KR20170115239A - 압전 구동기 - Google Patents

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KR20170115239A
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김재경
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삼성전기주식회사
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Abstract

제1 외팔보부와, 상기 제1 외팔보부에 설치되는 압전층 및 일단이 고정단이 되고 타단이 자유단이 되며, 상기 제1 외팔보부에 연결되어 상기 제1 외팔보부와 연동하여 진동되는 제2 외팔보를 포함하며, 상기 제2 외팔보는 상기 제1 외팔보부가 고정된 베이스에 고정단이 고정된 상태에서 진동되는 압전 구동기가 개시된다.

Description

압전 구동기{Piezoelectric driving device}
본 발명은 압전 구동기에 관한 것이다.
압전 구동기는 음향, 의료기기, 계측장비 등 다양한 분야에서 사용되고 있다. 이와 같은 압전 구동기의 대표적인 특징은 낮은 소모 전력과 고주파 구동이 가능하다는 점이다.
특히, 압전 구동기는 대전 전압의 분해능 및 설계 최적화에 따라 매우 작은 변위를 반복적으로 재현하는 것이 가능하기 때문에 원자 현미경/마이크로 스테이지 등 수 ㎚ 단위 분해능의 정밀 구동이 요구되는 분야에서 필수적인 구성부품으로 사용되고 있다.
한편, 압전 구동기는 VCM 등 기타 구동 방식에 비해 상대적으로 높은 힘을 인가할 수 있으나, 구동 변위가 작으므로 큰 구동 범위가 요구되는 응용 분야에는 적용하기 어려운 문제가 있다.
이를 극복하기 위하여 기구적 설계를 통하여 변위 및 구동 범위를 증폭하기 위한 방법들이 고안되고 있는 실정이다.
하지만, 최근까지 고안된 압전 구동기의 변위 증폭 구조는 다수의 조인트(joint)나 그 역할을 하는 탄성체를 포함하는 링크(Linkage) 형태를 가져 소형화를 구현하는데 한계가 있다.
일본 공개특허공보 제2008-35600호
소형화를 구현할 수 있으며, 제조비용을 절감할 수 있는 압전 구동기가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 압전 구동기는 제1 외팔보부와, 상기 제1 외팔보부에 설치되는 압전층 및 일단이 고정단이 되고 타단이 자유단이 되며, 상기 제1 외팔보부에 연결되어 상기 제1 외팔보부와 연동하여 진동되는 제2 외팔보를 포함하며, 상기 제2 외팔보는 상기 제1 외팔보부가 고정된 베이스에 고정단이 고정된 상태에서 진동된다.
소형화를 구현할 수 있으며, 제조비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 압전 구동기를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 압전 구동기를 나타내는 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 압전 구동기를 나타내는 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 압전 구동기를 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 압전 구동기를 나타내는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 제5 실시예에 따른 압전 구동기를 나타내는 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 실시형태는 당해 기술분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 압전 구동기를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 압전 구동기를 나타내는 분해 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 압전 구동기(100)는 일예로서, 제1 외팔보부(120), 압전층(140) 및 제2 외팔보(160)를 포함하여 구성될 수 있다.
제1 외팔보부(120)는 일단이 베이스(10)에 고정 설치되는 고정부재(102)에 접합 설치되고, 타단이 자유단이 된다.
일예로서, 제1 외팔보부(120)는 고정부재(102) 중 제1 고정부재(102a)에 일단이 접합 설치되는 제1-1 외팔보(122)와, 고정부재(102) 중 제2 고정부재(102b)에 일단이 접합 설치되는 제1-2 외팔보(124) 및 제1-1 외팔보(122)와 제1-2 외팔보(124)의 자유단 측을 연결하는 연결부재(126)를 구비할 수 있다.
한편, 제1-1 외팔보(122)와 제1-2 외팔보(124)는 소정 간격 이격 배치되며, 평행하게 배치되도록 제1,2 고정부재(102a,102b)에 설치된다.
일예로서, 제1 외팔보부(120)는 'ㄷ'자 형상을 가질 수 있다.
또한, 연결부재(126)에는 제2 외팔보(160)의 연결을 위한 설치부(126a)가 형성될 수 있다. 일예로서, 설치부(126a)는 홈으로 이루어질 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않으며, 설치부(126a)는 제2 외팔보(160)가 관통하여 설치될 수 있는 홀로 이루어질 수도 있다.
압전층(140)은 제1 외팔보부(120)에 설치된다. 일예로서, 압전층(140)은 제1-1 외팔보(122)에 설치되는 제1 압전층(142)과, 제1-2 외팔보(124)에 설치되는 제2 압전층(144)으로 이루어질 수 있다.
한편, 압전층(140)은 제1 외팔보부(120)의 고정단 측에 인접 배치되도록 설치될 수 있다. 즉, 제1 압전층(142)는 고정단 측에 인접 배치되도록 제1-1 외팔보(122)에 설치되고, 제2 압전층(144)는 고정단 측에 인접 배치되도록 제1-2 외팔보(124)에 설치된다.
또한, 압전층(140)은 제1-1 외팔보(122)와 제1-2 외팔보(124)의 상면에 설치될 수 있다.
이와 같이, 압전층(140)이 제1-1 외팔보(122)와 제1-2 외팔보(124)에 설치되므로, 제1-1 외팔보(122)와 제1-2 외팔보(124)의 자유단 측과 연결부재(126)가 함께 진동되는 것이다. 그리고, 연결부재(126)의 진동폭이 가장 클 수 있다. 즉, 제1 외팔보부(120)의 최대 변형량 발생부는 연결부재(126)가 배치된 부분일 수 있다.
제2 외팔보(160)는 일단이 고정되고 타단이 자유단이 되며, 제1 외팔보부(120)에 연결되어 제1 외팔보부(120)와 연동하여 진동된다.
일예로서, 제2 외팔보(160)의 일단은 베이스(10)에 설치되는 고정부재(102) 중 제3 고정부재(102c)에 접합 설치되어 고정단이 된다. 한편, 제2 외팔보(160)는 제1 외팔보부(120)의 연결부재(126)에 연결되며, 일예로서 제2 외팔보(160)가 연결부재(126)의 설치부(126a)에 접합 설치될 수 있다. 이에 따라, 제2 외팔보(160)는 연결부재(126)의 중앙부를 관통하도록 연결부재(126)에 연결되는 것이다.
한편, 제2 외팔보(160)와 연결부재(126)의 연결부는 제2 외팔보(160)의 고정단 측에 인접 배치될 수 있다.
그리고, 제2 외팔보(160)의 자유단 측에서 최대 변형량이 발생될 수 있다.
이와 같이, 제1 외팔보부(120)의 최대 변형량 발생부인 연결부재(126)에 제2 외팔보(160)가 연결되므로, 제2 외팔보(160)의 자유단 측에서의 변형량을 증대시킬 수 있다.
나아가, 제2 외팔보(160)를 제1 외팔보부(120)에 연결하여 진동량을 증대시킬 수 있어 기존의 VCM 구조를 가진 압전 구동기와 비교하여 압전 구동기(100)의 제조비용을 절감시킬 수 있는 것이다.
상기한 바와 같이, 제2 외팔보(160)가 제1 외팔보부(120)의 연결부재(126)에 연결되어 진동량을 증대시킬 수 있는 동시에 기존의 VCM 구조를 가진 압전 구동기와 비교하여 소형화를 구현할 수 있다.
나아가, 제조비용을 절감시킬 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 압전 구동기에 대하여 설명하기로 한다. 다만, 상기에서 설명한 구성요소와 동일한 구성요소에 대해서는 자세한 설명을 생략하고 상기한 설명에 갈음하기로 한다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 압전 구동기를 나타내는 분해 사시도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 압전 구동기(200)는 일예로서, 제1 외팔보부(220), 압전층(140) 및 제2 외팔보(260)를 포함하여 구성될 수 있다.
제1 외팔보(220)는 일단이 베이스(10)에 고정 설치되는 고정부재(102)에 접합 설치되고, 타단이 자유단이 된다.
일예로서, 제1 외팔보부(220)는 고정부재(102) 중 제1 고정부재(102a)에 일단이 접합 설치되는 제1-1 외팔보(222)와, 고정부재(102) 중 제2 고정부재(102b)에 일단이 접합 설치되는 제1-2 외팔보(224)를 구비할 수 있다.
한편, 제1-1 외팔보(122)와 제1-2 외팔보(124)는 소정 간격 이격 배치되며, 평행하게 배치되도록 제1,2 고정부재(102a,102b)에 설치된다.
압전층(140)은 제1 외팔보부(220)에 설치된다. 일예로서, 압전층(140)은 제1-1 외팔보(222)에 설치되는 제1 압전층(142)과, 제1-2 외팔보(224)에 설치되는 제2 압전층(144)으로 이루어질 수 있다.
한편, 압전층(140)은 제1 외팔보부(220)의 고정단 측에 인접 배치되도록 설치될 수 있다. 즉, 제1 압전층(142)는 고정단 측에 인접 배치되도록 제1-1 외팔보(222)에 설치되고, 제2 압전층(144)는 고정단 측에 인접 배치되도록 제1-2 외팔보(224)에 설치된다.
또한, 압전층(140)은 제1-1 외팔보(222)와 제1-2 외팔보(224)의 상면에 설치될 수 있다.
이와 같이, 압전층(140)이 제1-1 외팔보(222)와 제1-2 외팔보(224)에 설치되므로, 제1-1 외팔보(222)와 제1-2 외팔보(224)의 끝단에서의 진동폭이 가장 클 수 있다.
제2 외팔보(260)는 일단이 고정되고 타단이 자유단이 되며, 제1 외팔보부(220)에 연결되어 제1 외팔보부(220)와 연동하여 진동된다.
일예로서, 제2 외팔보(260)는 바 형상을 가지는 바디(262)와, 상기 바디(262)의 양측면으로부터 연장 형성되며 양단부가 상기 제1-1 외팔보(222)와 상기 제1-2 외팔보(224)에 연결되는 연결부재(264)를 구비할 수 있다.
일예로서, 제2 외팔보(260)의 일단은 베이스(10)에 설치되는 고정부재(102) 중 제3 고정부재(102c)에 접합 설치되어 고정단이 된다. 한편, 제2 외팔보(260)는 연결부재(264)의 양단부가 제1 외팔보부(220)의 끝단에 연결될 수 있다.
그리고, 제2 외팔보(260)의 자유단 측에서 최대 변형량이 발생될 수 있다.
이와 같이, 제1 외팔보부(120)의 최대 변형량 발생부에 연결부재(364)가 연결되므로, 제2 외팔보(260)의 자유단 측에서의 변형량을 증대시킬 수 있다.
나아가, 제2 외팔보(260)를 제1 외팔보부(220)에 연결하여 진동량을 증대시킬 수 있어 기존의 VCM 구조를 가진 압전 구동기와 비교하여 압전 구동기(200)의 제조비용을 절감시킬 수 있는 것이다.
상기한 바와 같이, 제2 외팔보(260)가 제1 외팔보부(220)에 연결되어 진동량을 증대시킬 수 있는 동시에 기존의 VCM 구조를 가진 압전 구동기와 비교하여 소형화를 구현할 수 있다.
나아가, 제조비용을 절감시킬 수 있다.
한편, 상기에서는 제1 외팔보부(120,220)와, 제2 외팔보(160,260)가 별도로 제조되어 결합되는 경우를 예를 들어 설명하고 있으나, 제1 외팔보부(120,220)와, 제2 외팔보(160,260)가 일체로 성형될 수도 있다.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 압전 구동기를 나타내는 사시도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 압전 구동기(300)는 일예로서, 제1 외팔보부(120), 압전층(140) 및 제2 외팔보(360)를 포함하여 구성될 수 있다.
한편, 제1 외팔보부(120)와 압전층(140)은 본 발명의 제1 실시예에 따른 압전 구동기(100)에서 설명한 구성요소와 동일한 구성요소로서 여기서는 자세한 설명을 생략하고 상기한 설명에 갈음하기로 한다.
제2 외팔보(360)는 일단이 고정되고 타단이 자유단이 되며, 제1 외팔보부(120)에 연결되어 제1 외팔보부(120)와 연동하여 진동된다.
일예로서, 제2 외팔보(360)의 일단은 베이스(10)에 설치되는 고정부재(102) 중 제3 고정부재(102c)에 접합 설치되어 고정단이 된다. 한편, 제2 외팔보(360)는 제1 외팔보부(120)의 연결부재(126)에 연결되며, 일예로서 제2 외팔보(360)가 연결부재(126)의 설치부(126a, 도 2 참조)에 접합 설치될 수 있다. 이에 따라, 제2 외팔보(360)는 연결부재(126)의 중앙부를 관통하도록 연결부재(126)에 연결되는 것이다.
또한, 제2 외팔보(360)의 자유단 측은 제1 외팔보(120)의 제1-1 외팔보(122)와 제1-2 외팔보(124) 사이에 배치되며, 제2 외팔보(360)의 고정단 측은 제1 외팔보(120)의 외측에 배치될 수 있다.
한편, 제2 외팔보(360)와 연결부재(126)의 연결부는 제2 외팔보(360)의 고정단 측에 인접 배치될 수 있다.
그리고, 제2 외팔보(360)의 자유단 측에서 최대 변형량이 발생될 수 있다.
이와 같이, 제1 외팔보부(120)의 최대 변형량 발생부인 연결부재(126)에 제2 외팔보(360)가 연결되므로, 제2 외팔보(360)의 자유단 측에서의 변형량을 증대시킬 수 있다.
나아가, 제2 외팔보(360)를 제1 외팔보부(120)에 연결하여 진동량을 증대시킬 수 있어 기존의 VCM 구조를 가진 압전 구동기와 비교하여 압전 구동기(300)의 제조비용을 절감시킬 수 있는 것이다.
도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 압전 구동기를 나타내는 사시도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 제4 실시예에 따른 압전 구동기(400)는 일예로서, 제1 외팔보부(420), 제2 외팔보부(440), 제3 외팔보(460) 및 압전층(480)을 포함하여 구성될 수 있다.
제1 외팔보부(420)는 복수개가 구비될 수 있다. 일예로서, 복수개의 제1 외팔보부(420)는 나란하게 배치될 수 있다. 다시 말해, 복수개의 제1 외팔보부(420)는 상호 평행하게 배치될 수 있다.
한편, 제1 외팔보부(420)는 일단이 베이스(10)에 고정 설치되는 고정부재(102)에 접합 설치되고, 타단이 자유단이 된다.
일예로서, 제1 외팔보부(420)는 고정부재(102) 중 제1 고정부재(102a)에 일단이 접합 설치되는 제1-1 외팔보(422)와, 고정부재(102) 중 제2 고정부재(102b)에 일단이 접합 설치되는 제1-2 외팔보(424) 및 제1-1 외팔보(422)와 제1-2 외팔보(424)의 자유단 측을 연결하는 제1 연결부재(426)를 구비할 수 있다.
한편, 제1-1 외팔보(422)와 제1-2 외팔보(424)는 소정 간격 이격 배치되며, 팽행하게 배치되도록 제1,2 고정부재(102a,102b)에 설치된다. 일예로서, 제1 외팔보부(420)는 'ㄷ'자 형상을 가질 수 있다.
제2 외팔보부(440)는 제1 외팔보부(420)의 자유단에 연결되어 제1 외팔보부(420)와 연동하여 진동된다. 일예로서, 제2 외팔보부(440)는 복수개의 제1 외팔보부(420) 중 어느 하나에 연결되는 제2-1 외팔보(442)와, 복수개의 제1 외팔보부(420) 중 다른 하나에 연결되는 제2-2 외팔보(444) 및 제2-1 외팔보(442)와 제2-2 외팔보(444)의 자유단 측을 연결하는 제2 연결부재(446)를 구비할 수 있다.
한편, 제2-1 외팔보(442)와 제2-2 외팔보(444)는 제1 외팔보부(420)의 제1 연결부재(426)에 연결된다.
또한, 제2-1 외팔보(442)와 제2-2 외팔보(444)의 고정단 측은 제1 외팔보부(420)의 제1-1 외팔보(422)와 제1-2 외팔보(424)의 사이에 배치된다. 그리고, 제2-1 외팔보(442)와 제2-2 외팔보(444)의 고정단은 베이스(10)에 설치되는 제3 고정부재(102c)에 접합 설치된다.
일예로서, 제2 외팔보부(440)는 'ㄷ'자 형상을 가질 수 있다.
제3 외팔보(460)는 일단이 고정되고 타단이 자유단이 되며, 제2 외팔보부(440)에 연결되어 제2 외팔보부(440)와 연동하여 진동된다.
일예로서, 제3 외팔보(460)의 일단은 베이스(10)에 설치되는 고정부재(102) 중 제4 고정부재(102d)에 접합 설치되어 고정단이 된다. 한편, 제3 외팔보(460)는 제2 외팔보부(440)의 제2 연결부재(446)에 연결될 수 있다. 이에 따라, 제3 외팔보(460)는 제2 연결부재(446)의 중앙부를 관통하도록 제2 연결부재(446)에 연결되는 것이다.
한편, 제3 외팔보(460)와 제2 연결부재(446)의 연결부는 제3 외팔보(460)의 고정단 측에 인접 배치될 수 있다.
그리고, 제3 외팔보(460)의 자유단 측에서 최대 변형량이 발생될 수 있다.
압전층(480)은 제1,2 외팔보부(420,440)에 설치된다. 일예로서, 압전층(480)은 제1 외팔보부(420)에 설치되는 제1 압전층(482)와, 제2 외팔보부(440)에 설치되는 제2 압전층(484)을 구비할 수 있다.
일예로서, 제1 압전층(482)은 제1 외팔보부(420)의 제1-1 외팔보(422)와 제1-2 외팔보(424)에 각각 하나씩 설치되며, 제2 압전층(484)도 제2 외팔보부(440)의 제2-1 외팔보(442)와 제2-2 외팔보(444)에 각각 하나씩 설치될 수 있다.
즉, 제1 압전층(482)은 제1 외팔보부(420)에 4개가 설치될 수 있으며, 제2 압전층(484)은 제2 외팔보부(440)에 2개가 설치될 수 있다.
상기한 바와 같이, 복수개의 외팔보가 연결되어 더 큰 변위를 발생시킬 수 있다.
한편, 제1,2 외팔보부(420,440) 및 제3 외팔보(460)는 일체로 성형될 수도 있으며, 별도로 제조되어 조립될 수도 있다.
도 6은 본 발명의 제5 실시예에 따른 압전 구동기를 나타내는 사시도이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 제5 실시예에 따른 압전 구동기(500)는 일예로서, 제1 외팔보부(520), 제2 외팔보부(540), 제3 외팔보(560) 및 압전층(580)을 포함하여 구성될 수 있다.
제1 외팔보부(520)는 복수개가 구비될 수 있다. 일예로서, 복수개의 제1 외팔보부(520)는 상호 마주보도록 배치될 수 있다.
한편, 제1 외팔보부(520)는 일단이 베이스(10)에 고정 설치되는 고정부재(102)에 접합 설치되고, 타단이 자유단이 된다.
일예로서, 제1 외팔보부(520)는 고정부재(102) 중 제1 고정부재(102a)에 일단이 접합 설치되는 제1-1 외팔보(522)와, 고정부재(102) 중 제2 고정부재(102b)에 일단이 접합 설치되는 제1-2 외팔보(524) 및 제1-1 외팔보(522)와 제1-2 외팔보(524)의 자유단 측을 연결하는 제1 연결부재(526)를 구비할 수 있다.
한편, 제1-1 외팔보(522)와 제1-2 외팔보(524)는 소정 간격 이격 배치되며, 팽행하게 배치되도록 제1,2 고정부재(102a,102b)에 설치된다. 일예로서, 제1 외팔보부(520)는 'ㄷ'자 형상을 가질 수 있다.
제2 외팔보부(540)는 제1 외팔보부(520)의 자유단에 연결되어 제1 외팔보부(520)와 연동하여 진동된다. 일예로서, 제2 외팔보부(540)는 복수개의 제1 외팔보부(520) 중 어느 하나에 연결되는 제2-1 외팔보(542) 및 복수개의 제1 외팔보부(520) 중 다른 하나에 연결되는 제2-2 외팔보(544)를 구비할 수 있다.
한편, 제2-1 외팔보(542)와 제2-2 외팔보(544)는 일직선 상에 배치될 수 있으며, 각각 제1 외팔보부(520)의 제1 연결부재(526)에 연결될 수 있다.
또한, 제2-1 외팔보(542)와 제2-2 외팔보(544)의 고정단 측은 제1 외팔보부(520)의 제1-1 외팔보(522)와 제1-2 외팔보(524)의 사이에 배치된다. 그리고, 제2-1 외팔보(542)와 제2-2 외팔보(544)의 고정단은 베이스(10)에 설치되는 제3 고정부재(102c)에 접합 설치된다.
제3 외팔보(560)는 일단이 고정되고 타단이 자유단이 되며, 제2 외팔보부(540)에 연결되어 제2 외팔보부(540)와 연동하여 진동된다.
일예로서, 제3 외팔보(560)의 일단은 베이스(10)에 설치되는 고정부재(102) 중 제4 고정부재(102d)에 접합 설치되어 고정단이 된다. 한편, 제3 외팔보(560)는 마주보는 제1 외팔보부(520)의 사이에 배치된다. 또한, 제3 외팔보(560)는 양측면이 제2-1 외팔보(542)와, 제2-2 외팔보(544)에 연결될 수 있다.
압전층(580)은 제1,2 외팔보부(520,540)에 설치된다. 일예로서, 압전층(580)은 제1 외팔보부(520)에 설치되는 제1 압전층(582)와, 제2 외팔보부(540)에 설치되는 제2 압전층(584)을 구비할 수 있다.
일예로서, 제1 압전층(582)은 제1 외팔보부(520)의 제1-1 외팔보(522)와 제1-2 외팔보(524)에 각각 하나씩 설치되며, 제2 압전층(584)도 제2 외팔보부(540)의 제2-1 외팔보(542)와 제2-2 외팔보(544)에 각각 하나씩 설치될 수 있다.
즉, 제1 압전층(582)은 제1 외팔보부(520)에 4개가 설치될 수 있으며, 제2 압전층(584)은 제2 외팔보부(540)에 2개가 설치될 수 있다.
상기한 바와 같이, 복수개의 외팔보가 연결되어 더 큰 변위를 발생시킬 수 있다.
한편, 제1,2 외팔보부(520,540) 및 제3 외팔보(560)는 일체로 성형될 수도 있으며, 별도로 제조되어 조립될 수도 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.
100, 200, 300, 400, 500 : 압전구동기
120, 220, 420, 520 : 제1 외팔보부
140 : 압전층
160, 260 : 제2 외팔보
440, 540 : 제2 외팔보부
460, 560 : 제3 외팔보
480, 580 : 압전층

Claims (15)

  1. 제1 외팔보부;
    상기 제1 외팔보부에 설치되는 압전층;
    일단이 고정단이 되고 타단이 자유단이 되며, 상기 제1 외팔보부에 연결되어 상기 제1 외팔보부와 연동하여 진동되는 제2 외팔보;
    를 포함하며,
    상기 제2 외팔보는 상기 제1 외팔보부가 고정된 베이스에 고정단이 고정된 상태에서 진동되는 압전 구동기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 외팔보부는
    제1-1 외팔보;
    상기 제1-1 외팔보와 이격 배치되며 상기 제1-1 외팔보와 평행하게 배치되는 제1-2 외팔보; 및
    상기 제1-1 외팔보와 상기 제1-2 외팔보의 자유단 측을 연결하는 연결부재;
    를 구비하는 압전 구동기.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 압전층은 상기 제1-1 외팔보와 상기 제1-2 외팔보에 설치되는 압전 구동기.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 압전층은 상기 제1-1 외팔보와 상기 제1-2 외팔보의 고정단에 인접 배치되도록 설치되는 압전 구동기.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 압전층은 상기 제1-1 외팔보와 상기 제1-2 외팔보의 상면에 설치되는 압전 구동기.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 제2 외팔보는 상기 연결부재의 중앙부를 관통하도록 상기 연결부재에 연결되는 압전 구동기.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2 외팔보는 고정단에 인접한 부분에서 상기 연결부재에 연결되는 압전 구동기.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1 외팔보부와 상기 제2 외팔보는 베이스 상에 설치되는 고정부재에 고정단이 접합 설치되는 압전 구동기.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제1 외팔보부는 제1-1 외팔보와, 상기 제1-1 외팔보와 이격 배치되며 상기 제1-1 외팔보와 평행하게 배치되는 제1-2 외팔보를 구비하며,
    상기 제2 외팔보는 바 형상을 가지는 바디와, 상기 바디의 양측면으로부터 연장 형성되며 양단부가 상기 제1-1 외팔보와 상기 제1-2 외팔보에 연결되는 연결부재를 구비하는 압전 구동기.
  10. 복수개의 제1 외팔보부;
    상기 제1 외팔보부의 자유단에 연결되어 상기 제1 외팔보부와 연동하여 진동되는 제2 외팔보부;
    상기 제2 외팔보부의 자유단에 연결되어 상기 제2 외팔보부와 연동하여 진동되는 제3 외팔보; 및
    상기 제1,2 외팔보부에 설치되는 압전층:
    을 포함하며,
    상기 제3 외팔보는 상기 제1,2 외팔보부가 고정된 베이스에 고정단이 고정된 상태에서 진동되는 압전 구동기.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제1 외팔보부는
    제1-1 외팔보;
    상기 제1-1 외팔보와 이격 배치되며 상기 제1-1 외팔보와 평행하게 배치되는 제1-2 외팔보; 및
    상기 제1-1 외팔보와 상기 제1-2 외팔보의 자유단 측을 연결하는 제1 연결부재;
    를 구비하는 압전 구동기.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 복수개의 제1 외팔보부는 상호 마주보도록 배치되거나 서로 평행하게 배치되는 압전 구동기.
  13. 제10항에 있어서, 상기 제2 외팔보부는
    제2-1 외팔보;
    상기 제2-1 외팔보와 이격 배치되며 상기 제2-1 외팔보와 평행하게 배치되는 제2-2 외팔보; 및
    상기 제 2-1 외팔보와 상기 제2-2 외팔보의 자유단 측을 연결하는 제2 연결부재;
    를 구비하는 압전 구동기.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제3 외팔보는 상기 제2 연결부재에 연결되는 압전 구동기.
  15. 제10항에 있어서, 상기 제2 외팔보부는
    상기 복수개의 제1 외팔보부 중 어느 하나에 연결되는 제2-1 외팔보; 및
    상기 보수개의 제2 외팔보부 중 다른 하나에 연결되는 제2-2 외팔보;
    를 구비하며,
    상기 제2-1 외팔보와 상기 제2-2 외팔보의 자유단 측이 상기 제3 외팔보의 양측에 각각에 연결되는 압전 구동기.
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