it is determined that the channel identifiers are open. If the number of the channel identifiers to be outputted is more than the set number, short), and displaying the result of the determination on the screen to notify the user of the result.
본 발명은 다음과 같은 효과가 있다.The present invention has the following effects.
1. 기계적 릴레이가 아닌 반도체 게이트(Gate)를 이용하기 때문에 릴레이보다 100배 이상 빠르다(한 채널당 약 10usec).1. It uses a semiconductor gate (not a mechanical relay), so it is 100 times faster than a relay (about 10usec per channel).
2. 릴레이 사용시 장비 수명이 있는 반면, 반도체 게이트(Gate)는 반영구적임2. When the relay is used, the life of the equipment is long, but the semiconductor gate is semi-permanent.
3. 핀 검사가 시작되면 사용자는 핀만 접촉하면 되므로 사용하기 쉽다. 3. Once the pin test is started, the user can easily touch the pin.
4. 검사 인원이 1/3으로 줄어듦 --> 인건비 감소4. Reduced inspection number to 1/3 -> Reduce labor cost
5. 다양한 분야에 활용할 수 있어 상품성 가치가 있음(신호 입력 보드로 활용)5. Possible to use for various fields and have commercial value (used as signal input board)
6. RS232로 PC와 통신하기 때문에 인터페이스(Interface) 보드가 필요 없으며, 드라이버(Driver)를 따로 개발하지 않아도 된다.6. Because RS232 communicates with the PC, no interface board is required and drivers need not be developed separately.
도 1은 본 발명에 따른 프로브 카드 핀 검사 장비의 구성을 도시한 도면
도 2는 본 발명에 따른 프로브 카드 핀 검사 시스템의 구성을 도시한 도면
도 3은 본 발명에 따른 프로브 카드 핀 검사 시스템의 동작을 순서대로 도시한 플로우 챠트1 is a view showing a configuration of a probe card pin inspecting apparatus according to the present invention;
2 is a view showing a configuration of a probe card pin inspection system according to the present invention;
FIG. 3 is a flow chart showing the operation of the probe card pin inspection system according to the present invention in order.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
다만, 이하에서 설명되는 실시예는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명을 쉽게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것에 불과하며, 이로 인해 본 발명의 보호범위가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.It is to be understood, however, that the embodiments described below are only for explanation of the embodiments of the present invention so that those skilled in the art can easily carry out the invention, It does not mean anything.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.In order to clearly illustrate the present invention, portions which are not related to the description have been omitted, and like reference numerals have been assigned to similar portions throughout the specification.
명세서 및 청구범위 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 포함한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 포함할 수 있는 것을 의미한다.
Throughout the specification and claims, when a section includes a constituent, it is intended that the inclusion of the other constituent (s) does not exclude other elements unless specifically stated otherwise.
도 1은 본 발명에 따른 프로브 카드 핀 검사 장비를 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 프로브 카드 핀 검사 시스템을 도시한 도면이다.FIG. 1 is a view showing a probe card pin inspecting apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a view showing a probe card pin inspecting system according to the present invention.
도 1과 도 2에 도시된 바와 같이, 본 시스템은 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치(예: PC)를 구비한 프로브 카드 핀 검사 시스템에 있어서, 프로브 카드의 채널 개수(예: 2800개)에 상응하여 그 개수(예: 2800개)가 구비된 서로 다른 위치의 다수의 포고 핀 및, 입력 단자와 특정 위치의 포고 핀 접촉시, 접촉된 해당 포고 핀의 채널 식별자(예: 채널 번호 또는, 채널 ID)를 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치(200)로 출력하는 인터페이스 장치(100)를 포함하여 이루어진 구조이다.
As shown in FIGS. 1 and 2, the present system is a probe card pin inspection system equipped with a probe card pin inspection information processing device (for example, a PC), corresponding to the number of channels (for example, 2800) (For example, a channel number or a channel ID) of a corresponding pogo pin in contact with a pogo pin at a specific position when the pogo pin is in contact with the input terminal at a predetermined position, To the probe card pin inspecting
여기서, 인터페이스 장치(100)는 입력 단자와 특정 위치의 포고 핀 접촉시, 접촉된 해당 포고 핀의 채널 식별자(예: 채널 번호 또는, 채널 ID)를 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치(예: PC)(200)로 출력하는 것이다. 구체적으로는, 상기 다수의 포고 핀 각각에 자리가 일대일 매핑되어, 입력 단자와 특정 위치의 포고 핀 접촉시, 상기 접촉된 포고 핀에 매핑된 자리에서 접촉 신호를 인가하는(예를 들어, 접촉 시 "0", 비 접촉시 "1"을 인가) 시프트 레지스터를 구비한 신호 입력부(101) 및, 상기 시프트 레지스터의 각 자리마다 서로 다른 채널 식별자를 매핑시키고, 상기 신호 입력부(101)가 접촉 신호를 인가한 자리에 매핑된 채널 식별자를 상기 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치(200)로 출력하는 제어부(102)를 포함하여 이루어진 구조이다.The
프로브 카드 핀 검사 정보처리장치(200)는 프로브 카드의 각 채널별로 서로 다른 검사 순서가 설정된 프로브 카드 채널 맵 데이터를 구비하고, 상기 제어부(102)로부터 출력되는 채널 식별자의 출력 순서가 설정 검사 순서와 상이한 경우 크로스(cross) 된 것으로 판별하여 사용자에게 알려준다. 예를 들어, 특정 채널 식별자(예; 채널 2번)의 출력 순서가 2 번째이고, 설정 검사 순서는 3 번째인 경우 크로스(cross) 된 것으로 판별하여 사용자에게 소정의 표시수단을 통해 알려준다. 그리고, 상기 프로브 카드 채널 맵 데이터에 연결된 채널 정보를 더 구비하고, 상기 제어부(102)로부터 다수의 채널 식별자(예: 2번, 3번, 4번)가 더불어 출력되는 경우, 상기 더불어 출력되는 채널 식별자(예: 2번, 3번, 4번)가 연결된 채널들이고 그 더불어 출력되는 채널 식별자의 개수(위의 예에서는 3개)가 설정 개수보다 적은 경우(예를 들어, 연결된 채널의 개수가 2개인 경우) 오픈(open) 된 것으로 판별하여 사용자에게 알려주고, 상기 더불어 출력되는 채널 식별자가 연결된 채널들이고, 그 더불어 출력되는 채널 식별자의 개수가 설정 개수보다 많은 경우(예를 들어, 연결된 채널의 개수가 4개인 경우) 쇼트(short) 된 것으로 판별하여 사용자에게 표시수단을 통해 알려준다. 구체적으로는, 프로브 카드의 각 채널별로 서로 다른 검사 순서가 설정된 프로브 카드 채널 맵 데이터를 저장한 저장부(미도시), 상기 인터페이스 장치(100)의 제어부(102)로부터 출력되는 채널 식별자의 출력 순서가 설정 검사 순서와 상이한 경우 크로스(cross) 된 것으로 판별하여 사용자에게 알려줄 수 있도록 하는 메인 제어부(미도시)를 포함하여 이루어진 구조이다. 그리고, 상기 프로브 카드 채널 맵 데이터에 연결된 채널 정보를 더 구비하고, 상기 메인 제어부는 상기 인터페이스 장치(100)의 제어부(102)로부터 다수의 채널 식별자가 더불어 출력되는 경우, 상기 더불어 출력되는 채널 식별자가 연결된 채널들이고 그 더불어 출력되는 채널 식별자의 개수가 설정 개수보다 적은 경우 오픈(open) 된 것으로 판별하여 사용자에게 알려줄 수 있도록 하고, 상기 더불어 출력되는 채널 식별자가 연결된 채널들이고, 그 더불어 출력되는 채널 식별자의 개수가 설정 개수보다 많은 경우 쇼트(short) 된 것으로 판별하여 사용자에게 표시수단을 통해 알려줄 수 있도록 한다.
The probe card pin inspection
도 3은 본 발명에 따른 프로브 카드 핀 검사 시스템의 동작을 순서대로 도시한 도면이다.FIG. 3 is a sequence diagram illustrating the operation of the probe card pin inspection system according to the present invention.
이하, 도 1, 2의 본 발명에 따른 프로브 카드 핀 검사 시스템의 동작을 도 3을 참조해 설명한다.Hereinafter, the operation of the probe card pin inspection system according to the present invention shown in FIGS. 1 and 2 will be described with reference to FIG.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 시스템은 입력 단자와 특정 위치의 포고 핀 접촉시(S301), 접촉된 해당 포고 핀의 채널 식별자(예: 채널 번호 또는, 채널 ID)를 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치(예: PC)로 출력한다.As shown in FIG. 3, when the system contacts a pogo pin at a specific position with an input terminal (S301), a channel identifier (e.g., a channel number or a channel ID) of the pogo pin in contact with the probe is detected To a device (e.g., a PC).
구체적으로는 다음과 같다. Specifically, it is as follows.
먼저, 신호 입력부는 상기 다수의 포고 핀 각각에 자리가 일대일 매핑되어, 입력 단자와 특정 위치의 포고 핀 접촉시, 상기 접촉된 포고 핀에 매핑된 자리에서 접촉 신호를 인가하는(예를 들어, 접촉 시 "0", 비 접촉시 "1"을 인가) 시프트 레지스터를 구비한다.First, a signal input unit maps a position to each of the plurality of pogo pins one by one to apply a contact signal at a position mapped to the contact pogo pin when a pogo pin at a specific position contacts the input terminal (for example, Quot; 0 "and non-contact" 1 " is applied).
그래서, 예를 들어 입력 단자와 3번째 위치의 포고 핀 접촉시, 상기 접촉된 포고 핀에 매핑된 시프트 레지스터의 해당 자리(예: 3번째 자리)에서 접촉 신호로 "0"을 인가한다(S302).Thus, for example, when the pogo pin at the third position is contacted with the input terminal, "0" is applied as the contact signal at the corresponding position (e.g., the third position) of the shift register mapped to the pogo pin contacted at step S302 .
그러면, 제어부는 상기 시프트 레지스터의 각 자리마다 서로 다른 채널 식별자를 매핑시키고, 상기 신호 입력부가 접촉 신호를 인가한 자리에 매핑된 채널 식별자를 상기 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치로 출력한다(S303).In step S303, the control unit maps different channel identifiers for each position of the shift register, and outputs the channel identifier mapped to the position to which the signal input unit applies the contact signal to the probe card pin inspection information processing apparatus.
예를 들어, 상기 예에서 시프트 레지스터의 3번째 자리에서 접촉 신호를 인가받은 경우, 그 접촉 신호를 인가한 3번째 자리에 매핑된 채널 식별자 예컨대 채널 3번에 관한 정보를 RS232를 통해 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치로 출력한다. For example, in the above example, when a contact signal is applied at the third position of the shift register, the information about the channel ID mapped to the third position applied with the contact signal, for example, channel number 3, And outputs it to the information processing apparatus.
그러면, 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치는 상기 제어부로부터 출력된 채널 식별자 정보(즉, 입력단자와 접촉된 해당 포고 핀의 채널 식별자(예: 채널 번호 또는, 채널 ID))를 표시수단을 통해 사용자에게 알려주게 된다.
Then, the probe card pin inspection information processing apparatus transmits the channel identifier information (i.e., the channel identifier (e.g., channel number or channel ID) of the corresponding pogo pin contacted with the input terminal) to the user via the display means I will inform you.
한편, 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치는 프로브 카드의 각 채널별로 서로 다른 검사 순서가 설정된 프로브 카드 채널 맵 데이터를 구비할 수 있으며, 이 경우 상기 제어부로부터 출력되는 채널 식별자의 출력 순서가 설정 검사 순서와 상이한 경우 크로스(cross) 된 것으로 판별하여 사용자에게 알려준다(S304~S306). Meanwhile, the probe card pin inspection information processing apparatus may include probe card channel map data in which different inspection orders are set for each channel of the probe card. In this case, If they are different, they are determined to be crossed and notified to the user (S304 to S306).
예를 들어, 특정 채널 식별자(예; 채널 2번)의 출력 순서가 2 번째이고, 설정 검사 순서는 3 번째인 경우 크로스(cross) 된 것으로 판별하여 사용자에게 소정의 표시수단을 통해 알려준다.
For example, if the output order of a specific channel identifier (e.g., channel # 2) is second and the setting check order is third, it is determined that the channel is crossed and the user is informed through a predetermined display means.
그리고, 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치는 상기 프로브 카드 채널 맵 데이터에 연결된 채널 정보를 더 구비하고, 상기 제어부로부터 다수의 채널 식별자가 더불어 출력되는 경우, 상기 더불어 출력되는 채널 식별자가 연결된 채널들이고 그 더불어 출력되는 채널 식별자의 개수가 설정 개수보다 적은 경우 오픈(open) 된 것으로 판별하여 사용자에게 알려준다(S307~S309). The probe card pin inspecting information processing apparatus further includes channel information connected to the probe card channel map data, and when a plurality of channel identifiers are output together from the control unit, the channel identifier output channels are connected to each other, If the number of output channel identifiers is less than the set number, it is determined that the channel identifiers are open (S307 to S309).
예를 들어, 상기 제어부로부터 채널 식별자 2번, 3번, 4번이 함께 출력되는 경우, 그 함께 출력되는 채널 식별자 2번, 3번, 4번이 연결된 채널들이고 그 개수(위의 예에서는 3개)가 설정 개수보다 적은 경우(예를 들어, 연결된 채널의 개수가 2개로 설정되어 있는 경우) 오픈(open) 된 것으로 판별하여 소정의 표시 수단을 통해 사용자에게 알려준다.
For example, when the channel identifiers 2, 3, and 4 are output together from the control unit, the channel identifiers 2, 3, and 4 that are outputted together are channels connected to each other. (For example, when the number of connected channels is set to two), it is determined that the channel is open, and the user is informed via a predetermined display means.
반면, 상기 제어부로부터 함께 출력되는 채널 식별자가 연결된 채널들이고, 그 더불어 출력되는 채널 식별자의 개수가 설정 개수보다 많은 경우 쇼트(short) 된 것으로 판별하여 사용자에게 표시수단을 통해 알려준다(S307~S308, S310).On the other hand, if the channel identifiers output together from the control unit are connected channels, and if the number of the channel identifiers output is more than the set number, it is determined that the channel identifiers are short-circuited and the user is informed through the display unit (S307 to S308, S310 ).
예를 들어, 상기 제어부로부터 채널 식별자 2번, 3번, 4번이 함께 출력되는 경우, 그 함께 출력되는 채널 식별자 2번, 3번, 4번이 연결된 채널들이고 그 개수(위의 예에서는 3개)가 설정 개수보다 많은 경우(예를 들어, 연결된 채널의 개수가 4개로 설정되어 있는 경우) 쇼트(short) 된 것으로 판별하여 소정의 표시 수단을 통해 사용자에게 알려준다. For example, when the channel identifiers 2, 3, and 4 are output together from the control unit, the channel identifiers 2, 3, and 4 that are outputted together are channels connected to each other. (For example, when the number of connected channels is set to four), it is determined to be short, and the user is informed through a predetermined display means.
그 결과, 프로브 카드 핀 검사 결과를 사용자에게 알려주게 된다.
As a result, the probe card pin test result is notified to the user.
이상과 같이, 본 발명은 인터페이스 장치가 프로브 카드의 각 채널의 식별자(예: 채널 번호 또는 채널 ID) 정보를 가지고 있어 입력단자로 프로브 카드의 어느 한 핀을 찍으면 그 핀의 채널 식별자 정보를 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치(예: PC)에 알려줄 수 있으며, 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치(예: PC)는 이를 가지고 어떤 핀이 접촉되었는지를 사용자에게 알려 줌과 더불어, 현재 검사할 프로브 카드 채널 맵(map) 데이터와 비교하여 오픈, 쇼트, 크로스(Open, Short, Cross) 등의 핀 검사 결과를 알려줄 수 있게 된다.
As described above, according to the present invention, when an interface device has an identifier (for example, channel number or channel ID) of each channel of a probe card and takes a pin of the probe card as an input terminal, The probe card pin information processing unit (e.g., PC) notifies the user of which pins have been contacted, and the probe card channel map to be currently inspected (open, short, cross) by comparing with the map data.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 인터페이스 장치 101 : 신호 입력부
102 : 제어부 200 : 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치Description of the Related Art [0002]
100: Interface device 101: Signal input part
102: control unit 200: probe card pin inspection information processing device
Claims (7)
프로브 카드의 채널 개수에 상응하여 그 개수가 구비된 서로 다른 위치의 다수의 포고 핀; 및
입력 단자와 특정 위치의 포고 핀 접촉시, 접촉된 해당 포고 핀의 채널 식별자를 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치로 출력하는 인터페이스 장치를 포함하고,
상기 인터페이스 장치는
상기 다수의 포고 핀 각각에 자리가 일대일 매핑되어, 입력 단자와 특정 위치의 포고 핀 접촉시, 상기 접촉된 포고 핀에 매핑된 자리에서 접촉 신호를 인가하는 시프트 레지스터를 구비한 신호 입력부; 및
상기 시프트 레지스터의 각 자리마다 서로 다른 채널 식별자를 매핑시키고, 상기 신호 입력부가 접촉 신호를 인가한 자리에 매핑된 채널 식별자를 상기 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치로 출력하는 제어부를 포함하여 이루어진 프로브 카드 핀 검사 시스템.A probe card pin inspection system comprising a probe card pin inspection information processing device,
A plurality of pogo pins at different positions corresponding to the number of channels of the probe card; And
And an interface device for outputting, to the probe card pin inspecting information processing device, the channel identifier of the pogo pin in contact with the input terminal when the pogo pin contacts the specific position,
The interface device
A signal input unit having a plurality of pogo pins mapped in a one-to-one correspondence and having a shift register for applying a contact signal to a mapped pogo pin when the pogo pin contacts a specific position with the input terminal; And
And a control unit for mapping different channel identifiers for each position of the shift register and for outputting a channel identifier mapped to a position where the signal input unit applies the contact signal to the probe card pin inspecting information processor, Inspection system.
상기 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치는
프로브 카드의 각 채널별로 서로 다른 검사 순서가 설정된 프로브 카드 채널 맵 데이터를 구비하고,
상기 제어부로부터 출력되는 채널 식별자의 출력 순서가 해당되는 채널의 설정 검사 순서와 상이한 경우 크로스(cross) 된 것으로 판별하여 사용자에게 알려주는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 핀 검사 시스템.The method according to claim 1,
The probe card pin inspection information processing apparatus
The probe card channel map data in which different inspection orders are set for each channel of the probe card,
If the output order of the channel identifiers output from the controller is different from the set inspection order of the corresponding channel, it is determined that the channel is crossed and the user is informed.
상기 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치는
상기 프로브 카드 채널 맵 데이터에 연결된 채널 정보를 더 구비하고,
상기 제어부로부터 다수의 채널 식별자가 더불어 출력되는 경우, 상기 더불어 출력되는 채널 식별자가 연결된 채널들이고 그 더불어 출력되는 채널 식별자의 개수가 설정 개수보다 적은 경우 오픈(open) 된 것으로 판별하여 사용자에게 알려주고,
상기 더불어 출력되는 채널 식별자가 연결된 채널들이고, 그 더불어 출력되는 채널 식별자의 개수가 설정 개수보다 많은 경우 쇼트(short) 된 것으로 판별하여 사용자에게 알려주는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 핀 검사 시스템.3. The method of claim 2,
The probe card pin inspection information processing apparatus
Further comprising channel information connected to the probe card channel map data,
When a number of channel identifiers output from the control unit is output together with the number of channel identifiers output together with the number of channel identifiers to be output,
And if the number of the channel identifiers outputted is more than the set number, it is determined that the channel identifier is short, and the user is notified of the shortage.
상기 시프트 레지스터의 각 자리마다 서로 다른 채널 식별자를 매핑시키고, 상기 신호 입력부가 접촉 신호를 인가한 자리에 매핑된 채널 식별자를 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치로 출력하는 제어부를 포함하여 이루어진 프로브 카드 핀 검사 장치.The positions of the pogo pins are mapped to each of the plurality of pogo pins at different positions corresponding to the number of channels of the probe card, and when the pogo pin at a specific position contacts the input terminal, A signal input unit having a shift register for applying a contact signal; And
And a control unit for mapping different channel identifiers for each position of the shift register and for outputting a channel identifier mapped to a position where the signal input unit applies a contact signal to a probe card pin inspecting information processing apparatus, Device.
상기 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치가 입력 단자와 특정 위치의 포고 핀 접촉시, 접촉된 해당 포고 핀의 채널 식별자를 상기 인터페이스 장치로부터 입력받는 단계; 및
상기 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치가 상기 입력받은 채널 식별자를 화면에 표시하여 사용자에게 알려주는 단계를 포함하여 이루어진 프로브 카드 핀 검사 방법.A plurality of pogo pins arranged at different positions corresponding to the number of channels of the probe card; a probe card pin inspection information processing device; and an interface device between the plurality of pogo pins and the probe card pin inspection information processing device A method of inspecting a probe card pin of a probe card pin inspection system,
Receiving, from the interface device, a channel identifier of a corresponding pogo pin contacted when the probe card pin inspecting information processing device contacts the pogo pin at a specific position with the input terminal; And
And the probe card pin inspection information processing device displays the inputted channel identifier on the screen and notifies the user of the probe card pin inspection information.
상기 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치는
프로브 카드의 각 채널별로 서로 다른 검사 순서가 설정된 프로브 카드 채널 맵 데이터를 구비하고,
상기 인터페이스 장치로부터 입력된 채널 식별자의 출력 순서가 해당되는 채널의 설정 검사 순서와 상이한 경우 크로스(cross) 된 것으로 판별하여 사용자에게 알려주는 단계를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 프로브 카드 핀 검사 방법.6. The method of claim 5,
The probe card pin inspection information processing apparatus
The probe card channel map data in which different inspection orders are set for each channel of the probe card,
If the output order of the channel identifiers input from the interface device is different from the set inspection order of the corresponding channel, determining that the channel identifier is crossed and informing the user of the crossing.
상기 프로브 카드 핀 검사 정보처리장치는
상기 프로브 카드 채널 맵 데이터에 연결된 채널 정보를 더 구비하고,
상기 인터페이스 장치로부터 다수의 채널 식별자가 더불어 입력되는 경우, 상기 더불어 출력되는 채널 식별자가 연결된 채널들이고 그 더불어 출력되는 채널 식별자의 개수가 설정 개수보다 적은 경우 오픈(open) 된 것으로 판별하고, 상기 더불어 출력되는 채널 식별자가 연결된 채널들이고, 그 더불어 출력되는 채널 식별자의 개수가 설정 개수보다 많은 경우 쇼트(short) 된 것으로 판별하는 단계; 및
상기 판별 결과를 화면에 표시하여 사용자에게 알려주는 단계를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 프로브 카드 핀 검사 방법.
The method according to claim 6,
The probe card pin inspection information processing apparatus
Further comprising channel information connected to the probe card channel map data,
When a plurality of channel identifiers are input from the interface device, the channel identifiers output from the interface device are connected, and when the number of the channel identifiers output is less than the set number, it is determined that the channels are open, Determining that the channel identifier is short if the number of the channel identifiers to be output is more than the set number; And
And displaying the result of the determination on a screen to notify a user of the probe pin.
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|---|---|---|---|
| KR1020130055329A KR101465589B1 (en) | 2013-05-15 | 2013-05-15 | Probe card pin examination system and apparatus and method |
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|---|---|---|---|---|
| KR20180056336A (en) * | 2016-11-18 | 2018-05-28 | 주식회사 에스디에이 | Probe Card Low Leakage Current Measuring Device |
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|---|---|---|---|---|
| US7370256B2 (en) * | 2001-09-28 | 2008-05-06 | Inapac Technology, Inc. | Integrated circuit testing module including data compression |
| KR100739883B1 (en) * | 2006-11-07 | 2007-07-16 | (주)피엘텍 | Apparatus and method for testing probe card signal channel |
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