KR20170139470A - Apparatus for cleaning film - Google Patents

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Abstract

According to embodiments of the present invention, an apparatus for cleaning a film comprises: a base film supply unit; a first antistatic unit and a second antistatic unit arranged to be separated from each other while removing static electricity from a base film; and a dry antistatic unit arranged between the first antistatic unit and the second antistatic unit, and having a vacuum suction unit and a pressure discharge unit. Through a combination between the antistatic units and the dry antistatic unit, pollutants of the base film can be effectively removed.

Description

필름 클리닝 장치{APPARATUS FOR CLEANING FILM}[0001] APPARATUS FOR CLEANING FILM [0002]

본 발명은 필름 클리닝 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 복수의 롤러들을 포함하는 필름 클리닝 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a film cleaning apparatus. More particularly, the present invention relates to a film cleaning apparatus including a plurality of rollers.

예를 들면, 플렉시블 타입의 디스플레이 혹은 터치 스크린 패널을 제조하기 위해 폴리이미드와 같은 기재 필름될 수 있다. 상기 기재 필름 상에는 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물과 같은 무기 절연 물질, 아크릴계 수지와 같은 유기 절연 물질 등을 포함하는 절연막이 형성될 수 있다. 또한, 감압성 점착제(PSA) 층과 같은 점착제층, 하드코팅층, 반사방지층 또는 대전방지층 등과 같은 경도 향상, 기능성 표면 처리를 위한 추가 막들이 상기 기재 필름 상에 코팅될 수 있다.For example, it may be a substrate film, such as polyimide, to produce a flexible type display or a touch screen panel. An insulating film including an inorganic insulating material such as silicon oxide or silicon nitride, or an organic insulating material such as an acrylic resin may be formed on the base film. Further, additional films for hardness improvement, functional surface treatment such as a pressure-sensitive adhesive layer (PSA) layer, a hard coating layer, an antireflection layer or an antistatic layer, etc. may be coated on the base film.

그러나, 상기 절연막, 점착제층 등과 같은 추가 막 형성 공정 전에 상기 기재 필름 상에 정전기가 발생할 수 있으며, 이에 따라 기재 필름 표면에 먼지와 같은 이물질이 부착될 수 있다. 상기 이물질이 충분히 제거되지 않는 경우, 예를 들면 디스플레이 패널과의 접합 시 기능불량, 수율하락 등을 야기할 수 있다.However, static electricity may be generated on the base film before an additional film forming process such as an insulating film, a pressure-sensitive adhesive layer, etc., and foreign substances such as dust may be adhered to the surface of the base film. If the foreign matter is not sufficiently removed, for example, it may cause a malfunction or a decrease in yield when bonded to the display panel.

또한, 상기 기재 필름으로부터 먼지를 제거했다고 하더라도, 공정 설비로부터 다시 이물질이 부착될 수도 있다.Further, even if dust is removed from the base film, foreign substances may be adhered again from the process equipment.

따라서, 외부로부터의 이물질뿐만 아니라 공정 설비로부터 발생하는 오염까지 고려하여 클리닝 공정을 설계할 필요가 있다. 또한, 반도체 장치 혹은 디스플레이 장치와 같이 고해상도 장치 제조를 위한 기재 필름의 경우 보다 완전한 클리닝 능력이 요구될 수 있다.Therefore, it is necessary to design a cleaning process considering contamination originating from process equipment as well as foreign substances from the outside. In addition, a complete cleaning capability may be required in the case of a substrate film for manufacturing a high-resolution device such as a semiconductor device or a display device.

예를 들면, 한국공개특허공보 제2012-0085204호는 이온발생을 통한 제전기를 개시하고 있으나, 상기 제전기만으로는 충분한 오염물질 제거가 어렵다.For example, Korean Patent Laid-Open Publication No. 2012-0085204 discloses the elimination of electricity through ion generation, but it is difficult to remove sufficient contaminants only by the above electricity.

대한민국 공개특허공보 제10-2012-0085204호(2012.07.31)Korean Patent Publication No. 10-2012-0085204 (Jul. 31, 2012)

본 발명의 일 과제는 우수한 신뢰성 및 제진 효율성을 갖는 필름 클리닝 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a film cleaning apparatus having excellent reliability and damping efficiency.

1. 기재 필름 공급부; 1. a base film supply part;

상기 기재 필름 공급부로부터 전달된 기재 필름으로부터 정전기를 제거하며 서로 분리되어 배치되는 제1 제전부 및 제2 제전부; 및 A first discharger and a second discharger which are separated from each other by removing static electricity from the base film transferred from the base film supply part; And

상기 제1 제전부 및 상기 제2 제전부 사이에 배치되어 상기 기재 필름에 부착된 이물질을 제거하며, 진공 흡입부 및 압력 토출부를 포함하는 건식 제진부를 포함하는, 필름 클리닝 장치.And a dry damping portion disposed between the first electricity removing portion and the second electricity removing portion to remove foreign substances adhering to the base film and including a vacuum suction portion and a pressure discharge portion.

2. 위 1에 있어서, 상기 진공 흡입부 및 상기 압력 토출부는 상기 기재 필름의 진행 방향을 따라 순차적으로 연속적으로 배치되는, 필름 클리닝 장치.2. The film cleaning apparatus of claim 1, wherein the vacuum suction unit and the pressure discharge unit are sequentially and continuously arranged along a traveling direction of the base film.

3. 위 2에 있어서, 상기 압력 토출부는 상기 압력 토출부로부터의 공기 토출 방향이 상기 기재 필름의 진입 방향과 평행한 방향으로 마주보도록 배치되며, 상기 진공 흡입부는 상기 진공 흡입부로의 상기 이물질의 흡인 방향이 상기 기재 필름의 배출방향과 평행한 방향으로 반대되도록 배치되는, 필름 클리닝 장치.3. The vacuum cleaner according to claim 2, wherein the pressure discharging portion is disposed such that the air discharging direction from the pressure discharging portion is opposed in a direction parallel to the entering direction of the base film, and the vacuum suction portion Direction is opposite to a direction parallel to the discharge direction of the base film.

4. 위 1에 있어서, 상기 압력 토출부는 제1 압력 토출부 및 제2 압력 토출부를 포함하는, 필름 클리닝 장치.4. The film cleaning apparatus of 1 above, wherein the pressure discharge portion includes a first pressure discharge portion and a second pressure discharge portion.

5. 위 4에 있어서, 상기 진공 흡입부, 상기 제1 압력 토출부 및 상기 제2 압력 토출부는 상기 기재 필름의 진행 방향을 따라 순차적으로 연속적으로 배치되는, 필름 클리닝 장치.5. The film cleaning apparatus of claim 4, wherein the vacuum suction unit, the first pressure discharging unit, and the second pressure discharging unit are sequentially and continuously arranged along the advancing direction of the base film.

6. 위 1에 있어서, 상기 제1 제전부 및 상기 제2 제전부는 각각 이오나이저(ionizer)를 포함하는, 필름 클리닝 장치.6. The film cleaning apparatus of 1 above, wherein the first power generator and the second power generator each include an ionizer.

7. 위 1에 있어서, 상기 제2 제전부의 후단에 배치되는 에어 블로잉 롤러를 더 포함하는, 필름 클리닝 장치.7. The film cleaning apparatus of claim 1, further comprising an air blowing roller disposed at a rear end of the second electricity removing unit.

8. 위 7에 있어서, 상기 에어 블로잉 롤러는 롤러 바디, 및 롤러 바디 내에 형성된 에어 발생 홀들을 포함하는, 필름 클리닝 장치.8. The film cleaning apparatus of claim 7, wherein the air blowing roller comprises a roller body and air generating holes formed in the roller body.

9. 위 8에 있어서, 상기 기재 필름은 상기 롤러 바디로부터 플로팅되어 이동되는, 필름 클리닝 장치.9. The film cleaning apparatus of claim 8, wherein the base film is floated and moved from the roller body.

본 발명의 실시예들에 따르는 필름 클리닝 장치는 제1 및 제2 제전부들을 포함하고, 상기 제1 및 제2 제전부들 사이에 배치되는 건식 제진부를 포함한다. 상기 건식 제진부는 진공 흡입부 및 압력 토출부를 포함하며, 기재 필름 상에 잔류하는 먼지를 효과적으로 제거할 수 있다.A film cleaning apparatus according to embodiments of the present invention includes first and second charge removing portions and a dry dust removing portion disposed between the first and second charge removing portions. The dry damping portion includes a vacuum suction portion and a pressure discharge portion, and effectively removes the dust remaining on the base film.

상기 건식 제진부의 전단 및 후단에 상기 제1 및 제2 제전부들을 각각 배치함으로써, 제진 공정 전후에 걸쳐 정전기 발생을 실질적으로 완전히 차단할 수 있다.By disposing the first and second electrification units at the front end and the rear end of the dry dampening unit, the generation of static electricity can be substantially completely blocked before and after the dust removal process.

일부 실시예들에 있어서, 상기 제2 제전부 및 막 형성부 사이에 에어 블로잉 롤러(air blowing roller)가 배치될 수 있다. 상기 기재 필름은 상기 에어 블로잉 롤러에 의해 플로팅 상태로 상기 막 형성부로 도입될 수 있으며, 이에 따라 롤러 접촉에 따른 추가 오염물질 부착을 방지할 수 있다.In some embodiments, an air blowing roller may be disposed between the second electricity generating unit and the film forming unit. The base film can be introduced into the film forming portion in a floating state by the air blowing roller, thereby preventing adhesion of additional contaminants due to roller contact.

상기 필름 클리닝 장치는 플렉시블 디스플레이 장치 또는 플렉시블 터치 스크린 패널 제조를 위한 기재 필름의 전처리를 위해 효과적으로 활용될 수 있다.The film cleaning apparatus can be effectively utilized for a pretreatment of a base film for manufacturing a flexible display device or a flexible touch screen panel.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 필름 클리닝 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 및 도 3은 일부 예시적인 실시예들에 따른 건식 제진부를 나타내는 개략적인 도면들이다.
도 4는 일부 예시적인 실시예들에 따른 에어 블로잉 롤러를 나타내는 개략적인 도면이다.1 is a schematic view of a film cleaning apparatus according to exemplary embodiments of the present invention.
FIG. 2 and FIG. 3 are schematic drawings showing a dry damping portion according to some exemplary embodiments.
Figure 4 is a schematic representation of an air blowing roller according to some exemplary embodiments.

본 발명의 실시예들에 따르면, 필름 클리닝 장치는 기재 필름으로부터 정전기를 제거하며 서로 분리되어 배치되는 제1 제전부 및 제2 제전부, 및 상기 제1 제전부 및 상기 제2 제전부 사이에 배치되며 진공 흡입부 및 압력 토출부를 포함하는 건식 제진부를 포함한다. 상기 필름 클리닝 장치로부터 이물질이 제거된 기재 필름은 플렉시블 디스플레이 장치 또는 터치 스크린 패널과 같은 고정밀도의 디바이스에 적용될 수 있다.According to the embodiments of the present invention, the film cleaning apparatus includes a first electrostatic discharge portion and a second electrostatic discharge portion which are separated from each other by removing static electricity from the base film, and disposed between the first discharge portion and the second discharge portion And a dry damping portion including a vacuum suction portion and a pressure discharge portion. The substrate film from which the foreign substances have been removed from the film cleaning apparatus can be applied to a high-precision device such as a flexible display device or a touch screen panel.

이하 도면을 참고하여, 본 발명의 실시예들을 보다 구체적으로 설명하도록 한다. 다만, 본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 전술한 발명의 내용과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description of the present invention are exemplary and explanatory and are intended to provide further explanation of the invention as claimed. And shall not be construed as limited to such matters.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 필름 클리닝 장치를 개략적으로 도시한 도면이다. 이하에서는, 도 1을 참조로, 예시적인 실시예들에 따른 필름 클리닝 장치 및 필름 클리닝 방법을 함께 상세히 설명한다.1 is a schematic view of a film cleaning apparatus according to exemplary embodiments of the present invention. Hereinafter, with reference to Fig. 1, a film cleaning apparatus and a film cleaning method according to exemplary embodiments will be described in detail.

도 1을 참조하면, 필름 클리닝 장치(50)는 기재 필름 공급부, 및 제전 및 제진 유닛을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the film cleaning apparatus 50 may include a base film supply unit, and a charge elimination and damping unit.

상기 기재 필름 공급부는 상기 제전 및 제진 유닛으로 기재 필름(100)을 공급할 수 있다. 예시적인 실시예들에 따르면, 기재 필름 공급 롤러(110)를 통해 기재 필름(100)이 상기 제전 및 제진 유닛으로 이송될 수 있다.The base film supply unit may supply the base film 100 to the charge and discharge unit. According to exemplary embodiments, the substrate film 100 may be transported to the depletion and damping unit via the substrate film supply roller 110. [

기재 필름(100)은 롤-투-롤(Roll-to-Roll) 공정이 가능한 유연성을 갖는 수지 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 기재 필름(100)은 환형올레핀중합체(COP), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리아크릴레이트(PAR), 폴리에테르이미드(PEI), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN), 폴리페닐렌설파이드(PPS), 폴리알릴레이트(polyallylate), 폴리이미드(PI), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(CAP), 폴리에테르술폰(PES), 셀룰로오스 트리아세테이트(TAC), 폴리카보네이트(PC), 환형올레핀공중합체(COC), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 등을 포함할 수 있다. 이들은 단독으로 혹은 2종 이상이 조합되어 사용될 수 있다. 바람직하게는, 기재 필름(100)은 폴리이미드를 포함할 수 있다.The base film 100 may include a flexible resin material capable of a roll-to-roll process. For example, the substrate film 100 may be formed of a material selected from the group consisting of a cyclic olefin polymer (COP), a polyethylene terephthalate (PET), a polyacrylate (PAR), a polyetherimide (PEI), a polyethylene naphthalate (PEN), a polyphenylene sulfide (PPS), polyallylate, polyimide (PI), cellulose acetate propionate (CAP), polyethersulfone (PES), cellulose triacetate (TAC), polycarbonate (PC), cyclic olefin copolymer COC), polymethylmethacrylate (PMMA), and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Preferably, the substrate film 100 may comprise polyimide.

상기 제전 및 제진 유닛은 상기 기재 필름 공급부로부터 순차적으로 배치되는 제1 제전부(120), 건식 제진부(140) 및 제2 제전부(150)를 포함할 수 있다.The static eliminator and damping unit may include a first power generator 120, a dry dampener 140, and a second power generator 150 sequentially disposed from the substrate film supply unit.

제1 및 제2 제전부들(120, 150)로부터 기재 필름(100) 표면의 정전기가 제거될 수 있다. 예시적인 실시예들에 따르면, 제1 및 제2 제전부들(120, 150)은 각각 이오나이저(ionizer)를 포함할 수 있다. 제1 및 제2 제전부들(120, 150)에 의해 기재 필름(100) 표면 주변에 이온 분위기가 형성되어 정전기가 제거될 수 있다.The static electricity on the surface of the base film 100 can be removed from the first and second power-generating units 120 and 150. According to exemplary embodiments, the first and second power generators 120 and 150 may each include an ionizer. An ion atmosphere is formed around the surface of the base film 100 by the first and second electrification portions 120 and 150 so that static electricity can be removed.

예를 들면, 제1 및 제2 제전부들(120, 150)은 당해 기술분야에 공지된 이오나이저를 사용할 수 있으며, 본 출원에 참조로서 병합되는 한국공개특허공보 제2012-0085204호에 개시된 이오나이저를 활용할 수도 있다.For example, the first and second generators 120, 150 can be ionizers known in the art and are described in U.S. Patent Publication No. 2012-0085204, You can also use a niger.

제1 제전부(120)에 의해 이온 처리되어 정전기가 제거된 기재 필름(100)은 건식 제진부(140)를 통과하여 기재 필름(100) 표면에 부착된 미세 먼지, 이물질들이 제거될 수 있다.The base film 100 subjected to the ion treatment by the first degreasing part 120 and removed from the static electricity can be removed from the fine dust and foreign substances attached to the surface of the base film 100 through the dry damping part 140.

예시적인 실시예들에 따르면, 기재 필름(100)은 제진 롤러(130)에 의해 가이드되어 건식 제진부(140) 내부로 진입할 수 있다. 건식 제진부(140)를 통한 압력 토출 및 진공 흡입 작용에 의해 미세 먼지, 이물질이 기재 필름(100) 표면으로부터 실질적으로 제거될 수 있다.According to exemplary embodiments, the base film 100 can be guided by the vibration damping roller 130 and enter the dry damping portion 140. The fine dust and the foreign matter can be substantially removed from the surface of the base film 100 by the pressure discharge and the vacuum suction action through the dry dust-proofing part 140.

건식 제진부(140)의 구조 및 작용에 대해서는 도 2 및 도 3을 참조로 보다 상세히 후술한다.The structure and operation of the dry damping unit 140 will be described later in more detail with reference to FIGS. 2 and 3. FIG.

건식 제진부(140)로부터 미세 먼지, 이물질이 제거된 기재 필름(100)은 제2 제전부(150)에 의해 다시 이온화 처리될 수 있다. 따라서, 예를 들면, 제진 롤러(130)와의 마찰 등에 의해 다시 유발된 정전기가 제2 제전부(150)를 통해 제거될 수 있다.The base film 100 from which fine dust and foreign substances have been removed from the dry damping unit 140 can be ionized again by the second electricity removing unit 150. Therefore, for example, static electricity induced again by friction with the vibration suppression roller 130 or the like can be removed through the second power generator 150.

일부 실시예들에 있어서, 상기 제전 및 제진 유닛은 에어 블로잉(air blowing) 롤러(160)를 더 포함할 수 있다.In some embodiments, the de-energization and damping unit may further include an air blowing roller 160.

에어 블로잉 롤러(160)는 제2 제전부(150)의 후단에 배치되어, 기재필름(100)에 대한 막 형성 공정이 개시되기 전에, 미세 먼지, 이물질이 다시 부착되는 것을 방지하기 위해 삽입될 수 있다.The air blowing roller 160 is disposed at the rear end of the second power generating unit 150 so that the air blowing roller 160 can be inserted to prevent fine dust and foreign matter from adhering again before the film forming process for the base film 100 is started have.

예시적인 실시예들에 따르면, 에어 블로잉 롤러(160)는 에어 발생 홀(165)을 포함하며, 에어 발생 홀(165)을 통해 배출되는 공기압을 통해 기재 필름(100)과 에어 블로잉 롤러(160)의 표면이 이격될 수 있다. According to exemplary embodiments, the air blowing roller 160 includes an air generating hole 165, and the base film 100 and the air blowing roller 160 are blown through the air generating hole 165, May be spaced apart.

에어 블로잉 롤러(160)는 기재 필름(100)을 상기 막 형성 공정을 위한 도공 유닛(180)으로 이송하는 가이드 롤러로 제공될 수도 있다. 상술한 바와 같이, 기재 필름(100)은 에어 블로잉 롤러(160)와 접촉하지 않고 플로팅(floating)된 채로 가이딩되어 이동될 수 있다. 따라서, 상기 가이드 롤러와 마찰에 의해 발생할 수 있는 정전기, 먼지 부착 등이 방지될 수 있다.The air blowing roller 160 may be provided as a guide roller for transporting the base film 100 to the coating unit 180 for the film forming process. As described above, the base film 100 can be guided while being floating without being in contact with the air blowing roller 160. Therefore, static electricity, dust adhesion, etc., which may be caused by friction with the guide roller, can be prevented.

기재 필름(100)은 에어 블로잉 롤러(160)에 의해 가이딩 되어 도공 유닛(180)으로 이동될 수 있다. 도공 유닛(180)은 기재 필름(100) 상에 절연막, 접착층, 표면 처리층 등을 코팅 혹은 라미네이팅 하기 위한 공지된 장치를 포함할 수 있다.The base film 100 may be guided by the air blowing roller 160 and moved to the coating unit 180. The coating unit 180 may include a known device for coating or laminating an insulating film, an adhesive layer, a surface treatment layer, and the like on the base film 100.

예를 들면, 도공 유닛(180)은 슬롯 다이 코팅, 잉크젯 프린팅 장치, 디스펜서 인쇄 장치, 롤 프린팅 장치, 스크린 인쇄 장치 등과 같은 코팅 장치 혹은 프린팅 장치 등을 포함할 수 있다.For example, the coating unit 180 may include a coating apparatus or a printing apparatus, such as a slot die coating, an inkjet printing apparatus, a dispenser printing apparatus, a roll printing apparatus, a screen printing apparatus and the like.

일부 실시예들에 있어서, 에어 블로잉 롤러(160) 및 도공 유닛(180) 사이에 도공 롤러(170)가 더 배치될 수 있다. 도공 롤러(170)에 의해 상기 막 형성 공정 진행을 위한 텐션이 유지되어 막 형성 균일성이 향상될 수 있다.In some embodiments, a coating roller 170 may be further disposed between the air blowing roller 160 and the coating unit 180. The tension for the progress of the film forming process is maintained by the coating roller 170, so that film uniformity can be improved.

상술한 예시적인 실시예들에 따르면, 건식 제진부(140)를 통해 미세 먼지를 제거하고, 건식 제진부(140)의 전단 및 후단에 각각 제1 제전부(120) 및 제2 제전부(140)를 각각 배치할 수 있다. 따라서, 제1 제전부(120)를 통해 제진 공정 전에 예비적으로 정전기를 제거한 후, 제진 공정 후에 다시 정전기 제거 처리를 수행할 수 있다. 따라서, 상기 제진 공정에서의 먼지 혹은 이물질 흡입의 효율성을 증가시키면서, 상기 제진 공정에서 재유발되는 정전기를 제2 제전부(140)를 통해 제거할 수 있다. 따라서, 보다 향상된 신뢰성 및 정밀도로 오염 물질 수준을 현저히 감소시킬 수 있다.According to the above-described exemplary embodiments, fine dust is removed through the dry damping portion 140, and the first dust removing portion 120 and the second dust removing portion 140 Respectively. Therefore, after the static electricity is preliminarily removed through the first electricity removing unit 120 before the dust removing process, the static electricity removing process can be performed again after the dust removing process. Accordingly, it is possible to remove the static electricity generated in the dust removing process through the second discharger 140 while increasing the efficiency of dust or foreign matter suction in the dust removing process. Thus, the pollutant level can be significantly reduced with improved reliability and precision.

또한, 에어 블로잉 롤러(160)를 통해 기재 필름(100)을 플로팅 시키면서 도공 유닛(180)으로 공급할 수 있다. 따라서, 향상된 제전 및 제진 레벨을 실질적으로 유지하면서 도공 유닛(180)을 통한 막 형성 공정이 수행될 수 있다.In addition, the base film 100 can be supplied to the coating unit 180 while floating through the air blowing roller 160. Thus, the film-forming process through the coating unit 180 can be performed while substantially maintaining the improved erase and vibration level.

도 2는 및 도 3은 일부 예시적인 실시예들에 따른 건식 제진부를 나타내는 개략적인 도면들이다.FIG. 2 and FIG. 3 are schematic drawings showing a dry damping portion according to some exemplary embodiments.

도 2를 참조하면, 건식 제진부(140)는 진공 흡입부(V)(142) 및 압력 토출부(P)(144)를 포함하며, 기재 필름(100)이 제진 롤러(130) 및 건식 제진부(140) 사이를 통과하며 미세 먼지, 오염 물질의 흡입/제거 공정이 수행될 수 있다.2, the dry damping unit 140 includes a vacuum suction unit (V) 142 and a pressure discharge unit (P) 144, and the base film 100 is sandwiched between the vibration damping roller 130 and the dry material The fine particles and the contaminants may be sucked / removed through the fine particles 140.

기재 필름(100)은 점선 화살표로 표시된 바와 같이, 도 2의 좌측에서 우측으로 이동할 수 있다. 이 경우, 제진 롤러(130)의 압력 토출부(144)를 통해 기재 필름(100)의 진입방향과 평행하며 상기 진입 방향을 향해 마주보며 진행하도록 공기압 혹은 에어가 토출될 수 있다. 이에 따라, 기재 필름(100) 표면에 부착된 미세 먼지가 상기 공기압에 노출되는 시간, 면적이 증가하며 효율적으로 제거 혹은 탈착될 수 있다.The base film 100 can be moved from the left to the right in Fig. 2 as indicated by the dotted arrows. In this case, air pressure or air may be discharged through the pressure discharge portion 144 of the vibration damping roller 130 so as to be parallel to the entering direction of the base film 100 and proceeding toward the entering direction. Accordingly, the time and area for exposing the fine dust adhering to the surface of the base film 100 to the air pressure are increased and can be efficiently removed or desorbed.

상기 공기압에 의해 탈착된 미세 먼지는 진공 흡입부(142)로 흡인될 수 있다. 예를 들면, 진공 흡입부(142) 내부가 진공 처리됨에 따라 상기 미세 먼지가 진공 흡입부(142) 내부로 유도될 수 있다.The fine dust desorbed by the air pressure can be sucked into the vacuum suction unit 142. For example, as the inside of the vacuum suction unit 142 is vacuum-processed, the fine dust may be guided into the vacuum suction unit 142.

예시적인 실시예들에 따르면, 진공 흡입부(142)에서의 흡인 방향은 기재 필름(100)의 배출 방향과 평행하며, 상기 배출 방향과 반대 방향으로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 미세 먼지가 기재 필름(100)의 배출 방향과 실질적으로 가장 먼 방향으로 이동되므로, 상기 미세 먼지의 재부착을 방지하며 효율적으로 제진 공정이 수행될 수 있다.According to exemplary embodiments, the suction direction in the vacuum suction portion 142 is parallel to the discharge direction of the base film 100, and may be formed in a direction opposite to the discharge direction. Therefore, since the fine dust is moved in the direction substantially farthest from the direction of discharge of the base film 100, the dust removal can be prevented from being reattached and the dust removal process can be efficiently performed.

도 3을 참조하면, 압력 토출부(144)는 제1 토출부(144a) 및 제2 토출부(144b)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3, the pressure discharging portion 144 may include a first discharging portion 144a and a second discharging portion 144b.

제1 토출부(144a) 및 제2 토출부(144b)는 진공 흡입부(142)로부터 기재필름(100)의 진행방향을 따라 순차적으로 연속적으로 배치될 수 있다.The first discharge portion 144a and the second discharge portion 144b may be sequentially and continuously arranged along the advancing direction of the base film 100 from the vacuum suction portion 142. [

상술한 바와 같이, 제1 토출부(144a) 및 제2 토출부(144b)로부터 기재 필름(100)의 진입 방향과 마주보도록 공기압의 토출 방향이 형성될 수 있다. 압력 토출부(144)의 공기압 토출 공간이 복수로 분할됨에 따라 토출 효율 및 토출 세기가 상승할 수 있다. 따라서, 기재 필름(100) 표면에 부착된 미세 먼지의 탈착 효율이 향상될 수 있다.The discharge direction of the air pressure can be formed so as to face the direction in which the base film 100 comes in from the first discharge portion 144a and the second discharge portion 144b. As the air pressure discharge space of the pressure discharge portion 144 is divided into a plurality of portions, the discharge efficiency and discharge intensity can be increased. Therefore, the desorption efficiency of fine dust adhering to the surface of the base film 100 can be improved.

도 2 및 도 3을 참조로 설명한 바와 같이, 진공 흡입부(142) 및 압력 토출부(144)를 기재 필름(100)의 진행 방향을 따라 순차적으로 배치하고, 상술한 흡인 방향, 토출 방향 설계를 통해 제진 효율성을 현저히 향상시킬 수 있다. 2 and 3, the vacuum suction unit 142 and the pressure discharge unit 144 are sequentially disposed along the traveling direction of the base film 100, and the above-described suction direction and discharge direction design are performed The vibration damping efficiency can be remarkably improved.

일부 실시예들에 있어서, 진공 흡입부(142) 및 압력 토출부(144) 각각의 하부에는 진공 처리 및 압력 발생을 위한 배관부(미도시)가 결합될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 압력 토출부(144)는 압력 세기 및 제진 효율 향상을 위한 초음파 생성부(미도시)와 결합될 수도 있다.In some embodiments, a vacuum portion and a piping portion (not shown) for generating a pressure may be coupled to a lower portion of each of the vacuum suction portion 142 and the pressure discharge portion 144. In one embodiment, the pressure discharge portion 144 may be combined with an ultrasonic generator (not shown) for improving the pressure intensity and damping efficiency.

도 4는 일부 예시적인 실시예들에 따른 에어 블로잉 롤러를 나타내는 개략적인 도면이다.Figure 4 is a schematic representation of an air blowing roller according to some exemplary embodiments.

도 4를 참조하면, 에어 블로잉 롤러(160)는 롤러 바디(162) 및 샤프트(164)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 4, the air blowing roller 160 may include a roller body 162 and a shaft 164.

샤프트(164)는 롤러 바디(162)를 관통하거나, 롤러 바디(162) 내에 삽입되며, 롤러 바디(162)에 회전력을 부여할 수 있다. 롤러 바디(162)는 기재 필름(100)에 텐션을 부여하여 이동시킬 수 있다. 롤러 바디(162) 및 샤프트(164)는 예를 들면, 스테인리스 스틸, 알루미늄 등과 같은 금속 재질을 포함할 수 있다.The shaft 164 may pass through the roller body 162 or may be inserted into the roller body 162 and impart a rotational force to the roller body 162. The roller body 162 can be moved by applying tension to the base film 100. The roller body 162 and the shaft 164 may comprise a metal material such as, for example, stainless steel, aluminum, or the like.

롤러 바디(162) 표면에는 복수의 에어 발생 홀들(165)이 형성되어 롤러 바디(162) 주변으로 공기압을 발생시킬 수 있다. 따라서, 기재 필름(100)은 상기 공기압의 회전에 의한 장력으로 이동되며, 롤러 바디(162) 표면으로부터 플로팅될 수 있다. 그러므로, 롤러 바디(162)로부터의 정전기, 이물질 부착 등을 차단하면서 도공 유닛(180)으로 기재 필름(100)을 전달할 수 있다.A plurality of air generating holes 165 are formed on the surface of the roller body 162 to generate air pressure around the roller body 162. Therefore, the base film 100 is moved by the tension due to the rotation of the pneumatic pressure, and can be floated from the surface of the roller body 162. Therefore, the base film 100 can be delivered to the coating unit 180 while blocking static electricity, foreign matter adherence, etc. from the roller body 162.

에어 발생 홀들(165)은 도 4에 도시된 바와 같이, 롤러 바디(162)의 원주 방향을 따라 배열되어 에어 발생 홀 열을 형성하며, 롤러 바디(162)의 길이 방향을 따라 복수의 상기 에어 발생 홀 열들이 배치될 수 있다.As shown in FIG. 4, the air generating holes 165 are arranged along the circumferential direction of the roller body 162 to form an air generating hole row, and a plurality of the air generating holes 165 are formed along the longitudinal direction of the roller body 162 The hole rows can be arranged.

그러나, 도 4에 도시된 에어 발생 홀들(165)의 배치는 예시적인 것이며, 기재 필름(100)의 플로팅 효율을 고려하여 적절히 변경될 수 있다.However, the arrangement of the air generating holes 165 shown in Fig. 4 is an example and can be appropriately changed in consideration of the floating efficiency of the base film 100. [

예시적인 실시예들에 따르면, 상술한 필름 클리닝 장치(50)를 활용한 필름의 클리닝 방법(제진 방법)이 제공된다. 상기 필름의 클리닝 방법을 통해 제진 처리된 기재 필름(100)은 플렉시블 디스플레이 장치, 또는 플렉시블 터치 스크린 패널의 기재 혹은 베이스 필름으로 제공될 수 있다.According to exemplary embodiments, a film cleaning method (damping method) utilizing the above-described film cleaning device 50 is provided. The base film 100 subjected to the vibration damping treatment through the film cleaning method may be provided as a flexible display device or as a base material or a base film of a flexible touch screen panel.

50: 필름 클리닝 장치 100: 기재 필름
110: 기재 필름 공급 롤러 120: 제1 제전부
130: 제진 롤러 140: 건식 제진부
142: 진공 흡입부 144: 압력 토출부
150: 제2 제전부 160: 에어 블로잉 롤러
162: 롤러 바디 164: 샤프트
165: 에어 발생 홀 170: 도공 롤러
180: 도공 유닛50: Film cleaning apparatus 100: Base film
110: base film feed roller 120:
130: Damping roller 140: Dry damping portion
142: vacuum suction part 144: pressure discharge part
150: second part front part 160: air blowing roller
162: roller body 164: shaft
165: air generating hole 170: coating roller
180: Coating unit

Claims (9)

기재 필름 공급부;
상기 기재 필름 공급부로부터 전달된 기재 필름으로부터 정전기를 제거하며 서로 분리되어 배치되는 제1 제전부 및 제2 제전부; 및
상기 제1 제전부 및 상기 제2 제전부 사이에 배치되어 상기 기재 필름에 부착된 이물질을 제거하며, 진공 흡입부 및 압력 토출부를 포함하는 건식 제진부를 포함하는, 필름 클리닝 장치.
A base film supply unit;
A first discharger and a second discharger which are separated from each other by removing static electricity from the base film transferred from the base film supply part; And
And a dry damping portion disposed between the first electricity removing portion and the second electricity removing portion to remove foreign substances adhering to the base film and including a vacuum suction portion and a pressure discharge portion.
청구항 1에 있어서, 상기 진공 흡입부 및 상기 압력 토출부는 상기 기재 필름의 진행 방향을 따라 순차적으로 연속적으로 배치되는, 필름 클리닝 장치.
The film cleaning apparatus according to claim 1, wherein the vacuum suction unit and the pressure discharge unit are sequentially and continuously arranged along a traveling direction of the base film.
청구항 2에 있어서, 상기 압력 토출부는 상기 압력 토출부로부터의 공기 토출 방향이 상기 기재 필름의 진입 방향과 평행한 방향으로 마주보도록 배치되며,
상기 진공 흡입부는 상기 진공 흡입부로의 상기 이물질의 흡인 방향이 상기 기재 필름의 배출방향과 평행한 방향으로 반대되도록 배치되는, 필름 클리닝 장치.
3. The ink jet recording apparatus according to claim 2, wherein the pressure discharge portion is arranged so that an air discharge direction from the pressure discharge portion is opposed in a direction parallel to an entry direction of the base film,
Wherein the vacuum suction unit is disposed such that the suction direction of the foreign matter to the vacuum suction unit is opposite to a direction parallel to the discharge direction of the base film.
청구항 1에 있어서, 상기 압력 토출부는 제1 압력 토출부 및 제2 압력 토출부를 포함하는, 필름 클리닝 장치.
The film cleaning apparatus according to claim 1, wherein the pressure discharge portion includes a first pressure discharge portion and a second pressure discharge portion.
청구항 4에 있어서, 상기 진공 흡입부, 상기 제1 압력 토출부 및 상기 제2 압력 토출부는 상기 기재 필름의 진행 방향을 따라 순차적으로 연속적으로 배치되는, 필름 클리닝 장치.
5. The film cleaning apparatus according to claim 4, wherein the vacuum suction unit, the first pressure discharge unit, and the second pressure discharge unit are sequentially and continuously arranged along the advancing direction of the base film.
청구항 1에 있어서, 상기 제1 제전부 및 상기 제2 제전부는 각각 이오나이저(ionizer)를 포함하는, 필름 클리닝 장치.
The film cleaning apparatus of claim 1, wherein the first power generator and the second power generator each include an ionizer.
청구항 1에 있어서, 상기 제2 제전부의 후단에 배치되는 에어 블로잉 롤러를 더 포함하는, 필름 클리닝 장치.
The film cleaning apparatus according to claim 1, further comprising an air blowing roller disposed at a rear end of the second electricity discharging portion.
청구항 7에 있어서, 상기 에어 블로잉 롤러는 롤러 바디, 및 롤러 바디 내에 형성된 에어 발생 홀들을 포함하는, 필름 클리닝 장치.
8. The film cleaning apparatus of claim 7, wherein the air blowing roller comprises a roller body and air generating holes formed in the roller body.
청구항 8에 있어서, 상기 기재 필름은 상기 롤러 바디로부터 플로팅되어 이동되는, 필름 클리닝 장치.9. The film cleaning apparatus of claim 8, wherein the substrate film is floated and moved from the roller body.
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