JP7397470B2 - 流体制御装置 - Google Patents
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Description
図2は、流体制御装置1を第4面13D側から見た図である。
図3は、図2のIII-IIIに沿った流体制御装置1の断面図である。
図4は、図2のIV-IVに沿った流体制御装置1の断面図である。
3:第1バルブ
3A、4A、5A:アクチュエータ
3B、4B、5B:弁部
10:ボディ
13A:第1面
13B:第2面
13C:第3面
13D:第4面
13E:第5面
13F:第6面
14a:入口
14b:第1出口
14c:第2出口
15a:第1凹部
15b:第2凹部
15c:第3凹部
16a:第1流路
16b:第2流路
16c:第3流路
16d:第4流路
16e:第5流路
16f:第6流路
16g:第7流路
17a:第1オリフィス
17b:第2オリフィス
Claims (4)
- ボディと、複数のバルブとを備える流体制御装置であって、
前記ボディは、第1面と、前記第1面に接続された第2面と、前記第2面の反対側に位置する第3面と、前記第1面、前記第2面、および前記第3面に接続された第4面と、前記第4面の反対側に位置し、前記第1面、前記第2面、および前記第3面に接続された第5面と、前記4面に前記第1面とは反対側で接続された第6面とを有し、
前記ボディには、前記第1面に開口する入口と、前記第6面に開口する第1出口および第2出口と、前記第2面に開口する第1凹部と、前記第5面に開口する第2凹部と、前記第3面に開口する第3凹部と、第1流路と、第2流路と、第3流路と、第4流路と、第5流路と、第6流路と、第7流路と、第1オリフィスと、第2オリフィスと、が形成され、
前記第1流路は、前記入口から前記第1面に直交する方向に延びる第1-1流路と、前記第1-1流路の端部から前記第1凹部まで延びる第1-2流路と、を有し、
前記第2流路は、前記第2面に直交する方向に沿って、前記第1凹部から前記第3凹部まで延び、
前記第3流路は、前記第4面に直交する方向に延び、一端が前記第2流路に連通し、他端が前記第2凹部に開口し、
前記第4流路は、前記第4面に直交する方向に沿って、前記第2凹部から前記第4面側へ延び、
前記第5流路は、一端が前記第4流路の端部に連通し、他端が前記第1出口に連通し、
前記第6流路は、前記第2面に直交する方向に沿って、前記第3凹部から前記第2面側へ延び、
前記第7流路は、一端が前記第6流路の端部に連通し、他端が前記第2出口に連通し、
前記第1オリフィスは、前記第2流路と前記第5流路とを連通するように形成され、
前記第2オリフィスは、前記第1オリフィスよりも前記第3面側において、前記第2流路と前記第7流路とを連通するように形成され、
前記第1凹部、前記第2凹部、および前記第3凹部には、各バルブが装着されている、流体制御装置。 - 前記第2オリフィスの径は、前記第1オリフィスの径よりも小さい、請求項1に記載の流体制御装置。
- 前記第6面は、前記第4面に対して傾斜している、請求項1または請求項2に記載の流体制御装置。
- 各バルブは、アクチュエータおよび弁部を備え、
各バルブは、前記アクチュエータが、前記第2面、前記第3面および前記第5面のそれぞれに直交するように装着されている、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の流体制御装置。
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JP2021105427A JP2021105427A (ja) | 2021-07-26 |
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WO2005008107A2 (en) | 2003-07-11 | 2005-01-27 | Michael Doyle | Modular fluid distribution system |
JP2016205409A (ja) | 2015-04-15 | 2016-12-08 | 株式会社フジキン | 遮断開放器 |
WO2019107123A1 (ja) | 2017-11-30 | 2019-06-06 | 株式会社フジキン | バルブ装置、このバルブ装置を用いた流体制御装置および半導体製造装置 |
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JP2006057645A (ja) * | 2004-08-17 | 2006-03-02 | Ckd Corp | 流路ブロック構造 |
JP6518150B2 (ja) * | 2015-06-30 | 2019-05-22 | 株式会社フジキン | ブロックバルブ、ブロックバルブを有する流体制御装置、及びブロックバルブを用いたチャンバの洗浄方法 |
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- 2019-12-26 JP JP2019237463A patent/JP7397470B2/ja active Active
Patent Citations (3)
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