KR20170133504A - 차단 개방기 - Google Patents

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KR20170133504A
KR20170133504A KR1020177032104A KR20177032104A KR20170133504A KR 20170133504 A KR20170133504 A KR 20170133504A KR 1020177032104 A KR1020177032104 A KR 1020177032104A KR 20177032104 A KR20177032104 A KR 20177032104A KR 20170133504 A KR20170133504 A KR 20170133504A
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츠요시 다니카와
미치오 야마지
다카시 후나코시
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츠네유기 오카베
히로아키 기쿠치
구니야스 사카시타
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가부시키가이샤 후지킨
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Abstract

제1 개폐 밸브(2) 및 제2 개폐 밸브(3)는 모두 2 포트 밸브로 이루어진다. 제1 통로 블록(5)에, 제1 개폐 밸브용 유입 통로(11) 및 제1 개폐 밸브용 유출 통로(12)가 형성되어 있다. 제2 통로 블록(6)에, 제2 개폐 밸브용 유입 통로(14) 및 제2 개폐 밸브용 유출 통로(15)가 형성되어 있다. 제2 개폐 밸브용 유출 통로(15)가, 제1 통로 블록(5)에 형성된 연통로(13)를 통해 제1 개폐 밸브용 유출 통로(12)의 상류측 부분에 연통하고 있다. 제2 개폐 밸브용 유출 통로(15)와 연통로(13) 사이에 오리피스(20)가 마련되어 있다. 이 구성에 의해, 유체의 역류에 의한 내부 오염을 방지하여, 밸브의 교환 빈도를 감소시킬 수 있다.

Description

차단 개방기
본 발명은 차단 개방기에 관한 것으로, 특히, 반도체 제조 장치의 가스 공급부에서의 사용에 알맞은 차단 개방기에 관한 것이다.
반도체 제조 장치에 있어서의 가스 공급부에서는, 복수의 개폐 밸브와 하나 또는 복수의 블록 통로가 조합된 차단 개방기가 사용되고 있다(특허문헌 1). 도 7에 그 1예를 나타낸다.
도 7에 있어서, 차단 개방기(31)는 하류측에 배치된 제1 개폐 밸브(32)와, 제1 개폐 밸브(32)의 상류측에 인접하는 제2 개폐 밸브(33)와, 제2 개폐 밸브(33)의 상류측에 인접하는 제3 개폐 밸브(34)와, 제1 개폐 밸브(32)를 지지하는 직육면체형의 제1 통로 블록(35)과, 제2 개폐 밸브(33) 및 제3 개폐 밸브(34)를 지지하는 직육면체형의 제2 통로 블록(36)과, 제1 통로 블록(35)의 하류측의 단부면에 마련되어 외부 장치에 접속되는 이음쇠(37)를 구비하고 있다.
제1 개폐 밸브(32)는 3 포트의 다이어프램 밸브, 제2 개폐 밸브(33)는 2 포트의 다이어프램 밸브, 제3 개폐 밸브(34)는 2 포트의 다이어프램 밸브로 이루어진다.
제1 개폐 밸브(32)에 대응하는 제1 통로 블록(35)에, 제1 개폐 밸브용 제1 유입 통로(41), 제1 개폐 밸브용 제2 유입 통로(42) 및 제1 개폐 밸브용 유출 통로(43)가 형성되어 있다.
제2 개폐 밸브(33) 및 제3 개폐 밸브(34)에 대응하는 제2 통로 블록(36)에, 제2 개폐 밸브용 유입 통로(44), 제2 개폐 밸브용 유출 통로(45), 제3 개폐 밸브용 유입 통로(46), 제3 개폐 밸브용 유출 통로(47) 및 제1 개폐 밸브용 연통로(48)가 형성되어 있다.
제2 개폐 밸브용 유출 통로(45)는 제1 통로 블록(35)과 제2 통로 블록(36)의 맞댐면에 있어서, 시일부(49)를 통해 제1 개폐 밸브용 제2 유입 통로(42)에 연통하고 있다.
제1 개폐 밸브용 연통로(48)는, 일단이 후면에 개구하고 타단이 제3 개폐 밸브용 유출 통로(47)의 하단부로 통하고 있는 제1 부분(48a)과, 제1 부분(48a)에 연속하여 전방으로 연장하는 제2 부분(48b)으로 이루어지고, 제2 부분(48b)은 제1 통로 블록(35)과 제2 통로 블록(36)의 맞댐면에 있어서, 시일부(50)를 통해 제1 개폐 밸브용 제1 유입 통로(41)에 연통하고 있다.
3 포트의 다이어프램 밸브인 제1 개폐 밸브(32)의 통로인 제1 개폐 밸브용 제2 유입 통로(42)와 제1 개폐 밸브용 유출 통로(43)는, 밸브 체스트(52)의 환형홈(52a)을 통해 항상 연통되어 있다.
제1 개폐 밸브(32)가 폐쇄, 제2 개폐 밸브(33)가 개방으로 된 상태에서, 도 7에 화살표로 나타내는 바와 같이, 제2 개폐 밸브용 유입 통로(44)에 유체를 유입시키는 경우, 유체는 제2 개폐 밸브용 유출 통로(45)를 통과하여 제1 개폐 밸브용 제2 유입 통로(42)에 흐르고, 제1 개폐 밸브용 유출 통로(43)를 지나 외부 장치측에 공급된다.
특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2001-254857호 공보
상기 차단 개방기(31)는 반도체 처리 장치의 처리로 바로 근처에 설치되는 경우가 있다. 이 경우, 제1 개폐 밸브(32)의 통로인 제1 개폐 밸브용 제2 유입 통로(42)와 제1 개폐 밸브용 유출 통로(43)가 상시 연통하고 있기 때문에, 처리로측의 압력이 높은 경우, 제1 개폐 밸브용 유출 통로(43), 제1 개폐 밸브용 제2 유입 통로(42) 및 제2 개폐 밸브용 유출 통로(45)에 처리로 내의 유체가 역류하는 경우가 있다. 처리로 내의 유체가 차단 개방기(1)에 침입한 경우, 밸브 내부가 오염되어, 부식되거나, 파티클이 발생함으로써, 밸브의 교환 빈도가 증가한다고 하는 문제가 있었다.
본 발명의 목적은 유체의 역류에 의한 내부 오염을 방지하여, 밸브의 교환 빈도를 감소시킬 수 있는 차단 개방기를 제공하는 것에 있다.
본 발명에 따른 차단 개방기는, 하류측에 배치된 제1 개폐 밸브와, 제1 개폐 밸브의 상류측에 인접하는 제2 개폐 밸브와, 제1 개폐 밸브 및 제2 개폐 밸브를 지지하는 통로 블록을 포함한 차단 개방기에 있어서, 제1 개폐 밸브 및 제2 개폐 밸브는 모두 2 포트 밸브로 되고, 통로 블록에, 제1 개폐 밸브용 유입 통로, 제1 개폐 밸브용 유출 통로, 제2 개폐 밸브용 유입 통로 및 제2 개폐 밸브용 유출 통로가 형성되어 있고, 제2 개폐 밸브용 유출 통로가 통로 블록에 형성된 연통로를 통해 제1 개폐 밸브용 유출 통로에 연통하고 있고, 제2 개폐 밸브용 유출 통로와 연통로 사이에 스로틀부가 마련되는 것을 특징으로 하는 것이다.
2 포트의 개폐 밸브는, 통상, 다이어프램이 밸브 시트에 압박 또는 이격되어 유체 통로가 개폐되는 다이어프램 밸브로 된다. 다이어프램 밸브의 밸브실 저면에는, 환형홈이 마련되고, 이 환형홈의 둘레 방향 1부분이 유입 통로의 개구로 통하는 입구 포트로 되는 것이 바람직하다.
제1 개폐 밸브가 폐쇄, 제2 개폐 밸브가 개방으로 된 상태에서, 제2 개폐 밸브용 유입 통로에 유입된 유체는, 제2 개폐 밸브용 유출 통로, 연통로 및 제1 개폐 밸브용 유출 통로를 지나 외부 장치(반도체 처리 장치의 처리로 등)에 공급된다.
이 경우, 제1 개폐 밸브가 폐쇄로 되어 있기 때문에, 제1 개폐 밸브용 유출 통로로부터 제1 개폐 밸브의 밸브실에 유체가 들어가는 일은 없다. 또한, 스로틀부가 마련되어 있는 부분에서는, 유체 통로의 직경이 작아지고, 이에 의해, 1차측(제2 개폐 밸브용 유출 통로)의 압력이 2차측(연통로)의 압력보다 높은 상태로, 제2 개폐 밸브용 유출 통로로부터 연통로 및 제1 개폐 밸브용 유출 통로에 유체가 보내진다. 따라서, 외부 장치측의 유체의 압력이 어느 정도 높아졌다고 해도, 연통로로부터 제2 개폐 밸브용 유출 통로에 역류하는 것이 방지되어, 제2 개폐 밸브의 밸브실에 유체가 들어가는 일은 없다. 이렇게 하여, 제1 개폐 밸브 및 제2 개폐 밸브 중 어느 것에 있어서도, 외부 장치측으로부터의 역류에 의한 역확산을 막을 수 있어, 역류한 유체에 의해 다이어프램이 부식하는 것이 방지되어, 개폐 밸브의 교환 빈도가 감소한다.
스로틀부의 형상 및 구성은 특별히 한정되는 것이 아니다. 예컨대, 스로틀부로서, 노즐이나 오리피스를 사용하여도 좋다. 또한, 오리피스는 구멍 직경이 통로 직경과 동일하게 되어 있는 통상의 개스킷의 구멍의 직경을 작게 한 오리피스 개스킷으로 하여도 좋다. 오리피스 개스킷은 시일부를 형성하기 위한 개스킷과는 별도의 부재로 되어, 개스킷과 함께 사용되어도 좋다.
통로 블록은 예컨대, 제1 개폐 밸브를 지지하는 제1 통로 블록과, 제2 개폐 밸브를 지지하는 제2 통로 블록으로 이루어지는 것으로 된다. 통로끼리의 맞댐부에는 필요에 따라, 개스킷을 사용한 시일부가 마련된다.
차단 개방기는 제2 개폐 밸브의 상류측에 인접하는 제3 개폐 밸브를 더 포함하고, 제3 개폐 밸브는 2 포트 밸브로 이루어지고, 통로 블록에, 제3 개폐 밸브용 유입 통로, 제3 개폐 밸브용 유출 통로 및 제1 개폐 밸브용 연통로가 형성되어 있고, 제1 개폐 밸브용 연통로는 일단이 통로 블록의 외면에 개구하고, 중간 부분이 제3 개폐 밸브용 유출 통로에 연통하고, 타단이 제1 개폐 밸브용 유입 통로에 연통하고 있는 경우가 있다.
제3 개폐 밸브는 제3 통로 블록에 지지되도록 하여도 좋지만, 제2 개폐 밸브를 지지하는 제2 통로 블록에 지지되어 있는 것이 바람직하다.
제3 개폐 밸브 및 이에 대응하는 통로가 추가됨으로써, 제1 개폐 밸브에 유체를 공급하는 유체 공급 라인에 더하여, 제3 개폐 밸브에 진공 펌프를 접속함으로써, 진공 벤트 라인을 형성할 수 있다.
본 발명의 차단 개방기에 따르면, 제1 개폐 밸브가 폐쇄, 제2 개폐 밸브가 개방으로 된 상태에서, 제2 개폐 밸브용 유입 통로에 유체를 유입시키는 경우, 제1 개폐 밸브가 폐쇄로 되어 있기 때문에, 제1 개폐 밸브용 유출 통로로부터 제1 개폐 밸브의 밸브실에 유체가 들어가는 일은 없고, 또한, 스로틀부가 마련되어 있는 부분에서는, 유체 통로의 직경이 작아져, 1차측(제2 개폐 밸브용 유출 통로)의 압력이 2차측(연통로)의 압력보다 높은 상태로, 제2 개폐 밸브용 유출 통로로부터 연통로 및 제1 개폐 밸브용 유출 통로에 유체가 보내진다. 이에 의해, 연통로로부터 제2 개폐 밸브용 유출 통로에 유체가 역류하는 것이 방지되어, 제2 개폐 밸브의 밸브실에 유체가 들어가는 일은 없다. 이렇게 하여, 제1 개폐 밸브 및 제2 개폐 밸브 중 어느 것에 있어서도, 외부 장치측으로부터의 역류에 의한 내부 오염을 방지할 수 있어, 밸브의 교환 빈도를 감소할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 차단 개방기의 일실시형태를 나타내는 측면도이다.
도 2는 도 1의 저면도이다.
도 3은 도 1의 주요부(개폐 밸브를 제거한 상태)의 평면도이다.
도 4는 도 3의 수직 단면도이다.
도 5는 제1 통로 블록의 제1 개폐 밸브용 유입 통로를 나타내는 수평 단면도이다.
도 6은 도 1의 사시도이다.
도 7은 종래의 차단 개방기의 일례를 나타내는 일부를 절결한 측면도이다.
본 발명의 실시형태를 이하 도면을 참조하여 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 상하는 도 1의 상하를 말하는 것으로 하고, 도 1의 우측을 전방, 그 좌측을 후방이라고 하는 것으로 한다. 또한, 도 1의 뒤에서 전방을 향한 좌우를 좌우라고 하는 것으로 한다.
차단 개방기(1)는 예컨대 반도체 처리 장치의 처리로(도시 생략) 바로 근처에 마련되는 것으로, 전방측(하류측)에 배치된 제1 개폐 밸브(2)와, 제1 개폐 밸브(2)의 후방측(상류측)에 인접하는 제2 개폐 밸브(3)와, 제2 개폐 밸브(3)의 후방측(상류측)에 인접하는 제3 개폐 밸브(4)와, 제1 개폐 밸브(2)를 지지하는 직육면체형의 제1 통로 블록(5)과, 제2 개폐 밸브(3) 및 제3 개폐 밸브(4)를 지지하는 직육면체형의 제2 통로 블록(6)과, 제1 통로 블록(5)의 전방면(하류측 단부면)에 마련되어 처리로(외부 장치)에 접속되는 이음쇠(7)를 구비하고 있다.
제1 개폐 밸브(2), 제2 개폐 밸브(3) 및 제3 개폐 밸브(4)는 모두 2 포트의 다이어프램 밸브로 이루어지고, 대응하는 통로 블록(5, 6)의 상면에 부착되어 있다. 다이어프램 밸브는 도시 생략하지만, 유체 통로가 마련된 보디[이 차단 개방기(1)에서는, 통로 블록(5, 6)이 각 개폐 밸브(2, 3, 4)용의 보디로 되어 있음], 유체 통로의 둘레 가장자리에 마련된 환형의 밸브 시트에 압박 또는 이격되어 유체 통로를 개폐하는 다이어프램, 하단에 다이어프램 프레서을 가지고 상하 이동 가능한 밸브 스템 등을 구비하고 있는 것으로 된다.
제1 통로 블록(5)에는 일단이 제1 개폐 밸브(2)의 밸브실 저면에 마련된 환형홈(2a)의 1부분(입구 포트)(11a)으로 통하고 타단이 제1 통로 블록(5)의 후면에 개구하고 있는 대략 L자형의 제1 개폐 밸브용 유입 통로(11)와, 일단이 제1 개폐 밸브(2)의 밸브실 중앙의 출구 포트(12a)로 통하고 타단이 제1 통로 블록(5)의 전면에 개구하고 있는 대략 L자형의 제1 개폐 밸브용 유출 통로(12)가 마련되어 있다.
제2 통로 블록(6)에는 일단이 제2 개폐 밸브(3)의 밸브실 저면에 마련된 환형홈(3a)의 1부분(입구 포트)(14a)으로 통하는 상대적으로 짧은 수직부(14b) 및 타단이 제2 개폐 밸브(3)와 제3 개폐 밸브(4) 사이에서 제2 통로 블록(6)의 상면에 개구하고 있는 상대적으로 긴 경사부(14c)로 이루어지는 제2 개폐 밸브용 유입 통로(14)와, 일단이 제2 개폐 밸브(3)의 밸브실 중앙의 출구 포트(15a)로 통하고 타단이 제2 통로 블록(6)의 전방면에 개구하고 있는 대략 L자형의 제2 개폐 밸브용 유출 통로(15)와, 일단이 제3 개폐 밸브(4)의 밸브실 저면에 마련된 환형홈(4a)의 1부분(입구 포트)(16a)로 통하고 타단이 제2 통로 블록(6)의 후방면에 개구하고 있는 대략 L자형의 제3 개폐 밸브용 유입 통로(16)와, 일단이 제3 개폐 밸브(4)의 밸브실 중앙의 출구 포트(17a)로 통하고 타단이 제2 통로 블록(6)의 하면 근방에 있는 제3 개폐 밸브용 유출 통로(17)와, 일단이 제2 통로 블록(6)의 후면에 개구하고 타단이 제2 통로 블록(6)의 전면에 개구하고, 중간 부분에서 제3 개폐 밸브용 유출 통로(17)의 하단에 연통하고 있는 제1 개폐 밸브용 연통로(18)가 마련되어 있다.
제1 개폐 밸브(2)의 입구 포트(11a) 이외의 입구 포트(14a, 16a) 및 출구 포트(12a, 15a, 17a)는, 차단 개방기(1)의 중심선과 평행한 방향으로 1열(전후 방향)로 배열되도록 마련되고, 제1 개폐 밸브(2)의 입구 포트(11a)는 이들로부터 우측으로 어긋나 마련되어 있다.
제2 개폐 밸브용 유입 통로(14)의 상면의 개구에는 질소 가스 퍼지 라인이, 제1 개폐 밸브용 연통로(18)의 후면의 개구에는 프로세스 가스 공급 라인이, 제3 개폐 밸브용 유입 통로(16)의 후면의 개구에는 진공 벤트 라인이 각각 접속된다.
제1 통로 블록(5)에는, 또한, 전후 방향으로 연장하여, 제2 개폐 밸브용 유출 통로(15)의 전방측의 개구와 제1 개폐 밸브용 유출 통로(12)의 상류측 부분 간을 연통시키는 연통로(13)가 마련되어 있다.
제1 개폐 밸브용 연통로(18)는 제3 개폐 밸브용 유출 통로(17)의 하단에 연통하고 있는 부분으로부터 후방으로 연장하여 제2 통로 블록(6)의 후방면(외면)에 개구하고 있는 제1 부분(18a)과, 제3 개폐 밸브용 유출 통로(17)의 하단에 연통하고 있는 부분으로부터 전방으로 연장하여 제2 통로 블록(6)의 전방면에 개구하고, 제1 개폐 밸브용 유입 통로(11)에 연통하고 있는 제2 부분(18b)으로 이루어진다.
제2 부분(18b)은 제1 통로 블록(5)과 제2 통로 블록(6)의 맞댐면에 있어서, 시일부(19)를 통해 제1 개폐 밸브용 유입 통로(11)에 연통하고 있다. 시일부(19)로서는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 관통 구멍(19a)의 직경이 제1 개폐 밸브용 연통로(18)의 제2 부분(18b)의 직경 및 제1 개폐 밸브용 유입 통로(11)의 직경과 같은 개스킷이 주요 구성 요소로서 사용되고 있다.
제2 개폐 밸브용 유출 통로(15)와 연통로(13) 사이에는, 제1 통로 블록(5)과 제2 통로 블록(6)의 맞댐면에 배치된 오리피스(20)가 마련되어 있다. 오리피스(20)로서는, 관통 구멍(20a)의 직경이 제2 개폐 밸브용 유출 통로(15)의 직경 및 연통로(13)의 직경에 비해서 매우 작은 오리피스 개스킷이 주요 구성 요소로서 사용되고 있다. 오리피스(20)는 스로틀부를 형성하고, 이에 의해, 오리피스(20)의 상류측에서 압력이 높고, 또한, 유체의 유속은 오리피스(20) 통과 직후에 큰 최대 유속을 나타낸다.
제1 통로 블록(5)과 제2 통로 블록(6)은, 제1 통로 블록(5)에 마련된 볼트 삽입 관통 구멍(5a)에 삽입 관통된 볼트가 제2 통로 블록(6)에 마련된 암나사부에 나사 결합됨으로써 결합되어 있다.
상기 차단 개방기(1)에 따르면, 제1 개폐 밸브(2)가 개방, 제2 개폐 밸브(3)가 폐쇄로 된 상태에서, 제1 개폐 밸브용 연통로(18)의 후면 개구로부터 프로세스 가스를 도입하면, 프로세스 가스는 제1 개폐 밸브용 연통로(18), 제1 개폐 밸브용 유입 통로(11) 및 제1 개폐 밸브용 유출 통로(12)를 흘러, 이음쇠(7)에 접속된 처리로에 보내진다.
이 후, 제1 개폐 밸브(2)를 폐쇄, 제2 개폐 밸브(3)를 개방으로 하여, 제2 개폐 밸브(3)에 퍼지 가스를 도입하면, 퍼지 가스는 도 6에 화살표로 나타내는 바와 같이, 제2 개폐 밸브용 유입 통로(14), 제2 개폐 밸브용 유출 통로(15), 연통로(13) 및 제1 개폐 밸브용 유출 통로(12)를 흘러, 이음쇠(7)에 접속된 처리로에 보내진다. 이때, 제2 개폐 밸브용 유출 통로(15)와 연통로(13) 사이에 오리피스(스로틀부)(20)가 마련되어 있기 때문에, 오리피스(20) 상류측의 제2 개폐 밸브용 유출 통로(15)에 있어서의 유체 압력이, 오리피스(20) 하류측의 연통로(13)에 있어서의 유체 압력보다 높게 된다.
제1 개폐 밸브(2)를 폐쇄, 제2 개폐 밸브(3)를 개방으로 한 상태에서, 처리로측이 고압이면, 처리로 내의 가스는 퍼지 가스의 흐름과는 반대로, 제1 개폐 밸브용 유출 통로(12)로부터 차단 개방기(1) 내로 역류할 우려가 있다.
이 역류에 대하여, 상기 차단 개방기(1)에 따르면, 제1 개폐 밸브(2)가 폐쇄로 되어 있기 때문에, 제1 개폐 밸브용 유출 통로(12)로부터 제1 개폐 밸브(2)의 밸브실에 처리로 내의 가스가 들어가는 일은 없다. 또한, 오리피스(20)가 마련되어 있는 부분에서, 1차측[제2 개폐 밸브용 유출 통로(15)]의 압력이 2차측[연통로(13)]의 압력보다 높은 상태로 되어 있기 때문에, 처리로 내의 가스의 압력이 어느 정도 높게 되었다고 해도, 연통로(13)로부터 제2 개폐 밸브용 유출 통로(15)로 역류하는 것이 방지되어, 제2 개폐 밸브(3)의 밸브실에 처리로 내의 가스가 들어가는 일은 없다. 이렇게 하여, 제1 개폐 밸브(2) 및 제2 개폐 밸브(3) 중 어느 것에 있어서도, 처리로측으로부터의 역류에 의한 역확산을 막을 수 있어, 역류한 가스에 의해 다이어프램이 부식하는 것이 방지되어, 개폐 밸브의 교환 빈도가 감소한다.
상기에 있어서, 오리피스(스로틀부)(20)를 구성하고 있는 오리피스 개스킷은 시일부(19)를 구성하고 있는 개스킷으로부터 관통 구멍의 직경만을 변경한 것으로 되어 있지만, 오리피스(20)는 시일부(19)를 구성하고 있는 개스킷과는 별도의 부재로 되어, 개스킷과 함께 사용되어도 좋다. 또한, 오리피스(20)는 개스킷형에 한정되는 것이 아니다. 스로틀부는 오리피스(20) 대신에, 노즐로 할 수도 있다.
상기 차단 개방기(1)에 따르면, 제1 개폐 밸브(2) 및 제2 개폐 밸브(3)가 마련되어 있음으로써, 제1 유체(예컨대 프로세스 가스) 및 제2 유체(예컨대 퍼지 가스)를 적절하게 전환하여 외부 장치에 공급할 수 있으며, 제3 개폐 밸브(4)가 마련되어 있음으로써, 진공 벤트 라인을 형성할 수 있다. 차단 개방기(1)의 용도로서는, 진공 벤트 라인이 불필요한 경우가 있고, 이 경우에는, 제3 개폐 밸브(4), 제3 개폐 밸브용 유입 통로(16) 및 제3 개폐 밸브용 유출 통로(17)를 생략할 수 있다.
또한, 입구 포트(14a, 16a) 및 출구 포트(12a, 15a, 17a)는, 차단 개방기(1)의 중심선 평행한 방향으로 1열(전후 방향)로 배열되도록 마련되어 있지만, 이들은 중심선으로부터 어긋나 배치되어도 좋은 것은 물론이다. 또한, 입구 포트(11a)를 중심선 상에 배치하여도 좋다.
본 발명에 따르면, 예컨대 반도체 처리 장치의 처리로 바로 근처에 설치되어 유체의 차단 또는 개방을 행하는 차단 개방기에 있어서, 유체의 역류에 의한 내부 오염을 방지하여, 밸브의 교환 빈도를 감소할 수 있기 때문에, 반도체 처리 장치 등의 성능 향상에 기여할 수 있다.
(1): 차단 개방기, (2): 제1 개폐 밸브, (3): 제2 개폐 밸브, (4): 제3 개폐 밸브, (5): 제1 통로 블록, (6): 제2 통로 블록, (11): 제1 개폐 밸브용 유입 통로, (12): 제1 개폐 밸브용 유출 통로, (13): 연통로, (14): 제2 개폐 밸브용 유입 통로, (15): 제2 개폐 밸브용 유출 통로, (16): 제3 개폐 밸브용 유입 통로, (17): 제3 개폐 밸브용 유출 통로, (18): 제1 개폐 밸브용 연통로, (20): 오리피스(스로틀부)

Claims (2)

  1. 하류측에 배치된 제1 개폐 밸브와, 제1 개폐 밸브의 상류측에 인접하는 제2 개폐 밸브와, 제1 개폐 밸브 및 제2 개폐 밸브를 지지하는 통로 블록을 포함한 차단 개방기에 있어서,
    제1 개폐 밸브 및 제2 개폐 밸브는 모두 2 포트 밸브로 이루어지고, 통로 블록에, 제1 개폐 밸브용 유입 통로, 제1 개폐 밸브용 유출 통로, 제2 개폐 밸브용 유입 통로 및 제2 개폐 밸브용 유출 통로가 형성되어 있고,
    제2 개폐 밸브용 유출 통로가 통로 블록에 형성된 연통로를 통해 제1 개폐 밸브용 유출 통로에 연통하고 있고, 제2 개폐 밸브용 유출 통로와 연통로 사이에 스로틀부가 마련되는 것을 특징으로 하는 차단 개방기.
  2. 제1항에 있어서, 제2 개폐 밸브의 상류측에 인접하는 제3 개폐 밸브를 더 포함하고, 제3 개폐 밸브는 2 포트 밸브로 이루어지고, 통로 블록에, 제3 개폐 밸브용 유입 통로, 제3 개폐 밸브용 유출 통로 및 제1 개폐 밸브용 연통로가 형성되어 있고, 제1 개폐 밸브용 연통로는 일단이 통로 블록의 외면에 개구하고, 중간 부분이 제3 개폐 밸브용 유출 통로에 연통하고, 타단이 제1 개폐 밸브용 유입 통로에 연통하고 있는 것을 특징으로 하는 차단 개방기.
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