KR20180023413A - 기판 이송 장치 - Google Patents

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KR20180023413A
KR20180023413A KR1020160108812A KR20160108812A KR20180023413A KR 20180023413 A KR20180023413 A KR 20180023413A KR 1020160108812 A KR1020160108812 A KR 1020160108812A KR 20160108812 A KR20160108812 A KR 20160108812A KR 20180023413 A KR20180023413 A KR 20180023413A
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ultrasonic waves
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김기철
이창용
박기홍
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세메스 주식회사
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Abstract

기판 이송 장치는 기판의 이송 방향을 기준으로 후방에 배치되는 제1 보조 플레이트, 및 전방에 배치되는 제2 보조 플레이트로 이루어지는 메인 플레이트; 및 상기 기판이 부상된 상태에서 이송이 이루어지도록 상기 메인 플레이트를 통하여 상기 기판으로 초음파를 제공하는 초음파 제공부;를 포함하고, 상기 제2 보조 플레이트에 제공되는 초음파의 세기가 상기 제1 보조 플레이트에 제공되는 초음파의 세기보다 작도록 조절될 수 있다.

Description

기판 이송 장치{Apparatus for transferring a substrate}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 초음파를 이용하여 플레이트로부터 기판을 부상시킨 상태로 이송하기 위한 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판디스플레이(Flat Panel Display : FPD)는 대면적 기판(이하, '기판'이라 한다)을 이용하여 제조가 이루어진다. 특히, 상기 평판 디스플레이로 제조하기 위한 대면적 기판의 이송은 상기 기판이 아래로 처지는 것을 방지하기 위하여 플레이트로부터 상기 기판을 부상시킨 상태에서 이루어질 수 있다.
상기 기판을 부상시킨 상태에서 이송시킬 수 있는 이송 장치는 플레이트, 상기 플레이트로 이송되는 기판을 부상시킬 수 있도록 상기 플레이트를 통하여 상기 기판으로 초음파를 제공하는 초음파 제공부, 상기 플레이트로부터 부상시킨 상기 기판을 이송시키는 이송 가이드부 등을 포함할 수 있다.
상기 이송 가이드부는 상기 플레이트 상부로부터 상기 플레이트 표면을 항하면서 상기 기판 모서리를 이루는 양측면 부분에 접촉할 수 있게 구비될 수 있다. 이에, 상기 플레이트로부터 부상시킨 상기 기판 모서리 양측면 부분에 접촉하는 상기 이송 가이드부가 이송 방향을 따라 이동함에 의해 상기 기판의 이송이 이루어지는 것이다.
그러나 상기 이송 장치의 경우 상기 이송 가이드부가 상기 기판과 접촉하는 구조이기 때문에 마찰로 인하여 파티클 등이 발생할 수 있는 단점이 있다. 또한, 상기 이송 가이드부를 이동시키기 위한 별도 부재가 필요한 단점이 있고, 상기 이송 가이드부를 제자리로 복귀시켜야 하기 때문에 공정 시간이 많이 소요되는 단점이 있다.
본 발명의 목적은 이송 가이드부가 없는 구조를 가짐에도 불구하고 초음파를 이용하여 부상시킨 기판을 안정적으로 이송할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는데 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판의 이송 방향을 기준으로 후방에 배치되는 제1 보조 플레이트, 및 전방에 배치되는 제2 보조 플레이트로 이루어지는 메인 플레이트; 및 상기 기판이 부상된 상태에서 이송이 이루어지도록 상기 메인 플레이트를 통하여 상기 기판으로 초음파를 제공하는 초음파 제공부;를 포함하고, 상기 제2 보조 플레이트에 제공되는 초음파의 세기가 상기 제1 보조 플레이트에 제공되는 초음파의 세기보다 작도록 조절될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서, 상기 제2 보조 플레이트에 제공되는 초음파의 세기가 상기 제1 보조 플레이트에 제공되는 초음파의 세기보다 작도록 조절되게 상기 초음파 제공부는 상기 제1 보조 플레이트에 제1 세기를 갖는 초음파를 제공하도록 구비되는 제1 초음파 제공부, 및 상기 제2 보조 플레이트에 상기 제1 세기보다 작은 제2 세기를 갖는 초음파를 제공하도록 구비되는 제2 초음파 제공부로 이루어질 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치에서, 상기 제2 보조 플레이트에 제공되는 초음파의 세기가 상기 제1 보조 플레이트에 제공되는 초음파의 세기보다 작도록 조절되게 상기 제1 보조 플레이트와 상기 초음파 제공부 사이에는 제1 세기를 갖는 초음파가 제공되도록 조절하는 제1 초음파 조절부가 구비되고, 상기 제2 보조 플레이트와 상기 초음파 제공부 사이에는 상기 제1 세기보다 작은 제2 세기를 갖는 초음파가 제공되도록 조절하는 제2 초음파 조절부가 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서, 상기 메인 플레이트는 상기 기판의 이송 방향을 따라 적어도 2개가 나란하게 배치되도록 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서, 상기 메인 플레이트는 상기 기판을 건조시키기 위한 핫 플레이트를 포함할 수 있다.
언급한 본 발명의 기판 이송 장치에 따르면 초음파를 이용하여 기판을 부상시키고, 그리고 초음파의 세기 차이를 이용하여 기판을 이송시킬 수 있다. 이에, 본 발명의 기판 이송 장치는 이송 가이드부를 생략할 수 있다.
따라서 본 발명의 기판 이송 장치는 기판과 접촉하는 부분을 없앨 수 있기 때문에 마찰로 인하여 파티클이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 초음파를 이용하여 기판을 부상시키고 이송시킬 수 있기 때문에 기판을 이송시키기 위한 부재를 없앨 수 있고, 그리고 이송을 위한 부재를 복귀시키는 공정을 생략할 수 있기 때문에 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대하여 설명하기로 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 주로 평판 디스플레이 소자의 제조에서 대면적 기판(11)을 이송하는데 사용할 수 있다. 특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 평판 디스플레이 소자의 제조 중에서 상기 기판(11)을 건조시키는 공정에 사용할 수 있다. 이에, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)에서의 플레이트(12)는 핫 플레이트를 포함할 수 있다. 그러나 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 상기 기판(11)을 건조시키는 공정에만 한정하여 사용할 수 있는 것은 아니다.
상기 기판 이송 장치(100)는 플레이트(12), 초음파 제공부(140) 등을 포함할 수 있다.
상기 플레이트(12)는 메인 플레이트(110, 120, 130) 및 상기 메인 플레이트(110, 120, 130)에 부속되는 보조 플레이트(111, 113, 115, 117)로 이루어질 수 있다.
먼저 상기 메인 플레이트(110, 120, 130)는 기판(11)의 이송 방향을 따라 나란하게 배치되도록 구비되는 것으로써, 적어도 2개가 나란하게 배치되도록 구비될 수 있다. 특히 본 발명의 일 실시예에서는 3개의 메인 플레이트(110, 120, 130)가 나란하게 배치되도록 구비될 수 있는 것으로써, 제1 내지 제3 메인 플레이트(110, 120, 130)로 이루어질 수 있다.
또한 상기 메인 플레이트(110, 120, 130) 각각에는 적어도 2개의 보조 플레이트(111, 113, 115, 117)가 기판의 이송 방향을 따라 나란하게 배치되도록 구비될 수 있다. 특히, 본 발명의 일 실시예에서는 4개의 보조 플레이트(111, 113, 115, 117)가 나란하게 배치되도록 구비될 수 있는 것으로써, 제1 내지 제3 메인 플레이트(110, 120, 130) 각각에 제1 내지 제4 보조 플레이트(111, 113, 115, 117)가 구비될 수 있다.
상기 초음파 제공부(140)는 상기 플레이트(12)를 통하여 상기 기판(11)으로 초음파를 제공하도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 초음파 제공부(140)를 통하여 상기 기판(11)으로 초음파를 제공함으로써 상기 기판(11)은 상기 플레이트(12)로부터 부상할 수 있다.
그리고 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 기판(11)을 이송하기 위한 부재를 생략하는 구조를 갖는다. 이에, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 상기 기판(11)을 부상시키기 위한 초음파를 적절하게 운용함에 의해 상기 기판(11)을 이송시키는 구조를 가질 수 있다.
따라서 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 기판(11)의 이송 방향을 기준으로 전방에 배치되는 제2 보조 플레이트(113)에서의 초음파의 세기가 후방에 배치되는 제1 플레이트(111)에서의 초음파의 세기보다 작도록 조절될 수 있다. 즉, 상기 기판(11)의 이송 방향을 기준으로 앞쪽으로 전진할수록 초음파의 세기가 작도록 조절될 수 있는 것이다. 이에, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)에서는 상기 제1 보조 플레이트(111)에 제공되는 초음파의 세기가 가장 크도록 조절될 수 있고, 상기 제4 보조 플레이트(117)에 제공되는 초음파의 세기가 가장 작도록 조절될 수 있다.
이와 같이, 상기 기판 이송 장치(100)는 상기 제1 내지 제4 보조 플레이트(111, 113, 115, 117) 각각에 제공되는 초음파의 세기를 달리하여 상기 기판(11)을 이송 방향 쪽으로 경사지게 함으로써 상기 기판(11)의 이송을 달성할 수 있고, 그리고 가속, 감속, 및 정지를 달성할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에서는 상기 제1 메인 플레이트(110)와, 상기 제1 메인 플레이트(110)에 부속되는 제1 내지 제4 보조 플레이트(111, 113, 115, 117)에 대해서 설명하고 있지만, 제2 메인 플레이트(120)와 제3 메인 플레이트(130)에도 동일하게 적용될 수 있다.
그리고 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)에서는 상기 제1 내지 제4 보조 플레이트(111, 113, 115, 117)에 제공되는 초음파의 세기를 달리해야 하기 때문에 상기 제1 보조 플레이트(111)에는 제1 세기를 갖는 초음파를 제공할 수 있는 제1 초음파 제공부(141)가 연결될 수 있고, 상기 제2 보조 플레이트(113)에는 제2 세기를 갖는 초음파를 제공할 수 있는 제2 초음파 제공부(143)가 연결될 수 있고, 상기 제3 보조 플레이트(115)에는 제3 세기를 갖는 초음파를 제공할 수 있는 제3 초음파 제공부(145)가 연결될 수 있고, 상기 제4 보조 플레이트(117)에는 제4 세기를 갖는 초음파를 제공할 수 있는 제4 초음파 제공부(147)가 연결될 수 있다. 언급한 바와 같이, 상기 제1 세기의 초음파가 가장 크도록 조절될 수 있고, 제4 세기의 초음파가 가장 작도록 조절될 수 있다.
따라서 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 상기 기판(11)의 이송 방향을 기준으로 전방으로 갈수록 초음파의 세기를 작도록 조절하여 상기 기판(10)이 경사지도록 함으로써 초음파만을 사용함에도 불구하고 상기 기판(11)을 부상시킨 상태에서 이송할 수 있는 것이다.
이에, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 종래의 이송 가이드부를 생략할 수 있기 때문에 이송을 위하여 상기 기판과(11) 접촉하는 부분을 없앨 수 있고, 그 결과 마찰로 인하여 파티클이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 언급한 이송 가이드부의 생략을 통하여 기판 이송 장치 자체에 대한 구조를 보다 간단하게 할 수 있고, 그리고 이송에 사용한 이송 가이드부를 복귀시키는 공정을 생략할 수 있기 때문에 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
먼저 도 3에서의 기판 이송 장치는 도 1에서의 초음파를 제공하기 위한 초음파 제공부의 구조를 달리하는 것을 제외하고는 동일한 구조를 가지기 때문에 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고, 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 단일 구조의 초음파 제공부(150)를 포함할 수 있다.
그리고 상기 제1 보조 플레이트(111)와 상기 초음파 제공부(150) 사이에는 제1 세기를 갖는 초음파가 제공되도록 조절하는 제1 초음파 조절부(151)가 구비되고, 상기 제2 보조 플레이트(113)와 상기 초음파 제공부(150) 사이에는 상기 제1 세기보다 작은 제2 세기를 갖는 초음파가 제공되도록 조절하는 제2 초음파 조절부(153)가 구비되고, 상기 제3 보조 플레이트(113)와 상기 초음파 제공부(150) 사이에는 상기 제2 세기보다 작은 제3 세기를 갖는 초음파가 제공되도록 조절하는 제3 초음파 조절부(155)가 구비되고, 상기 제4 보조 플레이트(117)와 상기 초음파 제공부(150) 사이에는 상기 제3 세기보다 작은 제4 세기를 갖는 초음파가 제공되도록 조절하는 제4 초음파 조절부(157)가 구비될 수 있다.
따라서 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)의 경우에도 상기 기판(11)의 이송 방향을 기준으로 전방으로 갈수록 초음파의 세기를 작도록 조절하여 상기 기판(11)이 경사지도록 함으로써 초음파만을 사용함에도 불구하고 상기 기판(11)을 부상시킨 상태에서 이송할 수 있는 것이다.
본 발명에서의 기판 이송 장치는 기판과 접촉하는 부분을 없앨 수 있기 때문에 마찰로 인하여 파티클이 발생하는 것을 방지할 수 있고, 그 결과 불량 방지를 통하여 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있다. 또한, 초음파를 이용하여 기판을 부상시키고 이송시킬 수 있기 때문에 기판을 이송시키기 위한 부재를 없앨 수 있고, 그 결과 이송 장치의 간단한 구조를 통하여 가격 경쟁력의 향상을 기대할 수 있다. 아울러, 이송을 위한 부재를 복귀시키는 공정을 생략할 수 있기 때문에 공정 시간을 단축시킬 수 있고, 그 결과 공정 생산성의 향상을 기대할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 기판 12 : 플레이트
100 : 기판 이송 장치
110, 120, 130 : 메인 플레이트
111, 113, 115, 117 : 보조 플레이트
140, 141, 143, 145, 147, 150 : 초음파 제공부
151, 153, 155, 157 : 초음파 조절부

Claims (5)

  1. 기판의 이송 방향을 기준으로 후방에 배치되는 제1 보조 플레이트, 및 전방에 배치되는 제2 보조 플레이트로 이루어지는 메인 플레이트; 및
    상기 기판이 부상된 상태에서 이송이 이루어지도록 상기 메인 플레이트를 통하여 상기 기판으로 초음파를 제공하는 초음파 제공부;를 포함하고,
    상기 제2 보조 플레이트에 제공되는 초음파의 세기가 상기 제1 보조 플레이트에 제공되는 초음파의 세기보다 작도록 조절되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 보조 플레이트에 제공되는 초음파의 세기가 상기 제1 보조 플레이트에 제공되는 초음파의 세기보다 작도록 조절되게 상기 초음파 제공부는 상기 제1 보조 플레이트에 제1 세기를 갖는 초음파를 제공하도록 구비되는 제1 초음파 제공부, 및 상기 제2 보조 플레이트에 상기 제1 세기보다 작은 제2 세기를 갖는 초음파를 제공하도록 구비되는 제2 초음파 제공부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 보조 플레이트에 제공되는 초음파의 세기가 상기 제1 보조 플레이트에 제공되는 초음파의 세기보다 작도록 조절되게 상기 제1 보조 플레이트와 상기 초음파 제공부 사이에는 제1 세기를 갖는 초음파가 제공되도록 조절하는 제1 초음파 조절부가 구비되고, 상기 제2 보조 플레이트와 상기 초음파 제공부 사이에는 상기 제1 세기보다 작은 제2 세기를 갖는 초음파가 제공되도록 조절하는 제2 초음파 조절부가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 메인 플레이트는 상기 기판의 이송 방향을 따라 적어도 2개가 나란하게 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 메인 플레이트는 상기 기판을 건조시키기 위한 핫 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
KR1020160108812A 2016-08-26 2016-08-26 기판 이송 장치 KR20180023413A (ko)

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