KR20180054161A - 웨이퍼의 결함 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

실시 예의 웨이퍼의 결함 검사 장치는, 검사 대상이 되는 웨이퍼가 파지 또는 안치되며, 직선 또는 회전 운동에 의해 웨이퍼를 이동시켜 웨이퍼의 검사될 부분이 검사자를 향하도록 하는 검사부 및 웨이퍼를 영상으로 표시하고, 표시된 웨이퍼 영상에서 터치 주체물에 의해 터치된 부분을 마킹하는 터치 스크린을 포함한다.

Description

웨이퍼의 결함 검사 장치{Apparatus for inspecting defect of wafer}
실시 예는 웨이퍼의 결함 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼가 갖는 결함에는 마이크로(micro) 결함과 매크로 결함(macro defect)이 있다. 마이크로 결함은 결함의 크기가 150 ㎛이하인 경우로서 LLS(Local Light Scattering)법에 의해 검사될 수 있다. 그러나, 150 ㎛보다 큰 크기의 결함은 검사자의 육안으로 검사될 수 있다.
육안 검사에 대해 살펴보면 다음과 같다.
검사자는 웨이퍼(W)의 결함을 육안으로 확인한 후 결함이 존재할 경우, 웨이퍼(W)의 노치(notch)를 기준으로 결함의 위치를 인식한다. 이후, 개인용 컴퓨터(미도시)의 화면 상에 디스플레이되는 웨이퍼 영상에서 노치를 찾고, 찾아진 노치를 기준으로 웨이퍼 영상의 해당하는 부분에 인식된 웨이퍼(W)의 결함을 마우스(미도시)를 이용하여 마킹(marking)한다. 이와 같이, 육안 검사의 경우, 검사자에 따라 웨이퍼 영상에 마킹된 결함의 위치가 서로 다르거나, 잘못 마킹되는 경우가 자주 발생할 수 있다. 왜냐하면, 개인용 컴퓨터에 표시되는 웨이퍼 영상은 고정되어 있는 반면, 검사되는 웨이퍼(W)는 회전하거나 뒤집어져서 그의 이동 위치가 변할 수 있기 때문이다.
대한민국특허공고번호 10-0922775(발명의 명칭: 웨이퍼 검사용 듀얼 검사 장치)
실시 예는 웨이퍼의 결함을 정확하게 검사할 수 있는 웨이퍼의 결함 검사 장치를 제공한다.
실시 예에 의한 웨이퍼의 결함 검사 장치는, 검사 대상이 되는 웨이퍼가 파지 또는 안치되며, 직선 또는 회전 운동에 의해 상기 웨이퍼를 이동시켜 상기 웨이퍼의 검사될 부분이 검사자를 향하도록 하는 검사부; 및 상기 웨이퍼를 영상으로 표시하고, 상기 표시된 웨이퍼 영상에서 터치 주체물에 의해 터치된 부분을 마킹하는 터치 스크린을 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 검사부는 상기 웨이퍼가 안치되는 테이블; 상기 웨이퍼를 파지하는 파지부; 및 상기 테이블 및 상기 파지부를 상, 하, 좌, 우, 전, 후 방향으로 이동시키거나 수평 회전 또는 수직 회전시키는 모터를 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 검사부는 상기 웨이퍼를 비추는 광을 조사하는 광원을 더 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 터치 스크린은 상기 웨이퍼 영상을 표시하는 영상 표시창을 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 영상 표시창에서 표시되는 상기 웨이퍼 영상은 복수의 영역으로 분할될 수 있다. 상기 복수의 영역은 상기 웨이퍼 영상의 중심을 기준으로 반경 방향으로 구분될 수 있다.
예를 들어, 상기 터치 스크린은 상기 웨이퍼의 제1 고유 식별 정보, 상기 결함 검사 장치의 제2 고유 식별 정보 또는 상기 결함 검사 장치의 동작 상태 중 적어도 하나를 표시하는 정보 표시창을 더 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 터치 스크린은 상기 웨이퍼의 결함 여부를 입력하고자 할 때 터치되는 검사 메뉴창을 더 표시할 수 있다.
예를 들어, 상기 터치 스크린은 상기 광원의 종류, 세기 또는 점등 중 적어도 하나를 변경하고자 할 때 터치되는 광원 메뉴창을 더 표시할 수 있다.
예를 들어, 상기 검사부는 상기 웨이퍼의 이동 궤적을 추적하는 이동 추적부를 더 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 터치 스크린은 상기 이동 추적부에서 추적된 결과를 반영하여, 상기 검사자가 바라보는 상기 웨이퍼의 모습과 동일한 모습으로 상기 웨이퍼 영상을 표시할 수 있다.
예를 들어, 상기 터치 스크린은 정형화된 웨이퍼 영상을 표시하고, 상기 웨이퍼의 결함 검사 장치는 상기 터치 스크린에 표시된 상기 웨이퍼 영상에서 마킹된 부분을 상기 이동 추적부에서 추적된 결과를 이용하여 보정하는 영상 보정부를 더 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 이동 추적부는 상기 웨이퍼의 노치를 기준으로 상기 웨이퍼의 회전 속도, 회전 각도, 회전 횟수 또는 이동 방향 중 적어도 하나를 검출할 수 있다.
예를 들어, 상기 웨이퍼와 상기 터치 스크린은 동일한 수평면 상에 위치할 수 있다.
예를 들어, 상기 터치 스크린은 상기 검사자를 기준으로 좌, 우, 상, 하, 전, 후 방향으로 이동하거나 회전 가능하도록 배치될 수 있다.
예를 들어, 상기 웨이퍼로부터 상기 검사자까지의 제1 거리는 상기 터치 스크린으로부터 상기 검사자까지의 제2 거리와 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 및 제2 거리 각각은 30 ㎝ 내지 40 ㎝일 수 있다.
실시 예에 따른 웨이퍼의 결함 검사 장치는 검사자를 번거롭게 하지 않고 빠른시간 내에 정확하게 결함 위치를 웨이퍼 영상에 마킹할 수 있고, 작업의 효율성이 높아 수율을 개선시킬 수 있다.
도 1은 실시 예에 의한 웨이퍼의 결함 검사 장치와 검사자를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 일 실시 예에 의한 터치 스크린을 나타내는 도면이다.
도 3은 웨이퍼 상에 존재하는 결함을 예시적으로 나타낸다.
도 4a 및 도 4b는 터치 스크린에 표시되는 웨이퍼 영상을 예시적으로 나타낸다.
도 5a 및 도 5b는 터치 스크린과 검사자 간의 위치 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 6a, 도 7a, 도 8a, 도 9a 및 도 10a는 웨이퍼 영상에 검사자가 결함을 마킹한 례들을 나타내고, 도 6b, 도 7b, 도 8b, 도 9b 및 도 10b는 LLS법에 의해 결함을 인식한 례들을 나타낸다.
이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 실시 예를 들어 설명하고, 발명에 대한 이해를 돕기 위해 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명에 따른 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되지 않아야 한다. 본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.
이하, 실시 예에 의한 웨이퍼의 결함 검사 장치를 첨부된 도면을 참조하여 다음과 같이 설명한다. 편의상, 데카르트 좌표계(x축, y축, z축)를 이용하여 웨이퍼의 결함 검사 장치를 설명하지만, 다른 좌표계에 의해서도 이를 설명할 수 있음은 물론이다. 또한, 데카르트 좌표계에 의하면, x축, y축, z축은 서로 직교하지만, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 즉, x축, y축, z축은 서로 교차할 수도 있다.
도 1은 실시 예에 의한 웨이퍼의 결함 검사 장치와 검사자(I)를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 실시 예에 의한 웨이퍼의 결함 검사 장치는 검사부(110), 터치 스크린(120) 및 영상 보정부(130)를 포함할 수 있다.
검사부(110)는 검사 대상이 되는 웨이퍼(W)가 파지 또는 안치된다. 검사부(110)는 직선 또는 회전 운동에 의해 웨이퍼(W)를 이동시켜 웨이퍼(W)의 검사될 부분이 검사자(I)를 향하도록 한다.
예를 들어, 검사부(110)는 이동 추적부(111), 파지부(112), 테이블(114) 및 모터(116)를 포함할 수 있다.
이동 추적부(111)는 웨이퍼(W)의 이동 궤적(또는, 움직임 궤적)을 추적하고, 추적된 결과를 터치 스크린(120) 또는 영상 보정부(130)로 제공할 수 있다. 후술되는 바와 같이, 파지부(112), 테이블(114) 및 모터(116)에 의해 웨이퍼(W)가 상, 하, 좌, 우, 전, 후 방향으로 이동하거나 수평 회전 또는 수직 회전할 때, 이동 추적부(111)는 웨이퍼(W)의 이동 궤적을 추적하고, 추적된 결과를 터치 스크린(120) 또는 영상 보정부(130)로 출력할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 이동 추적부(111)는 웨이퍼(W)의 노치(notch)를 기준으로 웨이퍼(W)의 회전 속도, 회전 각도, 회전 횟수 또는 이동 방향 중 적어도 하나를 검출하고, 검출된 결과를 이용하여 이동 궤적을 산정하고, 산정된 결과를 터치 스크린(120) 또는 영상 보정부(130)로 출력할 수 있다. 여기서, 노치는 원반형의 웨이퍼(W)의 결정 방위를 나타내기 위해 대략 V자 모양이나 원호 모양을 가지며 웨이퍼(W)의 가장 자리에 형성되어 있다.
경우에 따라, 이동 추적부(111)는 생략될 수 있다.
파지부(112)는 웨이퍼(W)를 파지하는 역할을 수행할 수 있다.
테이블(114)은 파지부(112)에 의해 파지된 웨이퍼(W)가 안치되는 부분이다. 도 1의 경우 테이블(114)은 원형 평판 형상을 갖는 것으로 예시되어 있지만, 실시 예는 테이블(114)의 특정한 형태에 국한되지 않는다.
모터(116)는 파지부(112) 및 테이블(114) 각각을 상, 하, 좌, 우, 전, 후 방향으로 이동시키거나 수평 회전 또는 수직 회전시키는 역할을 한다. 즉, 도 1을 참조하면, 모터(116)에 의해 파지부(112)는 좌 및 우 방향(D1)(예를 들어, x축 방향)으로 이동하거나, 상 및 하 방향(D2)(예를 들어, z축 방향)으로 이동하거나, 전 및 후 방향(D3)(예를 들어, y축 방향)으로 이동하거나, 수평 방향(D4)으로 회전하거나 수직 방향(D5)으로 회전할 수 있다. 이와 비슷하게, 모터(116)에 의해 테이블(114)은 전 및 후 방향(D6)(예를 들어, y축 방향)으로 이동하거나, 상 및 하 방향(D7)(예를 들어, z축 방향)으로 이동하거나, 수평 방향(D8)으로 회전하거나, 좌 및 우 방향(D9)(예를 들어, x축 방향)으로 이동할 수 있다. 비록 도시되지는 않았지만, 파지부(112)와 마찬가지로 테이블(114)은 수직 방향으로 회전할 수도 있다.
결국, 모터(116), 파지부(112) 및 테이블(114)의 움직임에 의해, 웨이퍼(W)가 다양한 각도로 검사자(I)에게 보여짐으로써, 검사자(I)는 웨이퍼(W)의 표면, 이면, 에지 등 웨이퍼(W)의 여러 부분의 결함 여부를 육안으로 검사할 수 있다.
또한, 검사자(I)에 의해 검사되는 웨이퍼(W)의 결함의 종류는 다양할 수 있다. 예를 들어, 검사되는 결함으로서, 웨이퍼(W)의 스크래취(scratch), 피트(pit), 크랙(crack) 등일 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.
또한, 검사부(110)는 광원(118)을 더 포함할 수 있다. 광원(118)은 웨이퍼(W)를 비추는 광을 조사하는 역할을 한다.
도 1에 도시된 검사부(110)는 본 실시 예의 이해를 돕기 위한 일 례에 불과하다. 따라서, 웨이퍼(W)의 표면, 이면, 가장 자리 등 다양한 부분이 검사자(I)에게 보여질 수 있다면, 실시 예는 검사부(110)의 특정한 구성에 국한되지 않는다.
즉, 외부로부터 검사부(110)의 내부로 웨이퍼(W)를 이송하는 이송부(미도시), 이송부로 이송된 웨이퍼(W)가 파지부(112)에 의해 파지될 때까지 대기하는 대기부(미도시), 검사가 완료된 웨이퍼(W)를 외부로 반출하는 반출부(미도시) 등이 검사부(110)에 더 포함될 수도 있다.
한편, 터치 스크린(120)은 웨이퍼(W)를 영상(이하, '웨이퍼 영상(WI))으로서 표시하고, 표시된 웨이퍼 영상(WI) 내에서 터치 주체물에 의해 터치된 부분을 마킹(marking)하는 역할을 한다. 터치 스크린(120)은 웨이퍼 영상(WI)을 검사자(I)에게 보여주고, 검사자(I)가 터치 주체물을 이용하여 터치 스크린(120)에 표기된 웨이퍼 영상(WI)의 원하는 부분을 터치할 경우, 터치된 부분이 결함이 존재하는 영역으로서 인식할 수 있다. 이와 같이, 터치 스크린(120)은 검사자(I)로부터 정보를 제공받는 역할도 수행한다. 즉, 터치 스크린(120)은 일종의 정보 표시 장치이면서 정보 입력 장치에 해당한다. 예를 들어, 터치 주체물은 검사자(I)의 손가락 또는 스타일러스(stylus) 펜등 일 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.
이러한 터치 스크린(120)의 내부적인 구조와 동작은 일반적이므로 여기서는 상세한 설명을 생략한다. 즉, 이하에서는 터치 스크린(120)에 의해 검사자(I)에게 보여지는 화면 구성, 검사자(I)로부터 정보를 입력받는 상황 및 검사자(I)에 대한 터치 스크린(120)의 위치에 대해서 살펴본다.
도 2는 일 실시 예에 의한 터치 스크린(120A)을 나타내는 도면이다.
도 2에 도시된 터치 스크린(120A)은 도 1에 도시된 터치 스크린(120)의 일 실시 예에 해당한다.
일 실시 예에 의하면, 터치 스크린(120A)은 검사 메뉴창(122), 광원 메뉴창(124), 정보 표시창(126) 및 영상 표시창(128)을 포함할 수 있다.
영상 표시창(128)은 웨이퍼 영상(WI)을 표시한다.
일 실시 예에 의하면, 영상 표시창(128)에서 표시되는 웨이퍼 영상(WI)은 복수의 영역으로 분할될 수 있다. 또한, 복수의 영역은 웨이퍼 영상(WI)의 중심(C)을 기준으로 반경 방향으로 구분될 수 있다. 예를 들어, 웨이퍼 영상(WI)은 도 2에 도시된 바와 같이 제1, 제2 및 제3 영역(A1, A2, A3)으로 구분될 수 있지만, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 즉, 다른 실시 예에 의하면, 웨이퍼 영상(WI)은 2개의 영역 또는 4개 이상의 영역으로 구분될 수도 있다.
제1 영역(A1)은 웨이퍼 영상(WI)의 중심(C)에 가장 가까운 영역이다. 제2 영역(A2)은 제1 영역(A1)과 제3 영역(A3) 사이에 존재하는 영역이고, 제1 영역(A1)을 에워싸는 영역이다. 제3 영역(A3)은 제1 및 제2 영역(A1, A2)보다 웨이퍼 영상(WI)의 중심(C)으로부터 가장 멀리 위치하는 영역으로서, 제2 영역(A2)을 에워싸는 영역이다. 예를 들어, 제1 영역(A1)은 제1 반경(r1) 내에 위치하고, 제2 영역(A2)은 제2 반경(r2)과 제1 반경(r1) 사이에 위치하고, 제3 영역(A3)은 제3 반경(r3)과 제2 반경(r2) 사이에 위치할 수 있다. 제1 반경(r1), 제2 영역(A2)의 두께(r2-r1) 및 제3 영역(A3)의 두께(r3-r2) 각각은 50 ㎜일 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 즉, 웨이퍼 영상(WI)의 크기가 클 경우, 웨이퍼 영상(WI)은 더욱 세분화될 수 있다.
전술한 바와 같이, 웨이퍼 영역(WI)이 복수의 영역으로 분할될 경우에 검사자(I)가 육안으로 관찰한 웨이퍼(W)의 결함을 더 쉽게 터치 스크린(120)의 웨이퍼 영상(WI)에 마킹할 수 있다.
또한, 웨이퍼 영상(WI)은 영역 구분선(L)을 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 영상(WI)에 2개의 영역 구분선(L)이 존재하고, 웨이퍼 영상(WI)이 제1 내지 제3 영역(A1 내지 A3)으로 분할될 경우, 웨이퍼 영상(WI)은 12개의 영역들로 더욱 세분화되어 구분된다. 따라서, 검사자(I)는 웨이퍼(W)의 결함을 웨이퍼 영상(WI)에 더욱 쉽게 마킹할 수 있다.
도 3은 웨이퍼(W) 상에 존재하는 결함(DEFECT)을 예시적으로 나타내고, 도 4a 및 도 4b는 터치 스크린(120)에 표시되는 웨이퍼 영상(WI)을 예시적으로 나타낸다.
만일, 영상 표시창(128)에 웨이퍼(W)의 이동 궤적을 고려하지 않은 정형화된 웨이퍼 영상(WI)이 표시될 경우, 검사자(I)는 육안으로 확인한 웨이퍼(W)의 결함이 노치(N)를 기준으로 어느 곳에 위치하는가를 확인해야 한다. 여기서, 정형화된 웨이퍼 영상이란, 웨이퍼(W)의 이동 궤적을 고려하지 않은 웨이퍼 영상(WI)을 의미한다. 이후, 육안으로 확인된 결함의 위치를 정형화된 웨이퍼 영상(WI)에 마킹하기 위해, 웨이퍼 영상(WI)에서 노치(N)를 찾는다. 이후, 노치(N)를 기준으로 결함(DEFECT)을 정형화된 웨이퍼 영상(WI)에 마킹할 수 있다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이 결함(DEFECT)이 존재하고 터치 스크린(120)에 도 4b에 도시된 바와 같이 정형화된 웨이퍼 영상(WI)이 표시될 경우, 검사자(I)는 도 3에 도시된 결함(DEFECT)이 노치(N)를 기준으로 노치(N)의 우측 상단에 있는 것을 인지한다. 이후, 웨이퍼 영상(WI)에서 노치(N)를 찾은 후, 웨이퍼 영상(WI)에서 노치(N)의 우측 상단에 결함을 마킹(MD)한다. 이와 같이, 웨이퍼(W)의 이동 궤적을 고려하지 않은 정형화된 웨이퍼 영상(WI)이 터치 스크린(120)에 표시될 경우, 검사자(I)를 매우 번거롭게 할 수 있다. 왜냐하면, 검사자(I)가 웨이퍼(W)의 회전된 방향이나 각도를 정확하게 인지하기 어렵고, 웨이퍼(W)의 노치(N)와 웨이퍼 영상(WI)의 노치(N)를 각각 찾아야 하기 때문이다.
일 실시 예에 의하면, 터치 스크린(120)은 이동 추적부(111)에서 추적된 결과를 반영하여, 검사자(I)가 바라보는 웨이퍼(W)의 모습과 동일한 모습으로 정합된 웨이퍼 영상(I)을 표시할 수 있다. 예를 들어, 이동 추적부(111)에서 추적된 결과를 반영하여, 웨이퍼(W)가 수평 회전할 경우, 동기화를 통해 터치 스크린(120)에 표시되는 웨이퍼 영상(WI)도 동일하게 수평 회전될 수 있다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이 웨이퍼(W)가 회전하여 노치(N)가 좌측 하단쪽에 배치될 경우, 도 3에 도시된 웨이퍼(W)와 동일한 모습으로 정합된 웨이퍼 영상(WI)이 도 4a에 도시된 바와 같이 터치 스크린(120)에 표시될 수 있다. 따라서, 검사자(I)는 웨이퍼(W) 및 웨이퍼 영상(WI)에서 노치(N)를 찾을 필요없이 보이는 대로 결함의 위치를 웨이퍼 영상(WI)에 터치에 의해 마킹(MD)할 수 있다. 이 경우, 도 1에 도시된 웨이퍼의 결함 검사 장치에서 영상 보정부(130)는 생략될 수 있다.
다른 실시 예에 의하면, 터치 스크린(120)은 정형화된 웨이퍼 영상(WI)을 표시할 수도 있다. 이 경우, 웨이퍼의 결함 검사 장치는 영상 보정부(130)를 더 포함하고, 도 1에 도시된 바와 달리 이동 추적부(111)에서 추적된 결과는 터치 스크린(120)으로 제공되지 않을 수도 있다. 영상 보정부(130)는 터치 스크린(120)에 표시된 정형화된 웨이퍼 영상(WI)에서 터치되어 마킹된 부분에 대한 정보를 터치 스크린(120)으로부터 받고, 이동 추적부(111)에서 추적된 결과를 받으며, 터치되어 마킹된 부분에 대한 정보를 추적된 결과를 이용하여 보정할 수 있다. 따라서, 검사자(I)는 비록 터치 스크린(120)에 정형화된 웨이퍼 영상(WI)이 표시된다고 하더라도, 웨이퍼(W)와 웨이퍼 영상(WI) 각각에서 노치(N)를 찾을 필요없이, 육안으로 확인한 결함이 존재하는 웨이퍼(W)의 위치와 동일한 웨이퍼 영상(WI)의 위치에 결함을 마킹(MD)할 수 있다. 이후, 영상 보정부(130)는 이동 추적부(111)에서 추적된 결과를 이용하여, 웨이퍼 영상(WI)에서 마킹된 부분을 보정함으로써, 웨이퍼(W)의 좌측 하단에 결함이 존재하는 것으로 인식할 수 있다.
예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이 웨이퍼(W)의 하단 즉, 노치(N)의 우측 상단에 결함(DEFECT)이 존재할 경우, 검사자(I)는 도 3에 도시된 웨이퍼(W) 및 도 4b에 도시된 정형화된 웨이퍼 영상(WI)에서 노치(N)를 찾을 필요없이, 도 3에 도시된 결함(DEFECT)을 도 4b에 도시된 바와 같이 정형화된 웨이퍼 영상(WI)에 그대로 마킹한다(MD). 이후, 영상 보정부(130)는 이동 추적부(111)에서 추적된 결과를 이용하여 도 4b에 마킹된 결함(MD)을 보정하여 도 4a에 도시된 바와 같이 노치(N)를 기준으로 노치(N)의 우측 상단에 위치하는 것을 인식할 수 있다.
한편, 다시 도 2를 참조하면, 정보 표시창(126)은 현재 검사되고 있는 웨이퍼(W)의 제1 고유 식별 정보, 결함 검사 장치의 제2 고유 식별 정보 또는 결함 검사 장치의 동작 상태 중 적어도 하나를 표시할 수 있다. 예를 들어, 웨이퍼(W)마다 고유한 식별 정보를 부여하고, 검사되는 웨이퍼(W)의 식별 정보를 정보 표시창(126)을 통해 표시할 경우, 검사자(I)는 현재 검사되고 있는 웨이퍼(W)에 대해 인식하면서 결함 여부를 검사할 수 있다.
검사 메뉴창(122)은 검사자(I)가 웨이퍼(W)의 결함 여부를 인식하고, 인식된 결과를 입력하고자 할 때 터치되는 창이다. 예를 들어, 검사자(I)가 웨이퍼(W)의 결함을 육안으로 식별하여 결함이 없다고 인식될 때, 영상 표시창(128)의 웨이퍼 영상(WI)에 결함 위치를 마킹하는 대신에, 검사 메뉴창(122)을 터치하여 웨이퍼(W)가 결함이 없다는 정보를 입력할 수 있다. 또는, 검사자(I)가 육안으로 웨이퍼(W)의 결함을 검사한 결과, 웨이퍼(W)의 결함이 매우 많다고 인식될 때, 검사 메뉴창(122)을 터치하여 웨이퍼(W)가 결함을 많이 갖는다는 정보를 입력할 수도 있다.
일 실시 예에 의하면, 검사 메뉴창(122)의 일측(A:Accept)(122-1)이 터치될 때, 웨이퍼 결함 검사 장치는 검사자(I)가 웨이퍼(W)의 결함이 없다는 정보를 제공하는 것으로 인식할 수 있다. 또한, 검사 메뉴창(122)의 타측(R:Reject)(122-2)이 터치될 때, 웨이퍼 결함 검사 장치는 검사자(I)가 웨이퍼(W)의 결함이 많아 웨이퍼(W)를 불량 처리한다는 정보를 제공하는 것으로 인식할 수 있다.
다른 실시 예에 의하면, 검사 메뉴창(122)을 한 번 터치할 때, 웨이퍼 결함 검사 장치는 검사자(I)가 웨이퍼(W)의 결함이 없다는 정보를 제공하는 것으로 인식할 수 있다. 또한, 검사 메뉴창(122)을 2회 연속하여 터치할 때, 웨이퍼 결함 검사 장치는 검사자(I)가 웨이퍼(W)의 결함이 많아 웨이퍼(W)를 불량 처리한다는 정보를 제공하는 것으로 인식할 수 있다. 이때, 검사자(I)로 하여금 자신이 원하는 정보가 제대로 입력되었는가를 알려 주기 위해, 한 번 터치될 때 검사 메뉴창(122)에서 수락을 의미하는 'A'가 디스플레이되고, 2회 연속하여 터치될 때 검사 메뉴창(122)에서 거절을 의미하는 'R'가 디스플레이될 수 있다.
또 다른 실시 예에 의하면, 검사 메뉴창(122)을 한 번 터치할 때, 웨이퍼 결함 검사 장치는 검사자(I)가 웨이퍼(W)의 결함이 없다는 정보를 제공하는 것으로 인식할 수 있다. 또한, 검사 메뉴창(122)을 다시 터치할 때, 웨이퍼 결함 검사 장치는 검사자(I)가 웨이퍼(W)의 결함이 많아 웨이퍼(W)를 불량 처리한다는 정보를 제공하는 것으로 인식할 수 있다. 이와 같이, 교호적으로 검사 메뉴창(122)이 터치됨에 따라, 웨이퍼 결함 검사 장치는 검사자(I)가 웨이퍼(W)의 결함이 없다거나 있다는 정보를 제공하는 것으로 인식할 수 있다. 이때, 검사자(I)로 하여금 자신이 원하는 정보가 제대로 입력되었는가를 알려 주기 위해, 한 번 터치될 때 검사 메뉴창(122)에서 수락을 의미하는 'A'가 디스플레이되고, 다시 한 번 더 터치될 때 검사 메뉴창(122)에서 거절을 의미하는 'R'가 디스플레이될 수 있다.
광원 메뉴창(124)은 광원(118)의 종류, 세기 또는 점등 중 적어도 하나를 변경하고자 할 때 터치되는 창일 수 있다. 예를 들어, 검사자(I)는 광원(118)에서 발생되는 광의 파장을 변경하고자 할 때 또는 광원(118)에서 발생되는 광의 세기를 변경하고자 할 때 또는 광원(118)의 점등을 온/오프하기 위해, 광원 메뉴창(124)을 터치할 수 있다.
경우에 따라, 검사 메뉴창(122), 광원 메뉴창(124) 또는 정보 표시창(126) 중 적어도 하나는 생략될 수도 있다.
도 5a 및 도 5b는 터치 스크린(120)과 검사자(I) 간의 위치 관계를 설명하기 위한 도면이다. 도 5a는 웨이퍼(W), 터치 스크린(120) 및 검사자(I)의 평면도를 나타내고, 도 5b는 웨이퍼(W), 터치 스크린(120) 및 검사자(I)의 정면도를 나타낸다.
터치 스크린(120)은 검사자(I)를 기준으로 좌, 우, 상, 하, 전, 후 방향으로 이동하거나 회전 가능하도록 배치될 수 있다.
예를 들어, 도 5a를 참조하면, 터치 스크린(120)은 검사부(110)의 측부(110S)에 부착되고, 측부(110S)를 중심축으로 하여 화살표 방향(D10)으로 움직일 수 있다. 즉, 터치 스크린(120)은 제1 위치(120-1)로부터 제2 위치(120-2)로 또는 제2 위치(120-2)로부터 제1 위치(120-1)로 이동할 수 있다.
또한, 웨이퍼(W)로부터 검사자(I)까지의 제1 거리(DS1)는 터치 스크린(120-1))(또는, 터치 스크린(120-2))으로부터 검사자(I)까지의 제2 거리(DS2)와 동일할 수 있다. 이와 같이, 제1 및 제2 거리(DS1, DS2)가 서로 동일할 경우, 검사자(I)가 관찰하는 웨이퍼(W)와 터치 스크린(120:120-1, 120-2)에 표시되는 웨이퍼 영상(WI)이 동일한 거리에 위치함으로써, 검사자(I)로 하여금 웨이퍼(W)의 결함 위치를 웨이퍼 영상(WI)에 정확하게 터치할 수 있도록 한다. 예를 들어, 제1 및 제2 거리(DS1, DS2) 각각은 30 ㎝ 내지 40 ㎝일 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.
또한, 도 5b를 참조하면, 터치 스크린(120)은 상 또는 하 방향(예를 들어, z축 방향)으로 이동할 수 있다. 즉, 터치 스크린(120)은 제3 위치(l20-3)로부터 제4 위치(120-4)로 또는 제4 위치(l20-4)로부터 제3 위치(120-3)로 이동할 수도 있다.
또한, 웨이퍼(W)와 터치 스크린(120)은 동일한 수평면 상에 위치할 수 있다. 예를 들어, 도 5b를 참조하면, 제3 위치(120-3)에 위치한 터치 스크린(120)과 웨이퍼(W)는 동일한 수평면 상에 위치할 수 있다. 즉, 웨이퍼(W)의 높이와 터치 스크린(120)의 높이는 동일할 수 있다. 또한, 웨이퍼(W)와 터치 스크린(120)은 검사자(I)의 눈 높이에 모두 위치할 수 있다.
전술한 바와 같이, 터치 스크린(120)을 검사자(I)를 기준으로 다양한 위치로 이동시킬 수 있기 때문에, 검사자(I)의 신체 조건에 적합한 위치에 터치 스크린(120)을 위치시킴으로써, 웨이퍼 영상(WI)에 웨이퍼(W)의 결함의 위치를 정확하고 번거롭지 않게 마킹할 수 있다.
이하, 비교 례에 의한 웨이퍼의 결함 검사 장치와 실시 예에 의한 웨이퍼의 결함 검사 장치를 다음과 같이 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
도 6a, 도 7a, 도 8a, 도 9a 및 도 10a는 웨이퍼 영상(WI)에 검사자(I)가 결함을 마킹한 례들을 나타내고, 도 6b, 도 7b, 도 8b, 도 9b 및 도 10b는 LLS(Local Light Scattering)법에 의해 결함을 인식한 례들을 나타낸다.
검사자(I)가 시각적으로 판정하여 마킹한 도 6a에 도시된 웨이퍼 영상(WI)과 LLS법에 의해 판정한 도 6b에 도시된 웨이퍼 영상(WI)과 매우 다름을 알 수 있다. 마찬가지로, 도 7a, 도 8a, 도 9a 및 도 10a에 도시된 웨이퍼 영상(WI)과 LLS법에 의해 판정한 도 7b, 도 8b, 도 9b 및 도 10b에 도시된 웨이퍼 영상(WI)과 매우 다름을 알 수 있다.
비교 례에 의한 웨이퍼 결함 검사 장치의 경우, 육안으로 찾은 결함의 위치를 표시하기 위해, 개인용 컴퓨터와 마우스가 요구된다. 또한, 웨이퍼의 결함 여부를 표시하기 위해 별도의 불량 코드 키를 입력하기 위한 별도의 버튼 예를 들어, 8개의 버튼이 요구된다. 또한, 검사되는 웨이퍼(W)로 광을 조사하는 광원을 온/오프시키기 위한 별도의 스위치가 요구된다.
반면에, 실시 예에 의한 웨이퍼 결함 검사 장치는, 개인용 컴퓨터, 마우스, 버튼 및 스위치를 하나의 터치 스크린(120)으로 대체할 수 있다. 따라서, 검사자(I)가 봐야할 디바이스들의 개수가 줄어들어, 검사자(I)를 번거롭게 하지 않고 비교 례보다 빠른 시간 내에 결함 위치를 웨이퍼 영상에 마킹할 수 있고, 웨이퍼(W)에 정합된 웨이퍼 영상(WI)을 제공하므로 결함을 비교 례보다 정확하게 마킹할 수 있도록 하고, 터치 스크린(120)의 위치를 검사자(I)에 맞도록 자유롭게 위치를 변경할 수 있으므로 작업의 효율성이 높일 수 있어 수율이 개선될 수 있다.
이상에서 실시 예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시 예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시 예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
110: 검사부 111: 이동 추적부
112: 파지부 114: 테이블
116: 모터 118: 광원
120: 터치 스크린 122: 검사 메뉴창
124: 광원 메뉴창 126: 정보 표시창
128: 영상 표시창 130: 영상 보정부

Claims (8)

  1. 검사 대상이 되는 웨이퍼가 파지 또는 안치되며, 직선 또는 회전 운동에 의해 상기 웨이퍼를 이동시켜 상기 웨이퍼의 검사될 부분이 검사자를 향하도록 하는 검사부; 및
    상기 웨이퍼를 영상으로 표시하고, 상기 표시된 웨이퍼 영상에서 터치 주체물에 의해 터치된 부분을 마킹하는 터치 스크린을 포함하는 웨이퍼의 결함 검사 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 검사부는
    상기 웨이퍼가 안치되는 테이블;
    상기 웨이퍼를 파지하는 파지부; 및
    상기 테이블 및 상기 파지부를 상, 하, 좌, 우, 전, 후 방향으로 이동시키거나 수평 회전 또는 수직 회전시키는 모터를 포함하는 웨이퍼의 결함 검사 장치.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 터치 스크린은
    상기 웨이퍼 영상을 표시하는 영상 표시창을 포함하는 웨이퍼의 결함 검사 장치.
  4. 제3 항에 있어서, 상기 영상 표시창에서 표시되는 상기 웨이퍼 영상은 복수의 영역으로 분할된 웨이퍼의 결함 검사 장치.
  5. 제4 항에 있어서, 상기 복수의 영역은 상기 웨이퍼 영상의 중심을 기준으로 반경 방향으로 구분된 웨이퍼의 결함 검사 장치.
  6. 제3 항에 있어서, 상기 터치 스크린은
    상기 웨이퍼의 제1 고유 식별 정보, 상기 결함 검사 장치의 제2 고유 식별 정보 또는 상기 결함 검사 장치의 동작 상태 중 적어도 하나를 표시하는 정보 표시창을 더 포함하는 웨이퍼의 결함 검사 장치.
  7. 제3 항에 있어서, 상기 터치 스크린은
    상기 웨이퍼의 결함 여부를 입력하고자 할 때 터치되는 검사 메뉴창을 더 표시하는 웨이퍼의 결함 검사 장치.
  8. 제1 항에 있어서, 상기 검사부는
    상기 웨이퍼의 이동 궤적을 추적하는 이동 추적부를 더 포함하는 웨이퍼의 결함 검사 장치.
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