KR20180014057A - 노광 데이터 보정 장치, 배선 패턴 형성 시스템 및 배선 기판의 제조 방법 - Google Patents

노광 데이터 보정 장치, 배선 패턴 형성 시스템 및 배선 기판의 제조 방법 Download PDF

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KR20180014057A KR1020177037572A KR20177037572A KR20180014057A KR 20180014057 A KR20180014057 A KR 20180014057A KR 1020177037572 A KR1020177037572 A KR 1020177037572A KR 20177037572 A KR20177037572 A KR 20177037572A KR 20180014057 A KR20180014057 A KR 20180014057A
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Abstract

하저 데이터의 수동 측정에 의한 수고를 저감시키면서, 노광 데이터 보정량의 오차를 억제하여, 회로 폭 정밀도를 향상시킨다. 설계 데이터에 기초하는 노광 데이터를 사용한 회로 가공에 의해 얻어진 제1 실패턴의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제1 상저 데이터를 취득하고, 제1 실패턴의 하저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 하저 데이터를 취득하고, 제1 상저 데이터와 하저 데이터의 상관 관계를 결정하고, 제1 실패턴의 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터 또는 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제2 상저 데이터를 취득하고, 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 설계 데이터, 제2 상저 데이터 및 상관 관계에 기초하여, 보정 함수를 결정하고, 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 노광 데이터를 보정 함수에 기초하여 보정하는, 노광 데이터 보정 장치.

Description

노광 데이터 보정 장치, 배선 패턴 형성 시스템 및 배선 기판의 제조 방법
본 발명은 노광 데이터 보정 장치, 배선 패턴 형성 시스템 및 배선 기판의 제조 방법에 관한 것이고, 특히 전자 기기 등에 사용되는 배선 기판의 제조에 사용되는 노광 데이터 보정 장치, 배선 패턴 형성 시스템 및 배선 기판의 제조 방법에 관한 것이다.
전자 기기의 고기능화, 소형화의 동향으로부터, 전자 기기에 사용되는 배선 기판에 대해서도, 배선 패턴의 세선화에 의한 고밀도화가 요구되고 있다.
이러한 배선 패턴의 세선화에 의한 고밀도화에 대응하기 위한 배선 패턴 형성 방법으로서는, 감광성 레지스트에 노광 패턴을 레이저광이나 UV-LED 광 등으로 직접 조사하는 직접 묘화식의 노광 장치(DI)와, 에칭 등으로 실제로 형성된 실패턴을 반사광으로 판독하여 원데이터(설계 데이터)와의 비교를 행하는 광학식 검사 장치(AOI)를 조합하고, 에칭 후의 실제의 결과 데이터를 광학식 외관 검사 장치(AOI)에 도입하여, 노광 장치(DI)에 피드백하는 방법이 생각되고 있다(특허문헌 1 내지 3).
일본 특허 공개 제2005-116929호 공보 일본 특허 공개 제2006-303229호 공보 일본 특허 공개 제2007-033764호 공보
도 17에 도시한 바와 같이, 실패턴은, 상저(톱)와 하저(보텀)를 갖는 볼록상의 형상을 갖는 것이며, 결과값, 예를 들어 배선 패턴(이하, 간단히 「패턴」이라 하는 경우가 있다)의 회로 폭은 톱 폭(1702)과 보텀 폭(1704)에서 상이하다. 배선 패턴의 고밀도화에 있어서는, 설계값과 보텀 폭의 오차를 작게 하는 것이 중요하다. 광학식 외관 검사 장치(AOI)를 사용하면, 결과값 측정을 비교적 용이하게 행할 수 있지만, AOI에 의해 측정되는 결과값은 톱 폭이며, 보텀 폭의 데이터는 얻지 못한다. 이 때문에 AOI의 측정값을 사용하여 DI에 피드백하여 노광 데이터의 보정을 행해도, 톱 폭과 보텀 폭의 차분에 의한 오차가 발생하는 문제가 있다.
현미경을 사용함으로써 보텀 폭을 측정하는 것은 가능한데, 수동으로 행할 필요가 있기 때문에 방대한 측정 시간이 필요해진다. 측정 부담을 경감시키기 위하여 측정 개소를 저감시켜 측정을 행한 경우에는, 충분한 샘플을 취할 수 없기 때문에, 정확한 피드백을 행할 수 없다는 문제가 있다.
본 발명은 하저(보텀) 데이터의 수동 측정에 의한 수고를 저감시키면서, 노광 데이터 보정량의 오차를 억제하여, 미세 회로 형성 시의 회로 폭 정밀도를 향상시키는 것이 가능한 노광 데이터 보정 장치, 배선 패턴 형성 시스템 및 배선 기판의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 상기한 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 이하와 같은 특징을 갖고 있다. 즉 본 발명의 일 실시 형태의 노광 데이터 보정 장치는, 목표로 하는 배선 패턴을 위한 설계 데이터에 기초하는 노광 데이터를 사용한 회로 가공에 의해 얻어진 상저 및 하저를 갖는 볼록상의 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제1 상저 데이터를 취득하고, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 하저 데이터를 취득하고, 상기 제1 상저 데이터와 상기 하저 데이터의 상관 관계를 결정하고, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제2 상저 데이터를 취득하고, 상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 설계 데이터, 상기 제2 상저 데이터 및 상기 상관 관계에 기초하여, 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 당해 차분을 억제하기 위한 보정량의 관계를 나타내는 보정 함수를 결정하고, 상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 노광 데이터를 상기 보정 함수에 기초하여 보정한다.
본 발명에 있어서의 상기 제1 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고, 상기 하저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고, 상기 제2 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제2 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고, 상기 상관 관계를 결정하는 것은, 상기 제1 상저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 기초하여 제1 가보정 함수를 결정하고, 상기 하저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 기초하여 제2 가보정 함수를 결정하고, 상기 제1 가보정 함수로부터 얻어지는 보정량과 당해 보정량에 대응하는 제2 가보정 함수로부터 얻어지는 보정량의 차분에 기초하여 보정량 차분 함수를 작성하는 것을 포함하고, 상기 보정 함수를 결정하는 것은, 상기 제2 상저 데이터를 취득하기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터 및 상기 제2 상저 데이터에 기초하여 제3 가보정 함수를 결정하고, 상기 보정량 차분 함수에 기초하여 상기 제3 가보정 함수를 수정하여 보정 함수를 결정하는 것을 포함해도 된다.
또한, 상기 제1 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 상저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고, 상기 하저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 하저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고, 상기 제2 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제2 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고, 상기 상관 관계를 결정하는 것은, 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 상기 제1 상저 데이터에 있어서의 결과값의 관계를 나타내는 제1 결과값 함수를 결정하고, 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 상기 하저 데이터에 있어서의 결과값의 관계를 나타내는 제2 결과값 함수를 결정하고, 상기 제1 결과값 함수와 제2 결과값 함수의 차분에 기초하는 결과값 차분 함수를 결정하는 것을 포함하고, 상기 보정 함수를 결정하는 것은, 상기 제2 상저 데이터를 취득하기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터 및 상기 제2 상저 데이터에 기초하여 가보정 함수를 결정하고, 상기 결과값 차분 함수에 기초하여 상기 가보정 함수를 수정하여 보정 함수를 결정하는 것을 포함해도 된다.
또한, 상기 제1 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고, 상기 하저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고, 상기 제2 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제2 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고, 상기 상관 관계를 결정하는 것은, 상기 제1 상저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 있어서 나타나는 보정량과 당해 보정량에 대응하는 상기 하저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 있어서 나타나는 보정량의 보정량 상관 함수를 결정하는 것을 포함하고, 상기 보정 함수를 결정하는 것은, 상기 제2 상저 데이터를 취득하기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터 및 상기 제2 상저 데이터에 기초하여 가보정 함수를 결정하고, 상기 보정량 상관 함수에 기초하여 상기 가보정 함수를 수정하여 보정 함수를 결정하는 것을 포함해도 된다.
또한, 상기 제1 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 상저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고, 상기 하저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 하저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고, 상기 제2 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값을 포함하고, 상기 상관 관계를 결정하는 것은, 상기 제1 상저 데이터에 있어서 측정된 결과값과 하저 데이터에 있어서 측정된 결과값의 결과값 상관 함수를 결정하는 것을 포함하고, 상기 보정 함수를 결정하는 것은, 상기 결정된 결과값 상관 함수에 기초하여, 상기 제2 상저 데이터에 있어서의 결과값에 기초하여 당해 결과값에 대응하는 하저에 있어서의 결과값의 추정값을 계산하고, 상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 추정된 하저에 있어서의 결과값의 차분에 기초하여 보정 함수를 결정하는 것을 포함해도 된다.
상기 제1 및 제2 상저 데이터에 포함되는 결과값은 광학식 외관 검사 장치에 의해 얻어지는 데이터에 기초하는 것이고, 상기 하저 데이터는 현미경에 의해 얻어지는 데이터에 기초하는 것이어도 된다.
상기 보정 함수가, 배선 패턴이 배치된 동일 기판면의 영역마다 결정되어도 된다.
상기 보정 함수가, 배선 패턴이 배치된 동일 기판의 상면 및 하면마다 결정되어도 된다.
상기 보정 함수가, 배선 패턴에 있어서의 세로 라인 및 가로 라인의 각각에 대하여 결정되어도 된다.
또한 본 발명의 배선 패턴 형성 시스템은, 목표로 하는 배선 패턴의 설계 데이터에 기초하는 노광 데이터를 작성하는 노광 데이터 작성 수단과, 노광 데이터에 기초하여, 기판 위에 배치된 감광성 레지스트에, 노광 패턴을 노광하는 패턴 노광 수단과, 상기 노광 패턴이 노광된 감광성 레지스트를 현상하여 현상 패턴을 형성하는 현상 패턴 형성 수단과, 상기 현상 패턴을 형성한 기판에 대하여 회로 가공을 행하여 실패턴을 형성하는 실패턴 형성 수단과, 상기 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 상저 데이터를 작성하는 상저 데이터 작성 수단과, 상기 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 하저 데이터를 작성하는 하저 데이터 작성 수단과, 상기 상저 데이터, 하저 데이터 및 설계 데이터에 기초하여 노광 데이터를 보정하는 전술한 노광 데이터 보정 장치를 구비한다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 노광 데이터를 보정하기 위한 프로그램은, 컴퓨터에, 목표로 하는 배선 패턴을 위한 설계 데이터에 기초하는 노광 데이터를 사용한 회로 가공에 의해 얻어진 상저 및 하저를 갖는 볼록상의 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제1 상저 데이터를 취득하는 공정과, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 하저 데이터를 취득하는 공정과, 상기 제1 상저 데이터와 상기 하저 데이터의 상관 관계를 결정하는 공정과, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제2 상저 데이터를 취득하는 공정과, 상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 설계 데이터, 상기 제2 상저 데이터 및 상기 상관 관계에 기초하여, 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 당해 차분을 억제하기 위한 보정량의 관계를 나타내는 보정 함수를 결정하는 공정과, 상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 노광 데이터를 상기 보정 함수에 기초하여 보정하는 공정을 실행시킨다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 노광 데이터를 보정하기 위한 방법이며, 목표로 하는 배선 패턴을 위한 설계 데이터에 기초하는 노광 데이터를 사용한 회로 가공에 의해 얻어진 상저 및 하저를 갖는 볼록상의 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제1 상저 데이터를 취득하는 공정과, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 하저 데이터를 취득하는 공정과, 상기 제1 상저 데이터와 상기 하저 데이터의 상관 관계를 결정하는 공정과, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제2 상저 데이터를 취득하는 공정과, 상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 설계 데이터, 상기 제2 상저 데이터 및 상기 상관 관계에 기초하여, 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 당해 차분을 억제하기 위한 보정량의 관계를 나타내는 보정 함수를 결정하는 공정과, 상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 노광 데이터를 상기 보정 함수에 기초하여 보정하는 공정을 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 배선 기판 제조 방법은, 목표로 하는 배선 패턴을 위한 설계 데이터에 기초하는 노광 데이터를 사용한 회로 가공에 의해 얻어진 상저 및 하저를 갖는 볼록상의 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제1 상저 데이터를 취득하는 공정과, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 하저 데이터를 취득하는 공정과, 상기 제1 상저 데이터와 상기 하저 데이터의 상관 관계를 결정하는 공정과, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제2 상저 데이터를 취득하는 공정과, 상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 설계 데이터, 상기 제2 상저 데이터 및 상기 상관 관계에 기초하여, 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 당해 차분을 억제하기 위한 보정량의 관계를 나타내는 보정 함수를 결정하는 공정과, 상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 노광 데이터를 상기 보정 함수에 기초하여 보정하는 공정과, 상기 노광 데이터에 기초하여 배선 패턴을 형성하는 공정을 포함하는, 배선 기판 제조 방법.
또한, 상기 제1 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고, 상기 하저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고, 상기 제2 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제2 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고, 상기 상관 관계를 결정하는 공정은, 상기 제1 상저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 기초하여 제1 가보정 함수를 결정하는 공정과, 상기 하저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 기초하여 제2 가보정 함수를 결정하는 공정과, 상기 제1 가보정 함수로부터 얻어지는 보정량과 당해 보정량에 대응하는 제2 가보정 함수로부터 얻어지는 보정량의 차분에 기초하여 보정량 차분 함수를 작성하는 공정을 포함하고, 상기 보정 함수를 결정하는 공정은, 상기 제2 상저 데이터를 취득하기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터 및 상기 제2 상저 데이터에 기초하여 제3 가보정 함수를 결정하는 공정과, 상기 보정량 차분 함수에 기초하여 상기 제3 가보정 함수를 수정하여 보정 함수를 결정하는 공정을 포함해도 된다.
상기 제1 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 상저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고, 상기 하저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 하저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고, 상기 제2 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제2 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고, 상기 상관 관계를 결정하는 공정은, 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 상기 제1 상저 데이터에 있어서의 결과값의 관계를 나타내는 제1 결과값 함수를 결정하는 공정과, 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 상기 하저 데이터에 있어서의 결과값의 관계를 나타내는 제2 결과값 함수를 결정하는 공정과, 상기 제1 결과값 함수와 제2 결과값 함수의 차분에 기초하는 결과값 차분 함수를 결정하는 공정을 포함하고, 상기 보정 함수를 결정하는 공정은, 상기 제2 상저 데이터를 취득하기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터 및 상기 제2 상저 데이터에 기초하여 가보정 함수를 결정하는 공정과, 상기 결과값 차분 함수에 기초하여 상기 가보정 함수를 수정하여 보정 함수를 결정하는 공정을 포함해도 된다.
상기 제1 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고, 상기 하저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고, 상기 제2 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제2 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고, 상기 상관 관계를 결정하는 공정은, 상기 제1 상저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 있어서 나타나는 보정량과 당해 보정량에 대응하는 상기 하저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 있어서 나타나는 보정량의 보정량 상관 함수를 결정하는 공정을 포함하고, 상기 보정 함수를 결정하는 공정은, 상기 제2 상저 데이터를 취득하기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터 및 상기 제2 상저 데이터에 기초하여 가보정 함수를 결정하는 공정과, 상기 보정량 상관 함수에 기초하여 상기 가보정 함수를 수정하여 보정 함수를 결정하는 공정을 포함해도 된다.
상기 제1 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 상저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고, 상기 하저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 하저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고, 상기 제2 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값을 포함하고, 상기 상관 관계를 결정하는 공정은, 상기 제1 상저 데이터에 있어서 측정된 결과값과 하저 데이터에 있어서 측정된 결과값의 결과값 상관 함수를 결정하는 공정을 포함하고, 상기 보정 함수를 결정하는 공정은, 상기 결정된 결과값 상관 함수에 기초하여, 상기 제2 상저 데이터에 있어서의 결과값에 기초하여 당해 결과값에 대응하는 하저에 있어서의 결과값의 추정값을 계산하는 공정과, 상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 추정된 하저에 있어서의 결과값의 차분에 기초하여 보정 함수를 결정하는 공정을 포함해도 된다.
상기 제1 및 제2 상저 데이터에 포함되는 결과값은 광학식 외관 검사 장치에 의해 얻어지는 데이터에 기초하는 것이고, 상기 하저 데이터는 현미경에 의해 얻어지는 데이터에 기초하는 것이어도 된다.
상기 보정 함수가, 배선 패턴이 배치된 동일 기판면의 영역마다 결정되어도 된다.
상기 보정 함수가, 배선 패턴이 배치된 동일 기판의 상면 및 하면마다 결정되어도 된다.
상기 보정 함수가, 배선 패턴에 있어서의 세로 라인 및 가로 라인의 각각에 대하여 결정되어도 된다.
본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 배선 기판 제조 방법은, 목표로 하는 배선 패턴의 설계 데이터에 기초하는 노광 데이터를 작성하는 공정과, 노광 데이터에 기초하여, 기판 위에 배치된 감광성 레지스트에, 노광 패턴을 노광하는 공정과, 상기 노광 패턴이 노광된 감광성 레지스트를 현상하여 현상 패턴을 형성하는 공정과, 상기 현상 패턴을 형성한 기판에 대하여 회로 가공을 행하여 제1 실패턴을 형성하는 공정과, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제1 상저 데이터를 작성하는 공정과, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 하저 데이터를 작성하는 공정과, 상기 제1 상저 데이터와 상기 하저 데이터의 상관 관계를 결정하는 공정과, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제2 상저 데이터를 작성하는 공정과, 상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 설계 데이터, 상기 제2 상저 데이터 및 상기 상관 관계에 기초하여, 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 당해 차분을 억제하기 위한 보정량의 관계를 나타내는 보정 함수를 결정하는 공정과, 상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 노광 데이터를 상기 보정 함수에 기초하여 보정하는 공정과, 상기 보정된 노광 데이터에 기초하여 배선 패턴을 형성하는 공정을 포함한다.
본 발명에 따르면, 하저 데이터의 수동 측정에 의한 수고를 저감시키면서, 상저 데이터(AOI 측정 데이터)와 실패턴의 하저 데이터의 상관 관계에 기초하여, 노광 데이터 보정량의 오차분을 억제하여, 미세 회로 형성 시의 회로 폭 정밀도를 향상시키는 것이 가능한 노광 데이터 보정 장치, 배선 패턴 형성 시스템 및 배선 기판의 제조 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 형태의 배선 패턴 형성 시스템의 개략도를 도시한다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 있어서의 노광 데이터 보정 장치의 하드웨어 구성도를 도시한다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태의 노광 데이터 보정 방법의 흐름도를 나타낸다.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태의 노광 데이터 보정 공정의 흐름도를 나타낸다.
도 5는 본 발명의 일 실시 형태의 노광 데이터 보정 공정의 흐름도를 나타낸다.
도 6은 본 발명의 일 실시 형태의 가보정 함수를 나타낸다.
도 7은 본 발명의 일 실시 형태의 가보정 함수 및 보정 함수를 나타낸다.
도 8은 본 발명의 일 실시 형태의 노광 데이터 보정 공정의 흐름도를 나타낸다.
도 9는 본 발명의 일 실시 형태의 결과값 함수를 나타낸다.
도 10은 본 발명의 일 실시 형태의 가보정 함수 및 보정 함수를 나타낸다.
도 11은 본 발명의 일 실시 형태의 노광 데이터 보정 공정의 흐름도를 나타낸다.
도 12는 본 발명의 일 실시 형태의 보정량 상관 함수를 나타낸다.
도 13은 본 발명의 일 실시 형태의 가보정 함수 및 보정 함수를 나타낸다.
도 14는 본 발명의 일 실시 형태의 노광 데이터 보정 공정의 흐름도를 나타낸다.
도 15는 본 발명의 일 실시 형태의 결과값 상관 함수를 나타낸다.
도 16은 본 발명의 일 실시 형태의 보정 함수를 나타낸다.
도 17은 실패턴의 단면 형상의 개략도를 도시한다.
[제1 실시 형태]
도 1에 본 발명의 일 실시 형태에 관한 배선 패턴 형성 시스템(100)의 구성도를 도시한다. 배선 패턴 형성 시스템(100)은, 설계 데이터 작성 장치(101), 노광 데이터 작성 장치(102), 노광 장치(104), 현상 패턴 작성 장치(106), 실패턴 작성 장치(108), 상저 및 하저 데이터 작성 장치(110) 및 노광 데이터 보정 장치(112)를 구비한다.
설계 데이터 작성 장치(101)는 설계 데이터를 작성하는 장치이며, 본 실시 형태에 있어서는 CAD(Computer Aided Design)를 사용한다. 배선 패턴의 설계 데이터(원데이터)는, 형성하려고 하는 목표의 배선 패턴을 데이터화한 것이며, 예를 들어 좌표와 회로 폭으로 나타내는 것이다. 노광에 필요한 정보가 부가된 데이터를 갖고 있어도 된다. 본 발명에 있어서는, 임의의 배선 패턴을 사용할 수 있다.
노광 데이터 작성 장치(102)는, 설계 데이터로부터 노광 데이터를 작성하는 장치이며, 여기에서는 CAM(Computer Aided Manufacturing)을 사용한다. 노광 장치(104)는, 노광 데이터 작성 장치(102)에 의해 작성된 노광 데이터에 기초하여, 기판 위에 배치된 감광성 레지스트에, 노광 패턴을 노광하는 장치이다. 예를 들어, 레이저광 또는 UV-LED 광을 사용하여, 직접 감광성 레지스트에 노광 패턴을 노광시키는 직접 묘화 장치(DI: Direct Imaging)를 사용할 수 있다. 노광 데이터는, 배선 패턴에 대응하는 노광 패턴을, 레이저광 또는 UV 광 등을 사용한 직선 묘화 장치 등의 노광 장치에 의해, 감광성 레지스트를 감광시켜 형성하기 위한 데이터이다.
감광성 레지스트란, 포토리소법에 의해, 구리박 등의 금속박을 에칭함으로써, 배선 패턴을 형성할 때에 사용하는 에칭 레지스트를 의미한다. 노광 패턴이란, 노광 데이터에 기초하여, 감광성 레지스트에 노광된 패턴을 의미하며, 그 후의 현상에 의해 형성되는 현상 패턴에 대응하는 것이다. 현상 패턴 작성 장치(106)는 노광 패턴이 노광된 감광성 레지스트를 현상하여 현상 패턴을 형성하는 장치이다.
실패턴 작성 장치(108)는 현상 패턴을 형성한 기판에 대하여 회로 가공을 행하여, 실패턴을 형성하는 장치이다. 예를 들어, 에칭 장치를 사용할 수 있다. 회로 가공이란, 실패턴을 형성하는 것을 의미하는데, 예를 들어 서브트랙트법에 의해 금속박을 에칭하여 배선 패턴을 형성하는 것을 들 수 있다. 실패턴은 실패턴 형성 수단에 의해 형성할 수 있다. 실패턴이란, 회로 형성을 행하여 실제로 형성되는 배선 패턴을 의미하며, 예를 들어 서브트랙트법에 의해 금속박을 에칭하여 얻어진 배선 패턴을 들 수 있다.
상저 및 하저 데이터 작성 장치(110)는 실패턴의 상저(톱) 및 하저(보텀)의 좌표와 회로 폭이나 간극 폭 등의 결과값으로 표시된 데이터를 작성하는 장치이다. 본 실시 형태에 있어서는, 상저 데이터의 작성을 위하여 광학식 외관 검사 장치(AOI: Automatic Optical Inspection)를 사용한다. AOI는, 실패턴의 상저(톱)로부터 반사하는 광을 검출하여 그 패턴을 수치화하고, 좌표와 회로 폭이나 간극 폭 등의 결과값으로 표시된 데이터로 하는 데 사용할 수 있다. 또한, 하저 데이터의 작성을 위하여, 측정 기능을 갖는 금속 현미경(간단히, 「현미경」이라 하는 경우가 있다)을 사용할 수 있다. 여기에서는, 상저 및 하저 데이터 작성 장치(110)는 현미경을 사용하여 측정된 하저 결과값의 입력을 접수하고, 이것에 기초하여 하저 데이터를 작성한다.
노광 데이터 보정 장치(112)는, 상저 및 하저 데이터 작성 장치(110)에 의해 작성된 제1 상저 데이터 및 하저 데이터를 취득하고, 제1 상저 데이터 및 하저 데이터의 상관 관계를 결정한다. 또한, 상저 및 하저 데이터 작성 장치(110)에 의해 작성된, 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터 또는 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제2 상저 데이터를 취득한다. 그리고, 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 설계 데이터, 제2 상저 데이터 및 결정된 상관 관계에 기초하여, 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 당해 차분을 억제하기 위한 보정량의 관계를 나타내는 보정 함수를 결정하고, 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 노광 데이터를 보정 함수에 기초하여 보정한다.
설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자란, 설계 데이터의 배선 패턴 사양 중에서, 그것이 변동함으로써, 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분에 변화를 발생시키는 인자를 의미한다. 이러한 인자로서, 예를 들어 실패턴의 설계 데이터의 패턴 간극, 패턴 사이즈, 패턴 두께, 패턴 위치, 패턴 조밀, 패턴 형상 등의 어느 것 또는 어느 2 이상의 조합을 들 수 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 실패턴 데이터와 원데이터의 차분을 발생시키는 인자로서, 배선 패턴의 패턴 간극(여기서는, 라인과 라인의 간극)을 사용한다. 보정 함수란, 차분을 발생시키는 인자와 차분을 억제하기 위한 노광 데이터의 보정량의 관계를 규정한 것이다.
노광 데이터 보정 장치(112)로서, 본 실시 형태에 있어서는, 도 2에 도시하는 하드웨어 구성을 구비하는 컴퓨터(200)를 사용한다. 컴퓨터(200)는 처리부(프로세서)(201), 표시부(202), 입력부(203), 기억부(204), 통신부(205) 및 이들의 각 구성 부품을 접속하는 버스(210)를 구비한다. 표시부(202)는 컴퓨터(200)에 있어서 실행되는 프로그램에 의해 출력되는 화상을 표시한다. 입력부(203)는 유저로부터의 입력을 접수하는 것이며, 예를 들어 키보드나 마우스이다. 기억부(204)는 불휘발성 메모리나 휘발성 메모리, 하드 디스크 등의 정보를 저장할 수 있는 것이면 어떠한 것이어도 된다. 노광 데이터 보정을 위한 공정을 실행하기 위한 프로그램(206)이 기억부(204)에 저장된다. 통신부(205)는, 무선 통신이나 이더넷(등록 상표) 케이블, USB 케이블 등을 사용한 유선 통신을 행한다. 통신부(205)를 통하여, 상저 및 하저 데이터 작성 장치(110)에 의해 작성된 상저 데이터 및 하저 데이터를 취득해도 된다. 프로그램(206)이 실행되면, 처리부(프로세서)(201)는 노광 데이터 보정을 위한 공정을 실행한다. 노광 데이터 보정 장치(112)는, 범용 컴퓨터일 필요는 없고, 각 공정의 모두 또는 일부를 실행하기 위한 하드웨어와 이것과 협동하여 동작하는 소프트웨어에 의해 실현되어도 된다.
본 실시 형태에 있어서의 시스템의 동작 플로우를 도 3에 도시한다. 먼저, 설계 데이터 작성 장치(101)가 제1 실패턴을 위한 설계 데이터를 작성하고(공정(301)), 이 설계 데이터에 기초하여, 노광 데이터 작성 장치(102)가 노광 데이터를 작성한다(공정(302)). 노광 장치(104)가, 노광 데이터 작성 장치(102)에 의해 작성된 노광 데이터에 기초하여, 기판 위에 배치된 감광성 레지스트에 노광 패턴을 노광한다(공정(304)). 현상 패턴 작성 장치(106)가 노광 패턴이 노광된 감광성 레지스트를 현상하여 현상 패턴을 형성하고(공정(306)), 실패턴 작성 장치(108)가 현상 패턴을 형성한 기판에 대하여 회로 가공을 행하여, 제1 실패턴을 형성한다(공정(308)). 상저 및 하저 데이터 작성 장치(110)가 제1 상저 및 하저 데이터를 작성한다(공정(310)). 제2 상저 데이터가 제1 실패턴의 상저로부터 작성되는 경우에는, 여기에서 제2 상저 데이터도 작성한다. 또한, 제1 실패턴으로부터 얻어지는 전체의 데이터를 제2 상저 데이터로 하고, 그의 일부를 제1 상저 데이터로 할 수도 있다.
이어서, 노광 데이터 보정을 위하여 제2 실패턴을 작성할 필요가 있는지 여부를 판정한다(공정(312)). 예를 들어, 제2 상저 데이터가 제1 실패턴의 상저로부터 얻어지는 경우에는, 제2 실패턴을 작성할 필요는 없다. 필요하면, 설계 데이터 작성 공정(301)으로 되돌아가, 마찬가지의 공정을 행하여 제2 실패턴을 형성하고, 공정(310)에 있어서 제2 실패턴의 상저 데이터를 작성한다. 제2 실패턴의 하저 데이터는 작성하지 않는다. 제2 실패턴의 상저 데이터를 작성하지 않는 경우, 또는 제2 실패턴을 작성한 후는 노광 데이터 보정 공정(314)을 행하고, 노광 데이터 보정을 위한 동작 플로우를 종료한다. 그 후, 보정된 노광 데이터에 기초하여, 예를 들어 노광 장치(104), 현상 패턴 작성 장치(106), 실패턴 작성 장치(108)를 사용하여, 배선 패턴을 형성하여, 배선 기판을 제조한다.
도 4에 있어서, 노광 데이터 보정 공정(314)을 보다 구체적으로 설명한다. 먼저, 노광 데이터 보정 장치(112)가 상저 및 하저 데이터 작성 장치(110)에 의해 작성된 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제1 상저 데이터를 취득하고(공정(401)), 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 하저 데이터를 취득하고(공정(402)), 제1 상저 데이터와 하저 데이터의 상관 관계를 결정한다(공정(404)). 또한, 노광 데이터 보정 장치(112)는, 상저 및 하저 데이터 작성 장치(110)에 의해 작성된, 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터 또는 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제2 상저 데이터를 취득한다(공정(406)). 그리고, 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 설계 데이터, 제2 상저 데이터 및 공정(404)에 있어서 작성된 상관 관계에 기초하여, 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 당해 차분을 억제하기 위한 보정량의 관계를 나타내는 보정 함수를 결정하고(공정(408)), 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 노광 데이터를 보정 함수에 기초하여 보정한다(공정(410)).
하저로부터 얻어진 하저 데이터와 상저로부터 얻어진 상저 데이터의 상관 관계는, 패턴 간극, 패턴 사이즈, 패턴의 두께, 패턴 위치, 패턴 조밀, 패턴 형상 등에 의존하는 것이라고 생각된다. 따라서, 한번, 상관 관계를 결정한 후는 마찬가지의 패턴 간극 등에 대해서는, 그 상관 관계를 AOI 데이터에 의해 얻어진 다른 상저 데이터에 적용함으로써, 당해 다른 상저 데이터에 대응하는 새로운 하저의 결과값을 수동으로 측정하지 않고, 하저 데이터를 정확하게 추정하는 것이 가능해진다. 그리고, 이 추정된 하저 데이터에 기초하여, 보정 함수를 작성함으로써, 노광 데이터 보정량의 오차를 억제하여, 미세 회로 형성 시의 회로 폭 정밀도를 향상시키는 것이 가능해진다.
보정 함수는 데이터를 취득하는 기판 위의 영역에 따라 변화하는 것으로 생각된다. 한편, 상저 데이터와 하저 데이터의 상관 관계는, 데이터를 취득하는 기판 위의 영역에 따라서는 비교적 변화하지 않는다고 생각된다. 이 때문에, 예를 들어 상관 관계를 결정하기 위한 제1 상저 데이터 및 하저 데이터를 위한 측정은 제1 실패턴의 한정된 영역에서만 행함으로써 적은 수고로 상관 관계를 결정하고, 결정된 상관 관계를 이 제1 실패턴 전체로부터 AOI를 사용하여 취득된 제2 상저 데이터에 적용함으로써, 제1 실패턴 그 자체에 대해서도, 수고를 경감하면서, 기판 전체의 경향을 고려한 보다 정확한 보정 함수를 얻을 수 있다.
상관 관계 및 보정 함수가, 기판 위의 영역에 의해 변화하는 경우가 있기 때문에, 상관 관계 및 보정 함수를 배선 패턴이 배치된 동일 기판면의 영역마다 결정해도 된다. 설계 데이터와 결과값의 관계는, 동일 기판 위에도 영역에 따라서는 특이한 관계가 되는 경우가 있다. 예를 들어, 기판의 중앙 부근에 있어서는 에칭액이 고이기 쉽고 에칭 속도가 느리기 때문에, 패턴 간극이 좁아지는 경향이 있고, 기판 주변에 있어서는 에칭 속도가 빠르기 때문에, 패턴 간극이 넓어지는 경향이 있다. 또한, 기판각에 있어서는, 전기 도금에 의한 구리막 형성 시에 있어서 전류가 집중하기 때문에, 구리막이 두꺼워지는 경향이 있어, 상저 데이터와 하저 데이터의 상관 관계가 다른 영역과 상이하다고 생각된다. 이로 인해, 동일 기판면의 영역마다, 본 실시 형태에 따라, 상관 관계 및 보정 함수를 결정함으로써, 더 정밀도가 높은 회로 형성을 행하는 것이 가능해진다.
또한, 보정 함수를 배선 패턴이 배치된 동일 기판의 상면 및 하면마다 결정해도 된다. 기판면의 영역과 마찬가지로, 상관 관계 및 보정 함수가 상이한 경우가 있다. 예를 들어, 상면 쪽이 에칭액이 고이기 쉽고 에칭 속도가 느리기 때문에, 패턴 간극이 좁아지는 경향이 있고, 하면에 있어서는 에칭 속도가 빠르기 때문에, 패턴 간극이 넓어지는 경향이 있다. 이로 인해, 동일 기판면의 상면 및 하면마다, 본 실시 형태에 따라 상관 관계 및 보정 함수를 결정함으로써, 더 정밀도가 높은 회로 형성을 행하는 것이 가능해진다.
또한, 배선 패턴에 있어서의 설계 데이터와 결과값의 관계가 상이한 경우가 있기 때문에, 보정 함수를 배선 패턴에 있어서의 세로 라인 및 가로 라인의 각각에 대하여 결정해도 된다.
[제2 실시 형태]
본 발명의 제2 실시 형태에 대하여 이하에 설명한다. 본 실시 형태는 제1 실시 형태의 공정(314)(도 3, 4) 대신, 공정(500)(도 5)을 채용한 점에서 제1 실시 형태와 상이하지만, 그 밖의 점은 제1 실시 형태와 마찬가지이다. 이하의 설명에 있어서는, 제1 실시 형태와 상이한 부분만을 설명하고, 마찬가지의 부분은 생략한다.
발명의 이해를 위하여, 기판으로서 절연층 위에 5㎛의 구리박을 갖는 두께 0.22㎜의 MCL-E-700G(히타치 가세이 가부시끼가이샤제 상품명)의 동장 적층판을 준비하고, 전기 구리 도금으로 약 19㎛의 도금을 실시하고, 하프 에칭(기판 전체의 구리 두께를 얇게 하기 위한 전체면 에칭 처리)에 의해 구리 두께를 약 18㎛로 하고, 제1 실패턴으로서의 테스트 패턴을 노광하고, 회로 형성을 행하여, 상관 관계 추출용 기판을 제작한 경우를 예로 들어 설명한다.
본 실시 형태에 있어서, 공정(310)에 있어서 작성되는 제1 상저 데이터는, 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고, 하저 데이터는, 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함한다.
본 실시 형태에 있어서는, 결과값으로서 배선 패턴의 간극 폭을 사용하는데, 예를 들어 회로 폭 등 다른 결과값을 사용한 경우에도 마찬가지로 본 발명을 실시 가능한 것은 당업자에게는 명확하다. 이하에 설명하는 다른 실시 형태에 있어서도 마찬가지로 한다.
여기에서는, 제1 실패턴의 네 코너 및 중앙의 소정의 영역에 있어서 상저에 있어서의 간극 폭을 AOI를 사용하여 측정하고, 각각의 간극 폭을 측정한 좌표에 있어서의 설계 데이터에서 결정된 간극 폭과의 차분을 보정량 데이터로서 산출한다. 마찬가지로, 하저 데이터의 보정량으로서, 현미경을 사용하여 제1 실패턴의 네 코너 및 중앙의 소정의 영역의 하저에 있어서의 간극 폭을 측정하고, 각각의 간극 폭을 측정한 좌표에 있어서의 설계 데이터의 간극 폭과의 차분을 보정량 데이터로서 산출한다. 여기에서는, 상저 및 하저 데이터를 위한 측정을 행하는 영역을 동일한 영역으로 한다. 동일한 영역으로부터 얻어진 데이터 사이에서 비교함으로써 보다 정확한 상저 데이터와 하저 데이터의 상관 관계를 취득할 수 있다.
전술한 조건에 기초하여 얻어진 상관 관계 추출용 기판으로부터 작성된 제1 상저 데이터 및 하저 데이터에 있어서의 보정량 데이터는 이하와 같다.
Figure pct00001
표 1에 있어서의 CAD 데이터는 설계 데이터에 있어서 결정된 간극(갭) 폭(㎛)을 나타낸다. AOI 측정의 결과값은, 설계 데이터에 있어서 결정된 간극 폭에 대응하는 AOI 측정에 의해 얻어진 테스트 패턴의 네 코너 및 중앙 영역에서의 상저의 간극 폭(㎛)을 나타내는 것이며, 보정량은 CAD 데이터의 간극 폭(㎛)과 AOI 측정의 간극 폭의 차분을 1/2로 한 것이다. 1/2로 하는 것은, 간극의 양단에 대하여 적용하는 보정량이라는 의미이다. 현미경 측정에 대해서도 마찬가지이다. 현미경 측정의 결과값은, 현미경 측정에 의해 얻어진 테스트 패턴의 네 코너 및 중앙 영역에서의 하저의 간극 폭을 나타내는 것이며, 보정량은 CAD 데이터의 간극 폭과 현미경 측정의 간극 폭의 차분을 1/2로 한 것이다. 예를 들어, CAD 데이터=20, AOI 측정 결과값=44.1, 현미경 측정 결과값=28.4는, 설계로서는 20㎛의 간극이 되어야 할 곳이, AOI에 의해 측정된 상저에 있어서의 간극 폭은 44.1㎛이며, 현미경에 의해 측정된 간극 폭은 28.4㎛였음을 의미한다. 그리고, AOI 측정 결과값에 기초하면, CAD 데이터의 이 간극은 양단에서 12.0㎛ 보정해야 하며, 현미경 측정에 기초하면, 4.2㎛ 보정하게 된다.
이어서, 노광 데이터 보정 장치(112)는, 상저 데이터 및 하저 데이터 작성 장치(110)에 의해 공정(310)에 있어서 작성된 제1 상저 데이터 및 하저 데이터를 취득하고(공정(501, 502)), 제1 상저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 기초하여 제1 가보정 함수를 결정하고(공정(504)), 하저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 기초하여 제2 가보정 함수를 결정하고(공정(506)), 제1 가보정 함수로부터 얻어지는 보정량과 당해 보정량에 대응하는 제2 가보정 함수로부터 얻어지는 보정량의 차분(시프트양)에 기초하여 보정량 차분 함수를 작성한다(공정(508)).
본 실시 형태에 있어서 제1 가보정 함수는, 표 1 및 도 6에 도시된 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 AOI 측정 간극 폭을 위한 보정량을 나타내는 함수(AOI 측정 보정 함수(에칭 커브))이며, 제2 가보정 함수는, 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 현미경 측정 간극 폭을 위한 보정량을 나타내는 함수(현미경 측정 보정 함수)이다. 여기에서는, 표 1 및 도 6에 도시된 각 설계 데이터에 있어서의 간극과 보정량의 관계를 각각의 가보정 함수로 하지만, 측정 데이터에 기초하는 근사식에 의해 가보정 함수를 결정해도 된다. 그리고, 보정량 차분 함수는, 표 1 및 도 6에 도시하는 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 제1 가보정 함수로부터 얻어지는 보정량과 당해 보정량에 대응하는 제2 가보정 함수로부터 얻어지는 보정량의 차분(시프트양)을 나타내는 함수이다. 가보정 함수와 마찬가지로, 표 1 및 도 6에 도시된 각 설계 데이터에 있어서의 간극과 시프트양의 관계를 보정량 차분 함수로 하는데, 측정 데이터에 기초하는 근사식에 의해 보정량 차분 함수를 결정해도 된다.
이어서, 공정(510)에 있어서 제2 상저 데이터를 취득한다. 본 실시 형태에 있어서 제2 상저 데이터는, 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터 또는 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 제2 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함한다.
그리고, 제2 상저 데이터를 취득하기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터 및 제2 상저 데이터에 기초하여 제3 가보정 함수를 결정하고(공정(512)), 보정량 차분 함수에 기초하여 제3 가보정 함수를 수정하여 보정 함수를 결정하고(공정(514)), 이 보정 함수에 기초하여 노광 데이터를 보정한다(공정(516)).
여기에서는, 제2 상저 데이터는, 제1 실패턴의 네 코너 및 중앙을 포함하는 실패턴 전체에 있어서의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하는 것으로 한다. 따라서, 제2 상저 데이터를 취득하기 위하여 사용한 실패턴은, 제1 실패턴이다.
전술한 조건에 기초하여 얻어진 상관 관계 추출용 기판으로부터 작성된 제2 상저 데이터에 있어서의 보정량 데이터는 이하와 같다.
Figure pct00002
표 2에 있어서의 CAD 데이터는 설계 데이터에 있어서 결정된 간극 폭(㎛)을 나타낸다. AOI 측정의 보정량은, AOI 측정에 의해 얻어진 테스트 패턴의 상저에 있어서의 간극 폭(㎛)과 CAD 데이터의 간극 폭(㎛)의 차분을 1/2로 한 것이다. 시프트양은 표 1의 시프트양(AOI 측정을 위한 보정량과 현미경 측정을 위한 보정량의 차분)이다. 본 실시 형태에 있어서 보정량 차분 함수는, 표 2 및 도 7에 도시된 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 시프트양을 나타내는 함수이다.
본 실시 형태에 있어서 제3 가보정 함수는, 표 2 및 도 7에 도시된 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 AOI 측정 간극 폭을 위한 보정량을 나타내는 함수(AOI 측정 보정 함수(에칭 커브))이다. 그리고, 제3 가보정 함수를 보정량 차분 함수(시프트양)에 의해 시프트함으로써 수정한다. 여기에서는, 각 설계 데이터의 간극값에 대한 AOI 측정을 위한 보정량으로부터 시프트양을 감산함으로써, 보정 함수를 얻는다. 보정 함수는, 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 수정된 보정량(표 2의 시프트 후의 보정량)을 나타내는 함수이다. 여기에서는, 표 2 및 도 7에 도시된 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 시프트 후 보정량의 관계를 보정 함수로 하지만, 측정 데이터에 기초하는 근사식에 의해 보정 함수를 결정해도 된다.
본 실시 형태에 있어서는, 제2 상저 데이터는, 제1 실패턴의 네 코너 및 중앙을 포함하는 실패턴 전체에 있어서의 상저에서 측정된 결과값에 기초하여 얻어졌지만, 제1 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 제1 실패턴의 네 코너 및 중앙을 포함하지 않는 부분만으로 해도 되고, 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴에 있어서의 상저에서 측정된 결과값에 기초해도 된다. 다른 실시 형태에 있어서도 마찬가지로 한다.
[실시 형태 3]
본 발명의 제3 실시 형태에 대하여 이하에 설명한다. 본 실시 형태는 제1 실시 형태의 공정(314)(도 3, 4) 대신, 공정(800)(도 8)을 채용한 점에서 제1 실시 형태와 상이하지만, 그 밖의 점은 제1 실시 형태와 마찬가지이다. 이하의 설명에 있어서는, 제1 실시 형태와 상이한 부분만을 설명하고, 마찬가지의 부분은 생략한다. 또한, 제2 실시 형태에 있어서 설명된 조건과 동일 조건에 의해 작성된 상관 관계 추출용 기판을 예로 들어 설명한다.
본 실시 형태에 있어서, 공정(310)에 있어서 작성되는 제1 상저 데이터는, 제1 실패턴의 상저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고, 하저 데이터는, 제1 실패턴의 하저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함한다. 제1 실패턴의 네 코너 및 중앙의 소정의 영역에 있어서 상저에 있어서의 간극 폭을 AOI를 사용하여 상저 데이터를 측정하고, 하저 데이터로서 현미경을 사용하여 마찬가지로 제1 실패턴의 네 코너 및 중앙의 소정의 영역의 하저에 있어서의 간극 폭을 측정한다.
노광 데이터 보정 장치(112)는, 상저 데이터 및 하저 데이터 작성 장치(110)에 의해 공정(310)에 있어서 작성된 제1 상저 데이터 및 하저 데이터를 취득하고(공정(801, 802)), 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 제1 상저 데이터에 있어서의 결과값의 관계를 나타내는 제1 결과값 함수를 결정하고(공정(804)), 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 하저 데이터에 있어서의 결과값의 관계를 나타내는 제2 결과값 함수를 결정하고(공정(806)), 제1 결과값 함수와 제2 결과값 함수의 차분에 기초하는 결과값 차분 함수를 결정한다(공정(808)). 이에 의해, 상저 데이터와 하저 데이터의 상관 관계를 결정한다.
전술한 조건에 기초하여 얻어진 상관 관계 추출용 기판으로부터 작성된 제1 상저 데이터 및 하저 데이터에 있어서의 결과값 데이터는 이하와 같다.
Figure pct00003
표 1과 마찬가지로, 표 3에 있어서의 CAD 데이터는 설계 데이터에 있어서 결정된 간극 폭(㎛)을 나타내고, AOI 측정 및 현미경의 결과값은 설계 데이터에 있어서 결정된 간극 폭에 대응하는 측정에 의해 얻어진 테스트 패턴의 네 코너 및 중앙 영역에 있어서의 상저 및 하저의 간극 폭(㎛)을 나타낸다. 표 3에 있어서의 측정된 결과값은, 표 1에 나타난 것과 동일한 것을 사용한다. 차분은 각 CAD 데이터의 간극 폭에 대응하는 AOI 측정의 간극 폭과 현미경 측정의 간극 폭의 차분을 1/2로 한 것이다. 예를 들어, CAD 데이터=20, AOI 측정 결과값=44.1, 현미경 측정 결과값=28.4는, 설계로서는 20㎛의 간극이 되어야 할 곳이, AOI에 의해 측정된 상저에 있어서의 간극 폭은 44.1㎛이며, 현미경에 의해 측정된 간극 폭은 28.4㎛였음을 의미한다. 그리고, AOI 측정 결과값과 현미경 측정 결과값의 차분은 15.7이며, 그 1/2의 값을 반올림한 값으로서, 결과값 차분=7.8㎛가 얻어졌다.
본 실시 형태에 있어서 제1 결과값 함수는, 표 3 및 도 9에 도시된 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 AOI 측정 간극 폭의 결과값을 나타내는 함수(AOI 측정 결과값 함수)이며, 제2 결과값 함수는, 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 현미경 측정 간극 폭의 결과값을 나타내는 함수(현미경 측정 결과값 함수)이다. 여기에서는, 표 3 및 도 9에 도시된 각 설계 데이터에 있어서의 간극과 결과값의 관계를 각각의 결과값 함수로 하지만, 측정 데이터에 기초하는 근사식에 의해 결과값 함수를 결정해도 된다. 그리고, 결과값 차분 함수는, 표 3 및 도 9에 도시되는 각 설계 데이터에 있어서의 간극에 대한 AOI 측정 결과값과 현미경 측정 결과값의 차분을 나타내는 함수이다. 결과값 함수와 마찬가지로, 표 3 및 도 9에 도시된 각 설계 데이터에 있어서의 간극에 대한 AOI 측정 결과값과 현미경 측정 결과값의 차분의 관계를 결과값 차분 함수로 하는데, 측정 데이터에 기초하는 근사식에 의해 결과값 차분 함수를 결정해도 된다.
이어서, 공정(810)에 있어서, 제2 상저 데이터를 취득한다. 본 실시 형태에 있어서, 제2 상저 데이터는, 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터 또는 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 제2 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함한다.
그리고, 제2 상저 데이터를 취득하기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터 및 제2 상저 데이터에 기초하여 가보정 함수를 결정하고(공정(812)), 결과값 차분 함수에 기초하여 상기 가보정 함수를 수정하여 보정 함수를 결정한다(공정(814)).
여기에서는, 제2 상저 데이터는, 제2 실시 형태와 동일한 것을 사용한다. 전술한 조건에 기초하여 얻어진 상관 관계 추출용 기판으로부터 작성된 제2 상저 데이터에 있어서의 보정량 데이터(AOI 측정)는 표 4에 나타내는 대로이며, 이것은 표 2에 나타낸 것과 동일하다.
Figure pct00004
본 실시 형태에 있어서 가보정 함수는, 표 4 및 도 10에 도시된 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 AOI 측정 간극 폭을 위한 보정량을 나타내는 함수(AOI 측정 보정 함수(에칭 커브))이다. 그리고, 이 가보정 함수를 결과값 차분 함수에 의해 시프트함으로써 수정한다. 여기에서는, 각 설계 데이터의 간극값에 대한 AOI 측정을 위한 보정량으로부터 결과값 차분(시프트양)을 감산함으로써 보정 함수를 얻는다. 보정 함수는, 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 수정된 보정량을 나타내는 함수이다. 여기에서는, 표 4 및 도 10에 도시된 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 시프트 후 보정량의 관계를 보정 함수로 하지만, 측정 데이터에 기초하는 근사식에 의해 보정 함수를 결정해도 된다.
[실시 형태 4]
본 발명의 제4 실시 형태에 대하여 이하에 설명한다. 본 실시 형태는 제1 실시 형태의 공정(314)(도 3, 4) 대신, 공정(1100)(도 11)을 채용한 점에서 제1 실시 형태와 상이하지만, 그 밖의 점은 제1 실시 형태와 마찬가지이다. 이하의 설명에 있어서는, 제1 실시 형태와 상이한 부분만을 설명하고, 마찬가지의 부분은 생략한다. 또한, 제2 실시 형태에 있어서 설명된 조건과 동일 조건에 의해 제작된 상관 관계 추출용 기판을 예로 들어 설명한다.
본 실시 형태에 있어서, 공정(310)에 있어서 작성되는 제1 상저 데이터는, 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고, 하저 데이터는, 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함한다.
제2 상저 데이터는, 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터 또는 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 제2 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함한다.
노광 데이터 보정 장치(112)는, 상저 데이터 및 하저 데이터 작성 장치(110)에 의해 공정(310)에 있어서 작성된 제1 상저 데이터 및 하저 데이터를 취득하고(공정(1101, 1102)), 제1 상저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 있어서 나타나는 보정량과 당해 보정량에 대응하는 하저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 있어서 나타나는 보정량의 보정량 상관 함수를 결정한다(공정(1104)). 이에 의해, 상저 데이터와 하저 데이터의 상관 관계를 결정한다.
그리고, 제2 상저 데이터를 취득한 후(공정(1106)), 제2 상저 데이터를 취득하기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터 및 제2 상저 데이터에 기초하여 가보정 함수를 결정하고(공정(1108)), 보정량 상관 함수에 기초하여 가보정 함수를 수정하여 보정 함수를 결정하고(공정(1110)), 이 보정 함수에 기초하여 노광 데이터를 보정한다(공정(1112)).
전술한 조건에 기초하여 얻어진 상관 관계 추출용 기판으로부터 작성된 제1 상저 데이터 및 하저 데이터에 있어서의 보정량 데이터는 실시 형태 2에 관련하여 표 1에 나타낸 대로이다. 표 1에 있어서의 AOI 측정에 기초하는 보정량에 대한 현미경 측정에 기초하는 보정량의 관계를 그래프에 나타낸 것이 도 12이다. 예를 들어, CAD 데이터=20의 행을 보면, AOI 측정에 기초하는 보정량=12.1이며, 이에 반하여 현미경 측정에 기초하는 보정량=4.2이다. 이 경우, (x, y)=(12.1, 4.2)의 좌표를 플롯한다. 이것을 모든 데이터에 대하여 행한 후, 근사식에 의해 상관 관계식을 결정한다. 여기에서는 선형 근사에 의해 상관 관계식을 결정하고, 보정량 상관 함수로서 y=1.2861x-10.563을 얻었다.
상관 관계 추출용 기판으로부터 작성된 제2 상저 데이터에 있어서의 보정량 데이터는 이하에 나타내는 바와 같다. AOI 측정에 기초하는 보정량을 x로 하고, 전술한 보정량 상관 함수(y=1.2861x-10.563)에 대입함으로써, 수정된 보정량 y를 산출한다.
Figure pct00005
본 실시 형태에 있어서 가보정 함수는, 표 5 및 도 13에 도시된 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 AOI 측정 간극 폭을 위한 보정량을 나타내는 함수(AOI 측정 보정 함수(에칭 커브))이다. 그리고, 가보정 함수를 보정량 상관 함수에 의해 수정함으로써 보정 함수를 얻는다. 보정 함수는, 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 수정된 보정량을 나타내는 함수이다. 여기에서는, 표 5 및 도 13에 도시된 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 수정 후 보정량의 관계를 보정 함수로 하지만, 측정 데이터에 기초하는 근사식에 의해 보정 함수를 결정해도 된다.
[실시 형태 5]
본 발명의 제5 실시 형태에 대하여 이하에 설명한다. 본 실시 형태는 제1 실시 형태의 공정(314)(도 3, 4) 대신, 공정(1400)(도 14)을 채용한 점에서 제1 실시 형태와 상이하지만, 그 밖의 점은 제1 실시 형태와 마찬가지이다. 이하의 설명에 있어서는, 제1 실시 형태와 상이한 부분만을 설명하고, 마찬가지의 부분은 생략한다. 또한, 제2 실시 형태에 있어서 설명된 조건과 동일 조건에 의해 제작된 상관 관계 추출용 기판을 예로 들어 설명한다.
본 실시 형태에 있어서, 공정(310)에 있어서 작성되는 제1 상저 데이터는, 제1 실패턴의 상저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고, 하저 데이터는, 제1 실패턴의 하저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함한다.
노광 데이터 보정 장치(112)는, 상저 데이터 및 하저 데이터 작성 장치(110)에 의해 작성된 제1 상저 데이터 및 하저 데이터를 취득하고(공정(1401, 1402)), 제1 상저 데이터에 있어서 측정된 결과값과 하저 데이터에 있어서 측정된 결과값의 결과값 상관 함수를 결정한다(공정(1404)). 이에 의해, 상저 데이터와 하저 데이터의 상관 관계를 결정한다.
공정(1406)에 있어서, 제2 상저 데이터를 취득한다. 제2 상저 데이터는, 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값 또는 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값을 포함한다.
결정된 결과값 상관 함수에 기초하여, 제2 상저 데이터에 있어서의 결과값으로부터 대응하는 하저에 있어서의 결과값의 추정값을 계산하고(공정(1408)), 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 추정된 하저에 있어서의 결과값의 차분에 기초하여 보정 함수를 결정한다(공정(1410)). 이 보정 함수에 기초하여 노광 데이터를 보정한다(공정(1412)).
전술한 조건에 기초하여 얻어진 상관 관계 추출용 기판으로부터 작성된 제1 상저 데이터 및 하저 데이터에 있어서의 결과값은 제3 실시 형태에 관련하여 표 3에 나타낸 대로이다. 표 3에 있어서의 AOI 측정에 기초하는 결과값에 대한 현미경 측정에 기초하는 결과값의 관계를 그래프에 나타낸 것이 도 15이다. 예를 들어, CAD 데이터=20의 행을 보면, AOI 측정에 있어서의 결과값=44.1이며, 이에 반하여 현미경 측정에 기초하는 결과값=28.4이다. 이 경우, (x, y)=(44.1, 28.4)의 좌표를 플롯한다. 이것을 모든 데이터에 대하여 행한 후, 근사식에 의해 상관 관계식을 결정한다. 여기에서는 선형 근사에 의해 상관 관계식을 결정하고, 결과값 상관 함수로서 y=1.0177x-13.389를 얻었다.
상관 관계 추출용 기판으로부터 작성된 제2 상저 데이터에 있어서의 결과값 데이터는 이하에 나타내는 바와 같다. AOI 측정에 기초하는 결과값을 x로 하고, 전술한 보정량 상관 함수(y=1.0177x-13.389)에 대입함으로써, 추정되는 하저 결과값(간극 폭)을 산출한다. 그리고, 그 산출된 추정 결과값(간극 폭)과 CAD 데이터에 있어서의 설계상의 결과값의 차분을 1/2로 한 것을 보정량으로 한다.
Figure pct00006
이 표에 나타낸 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 보정량을 보정 함수(에칭 커브)로서 나타내면 도 16과 같이 된다. 여기서 보정 함수는, 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 추정된 결과값에 기초하는 보정량을 나타내는 함수이다. 여기에서는, 표 6 및 도 16에 도시된 설계 데이터에 있어서의 간극 폭에 대한 보정량의 관계를 보정 함수로 하지만, 산출된 데이터에 기초하는 근사식에 의해 보정 함수를 결정해도 된다.
실시예
본 실시 형태의 효과를 확인하기 위하여, 5㎛의 구리박을 갖는 두께 0.22㎜의 MCL-E-700G(히타치 가세이 가부시끼가이샤제 상품명)의 동장 적층판을 준비하고, 전기 구리 도금으로 약 19㎛의 도금을 실시하고, 하프 에칭에 의해 구리 두께를 약 18㎛로 하고, 상술한 실시 형태 2 내지 5에 의해 얻어진 보정 함수로 노광 데이터를 보정하고, 실패턴의 노광·현상·회로 형성을 행하여, 회로 형성 기판을 제작했다. 실시 형태 2 내지 5의 공정에 의해 작성된 보정 함수를 사용하여 형성된 회로 형성 기판을 각각 실시예 1 내지 4로 한다.
[비교예 1]
비교예 1로서, 5㎛의 구리박을 갖는 두께 0.22㎜의 MCL-E-700G(히타치 가세이 가부시끼가이샤제 상품명)의 동장 적층판을 준비하고, 전기 구리 도금으로 약 19㎛의 도금을 실시하고, 하프 에칭에 의해 구리 두께를 약 18㎛로 하고, 테스트 패턴을 노광하고, 회로 형성을 행하여, 보정 함수 추출용 기판을 제작했다. 그리고, 이 보정 함수 추출용 기판을 현미경으로 회로 폭 및 간극 폭을 측정하고, 이 측정값으로부터 보정 함수(에칭 커브)를 작성했다.
5㎛의 구리박을 갖는 두께 0.22㎜의 MCL-E-700G(히타치 가세이 가부시끼가이샤제 상품명)의 동장 적층판을 준비하고, 전기 구리 도금으로 약 19㎛의 도금을 실시하고, 하프 에칭에 의해 구리 두께를 약 18㎛로 하고, 상기 보정 함수(보텀 폭)로 노광 데이터를 보정하고, 실패턴의 노광·현상·회로 형성을 행하여, 회로 형성 기판을 제작했다.
[비교예 2]
5㎛의 구리박을 갖는 두께 0.22㎜의 MCL-E-700G(히타치 가세이 가부시끼가이샤제 상품명)의 동장 적층판을 준비하고, 전기 구리 도금으로 약 19㎛의 도금을 실시하고, 하프 에칭에 의해 구리 두께를 약 18㎛로 하고, 테스트 패턴을 노광하고, 회로 형성을 행하여, 보정 함수 추출용 기판을 제작한다. 보정 함수 추출용 기판을 광학식 자동 외관 검사 장치로 회로 폭 및 간극 폭을 측정하여, 상기 측정값으로부터 보정 함수(에칭 커브)를 작성했다.
5㎛의 구리박을 갖는 두께 0.22㎜의 MCL-E-700G(히타치 가세이 가부시끼가이샤제 상품명)의 동장 적층판을 준비하고, 전기 구리 도금으로 약 19㎛의 도금을 실시하고, 하프 에칭에 의해 구리 두께를 약 18㎛로 하고, 보정 함수(톱 폭)로 노광 데이터를 보정하고, 실패턴의 노광·현상·회로 형성을 행하여, 회로 형성 기판을 제작했다.
[비교]
표 7 및 8에 실시예 1 내지 4, 비교예 1 및 비교예 2의 측정 결과를 나타낸다. 표 7 및 8의 각 항목은, 라인(회로 폭)에 관한 설계값 및 현미경 측정값을 나타낸다. 또한, 표 7의 「L/S=50/40」은, L(라인: 회로 폭)이 50㎛, S(스페이스: 간극 폭)가 40㎛인 설계 사양임을 나타내고, 표 8의 「L/S=50/50」은, L(라인: 회로 폭)이 50㎛, S(스페이스: 간극 폭)가 50㎛인 설계 사양임을 나타낸다. 실시예 1 및 2는 상저 데이터와 하저 데이터의 상관 관계를 결정할 때, 상저 및 결과값에 기초하는 보정량의 차분에 기초하는지, 결과값 그 자체의 차분에 기초하는지의 차이뿐이기 때문에, 최종적으로 얻어지는 보정 함수는 동일해진다. 그로 인해, 실시예 1 및 2에 의해 얻어지는 결과도 동일해진다.
Figure pct00007
Figure pct00008
표 7에 나타내는 바와 같이, L/S=50/40의 설계 사양에 대해서는, 실시예 1 및 2에 있어서의 회로 폭의 치수 정밀도(변동: 3σ)는, 상면 6.7, 하면 8.8㎛이며, 실시예 3에 있어서는 상면 6.5, 하면 8.4㎛, 실시예 4에 있어서는 상면 6.7, 하면 9.0㎛였다. 이에 반하여, 비교예 1에 있어서는 상면 7.1, 하면 9.7㎛이며, 비교예 2에 있어서는, 상면 7.6, 하면 20.5㎛였다.
또한, 표 8에 나타내는 바와 같이, L/S=50/50의 설계 사양에 대해서는, 실시예 1 및 2에 있어서의 회로 폭의 치수 정밀도(변동: 3σ)는 상면 6.0, 하면 7.7㎛이며, 실시예 3에 있어서는 상면 5.8, 하면 7.4㎛, 실시예 4에 있어서는 상면 6.0, 하면 8.3㎛였다. 이에 반하여, 비교예 1에 있어서는 상면 6.4, 하면 9.2㎛이며, 비교예 2에 있어서는, 상면 6.0, 하면 8.8㎛였다.
이 결과로부터, 상면 및 하면에 있어서의 변동에 있어서 본 발명의 실시예 1 내지 4는 모두 비교예와 비교하여 더 나은 특성을 나타내고, 본 발명을 사용함으로써 회로 폭 정밀도가 향상됨을 알 수 있다.
이상으로 설명한 각 실시 형태는, 본 발명을 설명하기 위한 예시이며, 본 발명은 이들 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 본 발명은 그 요지를 일탈하지 않는 한, 다양한 형태에서 실시할 수 있다.
100: 배선 패턴 형성 시스템
101: 설계 데이터 작성 장치
102: 노광 데이터 작성 장치
104: 노광 장치
106: 현상 패턴 작성 장치
108: 실패턴 작성 장치
110: 상저 및 하저 데이터 작성 장치
112: 노광 데이터 보정 장치
200: 컴퓨터
201: 처리부
202: 표시부
203: 입력부
204: 기억부
205: 통신부
206: 노광 데이터 보정 프로그램
1700: 기판
1701: 배선 패턴
1702: 상저(톱) 폭
1704: 하저(보텀) 폭

Claims (22)

  1. 배선 패턴을 작성하기 위한 노광 데이터를 보정하는 노광 데이터 보정 장치이며,
    목표로 하는 배선 패턴을 위한 설계 데이터에 기초하는 노광 데이터를 사용한 회로 가공에 의해 얻어진 상저 및 하저를 갖는 볼록상의 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제1 상저 데이터를 취득하고,
    상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 하저 데이터를 취득하고,
    상기 제1 상저 데이터와 상기 하저 데이터의 상관 관계를 결정하고,
    상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제2 상저 데이터를 취득하고,
    상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 설계 데이터, 상기 제2 상저 데이터 및 상기 상관 관계에 기초하여, 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 당해 차분을 억제하기 위한 보정량의 관계를 나타내는 보정 함수를 결정하고,
    상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 노광 데이터를 상기 보정 함수에 기초하여 보정하는,
    노광 데이터 보정 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고,
    상기 하저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고,
    상기 제2 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제2 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고,
    상기 상관 관계를 결정하는 것은,
    상기 제1 상저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 기초하여 제1 가보정 함수를 결정하고,
    상기 하저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 기초하여 제2 가보정 함수를 결정하고,
    상기 제1 가보정 함수로부터 얻어지는 보정량과 당해 보정량에 대응하는 제2 가보정 함수로부터 얻어지는 보정량의 차분에 기초하여 보정량 차분 함수를 작성하는 것을 포함하고,
    상기 보정 함수를 결정하는 것은,
    상기 제2 상저 데이터를 취득하기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터 및 상기 제2 상저 데이터에 기초하여 제3 가보정 함수를 결정하고,
    상기 보정량 차분 함수에 기초하여 상기 제3 가보정 함수를 수정하여 보정 함수를 결정하는 것을 포함하는, 노광 데이터 보정 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 상저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고,
    상기 하저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 하저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고,
    상기 제2 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제2 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고,
    상기 상관 관계를 결정하는 것은,
    설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 상기 제1 상저 데이터에 있어서의 결과값의 관계를 나타내는 제1 결과값 함수를 결정하고,
    설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 상기 하저 데이터에 있어서의 결과값의 관계를 나타내는 제2 결과값 함수를 결정하고,
    상기 제1 결과값 함수와 제2 결과값 함수의 차분에 기초하는 결과값 차분 함수를 결정하는 것을 포함하고,
    상기 보정 함수를 결정하는 것은,
    상기 제2 상저 데이터를 취득하기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터 및 상기 제2 상저 데이터에 기초하여 가보정 함수를 결정하고,
    상기 결과값 차분 함수에 기초하여 상기 가보정 함수를 수정하여 보정 함수를 결정하는 것을 포함하는, 노광 데이터 보정 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고,
    상기 하저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고,
    상기 제2 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제2 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고,
    상기 상관 관계를 결정하는 것은, 상기 제1 상저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 있어서 나타나는 보정량과 당해 보정량에 대응하는 상기 하저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 있어서 나타나는 보정량의 보정량 상관 함수를 결정하는 것을 포함하고,
    상기 보정 함수를 결정하는 것은,
    상기 제2 상저 데이터를 취득하기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터 및 상기 제2 상저 데이터에 기초하여 가보정 함수를 결정하고,
    상기 보정량 상관 함수에 기초하여 상기 가보정 함수를 수정하여 보정 함수를 결정하는 것을 포함하는, 노광 데이터 보정 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 상저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고,
    상기 하저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 하저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고,
    상기 제2 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값을 포함하고,
    상기 상관 관계를 결정하는 것은, 상기 제1 상저 데이터에 있어서 측정된 결과값과 하저 데이터에 있어서 측정된 결과값의 결과값 상관 함수를 결정하는 것을 포함하고,
    상기 보정 함수를 결정하는 것은,
    상기 결정된 결과값 상관 함수에 기초하여, 상기 제2 상저 데이터에 있어서의 결과값에 기초하여 당해 결과값에 대응하는 하저에 있어서의 결과값의 추정값을 계산하고,
    상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 추정된 하저에 있어서의 결과값의 차분에 기초하여 보정 함수를 결정하는 것을 포함하는, 노광 데이터 보정 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 상저 데이터에 포함되는 결과값은 광학식 외관 검사 장치에 의해 얻어지는 데이터에 기초하는 것이고, 상기 하저 데이터는 현미경에 의해 얻어지는 데이터에 기초하는 것인, 노광 데이터 보정 장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 보정 함수가, 배선 패턴이 배치된 동일 기판면의 영역마다 결정되는, 노광 데이터 보정 장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 보정 함수가, 배선 패턴이 배치된 동일 기판의 상면 및 하면마다 결정되는, 노광 데이터 보정 장치.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 보정 함수가, 배선 패턴에 있어서의 세로 라인 및 가로 라인의 각각에 대하여 결정되는, 노광 데이터 보정 장치.
  10. 목표로 하는 배선 패턴의 설계 데이터에 기초하는 노광 데이터를 작성하는 노광 데이터 작성 수단과,
    노광 데이터에 기초하여, 기판 위에 배치된 감광성 레지스트에, 노광 패턴을 노광하는 패턴 노광 수단과,
    상기 노광 패턴이 노광된 감광성 레지스트를 현상하여 현상 패턴을 형성하는 현상 패턴 형성 수단과,
    상기 현상 패턴을 형성한 기판에 대하여 회로 가공을 행하여 실패턴을 형성하는 실패턴 형성 수단과,
    상기 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 상저 데이터를 작성하는 상저 데이터 작성 수단과,
    상기 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 하저 데이터를 작성하는 하저 데이터 작성 수단과,
    상기 상저 데이터, 하저 데이터 및 설계 데이터에 기초하여 노광 데이터를 보정하는, 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항의 노광 데이터 보정 장치를 구비하는, 배선 패턴 형성 시스템.
  11. 배선 패턴을 작성하기 위한 노광 데이터를 보정하기 위한 프로그램이며, 컴퓨터에,
    목표로 하는 배선 패턴을 위한 설계 데이터에 기초하는 노광 데이터를 사용한 회로 가공에 의해 얻어진 상저 및 하저를 갖는 볼록상의 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제1 상저 데이터를 취득하는 공정과,
    상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 하저 데이터를 취득하는 공정과,
    상기 제1 상저 데이터와 상기 하저 데이터의 상관 관계를 결정하는 공정과,
    상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제2 상저 데이터를 취득하는 공정과,
    상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 설계 데이터, 상기 제2 상저 데이터 및 상기 상관 관계에 기초하여, 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 당해 차분을 억제하기 위한 보정량의 관계를 나타내는 보정 함수를 결정하는 공정과,
    상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 노광 데이터를 상기 보정 함수에 기초하여 보정하는 공정을 실행시키는, 프로그램.
  12. 배선 패턴을 작성하기 위한 노광 데이터를 보정하기 위한 방법이며,
    목표로 하는 배선 패턴을 위한 설계 데이터에 기초하는 노광 데이터를 사용한 회로 가공에 의해 얻어진 상저 및 하저를 갖는 볼록상의 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제1 상저 데이터를 취득하는 공정과,
    상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 하저 데이터를 취득하는 공정과,
    상기 제1 상저 데이터와 상기 하저 데이터의 상관 관계를 결정하는 공정과,
    상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제2 상저 데이터를 취득하는 공정과,
    상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 설계 데이터, 상기 제2 상저 데이터 및 상기 상관 관계에 기초하여, 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 당해 차분을 억제하기 위한 보정량의 관계를 나타내는 보정 함수를 결정하는 공정과,
    상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 노광 데이터를 상기 보정 함수에 기초하여 보정하는 공정을 포함하는, 방법.
  13. 목표로 하는 배선 패턴을 위한 설계 데이터에 기초하는 노광 데이터를 사용한 회로 가공에 의해 얻어진 상저 및 하저를 갖는 볼록상의 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제1 상저 데이터를 취득하는 공정과,
    상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 하저 데이터를 취득하는 공정과,
    상기 제1 상저 데이터와 상기 하저 데이터의 상관 관계를 결정하는 공정과,
    상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제2 상저 데이터를 취득하는 공정과,
    상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 설계 데이터, 상기 제2 상저 데이터 및 상기 상관 관계에 기초하여, 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 당해 차분을 억제하기 위한 보정량의 관계를 나타내는 보정 함수를 결정하는 공정과,
    상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 노광 데이터를 상기 보정 함수에 기초하여 보정하는 공정과,
    상기 노광 데이터에 기초하여 배선 패턴을 형성하는 공정을 포함하는, 배선 기판 제조 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제1 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고,
    상기 하저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고,
    상기 제2 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제2 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고,
    상기 상관 관계를 결정하는 공정은,
    상기 제1 상저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 기초하여 제1 가보정 함수를 결정하는 공정과,
    상기 하저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 기초하여 제2 가보정 함수를 결정하는 공정과,
    상기 제1 가보정 함수로부터 얻어지는 보정량과 당해 보정량에 대응하는 제2 가보정 함수로부터 얻어지는 보정량의 차분에 기초하여 보정량 차분 함수를 작성하는 공정을 포함하고,
    상기 보정 함수를 결정하는 공정은,
    상기 제2 상저 데이터를 취득하기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터 및 상기 제2 상저 데이터에 기초하여 제3 가보정 함수를 결정하는 공정과,
    상기 보정량 차분 함수에 기초하여 상기 제3 가보정 함수를 수정하여 보정 함수를 결정하는 공정을 포함하는, 배선 기판 제조 방법.
  15. 제13항에 있어서, 상기 제1 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 상저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고,
    상기 하저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 하저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고,
    상기 제2 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제2 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고,
    상기 상관 관계를 결정하는 공정은,
    설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 상기 제1 상저 데이터에 있어서의 결과값의 관계를 나타내는 제1 결과값 함수를 결정하는 공정과,
    설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 상기 하저 데이터에 있어서의 결과값의 관계를 나타내는 제2 결과값 함수를 결정하는 공정과,
    상기 제1 결과값 함수와 제2 결과값 함수의 차분에 기초하는 결과값 차분 함수를 결정하는 공정을 포함하고,
    상기 보정 함수를 결정하는 공정은,
    상기 제2 상저 데이터를 취득하기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터 및 상기 제2 상저 데이터에 기초하여 가보정 함수를 결정하는 공정과,
    상기 결과값 차분 함수에 기초하여 상기 가보정 함수를 수정하여 보정 함수를 결정하는 공정을 포함하는, 배선 기판 제조 방법.
  16. 제13항에 있어서, 상기 제1 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고,
    상기 하저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고,
    상기 제2 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제1 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 제2 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값의 차분에 기초하는 보정량 데이터를 포함하고,
    상기 상관 관계를 결정하는 공정은, 상기 제1 상저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 있어서 나타나는 보정량과 당해 보정량에 대응하는 상기 하저 데이터에 있어서의 보정량 데이터에 있어서 나타나는 보정량의 보정량 상관 함수를 결정하는 공정을 포함하고,
    상기 보정 함수를 결정하는 공정은,
    상기 제2 상저 데이터를 취득하기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터 및 상기 제2 상저 데이터에 기초하여 가보정 함수를 결정하는 공정과,
    상기 보정량 상관 함수에 기초하여 상기 가보정 함수를 수정하여 보정 함수를 결정하는 공정을 포함하는, 배선 기판 제조 방법.
  17. 제13항에 있어서, 상기 제1 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 상저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고,
    상기 하저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 하저의 적어도 일부의 영역에 있어서 측정된 결과값을 포함하고,
    상기 제2 상저 데이터는, 상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저에서 측정된 결과값 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저에서 측정된 결과값을 포함하고,
    상기 상관 관계를 결정하는 공정은, 상기 제1 상저 데이터에 있어서 측정된 결과값과 하저 데이터에 있어서 측정된 결과값의 결과값 상관 함수를 결정하는 공정을 포함하고,
    상기 보정 함수를 결정하는 공정은,
    상기 결정된 결과값 상관 함수에 기초하여, 상기 제2 상저 데이터에 있어서의 결과값에 기초하여 당해 결과값에 대응하는 하저에 있어서의 결과값의 추정값을 계산하는 공정과,
    상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용한 실패턴을 위한 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 당해 결과값에 대응하는 상기 추정된 하저에 있어서의 결과값의 차분에 기초하여 보정 함수를 결정하는 공정을 포함하는, 배선 기판 제조 방법.
  18. 제13항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 상저 데이터에 포함되는 결과값은 광학식 외관 검사 장치에 의해 얻어지는 데이터에 기초하는 것이고, 상기 하저 데이터는 현미경에 의해 얻어지는 데이터에 기초하는 것인, 배선 기판 제조 방법.
  19. 제13항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 보정 함수가, 배선 패턴이 배치된 동일 기판면의 영역마다 결정되는, 배선 기판 제조 방법.
  20. 제13항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 보정 함수가, 배선 패턴이 배치된 동일 기판의 상면 및 하면마다 결정되는, 배선 기판 제조 방법.
  21. 제13항 내지 제20항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 보정 함수가, 배선 패턴에 있어서의 세로 라인 및 가로 라인의 각각에 대하여 결정되는, 배선 기판 제조 방법.
  22. 목표로 하는 배선 패턴의 설계 데이터에 기초하는 노광 데이터를 작성하는 공정과,
    노광 데이터에 기초하여, 기판 위에 배치된 감광성 레지스트에, 노광 패턴을 노광하는 공정과,
    상기 노광 패턴이 노광된 감광성 레지스트를 현상하여 현상 패턴을 형성하는 공정과,
    상기 현상 패턴을 형성한 기판에 대하여 회로 가공을 행하여 제1 실패턴을 형성하는 공정과,
    상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제1 상저 데이터를 작성하는 공정과,
    상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역에 있어서의 하저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 하저 데이터를 작성하는 공정과,
    상기 제1 상저 데이터와 상기 하저 데이터의 상관 관계를 결정하는 공정과,
    상기 제1 실패턴의 적어도 일부의 영역과는 상이한 영역을 포함하는 영역에 있어서의 상저로부터 얻어진 데이터 또는 상기 제1 실패턴과는 상이한 제2 실패턴의 상저로부터 얻어진 데이터에 기초하는 제2 상저 데이터를 작성하는 공정과,
    상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 설계 데이터, 상기 제2 상저 데이터 및 상기 상관 관계에 기초하여, 설계 데이터에 있어서 결정된 결과값과 실패턴에 있어서의 결과값의 차분을 발생시키는 인자와 당해 차분을 억제하기 위한 보정량의 관계를 나타내는 보정 함수를 결정하는 공정과,
    상기 제2 상저 데이터를 얻기 위하여 사용된 실패턴을 위한 노광 데이터를 상기 보정 함수에 기초하여 보정하는 공정과,
    상기 보정된 노광 데이터에 기초하여 배선 패턴을 형성하는 공정을 포함하는, 배선 기판 제조 방법.
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