KR20180012307A

KR20180012307A - 연마재 및 연마재의 제조방법

Info

Publication number: KR20180012307A
Application number: KR1020177037193A
Authority: KR
Inventors: 가즈오 사이토; 겐지 시모야마; 도모키 이와나가; 도시카즈 다우라
Original assignee: 반도 카가쿠 가부시키가이샤
Priority date: 2015-06-19
Filing date: 2016-05-24
Publication date: 2018-02-05
Also published as: US20180185985A1; CN107708930A; JP6085723B1; JPWO2016203914A1; CN107708930B; US11027398B2; KR101990947B1; TW201715013A; TWI702281B; WO2016203914A1

Abstract

본 발명은, 연마율 및 평탄화 정밀도가 우수하고 또한 비교적 장기간에 걸쳐 연마율이 저하되기 어려운 연마재를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 기재와, 이 기재의 표면측에 적층되고 지립 및 그 바인더를 포함하는 연마층과, 상기 기재의 이면측에 적층되는 접착층을 구비하는 연마재로서, 상기 지립이 다이아몬드 지립이고, 테이버 마모시험에 의한 상기 연마층의 마모량이 0.03g 이상 0.18g 이하이고, 상기 연마층의 표면측에서 측정한 아스카 D경도가 80° 이상 98° 이하인 것을 특징으로 한다. 상기 바인더의 주성분이 무기물이면 좋다. 상기 바인더가 무기산화물을 주성분으로 하는 충전제를 함유하면 좋다. 상기 연마층이 표면에 복수의 홈을 구비하면 좋다. 상기 연마층이 인쇄법에 의하여 형성되면 좋다.

Description

연마재 및 연마재의 제조방법

본 발명은, 연마재(硏磨材) 및 연마재의 제조방법에 관한 것이다.

최근에 하드디스크 등의 전자기기의 정밀화가 진행되고 있다. 이와 같은 전자기기의 기판재료로서는, 소형화나 박형화(薄型化)에 대응할 수 있고 강성(剛性), 내충격성(耐衝擊性) 및 내열성(耐熱性)을 고려하여, 글라스가 사용되는 경우가 많다. 이 글라스 기판은 취성재료(脆性材料)로서, 표면의 손상에 의하여 기계적 강도가 현저히 저해된다. 이 때문에 이와 같은 기판의 연마에는, 연마율과 아울러 손상이 적은 평탄화 정밀도가 요구된다.

일반적으로 연마면에 대한 평탄화 정밀도를 향상시키고자 하면 가공시간은 길어지는 경향이 있어, 연마율과 평탄화 정밀도는 트레이드 오프(trade off)의 관계에 있다. 이 때문에 연마율과 평탄화 정밀도를 양립시키는 것은 어렵다. 이에 대하여 연마율과 평탄화 정밀도를 양립시키기 위하여, 연마입자와 충전제(充塡劑)를 분산시킨 연마부(硏磨部)를 갖는 연마재가 제안되어 있다(일본국 특허공표 특표2002-542057호 공보 참조).

그러나 이와 같은 종래의 연마재는, 일정 시간 연마를 하면 지립(砥粒)의 글레이징(glazing)이나 연마층 표면의 막힘에 의하여 연마율이 저하된다. 이 저하된 연마율을 재생시키기 위해서는, 연마재의 표면을 벗겨 내고 새로운 면을 표면으로 하는, 소위 드레싱(dressing)을 할 필요가 있다. 이 드레싱 전후에는 연마재의 청소도 필요하므로, 이 드레싱은 시간을 요하는 작업이다. 드레싱을 하는 동안에 글라스 기판의 연마는 중단되기 때문에, 상기 종래의 연마재는 드레싱을 함에 따른 연마효율의 저하가 크다.

: 일본국 특허공표 특표2002-542057호 공보

본 발명은 이와 같은 단점을 고려하여 이루어진 것으로서, 연마율 및 평탄화 정밀도가 우수하고 또한 비교적 장기간에 걸쳐 연마율이 저하되기 어려운 연마재를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위하여 이루어진 본 발명은, 기재(基材)와, 이 기재의 표면측에 적층되고 지립(砥粒) 및 그 바인더(binder)를 포함하는 연마층(硏磨層)과, 상기 기재의 이면측에 적층되는 접착층(接着層)을 구비하는 연마재(硏磨材)로서, 상기 지립이 다이아몬드 지립이고, 테이버 마모시험에 의한 상기 연마층의 마모량이 0.03g 이상 0.18g 이하이고, 상기 연마층의 표면측에서 측정한 아스카 D경도가 80° 이상 98° 이하인 것을 특징으로 한다.

상기 연마재는, 연마층의 표면측에서 측정한 아스카 D경도를 상기 범위 내로 하고, 지립을 다이아몬드 지립으로 하기 때문에, 그 경도에 의하여 연마율 및 평탄화 정밀도가 우수하다. 또한 상기 연마재는, 테이버 마모시험에 의한 상기 연마층의 마모량을 상기 범위 내로 하기 때문에, 새로운 지립이 연마층 표면에 노출되기 쉬워져, 비교적 장기간에 걸쳐 연마율이 저하되기 어렵다. 따라서 상기 연마재는, 우수한 연마율과 평탄화 정밀도의 양립을 달성하면서 드레싱을 하는 빈도를 저감할 수 있기 때문에, 연마효율이 우수하다.

상기 바인더의 주성분이 무기물이면 좋다. 무기물을 주성분으로 하는 바인더는 지립의 지지력이 우수하여, 지립이 탈립(脫粒)하기 어렵다. 이 때문에 상기 바인더의 주성분을 무기물로 함으로써, 연마율을 더 높일 수 있다.

상기 바인더가 무기산화물을 주성분으로 하는 충전제(充塡劑)를 함유하면 좋다. 이와 같이 상기 바인더가 무기산화물을 주성분으로 하는 충전제를 가짐으로써, 상기 바인더의 탄성율이 향상되어, 연마층의 마모를 제어하기 쉽다.

상기 연마층이 표면에 복수의 홈을 구비하면 좋다. 이와 같이 연마층의 표면에 복수의 홈을 배치함으로써, 가공하는 글라스 기판에 대한 면압(面壓)이나 연마작용점의 수를 용이하게 제어할 수 있기 때문에, 평탄화 정밀도를 더 높일 수 있다.

상기 연마층이 인쇄법에 의하여 형성되면 좋다. 이와 같이 연마층을 인쇄법에 의하여 형성함으로써, 연마층을 형성할 때에 지립이 연마층 표면에 노출되기 쉽기 때문에, 사용을 시작할 때부터 우수한 연마율을 실현할 수 있다.

따라서 상기 연마재는, 글라스 등의 기판의 평면연마에 적절하게 사용할 수 있다.

상기 과제를 해결하기 위하여 이루어진 다른 발명은, 기재와, 이 기재의 표면측에 적층되고 지립 및 그 바인더를 포함하는 연마층과, 상기 기재의 이면측에 적층되는 접착층을 구비하는 연마재의 제조방법으로서, 연마층용 조성물의 인쇄에 의하여 상기 연마층을 형성하는 공정을 구비하고, 상기 연마층용 조성물이 다이아몬드 지립을 갖고, 상기 연마층 형성공정에서, 테이버 마모시험에 의한 연마층의 마모량이 0.03g 이상 0.18g 이하이고, 연마층의 표면측에서 측정한 아스카 D경도가 80° 이상 98° 이하인 연마층을 형성하는 것을 특징으로 한다.

상기 연마재의 제조방법은, 상기 연마층용 조성물이 다이아몬드 지립을 갖고, 상기 연마층 형성공정에서, 연마층의 표면측에서 측정한 아스카 D경도가 상기 범위 내이고, 테이버 마모시험에 의한 연마층의 마모량이 상기 범위 내인 연마층을 형성하기 때문에, 연마율 및 평탄화 정밀도가 우수하고 비교적 장기간에 걸쳐 연마율이 저하되기 어려운 연마재를 제조할 수 있다. 또한 상기 연마재의 제조방법은, 연마층을 연마층용 조성물의 인쇄에 의하여 형성하기 때문에, 연마층을 형성할 때에 지립이 연마층 표면에 노출되기 쉽다. 따라서 상기 연마재의 제조방법에 의하여 제조된 연마재는, 사용을 시작할 때부터 우수한 연마율을 실현할 수 있다. 또한 상기 연마재의 제조방법은, 연마층을 연마층용 조성물의 인쇄에 의하여 형성하기 때문에, 제조효율이 좋다.

여기에서 「아스카 D경도」는, 기재, 연마층 및 접착층을 구비하는 연마재를 지지체에 고정시킨 상태에서 JIS-K-6253:2012에 준거하여 아스카 D 고무 경도계로 측정한 값을 말한다.

또한 「마모량」은, 시험편(평균직경 104㎜, 평균두께 300㎛)을 준비하고, 테이버 마모시험기를 사용하여 마모륜(磨耗輪) H-18, 하중 4.9N(500gf)의 조건에서 상기 시험편을 320회전시키고, 320회전 전후의 시험편의 질량차를 측정한 값이다. 「주성분」은, 함유량이 가장 많은 성분으로서, 예를 들면 함유량이 50질량％ 이상인 성분을 가리킨다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 연마재는, 연마율 및 평탄화 정밀도가 우수하고 또한 비교적 장기간에 걸쳐 연마율이 저하되기 어렵다.

도1a는, 본 발명의 실시형태에 관한 연마재를 나타내는 모식적인 평면도이다.
도1b는, 도1a의 A-A선에서의 모식적인 단면도이다.

이하에, 본 발명의 실시형태를 적절한 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

[연마재]

도1a 및 도1b에 나타내는 연마재(硏磨材)(1)는, 기재(基材)(10)와, 이 기재(10)의 표면측에 적층되는 연마층(硏磨層)(20)과, 상기 기재(10)의 이면측에 적층되는 접착층(接着層)(30)을 구비한다. 또한 상기 연마재(1)는, 상기 접착층(30)을 사이에 두고 적층되는 지지체(支持體)(40) 및 그 지지체(40)의 이면측에 적층되는 제2접착층(31)을 구비한다.

〈기재〉

기재(10)는, 연마층(20)을 지지하기 위한 부재이다. 기재(10)의 형상은 판모양이다.

기재(10)의 재질로서는 특별히 한정되지 않지만, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌(PE), 폴리이미드(PI), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN), 아라미드, 알루미늄, 구리 등을 들 수 있다. 이 중에서도 연마층(20)과의 접착성이 양호한 알루미늄이 바람직하다. 또한 기재(10)의 표면에 화학처리, 코로나 처리, 프라이머 처리 등의 접착성을 높이는 처리를 하여도 좋다.

또한 기재(10)는 가요성(可撓性) 또는 연성(延性)을 가지고 있으면 좋다. 이와 같이 기재(10)가 가요성 또는 연성을 가짐으로써, 상기 연마재(1)가 글라스 기판의 표면형상을 추종하고, 연마면과 글라스 기판과의 접촉면적이 커지기 때문에, 연마율이 더 높아진다. 이와 같은 가요성을 갖는 기재(10)의 재질로서는, 예를 들면 PET나 PI 등을 들 수 있다. 또한 연성을 갖는 기재(10)의 재질로서는, 알루미늄이나 구리 등을 들 수 있다.

기재(10)의 형상 및 크기로서는 특별히 제한되지 않지만, 예를 들면 한 변이 140㎜ 이상 160㎜ 이하인 정사각형모양이나 외경이 600㎜ 이상 650㎜ 이하 및 내경이 200㎜ 이상 250㎜ 이하인 원환모양으로 할 수 있다. 또한 평면상에 나란하게 설치되는 복수의 기재(10)가 단일의 지지체에 의하여 지지되는 구성으로 하여도 좋다.

기재(10)의 평균두께로서는 특별히 제한되지 않지만, 예를 들면 75㎛ 이상 1㎜ 이하로 할 수 있다. 기재(10)의 평균두께가 상기 하한 미만인 경우에, 상기 연마재(1)의 강도나 평탄성이 부족해질 우려가 있다. 한편 기재(10)의 평균두께가 상기 상한을 넘는 경우에, 상기 연마재(1)가 불필요하게 두껍게 되어 취급이 곤란해질 우려가 있다.

〈연마층〉

연마층(20)은, 지립(砥粒)(21) 및 그 바인더(binder)(22)를 포함한다. 또한 연마층(20)은, 표면에 복수의 홈(23)을 갖는다. 연마층(20)은, 이 홈(23)에 의하여 복수의 영역(볼록모양부(24))으로 구분된다.

연마층(20)의 평균두께(볼록모양부(24) 부분만의 평균두께)는 특별히 제한되지 않지만, 연마층(20)의 평균두께의 하한으로서는, 100㎛가 바람직하고, 130㎛가 더 바람직하다. 한편 연마층(20)의 평균두께의 상한으로서는, 1000㎛가 바람직하고, 800㎛가 더 바람직하다. 연마층(20)의 평균두께가 상기 하한 미만인 경우에, 연마층(20)의 내구성이 부족해질 우려가 있다. 반대로 연마층(20)의 평균두께가 상기 상한을 넘는 경우에, 상기 연마재(1)가 불필요하게 두껍게 되어 취급이 곤란해질 우려가 있다.

연마층(20)의 테이버 마모시험에 의한 마모량의 하한으로서는, 0.03g이고, 0.06g이 더 바람직하고, 0.12g이 더욱 바람직하다. 한편 연마층(20)의 테이버 마모시험에 의한 마모량의 상한으로서는, 0.18g이고, 0.17g이 더 바람직하고, 0.16g이 더욱 바람직하다. 연마층(20)의 테이버 마모시험에 의한 마모량이 상기 하한 미만인 경우에, 글라스 기판을 연마할 때에 새로운 지립(21)이 연마층(20)의 표면에 노출되기 어려워지기 때문에, 연마율의 저하가 발생할 우려가 있다. 반대로 연마층(20)의 테이버 마모시험에 의한 마모량이 상기 상한을 넘는 경우에, 글라스 기판을 연마할 때의 연마층(20)의 마멸(磨滅)이 빨라지기 때문에, 상기 연마재(1)의 내구성이 부족해질 우려가 있다.

연마층(20)은 인쇄법에 의하여 형성되면 좋다. 이와 같이 연마층(20)을 인쇄법에 의하여 형성함으로써, 연마층(20)을 형성할 때에 지립(21)이 연마층(20)의 표면에 노출되기 쉽기 때문에, 상기 연마재(1)는 글라스 기판의 연마에 사용을 시작할 때부터 연마율이 우수하다.

(지립)

지립(21)은, 다이아몬드 지립이다. 이 다이아몬드 지립은, 단결정이더라도 다결정이더라도 좋고, 또한 Ni 코팅 등의 처리를 한 다이아몬드이더라도 좋다.

지립(21)의 평균입자지름의 하한으로서는, 2㎛가 바람직하고, 5㎛가 더 바람직하다. 한편 지립(21)의 평균입자지름의 상한으로서는, 50㎛가 바람직하고, 40㎛가 더 바람직하다. 지립(21)의 평균입자지름이 상기 하한 미만인 경우에, 글라스 기판을 연마할 때의 연마율이 불충분해질 우려가 있다. 반대로 지립(21)의 평균입자지름이 상기 상한을 넘는 경우에, 글라스 기판을 연마할 때의 평탄화 정밀도가 불충분해질 우려가 있다. 여기에서 「평균입자지름」은, 레이저 회절법 등에 의하여 측정된 부피기준의 누적 입도분포곡선에 있어서의 50％값(50％ 입자지름, D50)을 말한다.

지립(21)의 연마층(20)에 대한 함유량의 하한으로서는, 3부피％가 바람직하고, 5부피％가 더 바람직하다. 한편 지립(21)의 연마층(20)에 대한 함유량의 상한으로서는, 55부피％가 바람직하고, 35부피％가 더 바람직하다. 지립(21)의 연마층(20)에 대한 함유량이 상기 하한 미만인 경우에, 글라스 기판을 연마할 때의 연마율이 불충분해질 우려가 있다. 반대로 지립(21)의 연마층(20)에 대한 함유량이 상기 상한을 넘는 경우에, 연마층(20)이 지립(21)을 지지하기 어려워질 우려가 있다.

(바인더)

바인더(22)의 주성분은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면 무기물(無機物) 또는 수지(樹脂)로 할 수 있다.

상기 수지로서는, 폴리우레탄, 폴리페놀, 에폭시, 폴리에스테르, 셀룰로오스, 에틸렌 공중합체, 폴리비닐아세탈, 폴리아크릴, 아크릴에스테르, 폴리비닐알코올, 폴리염화비닐, 폴리아세트산비닐, 폴리아미드 등의 수지를 들 수 있다. 이 중에서도 기재(10)에 대하여 양호한 밀착성을 확보하기 쉬운 폴리아크릴, 에폭시, 폴리에스테르 및 폴리우레탄이 바람직하다. 또한 상기 수지는, 적어도 일부가 가교(架橋)되어 있어도 좋다.

상기 무기물로서는, 규산염, 인산염, 다가(多價)의 금속 알콕시드 등을 들 수 있다.

바인더(22)의 주성분은 무기물이면 좋고, 이 중에서도 지립(21)의 지지력이 우수한 규산염이 바람직하다. 이와 같은 규산염으로서는, 규산나트륨이나 규산칼륨 등을 들 수 있다.

또한 바인더(22)의 주성분이 무기물인 경우에, 바인더(22)는 무기산화물을 주성분으로 하는 충전제(充塡劑)를 함유하면 좋다. 이와 같이 바인더(22)가 무기산화물을 주성분으로 하는 충전제를 가짐으로써, 바인더(22)의 탄성율이 향상되어, 연마층(20)의 마모를 제어하기 쉽다.

상기 무기산화물로서는, 예를 들면 알루미나, 실리카, 산화세륨, 마그네시아, 지르코니아, 산화티탄 등의 산화물 및 실리카-알루미나, 실리카-지르코니아, 실리카-마그네시아 등의 복합산화물 등을 들 수 있다. 이들은 단독으로 사용하여도 좋고, 필요에 따라 2종 이상을 조합시켜 사용하여도 좋다. 이 중에서도 우수한 연마력을 얻을 수 있는 알루미나가 바람직하다.

상기 충전제의 평균입자지름은, 지립(21)의 평균입자지름에도 의존하지만, 예를 들면 0.01㎛ 이상 20㎛ 이하로 할 수 있다. 상기 충전제의 평균입자지름이 상기 하한 미만인 경우에, 상기 충전제에 의한 바인더(22)의 탄성율이 저하되어, 연마층(20)의 마모의 제어가 불충분해질 우려가 있다. 반대로 상기 충전제의 평균입자지름이 상기 상한을 넘는 경우에, 충전제가 지립(21)의 연마력을 저해할 우려가 있다.

또한 상기 충전제의 평균입자지름은 지립(21)의 평균입자지름보다도 작으면 좋다. 지립(21)의 평균입자지름에 대한 상기 충전제의 평균입자지름의 비(比)의 하한으로서는, 0.1이 바람직하고, 0.2가 더 바람직하다. 한편 지립(21)의 평균입자지름에 대한 상기 충전제의 평균입자지름의 비의 상한으로서는, 0.8이 바람직하고, 0.6이 더 바람직하다. 지립(21)의 평균입자지름에 대한 상기 충전제의 평균입자지름의 비가 상기 하한 미만인 경우에, 상기 충전제에 의한 바인더(22)의 탄성율이 저하되어, 연마층(20)의 마모의 제어가 불충분해질 우려가 있다. 반대로 지립(21)의 평균입자지름에 대한 상기 충전제의 평균입자지름의 비가 상기 상한을 넘는 경우에, 충전제가 지립(21)의 연마력을 저해할 우려가 있다.

상기 충전제의 연마층(20)에 대한 함유량은 지립(21)의 함유량에도 의존하지만, 상기 충전제의 연마층(20)에 대한 함유량의 하한으로서는, 15부피％가 바람직하고, 30부피％가 더 바람직하다. 한편 상기 충전제의 연마층(20)에 대한 함유량의 상한으로서는, 75부피％가 바람직하고, 60부피％가 더 바람직하다. 상기 충전제의 연마층(20)에 대한 함유량이 상기 하한 미만인 경우에, 상기 충전제에 의한 바인더(22)의 탄성율이 저하되어, 연마층(20)의 마모의 제어가 불충분해질 우려가 있다. 반대로 상기 충전제의 연마층(20)에 대한 함유량이 상기 상한을 넘는 경우에, 충전제가 지립(21)의 연마력을 저해할 우려가 있다.

또한 바인더(22)에는, 분산제, 커플링제, 계면활성제, 윤활제, 소포제, 착색제 등의 각종 조제(助劑), 첨가제(添加劑) 등을 목적에 따라 적절하게 함유시켜도 좋다.

(홈)

홈(23)은, 연마층(20)의 표면에 등간격(等間隔)의 격자모양으로 배치된다. 즉 상기 복수의 볼록모양부(24)의 형상은, 규칙적으로 배열된 블록 패턴(block pattern)이다. 또한 볼록모양부(24)를 구분하는 홈(23)의 저면(底面)은, 기재(10)의 표면으로 구성된다.

홈(23)의 평균폭의 하한으로서는, 0.3㎜가 바람직하고, 0.5㎜가 더 바람직하다. 한편 홈(23)의 평균폭의 상한으로서는, 10㎜가 바람직하고, 8㎜가 더 바람직하다. 홈(23)의 평균폭이 상기 하한 미만인 경우에, 연마에 의하여 발생하는 연마분(硏磨粉)이 홈(23)에 끼일 우려가 있다. 한편 홈(23)의 평균폭이 상기 상한을 넘는 경우에, 글라스 기판을 연마할 때에 글라스 기판에 손상이 생길 우려가 있다.

볼록모양부(24)의 평균면적의 하한으로서는, 1㎟가 바람직하고, 2㎟가 더 바람직하다. 한편 볼록모양부(24)의 평균면적의 상한으로서는, 150㎟가 바람직하고, 130㎟가 더 바람직하다. 볼록모양부(24)의 평균면적이 상기 하한 미만인 경우에, 볼록모양부(24)가 기재(10)로부터 박리될 우려가 있다. 반대로 볼록모양부(24)의 평균면적이 상기 상한을 넘는 경우에, 글라스 기판을 연마할 때에 연마층(20)의 글라스 기판에 대한 접촉면적이 지나치게 커져, 마찰저항에 의하여 연마율이 저하될 우려가 있다.

복수의 볼록모양부(24)의 연마층(20) 전체에 대한 면적점유율의 하한으로서는, 5％가 바람직하고, 10％가 더 바람직하다. 한편 복수의 볼록모양부(24)의 연마층(20) 전체에 대한 면적점유율의 상한으로서는, 60％가 바람직하고, 55％가 더 바람직하다. 복수의 볼록모양부(24)의 연마층(20) 전체에 대한 면적점유율이 상기 하한 미만인 경우에, 연마할 때에 가해지는 압력이 좁은 볼록모양부(24)에 지나치게 집중되기 때문에, 볼록모양부(24)가 기재(10)로부터 박리될 우려가 있다. 반대로 복수의 볼록모양부(24)의 연마층(20) 전체에 대한 면적점유율이 상기 상한을 넘는 경우에, 글라스 기판을 연마할 때에 연마층(20)의 글라스 기판에 대한 접촉면적이 지나치게 커져, 마찰저항에 의하여 연마율이 저하될 우려가 있다. 여기에서 「연마층 전체의 면적」은, 연마층의 홈의 면적도 포함하는 개념이다.

(접착층)

접착층(30)은, 연마장치에 장착하기 위한 지지체(40)에 상기 연마재(1)를 고정하는 층이다.

이 접착층(30)에 사용되는 접착제로서는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면 반응형 접착제, 순간접착제, 핫멜트 접착제, 점착제(粘着劑) 등을 들 수 있다.

이 접착층(30)에 사용되는 접착제로서는, 점착제가 바람직하다. 접착층(30)에 사용되는 접착제로서 점착제를 이용함으로써, 지지체(40)로부터 상기 연마재(1)를 떼서 다시 붙일 수 있기 때문에, 상기 연마재(1) 및 지지체(40)의 재이용이 용이하게 된다. 이와 같은 점착제로서는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면 아크릴계 점착제, 아크릴-고무계 점착제, 천연고무계 점착제, 부틸고무계 등의 합성고무계 점착제, 실리콘계 점착제, 폴리우레탄계 점착제 등을 들 수 있다.

접착층(30)의 평균두께의 하한으로서는, 0.05㎜가 바람직하고, 0.1㎜가 더 바람직하다. 또한 접착층(30)의 평균두께의 상한으로서는, 0.3㎜가 바람직하고, 0.2㎜가 더 바람직하다. 접착층(30)의 평균두께가 상기 하한 미만인 경우에, 접착력이 부족하여, 연마재(1)가 지지체(40)로부터 박리될 우려가 있다. 한편 접착층(30)의 평균두께가 상기 상한을 넘는 경우에, 예를 들면 접착층(30)의 두께 때문에 상기 연마재(1)를 원하는 형상으로 자를 때에 지장을 초래하는 등의 작업성이 저하될 우려가 있다.

(지지체)

지지체(40)는, 접착층(30)을 사이에 두고 기재(10)의 이면측에 적층되어, 상기 연마재(1)의 취급을 용이하게 한다.

상기 지지체(40)의 재질로서는, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리염화비닐 등의 열가소성(熱可塑性)을 갖는 수지나 폴리카보네이트, 폴리아미드, 폴리에틸렌테레프탈레이트 등의 엔지니어링 플라스틱을 들 수 있다. 상기 지지체(40)에 이와 같은 재질을 사용함으로써 상기 지지체(40)가 가요성을 갖고, 상기 연마재(1)가 글라스 기판의 표면형상을 추종하기 쉬워져, 연마면과 글라스 기판이 접촉하기 쉬워지기 때문에 연마율이 더 향상된다.

상기 지지체(40)의 평균두께로서는, 예를 들면 0.5㎜ 이상 3㎜ 이하로 할 수 있다. 상기 지지체(40)의 평균두께가 상기 하한 미만인 경우에, 상기 연마재(1)의 강도가 부족해질 우려가 있다. 한편 상기 지지체(40)의 평균두께가 상기 상한을 넘는 경우에, 상기 지지체(40)를 연마장치에 부착하기 어려워질 우려나 상기 지지체(40)의 가요성이 부족해질 우려가 있다.

(제2접착층)

제2접착층(31)은, 상기 연마재(1)를 연마장치에 장착하여 고정시키는 층이다.

제2접착층(31)은, 접착층(30)과 동일한 접착제를 사용할 수 있다. 또한 제2접착층(31)은, 접착층(30)과 동일한 평균두께로 할 수 있다.

(연마재의 경도)

연마층(20)의 표면측에서 측정한 상기 연마재(1)의 아스카 D경도의 하한으로서는, 80°이고, 82°가 더 바람직하고, 92°가 더욱 바람직하다. 한편 연마층(20)의 표면측에서 측정한 상기 연마재(1)의 아스카 D경도의 상한으로서는, 98°이고, 97°가 더 바람직하고, 96°가 더욱 바람직하다. 연마층(20)의 표면측에서 측정한 상기 연마재(1)의 아스카 D경도가 상기 하한 미만인 경우에, 글라스 기판을 연마할 때에 연마율이 불충분해질 우려가 있다. 또한 연마층(20)의 형상변형에 의하여 글라스 기판에 대한 연마층(20)의 상접(相接)의 수단이 안정되지 않고, 연마를 할 때마다 연마율이 변동되기 쉬워지기 때문에 종료하여야 할 시간을 미리 결정하여 연마를 하는 것이 곤란해질 우려가 있다. 반대로 연마층(20)의 표면측에서 측정한 상기 연마재(1)의 아스카 D경도가 상기 상한을 넘는 경우에, 글라스 기판을 연마할 때에 글라스 기판의 흠집이나 균열 등이 발생할 우려가 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 상기 연마재(1)는 우수한 연마율과 평탄화 정밀도의 양립을 달성하면서 연마율이 저하되기 어렵다. 따라서 상기 연마재(1)는, 글라스 등의 기판의 평면연마에 적절하게 사용할 수 있다.

〈연마재의 제조방법〉

상기 연마재(1)는, 연마층용 조성물을 준비하는 공정, 연마층용 조성물의 인쇄에 의하여 상기 연마층(20)을 형성하는 공정 및 기재(10)의 이면측에 지지체(40)를 적층하는 공정에 의하여 제조할 수 있다.

먼저 연마층용 조성물 준비공정에 있어서, 무기물을 주성분으로 하는 바인더(22)의 형성재료, 충전제 및 다이아몬드 지립(21)을 포함하는 연마층용 조성물을 도포액으로서 준비한다. 또한 도포액의 점도나 유동성을 제어하기 위하여 물, 알코올 등의 희석제 등을 첨가한다.

다음에 연마층 형성공정에 있어서, 상기 연마층용 조성물 준비공정에서 준비한 도포액을 사용하여, 기재(10)의 표면에 인쇄법에 의하여 홈(23)으로 구분된 복수의 볼록모양부(24)로 구성되는 연마층(20)을 형성한다. 이 홈(23)을 형성하기 위하여, 홈(23)의 형상에 대응하는 형상을 갖는 마스크를 준비하고, 이 마스크를 사이에 두고 상기 도포액을 인쇄한다. 이 인쇄방식으로서는, 예를 들면 스크린 인쇄, 메탈 마스크 인쇄 등을 사용할 수 있다.

이 인쇄한 도포액을 가열탈수 및 가열경화시킴으로써 연마층(20)을 형성한다. 구체적으로는, 예를 들면 도포액을 실온(25℃)에서 30분 이상 건조시키고, 70℃ 이상 90℃ 이하의 열로 1시간 이상 가열탈수시킨 후에, 140℃ 이상 160℃ 이하의 열로 2시간 이상 4시간 이하의 범위에서 경화시켜, 바인더(22)를 형성한다.

연마층(20)의 테이버 마모시험에 의한 마모량은, 예를 들면 연마층용 조성물 준비공정의 충전제의 함유량에 의하여 조정할 수 있다. 구체적으로는 테이버 마모시험에 의한 마모량을 증대시키기 위해서는, 충전제의 함유량을 증가시키면 좋다. 또한 연마층(20)의 표면측에서 측정한 상기 연마재(1)의 아스카 D경도는, 예를 들면 연마층(20)의 평균두께에 의하여 조정할 수 있다. 구체적으로는 아스카 D경도를 증대시키기 위해서는, 연마층(20)의 두께를 두껍게 하면 좋다. 이와 같은 조정을 함으로써 상기 연마재의 제조방법은, 상기 연마층 형성공정에 의하여 연마층(20)의 표면측에서 측정한 상기 연마재(1)의 아스카 D경도 및 테이버 마모시험에 의한 마모량이 소정의 범위 내인 연마층(20)을 형성할 수 있다.

최후에 지지체 적층공정에 있어서, 접착층(30)을 사이에 두고 지지체(40)를 적층한다. 또한 지지체(40)의 이면에 제2접착층(31)을 붙인다. 이와 같이 하여 상기 연마재(1)를 제조할 수 있다.

〈이점〉

상기 연마재(1)는, 연마층(20)의 표면측에서 측정한 아스카 D경도를 소정의 범위 내로 하고, 지립(21)을 다이아몬드 지립으로 하기 때문에, 연마율 및 평탄화 정밀도가 우수하다. 또한 상기 연마재(1)는, 테이버 마모시험에 의한 연마층(20)의 마모량을 소정의 범위 내로 하기 때문에, 새로운 지립(21)이 연마층(20)의 표면에 노출되기 쉽고, 비교적 장기간에 걸쳐 연마율이 저하되기 어렵다. 따라서 상기 연마재(1)는, 우수한 연마율과 평탄화 정밀도의 양립을 달성하면서, 드레싱(dressing)을 하는 빈도를 저감할 수 있기 때문에 연마효율이 우수하다.

또한 상기 연마재의 제조방법은, 연마층(20)을 연마층용 조성물의 인쇄에 의하여 형성할 수 있기 때문에 제조효율이 좋다.

[다른 실시형태]

본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 상기 태양 이외에 다양한 변경, 개량을 한 태양으로 실시할 수 있다.

상기 실시형태에서는 홈을 등간격의 격자모양으로 구성하였지만, 격자의 간격은 등간격이 아니어도 좋으며, 예를 들면 세로방향과 가로방향에 있어서 간격을 바꾸어도 좋다. 단 홈의 간격이 다른 경우에, 연마에 이방성(異方性)이 생길 우려가 있기 때문에, 등간격이 바람직하다.

또한 홈의 평면형상은 격자모양이 아니어도 좋으며, 예를 들면 사각형 이외의 다각형이 반복되는 형상, 원형모양, 평행한 선을 복수 갖는 형상 등으로 하여도 좋고, 동심원 모양으로 하여도 좋다.

또한 상기 실시형태에서는 연마층이 복수의 홈을 갖는 경우를 설명하였지만, 이 홈은 필수구성요건은 아니어서 생략 가능하다. 예를 들면 상기 연마재는, 기재 표면에 연마층을 일정하게 적층한 구성으로 하여도 좋다.

상기 실시형태에서는 연마층의 인쇄법으로서 마스크를 사용하여 연마층과 홈을 동시에 형성하는 방법을 설명하였지만, 기재 표면의 전면(全面)에 연마층용 조성물을 인쇄하여 연마층을 형성한 후에, 에칭 가공이나 레이저 가공 등에 의하여 홈을 형성하더라도 좋다.

또한 상기 실시형태에서는 연마층이 인쇄법에 의하여 형성되는 경우를 설명하였지만, 연마층의 형성방법은 다른 방법, 예를 들면 스프레이 코팅이나 바코팅 등에 의하여 형성하더라도 좋다.

상기 실시형태에서는 지지체의 이면측에 제2접착층을 갖는 경우를 설명하였지만, 접착층은 필수구성요건은 아니어서 생략 가능하다. 또한 지지체도 필수구성요건은 아니어서, 제2접착층과 함께 생략할 수도 있다.

실시예

이하에, 실시예 및 비교예를 들어 본 발명을 더 상세하게 설명하지만, 상기 발명은 이하의 실시예에 한정되는 것은 아니다.

[실시예1]

다이아몬드 지립(랜즈(LANDS Superabrasives, Co.)의 「LS605FN」)을 준비하고, 닛키소 가부시키가이샤(NIKKISO CO., LTD.)의 「Microtrac MT3300EXⅡ」를 사용하여 평균입자지름을 계측하였다. 이 다이아몬드 지립의 평균입자지름은 7.5㎛이었다. 또한 이 지립의 다이아몬드의 종류는 55질량％ 니켈 코팅 처리된 다이아몬드이다.

바인더로서의 규산나트륨(후지 가가쿠 가부시키가이샤(Fuji Kagaku CORP.)의 「3호 규산소다」), 상기 다이아몬드 지립, 및 충전제로서의 알루미나(Al₂O₃, 퍼시픽 런덤 가부시키가이샤(Pacific Rundum Co., Ltd.)의 「LA4000」, 평균입자지름 4㎛)를 혼합하고, 다이아몬드 지립의 연마층에 대한 함유량이 30부피％ 및 충전제의 연마층에 대한 함유량이 40부피％가 되도록 조제하여, 도포액을 얻었다.

기재로서 평균두께가 300㎛인 알루미늄판을 준비하고, 상기 도포액을 사용하여 이 기재의 표면에 인쇄에 의하여 격자모양의 홈을 갖는 연마층을 형성하였다. 또한 인쇄의 패턴으로서 홈에 대응하는 마스크를 이용함으로써, 연마층에 홈을 형성하였다. 표면이 홈에 의하여 구분된 복수의 영역인 볼록모양부는, 평면에서 볼 때에 한 변이 3㎜인 정사각형모양으로 하고, 연마층의 평균두께는 300㎛로 하였다. 상기 볼록모양부는, 규칙적으로 배열된 블록 패턴으로 하고, 볼록모양부의 연마층 전체에 대한 면적점유율은 36％로 하였다. 또한 도포액은, 30분 이상 실온(25℃)에서 건조시키고, 80℃에서 1시간 이상 가열탈수시킨 후에, 150℃에서 2시간 이상 4시간 이하의 시간으로 경화시켰다.

또한 기재를 지지하고 연마장치에 고정시키는 지지체로서 평균두께가 1㎜인 경질 염화비닐 수지판(다키론 가부시키가이샤(Takiron Co., Ltd.)의 「SP770」)을 사용하고, 상기 기재의 이면 및 상기 지지체의 표면과, 상기 지지체의 이면 및 후술하는 연마기(硏磨機)의 정반(定盤)을 각각 평균두께가 130㎛인 점착제로 접합하였다. 상기 점착제로서는, 양면테이프(세키스이 가가쿠 고교 가부시키가이샤(SEKISUI CHEMICAL CO., LTD.)의 「#5605HGD」)를 사용하였다. 이와 같이 하여 실시예1의 연마재를 얻었다.

[실시예2]

실시예1의 연마층의 형성에 있어서, 볼록모양부의 연마층 전체에 대한 면적점유율을 25％로 한 것 이외에는 실시예1과 동일하게 하여, 실시예2의 연마재를 얻었다.

[실시예3]

다이아몬드 지립(랜즈의 「LS605FN」)을 준비하고, 닛키소 가부시키가이샤의 「Microtrac MT3300EXⅡ」를 사용하여 평균입자지름을 계측하였다. 이 다이아몬드 지립의 평균입자지름은 35㎛이었다. 또한 이 지립의 다이아몬드의 종류는 55질량％ 니켈 코팅 처리된 다이아몬드이다.

바인더로서의 규산나트륨(후지 가가쿠 가부시키가이샤의 「3호 규산소다」), 상기 다이아몬드 지립, 및 충전제로서의 알루미나(Al₂O₃, 퍼시픽 런덤 가부시키가이샤의 「LA1200」, 평균입자지름 12㎛)를 혼합하고, 다이아몬드 지립의 연마층에 대한 함유량이 5부피％ 및 충전제의 연마층에 대한 함유량이 71부피％가 되도록 조제하여, 도포액을 얻었다.

상술한 도포액을 사용한 것 이외에는 실시예1과 동일하게 하여, 실시예3의 연마재를 얻었다.

[실시예4]

실시예3의 연마층의 형성에 있어서, 연마층의 평균두께를 600㎛로 한 것 이외에는 실시예3과 동일하게 하여, 실시예4의 연마재를 얻었다.

[실시예5]

다이아몬드 지립(EID(EID LTD.)의 「EDD-X-UM」)을 준비하고, 닛키소 가부시키가이샤의 「Microtrac MT3300EXⅡ」를 사용하여 평균입자지름을 계측하였다. 이 다이아몬드 지립의 평균입자지름은 11㎛이었다. 또한 이 지립의 다이아몬드의 종류는 다결정 다이아몬드이다.

바인더로서의 규산나트륨(후지 가가쿠 가부시키가이샤의 「3호 규산소다」), 상기 다이아몬드 지립, 및 충전제로서의 알루미나(Al₂O₃, 퍼시픽 런덤 가부시키가이샤의 「LA4000」, 평균입자지름 4㎛)를 혼합하고, 다이아몬드 지립의 연마층에 대한 함유량이 5부피％ 및 충전제의 연마층에 대한 함유량이 62.5부피％가 되도록 조제하여, 도포액을 얻었다.

상술한 도포액을 사용한 것 이외에는 실시예1과 동일하게 하여, 실시예5의 연마재를 얻었다.

[비교예1]

실시예3의 도포액 조제에 있어서, 다이아몬드 지립의 연마층에 대한 함유량이 5부피％ 및 충전제의 연마층에 대한 함유량이 71부피％가 되도록 바인더로서의 규산칼륨(후지 가가쿠 가부시키가이샤의 「1호 규산칼륨」)을 물로 희석하여 조제하였다. 상기 이외에는 실시예3과 동일하게 하여, 비교예1의 연마재를 얻었다.

[비교예2]

기재의 이면과 지지체의 표면과의 접합에 평균두께가 5㎜인 초저경도 겔시트(기타가와 고교 가부시키가이샤(KITAGAWA INDUSTRIES CO., LTD.)의 「G5VU2」)를 사용한 것 이외에는 실시예3과 동일하게 하여, 비교예2의 연마재를 얻었다.

[비교예3]

실시예3의 도포액 조제에 있어서, 충전제의 연마층에 대한 함유량이 50부피％가 되도록 조제한 것 이외에는 실시예3과 동일하게 하여, 비교예3의 연마재를 얻었다.

[비교예4]

실시예3의 도포액 조제에 있어서, 충전제의 연마층에 대한 함유량이 89부피％가 되도록 조제한 것 이외에는 실시예3과 동일하게 하여, 비교예4의 연마재를 얻었다.

[비교예5]

바인더로서의 규산나트륨(후지 가가쿠 가부시키가이샤의 「3호 규산소다」)과, 지립 및 충전제로서의 알루미나(Al₂O₃, 퍼시픽 런덤 가부시키가이샤의 「LA8000」, 평균입자지름 30㎛)를 혼합하고, 알루미나의 연마층에 대한 함유량이 73부피％가 되도록 조제하여, 도포액을 얻었다.

상술한 도포액을 사용한 것 이외에는 실시예1과 동일하게 하여, 비교예5의 연마재를 얻었다.

〈평가방법〉

상기 실시예1∼5 및 비교예1∼5에서 얻어진 연마재를 사용하여, 테이버 마모시험에 의한 마모평가, 경도측정 및 연마율을 산출하였다. 평가결과를 표1에 나타낸다.

[테이버 마모시험에 의한 마모평가]

테이버 마모시험에 의한 마모평가에서는, 상기 실시예1∼5 및 비교예1∼5에서 얻어진 연마재마다 시험편(試驗片)(평균직경 104㎜, 평균두께 300㎛)을 준비하였다. 이 시험편을 테이버 마모시험기(테이버(TABER Industries)의 「MODEL174」)를 사용하여 마모륜(磨耗輪) H-18, 하중 4.9N(500gf)의 조건에서 320회전하여 마모시켰다. 이 320회전 전후의 시험편의 질량차[g]를 측정하여, 마모량[g]으로 하였다.

[아스카 D경도 측정]

연마층의 표면측에서 측정한 연마재의 아스카 D경도 측정은, 상기 실시예1∼5 및 비교예1∼5에서 얻어진 연마재마다 정반에 붙이기 전, 즉 기재의 이면에 제1접착층을 사이에 두고 지지체를 붙이고, 또한 그 지지체의 이면에 제2접착층을 더 붙인 상태에서 하였다. 측정에는, 아스카 고무 경도계(고분시 게이키 가부시키가이샤(Kobunshi Keiki Co., Ltd.)의 「D형」)를 사용하였다.

[연마율]

연마율은, 글라스 기판을 1회 연마할 때마다 연마 전후의 기판의 중량변화[g]를, 글라스 기판의 표면적[㎠], 글라스 기판의 비중[g/㎤] 및 연마시간[분]으로 나누어 산출하였다. 또한 글라스 기판의 연마조건은 이하와 같다.

(연마조건)

글라스 기판에는, 직경이 6.25㎝, 비중이 2.4인 소다라임 글라스(히라오카 도쿠슈 가라스 세이사쿠 가부시키가이샤(Hiraoka Special Glass Mfg. co., Ltd.) 제품) 3매를 사용하였다. 또한 연마에는, 시판되는 양면 연마기(엥기스 재팬 가부시키가이샤(Engis Japan Corporation)의 「EJD-5B-3W」)를 사용하였다. 양면 연마기의 캐리어는, 두께가 0.4㎜인 에폭시 글라스이다. 연마는, 연마압력을 150g/㎠으로 하고, 상정반 회전수가 60rpm, 하정반 회전수가 90rpm 및 SUN 기어 회전수가 10rpm인 조건에서 15분간 5회 계속하여 실시하였다. 그때에 쿨런트(coolant)로서, 팰리스 가가쿠 가부시키가이샤(PALACE CHEMICAL CO., LTD.)의 「LAP-P-32」를 매분 120cc 공급하였다.

또한 표1 중에 마모량의 「-」는, 미측정인 것을 의미한다. 연마율의 「연마층 마멸」은 연마층이 마멸되어 측정할 수 없었던 것을 의미하고, 비교예1의 5회째의 (19)는 5회째가 종료된 시점에서 연마층 마멸이 확인된 것을 의미한다. 또한 비교예3 및 비교예5의 연마율의 「-」는, 미측정인 것을 의미한다. 비교예3은, 실시예3에 비하여 연마율이 낮고, 또한 2회째의 1회째에 대한 연마율비가 86％로 저하되어 있었기 때문에, 이후의 측정은 하지 않았다. 또한 비교예5는, 1회째의 연마율이 극단적으로 낮았기 때문에, 이후의 측정은 하지 않았다. 또한 표1 중에 연마율비의 「-」는, 1회째 또는/및 5회째의 연마결과가 없기 때문에 5회째의 연마율을 1회째의 연마율로 나눈 연마율비를 산출할 수 없었던 것을 의미한다.

표1로부터 알 수 있는 바와 같이 실시예1∼5의 연마재는, 비교예1∼5의 연마재에 비하여 연마율비가 높고, 100％에 가깝다. 즉 5회째의 연마에 있어서도 1회째의 연마율과 동등한 연마율을 얻을 수 있어, 실시예1∼5의 연마재는 5회째의 연마에 있어서도 연마율이 유지된다는 것을 알 수 있다. 또한 마모량이 동등한 실시예3, 실시예4 및 비교예2를 비교하면, 실시예3 및 실시예4 쪽의 연마율이 크다는 것을 알 수 있다. 이와 같은 점으로부터, 테이버 마모시험에 의한 연마층의 마모량을 소정의 범위 내로 하고, 연마층의 표면측에서 측정한 연마재의 아스카 D경도를 소정의 범위 내로 함으로써, 실시예1∼5의 연마재는 연마율이 크고 또한 5회째의 연마에 있어서도 연마율이 유지되었다고 생각된다.

이에 대하여 비교예1 및 비교예4의 연마재는, 테이버 마모시험에 의한 연마층의 마모량이 소정의 범위보다도 크기 때문에, 연마층의 마모가 과도하게 진행되어 연마층의 마멸이 발생하였다고 생각된다. 반대로 비교예3의 연마재는, 테이버 마모시험에 의한 연마층의 마모량이 소정의 범위보다도 작기 때문에, 글라스 기판을 연마할 때에 새로운 지립이 연마층의 표면에 노출되기 어려워져 연마율의 저하가 발생하였다고 생각된다. 또한 비교예2의 연마재는, 연마층의 표면측에서 측정한 아스카 D경도가 소정의 범위보다도 작기 때문에, 연마층의 형상변형에 의하여 글라스 기판에 대한 연마층의 상접의 수단이 안정되지 않는다. 이 때문에 비교예2의 연마재는, 연마를 할 때마다 연마율이 크게 변화되었다고 생각된다. 또한 비교예5의 연마재는, 지립이 다이아몬드 지립이 아니기 때문에, 연마율이 작았다고 생각된다.

이상으로부터 지립이 다이아몬드 지립이고, 테이버 마모시험에 의한 연마층의 마모량이 소정의 범위 내이고, 연마층의 표면측에서 측정한 연마재의 아스카 D경도가 소정의 범위 내인 실시예1∼5의 연마재는, 연마율이 우수하고 또한 비교적 장기간에 걸쳐 연마율이 저하되기 어렵다고 말할 수 있다.

본 발명의 연마재에 의하면, 연마율 및 평탄화 정밀도가 우수하고 또한 비교적 장기간에 걸쳐 연마율이 저하되기 어렵다. 따라서 상기 연마재는, 글라스 등의 기판의 평면연마에 적절하게 사용할 수 있다.

1 : 연마재
10 : 기재
20 : 연마층
21 : 지립
22 : 바인더
23 : 홈
24 : 볼록모양부
30 : 접착층
31 : 제2접착층
40 : 지지체

Claims

기재(基材)와, 이 기재의 표면측에 적층되고 지립(砥粒) 및 그 바인더(binder)를 포함하는 연마층(硏磨層)과, 상기 기재의 이면측에 적층되는 접착층(接着層)을 구비하는 연마재(硏磨材)로서,
상기 지립이 다이아몬드 지립이고,
테이버 마모시험에 의한 상기 연마층의 마모량이 0.03g 이상 0.18g 이하이고,
상기 연마층의 표면측에서 측정한 아스카 D경도가 80° 이상 98° 이하인 것을 특징으로 하는 연마재.
제1항에 있어서,
상기 바인더의 주성분이 무기물인 연마재.
제2항에 있어서,
상기 바인더가 무기산화물을 주성분으로 하는 충전제(充塡劑)를 함유하는 연마재.
제1항 내지 제3항 중의 어느 하나의 항에 있어서,
상기 연마층이 표면에 복수의 홈을 구비하는 연마재.
제1항 내지 제4항 중의 어느 하나의 항에 있어서,
상기 연마층이 인쇄법에 의하여 형성되는 연마재.
제1항 내지 제5항 중의 어느 하나의 항에 있어서,
기판의 평면연마에 사용되는 연마재.
기재와, 이 기재의 표면측에 적층되고 지립 및 그 바인더를 포함하는 연마층과, 상기 기재의 이면측에 적층되는 접착층을 구비하는 연마재의 제조방법으로서,
연마층용 조성물의 인쇄에 의하여 상기 연마층을 형성하는 공정을 구비하고,
상기 연마층용 조성물이 다이아몬드 지립을 갖고,
상기 연마층 형성공정에서, 테이버 마모시험에 의한 연마층의 마모량이 0.03g 이상 0.18g 이하이고, 연마층의 표면측에서 측정한 아스카 D경도가 80° 이상 98° 이하인 연마층을 형성하는 것을 특징으로 하는 연마재의 제조방법.