KR20170102431A - Exposing apparatus for print substrate - Google Patents

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다카유키 하라
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우시오덴키 가부시키가이샤
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Abstract

The present invention enables a peripheral portion of a substrate to be pressed onto a table without using vacuum adsorption force for adsorbing the substrate to the table or without exposing the substrate to vacuum, and to correspond to other substrates having different thickness. When the substrate (S) is adsorbed to the table (1) by a vacuum adsorption device (3), a pair of column-shaped sealing members (62) installed on a frame body (61) having a shape which does not shield light exposure meets the table (1), and as a closed space formed can be purged through an exhaust hole for the frame body (13) so that the frame body (61) is pressed toward the table (1). As a result, the periphery of the substrate (S) is pressed against the table (1), and the substrate (S) is exposed by an exposure system (2) in a state in which the deformation of the substrate (S) is corrected.

Description

프린트 기판용 노광 장치{EXPOSING APPARATUS FOR PRINT SUBSTRATE}EXPOSING APPARATUS FOR PRINT SUBSTRATE [0002]

본원의 발명은, 프린트 기판 제조용의 노광 장치에 관한 것이며, 특히 기판의 변형을 교정하면서 노광하는 기능을 구비한 노광 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an exposure apparatus for manufacturing a printed board, and more particularly to an exposure apparatus having a function of exposing a substrate while correcting deformation of the substrate.

프린트 기판은, 휴대 전화나 퍼스널 컴퓨터 등의 전자기기에 탑재되어 있다. 이들 전자기기는, 소형 경량화를 행하기 위해서, 기판 상에 형성된 패턴의 집적도를 높이는 것이 요구되고 있고, 회로 요소나 패턴의 미세화가 진행되고 있다.The printed circuit board is mounted on an electronic device such as a cellular phone or a personal computer. In order to reduce the size and weight of these electronic apparatuses, it is required to increase the degree of integration of the patterns formed on the substrate, and circuit elements and patterns are becoming finer.

프린트 기판에의 패턴의 형성을 행하는 포토리소그래피에는, 기판에 도포된 레지스트에 대해서 회로 패턴 등의 소정의 패턴을 형성하기 위한 노광 공정이 존재하고 있고, 노광 장치가 사용된다. 노광 장치에서는, 기판의 소정의 위치에 회로 패턴 등의 소정의 패턴의 전사를 행하기 위해, 노광을 행하는 광학계에 대해서 올바른 위치에 기판을 배치할 필요가 있다. 이 때문에, 광학계에 대해서 설치된 테이블 상의 소정의 위치에 기판을 재치함과 더불어, 노광 중에 이 위치를 유지하도록 기판을 테이블에 진공 흡착하는 기구가 채용되고 있다.Photolithography for forming a pattern on a printed substrate includes an exposure step for forming a predetermined pattern such as a circuit pattern on a resist coated on the substrate, and an exposure apparatus is used. In the exposure apparatus, in order to transfer a predetermined pattern such as a circuit pattern to a predetermined position of the substrate, it is necessary to arrange the substrate at the correct position with respect to the optical system for performing exposure. Therefore, a mechanism is adopted in which a substrate is placed at a predetermined position on a table provided for an optical system, and a substrate is vacuum-adsorbed on the table so as to maintain this position during exposure.

일본국 특허공개 2009-109553호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-109553 일본국 특허공개 2011-81156호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-81156 일본국 특허 4589198호 공보Japanese Patent No. 4589198

상기와 같은 기판을 테이블에 진공 흡착하는 기구를 채용한 프린트 기판용 노광 장치에 있어서, 휨이나 왜곡과 같은 변형이 생긴 기판에 대해서도 정확하게 노광을 행하는 것이 요구되고 있다. 기판의 휨이나 왜곡과 같은 변형은, 몇 개의 요인으로 발생한다. 하나로는, 전자기기의 소형 경량화를 위해, 매우 얇은 기판이 채용되도록 되어 오고 있는 것을 들 수 있다. 폴리이미드나 폴리에스테르 등으로 형성된 얇은 플렉서블 기판은, 전 공정에서의 열처리의 영향을 받기 쉽고, 옆에서 보면 만곡되어 있거나, 물결 모양으로 만곡되어 있거나 하는 경우가 있다. 또, 유리 엑폭시와 같은 리지드 기판의 경우에도, 기판이 다층 구조인 경우는, 소재간의 열팽창 계수의 차이 등으로 인해, 적층을 위한 처리를 반복함에 따라서 기판의 주변부에 휨이나 왜곡이 발생하기 쉽다.In an exposure apparatus for a printed-circuit board employing a mechanism for vacuum-adsorbing a substrate to a table as described above, it is required to accurately expose a substrate having a deformation such as warpage or distortion. Deformation such as warping or distortion of the substrate occurs by several factors. One of them is that a very thin substrate has been adopted to reduce the size and weight of electronic devices. A thin flexible substrate formed of polyimide, polyester, or the like is susceptible to the heat treatment in the previous step, and may be curved in the side view or curved in a wavy pattern. Further, even in the case of a rigid substrate such as glass epoxy, warpage or distortion is liable to occur in the peripheral portion of the substrate due to the repetition of the process for lamination due to the difference in thermal expansion coefficient between the materials and the like when the substrate has a multilayer structure .

노광 장치를 사용하는 유저에 있어서는, 이와 같이 변형이 생긴 기판에서도, 회로 패턴 등의 소정의 패턴을 노광하고 싶다는 요망이 있다.In the case of a user using an exposure apparatus, there is a desire to expose a predetermined pattern such as a circuit pattern even on such a deformed substrate.

상기와 같은 변형된 기판에 대한 노광에 있어서 문제가 되는 것은, 진공 흡착의 에러이다. 이것은, 변형된 기판을 테이블에 올려 진공 흡착을 행하고자 한 경우, 변형된 개소에서 진공이 새기 때문에, 충분히 흡착할 수 없게 되는 에러이다. 흡착 에러가 생기면, 노광 중에 기판이 위치 어긋남을 일으키는 경우가 있으므로, 통상은 장치의 동작이 정지하고, 노광 처리가 중단된다.What is problematic in exposure to such a modified substrate is an error in vacuum adsorption. This is an error that when a deformed substrate is put on a table to perform vacuum adsorption, a vacuum is leaked at a deformed portion, and therefore, the adsorption can not be sufficiently absorbed. If an adsorption error occurs, there is a case where the substrate is displaced during exposure, so that the operation of the apparatus is normally stopped and the exposure process is stopped.

이 때문에, 진공 흡착시, 기판을 테이블에 누르는 기술이 몇 개 제안되어 있다. 이 중, 특허 문헌 1은, 기판이 진공 흡착될 때, 기판을 둘러싸도록 하여 패킹이 배치되는 상태로 하고, 패킹에 의해 밀폐 공간으로 하여 밀폐 공간 내가 진공 흡인되는 구조를 개시하고 있다. 이 구조에서는, 기판을 테이블에 누르는 기구가, 노광시에는 제거되므로, 휨의 탄성이 강한 기판에서는, 노광시에 진공 흡착 에러가 발생하는 경우가 있다. 또, 기판이 진공에 직접 노출되기 때문에, 기판의 표면에 보호 필름이 설치되어 있는 경우, 그것이 벗겨지거나, 보호 필름의 내측에 기포가 생기거나 하는 것도 생각할 수 있다.For this reason, several techniques have been proposed for pressing the substrate against the table during vacuum adsorption. Among them, Patent Document 1 discloses a structure in which, when a substrate is vacuum-adsorbed, a packing is arranged so as to surround a substrate, and the sealed space is vacuum-sucked as a sealed space by packing. In this structure, since the mechanism for pressing the substrate against the table is removed at the time of exposure, a vacuum absorption error may occur at the time of exposure in a substrate having a strong bending elasticity. In addition, since the substrate is directly exposed to the vacuum, when the protective film is provided on the surface of the substrate, it may be peeled off or air bubbles may be formed inside the protective film.

또, 특허 문헌 2에는, 진공 흡착되는 기판의 주변부를 덮은 상태로 기판 고정 시트(마일러 시트)를 배치하고, 기판의 진공 흡착시의 흡인력에 의해 상기 시트를 탄성변형시키는 기술이 개시되어 있다. 이 구조에서는, 기판의 형상에 맞추어 클램프 기구를 설계할 필요가 있고, 다양한 기판 사이즈에 대응시키기 위해서는, 노광 테이블에 개별적으로 클램프 기구를 설계할 필요가 있고, 코스트 업이 된다. 또, 기판의 사이즈가 다른 경우, 시트의 교환이 필요하지만, 특허 문헌 2의 시트는 기계적으로 클램프되어 있기 때문에, 교환이 용이하지 않다. Patent Document 2 discloses a technique of disposing a substrate fixing sheet (miler sheet) in a state of covering the periphery of a vacuum-adsorbed substrate and elastically deforming the sheet by a suction force upon vacuum suction of the substrate. In this structure, it is necessary to design the clamp mechanism in accordance with the shape of the substrate. In order to cope with various substrate sizes, it is necessary to individually design the clamp mechanism on the exposure table, and the cost is increased. When the size of the substrate is different, it is necessary to replace the sheet. However, since the sheet of Patent Document 2 is mechanically clamped, the replacement is not easy.

또한, 기판이 진공에 노출되기 때문에, 상기와 같은 문제가 생기는 것도 생각할 수 있다.Further, since the substrate is exposed to the vacuum, it is also conceivable that the above-described problems arise.

또, 특허 문헌 3에서는, 탄성 부재를 갖는 액자 형상의 고정 지그로 기판의 주변부를 누르는 기술이 개시되어 있다. 이 구조에서는, 고정 지그의 누름을 위한 흡인은, 기판을 테이블에 흡착하는 흡인과 완전히 같은 계통이다. 그 때문에, 기판을 테이블에 흡착하기 위한 진공에 큰 리크가 생긴 경우, 고정 지그가 기판의 주변을 테이블에 누르는 힘이 약해지고, 기판을 테이블에 흡착할 수 없는 경우가 있다. 특히, 강성이 높은 기판에 변형이 생긴 경우에는 변형을 교정하는 것이 어렵다.Patent Document 3 discloses a technique of pressing a peripheral portion of a substrate with a frame-shaped fixing jig having an elastic member. In this structure, the suction for pressing the fixing jig is completely the same as the suction for sucking the substrate to the table. Therefore, when a large leak is generated in the vacuum for attracting the substrate to the table, the pressing force of the fixing jig against the table is weakened, and the substrate can not be sucked to the table in some cases. Particularly, when deformation occurs on a substrate having high rigidity, it is difficult to correct deformation.

본원의 발명은, 상기와 같은 각 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것이며, 프린트 기판용 노광 장치에 있어서, 기판을 테이블에 진공 흡착하는 힘을 이용하거나, 진공에 기판의 주변부를 노출시키거나 하지 않고, 노광 중에 주변부를 테이블에 누르는 것이 가능하고, 또 두께가 다른 기판에 대해서도 용이하게 대응할 수 있도록 하는 것을 목적으로 하고 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide an exposure apparatus for a printed-circuit board in which exposure of a substrate to a table is performed by using a force for vacuum- It is possible to press the periphery on the table in the middle of the substrate and to easily cope with the substrates having different thicknesses.

상기 과제를 해결하기 위해, 본원의 청구항 1에 기재된 발명은, In order to solve the above problems, the invention according to Claim 1 of the present application is characterized in that,

기판이 올려지는 테이블과,A table on which a substrate is placed,

테이블에 올려진 기판에 소정의 패턴을 형성하는 노광광을 조사하는 노광계를 구비한 프린트 기판용 노광 장치로서, 1. An exposure apparatus for a printed-circuit board having an exposure system for irradiating an exposure light for forming a predetermined pattern on a substrate placed on a table,

기판을 테이블에 진공 흡착하는 진공 흡착 기구와,A vacuum adsorption mechanism for vacuum-adsorbing the substrate to a table,

테이블에 올려진 기판의 주변부를 테이블에 누르는 누름 기구가 설치되어 있고,A pressing mechanism for pressing the peripheral portion of the substrate placed on the table against the table is provided,

누름 기구는, 기판에 대한 소정의 패턴을 형성하는 노광광을 차폐하지 않는 형상의 프레임체와, 사이에 기판의 주변부가 끼워 넣어진 상태로 프레임체를 테이블을 향해서 압압(押壓)함으로써 기판의 주변부를 테이블에 누르는 구동부를 구비하고 있고,The pressing mechanism includes a frame body having a shape that does not shield exposure light that forms a predetermined pattern with respect to the substrate and a pressing member that presses the frame body toward the table with the peripheral portion of the substrate sandwiched therebetween, And a driving portion for pressing the peripheral portion against the table,

프레임체는, 기판을 벗어난 위치에서 폐공간을 형성하는 구조를 갖고 있고, 기판에 대해서 소정의 패턴을 형성하는 노광광의 조사를 행함에 있어서 구동부는 상기 폐공간을 진공 흡인함으로써 기판의 주변부를 테이블에 누르는 것이며, The frame body has a structure for forming a closed space at a position deviated from the substrate. When the exposure unit irradiates exposure light for forming a predetermined pattern with respect to the substrate, the driving unit evacuates the closed space, Press,

노광계 및 누름 기구를 제어하는 제어부가 설치되어 있고, A control unit for controlling the exposure system and the pressing mechanism is provided,

제어부는, 소정의 패턴을 형성하는 노광광의 조사를 기판에 행하고 있는 동안도 누름 기구의 구동부를 동작시키는 제어를 행하는 것이라는 구성을 갖는다. The control unit has a configuration that controls to operate the driving unit of the pressing mechanism while the substrate is irradiated with the exposure light for forming a predetermined pattern.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 2에 기재된 발명은, 상기 청구항 1의 구성에 있어서, 상기 테이블을 향해서 압압되는 상기 프레임체의 상기 테이블 측을 향한 면에는, 탄성을 갖는 주상(周狀) 시일링 부재가 설치되어 있고, 주상 시일링 부재는, 상기 기판을 벗어난 위치에서 상기 테이블에 맞닿아 상기 폐공간을 형성하는 형상이라는 구성을 갖는다. According to a second aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect of the present invention, the surface of the frame body that is pressed toward the table is formed with a resilient, A sealing member is provided and the columnar sealing member has a configuration in which it abuts against the table at a position deviated from the substrate to form the closed space.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 3에 기재된 발명은, 상기 청구항 1의 구성에 있어서, 상기 테이블의 상기 압압되는 프레임체를 향하는 면에는, 탄성을 갖는 주상 시일링 부재가 설치되어 있고, 주상 시일링 부재는, 상기 기판을 벗어난 위치에서 상기 프레임체에 맞닿아 상기 폐공간을 형성하는 형상이라는 구성을 갖는다.In order to solve the above-described problem, according to a third aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, the columnar sealing member having elasticity is provided on the surface of the table facing the pressing frame body, The sealing member has a configuration in which it abuts against the frame body at a position deviated from the substrate to form the closed space.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 4에 기재된 발명은, 상기 청구항 2 또는 3의 구성에 있어서, 상기 주상 시일링 부재는 튜브 형상이라는 구성을 갖는다. In order to solve the above-described problems, the invention recited in claim 4 is the constitution of claim 2 or 3, wherein the columnar sealing member has a tube-like configuration.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 5에 기재된 발명은, 상기 청구항 1 내지 4 중 어느 한 구성에 있어서, 상기 기판의 상기 테이블에의 반입 및 상기 테이블로부터의 상기 기판의 반출시에 상기 프레임체가 위치하는 대기 위치가 설정되어 있고,In order to solve the above-described problems, a fifth aspect of the present invention is the image forming apparatus according to any one of the first to fourth aspects, wherein when the substrate is brought into the table and the substrate is unloaded from the table, A standby position is set,

상기 프레임체를, 상기 기판의 주변부를 끼워 넣은 상태로 테이블에 누르는 위치인 동작 위치와, 대기 위치의 사이에서 반복 이동시키는 프레임체 이동 기구가 설치되어 있다는 구성을 갖는다. Wherein the frame body is provided with a frame body moving mechanism for repeatedly moving the frame body between an operation position in which the peripheral portion of the substrate is held in a state of being pressed against the table and a standby position.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 6에 기재된 발명은, 상기 청구항 5의 구성에 있어서, 상기 프레임체 이동 기구에는, 상기 기판의 반송 기구가 겸용되고 있다는 구성을 갖는다. In order to solve the above-described problems, a sixth aspect of the present invention is configured so that, in the configuration of the fifth aspect, the frame moving mechanism also uses the transport mechanism of the substrate.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 7에 기재된 발명은, 상기 청구항 5 또는 6의 구성에 있어서, 상기 프레임체 이동 기구는, 상기 프레임체를 진공 흡착하여 유지하면서 이동시키는 기구라는 구성을 갖는다. In order to solve the above-described problems, the invention described in claim 7 is the structure according to claim 5 or 6, wherein the frame body moving mechanism is a mechanism for moving the frame body while vacuum-chucking it and holding it.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 8에 기재된 발명은, 상기 청구항 6 또는 7의 구성에 있어서, 상기 기판의 반송 기구는, 상기 기판을 흡착하여 유지하는 기판용 흡착 패드를 구비하고 있고,In order to solve the above-described problems, according to an eighth aspect of the present invention, in the configuration of the sixth or seventh aspect, the transport mechanism of the substrate includes a substrate-use adsorption pad for sucking and holding the substrate,

상기 프레임체는, 이 기판용 흡착 패드가 삽입 통과되는 절결을 갖고 있다는 구성을 갖는다. And the frame body has a notch in which the adsorption pad for the substrate is inserted and passed.

이하에 설명하는 대로, 본원의 청구항 1에 기재된 발명에 의하면, 노광시, 기판은 테이블에 진공 흡착됨과 더불어 기판의 주변부는 프레임체에 의해 테이블에 눌린다. 이때, 프레임체에는, 형성되는 폐공간의 진공 압력에 의해 테이블을 향하는 힘이 더해진다. 이 진공 압력은, 기판을 테이블에 흡착하기 위한 계통과는 다른 계통에 의해 공급할 수 있으므로, 기판과 테이블의 사이에서 리크가 발생해도, 프레임체에 강한 압압력을 걸 수 있다. 이로 인해, 강성이 높은 기판에 변형이 생긴 경우라도, 노광 중에 기판을 테이블에 확실히 유지할 수 있다. 또, 폐공간은 기판을 벗어난 위치에 형성되기 때문에, 여기서의 진공 압력이 기판에 직접 작용하는 일은 없다.As described below, according to the invention described in claim 1 of the present application, in exposure, the substrate is vacuum-adsorbed on a table, and the peripheral portion of the substrate is pressed against the table by the frame body. At this time, a force directed toward the table is added to the frame body by the vacuum pressure of the formed space. This vacuum pressure can be supplied by a system other than the system for adsorbing the substrate on the table, so that even if leakage occurs between the substrate and the table, a strong pressing force can be applied to the substrate. This makes it possible to reliably hold the substrate on the table during exposure even when the substrate is deformed with high rigidity. Further, since the closed space is formed at a position away from the substrate, the vacuum pressure here does not directly act on the substrate.

또, 청구항 2 또는 3에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더하여, 탄성을 갖는 주상 시일링 부재로 폐공간이 형성되므로, 압압력이 유연하게 작용한다.According to the invention as set forth in claim 2 or 3, in addition to the above effect, the closed space is formed by the resilient columnar sealing member, so that the pressing force works flexibly.

또, 청구항 4에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더하여, 주상 시일링 부재가 튜브 형상이므로, 압압시의 압력의 조정이 용이해지고, 또 두께가 다른 기판에 대해서도 용이하게 압압할 수 있다.According to the invention as set forth in claim 4, in addition to the above effect, since the columnar sealing member is in the form of a tube, the pressure at the time of pressing can be easily adjusted, and the pressure can be easily applied to a substrate having a different thickness.

또, 청구항 5에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더하여, 프레임체 이동 기구가 설치되어 있으므로, 테이블에의 기판의 재치나 테이블로부터의 기판의 제거시에 프레임체를 퇴피시킬 수 있고, 테이블을 대규모로 이동시킬 필요가 없기 때문에, 이 점에서 기구적으로 간략화된다.According to the fifth aspect of the present invention, in addition to the above effects, since the frame body moving mechanism is provided, the frame body can be retracted when the substrate is mounted on the table or when the substrate is removed from the table, It is simplified mechanically in this respect.

또, 청구항 6에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더하여, 기판의 반송 기구에 의해 프레임체 이동 기구가 겸용되고 있으므로, 이 점에서 장치의 구조나 동작이 간략화된다.According to the sixth aspect of the present invention, in addition to the above effects, the structure and operation of the apparatus can be simplified in this respect because the frame moving mechanism is also used by the transport mechanism of the substrate.

또, 청구항 7에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더하여, 반송 핸드가 프레임체를 흡착 유지하면서 이동시키는 것이므로, 기판의 노광시에는 반송 핸드가 프레임체를 분리하여 퇴피하는 것이 용이해지거나, 프레임체의 교환이 용이해지거나 하는 효과가 있다.According to the seventh aspect of the present invention, in addition to the above effects, since the transfer hand moves the frame body by suction while holding it, when the substrate is exposed, the transfer hand can easily separate and retract the frame body, So that the exchange of the heat exchanger can be facilitated.

또, 청구항 8에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더하여, 프레임체가, 기판용 흡착 패드가 삽입 통과되는 절결을 갖고 있으므로, 구조를 복잡화시키지 않고 충분한 흡착력으로 기판의 유지가 가능하다는 효과가 있다. According to the eighth aspect of the present invention, in addition to the above effects, since the frame body has a notch through which the adsorption pad for a substrate is inserted, it is possible to maintain the substrate with sufficient attraction force without complicating the structure.

도 1은, 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치의 정면 단면 개략도이다.
도 2는, 도 1의 노광 장치의 주요부의 평면 개략도이다.
도 3은, 프레임체의 사시 개략도이다.
도 4는, 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치의 동작에 대해 나타낸 정면 단면 개략도이다.
도 5는, 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치의 동작에 대해 나타낸 정면 단면 개략도이다.
도 6은, 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치의 동작에 대해 나타낸 정면 단면 개략도이다.
도 7은, 기판의 사이즈에 맞추어 준비되는 각 프레임체의 일례에 대해 나타낸 사시 개략도이다.BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a schematic front cross-sectional view of an exposure apparatus for a printed-circuit board according to an embodiment. FIG.
2 is a schematic plan view of a main part of the exposure apparatus of FIG.
3 is a perspective view schematically showing a frame body.
4 is a front cross-sectional schematic view showing the operation of the exposure apparatus for a printed-circuit board according to the embodiment.
5 is a front cross-sectional schematic view showing the operation of the exposure apparatus for a printed-circuit board according to the embodiment.
6 is a front cross-sectional schematic view showing the operation of the exposure apparatus for a printed-circuit board according to the embodiment.
7 is a perspective view schematically showing an example of each frame prepared in accordance with the size of the substrate.

다음에, 본원 발명을 실시하기 위한 형태(이하, 실시 형태)에 대해 설명한다.Next, a mode for carrying out the present invention (hereinafter, an embodiment) will be described.

도 1은, 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치의 정면 단면 개략도, 도 2에 나타내는 프린트 기판용 노광 장치의 주요부의 평면 개략도이다. 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치는, 기판(S)이 올려지는 테이블(1)과, 테이블(1)에 올려진 기판(S)에 회로 등의 패턴을 형성하기 위한 노광광을 조사하는 노광계(2)를 구비하고 있다. 도 2는, 기판(S)이 올려진 상태의 테이블(1)의 평면 개략도로 되어 있다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a front schematic cross-sectional view of an exposure apparatus for a printed board according to an embodiment, and Fig. 2 is a schematic plan view of main parts of an exposure apparatus for a printed board shown in Fig. The exposure apparatus for a printed-circuit board according to the embodiment includes a table 1 on which a substrate S is placed, an exposure system for irradiating exposure light for forming a pattern of a circuit or the like on the substrate S placed on the table 1 (2). 2 is a schematic plan view of the table 1 with the substrate S placed thereon.

테이블(1)은, 도 2에 나타내는 바와 같이 평면에서 볼 때 방형의 마운트 형상의 부재이다. 테이블(1)의 수평한 상면이 기판(S)의 재치면으로 되어 있고, 재치면에는, 흡착구멍(11)이 균등 간격으로 다수 설치되어 있다. 그리고, 각 흡착구멍(11)을 통해 진공 흡인함으로써 기판(S)을 테이블(1)에 흡착하는 진공 흡착 기구(3)가 설치되어 있다. 테이블(1)에는, 배기관(이하, 기판용 배기관)(31)이 접속되어 있고, 기판용 배기관(31)은, 테이블(1) 내에 설치된 기판용 배기로(12)에 의해서 각 흡착구멍(11)에 연통하고 있다. 기판용 배기관(31) 상에는, 개폐 밸브(32)나 압력 조정 밸브(33)가 설치되어 있다.As shown in Fig. 2, the table 1 is a square mount-shaped member when seen in a plan view. A horizontal upper surface of the table 1 is a mounting surface of the substrate S, and a plurality of suction holes 11 are provided at equal intervals on the mounting surface. A vacuum adsorption mechanism 3 for adsorbing the substrate S to the table 1 by vacuum suction through each of the suction holes 11 is provided. The exhaust pipe 31 for the substrate is connected to the table 1 by the exhaust passage 12 for the substrate provided in the table 1 so that each of the suction holes 11 ). On the exhaust pipe 31 for the substrate, an open / close valve 32 and a pressure control valve 33 are provided.

테이블(1)의 양측에는, 반송 컨베이어(41, 42)가 설치되어 있다. 반송 컨베이어(41, 42)는, 테이블(1)에 대한 기판(S)의 반입, 반출용이며, 어느 측을 반입용, 반출용으로 해도 된다. 이하, 설명의 편의상, 우측의 반송 컨베이어(41)를 제1 반송 컨베이어로 하고, 좌측의 반송 컨베이어(42)를 제2 반송 컨베이어로 한다.On both sides of the table 1, conveying conveyors 41 and 42 are provided. The conveying conveyors 41 and 42 are used for carrying in and carrying out the substrate S with respect to the table 1 and either side may be used for carrying in or carrying out. Hereinafter, for convenience of explanation, the right conveying conveyor 41 is referred to as a first conveying conveyor, and the left conveying conveyor 42 is referred to as a second conveying conveyor.

각 반송 컨베이어(41, 42)에 협동하여 동작하는 것으로서, 테이블(1)의 양측에는 반송 핸드(51, 52)가 설치되어 있다. 반송 핸드(51, 52)에 대해서도, 어느 것을 반입측, 어느 것을 반출측으로 해도 된다. 이하, 설명의 편의상, 우측의 반송 핸드(51)를 제1 반송 핸드로 하고, 좌측의 반송 핸드(52)를 제2 반송 핸드로 한다.Each of the conveying conveyors 41 and 42 is operated in cooperation with each other. On both sides of the table 1, conveying hands 51 and 52 are provided. As for the conveyance hands 51 and 52, any one may be the carry-in side or the carry-out side. Hereinafter, for convenience of explanation, the right hand 51 and the left hand 52 are used as a first hand and a second hand, respectively.

각 반송 핸드(51, 52)는, 프레임(511, 521)과, 프레임(511, 521)에 부착된 기판용 흡착 패드(512, 522)를 구비하고 있다. 각 프레임(511, 521)에는, 반송 구동 기구(513, 523)가 설치되어 있다. 반송 구동 기구(513, 523)의 상세는 도시를 생략하지만, 프레임(511, 521)을 반송 방향(도 1의 지면상 좌우 방향)으로 직선 이동시켜 소정 위치에 위치시킴과 더불어 상하 방향으로 이동시킬 수 있는 기구로 되어 있다. 장치는 도시하지 않은 제어부를 구비하고 있고, 각 반송 구동 기구(513, 523)는, 도시하지 않은 제어부에 의해 제어된다. Each of the transport hands 51 and 52 includes frames 511 and 521 and substrate suction pads 512 and 522 attached to the frames 511 and 521. [ Each of the frames 511 and 521 is provided with conveyance drive mechanisms 513 and 523. The details of the conveyance drive mechanisms 513 and 523 are not shown, but the frames 511 and 521 may be linearly moved in the conveying direction (left-right direction on the sheet of FIG. 1) and positioned at a predetermined position, It is made possible. The apparatus is provided with a control unit (not shown), and each of the conveyance drive mechanisms 513 and 523 is controlled by a control unit (not shown).

기판용 흡착 패드(512, 522)는, 기판(S)의 주연을 따라서 다수 설치되어 있다. 각 기판용 흡착 패드(512, 522)에는, 도시하지 않은 기판용 흡인원이 접속되어 있다. 기판용 흡인원의 온 오프도, 마찬가지로 도시하지 않은 제어부에 의해서 제어된다.A plurality of substrate-use adsorption pads 512 and 522 are provided along the periphery of the substrate S. A sucking source for a substrate (not shown) is connected to the adsorption pads 512 and 522 for each substrate. The ON / OFF state of the suction source for the substrate is likewise controlled by a control unit (not shown).

노광계(2)는, 테이블(1)의 상방에 배치되어 있다. 실시 형태의 노광 장치는, 특별히 노광의 방식을 선택하지 않는 것이며, 투영 노광, 컨택트 또는 근접 노광, 또한 DI(다이렉트 이미징) 노광 중 어느 방식도 채용할 수 있다. 예를 들면 투영 노광의 경우, 노광계(2)는, 광원과, 광원으로부터의 광이 조사되는 마스크와, 마스크의 상을 테이블(1) 상의 투영하는 투영 렌즈 등으로 구성된다. DI 노광의 경우에는, 레이저 광원과, 레이저 광원으로부터의 광을 공간 변조하여 패턴을 형성하는 DMD(Digital Mirror Device)와 같은 공간 변조 소자를 구비한 노광 유닛이 복수 설치된 구성이 채용된다.The exposure system 2 is disposed above the table 1. The exposure apparatus of the embodiment does not select a method of exposure particularly, and any of projection exposure, contact or near exposure, and DI (direct imaging) exposure can be employed. For example, in the case of projection exposure, the exposure system 2 is composed of a light source, a mask to which light from a light source is irradiated, a projection lens to project an image of the mask onto the table 1, and the like. In the case of the DI exposure, a configuration in which a plurality of exposure units each including a laser light source and a spatial modulation element such as a DMD (Digital Mirror Device) that forms a pattern by spatially modulating the light from the laser light source is adopted.

이러한 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치는, 진공 흡착 기구에 의한 기판(S)의 흡착을 확실히 하기 위해, 테이블(1)에 올려진 기판(S)의 주변부를 테이블(1)에 누르는 누름 기구(6)를 구비하고 있다. 누름 기구(6)는, 프레임체(61)와, 사이에 기판(S)의 주변부가 끼워 넣어진 상태로 프레임체(61)를 테이블(1)을 향해서 압압함으로써 기판(S)의 주변부를 테이블(1)에 누르는 구동부를 구비하고 있다. 또, 프레임체(61)를, 기판(S)의 주변부를 끼워 넣은 상태로 테이블(1)에 누르는 위치인 동작 위치와, 소정의 대기 위치의 사이에서 반복 이동시키는 프레임체 이동 기구가 설치되어 있다. 프레임체 이동 기구에는, 이 실시 형태에서는, 기판(S)의 반입 반출용의 제1 반송 핸드(51)와 그 반송 구동 기구(513)가 겸용되고 있다.The exposure apparatus for a printed-circuit board according to this embodiment includes a pressing mechanism (not shown) for pressing the periphery of the substrate S, which is placed on the table 1, against the table 1 in order to secure the adsorption of the substrate S by the vacuum adsorption mechanism 6). The pressing mechanism 6 presses the periphery of the substrate S against the table 1 by pressing the frame body 61 toward the table 1 with the frame body 61 and the periphery of the substrate S sandwiched therebetween, (Not shown). There is also provided a frame body moving mechanism for repeatedly moving the frame body 61 between an operation position in which the peripheral portion of the substrate S is sandwiched and an operation position in which the frame body 61 is pressed against the table 1 and a predetermined standby position . In the frame body moving mechanism, in this embodiment, the first conveyance hand 51 for carrying in and carrying out the substrate S and its conveyance drive mechanism 513 are also used.

도 3을 참조하여, 프레임체(61)에 대해 보다 구체적으로 설명한다. 도 3은, 프레임체(61)의 사시 개략도이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 프레임체(61)는, 방형의 액자 형상이다. 프레임체(61)의 내연의 사이즈는, 기판(S)의 윤곽보다 조금 작다. 내연의 마주보는 변에는, 거의 반원 형상의 절결(611)이 다수 설치되어 있다. 이 절결(611)은, 기판용 흡착 패드(512)와의 간섭을 피하기 위한 형상이다.With reference to Fig. 3, the frame body 61 will be described in more detail. 3 is a perspective view schematically showing the frame body 61. Fig. As shown in Fig. 3, the frame body 61 has a rectangular frame-like shape. The size of the inner edge of the frame body 61 is slightly smaller than the contour of the substrate S. On the opposite sides of the internal combustion, a plurality of semi-circular cutouts 611 are provided. The notch 611 is a shape for avoiding interference with the substrate-use adsorption pad 512.

도 1에 나타내는 바와 같이, 제1 반송 핸드(51)에는, 복수의 프레임체용 흡착 패드(514)가 설치되어 있다. 각 프레임체용 흡착 패드(514)는, 프레임체(61)를 외연으로부터의 위치에서 흡착하는 위치에 설치되어 있다. 각 프레임체용 흡착 패드(514)에는, 도시하지 않은 프레임체용 흡착원이 접속되어 있다 .As shown in Fig. 1, a plurality of frame adsorption pads 514 are provided in the first conveyance hand 51. As shown in Fig. Each frame adsorption pad 514 is provided at a position where the frame body 61 is adsorbed at the position from the outer edge. A not shown adsorbent for a frame body is connected to each frame adsorbing pad 514.

프레임체(61)는, 테이블(1)에 올려진 기판(S)을 벗어난 위치에서 폐공간을 형성하는 구조를 갖고 있다. 구체적으로 설명하면, 프레임체(61)의 하면(테이블(1) 측을 향한 면)에는, 탄성을 갖는 주상 시일링 부재(62)가 설치되어 있다. 주상 시일링 부재(62)는, 기판(S)을 벗어난 위치에서 테이블(1)에 맞닿는 위치에 설치되어 있다.The frame body 61 has a structure for forming a closed space at a position deviated from the substrate S placed on the table 1. More specifically, a columnar sealing member 62 having elasticity is provided on the lower surface (the surface facing the table 1 side) of the frame body 61. The columnar sealing member 62 is provided at a position where it abuts the table 1 at a position away from the substrate S.

주상 시일링 부재(62)는, 본 실시 형태에서는, 튜브 형상의 것으로 되어 있고, 재질로서는 실리콘 고무와 같은 수지제로 되어 있다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 주상 시일링 부재(62)는, 거의 방형으로 되어 있고, 사이즈가 작은 것 큰 것이 동심 상에 설치되어 있다. 각 주상 시일링 부재(62)의 형상은, 프레임체(61)의 내연의 형상과 거의 상사형이며, 기판(S)의 윤곽과 거의 상사형이다.In the present embodiment, the columnar sealing member 62 has a tube shape and is made of a resin such as silicone rubber. As shown in Fig. 2, the columnar sealing member 62 is formed in a substantially square shape, and the larger and smaller columnar sealing members 62 are provided concentrically. The shape of each of the columnar sealing members 62 is almost the same as the shape of the inner periphery of the frame body 61 and is almost a top shape with the contour of the substrate S.

이러한 대소 한 쌍의 주상 시일링 부재(62)는, 서로의 사이의 공간이 폐공간이 되고, 진공 압력이 되도록 되어 있다. 즉, 프레임체(61)는, 후술하는 바와 같이 테이블(1)에 대해서 기판(S)을 끼워 넣은 상태로 압압된다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 테이블(1) 중, 프레임체(61)를 향하는 개소에는, 프레임체용 배기구멍(13)이 형성되어 있다. 프레임체(61)의 구동부는, 이 프레임체용 배기구멍(13)으로부터 진공 흡인하는 수단으로 되어 있다. 프레임체용 배기구멍(13)은, 기판용의 흡착구멍(11)과는 다른 계통의 프레임체용 배기로(14)로 배기되도록 되어 있고, 한 쌍의 주상 시일링 부재(62)와, 프레임체(61)와, 테이블(1)로 형성된 폐공간이 진공으로 배기된다. 폐공간이란, 흡인용의 개구를 제외하고 닫은 공간이라는 의미이다. 또한, 프레임체용 배기로(14)에 접속된 프레임체용 배기관(63)은, 최종적으로는 기판용 배기관(31)과 하나로 되어 도시하지 않은 진공 펌프에 접속되어 있지만, 거기까지는 다른 배기관으로 되어 있고, 프레임체용 배기관(63)에도 개폐 밸브(64) 및 압력 조정 밸브(65)가 설치되어 있다.The space between the pair of the columnar sealing members 62 becomes a closed space, and the vacuum pressure is set. That is, the frame body 61 is pressed with the substrate S sandwiched between the table 1 as described later. As shown in Fig. 1, a frame body exhaust hole 13 is formed in a portion of the table 1 facing the frame body 61. As shown in Fig. The driving portion of the frame body 61 serves as a means for vacuum suction from the exhaust hole 13 for the frame body. The exhaust port 13 for the frame is exhausted to the exhaust passage 14 for the frame different from the suction port 11 for the substrate and includes a pair of columnar sealing members 62, 61 and the waste space formed by the table 1 are evacuated to a vacuum. The term " closed space " means a closed space excluding the opening for suction. The frame exhaust pipe 63 connected to the frame exhaust path 14 is finally connected to the exhaust pipe 31 for the substrate and connected to a vacuum pump not shown, The frame exhaust pipe 63 is also provided with an opening / closing valve 64 and a pressure regulating valve 65.

또, 테이블(1)에는, 승강 기구(100)가 설치되어 있다. 승강 기구(100)는, 기판(S)의 수수시에 구동되는 외, 노광계(2)에 대한 기판(S)의 거리의 조절의 목적으로도 사용된다. 승강 기구(100)는, 써보모터를 포함하는 직동 기구로 구성되어 있고, 제어부에 의해 제어된다.Further, the table 1 is provided with a lifting mechanism 100. The lifting mechanism 100 is driven at the time of removal of the substrate S and is also used for the purpose of adjusting the distance of the substrate S with respect to the exposure system 2. The lifting mechanism 100 is constituted by a linear mechanism including a servo motor, and is controlled by a control unit.

다음에, 이러한 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치의 동작에 대해서, 도 4~도 7을 참조하여 설명한다. 도 4~도 6은, 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치의 동작에 대해 나타낸 정면 단면 개략도이다.Next, the operation of the exposure apparatus for a printed-circuit board according to this embodiment will be described with reference to Figs. 4 to 7. Fig. Figs. 4 to 6 are front sectional schematic views showing the operation of the exposure apparatus for a printed-circuit board according to the embodiment. Fig.

이하의 설명에서는, 일례로서 제1 반송 컨베이어(41) 및 제1 반송 핸드(51)가 반입용, 제2 반송 컨베이어(42) 및 제2 반송 핸드(52)가 반출용이라고 한다. 또, 일례로서 프레임체(61)의 이동에는 제1 반송 핸드(51)가 겸용되는 것으로 한다.In the following description, it is assumed that the first conveying conveyor 41 and the first conveying hand 51 are for carry-in, and the second conveying conveyor 42 and the second conveying hand 52 are for carrying-out. As an example, it is assumed that the first conveyance hand 51 is also used for the movement of the frame body 61.

도 4(1)에 나타내는 바와 같이, 제1 반송 핸드(51)는, 프레임체(61)를 유지한 상태로 제1 반송 컨베이어(41) 상의 소정의 대기 위치에서 대기하고 있다. 또, 제2 반송 핸드(52)는, 제2 반송 컨베이어(42) 상의 소정의 대기 위치에서 대기하고 있다.As shown in Fig. 4 (1), the first conveying hand 51 stands by at a predetermined standby position on the first conveying conveyor 41 while holding the frame body 61 therebetween. The second conveyance hand 52 stands by at a predetermined standby position on the second conveyance conveyor 42. [

우선, 제1 반송 핸드(51)가 기판(S)의 반입 동작을 행한다. 즉, 도 4(2)에 나타내는 바와 같이, 제1 반송 핸드(51)가 하강한다. 이때의 하강 거리는, 각 기판용 흡착 패드(512)가 기판(S)에 맞닿는 위치이다. 하강이 완료하면, 제1 반송 핸드(51)의 기판용 흡인원이 동작하고, 제1 반송 컨베이어(41) 상의 기판(S)이 제1 반송 핸드(51)에 흡착 유지된다. 이 상태로, 도 4(3)에 나타내는 바와 같이 반송 구동 기구(513)가 제1 반송 핸드(51)를 상승시킨다. 제1 반송 핸드(51)는, 기판(S) 및 프레임체(61)를 유지한 상태로 소정의 상승 위치에서 정지한다 .First, the first transfer hand 51 performs the carrying-in operation of the substrate S. That is, as shown in Fig. 4 (2), the first carrying hand 51 is lowered. The descending distance at this time is a position where the adsorption pad 512 for each substrate abuts against the substrate S. The suction source for the substrate of the first conveyance hand 51 operates and the substrate S on the first conveyance conveyor 41 is sucked and held by the first conveyance hand 51. [ In this state, the conveyance drive mechanism 513 raises the first conveyance hand 51 as shown in Fig. 4 (3). The first transfer hand 51 stops at a predetermined elevated position with the substrate S and the frame body 61 held.

그리고, 도 4(4)에 나타내는 바와 같이, 반송 구동 기구(513)가 제1 반송 핸드(51)를 수평 이동시키고, 테이블(1)의 상방의 소정 위치에 위치시킨다. 그리고, 승강 기구(100)가 동작하고, 테이블(1)이 소정 거리 상승한다. 이 거리는, 도 5(1)에 나타내는 바와 같이, 기판(S)이 테이블(1)의 상면(재치면)에 맞닿고, 프레임체(61)의 각 주상 시일링 부재(62)도 테이블(1)에 맞닿는 거리이다.4 (4), the conveyance drive mechanism 513 horizontally moves the first conveyance hand 51 and places it at a predetermined position above the table 1. Then, as shown in Fig. Then, the lifting mechanism 100 operates, and the table 1 is raised a predetermined distance. 5 (1), the substrate S is brought into contact with the upper surface (placement surface) of the table 1, and each of the columnar sealing members 62 of the frame body 61 is also brought into contact with the table 1 ).

그 후, 제어부는, 제1 반송 핸드(51)에 있어서의 기판용 흡착원(512) 및 프레임체용 흡착원에 제어 신호를 보내고, 각각 동작을 정지시킨다. 그 위에, 제어부는, 진공 흡착 기구(3)에 있어서의 기판용 배기관(31) 상의 개폐 밸브(32), 프레임체용 배기관(63) 상의 개폐 밸브(64)에 제어 신호를 보내고, 각각 개방 상태로 한다. 이 결과, 기판용 흡착구멍(11)으로부터의 진공 흡인에 의해서 기판(S)이 진공 흡착된다. 또, 한 쌍의 주상 시일링 부재(62)로 형성되는 폐공간은, 프레임체용 배기구멍(13)으로부터의 진공 흡인에 의해 진공 압력이 된다. 이 결과, 프레임체(61)가 사이에 기판(S)의 주변부를 끼워 넣은 상태로 테이블(1)을 향해서 압압된다. 즉, 프레임체(61)는, 내측의 가장자리가 하방으로 절곡된 단면 형상으로 되어 있고, 이 절곡된 부분의 선단이 기판(S)의 주변부에 맞닿고, 상기 주변부를 테이블(1)에 누르는 상태가 된다. 또, 이때, 탄성체인 주상 시일링 부재(62)는, 조금 찌그러진 듯한 상태가 된다.Thereafter, the control unit sends control signals to the substrate suction source 512 and the frame suction source in the first transfer hand 51, and stops the operation. The control unit sends a control signal to the open / close valve 32 on the exhaust pipe 31 for the substrate and the open / close valve 64 on the frame exhaust pipe 63 in the vacuum adsorption mechanism 3, do. As a result, the substrate S is vacuum-adsorbed by the vacuum suction from the suction holes 11 for the substrate. The closed space formed by the pair of columnar sealing members 62 becomes a vacuum pressure by vacuum suction from the exhaust hole 13 for the frame body. As a result, the frame body 61 is pressed toward the table 1 while sandwiching the peripheral portion of the substrate S therebetween. That is, the frame body 61 has a sectional shape in which the inner edge is bent downward, and the tip end of the bent portion is in contact with the peripheral portion of the substrate S, and the peripheral portion is pressed against the table 1 . At this time, the columnar sealing member 62, which is an elastic body, is in a state of being slightly distorted.

제어부는, 상기 각 흡착 패드에 의한 흡착의 해제, 기판(S)의 진공 흡착 및 프레임체(61)의 흡인과 동시에, 승강 기구(100)에 제어 신호를 보내 소정 거리 하강시킨다. 이 결과, 테이블(1)은, 도 5(2)에 나타내는 바와 같이 당초의 높이로 되돌아간다. 이 높이는, 설정된 노광 거리가 되는 높이이다. 또한, 반송 구동 기구(513)는, 제1 반송 핸드(51)를 당초의 대기 위치까지 되돌린다. 이 상태로, 도 5(3)에 나타내는 바와 같이, 노광계(2)가 동작하고, 테이블(1) 상의 기판(S)에 대해서 소정의 패턴의 광이 조사되어 노광이 행해진다. The control unit sends a control signal to the lifting mechanism (100) at the same time as releasing the adsorption by each of the adsorption pads, vacuum suction of the substrate (S) and suction of the frame body (61). As a result, the table 1 is returned to its original height as shown in Fig. 5 (2). This height is a height at which the exposure distance is set. Further, the conveyance drive mechanism 513 returns the first conveyance hand 51 to the original standby position. In this state, as shown in Fig. 5 (3), the exposure system 2 operates, and the substrate S on the table 1 is irradiated with light of a predetermined pattern to perform exposure.

소정 시간의 노광이 종료하면, 도 5(4)에 나타내는 바와 같이, 제어부는, 반송 구동 기구(513)에 제어 신호를 보내고, 대기 위치에 있던 제1 반송 핸드(51)를 테이블(1)의 상방의 소정 위치까지 이동시킨 후, 소정 거리 하강시키고, 제1 반송 핸드(51)의 프레임체용 흡착 패드(514)가 프레임체(61)에 맞닿은 상태로 한다.5 (4), the control unit sends a control signal to the conveyance drive mechanism 513 to move the first conveyance hand 51 at the standby position to the first conveyance position of the table 1 The suction pad 514 for the frame body of the first conveyance hand 51 is brought into contact with the frame body 61. In this state,

제1 반송 핸드(51)가 이 위치까지 하강한 후, 제어부는, 제1 반송 핸드(51)의 프레임체용 흡착원을 동작시킨다. 기판용 흡착원이 동작되지 않고, 기판(S)은 제1 반송 핸드(51)에는 흡착되지 않는다. 프레임체용 흡착원의 동작과 동시에, 제어부는, 프레임체용 배기관(63) 상의 개폐 밸브(64)를 닫고, 도시하지 않은 대기 개방 밸브를 개방한다. 이 결과, 한 쌍의 주상 시일링 부재(62)에 의한 폐공간 내의 압력이 대기압으로 돌아가고, 프레임체(61)에 의한 기판(S)의 주변부에의 누름은 해제된다. 또한, 기판용 배기관(31)의 개폐 밸브(32)가 개방된 채이며, 기판(S)의 진공 흡착은 해제되지 않는다.After the first conveyance hand 51 is lowered to this position, the control section causes the suction source for the frame body of the first conveyance hand 51 to operate. The substrate suction source is not operated and the substrate S is not adsorbed to the first transfer hand 51. [ Simultaneously with the operation of the adsorption source for the frame body, the control unit closes the on-off valve 64 on the frame exhaust pipe 63 and opens an atmospheric release valve (not shown). As a result, the pressure in the closed space by the pair of columnar sealing members 62 returns to the atmospheric pressure, and pressing of the frame body 61 to the peripheral portion of the substrate S is released. Further, the open / close valve 32 of the exhaust pipe for the substrate 31 remains open, and the vacuum suction of the substrate S is not released.

이 상태로, 제어부는, 반송 구동 기구(513)에 제어 신호를 보내고, 제1 반송 핸드(51)를 상승시키고, 그 후, 수평 이동시켜, 도 6(1)에 나타내는 바와 같이 당초의 대기 위치로 되돌린다. 제1 반송 핸드(51)는, 대기 위치에 있어서, 프레임체(61)를 흡착 유지한 상태를 유지한다.In this state, the control unit sends a control signal to the conveyance drive mechanism 513, raises the first conveyance hand 51, and then horizontally moves the conveyance drive mechanism 513 to the original standby position . The first transfer hand 51 maintains the state in which the frame body 61 is sucked and held at the standby position.

그 후, 제어부는, 반송 구동 기구(523)에 제어 신호를 보내고, 제2 반송 핸드(52)를 테이블(1)의 상방의 소정 위치까지 이동시킨 후에 소정 거리 하강시키고, 도 6(2)에 나타내는 바와 같이, 제2 반송 핸드(52)의 기판용 흡착 패드(522)가 기판(S)에 맞닿은 상태로 한다. 이 상태로, 제어부는, 제2 반송 핸드(52)의 기판용 흡착원을 동작시켜 기판(S)을 흡착시킨다. 그리고, 제어부는, 기판용 배기관(31)의 개폐 밸브(32)를 폐쇄하여 흡착구멍(11)을 대기에 해방하고, 테이블(1) 상에서의 기판(S)의 진공 흡착을 해제한다. 이로 인해, 기판(S)의 진공 흡착은, 테이블(1)로부터 제2 반송 핸드(52)로 전환된다. 이때, 기판용 배기관(31)을 통해 흡착구멍(11)에 순간적으로 정압을 부여하여 진공 압력으로부터의 대기압 복귀를 촉진하기도 한다. 그리고, 반송 구동 기구(523)는, 제2 반송 핸드(52)를 상승시킨 후, 수평 이동시켜, 도 6(3)에 나타내는 바와 같이, 당초의 대기 위치로 되돌린다. 그 후, 반송 구동 기구(523)는, 제2 반송 핸드(52)를 소정 거리 하강시키고, 도 6(4)에 나타내는 바와 같이 기판(S)이 제2 반송 컨베이어(42)에 실린 상태로 한다. 그리고, 제어부는, 제2 반송 핸드(52)의 기판용 흡착원의 동작을 정지시킨 후, 제2 반송 핸드(52)를 상승시켜 대기 위치로 되돌린다.Thereafter, the control unit sends a control signal to the conveyance drive mechanism 523 to move the second conveyance hand 52 to a predetermined position above the table 1, then lower the conveyance distance by a predetermined distance, The adsorption pad 522 for the substrate of the second transfer hand 52 is brought into contact with the substrate S as shown in FIG. In this state, the control section operates the substrate suction source of the second transfer hand 52 to suck the substrate S. The control unit closes the on-off valve 32 of the substrate exhaust pipe 31 to release the adsorption hole 11 to the atmosphere and release the vacuum suction of the substrate S on the table 1. [ As a result, the vacuum suction of the substrate S is switched from the table 1 to the second delivery hand 52. At this time, a static pressure is instantaneously applied to the suction holes 11 through the exhaust pipe 31 for the substrate to promote return to the atmospheric pressure from the vacuum pressure. Then, the conveyance drive mechanism 523 moves the second conveyance hand 52 upward, horizontally moves it back to its original standby position as shown in Fig. 6 (3). Thereafter, the conveyance drive mechanism 523 causes the second conveyance hand 52 to descend a predetermined distance, and the substrate S is placed on the second conveyance conveyor 42 as shown in Fig. 6 (4) . Then, after the operation of the suction source for the substrate of the second transfer hand 52 is stopped, the control unit moves up the second transfer hand 52 to return to the standby position.

이로 인해, 한 장의 기판(S)에 대한 일련의 처리가 종료한 상태가 된다. 제2 반송 컨베이어(42)는, 처리가 끝난 기판(S)을 다음의 공정에 반송하는 동작을 행함과 더불어, 제1 반송 컨베이어(41)에는, 다음의 기판(S)이 반입되어 온다. 그리고, 다음의 기판(S)에 대해서 같은 동작이 반복된다. 또한, 상기 설명으로부터 알 수 있듯이, 프레임체(61)는, 제1 반송 핸드(51)의 대기 위치와, 테이블(1) 상에서 기판(S)의 주변부를 테이블(1)에 누르는 위치의 사이에서 왕복 이동을 행하면서, 반복 기판(S)의 노광 처리에 이용된다.As a result, a series of processes for one substrate S is completed. The second conveying conveyor 42 carries out the operation of conveying the processed substrate S to the next step and the next substrate S is conveyed to the first conveying conveyor 41. Then, the same operation is repeated for the next substrate S. As can be seen from the above description, the frame body 61 is arranged between the standby position of the first transfer hand 51 and the position where the peripheral portion of the substrate S on the table 1 is pressed against the table 1 And is used for exposure processing of the repeated substrate S while reciprocating.

상기 설명으로부터 알 수 있듯이, 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치에 의하면, 노광시, 기판(S)은 테이블(1)에 진공 흡착됨과 더불어, 기판(S)의 주변부는 프레임체(61)에 의해 테이블(1)에 눌린다. 이때, 프레임체(61)는, 한 쌍의 주상 시일링 부재(62)에 의해서 형성되는 폐공간의 진공 압력에 의해 테이블(1)을 향하는 힘이 더해진다. 이 때문에, 압압력의 조정이 용이하다. 즉, 프레임체용 배기관(63)에 설치된 압력 조정 밸브(65)에 의해 적절한 압력으로 하는 것이 용이하다. 경우에 따라서는, 제어부에 의해 압력을 자동 제어할 수도 있다.As can be seen from the above description, in the exposure apparatus for a printed-circuit board according to the embodiment, the substrate S is vacuum-adsorbed onto the table 1 at the time of exposure, and the periphery of the substrate S is held by the frame body 61 Press on the table (1). At this time, in the frame body 61, the force directed toward the table 1 is added by the vacuum pressure of the closed space formed by the pair of columnar sealing members 62. [ Therefore, adjustment of the pressing force is easy. That is, it is easy to set the pressure appropriately by the pressure regulating valve 65 provided in the frame exhaust pipe 63. In some cases, the pressure may be automatically controlled by the control unit.

또, 도 1 등에 나타내는 바와 같이, 프레임체(61)의 테이블(1)을 향한 압압을 위한 진공 압력의 공간은, 기판(S)이 위치하는 공간으로부터 격절된 공간이며, 여기서의 진공 압력에 기판(S)이 직접 노출되는 일은 없다. 따라서, 기판(S)의 보호 필름의 박리나 기포 발생과 같은 문제는, 이 실시 형태에서는 생기지 않는다.1 and the like, the space of the vacuum pressure for pressing the frame body 61 toward the table 1 is a space which is isolated from the space where the substrate S is located, (S) is not directly exposed. Therefore, problems such as separation of the protective film of the substrate S and generation of bubbles do not occur in this embodiment.

또, 탄성을 갖는 주상 시일링 부재(62)로 폐공간이 형성되므로, 기판(S)에 대한 압압력의 작용의 방법이 유연해진다. 탄성 부재가 아닌 것으로 폐공간을 형성하여 진공 배기하는 구조여도, 프레임체(61)를 누르는 정도의 압력을 생기게 할 수 있지만, 실시 형태의 구조에서는, 압압력을 소프트하게 더할 수 있다.Further, since the closed space is formed by the columnar sealing member 62 having elasticity, the method of the action of the pressing force against the substrate S becomes flexible. A pressure enough to press the frame body 61 can be generated even if it is a non-elastic member and a vacuum space is formed by forming a closed space. However, in the structure of the embodiment, pressing pressure can be softly added.

또, 이 실시 형태에서는, 한 쌍의 주상 시일링 부재(62)는 튜브 형상으로 되어 있다. 이 점은, 압압시의 압력의 조정을 용이하게 하는 의의가 있고, 또 두께가 다른 기판(S)에 대해서도 용이하게 압압할 수 있도록 하는 의의가 있다. 주상 시일링 부재(62)로서는, 선 형상 또는 끈 형상의 탄성체로 튜브 형상이 아닌 것(안이 메워진 것)이어도 된다. 예를 들면, 고무 끈 형상의 것이나 스펀지 형상의 것을 사용할 수도 있다. 그러나, 상기와 같이, 주상 시일링 부재(62)는, 진공 배기에 의해 압축되면서 시일링 상태를 유지함과 더불어, 진공 압력에 의한 프레임체(61)의 기판(S)에의 누름 압력에 저항하여 탄성을 작용시켜 누름 압력을 조절하는 기능을 갖는다. 기판(S)의 두께가 두꺼워지면, 주상 시일링 부재(62)의 단면적이 큰(단면의 높이가 높은) 것을 이용하게 되지만, 반대로 얇은 기판(S)에 대해서 압압을 행하고자 하면, 프레임체(61)가 기판(S)의 주변부에 맞닿기 위해서는 상당한 압축을 하지 않으면 안되게 되고, 프레임체(61)가 기판(S)의 주변부에 맞닿을 수 없거나, 맞닿을 수 있어도 탄성에 의한 반발력이 과잉이 되어 버리거나 하는 문제가 생긴다. 이 때문에, 기판(S)의 두께에 따라 주상 시일링 부재(62)를 바꿔 붙일 필요가 생긴다. 한편, 튜브 형상의 것이면, 두꺼운 기판(S)에 따른 구경으로 해두어도, 두꺼운 기판(S)으로부터 얇은 기판(S)까지 비교적 균일한 반발력을 작용시키면서 압축된다. 이 때문에, 두께가 다른 기판(S)에 대해서도 교환이 필요없이 사용할 수 있다.In this embodiment, the pair of columnar sealing members 62 are formed in a tube shape. This point makes it easy to adjust the pressure at the time of pressing, and it is significant that it is possible to easily press the substrate S having a different thickness. The columnar sealing member 62 may be a linear or string-like elastic body that is not in the form of a tube (it is filled with an opening). For example, a rubber string or a sponge may be used. However, as described above, the columnar sealing member 62 is maintained in the sealing state while being compressed by the vacuum exhaust, and is elastically deformed against the pressing pressure of the frame body 61 against the substrate S by the vacuum pressure So as to adjust the pressing pressure. The sectional shape of the columnar sealing member 62 is large (the height of the cross section is high) if the thickness of the substrate S is increased. On the contrary, if pressing is performed on the thin substrate S, The frame body 61 can not be brought into contact with the peripheral portion of the substrate S or an excessive repulsive force due to elasticity can not be obtained even if the frame body 61 can come into contact with the peripheral portion of the substrate S. [ Or the like. For this reason, it is necessary to replace the columnar sealing member 62 in accordance with the thickness of the substrate S. On the other hand, in the case of the tube-shaped one, even if the diameter is made to correspond to the thickness of the thick substrate S, it is compressed while applying a relatively uniform repulsive force from the thick substrate S to the thin substrate S. Therefore, the substrate S having a different thickness can be used without any replacement.

또한, 주상 시일링 부재(62)는, 한 쌍의 것이 아닌 경우도 있을 수 있다. 예를 들면, 단면이 오목 형상의 것으로 되어 있어 주상으로 늘어서 있는 형상의 것 1개를 사용해도 같은 것을 행할 수 있다.Also, the columnar sealing members 62 may not be a pair. For example, the same cross-sectional shape can be used by using one having a concave shape and lined up in a columnar form.

또, 프레임체 이동 기구가 설치되어 있으므로, 테이블(1)에의 기판(S)의 재치나 테이블(1)로부터의 기판(S)의 제거시에 프레임체(61)를 퇴피시킬 수 있다. 프레임체(61)의 위치가 고정인 경우에는, 테이블(1)을 일단 하방으로 이동시키고 나서 횡방향으로 이동시키는 등의 대규모인 테이블(1)의 이동 기구가 필요하게 되지만, 실시 형태의 구성에서는 이러한 일은 필요없기 때문에, 기구적으로 간략화되어 있다.Further, since the frame body moving mechanism is provided, the frame body 61 can be retracted when the substrate S is placed on the table 1 or when the substrate S is removed from the table 1. [ When the position of the frame body 61 is fixed, a large-scale moving mechanism of the table 1 is required, such as moving the table 1 downward once and then moving it in the lateral direction. However, in the configuration of the embodiment Since this is not necessary, it is mechanically simplified.

또한, 상기 설명으로부터 알 수 있듯이, 기판(S)을 흡착 유지하여 반송 동작을 행하는 핸드가 동시에 프레임체(61)를 흡착 유지하는 기능도 구비하고 있고, 기판(S)의 반송 기구에 의해 프레임체 이동 기구가 겸용되고 있다. 이 점도, 장치의 구조나 동작을 간략화하는 의의가 있다. 본원 발명의 실시에 있어서는, 기판(S)을 흡착 유지하는 핸드와는 다른 핸드로 프레임체(61)를 흡착 유지하여 상기 다른 핸드를 이동 기구로 이동시켜도 된다. 단, 이와 같이 하면 구조나 동작이 복잡해지고, 장치 코스트가 상승하거나 동작시간이 길게 걸리거나 하는 문제가 있다. 기판용의 핸드를 겸용하여 프레임체(61)의 흡착 유지를 행하는 구성이면, 이러한 문제는 없다.As can be seen from the above description, the hand for suctioning and holding the substrate S and performing the carrying operation also has a function of holding and holding the frame body 61 at the same time. A moving mechanism is commonly used. This viscosity has a significance to simplify the structure and operation of the device. In the practice of the present invention, the frame 61 may be attracted and held by a hand different from the hand for holding and holding the substrate S, and the other hand may be moved to the moving mechanism. However, this structure complicates the structure and operation, raises the device cost, and increases the operation time. There is no such a problem as long as the frame body 61 is configured to perform suction and holding by also using the hand for the substrate.

또, 반송 핸드가 프레임체(61)를 흡착 유지하면서 이동시키는 것인 점은, 기판(S)의 노광시에는 반송 핸드가 프레임체(61)를 분리하여 퇴피하는 것을 용이하게 하는 의의가 있다. 본원 발명의 실시에 있어서는, 프레임체(61)가 반송 핸드에 대해서 착탈되는 것이 아니라, 고정의 것이어도 된다. 단 이 경우는, 그러한 반송 핸드나 그 이동 기구가 기판(S)의 노광 중의 테이블(1)의 부근에 위치하게 되므로, 노광을 차폐하지 않도록 할 필요가 있고, 구조적으로 복잡해진다. 한편, 반송 핸드가 프레임체(61)를 흡착 유지하는 구조에서는, 반송 핸드는 흡착을 해제하여 임의의 위치로 퇴피할 수 있으므로, 구조적으로 간략해진다. The fact that the transfer hand moves the frame body 61 by suction while holding it has a significance that the transfer hand can easily separate and retract the frame body 61 when the substrate S is exposed. In the practice of the present invention, the frame body 61 is not detachable with respect to the delivery hand, but may be fixed. However, in such a case, since the carrying hand and the moving mechanism thereof are located near the table 1 during the exposure of the substrate S, it is necessary not to shield the exposure, which is structurally complicated. On the other hand, in the structure in which the transfer hand holds and holds the frame body 61, the transfer hand can be retracted to an arbitrary position by releasing the suction, so that it is structurally simplified.

상술한 실시 형태의 프린트 기판용 노광 장치에 있어서, 프레임체(61)는, 처리하는 기판(S)의 사이즈에 맞추어 적절히 교환된다. 이하, 이 점에 대해 도 7을 참조하여 설명한다. 도 7은, 기판(S)의 사이즈에 맞추어 준비되는 각 프레임체(61)의 일례에 대해 나타낸 사시 개략도이다.In the exposure apparatus for a printed-circuit board according to the above-described embodiment, the frame body 61 is appropriately exchanged in accordance with the size of the substrate S to be processed. Hereinafter, this point will be described with reference to Fig. 7 is a perspective view schematically showing an example of each frame body 61 prepared in accordance with the size of the substrate S. As shown in Fig.

도 7에 나타내는 바와 같이, 이 실시 형태에서는, 기판(S)의 각 사이즈에 맞추어 다른 프레임체(61)가 준비되지만, 각 프레임체(61)는, 외측의 윤곽은 같은 치수 형상이다. 그리고, 개구의 치수 형상이 다른 것으로 되어 있다. 즉, 개구는, 처리하는 기판(S)보다 조금 작은 치수 형상으로 되어 있다. 그리고, 각 프레임체(61)에 있어서, 개구가 마주보는 가장자리에는, 마찬가지로 절결(611)이 다수 설치되어 있다. 절결(611)은, 기판용 흡착 패드(512, 522)와의 간섭을 피하기 위한 절결(611)이다.As shown in Fig. 7, in this embodiment, another frame body 61 is prepared in accordance with each size of the substrate S, but the outline of each frame body 61 has the same dimensional shape. Further, the dimension of the opening is different. That is, the opening has a dimension smaller than that of the substrate S to be processed. In each frame 61, a plurality of notches 611 are similarly formed at the edges facing the openings. The notch 611 is a notch 611 for avoiding interference with the substrate-use adsorption pad 512, 522.

사이즈가 다른 기판(S)을 처리하는 경우, 그때까지 사용하고 있던 프레임체(61)를 유지하고 있는 제1 반송 핸드(51)를 소정 거리 하강시키고, 프레임체(61)를 제1 반송 컨베이어(41) 상에 두고 나서, 프레임체용 흡착원을 오프로 한다. 그리고, 제1 반송 컨베이어(41)를 상방으로 퇴피시키고 나서 프레임체(61)를 없애고, 사이즈가 다른 기판용의 프레임체(61)를 제1 반송 컨베이어(41) 상에 올린다. 그리고, 제1 반송 핸드(51)를 하강시키고, 프레임체용 흡착 패드(514)를 프레임체(61)에 맞닿게 하고 나서 프레임체용 흡착원을 동작시켜 흡착시킨다. 또한, 제1 반송 핸드(51)를 상승시키고, 대기 위치에서 대기시킨다.When the substrate S having a different size is processed, the first conveying hand 51 holding the frame body 61 that has been used up to that time is lowered a predetermined distance, and the frame body 61 is conveyed to the first conveying conveyor 41, and then the adsorption source for the frame body is turned off. Then, after the first conveying conveyor 41 is retracted upward, the frame body 61 is removed and the frame 61 for a substrate having a different size is placed on the first conveying conveyor 41. [ Then, the first transfer hand 51 is lowered, and the frame adsorption pad 514 is brought into contact with the frame body 61, and then the adsorption source for the frame body is operated and adsorbed. Further, the first transporting hand 51 is lifted and waits at the standby position.

또한, 상기 프레임체(61)의 교환시, 프레임체(61)의 흡착 유지 위치의 위치 맞춤이 적절히 행해진다. 예를 들면, 각 프레임체용 흡착 패드(514)의 흡착 위치를 나타내는 마크를 프레임체(61)의 상면에 설치해 두고, 이 마크를 표시로 하여 위치 맞춤을 하는 방법을 생각할 수 있다.Further, at the time of replacing the frame body 61, the suction holding position of the frame body 61 is appropriately aligned. For example, a method may be considered in which a mark indicative of the suction position of each frame adsorption pad 514 is provided on the upper surface of the frame body 61, and the mark is displayed as a mark.

또, 상기와 같이 다른 사이즈의 기판(S)을 처리하는 경우, 각 기판용 흡착 패드(512, 522)는 다른 위치에서 기판(S)을 흡착 유지하게 되기 때문에, 각 기판용 흡착 패드(512, 522)는 교환 내지 위치 변경된다. 예를 들면, 각 기판용 흡착 패드(512, 522)는 홀더에 부착되어 있고, 홀더마다 교환하는 구조를 생각할 수 있다. 홀더와 홀더에 고정된 각 기판용 흡착 패드(512, 522)가 유닛으로 되어 있고, 이 유닛을 각 반송 핸드에 대해서 교환하는 구조가 채용될 수 있다.When the substrates S having different sizes are processed as described above, the adsorption pads 512 and 522 for each substrate adsorb and hold the substrate S at different positions, 522 are exchanged or relocated. For example, the adsorption pads 512 and 522 for respective substrates are attached to a holder, and a structure for exchanging the adsorption pads 512 and 522 for each holder can be considered. A structure may be employed in which the suction pads 512 and 522 for each substrate fixed to the holder and the holder are units and the units are exchanged for the respective transfer hands.

또한, 프레임체(61)의 이동에 기판용의 반송 핸드가 겸용되고 있는 점은, 전술한 바와 같이 구조를 간략화하는 의의가 있지만, 이때, 도 3이나 도 7에 나타내는 절결(611)도, 구조를 복잡화시키지 않고 충분한 흡착력으로 기판(S)의 유지를 할 수 있도록 한 의의가 있다. 즉, 프레임체(61)는 기판(S)의 주변부를 누르는 것이므로, 개구의 가장자리는 기판(S)의 주변부보다 내측의 위치가 된다. 이때, 기판용 흡착 패드(512, 522)를 프레임체(61)의 이동에 겸용하는 구성에서는, 반송 핸드가 프레임체(61)를 흡착 유지하고 있는 상태로 기판용 흡착 패드(512, 522)가 기판(S)을 흡착 유지하는 동작이 아무래도 생기고, 기판용 흡착 패드(512, 522)는, 프레임체(61)의 개구를 통해 연장하여 기판(S)을 흡착하는 구조로 되지 않을 수 없다. 이 경우, 기판(S)의 회로 형성 부분에 있어서 흡착 유지를 행할 수는 없고, 주변의 마진 부분을 흡착 유지하기 때문에, 절결(611)이 없으면, 매우 작은 흡착 패드를 다수 설치하여 기판(S)을 흡착 유지하는 구조로 되지 않을 수 없다. 그러나, 이 구조는 비실용적이고, 흡착력도 충분히 확보할 수 없다. 절결(611)이 있으면, 어느 정도의 크기의 흡착 패드를 사용하여 기판(S)의 흡착을 할 수 있는 한편, 프레임체(61)에 의한 기판(S)이 누름 작용이 있는 부분을 어느 정도의 면적으로 확보할 수 있다.The fact that the transporting hand for the substrate is also used for the movement of the frame body 61 means that the structure is simplified as described above. At this time, however, the notch 611 shown in Figs. It is possible to hold the substrate S with sufficient attraction force without complicating the substrate S. That is, since the frame body 61 presses the peripheral portion of the substrate S, the edge of the opening becomes a position inside the peripheral portion of the substrate S. At this time, in the configuration in which the substrate suction pads 512 and 522 are also used to move the frame body 61, the substrate suction pads 512 and 522 The adsorption pads 512 and 522 for the substrate must be structured to extend through the openings of the frame body 61 to adsorb the substrate S. In this case, In this case, suction holding can not be performed in the circuit forming portion of the substrate S, and the marginal portion around the periphery is sucked and held. Therefore, if there is no cutout 611, It is necessary to adopt a structure for adsorbing and holding the adsorbent. However, this structure is impractical, and the attraction force can not be sufficiently secured. When the cutout 611 is provided, the substrate S can be adsorbed by using the adsorption pad of a certain size, while the portion of the substrate S on which the substrate S is pressed by the frame body 61 can be adsorbed to some extent Area can be ensured.

또한, 상기 실시 형태에서는, 기판용 흡착 패드(512, 522)는, 기판(S)의 주연 중, 마주보는 한 쌍의 변의 주연에 있어서 기판(S)을 흡착하는 위치에 설치되었지만, 네 개의 변의 주연에 있어서 기판(S)을 흡착하는 위치에 설치되는 경우도 있다. 이 쪽이, 기판(S)의 흡착 유지를 확실히 하는 점에서는 바람직하다. 한 쌍의 변의 주연에서 기판(S)을 흡착 유지하는 경우, 각 기판용 흡착 패드(512, 522)를 유지한 프레임(511, 521)은 판 형상이 되지만, 네 개의 변의 주연에서 기판(S)을 유지하는 경우, 프레임(511, 521)은 방형의 프레임 형상이 된다. In the above embodiment, the substrate-use adsorption pads 512 and 522 are provided at the positions where the substrate S is adsorbed at the periphery of a pair of opposite sides of the peripheral edge of the substrate S, And may be provided at a position where the substrate S is sucked at the periphery. This is preferable in terms of ensuring suction and holding of the substrate S. The frames 511 and 521 holding the adsorption pads 512 and 522 for the respective substrates are plate-shaped. However, when the substrate S is held at the periphery of the four sides, The frames 511 and 521 are formed into a square frame shape.

상기 실시 형태에 있어서, 제1 반송 핸드(51), 제1 반송 컨베이어(41)가 반입용, 제2 반송 핸드(52), 제2 반송 컨베이어(42)가 반출용이었지만, 이 관계는 반대여도 되고, 각각을 반입 반출의 쌍방으로 사용할 수도 있다. 즉, 제1 반송 핸드(51)가 기판(S)의 반입 동작을 행하여 노광을 하고 있는 중에 제2 반송 핸드(52)가 다른 기판(S)을 유지하여 대기하고 있고, 최초의 기판(S)의 노광 종료 후에 제1 반송 핸드(51)가 기판(S)을 반출한 후, 제2 반송 핸드(52)가 다른 기판(S)을 반입하도록 한다. 이와 같이 하여 교대로 각 반송 핸드가 기판(S)의 반입 반출을 행하도록 해도 된다. 이 경우, 프레임체(61)는, 각각의 반송 핸드에 대해 설치되고, 각 반송 핸드는 프레임체(61)를 흡착 유지하면서 기판(S)의 반입 반출 동작을 행한다. In the above embodiment, although the first conveying hand 51 and the first conveying conveyor 41 are for carry-in, the second conveying hand 52 and the second conveying conveyor 42 are for carry-out, And each of them can be used as both of the carry-in and carry-out. That is, while the first transfer hand 51 performs the carry-in operation of the substrate S to perform exposure, the second transfer hand 52 holds the other substrate S and waits, So that the second transfer hand 52 carries the other substrate S after the first transfer hand 51 carries out the substrate S. In this manner, the carrying-out of the substrate S may be carried out by the carrying hands alternately. In this case, the frame body 61 is provided for each conveying hand, and each conveying hand carries out the carry-in / carry-out operation of the substrate S while sucking and holding the frame body 61.

또, 본원 발명의 실시에 있어서는, 반송 핸드는 한 개만으로도 충분하다. 프레임체(61)를 흡착 유지한 하나의 반송 핸드가 제1 반송 컨베이어(41)로부터 기판(S)을 픽업하여 테이블(1)에 올리고, 노광 종료 후에 프레임체(61)과 함께 기판(S)을 테이블(1)로부터 픽업하여 제2 반송 컨베이어(42)에 반출하는 구성도 있을 수 있다. 이 경우에서는, 한쪽에만 컨베이어가 있는 구성도 채용할 수 있다. In the practice of the present invention, only one transfer hand is sufficient. One transporting hand holding and holding the frame body 61 picks up the substrate S from the first conveying conveyor 41 and places it on the table 1. After the exposure is completed, the substrate S is taken out together with the frame body 61, May be picked up from the table 1 and taken out to the second conveying conveyor 42 in some cases. In this case, a configuration in which a conveyor is provided on only one side can be employed.

또한, 테이블(1)은 승강 기구(100)을 구비하고 있어 기판(S)의 재치시에 테이블(1)이 승강하는 구성이었지만, 핸드의 승강에 의해 이것을 행해도 되고, 테이블(1)은 승강기구(100)를 구비하고 있지 않아도 된다. 또, 테이블(1)이 승강 기구(100)를 구비하고 있는 외, 각 컨베이어가 승강기구를 구비하고 있으면, 반송 구동 기구(513, 523)는 각 반송 핸드(51, 52)를 승강시키는 기능을 가질 필요는 없다.The table 1 is provided with the lifting mechanism 100 so that the table 1 is lifted or lowered when the substrate S is placed on the table. However, the table 1 may be lifted or lowered by hand, It is not necessary to provide the ball 100. When the table 1 is provided with the lifting mechanism 100 and each of the conveyors has the lifting mechanism, the transport driving mechanisms 513 and 523 have a function of lifting the transport hands 51 and 52 You do not have to.

상기 실시 형태에서는, 주상 시일링 부재(62)는 프레임체(61)에 부착되어 있었지만, 테이블(1) 측에 부착되고 있어도 된다. 즉, 테이블(1)의 상면 중, 압압을 위해서 다가오는 프레임체(61)를 향하는 개소에 주상 시일링 부재를 설치해도 똑같이 폐공간을 형성할 수 있고, 똑같이 동작시킬 수 있다.In the above embodiment, the columnar sealing member 62 is attached to the frame body 61, but it may be attached to the table 1 side. That is, even if a columnar sealing member is provided in a portion of the upper surface of the table 1 facing the approaching frame body 61 for pressing, the same space can be formed and the same operation can be performed.

또, 진공 흡착 기구(3)의 기판용 배기관(31)은, 프레임체용 배기관(63)과 최종적으로는 하나로 되어 있었지만, 완전히 다른 계통의(독립한) 배기로서 각각 펌프로 배기되는 구조여도 된다. 또한, 프레임체(61)에 의해 형성되는 폐공간 내를 배기하는 프레임체용 배기구멍(13)은, 상기 실시 형태에서는 테이블(1)에 형성되어 있었지만, 프레임체(61)에 형성되어 있어도 된다. 단, 이 구조에서는, 프레임체(61)가 배기용의 플렉서블 튜브를 끌고 다님으로써, 번잡하고 구조적으로 복잡해진다. 테이블(1)에 프레임체용 배기구멍(13)이 있는 경우, 그러한 문제는 없다.Although the exhaust pipe 31 for the substrate of the vacuum adsorption mechanism 3 is finally connected to the exhaust pipe 63 for the frame body, the exhaust pipe 31 may be of a completely different system (independent) exhausted by a pump. The frame exhaust hole 13 for exhausting the inside of the closed space formed by the frame body 61 is formed on the table 1 in the above embodiment but may be formed on the frame body 61 as well. However, in this structure, the frame body 61 pulls the flexible tube for exhausting, which complicates the construction and becomes complicated. When the exhaust port 13 for a frame is provided on the table 1, there is no such a problem.

프레임체(61)는, 일부가 기판(S)의 주변부에 맞닿아 기판(S)을 테이블(1)에 누를 필요가 있지만, 폐공간을 형성하는 부분은 테이블(1)을 향하는 부분이 아니어도 된다. 즉, 테이블(1)의 주변에 프레임 형상의 다른 부재가 있고, 주상 시일링 부재(62)는 이 다른 부재에 맞닿아 폐공간을 형성하고 있어도 된다.The frame body 61 needs to press the substrate S against the peripheral portion of the substrate S to push the substrate S to the table 1, but the portion forming the closed space is not the portion facing the table 1 do. In other words, there is another member in the frame shape in the periphery of the table 1, and the columnar sealing member 62 may abut the other member to form a closed space.

1: 테이블 100: 승강기구
11: 흡착구멍 12: 기판용 배기로
13: 프레임체용 배기구멍 14: 프레임체용 배기로
2: 노광계 3: 진공 흡착 기구
41: 제1 반송 컨베이어 42: 제2 반송 컨베이어
51: 제1 반송 핸드 512: 기판용 흡착 패드
514: 프레임체용 흡착 패드 52: 제2 반송 핸드
522: 기판용 흡착 패드 6: 누름 기구
61: 프레임체 611: 절결
62: 주상 시일링 부재 63: 프레임체용 배기관
65: 압력 조정 밸브1: Table 100: Lift mechanism
11: suction hole 12: exhaust port for substrate
13: exhaust hole for frame body 14: exhaust passage for frame body
2: Exposure system 3: Vacuum adsorption mechanism
41: first conveying conveyor 42: second conveying conveyor
51: first transfer hand 512: substrate suction pad
514: suction pad for frame body 52: second conveying hand
522: adsorption pad for substrate 6: pressing mechanism
61: frame body 611: notch
62: Columnar sealing member 63: Exhaust pipe for frame
65: Pressure regulating valve

Claims (9)

기판이 올려지는 테이블과,
테이블에 올려진 기판에 소정의 패턴을 형성하는 노광광을 조사하는 노광계를 구비한 프린트 기판용 노광 장치로서,
기판을 테이블에 진공 흡착하는 진공 흡착 기구와,
테이블에 올려진 기판의 주변부를 테이블에 누르는 누름 기구가 설치되어 있고,
누름 기구는, 기판에 대한 소정의 패턴을 형성하는 노광광을 차폐하지 않는 형상의 프레임체와, 사이에 기판의 주변부가 끼워 넣어진 상태로 프레임체를 테이블을 향해서 압압(押壓)함으로써 기판의 주변부를 테이블에 누르는 구동부를 구비하고 있고,
프레임체는, 기판을 벗어난 위치에서 폐공간을 형성하는 구조를 갖고 있고, 기판에 대해서 소정의 패턴을 형성하는 노광광의 조사를 행함에 있어서 구동부는 상기 폐공간을 진공 흡인함으로써 기판의 주변부를 테이블에 누르는 것이며,
노광계 및 누름 기구를 제어하는 제어부가 설치되어 있고,
제어부는, 소정의 패턴을 형성하는 노광광의 조사를 기판에 행하고 있는 동안에도 누름 기구의 구동부를 동작시키는 제어를 행하는 것임을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.A table on which a substrate is placed,
1. An exposure apparatus for a printed-circuit board having an exposure system for irradiating an exposure light for forming a predetermined pattern on a substrate placed on a table,
A vacuum adsorption mechanism for vacuum-adsorbing the substrate to a table,
A pressing mechanism for pressing the peripheral portion of the substrate placed on the table against the table is provided,
The pressing mechanism includes a frame body having a shape that does not shield exposure light that forms a predetermined pattern with respect to the substrate and a pressing member that presses the frame body toward the table with the peripheral portion of the substrate sandwiched therebetween, And a driving portion for pressing the peripheral portion against the table,
The frame body has a structure for forming a closed space at a position deviated from the substrate. When the exposure unit irradiates exposure light for forming a predetermined pattern with respect to the substrate, the driving unit evacuates the closed space, Press,
A control unit for controlling the exposure system and the pressing mechanism is provided,
Wherein the control unit controls the driving unit of the pressing mechanism to operate while the substrate is irradiated with the exposure light forming the predetermined pattern. 청구항 1에 있어서
상기 테이블을 향해서 압압되는 상기 프레임체의 상기 테이블 측을 향한 면에는, 탄성을 갖는 주상(周狀) 시일링 부재가 설치되어 있고, 주상 시일링 부재는, 상기 기판을 벗어난 위치에서 상기 테이블에 맞닿아 상기 폐공간을 형성하는 형상인 것을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.Claim 1
Wherein a peripheral sealing member having elasticity is provided on a surface of the frame body facing the table which is pressed toward the table and the columnar sealing member is fitted to the table at a position off the substrate And a shape to form the closed space. 청구항 1에 있어서,
상기 테이블의 상기 압압되는 프레임체를 향하는 면에는, 탄성을 갖는 주상 시일링 부재가 설치되어 있고, 주상 시일링 부재는, 상기 기판을 벗어난 위치에서 상기 프레임체에 맞닿아 상기 폐공간을 형성하는 형상인 것을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.The method according to claim 1,
Wherein a surface of the table facing the pressing frame body is provided with a resilient columnar sealing member, and the columnar sealing member is in contact with the frame at a position deviated from the substrate to form the closed space Wherein the exposure apparatus is a photolithography apparatus. 청구항 2에 있어서,
상기 주상 시일링 부재는 튜브 형상인 것을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.The method of claim 2,
And said columnar sealing member is in the form of a tube. 청구항 3에 있어서,
상기 주상 시일링 부재는 튜브 형상인 것을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.The method of claim 3,
And said columnar sealing member is in the form of a tube. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판의 상기 테이블에의 반입 및 상기 테이블로부터의 상기 기판의 반출시에 상기 프레임체가 위치하는 대기 위치가 설정되어 있고,
상기 프레임체를, 상기 기판의 주변부를 끼워 넣은 상태로 테이블에 누르는 위치인 동작 위치와, 대기 위치의 사이에서 반복 이동시키는 프레임체 이동 기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.The method according to any one of claims 1 to 5,
Wherein a stand-by position at which the frame body is placed in the loading and unloading of the substrate from the table is set,
Wherein the frame body is provided with a frame body moving mechanism for repeatedly moving the frame body between an operation position in which the peripheral portion of the substrate is sandwiched between the operation position and the standby position. 청구항 6에 있어서,
상기 프레임체 이동 기구에는, 상기 기판의 반송 기구가 겸용되고 있는 것을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.The method of claim 6,
Wherein the frame body moving mechanism also uses a transport mechanism of the substrate. 청구항 6에 있어서,
상기 프레임체 이동 기구는, 상기 프레임체를 진공 흡착하여 유지하면서 이동시키는 기구인 것을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.The method of claim 6,
Wherein the frame body moving mechanism is a mechanism for moving the frame body while vacuum-chucking and holding the frame body. 청구항 7에 있어서,
상기 기판의 반송 기구는, 상기 기판을 흡착하여 유지하는 기판용 흡착 패드를 구비하고 있고,
상기 프레임체는, 이 기판용 흡착 패드가 삽입 통과되는 절결을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 프린트 기판용 노광 장치.The method of claim 7,
The transport mechanism of the substrate includes a substrate-use adsorption pad for sucking and holding the substrate,
Wherein the frame body has a cutout through which the adsorption pad for a substrate is inserted.
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