KR20170125197A - 가스실린더 회전에 의한 가스 혼합 장치 - Google Patents

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KR20170125197A
KR20170125197A KR1020160055076A KR20160055076A KR20170125197A KR 20170125197 A KR20170125197 A KR 20170125197A KR 1020160055076 A KR1020160055076 A KR 1020160055076A KR 20160055076 A KR20160055076 A KR 20160055076A KR 20170125197 A KR20170125197 A KR 20170125197A
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김형규
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주식회사 쎄인텍
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Abstract

본 발명은 2조 이상의 가스가 주입된 가스실린더을 회전하여 가스실린더에 포함된 2종 이상의 가스를 혼합하는 장치에 관한 것으로, 세로 길이를 갖는 직립형 가스실린더을 좌우로 회전하여 상기 가스실린더에 포함된 2종 이상의 가스를 혼합하기 위한 가스실린더 회전에 의한 가스 혼합 장치로서, 가스실린더을 장착하기 위한 가스실린더 장착부, 상기 가스실린더 장착부를 세로로 세우거나 수평으로 눕히기 위한 각도조절수단, 상기 가스실린더 장착부에 장착된 가스실린더을 좌우로 회전시켜 가스를 혼합하기 위한 회전 구동장치를 포함한다. 따라서 가스실린더을 간편하게 세로로 가스실린더 장착부에 장착할 수 있고, 가스실린더 장착부와 지지 프레임 사이를 연결하는 각도조절수단에 의하여, 장착된 가스실린더을 그대로 수평으로 회전시켜 가스실린더의 이면을 지지하도록 설치된 회전 구동장치에 의하여 가스실린더을 좌우로 회전함으로써 가스실린더에 담긴 가스를 교반하여 충분히 혼합시킬 수 있다.

Description

가스실린더 회전에 의한 가스 혼합 장치{Apparatus for Mixing Gas With Gas Tube Rotation}
본 발명은 가스 혼합 장치에 관한 것으로, 특히 가스를 포함하는 가스실린더을 회전하여 가스실린더에 포함된 2종 이상의 가스를 혼합하는 장치에 관한 것이다.
산업 현장에서 2종 이상의 가스를 혼합하여 사용하는 예가 많다. 예로서, 선박, 자동차 제조, 화학 공장에서 금속의 절단 및 용접을 위하여 공기나 산소와 연료 가스를 혼합하여 사용하고, 식품 분야에서, 육류, 과일, 채소 등의 보존 기간을 연장시키기 위하여 가스치환포장(MAP, Modified Atmosphere Packaginig)이 사용되는데, 용기 내의 공기를 질소, 산소, 이산화탄소의 혼합 가스로 치환하여 포장함으로써, 육류의 색깔을 진하게 하고 신선도를 증가시키며 박테리아 생성을 억제한다. 또한, 반도체 산업 분야에서, 포밍 가스로 헬륨과 수소의 혼합 가스를 사용하고, 애칭공정에서 금속의 산화 방지를 목적으로 질소 및 수소의 혼합 가스를 사용하는 예도 있다. 이와 같이 가스를 혼합하여 사용하는 예는 용접, 열처리, 식품 포장, 반도체 분야, 레이저산업 등 다양한 분야에서 이루어지고 있다.
이와 같은 2종 이상의 혼합 가스의 생성은, 공개특허 제10-2010-0006907호에 예시된 바와 같이, 미리 혼합 가스를 준비하여 현장에 직접 공급하는 방법을 이용할 수도 있으나, 현장에서 서로 다른 혼합 가스를 하나의 가스실린더에 적량 주입하고 가스실린더을 흔들어서 가스실린더 내부의 가스를 교반하여 혼합하는 방식이 사용될 수 있다. 본 발명은 후자의 방식을 매우 효율적으로 달성할 수 있도록 구성된 새로운 구성의 혼합 장치를 제공하기 위한 것이다.
공개특허 제10-2010-0006907호 (2010.01.22 공개)
본 발명의 목적은 2종 이상의 가스가 주입된 가스실린더을 손쉽게 장착하고 교반 위치로 회전 이동하여 안정적으로 회전 교반함으로써 가스실린더에 주입된 가스를 효과적으로 혼합하기 위한 가스실린더 회전에 의한 가스 혼합 장치를 제공하기 위한 것이다.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 세로 길이를 갖는 직립형 가스실린더을 좌우로 회전하여 상기 가스실린더에 포함된 2종 이상의 가스를 혼합하기 위한 가스실린더 회전에 의한 가스 혼합 장치로서, 가스실린더을 장착하기 위한 가스실린더 장착부, 상기 가스실린더 장착부를 세로로 세우거나 수평으로 눕히기 위한 각도조절수단, 상기 가스실린더 장착부에 장착된 가스실린더을 좌우로 회전시켜 가스를 혼합하기 위한 회전 구동장치를 포함한다.
또한, 상기 각도조절수단은: 상기 가스실린더 장착부의 배면의 일단에 연결되어 상기 가스실린더 장착부를 수평축에 대하여 회전 가능하게 연결하는 지지 프레임, 및 상기 지지 프레임에 대하여 상기 가스실린더 장착부를 회전시키기 위한 하나 이상의 액츄에이터를 포함할 수 있다.
더 나아가, 본 발명은 상기 가스실린더 장착부의 배면의 가운데 부분에 수평으로 수평 회전축이 설치되고, 상기 수평 회전축은 상기 지지 프레임의 일측 양단에 설치된 회전 걸림 부재 사이에 체결되고, 상기 액츄에이터의 일단은 상기 가스실린더 장착부의 배면 상에서 상기 수평 회전축의 상단에 회전가능하게 고정되고, 타단은 상기 지지 프레임의 일단에 고정되고, 상기 가스실린더 장착부가 세워진 상태에서 상기 지지 프레임과의 충격을 완화하기 위한 제1 완충장치, 및 상기 가스실린더 장착부가 눕혀진 상태에서 상기 지지 프레임과의 충격을 완화하기 위한 제2 완충장치를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 회전 구동장치는: 구동 모터, 상기 가스실린더 장착부의 내면 상에 세로로 설치되고, 상기 구동 모터의 회전력을 전달받아 회전하는 구동 회전 로드, 상기 구동 회전 로드에 평행하게 배치되어 상기 구동 회전 로드와 함께 가스실린더의 외면을 지지하는 보조 회전 로드, 및 상기 구동 회전 로드 및 상기 보조 회전 로드를 상기 가스실린더 장착부의 내면에 회전 가능하게 고정하기 위한 고정 브라켓을 포함할 수 있고, 상기 구동 회전 로드 및 상기 보조 회전 로드는 외주면에 복수의 지지 롤러가 고정 설치될 수 있다.
여기에서, 상기 구동 회전 로드는 상기 구동 모터의 회전 동력을 직접 받아 회전하도록 구성된 1차 구동 회전 로드, 및 상기 1차 구동 회전 로드와 타이밍 벨트에 의하여 연결되어 회전하도록 구성된 복수의 2차 구동 회전 로드를 포함하여 구성되고, 상기 1차 구동 회전 로드 및 상기 2차 회전 구동 로드 각각에 상기 보조 회전 로드가 배치되고, 상기 구동 모터, 상기 1차 구동 회전 로드, 및 상기 2차 구동 회전 로드의 회전축에 동력전달 풀리가 고정 설치되고, 상기 동력전달 풀리에 상기 타이밍 벨트가 체결되어 동력전달이 이루어질 수 있다.
이와 같은 본 발명의 가스실린더 회전에 의한 가스 혼합 장치에 의하면, 2종 이상의 가스가 주입된 가스실린더을 간편하게 세로로 가스실린더 장착부에 장착할 수 있고, 가스실린더 장착부와 지지 프레임 사이를 연결하는 각도조절수단에 의하여, 장착된 가스실린더을 그대로 수평으로 회전시켜 가스실린더의 이면을 지지하도록 설치된 회전 구동장치에 의하여 가스실린더을 좌우로 회전함으로써 가스실린더에 담긴 가스를 교반하여 충분히 혼합시킬 수 있고, 혼합이 종료되면 각도조절수단에 의하여 원위치로 돌아가 혼합된 가스실린더을 원하는 공정으로 쉽게 이동하여 사용할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 가스실린더 회전에 의한 가스 혼합 장치에 3개의 가스실린더이 직립 상태로 장착된 모습을 도시하는 사시도;
도 2는 가스실린더에 주입된 가스를 회전 교반하기 위하여 도 1의 장치를 수평으로 회전한 모습을 도시하는 사시도;
도 3은 도 1의 회전 구동장치의 구성을 보여주는 사시도;
도 4는 도 1 및 도 2의 모습을 측면에서 도시한 각각의 우측면도;
도 5는 도 2의 각도조절수단을 보여주기 위한 배면사시도; 및
도 6은 도 1의 가스실린더 장착부의 하단에 포함된 굴림장치의 구성을 도시하는 도면이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 가스실린더 회전에 의한 가스 혼합 장치에 3개의 가스실린더이 직립 상태로 장착된 모습을 도시하는 사시도이다. 도 1에 나타난 바와 같이, 본 발명은 세로 길이를 갖는 직립형 가스실린더을 좌우로 회전하여 상기 가스실린더에 포함된 2종 이상의 가스를 혼합하기 위한 가스실린더 회전에 의한 가스 혼합 장치에 관한 것임을 알 수 있다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 장치는 가스실린더 장착부(100), 각도조절수단, 및 회전 구동장치(300)를 포함하여 구성된다.
상기 가스실린더 장착부(100)는 2종 이상의 가스가 주입된 가스실린더(10)을 장착하기 위한 구성요소로서, 가스실린더을 안정적으로 장착하여, 장착된 가스실린더이 이탈되지 않도록 뚜껑이 개방된 박스 형태로서, 가스실린더의 외주면과 하단부를 지지할 수 있도록 구성된다.
상기 각도조절수단은 상기 가스실린더 장착부를 세로로 세우거나 수평으로 눕히기 위한 구성요소로서, 세로로 직립된 상태의 가스실린더 장착부의 배면에, 가스실린더 장착부의 하단부에서 위로 일정한 높이 이격된 위치에 연결되어 그 연결부위를 당기거나 미는 방식으로 가스실린더 장착부를 세로 위치 및 수평 위치 사이에서 회전 가능하도록 할 수 있다. 도면에서는, 하나의 예로서, 가스실린더 장착부의 전체 높이의 대략 1/2이 되는 위치를 수평 회전축으로 구성하고, 수평 회전축의 위쪽에 각도조절수단의 일단이 연결되도록 하여, 가스실린더 장착부의 하단부가 지면에 접촉하여 직립된 상태(도 1의 상태)에서 수평 회전축의 높이에서 수평으로 눕혀진 상태(도 2의 상태) 사이에서 각도가 조절될 수 있도록 구성된다. 도시되지는 않았지만, 가스실린더 장착부(100)의 하단부에 수평 회전축을 설정하고, 그 위쪽에 각도조절수단을 연결하면, 수평으로 눕혀진 상태가 도 2의 상태가 아니고, 지면에 그대로 눕혀진 상태로 구성될 수도 있을 것이다. 이러한 실시예는 각도조절수단에 포함되는 로드의 신축 길이의 차이가 너무 커지게 되어 제작의 불편함, 및 작업 과정에서 장비의 움직임의 폭이 커서 불안정한 면이 있으므로, 도 2의 실시예가 더욱 바람직하다고 할 것이다.
상기 회전 구동장치(300)는 상기 가스실린더 장착부(100)에 장착된 가스실린더(10)을 좌우로 회전시켜 가스를 혼합하기 위한 구성요소이다. 바람직하게는, 가스실린더(10)을 회전하여 내부에 충진된 가스를 교반하기에 적당한 가스실린더(10)의 각도는 완전히 수평을 이루는 것보다는 수평면과 작은 경사를 유지하여, 교반을 위한 가스실린더(10)의 좌우 반복 회전시 가스실린더(10)의 바닥면이 가스실린더 장착부(100)의 하단부에 접하도록 하여 가스실린더(10)이 불필요하게 상하로 요동치는 것을 방지할 수 있다.
도 3은 도 1의 회전 구동장치의 구성을 보여주는 사시도이다. 도 3을 참조하면, 상기 회전 구동장치(300)는 구동 모터(301), 구동 회전 로드(310), 보조 회전 로드(320), 및 고정 브라켓(332)를 포함하여 구성되고, 상기 구동 회전 로드(310) 및 상기 보조 회전 로드(320)는 외주면에 복수의 지지 롤러(335)가 고정 설치될 수 있다.
상기 구동 모터(301)는 타이밍벨트(344) 등의 동력 전달수단에 의하여 모터 회전축의 동력을 구동 회전 로드(310)로 전달하여 구동 회전 로드(310)가 정역방향으로 회전할 수 있도록 구성된다.
상기 구동 회전 로드(310)는 가스실린더 장착부(100)의 내면 상에 세로로 설치되고, 상기 구동 모터(301)의 회전력을 전달받아 정역방향으로 회전한다.
상기 보조 회전 로드(320)는 가스실린더 장착부(100)의 내면 상에 상기 구동 회전 로드(310)에 평행하게 배치되어 구동 회전 로드(310)와 함께 가스실린더(10)의 외면을 지지한다. 따라서 한 쌍의 구동 회전 로드(310)와 보조 회전 로드(320)에 의하여 하나의 가스실린더(10)의 외면을 지지하게 되고, 가스실린더(10)의 하중에 의하여 가스실린더(10)의 외면과 밀착된 구동 회전 로드(310)가 회전하면 가스실린더(10)이 회전하게 되고, 가스실린더(10)이 회전시 가스실린더(10)의 외면에 밀착된 보조 회전 로드(320)도 가스실린더(10)의 회전에 대응하여 자유롭게 회전될 수 있도록 구성된다. 또한, 이들 회전 로드의 외주면에 설치된 지지 롤러(335)에 의하여 가스실린더(10)의 외면과의 마찰력을 증가시켜 구동 회전 로드(310)의 회전력이 가스실린더(10)의 회전력으로 더 잘 전달될 수 있게 된다. 지지 롤러(335)의 외면은 마찰력이 높은 재료 또는 형상을 포함하도록 하고, 가스실린더(10)의 장착시 충격을 완화시키기 위하여 신축성이 있는 완충소재로 구성되는 것이 바람직할 것이다.
상기 고정 브라켓(332)은 상기 구동 회전 로드(310) 및 상기 보조 회전 로드(320)를 상기 가스실린더 장착부(100)의 내면에 회전 가능하게 고정한다. 고정 브라켓(332)은 구동 회전 로드(310) 및 보조 회전 로드(320)와 베어링 연결되어 마찰력을 최소화하는 것이 바람직할 것이다.
구체적으로, 도 3을 참조하면, 상기 구동 회전 로드(310)는 상기 구동 모터의 회전 동력을 직접 받아 회전하도록 구성된 1차 구동 회전 로드(312), 및 상기 1차 구동 회전 로드(312)와 타이밍 벨트(344)에 의하여 연결되어 회전하도록 구성된 복수의 2차 구동 회전 로드(314)를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고 상기 1차 구동 회전 로드 및 상기 2차 회전 구동 로드 각각에 상기 보조 회전 로드가 배치되고, 상기 구동 모터, 상기 1차 구동 회전 로드, 및 상기 2차 구동 회전 로드의 회전축에 동력전달 풀리(342)가 고정 설치되고, 상기 동력전달 풀리에 상기 타이밍 벨트(344)가 체결되어 동력전달이 이루어질 수 있다. 따라서 하나의 동력원으로부터 여러 개의 회전 로드를 구동하여 여러 대의 가스실린더(10)을 동시에 회전하여 가스를 교반할 수 있게 된다.
도 5는 도 2의 각도조절수단을 보여주기 위한 배면사시도이다. 도 5를 참조하면, 상기 각도조절수단은 지지 프레임(210)과 하나 이상의 액츄에이터(230)를 포함하여 구성될 수 있는데, 상기 지지 프레임(210)은 가스실린더 장착부(100)의 배면의 일단에 연결되어 상기 가스실린더 장착부를 수평축에 대하여 회전 가능하게 연결하고, 상기 액츄에이터(230)는 지지 프레임(210)에 대하여 상기 가스실린더 장착부를 회전시킨다.
더 구체적으로, 본 발명의 각도조절수단에서 가스실린더 장착부(100)의 배면의 가운데 부분에 수평으로 수평 회전축(130)이 설치되고, 상기 수평 회전축(130)은 상기 지지 프레임(210)의 일측 양단에 설치된 회전 걸림 부재(140) 사이에 체결되고, 상기 액츄에이터(230)의 일단은 상기 가스실린더 장착부(100)의 배면 상에서 상기 수평 회전축(130)의 상단에 회전가능하게 고정되고, 타단은 상기 지지 프레임(210)의 일단에 고정된다. 따라서 가스실린더 장착부(100)는 수평 회전축(130)에 대하여 회전하면서 지상으로부터 일정한 높이에 수평적으로 위치 전환될 수 있다. 회전 걸림 부재(140)는 내측에 베이링(142) 구조를 포함하여 원활한 회전이 가능하도록 한다. 액츄에이터(230)는 본체로부터 돌출 연장되어 신축가능하게 연결된 로드(232, 234)의 신축 동작에 의하여 가스실린더 장착부(100)의 상단부를 밀거나 당겨서 수직 및 수평 위치 사이를 전환할 수 있도록 한다.
더 나아가, 본 발명은 가스실린더 장착부(100)의 위치 변경에 따른 지지 프레임(210)과의 충격을 완충시키기 위한 완충장치를 포함할 수 있다. 구체적으로, 수평 위치에서 수직 위치로 전환될 때의 완충을 위한 제1 완충장치(402), 및 수직 위치에서 수평 위치로 전환될 때의 완충을 담당하기 위한 제2 완충장치(401)를 포함할 수 있다. 즉, 제1 완충장치(402)는 가스실린더 장착부(100)가 세워진 상태에서 상기 지지 프레임(210)과의 충격을 완화하기 위한 구성요소이고, 상기 제2 완충장치(401)는 가스실린더 장착부(100)가 눕혀진 상태에서 상기 지지 프레임(210)과의 충격을 완화하기 위한 구성요소이다.
도 6은 도 1의 가스실린더 장착부의 하단 받침부(110)에 포함된 굴림장치(150)의 구성을 도시하는 도면이다. 도 6을 참조하면, 굴림장치(150)는 각각의 가스실린더(10)의 하면을 지지하기 위하여 원형으로 배치하여, 가스실린더 장착부(100)가 수직 위치에 서있을 때에 가스실린더(10)이 잘 미끄러져 들어가 장착될 수 있도록 하는 기능을 수행할 뿐만 아니라, 더 나아가, 가스실린더 장착부(100)에 장착되어 수평 위치로 눕혀지고 회전 구동장치(300)에 의하여 회전될 때에 가스실린더(10)의 회전에 가해지는 마찰력을 최소화하는 기능도 수행할 수 있다. 후자의 기능을 수행하는 경우는, 가스실린더 장착부(100)에 장착된 가스실린더(10)을 완전히 수평으로 눕히지 않고, 수평과 작은 경사각을 줌으로써 가스실린더(10)의 하중이 계속하여 가스실린더 장착부(100)의 받침부(110)에 가해지도록 하여 가스실린더 장착부(100)가 교반을 위하여 눕혀진 상태에서도 가스실린더(10)의 하단부와 가스실린더 장착부(100)의 받침부(110) 사이가 접촉된 상태로 유지되도록 회전 구동장치에 의하여 가스실린더(10)이 회전되는 동안에 가스실린더(10)이 세로 방향으로 요동하지 않고, 받침부(110)에 밀착되어 회전하면서 안정적으로 회전하여 교반될 수 있도록 한다. 도 6에 도시된 바와 같이, 굴림장치(150)는 볼(151)과 볼(151)의 일단을 위로 노출시키고 볼을 회전가능하게 포획하는 볼포획부재(152)를 포함할 수 있다. 볼포획부재(152)는 상단에 노출공(156)이 형성된 원형경사리브(154)를 포함하고, 내측에 볼을 수용하기 위한 원형의 공간이 형성될 수 있고, 받침부(110)와의 체결을 위한 체결공(158)이 형성될 수 있다.
이상 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어나지 않고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양한 변형실시가 가능하다. 또한, 첨부된 도면으로부터 용이하게 유추할 수 있는 사항은 상세한 설명에 기재되어 있지 않더라도 본 발명의 내용에 포함되는 것으로 보아야 할 것이며, 다양한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.
10: 가스실린더 100: 가스실린더 장착부
210: 지지 프레임 230: 액츄에이터
300: 회전 구동장치 310: 구동 회전 로드
320: 보조 회전 로드 332: 고정 브라켓
335: 지지 롤러 342: 동력전달 풀리
344: 타이밍 벨트

Claims (5)

  1. 세로 길이를 갖는 직립형 가스실린더을 좌우로 회전하여 상기 가스실린더에 포함된 2종 이상의 가스를 혼합하기 위한 가스실린더 회전에 의한 가스 혼합 장치로서,
    가스실린더을 장착하기 위한 가스실린더 장착부;
    상기 가스실린더 장착부를 세로로 세우거나 수평으로 눕히기 위한 각도조절수단; 및
    상기 가스실린더 장착부에 장착된 가스실린더을 좌우로 회전시켜 가스를 혼합하기 위한 회전 구동장치;
    를 포함하는 가스실린더 회전에 의한 가스 혼합 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 각도조절수단은:
    상기 가스실린더 장착부의 배면의 일단에 연결되어 상기 가스실린더 장착부를 수평축에 대하여 회전 가능하게 연결하는 지지 프레임; 및
    상기 지지 프레임에 대하여 상기 가스실린더 장착부를 회전시키기 위한 하나 이상의 액츄에이터;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스실린더 회전에 의한 가스 혼합 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 가스실린더 장착부의 배면의 가운데 부분에 수평으로 수평 회전축이 설치되고, 상기 수평 회전축은 상기 지지 프레임의 일측 양단에 설치된 회전 걸림 부재 사이에 체결되고,
    상기 액츄에이터의 일단은 상기 가스실린더 장착부의 배면 상에서 상기 수평 회전축의 상단에 회전가능하게 고정되고, 타단은 상기 지지 프레임의 일단에 고정되고,
    상기 가스실린더 장착부가 세워진 상태에서 상기 지지 프레임과의 충격을 완화하기 위한 제1 완충장치, 및 상기 가스실린더 장착부가 눕혀진 상태에서 상기 지지 프레임과의 충격을 완화하기 위한 제2 완충장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스실린더 회전에 의한 가스 혼합 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 회전 구동장치는:
    구동 모터;
    상기 가스실린더 장착부의 내면 상에 세로로 설치되고, 상기 구동 모터의 회전력을 전달받아 회전하는 구동 회전 로드;
    상기 구동 회전 로드에 평행하게 배치되어 상기 구동 회전 로드와 함께 가스실린더의 외면을 지지하는 보조 회전 로드; 및
    상기 구동 회전 로드 및 상기 보조 회전 로드를 상기 가스실린더 장착부의 내면에 회전 가능하게 고정하기 위한 고정 브라켓;
    을 포함하고,
    상기 구동 회전 로드 및 상기 보조 회전 로드는 외주면에 복수의 지지 롤러가 고정 설치된 것을 특징으로 하는 가스실린더 회전에 의한 가스 혼합 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 구동 회전 로드는 상기 구동 모터의 회전 동력을 직접 받아 회전하도록 구성된 1차 구동 회전 로드, 및 상기 1차 구동 회전 로드와 타이밍 벨트에 의하여 연결되어 회전하도록 구성된 복수의 2차 구동 회전 로드를 포함하여 구성되고,
    상기 1차 구동 회전 로드 및 상기 2차 회전 구동 로드 각각에 상기 보조 회전 로드가 배치되고,
    상기 구동 모터, 상기 1차 구동 회전 로드, 및 상기 2차 구동 회전 로드의 회전축에 동력전달 풀리가 고정 설치되고, 상기 동력전달 풀리에 상기 타이밍 벨트가 체결되어 동력전달이 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스실린더 회전에 의한 가스 혼합 장치.
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KR20200084100A (ko) * 2019-01-02 2020-07-10 ㈜에이치엔에스 반도체 제조공정용 가스용기를 흔드는 장치
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