KR20180049720A - 배압 제어 밸브 - Google Patents

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아드반스 덴키 고교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 배압 제어 밸브에 관한 것으로, 피제어유체가 유입되는 유입부와, 상기 피제어유체가 유출되는 유출부와, 상기 유입부와 연통되는 연통 유로와, 상기 연통 유로 및 상기 유출부와 연통되고 밸브 시트가 형성된 챔버를 가지는 밸브 바디와; 상기 챔버 내에서 상기 밸브 시트에 대해 상대적으로 이동하여 상기 밸브 시트를 개폐하는 밸브부와; 상기 밸브부를 구동하는 구동부를 포함하고, 상기 연통 유로는 상기 밸브 바디 내에서 분기되어 형성되고, 상기 연통 유로는 제1 연통 유로 및 제2 연통 유로로 분기되어 형성되고, 상기 챔버는 상기 제1 연통 유로와 연통되는 제1 챔버와, 상기 제2 연통 유로와 연통되는 제2 챔버를 포함하고, 상기 밸브 시트는 상기 제1 챔버에 형성된 제1 밸브 시트와, 상기 제2 챔버에 형성된 제2 밸브 시트를 포함하고, 상기 밸브부는 상기 제1 챔버 내에서 상기 제1 밸브 시트에 대해 상대적으로 이동하여 상기 제1 밸브 시트를 개폐하는 제1 밸브부와, 상기 제2 챔버 내에서 상기 제2 밸브 시트에 대해 상대적으로 이동하여 상기 제2 밸브 시트를 개폐하는 제2 밸브부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

배압 제어 밸브{BACK PRESSURE CONTROL VALVE}
본 발명은 1차측의 압력을 일정하게 하는 배압 제어 밸브에 관한 것으로, 피제어유체가 유입되는 유입부와, 피제어유체가 유출되는 유출부와, 유입부와 연통되는 연통 유로와, 연통 유로 및 유출부와 연통되고 밸브 시트가 형성된 챔버를 가지는 밸브 바디와; 챔버 내에서 밸브 시트에 대해 상대적으로 이동하여 밸브 시트를 개폐하는 밸브부와; 밸브부를 구동하는 구동부를 포함하고, 연통 유로는 밸브 바디 내에서 분기되어 형성되고, 연통 유로는 제1 연통 유로 및 제2 연통 유로로 분기되어 형성되고, 챔버는 제1 연통 유로와 연통되는 제1 챔버와, 제2 연통 유로와 연통되는 제2 챔버를 포함하고, 밸브 시트는 제1 챔버에 형성된 제1 밸브 시트와, 제2 챔버에 형성된 제2 밸브 시트를 포함하고, 밸브부는 제1 챔버 내에서 제1 밸브 시트에 대해 상대적으로 이동하여 제1 밸브 시트를 개폐하는 제1 밸브부와, 제2 챔버 내에서 제2 밸브 시트에 대해 상대적으로 이동하여 제2 밸브 시트를 개폐하는 제2 밸브부를 포함하는 것을 특징으로 하는 배압 제어 밸브에 관한 것이다.
반도체 제조장치에서는 웨이퍼 처리를 행하는 챔버를 복수개 가지는 것이 있다. 이들 각각의 챔버로 웨이퍼 처리에 사용하는 약액(藥液)이나 초순수(超純水) 등의 유체가 공급되는데, 각 챔버의 배관, 각 챔버마다의 처리 결과를 동일하게 위해, 챔버에 연결된 라인으로의 유체의 공급 압력은 일정하게 하는 것이 바람직하다. 라인으로의 유체의 공급 압력을 일정하게 되도록 배압을 제어하는 밸브를 설치할 수 있다.
도 1은 배압 제어 밸브가 설치된 장치를 나타내는 개략도이다. 이 장치에서는 약액 탱크(1), 펌프(P), 배압 제어 밸브(2)가 설치된 라인이 있고, 이 라인은 유체가 순환하고 있는 형태이다. 각 챔버로는 배압 제어 밸브의 상류로부터 분기하여, 유체가 공급된다. 배압 제어 밸브에 의해 배압 제어 밸브의 1차측(상류측)의 유체는 소정의 압력 상태로 제어(유지)된다.
반도체 제조장치에 배압 제어 밸브가 사용된 구체적인 예로서 공개특허공보 10-2015-0113509호가 있는데, 이 장치는 도 2에 도시된 바와 같이 배압 제어 밸브(136)를 설치하는 것에 의해, 분기용 밸브(135)의 1차측의 압력을 일정하게 유지할 수 있고, 고온 유체의 온도를 안정시킬 수 있다.
반도체 제조장치 한 대당의 처리 능력을 향상시키기 위해서, 처리 챔버의 개수를 증가시키는 등의 경우, 유체의 사용량이 증가하게 된다. 유체를 순환시키는 구성은 그대로인 채로, 장치에 있어서의 유체의 사용량이 증가한다는 것은 순환 유체의 양도 증가하는 것이 되고, 따라서 배압 제어 밸브 내를 유통하는 유량도 증가하게 된다.
일본 공개특허공보 특개2001-099344호에 개시된 종래의 배압 제어 밸브(도 3)의 경우, 유체 유량을 증가시키기 위해서는 내부 유로(76)를 크게 할 필요가 있다. 이 때 배압 제어 밸브는 2차측의 압력 변동에 의한 1차측(상류측) 압력의 제어에의 영향이 현저하게 된다. 이는 1차측의 수압(受壓) 면적(막부(膜部) 수압 지름)과 2차측의 수압 면적(오리피스 지름)이 제어에 영향을 주기 때문이다. 내부 경로(오리피스의 지름)을 크게 하는 경우는 다이어프램의 막부의 수압 면적도 크게 할 필요가 있으나, 배압 제어 밸브가 대형화되어 버리는 문제가 생긴다.
유량을 늘리는 방법으로서는 그 외 배압 제어 밸브를 병렬로 배치하는 것도 생각할 수 있으나(도 4), 이는 장치 내의 배압 제어 밸브(2a, 2b)의 설치 면적의 증대나 배관의 복잡화로 이어지고 만다.
일본특허공보 특허3997098호와 같이 복수 개의 릴리프밸브 포트를 가지는 릴리프 밸브가 있으나(도 5), 반도체 제조에 있어서의 약액의 통액에는 내부식성이 높은 불소 수지 등을 사용할 필요가 있으므로, 반도체 제조장치에는 스냅 액션식의 반전판(反轉板)(다이어프램)을 포함하는 이러한 릴리프 밸브는 사용할 수 없다.
일본 공개특허공보 특개2001-099344호
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 피제어유체가 유입되는 유입부와, 피제어유체가 유출되는 유출부와, 유입부와 연통되는 연통 유로와, 연통 유로 및 유출부와 연통되고 밸브 시트가 형성된 챔버를 가지는 밸브 바디와; 챔버 내에서 밸브 시트에 대해 상대적으로 이동하여 밸브 시트를 개폐하는 밸브부와; 밸브부를 구동하는 구동부를 포함하고, 연통 유로는 밸브 바디 내에서 분기되어 형성되고, 연통 유로는 제1 연통 유로 및 제2 연통 유로로 분기되어 형성되고, 챔버는 제1 연통 유로와 연통되는 제1 챔버와, 제2 연통 유로와 연통되는 제2 챔버를 포함하고, 밸브 시트는 제1 챔버에 형성된 제1 밸브 시트와, 제2 챔버에 형성된 제2 밸브 시트를 포함하고, 밸브부는 제1 챔버 내에서 제1 밸브 시트에 대해 상대적으로 이동하여 제1 밸브 시트를 개폐하는 제1 밸브부와, 제2 챔버 내에서 제2 밸브 시트에 대해 상대적으로 이동하여 제2 밸브 시트를 개폐하는 제2 밸브부를 포함하는 것을 특징으로 하는 배압 제어 밸브를 제공하여, 배압 제어 밸브의 사이즈가 대형화하지 않고, 배압 제어 밸브를 설치하는 배관이 복잡화하지 않고 압력 제어에 있어서의 유량역을 넓히는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 피제어유체가 유입되는 유입부와, 상기 피제어유체가 유출되는 유출부와, 상기 유입부와 연통되는 연통 유로와, 상기 연통 유로 및 상기 유출부와 연통되고 밸브 시트가 형성된 챔버를 가지는 밸브 바디와; 상기 챔버 내에서 상기 밸브 시트에 대해 상대적으로 이동하여 상기 밸브 시트를 개폐하는 밸브부와; 상기 밸브부를 구동하는 구동부를 포함하고, 상기 연통 유로는 상기 밸브 바디 내에서 분기되어 형성되고, 상기 연통 유로는 제1 연통 유로 및 제2 연통 유로로 분기되어 형성되고, 상기 챔버는 상기 제1 연통 유로와 연통되는 제1 챔버와, 상기 제2 연통 유로와 연통되는 제2 챔버를 포함하고, 상기 밸브 시트는 상기 제1 챔버에 형성된 제1 밸브 시트와, 상기 제2 챔버에 형성된 제2 밸브 시트를 포함하고, 상기 밸브부는 상기 제1 챔버 내에서 상기 제1 밸브 시트에 대해 상대적으로 이동하여 상기 제1 밸브 시트를 개폐하는 제1 밸브부와, 상기 제2 챔버 내에서 상기 제2 밸브 시트에 대해 상대적으로 이동하여 상기 제2 밸브 시트를 개폐하는 제2 밸브부를 포함하는 것을 특징으로 하는 배압 제어 밸브를 제공한다.
상기 유입부와 상기 유출부는 일직선 상에 위치하고, 상기 배압 제어 밸브는 상기 일직선에 대해 대칭으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 구동부는 탄성력 및 공기압 중 하나를 사용하거나 탄성력 및 공기압의 모두를 사용하여 작동되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는 오리피스 지름을 크게 하는 것이 아니라, 배압 제어 밸브 내에서 분기 구조를 취하는 것으로, 통액량을 증가시키는 것을 가능하게 하고 있다. 이에 의해 배압 제어 밸브의 사이즈가 대형화하지 않고, 또한 배압 제어 밸브가 설치되는 배관이 복잡화하지 않고 압력 제어에 있어서의 유량역을 넓히는 것이 가능하게 된다. 또한, 불소수지로부터 이루어지는 밸브 바디를 일체로 만들어 내고 있기 때문에, 시일 부재 등의 연결부로부터의 오염 등 청정도를 손상시키지 않고 내약품성이 강한 구조로 하는 것이 가능하게 되어 있다.
사용 포인트(use point)에서의 유체 사용의 유무에 관계없이, 장치 내에 있어서 작은 점유 면적에서 설치되면서 배압 제어 밸브의 1차측의 압력을 일정하게 하는 압력 제어가 가능하게 된다.
도 1은 배압 제어 밸브가 설치된 장치를 나타내는 개략도이다.
도 2는 공개특허공보 10-2015-0113509호의 기판 처리 장치를 나타낸 도면이다.
도 3은 일본 공개특허공보 특개2001-099344호에 개시된 종래의 배압 제어 밸브를 나타낸 도면이다.
도 4는 배압 제어 밸브가 병렬로 설치된 장치를 나타내는 개략도이다.
도 5는 일본특허공보 특허3997098호의 릴리프 밸브를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 배압 제어 밸브의 개방상태를 나타내는 종단면도이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 배압 제어 밸브의 폐쇄상태를 나타내는 종단면도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 배압 제어 밸브의 개방상태를 나타내는 종단면도이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 배압 제어 밸브의 폐쇄상태를 나타내는 종단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 배압 제어 밸브의 개방상태를 나타내는 종단면도이다. 본 발명에 따른 배압 제어 밸브는 피제어유체가 유입되는 유입부(210)와, 피제어유체가 유출되는 유출부(220)와, 유입부(210)와 연통되는 연통 유로(240)와, 연통 유로(240) 및 유출부(220)와 연통되고 밸브 시트(230)가 형성된 챔버(250)를 가지는 밸브 바디(200)와; 챔버(250) 내에서 밸브 시트(230)에 대해 상대적으로 이동하여 밸브 시트(230)를 개폐하는 밸브부(300)와; 밸브부(300)를 구동하는 구동부(400)와; 밸브 바디(200)와 결합되고 구동부(400)가 포함되어 있는 케이스(500)를 포함한다. 챔버(250)는 밸브부(300)에 피제어유체의 유체 압력을 가하는 실(室)이다.
유입부(210) 및 유출부(220)는 원형 파이프 형상으로 형성하고, 유입부(210)의 중심축과 유출부(220)의 중심축은 일직선(201) 상에 위치하고, 배압 제어 밸브는 전체적으로 일직선(201)에 대해 상하 대칭으로 형성하는 것이 바람직하다.
연통 유로(240)는 밸브 바디(200) 내에서 제1 연통 유로(241) 및 제2 연통 유로(242)로 분기되어 형성됨으로써, 유입부(210)로 유입된 피제어유체는 제1 연통 유로(241) 및 제2 연통 유로(242)를 따라 상하로 분기되어 흐른다. 챔버(250)는 제1 연통 유로(241) 및 유출부(220)와 연통되고 제1 밸브 시트(231)가 형성되는 제1 챔버(251)와, 제2 연통 유로(242) 및 유출부(220)와 연통되고 제2 밸브 시트(232)가 형성되는 제2 챔버(252)를 포함한다. 챔버(250)의 유출부(220)측에는 유출부(220)로부터 챔버(250)를 향해 연장된 챔버 연장부(253)가 형성되어 제1 챔버(251) 및 제2 챔버(252)를 통과하여 합쳐지는 피제어유체의 흐름을 안내한다. 도 6 내지 도 9에는 제1 연통 유로(241)가 상부에 위치되고 제2 연통 유로(242)가 하부에 위치된 것으로 도시되어 있으나, 제1 연통 유로(241) 및 제2 연통 유로(242)가 수평면에 놓이게 즉, 도 6 내지 도 9에 도시된 배압 제어 밸브를 일직선(201)에 대해 90도 회전시켜서 설치할 수도 있다.
밸브 시트(230)는 제1 챔버(251)에 원형으로 형성된 제1 밸브 시트(231)와, 제2 챔버(252)에 원형으로 형성된 제2 밸브 시트(232)를 포함한다.
밸브부(300)는 제1 챔버(251) 내에서 제1 밸브 시트(231)에 대해 상대적으로 이동하여 제1 밸브 시트(231)를 개폐하는 제1 밸브부(310a)와, 제2 챔버(252) 내에서 제2 밸브 시트(232)에 대해 상대적으로 이동하여 제2 밸브 시트(232)를 개폐하는 제2 밸브부(310b)를 포함한다. 각각의 밸브부(310a, 310b)는 밸브체(311)와 다이어프램부(315)를 포함하고, 다이어프램부(315)는 피제어유체와 직접 접촉하여 움직이는 가동막부(316)와, 가동막부(316)의 외주에 연결되는 외주부(317)를 포함한다. 밸브체(311)는 원뿔대 형상으로 형성되어 원뿔대의 경사면이 밸브 시트(230)와 맞닿는다. 외주부(317)는 고정 블록(318)에 의해 밸브 바디(200)에 고정된다.
구동부(400)는 제1 밸브부(310a)를 구동하는 제1 구동부(410a)와, 제2 밸브부(310b)를 구동하는 제2 구동부(410b)를 포함한다. 각각의 구동부(410a, 410b)는 밸브체(311)와 나사 결합되고 케이스(500)에 형성된 피스톤 공간부(511)에 직선 이동가능하게 설치된 피스톤(411)과, 피스톤(411)의 외주에 설치된 피스톤 링(412)과, 피스톤(411)의 부분 중 피스톤(411)이 밸브체(311)와 결합되는 측의 반대측의 부분과 피스톤 공간부(511)의 외측 단부 사이에 설치되어 피스톤(411)을 밸브 시트(230)측으로 가압하는 스프링(413)과, 피스톤 공간부(511)와 연통되도록 케이스(500)에 형성된 공기압 도입부(415)를 포함한다. 배압 제어 밸브의 압력 설정은 밸브부(300)를 밸브 시트(230)측으로(폐쇄 방향으로) 부세하는 스프링(413)의 탄성계수에 의해 결정된다. 이 경우, 스프링(413)에 의한 탄성력으로 설정되는 하나의 압력 조건에서 압력 제어가 행해진다. 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 제1 구동부(410a)의 피스톤, 피스톤 링 및 스프링을 제2 구동부(410b)의 피스톤, 피스톤 링 및 스프링과 동일한 것을 사용할 수도 있으나, 피스톤, 피스톤 링의 형상이 다르거나 스프링의 형상 및 탄성계수가 다른 것을 사용하여 제1 구동부(410a)에 의해 제1 밸브부(310a)에 가해지는 힘이 제2 구동부(410b)에 의해 제2 밸브부(310b)에 가해지는 힘과 다르게 할 수 있다. 피스톤 공간부(511)에 피스톤(411), 피스톤 링(412) 및 스프링(413)이 설치되어 있음과 아울러 피스톤 공간부(511)에 공기압 도입부(415)가 연통되어 있기 때문에, 밸브부(300)를 가압하는 수단을 선택할 수 있다. 즉, 밸브부(300)를 가압하는 힘을 스프링(413)에 의해 조정하고자 하는 경우는 공기압 도입부(415)에 작동 에어를 도입하지 않으면 되고, 밸브부(300)를 가압하는 힘을 공기압 도입부(415)로 도입되는 작동 에어에 의해 조정하고자 하는 경우는 스프링(413)을 제거하거나 피스톤(411), 피스톤 링(412) 및 스프링(413)의 전부를 제거하면 된다. 또한, 스프링 하중, 공기압의 양방을 사용하는 것도 가능하다.
도 8 및 도 9는 각각 도 6 및 도 7로부터 스프링(413)을 제거하고 공기압 도입부(415)에 조압수단(416)을 연결한 상태를 나타내는 도면이다. 공기압을 사용하는 것에 의해, 압력 설정을 임의로 결정하는 것이 가능하게 된다. 도 8 및 도 9에서 피스톤(411) 및 피스톤 링(412)을 제거하여 작동 에어에 의한 압력이 밸브부(300)에 직접 걸리도록 할 수 있다. 도 8 및 도 9에는 제1 구동부(410a)의 공기압 도입부(415a) 및 제2 구동부(410b)의 공기압 도입부(415b)에 하나의 조압수단(416)이 연결되어 상측의 공기압 도입부(415a) 및 하측의 제2 구동부(410b)가 동일한 작동 에어 압력으로 가압되는 것으로 도시되어 있으나, 상측의 공기압 도입부(415a) 및 하측의 제2 구동부(410b)에 별개의 조압수단을 연결할 수도 있다.
케이스(500)는 밸브 바디(200)의 상면과 결합되고 제1 구동부(410a)가 포함되어 있는 제1 케이스(510a)와, 밸브 바디(200)의 하면과 결합되고 제2 구동부(410b)가 포함되어 있는 제2 케이스(510b)를 포함한다. 각각의 케이스(510a, 510b)에는 피스톤 공간부(511)가 형성되어, 피스톤 공간부(511)의 내부를 피스톤(411)이 직선 이동할 수 있고, 피스톤 공간부(511)에 연통되어 형성된 공기압 도입부(415)로 작동 에어를 도입할 수 있다.
밸브부(300)를 가압하는 힘이 스프링(413)에 의해 조정되는 경우의 배압 제어 밸브의 작동 원리를 설명하면 다음과 같다. 도 7에 도시된 바와 같이 배압 제어 밸브가 폐쇄되어 있는 상태에서, 배압 제어 밸브의 유입부(210)로 유입되는 유량이 증가하고 이에 따라 배압 제어 밸브의 1차측(상류측)에 걸리는 압력이 증가하여, 밸브부(300)의 외측으로 가해지는 힘이 스프링(413)에 의해 설정된 탄성력보다 커지는 경우, 제1 밸브부(310a)는 제1 밸브 시트(231)로부터 상방으로 이동하고 제2 밸브부(310b)는 제2 밸브 시트(232)로부터 하방으로 이동하여 도 6에 도시된 바와 같이 배압 제어 밸브가 개방되고, 피제어유체는 연통 유로(240) 및 챔버(250)를 통과하여 유출부(220)로 유출된다. 배압 제어 밸브의 1차측에 걸리는 압력이 도 6의 경우보다 크면 배압 제어 밸브의 개도는 도 6보다 커지고, 배압 제어 밸브의 1차측에 걸리는 압력이 도 6의 경우의 압력보다 작으면 배압 제어 밸브의 개도는 도 6보다 작아진다.
도 6에 도시된 바와 같이 배압 제어 밸브가 개방되어 있는 상태에서, 배압 제어 밸브의 유입부(210)로 유입되는 유량이 감소하고 이에 따라 배압 제어 밸브의 1차측(상류측)에 걸리는 압력이 감소하여, 밸브부(300)의 외측으로 가해지는 힘이 스프링(413)에 의해 설정된 탄성력보다 작아지는 경우, 제1 밸브부(310a)는 하방으로 이동하여 제1 밸브 시트(231)와 접촉하고 제2 밸브부(310b)는 상방으로 이동하여 제2 밸브 시트(232)와 접촉하여, 도 7에 도시된 바와 같이 배압 제어 밸브가 폐쇄되고, 피제어유체의 유출부(220)로의 유출은 차단된다.
밸브부(300)를 가압하는 힘이 공기압 도입부(415)로 도입되는 작동 에어에 의해 조정되는 경우의 배압 제어 밸브의 작동 원리를 설명하면 다음과 같다. 도 9에 도시된 바와 같이 배압 제어 밸브가 폐쇄되어 있는 상태에서, 배압 제어 밸브의 유입부(210)로 유입되는 유량이 증가하고 이에 따라 배압 제어 밸브의 1차측(상류측)에 걸리는 압력이 증가하여, 밸브부(300)의 외측으로 가해지는 힘이 작동 에어에 의해 설정된 힘보다 커지는 경우, 제1 밸브부(310a)는 제1 밸브 시트(231)로부터 상방으로 이동하고 제2 밸브부(310b)는 제2 밸브 시트(232)로부터 하방으로 이동하여 도 8에 도시된 바와 같이 배압 제어 밸브가 개방되고, 피제어유체는 연통 유로(240) 및 챔버(250)를 통과하여 유출부(220)로 유출된다. 배압 제어 밸브의 1차측에 걸리는 압력이 도 8의 경우보다 크면 배압 제어 밸브의 개도는 도 8보다 커지고, 배압 제어 밸브의 1차측에 걸리는 압력이 도 8의 경우의 압력보다 작으면 배압 제어 밸브의 개도는 도 8보다 작아진다.
도 8에 도시된 바와 같이 배압 제어 밸브가 개방되어 있는 상태에서, 배압 제어 밸브의 유입부(210)로 유입되는 유량이 감소하고 이에 따라 배압 제어 밸브의 1차측(상류측)에 걸리는 압력이 감소하여, 밸브부(300)의 외측으로 가해지는 힘이 작동 에어에 의해 설정된 힘보다 작아지는 경우, 제1 밸브부(310a)는 하방으로 이동하여 제1 밸브 시트(231)와 접촉하고 제2 밸브부(310b)는 상방으로 이동하여 제2 밸브 시트(232)와 접촉하여, 도 9에 도시된 바와 같이 배압 제어 밸브가 폐쇄되고, 피제어유체의 유출부(220)로의 유출은 차단된다.
배압 제어 밸브를 작동시킴에 있어, 스프링 하중, 공기압의 양방을 사용할 수 있음은 위에서 설명한 바와 같다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예들은, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
200: 밸브 바디 210: 유입부
220: 유출부 230: 밸브 시트
240: 연통 유로 250: 챔버
300: 밸브부 311: 밸브체
315: 다이어프램부 400: 구동부
411: 피스톤 412: 피스톤 링
413: 스프링 415: 공기압 도입부
500: 케이스 511: 피스톤 공간부

Claims (3)

  1. 피제어유체가 유입되는 유입부와, 상기 피제어유체가 유출되는 유출부와, 상기 유입부와 연통되는 연통 유로와, 상기 연통 유로 및 상기 유출부와 연통되고 밸브 시트가 형성된 챔버를 가지는 밸브 바디와;
    상기 챔버 내에서 상기 밸브 시트에 대해 상대적으로 이동하여 상기 밸브 시트를 개폐하는 밸브부와;
    상기 밸브부를 구동하는 구동부를 포함하고,
    상기 연통 유로는 상기 밸브 바디 내에서 분기되어 형성되고,
    상기 연통 유로는 제1 연통 유로 및 제2 연통 유로로 분기되어 형성되고,
    상기 챔버는 상기 제1 연통 유로와 연통되는 제1 챔버와, 상기 제2 연통 유로와 연통되는 제2 챔버를 포함하고,
    상기 밸브 시트는 상기 제1 챔버에 형성된 제1 밸브 시트와, 상기 제2 챔버에 형성된 제2 밸브 시트를 포함하고,
    상기 밸브부는 상기 제1 챔버 내에서 상기 제1 밸브 시트에 대해 상대적으로 이동하여 상기 제1 밸브 시트를 개폐하는 제1 밸브부와, 상기 제2 챔버 내에서 상기 제2 밸브 시트에 대해 상대적으로 이동하여 상기 제2 밸브 시트를 개폐하는 제2 밸브부를 포함하는 것을 특징으로 하는 배압 제어 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 유입부와 상기 유출부는 일직선 상에 위치하고, 상기 배압 제어 밸브는 상기 일직선에 대해 대칭으로 형성되는 것을 특징으로 하는 배압 제어 밸브.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 구동부는 탄성력 및 공기압 중 하나를 사용하거나 탄성력 및 공기압의 모두를 사용하여 작동되는 것을 특징으로 하는 배압 제어 밸브.
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR900013369A (ko) * 1989-02-27 1990-09-05 윌리엄 조셉 컬티스 라인 압력조정기
KR19990029881A (ko) * 1997-09-18 1999-04-26 가나이 쓰도무 차단기의 유압 구동 장치
JP2001099344A (ja) 1999-09-29 2001-04-10 Advance Denki Kogyo Kk 背圧制御弁
KR20040065678A (ko) * 2003-01-15 2004-07-23 한국디엔에스 주식회사 밸브 및 이를 사용하는 약액 공급 시스템
JP2005344855A (ja) * 2004-06-03 2005-12-15 Hitachi Constr Mach Co Ltd 制御弁装置
KR20150042699A (ko) * 2013-10-11 2015-04-21 아드반스 덴키 고교 가부시키가이샤 유량 제어 밸브 및 이것을 사용한 유량 제어 장치
JP6262977B2 (ja) * 2013-10-03 2018-01-17 Ｋｙｂ株式会社 液圧緩衝器

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR900013369A (ko) * 1989-02-27 1990-09-05 윌리엄 조셉 컬티스 라인 압력조정기
KR19990029881A (ko) * 1997-09-18 1999-04-26 가나이 쓰도무 차단기의 유압 구동 장치
JP2001099344A (ja) 1999-09-29 2001-04-10 Advance Denki Kogyo Kk 背圧制御弁
KR20040065678A (ko) * 2003-01-15 2004-07-23 한국디엔에스 주식회사 밸브 및 이를 사용하는 약액 공급 시스템
JP2005344855A (ja) * 2004-06-03 2005-12-15 Hitachi Constr Mach Co Ltd 制御弁装置
JP6262977B2 (ja) * 2013-10-03 2018-01-17 Ｋｙｂ株式会社 液圧緩衝器
KR20150042699A (ko) * 2013-10-11 2015-04-21 아드반스 덴키 고교 가부시키가이샤 유량 제어 밸브 및 이것을 사용한 유량 제어 장치

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