CN107777358A - 基板移送装置 - Google Patents

Abstract

本发明的基板移送装置包括由以基板的移送方向为基准配置于后方的第一辅助板及配置于前方的第二辅助板构成的主板及通过所述主板向所述基板提供超声波使得能够在将所述基板浮起的状态下进行移送的超声波提供部，可以调节使得向所述第二辅助板提供的超声波的强度小于向所述第一辅助板提供的超声波的强度。本发明的基板移送装置利用超声波浮起基板，能够利用超声波的强度差移送基板，因此能够省略移送引导部。由于本发明的基板移送装置能够去除与基板接触的部分，从而能够防止摩擦引发的碎粒。

Description

基板移送装置

技术领域

本发明涉及基板移送装置，尤其涉及一种在利用超声波将基板从板上浮起的状态下进行移送的基板移送装置。

背景技术

通常，平板显示器(Flat Panel Display：FPD)由大面积基板(以下称为‘基板’)制造而成。尤其，为制造所述平板显示器而移送大面积基板时，为防止所述基板向下弯曲，可以以将所述基板从板上浮起的状态移送。

能够以浮起所述基板的状态进行移送的移送装置可包括板、通过所述板向所述基板提供超声波使得能够浮起向所述板移送的基板的超声波提供部及移送从所述板浮起的所述基板的移送引导部等。

所述移送引导部可设置成从所述板的上部朝向所述板的表面且接触构成所述基板的棱角的两侧面部分。对此，可通过沿着移送方向移动接触从所述板浮起的所述基板的棱角两侧面部分的所述移送引导部以移送述基板。

然而，由于所述移送装置为所述移送引导部接触所述基板的结构，因此具有摩擦能够引起碎粒等的问题。并且，具有还另外需要用于移动所述移送引导部的部件的问题，由于需要将所述移送引导部恢复到原位，因此具有工序所需时间长的问题。

发明内容

技术问题

本发明的目的是提供一种虽然没有移送引导部但仍能够稳定地移送利用超声波浮起的基板的基板移送装置。

技术方案

为达成上述目的，本发明一个实施例的基板移送装置包括：由以基板的移送方向为基准配置于后方的第一辅助板及配置于前方的第二辅助板构成的主板及通过所述主板向所述基板提供超声波使得能够在将所述基板浮起的状态下进行移送的超声波提供部，可以调节使得向所述第二辅助板提供的超声波的强度小于向所述第一辅助板提供的超声波的强度。

根据本发明一个实施例的基板移送装置，所述超声波提供部可以由向所述第一辅助板提供具有第一强度的超声波的第一超声波提供部及向所述第二辅助板提供具有小于所述第一强度的第二强度的超声波的第二超声波提供部构成，以调节使得向所述第二辅助板提供的超声波的强度小于向所述第一辅助板提供的超声波的强度。

根据本发明另一实施例的基板移送装置，所述第一辅助板与所述超声波提供部之间可具有调节使得提供具有第一强度的超声波的第一超声波调节部，所述第二辅助板与所述超声波提供部之间可具有调节使得提供具有小于所述第一强度的第二强度的超声波的第二超声波调节部，以使得向所述第二辅助板提供的超声波的强度小于向所述第一辅助板提供的超声波的强度。

根据本发明一个实施例的基板移送装置，可沿着所述基板的移送方向对齐配置有至少两个所述主板。

根据本发明一个实施例的基板移送装置，所述主板可包括用于干燥所述基板的加热板。

技术效果

根据上述本发明的基板移送装置，利用超声波浮起基板，并且能够利用超声波的强度差移送基板。因此，本发明的基板移送装置能够省略移送引导部。

因此本发明的基板移送装置能够去除与基板接触的部分，从而能够防止摩擦引发的碎粒。并且，由于能够利用超声波浮起基板并移送，因此能够去除用于移送基板的部件，并且能够省略复位移送用部件的工序，因此能够缩短工序时间。

附图说明

图1及图2为用于简要说明本发明一个实施例的基板移送装置的示意图；

图3为用于简要说明本发明另一实施例的基板移送装置的示意图。

附图标记说明

11：基板 12：板

100：基板移送装置 110、120、130：主板

111、113、115、117：辅助板

140、141、143、145、147、150：超声波提供部

151、153、155、157：超声波调节部

具体实施方式

本发明可进行多种变形，可具有多种形态，以下对实施例进行具体说明。但其目的并非将本发明限定于特定的公开形态，因此应理解为包括属于本发明的思想及技术范围的所有变更、等同物及替代物。在说明各附图方面，对类似的构成要素添加类似的附图标记。第一、第二等术语可用于说明多种构成要素，但所述构成要素不受所述术语限制。使用所述术语的目的在于使一个构成要素区分于其他构成要素。本申请中使用的术语只是用于说明特定实施例，目的并非对本发明进行限定。若记载内容中无另行定义，则单数的表现形式应理解为还包括复数的表现形式。本申请中的术语“包括”或“构成”等术语用于说明存在说明书中记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、构件或其组合，而并非预先排除一个或一个以上的其他特征、数字、步骤、动作、构成要素、构件或其组合的存在或附加可能性。

若无另行定义，本说明书中使用的包括技术术语或科学术语在内的所有术语均表示与本发明所属技术领域的普通技术人员的一般理解相同的含义。通常使用的词典定义过的术语应解释为与相关技术的文章脉络相一致的含义，本申请中无明确定义的前提下不得解释为理想或过度形式性的含义。

以下参见附图说明本发明一个实施例的基板移送装置。

图1及图2为用于简要说明本发明一个实施例的基板移送装置的示意图。

参见图1及图2，本发明一个实施例的基板移送装置100可主要用于移送制造平板显示器元件时移送大面积基板11。尤其，本发明一个实施例的基板移送装置100可在制造平板显示器元件的过程中用于干燥所述基板11的工序。为此，本发明一个实施例的基板移送装置100的板12可包括加热板。但本发明一个实施例的基板移送装置100并非仅可用于干燥所述基板11的工序。

所述基板移送装置100可包括板12、超声波提供部140等。

所述板12可以由主板110、120、130及附属于所述主板110、120、130的辅助板111、113、115、117构成。

首先，所述主板110、120、130沿着基板11的移送方向对齐配置，可以对齐配置至少两个。尤其，本发明的一个实施例可以对齐配置三个主板110、120、130，可以由第一主板110至第三主板130构成。

并且，各所述主板110、120、130可分别具有沿着基板的移送方向对齐配置的至少两个辅助板111、113、115、117。尤其，本发明的一个实施例可以对齐配置四个辅助板111、113、115、117，可在第一主板110至第三主板130分别配置第一辅助板至第四辅助板，即111、113、115、117。

可以使所述超声波提供部140通过所述板12向所述基板11提供超声波。为此，可通过所述超声波提供部140向所述基板11提供超声波从所述板12浮起所述基板11。

并且，本发明一个实施例的基板移送装置100具有省略了用于移送基板11的部件的结构。对此，本发明一个实施例的基板移送装置100可具有通过合理利用用于浮起所述基板11的超声波移送所述基板11的结构。

因此，本发明一个实施例的基板移送装置100可以调节使得以基板11的移送方向为基准配置在前方的第二辅助板113的超声波强度小于配置于后方的第一辅助板111的超声波强度。即，可以调节使得超声波的强度以所述基板11的移送方向为基准向前方逐渐减小。为此，本发明一个实施例的基板移送装置100可以调节使得向所述第一辅助板111提供的超声波的强度最大，向所述第四辅助板117提供的超声波的强度最小。

如上，所述基板移送装置100可通过差别化所述第一辅助板113至第四辅助板117提供的超声波的强度使得所述基板11向移送方向侧倾斜达到移送所述基板11的目的，并且可以实现加速、减速及停止。

上述本发明的一个实施例对所述第一主板110、附属于所述第一主板110的第一辅助板111至第四辅助板117进行了说明，但同样可以适用于第二主板120与第三主板130。

并且，本发明一个实施例的基板移送装置100需要差别化向所述第一辅助板111至第四辅助板117的超声波的强度，因此可以在所述第一辅助板111连接能够提供具有第一强度的超声波的第一超声波提供部141，在所述第二辅助板113连接能够提供具有第二强度的超声波的第二超声波提供部143，在所述第三辅助板115连接能够提供具有第三强度的超声波的第三超声波提供部145，可以在所述第四辅助板117连接能够提供具有第四强度的超声波的第四超声波提供部147。如上所述，可以调节成所述第一强度的超声波最大，调节成第四强度的超声波最小。

因此，本发明一个实施例的基板移送装置100可以调节使得超声波的强度以所述基板11的移送方向为基准向前方逐渐减小以使所述基板10倾斜，因此虽然仅使用超声波但还是能够在将所述基板11浮起的状态下进行移送。

因此，本发明一个实施例的基板移送装置100能够省略现有的移送引导部，因此能够去除为移送而与所述基板11接触的部分，从而能够防止引起碎粒。并且，能够通过省略上述移送引导部更简化基板移送装置本身的结构，并且能够省略复位用于移送的移送引导部的工序，因此能够缩短工序时间。

图3为用于简要说明本发明另一实施例的基板移送装置的示意图。

首先，图3的基板移送装置相比于图1除了用于提供超声波的超声波提供部的结构之外其余结构均相同，因此对相同部件使用相同附图标记，并省略其具体说明。

参见图3，本发明另一实施例的基板移送装置100可包括单一结构的超声波提供部150。

并且，所述第一辅助板111与所述超声波提供部150之间具有调节使得提供具有第一强度的超声波的第一超声波调节部151，所述第二辅助板113与所述超声波提供部150之间具有调节使得提供具有小于所述第一强度的第二强度的超声波的第二超声波调节部153，所述第三辅助板113与所述超声波提供部150之间具有调节使得提供具有小于所述第二强度的第三强度的超声波的第三超声波调节部155，所述第四辅助板117与所述超声波提供部150之间具有调节使得提供具有小于所述第三强度的第四强度的超声波的第四超声波调节部157。

因此本发明另一实施例的基板移送装置100也能够调节使得超声波的强度以所述基板11的移送方向为基准向前方逐渐减小以使所述基板11倾斜，因此仅使用超声波也能够在将所述基板11浮起的状态下进行移送。

产业上的可应用性

本发明的基板移送装置能够去除与基板接触的部分，因此能够防止摩擦引发的碎粒，从而能够通过防止不良提高工序可靠性。并且，由于能够利用超声波浮起基板进行移送，因此能够去除用于移送基板的部件，从而能够通过简化基板移送装置的结构提高价格竞争力。并且，由于能够省略复位移送用部件的工序，因此能够缩短工序时间，从而能够提高工序生产性。

以上参见本发明的优选实施例进行了说明，本领域的普通技术人员应当理解：在不使相应技术方案的本质脱离本发明技术方案的思想及范围的前提下，其依然可以对本发明进行多种修改及变更。

Claims (5)

1.一种基板移送装置，其特征在于，包括：

主板，其由以基板的移送方向为基准配置于后方的第一辅助板及配置于前方的第二辅助板构成；及

超声波提供部，其通过所述主板向所述基板提供超声波使得能够在将所述基板浮起的状态下进行移送，

所述基板移送装置调节使得向所述第二辅助板提供的超声波的强度小于向所述第一辅助板提供的超声波的强度。

2.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于：

所述超声波提供部由向所述第一辅助板提供具有第一强度的超声波的第一超声波提供部及向所述第二辅助板提供具有小于所述第一强度的第二强度的超声波的第二超声波提供部构成，以调节使得向所述第二辅助板提供的超声波的强度小于向所述第一辅助板提供的超声波的强度。

3.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于：

所述第一辅助板与所述超声波提供部之间具有调节使得提供具有第一强度的超声波的第一超声波调节部，所述第二辅助板与所述超声波提供部之间具有调节使得提供具有小于所述第一强度的第二强度的超声波的第二超声波调节部，以使得向所述第二辅助板提供的超声波的强度小于向所述第一辅助板提供的超声波的强度。

4.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于：

沿着所述基板的移送方向对齐配置有至少两个所述主板。

5.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于：

所述主板包括用于干燥所述基板的加热板。