KR20170096161A - 기판 린싱 시스템 및 방법 - Google Patents

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KR20170096161A
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조나단 에스. 프랭클
브라이언 제이. 브라운
빈센트 에스. 프랜시스체티
폴 맥휴
카일 엠. 한슨
에카테리나 미카일리첸코
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어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Abstract

예시적인 낙수 장치는 (1) 제1 폭의 제1 부분 - 제1 부분은 (a) 제1 플레넘, 제2 플레넘, 및 제1 플레넘과 제2 플레넘 사이의 한정된 유체 경로, (b) 제1 결합 표면, 및 (c) 제1 결합 표면과 제1 플레넘 사이에 유체 경로를 생성하는 유입 개구를 가짐 - ; 및 (2) 제1 폭보다 큰 제2 폭의 제2 부분 - 제2 부분은 (a) 제2 결합 표면, 및 (b) 제1 부분의 유입 개구와 정렬되는 유입구를 가짐 - 을 포함한다. 제1 및 제2 결합 표면은 낙수 장치의 길이의 적어도 일부를 따라 연장되고 제2 플레넘에 연결되는 슬롯을 형성한다. 제2 부분의 유입구 내로 도입되는 유체는 제1 플레넘을 채우고, 한정된 유체 경로를 통해 제2 플레넘으로 이동하고, 제1 부분과 제2 부분 사이의 슬롯을 빠져나와서 린싱 유체 낙수를 형성한다.

Description

기판 린싱 시스템 및 방법{SUBSTRATE RINSING SYSTEMS AND METHODS}
[관련 출원들에 대한 상호 참조]
본 출원은 2015년 2월 19일자로 출원되고 발명의 명칭이 "기판 린싱 시스템 및 방법(SUBSTRATE RINSING SYSTEMS AND METHODS)"인 미국 가특허 출원 제14/626,903호(대리인 문서 번호 22585/USA)의 우선권을 주장하고, 2014년 12월 19일자로 출원되고 발명의 명칭이 "기판 린싱 시스템 및 방법(SUBSTRATE RINSING SYSTEMS AND METHODS)"인 미국 가특허 출원 제62/094,938호(대리인 문서 번호 22585/USA/L)의 우선권을 주장하고, 이들 각각의 전체 내용은 본 명세서에서 모든 목적을 위해 참조로써 포함된다.
[기술분야]
본 출원은 반도체 디바이스 제조에 관한 것이고, 더 구체적으로는 기판 린싱 시스템 및 방법에 관한 것이다.
반도체 디바이스의 기하형상들이 계속하여 작아짐에 따라, 초청정 처리의 중요성이 증가한다. 유체 탱크(또는 배쓰)와 그에 후속하는 린싱 배쓰 내에서의 수성 세정(aqueous cleaning)(예를 들어 별도의 탱크 내에서 또는 세정 탱크 유체를 교체함으로써)은 바람직한 세정 레벨들을 달성할 수 있다. 린싱 배쓰로부터의 제거 후에, 건조 장치의 사용 없이, 배쓰 유체가 기판의 표면으로부터 증발할 수 있고, 기판의 표면 상에 스트리킹(streaking), 스폿팅(spotting)을 유발하고/하거나 배쓰 잔류물을 남길 수 있다. 그러한 스트리킹, 스폿팅 및 잔류물은 후속 디바이스 고장을 야기할 수 있다. 따라서, 기판이 수성 배쓰로부터 제거됨에 따라 기판을 건조하기 위한 개선된 방법에 대해 많은 주의를 기울여왔다.
마란고니 건조(Marangoni drying)로 알려져 있는 방법은 기판에 배쓰 유체를 실질적으로 남기지 않는 방식으로 배쓰 유체가 기판으로부터 유동하게 유도하는 표면 장력 경사를 생성하며, 그에 따라, 스트리킹, 스폿팅 및 잔류물 흔적(residue mark)을 피할 수 있다. 구체적으로, 마란고니 건조 동안, 배쓰 유체와 혼합가능한 용매(즉, IPA 증기)는 기판이 배쓰로부터 리프트됨에 따라 또는 배쓰 유체가 기판을 지나 배수됨(drained)에 따라 형성되는 유체 메니스커스(fluid meniscus)에 도입된다. 용매 증기는 유체의 표면을 따라 흡수되고, 흡수된 증기의 농도는 메니스커스의 첨단에서 더 높다. 흡수된 증기의 더 높은 농도는 표면 장력이 배쓰 유체의 벌크 내에서보다 메니스커스의 첨단에서 더 낮아지게 하고, 그에 의해 배쓰 유체가 건조 메니스커스로부터 벌크 배쓰 유체를 향해 유동하게 한다. 그러한 유동은 "마란고니" 유동으로서 알려져 있고, 기판 상의 스트리킹, 스폿팅 또는 배쓰 잔류물을 감소시키면서 기판 건조를 달성하기 위해 이용될 수 있다.
기판의 균일한 마란고니 건조는 달성하기가 어려울 수 있고, 일부 경우들에서, 배쓰 유체로부터의 입자들은 기판에 재부착되거나 기판을 오염시킬 수 있다. 그러한 것으로서, 린싱 및/또는 기판 건조 동안 입자 재부착을 감소시키기 위한 방법 및 장치가 요구된다.
일부 실시예들에서, 기판에 린싱 유체를 제공하도록 구성된 낙수 장치(waterfall apparatus)로서, (1) 제1 폭의 제1 부분 - 제1 부분은 (a) 제1 플레넘, 제1 플레넘으로부터 분리된 제2 플레넘, 및 제1 플레넘과 제2 플레넘 사이의 한정된 유체 경로; (b) 제1 결합 표면; 및 (c) 제1 결합 표면과 제1 플레넘 사이에 유체 경로를 생성하는 유입 개구(inlet opening)를 가짐 - ; 및 (2) 제1 폭보다 큰 제2 폭의 제2 부분 - 제2 부분은 (a) 제2 결합 표면; 및 (b) 제2 부분을 통해 제1 플레넘으로의 유체 경로를 생성하기 위해 제1 부분의 유입 개구와 정렬되는 유입구를 가짐 - 을 포함하는 낙수 장치가 제공된다. 제1 부분의 제1 결합 표면 및 제2 부분의 제2 결합 표면은 낙수 장치의 길이의 적어도 일부를 따라 연장되고 제2 플레넘에 연결되는 슬롯을 형성한다. 제2 부분의 유입구 내로 도입되는 유체는 제1 부분의 제1 플레넘을 충진(fill)하고, 한정된 유체 경로를 통해 제2 플레넘으로 이동하고, 제1 부분과 제2 부분 사이의 슬롯을 빠져나와서 린싱 유체 낙수를 형성한다.
일부 실시예들에서, 기판을 린싱하도록 구성된 시스템으로서, 전면측 낙수 장치, 후면측 낙수 장치, 및 전면측 낙수 장치와 후면측 낙수 장치를 미리 결정된 거리만큼 이격하여 조절가능하게 위치시켜, 기판이 린싱 동작 동안 전면측 낙수 장치와 후면측 장치 사이를 통과하는 것을 허용하는 장착 메커니즘(mounting mechanism)을 포함하는 시스템이 제공된다. 전면측 낙수 장치 및 후면측 낙수 장치 각각은 (1) 제1 폭의 제1 부분 - 제1 부분은 (a) 제1 플레넘, 제1 플레넘으로부터 분리된 제2 플레넘, 및 제1 플레넘과 제2 플레넘 사이의 한정된 유체 경로; (b) 제1 결합 표면; 및 (c) 제1 결합 표면과 제1 플레넘 사이에 유체 경로를 생성하는 유입 개구를 가짐 - ; 및 (2) 제1 폭보다 큰 제2 폭의 제2 부분 - 제2 부분은 (a) 제2 결합 표면; 및 (b) 제2 부분을 통해 제1 플레넘으로의 유체 경로를 생성하기 위해 제1 부분의 유입 개구와 정렬되는 유입구를 가짐 - 을 포함한다. 제1 부분의 제1 결합 표면 및 제2 부분의 제2 결합 표면은 낙수 장치의 길이의 적어도 일부를 따라 연장되고 제2 플레넘에 연결되는 슬롯을 형성한다. 제2 부분의 유입구 내로 도입되는 유체는 제1 부분의 제1 플레넘을 충진하고, 한정된 유체 경로를 통해 제2 플레넘으로 이동하고, 제1 부분과 제2 부분 사이의 슬롯을 빠져나와서 린싱 유체 낙수를 형성한다.
일부 실시예들에서, 기판을 린싱하는 방법으로서, (1) 기판에 린싱 유체를 제공하도록 구성된 낙수 장치를 제공하는 단계 - 낙수 장치는 (a) 제1 폭의 제1 부분 - 제1 부분은 (i) 제1 플레넘, 제1 플레넘으로부터 분리된 제2 플레넘, 및 제1 플레넘과 제2 플레넘 사이의 한정된 유체 경로; (ii) 제1 결합 표면; 및 (iii) 제1 결합 표면과 제1 플레넘 사이에 유체 경로를 생성하는 유입 개구(inlet opening)를 가짐 - ; 및 (b) 제1 폭보다 큰 제2 폭의 제2 부분 - 제2 부분은 (i) 제2 결합 표면; 및 (ii) 제2 부분을 통해 제1 플레넘으로의 유체 경로를 생성하기 위해 제1 부분의 유입 개구와 정렬되는 유입구를 가짐 - 를 포함하고, 제1 부분의 제1 결합 표면 및 제2 부분의 제2 결합 표면은 낙수 장치의 길이의 적어도 일부를 따라 연장되고 제2 플레넘에 연결되는 슬롯을 형성하고, 제2 부분의 유입구 내로 도입되는 유체는 제1 부분의 제1 플레넘을 충진하고, 한정된 유체 경로를 통해 제2 플레넘으로 이동하고, 제1 부분과 제2 부분 사이의 슬롯을 빠져나와서 린싱 유체 낙수를 형성함 - ; (2) 낙수 장치의 슬롯의 전면에 기판을 위치시키는 단계; (3) 린싱 유체가 한정된 유체 경로를 통해 제2 플레넘으로 이동하고, 제1 부분과 제2 부분 사이의 슬롯을 빠져나와서 린싱 유체 낙수를 형성하도록, 린싱 유체를 제2 부분의 유입구 내로 지향시켜 제1 부분의 제1 플레넘을 충진하는 단계; 및 (4) 기판에서 린싱 유체 낙수를 지향시켜 기판을 린싱하는 단계를 포함하는 방법이 제공된다. 다수의 다른 양태가 제공된다.
본 발명의 다른 특징 및 양태는 이하의 상세한 설명, 첨부된 청구항들 및 첨부 도면들로부터 더 완전하게 명백해질 것이다.
도 1a는 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따라 본 명세서에 제공되는 낙수 장치의 예시적인 실시예의 사시도이다.
도 1b는 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따라 본 명세서에 제공되는 도 1a의 낙수 장치와 유사한 대안적인 낙수 장치를 도시한다.
도 1c는 도 1a의 선 1C-1C를 따라 취해진 도 1a의 낙수 장치의 단면도를 도시한다.
도 1d는 도 1b의 선 1D-1D를 따라 취해진 도 1b의 낙수 장치 및 유입구의 단면도를 도시한다.
도 1e는 도 1c의 단면도의 확대도를 도시한다.
도 1f는 도 1a의 낙수 장치의 배출구 부분의 확대도를 도시한다.
도 1g는 도 1f와 유사하지만, 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른 도 1a의 낙수 장치의 배출구에서의 유동 편향기의 이용을 도시한다.
도 1h는 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른, 제2 부분이 제거된 도 1a의 낙수 장치의 제1 부분의 상부도이다.
도 2는 본 명세서에 제공되는 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른, 기판을 린싱하기 위해 위치된 도 1a의 낙수 장치 및 도 1b의 낙수 장치의 상부도이다.
도 3은 본 명세서에 제공되는 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따른, 기판을 향해 지향되는 낙수를 출력하는 도 1b의 낙수 장치의 상부도이다.
도 4는 본 명세서에 제공되는 본 발명의 실시예들에 따른, 기판을 린싱 및/또는 건조하기 위한 예시적인 시스템의 측부 개략도이다.
도 5는 본 명세서에 제공되는 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따라, 낙수 장치를 빠져나간 린싱 유체가 미리 결정된 각도로 기판에 충돌하도록 도 1b의 낙수 장치가 유동 편향기를 이용하지 않고 회전되는 예시적인 실시예를 도시한다.
도 6은 본 발명의 실시예들에 따라 제공되는 기판을 린싱 및/또는 건조하는 예시적인 방법의 흐름도이다.
앞에서 설명된 바와 같이, 일부 경우들에서, 세정 프로세스에 후속하여 기판을 린싱하기 위해 이용되는 린싱 배쓰 유체로부터의 입자들은 기판에 재부착될 수 있고 기판을 오염시킬 수 있다. 예를 들어, 세정에 후속하여 기판을 린싱하기 위해 이용되는 린싱 배쓰 유체가 이전의 세정 단계 동안 이용된 화학물질과는 다른 pH를 갖는 경우, 입자들이 기판에 재부착될 수 있다. 추가로, 오염물질들이 린싱 탱크 내에 축적될 수 있고, 건조 동안 기판이 제거됨에 따라 기판에 재부착될 수 있다. 린싱 유체에 화학물질들을 첨가함으로써 그러한 입자의 재부착이 감소될 수 있긴 하지만, 최종 린스 탱크에 화학물질을 첨가하면, 건조에 후속하여 화학물질이 기판 상에 남아있게 될 수 있다.
본 명세서에 제공된 일부 실시예들에서, 예컨대 마란고니 건조 동안 기판의 개선된 최종 린싱을 제공하기 위해, 고도로 균일한 린싱 유체 커튼이 이용된다. 예를 들어, 화학적 기계적 평탄화(CMP) 및/또는 다른 세정 프로세스 이후에 기판을 린싱 및 건조하기 위해, 용매[예컨대, 질소 캐리어 가스 내의 이소프로필 알코올(IPA)]의 유동에 의해 뒤덮이는(blanketed) 고도로 균일한 린싱 유체 커튼을 발생시키도록, "낙수" 평판("waterfall" plate)이 최종 린스 탱크 위에 제공될 수 있다. 낙수로서 설명되지만, 임의의 적절한 린싱 유체[예를 들어, 탈이온수, 표면 장력을 감소시키는 린싱 에이전트(rinsing agent)를 갖는 탈이온수, O3, CO2, N2 등이 주입된(infused) 탈이온수와 같은 가스 주입된 탈이온수]가 이용될 수 있음을 이해할 것이다. 일부 실시예들에서, 낙수는 (예를 들어, 2개의 평판 사이에 형성된) 좁고 평탄한 슬롯을 통해 유체 유동을 강제함으로써 형성된다.
일부 실시예들에서는, 기판을 산 또는 염기, HCl 산, HF 산, 유기 알칼리(organic alkaline), TMAH(tetramethylammonium hydroxide), 수산화 암모늄, 다른 pH 조절제, 또는 그와 유사한 것과 같은 화학물질을 갖는 린싱 유체 탱크 내에 침지시키고, 다음으로 최상부면이 N2/IPA 가스 혼합물과 같은 용매의 유동으로 뒤덮인 낙수를 통해 기판을 탱크 밖으로 리프팅함으로써, 입자 재부착이 회피될 수 있다. 결과적인 린싱 유체 커튼은 화학물질을 기판으로부터 효과적으로 린싱하고, 낙수 위의 N2/IPA 가스는 입자 재부착이 감소된 및/또는 최소화된 마란고니 건조를 제공할 수 있다.
도 1a는 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따라 본 명세서에 제공되는 낙수 장치(100a)의 예시적인 실시예의 사시도이다. 도 1a에 도시된 바와 같이, 낙수 장치(100a)는 제2 (상측) 부분(104)에 결합된 제1 (하측) 부분(102)을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 부분(102, 104)을 결합하기 위해, 스크류, 볼트, 접착제 및/또는 그와 유사한 것과 같은 임의의 적절한 결합 메커니즘이 이용될 수 있다. 일부 실시예들에서, 제1 (하측) 부분(102)은 본체(106), 및 본체(106)에 결합된 최하부 평판(108)을 포함한다[예를 들어, 싱글-피스(single-piece) 하측 부분(102), 또는 멀티-피스(multi-piece) 하측 부분(102)이 이용될 수 있다]. 제2 (상측) 부분(104)은 아래에 더 설명되는 유입구(110)를 포함한다.
제1 부분(102) 및/또는 제2 부분(104)은 알루미늄, 스테인레스 스틸, 석영, PEEK(polyether ether ketone), 그들의 조합, 또는 그와 유사한 것과 같은 임의의 적절한 재료로 제조될 수 있다. 다른 재료들이 이용될 수 있다.
도 1b는 도 1a의 낙수 장치(100a)와 유사한 대안적인 낙수 장치(100b)를 도시한다. 도 1b의 낙수 장치(100b)에서, 유입구(110)는 도시된 것과 같이 낙수 장치(100b)의 반대쪽 단부 부근에 위치된다.
도 1c는 도 1a의 선 1C-1C를 따라 취해진 낙수 장치(100a)의 단면도를 도시한다. 도 1d는 도 1b의 선 1D-1D를 따라 취해진 낙수 장치(100b) 및 유입구(110)의 단면도를 도시한다. 도 1e는 도 1c의 단면도의 확대도를 도시하고, 도 1f는 낙수 장치(100a)의 배출구 부분의 확대도를 도시한다. 도 1g는 도 1f와 유사하지만, 낙수 장치(100a)의 배출구에서의 유동 편향기(flow deflector)(아래에 더 설명됨)의 이용을 도시한다. 도 1h는 제2 (최상부) 부분(104)이 제거된 낙수 장치(100a)의 제1 (하측) 부분(102)의 상부도이다.
도 1c 및 도 1e를 참조하면, 낙수 장치(100a)의 제1 부분(102)은 한정된 유체 경로(116)에 의해 제2 플레넘(114)으로부터 분리되는 제1 플레넘(112)을 포함한다. 제1 및 제2 부분(102, 104)이 제1 부분(102)의 제1 결합 표면(118) 및 제2 부분(104)의 제2 결합 표면(120)을 통해 함께 결합될 때, 제2 플레넘(114)으로부터 낙수 장치(100a)[또는 낙수 장치(100b)]의 배출구(124)로 연장되는 슬롯(122)이 그 사이에 형성된다. 도 1d에 도시된 바와 같이, 제1 부분(102)은 제1 부분(102)을 통해 제1 결합 표면(118)과 제1 플레넘(112) 사이에 유체 경로를 생성하는 유입 개구(inlet opening)(126)를 포함한다. 유입구(110)는 제2 (상측) 부분(104)을 통해 제1 플레넘(112)으로의 유체 경로를 생성하기 위해 제1 부분(102)의 유입 개구(126)와 정렬된다. 아래에 더 설명되는 바와 같이, 제2 부분(104)의 유입구(110) 내로 도입되는 유체는 제1 부분(102)의 제1 플레넘(112)을 충진하고, 한정된 유체 경로(116)를 통해 제2 플레넘(114)으로 이동하고, 제1 부분(102)과 제2 부분(104) 사이의 슬롯(122)을 빠져나와서 린싱 유체 낙수를 형성한다.
도시된 실시예들에서, 제1 플레넘(112)의 용적은 제2 플레넘(114)의 용적보다 크다. 일부 실시예들에서, 제2 플레넘(114)의 용적은 제1 플레넘(112)의 용적과 동일하거나 제1 플레넘의 용적보다 클 수 있다.
본 명세서에 제공된 일부 실시예들에서, (도 1h에 도시된 바와 같이) 제1 플레넘(112), 제2 플레넘(114), 및 한정된 유체 경로(116)[및/또는 슬롯(122)]는 유사한 길이를 갖고, 제1 부분(102)의 전체 길이에 가깝게 연장된다. 예를 들어, 도 1h에 도시된 바와 같이, 제1 플레넘(112), 제2 플레넘(114), 한정된 유체 경로(116) 및/또는 슬롯(122)은 낙수 장치(100a 또는 100b)의 전체 길이에서, 제1 부분(102)의 유입 영역(128) 및 대향 측벽(130)을 형성하기 위해 이용되는 재료의 두께를 뺀 것과 대략 동일할 수 있다. 제1 플레넘(112), 제2 플레넘(114), 한정된 유체 경로(116), 및/또는 슬롯(122)을 위해 다른 및/또는 상이한 길이들이 이용될 수 있다.
도 1e를 참조하면, 일부 실시예들에서, 제1 플레넘(112)의 루프(상측 면)(132)는 제1 부분(102)의 제1 결합 표면(118)에 대해 기울어질 수 있다. 그러한 배열은 린싱 유체 및/또는 제1 플레넘(112) 내에서의 에어 트랩핑(air trapping) 및/또는 기포 형성(bubble formation)을 감소시킬 수 있다. 예를 들어, 일부 실시예들에서, 루프(132)는 (예를 들어, 도 1e의 수평면 아래로) 제1 결합 표면(118)에 대해 약 1 내지 10도의 각도를 가질 수 있다. 다른 실시예들에서, 루프(132)는 제1 결합 표면(118)에 대해 약 3 내지 6도의 각도를 가질 수 있다. 또 다른 실시예들에서, 루프(132)는 제1 결합 표면(118)에 대해 약 3도보다 큰 각도를 가질 수 있다. 더 크거나 더 작은 루프 각도들이 이용될 수 있다.
제1 플레넘(112)을 위한 예시적인 용적들은 300mm 기판에 대해 약 120 내지 약 480cm^3의 범위이다. 제2 플레넘(114)을 위한 예시적인 용적들은 300mm 기판에 대해 약 3 내지 약 12cm^3 범위이다. 다른 플레넘 용적들이 이용될 수 있다. 일부 실시예들에서, 제1 플레넘(112)은 제2 플레넘(114)의 용적의 약 40배인 용적을 가질 수 있다. 다른 플레넘 용적들 및/또는 플레넘 용적 비들이 이용될 수 있다.
한정된 유체 경로(116)는 제1 플레넘(112)으로부터 제2 플레넘(114)으로 이동하는 린싱 유체 내에 압력 증가를 발생시킨다. 다음으로, 린싱 유체가 한정된 유체 경로(116)를 빠져나가고 제2 플레넘(114) 내로 확장함에 따라, 린싱 유체 압력이 감소한다. 이것은 제2 플레넘(114) 내에 고도로 균일한 린싱 유체 압력을 야기할 수 있고, 따라서 슬롯(122) 내에 고도로 균일한 린싱 유체 압력을 야기할 수 있다.
일부 실시예들에서, 한정된 유체 경로(116)는 약 2mm 미만의 폭을 가질 수 있고, 일부 실시예들에서는 약 0.5 내지 0.8mm의 폭을 가질 수 있다. 더 크거나 더 작은 한정된 유체 경로 폭들이 이용될 수 있다.
슬롯(122)은 제1 부분(102) 내에 주로 형성되는 것으로서 도시되어 있다. 예를 들어, 제1 부분(102)의 제1 결합 표면(118)의 일부분이 머시닝으로 제거되어(machined away), 슬롯(122)을 형성할 수 있다. 다른 실시예들에서, 슬롯(122)은 제2 부분의 제2 결합 표면(120) 내에 마찬가지로 형성될 수 있다. 또 다른 실시예들에서, 슬롯(122)은 제1 및 제2 결합 표면(118, 120) 둘 다로부터 재료를 제거함으로써 형성될 수 있다.
도 1f에 도시된 바와 같이, 일부 실시예들에서, 슬롯(122)은 약 0.5mm 미만의 높이 h를 가질 수 있고, 일부 실시예들에서는 약 0.2mm 이하의 높이를 가질 수 있다. 더 크거나 더 작은 슬롯 높이들이 이용될 수 있다. 예시적인 슬롯 폭들[예를 들어, 슬롯 배출구(124)로부터 제2 플레넘(114)까지의 거리]은 일부 실시예들에서는 약 20mm 이상일 수 있고, 일부 실시예들에서는 약 30mm 이상일 수 있다. 다른 슬롯 폭들이 이용될 수 있다.
도 1e - 도 1f를 참조하면, 일부 실시예들에서, 제1 (하측) 부분(102)은 제2 (상측) 부분(104)보다 작은 폭을 갖는다. 예를 들어, 슬롯(122)의 최상부는 배출구(124)에서 슬롯(122)의 최하부보다 더[예를 들어, 도 1f의 거리(d)만큼] 연장된다. 일부 실시예들에서, 거리(d)는 약 5mm 이하일 수 있고, 일부 실시예들에서는 약 2 내지 3mm일 수 있다. 다른 거리들이 이용될 수 있다. 하나 이상의 실시예에서, 슬롯(122)의 배출구(124)에서의 제1 및 제2 부분(102, 104)의 단부들은 도시된 바와 같에 예리한 에지들(sharp edges)로 종단된다. 예를 들어, 하측 부분 정면(face)(134) 및/또는 상측 부분 정면(136)은 슬롯(122)에 대해 기울어져서, 예리한 종단 에지들을 생성할 수 있다. 예시적인 각도들은 슬롯(122)에 대해 약 30 내지 60도 범위이지만, 다른 각도들이 이용될 수 있다. 예리한 에지들의 사용은 에지/유체 계면에서의 린싱 유체 부착을 감소시키는 것으로 밝혀졌고, 일부 실시예들에서는 배출구(124)에서 린싱 유체 유량, 압력 및/또는 스프레이 패턴 균일성을 개선할 수 있다.
도 1g를 참조하면, 일부 실시예들에서, 유동 편향기(138)는 슬롯(122)의 배출구(124)를 빠져나가는 린싱 유체 스트림(140)을 재지향시키기 위해 제2 부분(104)에 결합되고/거나 제2 부분의 일부로서 형성될 수 있다. 예를 들어, 유동 편향기(138)는 린싱 유체 스트림(140)을 원하는 각도로(예를 들어, 아래쪽으로) 재지향시키도록 제2 부분(104)에 부착될 수 있다. 일부 실시예들에서, 린싱 유체 스트림(140)은 슬롯(122)의 경로 아래에서 약 40 내지 약 60도 각도로, 일부 실시예들에서는 약 45도 내지 50도의 각도로 재지향될 수 있지만, 다른 각도들이 이용될 수 있다. 이러한 방식으로 린싱 유체를 재지향시키면, 도 4 - 도 5를 참조하여 아래에 더 설명되는 바와 같이, 린싱 유체가 기판의 표면에 충돌하는 각도의 조절이 용이해질 수 있다.
도 2는 본 명세서에 제공되는 본 발명의 하나 이상의 실시예에 따라 기판(200)을 린싱하기 위해 위치된 낙수 장치(100a) 및 낙수 장치(100b)의 상부도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(200)이 낙수 장치(100a)와 낙수 장치(100b) 사이에서 그 낙수 장치들을 지나 이동됨에 따라, 낙수 장치(100a)는 기판(200)의 제1 면(예를 들어, 전면 또는 디바이스 측) 상에 린싱 유체를 스프레이하도록 위치되고, 낙수 장치(100b)는 기판(200)의 제2 면(예를 들어, 후면) 상에 린싱 유체를 스프레이하도록 위치된다. 낙수 장치(100a 및/또는 100b)는 프레임 또는 유사한 구조물(202)(팬텀으로 도시됨)을 이용하여 위치될 수 있다. 낙수 장치(100a 및 100b)를 지지하기 위한 예시적인 프레임/구조물은 도 4를 참조하여 아래에 설명되고, 기판(200)과 각각의 낙수 장치 사이의 갭, 각각의 낙수 장치의 높이, 및/또는 각각의 낙수 장치의 각도 또는 회전 중 하나 이상을 조절하기 위해 이용될 수 있다.
도 2의 실시예에서, 각각의 낙수 장치(100a, 100b)의 슬롯(122)은 각각의 낙수 장치(100a, 100b)에 의해 린싱되는 기판(200)의 직경보다 길다. 이것은 각각의 낙수 장치(100a, 100b)에 의해 출력되는 낙수의 외측 에지들이 외측 에지들에서의 모세관 작용으로 인해 낙수의 중심을 향해 굴곡되는 것을 보상할 수 있다(예를 들어, 낙수의 외측 에지들에서의 린싱 유체는 표면 장력으로 인해 벌크 내의 린싱 유체 또는 낙수의 중심 영역을 향해 당겨진다). 예를 들어, 도 3은 기판(200)을 향해 지향되는 낙수(300)를 출력하는 낙수 장치(100b)의 상부도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 슬롯(122)이 낙수(300)를 출력함에 따라, 낙수(300)의 외측 에지들은 굴곡 각도(bending angle)(302)에 의해 도시된 바와 같이 낙수(300)의 중심을 향해 굴곡된다. 낙수(300)의 에지들에서의 굴곡의 양은 린싱 유체의 표면 장력 및/또는 속도, 슬롯(122)의 높이, 슬롯(122)의 길이, 린싱 유체의 유량, 슬롯(122)으로부터 기판까지의 수평 거리, 유체 밀도, 또는 그와 유사한 것과 같은 다수의 인자에 의존한다. 또한, 기판(200)이 낙수 장치(100b)에 가까울수록, 굴곡 각도가 기판(200)의 커버리지에 미치는 효과가 적어진다는 점에 유의해야 한다.
위에서 설명된 굴곡 각도를 보상하기 위해, 일부 실시예들에서, 낙수 장치(110a 및/또는 110b)의 슬롯(122)의 길이는 낙수 장치(100a 및/또는 100b)로 린싱되는 기판(200)의 직경에 비해, 대략 10 내지 100mm 더 길 수 있고, 일부 실시예들에서는 약 30 내지 70mm 더 길 수 있다. [일부 실시예들에서, 제1 플레넘(112), 제2 플레넘(114), 및/또는 한정된 유체 경로(116)는 동일한 또는 유사한 길이를 가질 수 있다.] 예를 들어, 300mm 기판에 대해, 일부 실시예들에서, 낙수 장치(100a 및/또는 100b)의 슬롯(122)은 약 310 내지 400mm 길이일 수 있고, 일부 실시예들에서는 약 330 내지 370mm 길이일 수 있다. 더 크거나 더 작은 슬롯 길이들이 이용될 수 있다. 일부 실시예들에서, 굴곡 각도를 감소시키기 위해, 린싱 유체 표면 장력, 린싱 유체 속도/유량, 슬롯 높이 등이 조절될 수 있다. 예를 들어, 더 낮은 표면 장력의 린싱 유체 및/또는 더 높은 유량이 이용될 수 있고, 슬롯 높이가 감소될 수 있고, 더 높은 밀도의 린싱 유체가 이용될 수 있는 등이다.
도 4는 본 발명의 실시예들에 따라 기판을 린싱 및/또는 건조하기 위한 예시적인 시스템(400)의 측부 개략도이다. 도 4를 참조하면, 장착 프레임(402)에 결합된 낙수 장치(100a 및 100b)가 도시되어 있다. 장착 프레임(402)은 낙수 장치(100a 및 100b)의 높이, 낙수 장치들 사이의 거리 및/또는 낙수 장치들의 회전의 조절을 허용한다. 예를 들어, 낙수 장치(100a 및 100b)의 높이 및/또는 낙수 장치들 사이의 간격을 조절하기 위해, 조절가능한 클램프들, 슬라이드 베어링들, 조절 스크류들 또는 볼트들, 또는 그와 유사한 것과 같은 제1 슬라이드 메커니즘들(404a 및 404b)이 이용될 수 있다. 마찬가지로, 각각의 낙수 장치(100a 및 100b)의 회전을 조절하기 위해, 슬롯식 가이드(slotted guide)와 같은 피벗 메커니즘(406)이 이용될 수 있다. 장착 프레임(402)은 알루미늄, 스테인레스 스틸, PEEK, 그들의 조합, 또는 그와 유사한 것과 같은 임의의 적절한 재료로 형성될 수 있다.
도 4의 실시예에서, 각각의 낙수 장치(100a 및 100b)는 낙수 장치(100a 및 100b)에 의해 공급되는 린싱 유체를 원하는 각도로 기판(200)을 향해 지향시키기 위해 유동 편향기(138)를 이용한다. 일부 실시예들에서, 기판 린싱 동안, 린싱 유체는 [기판(200)의 주요 표면에 대해, 또는 도 4의 수직선으로부터] 약 40 내지 60도의 각도로, 일부 실시예들에서는 약 45 - 50도의 각도로 기판(200)에 충돌할 수 있다. 유동 편향기들(138)이 이용될 때, 각각의 낙수 장치(100a 및 100b)는 도 4에 도시된 바와 같이 대략 수평하게[예를 들어, 기판(200)에 대략 수직하게] 배향될 수 있다. 도 5는 슬롯(122)을 빠져나간 린싱 유체가 미리 결정된 각도로 기판(200)에 충돌하도록, 낙수 장치(100b)가 유동 편향기(138)를 이용하지 않고 회전되는 예시적인 실시예를 도시한다.
도 4를 참조하면, 일부 실시예들에서, 시스템(400)은 린싱 유체/기판 계면에 용매 증기를 전달하여 기판(200)의 마란고니 건조에 영향을 주기 위한 용매 증기 전달 메커니즘들(408a 및 408b)을 포함할 수 있다. 시스템(400)을 이용한 마란고니 건조 동안, 기판(200)이 낙수 장치(100a 및 100b)에 의해 제공되는 낙수들을 통해 리프트됨에 따라 형성되는 각각의 유체 메니스커스에, 린싱 유체와 혼합가능한 용매 증기(예컨대 IPA)가 도입된다. 용매 증기는 린싱 유체의 표면을 따라 흡수되고, 흡수된 증기의 농도는 각각의 메니스커스의 첨단에서 더 높다. 흡수된 증기의 더 높은 농도는 표면 장력이 린싱 유체의 벌크 내에서보다 각각의 메니스커스의 첨단에서 더 낮아지게 하고, 그에 의해 린싱 유체가 각각의 건조 메니스커스로부터 린싱 유체를 향해 유동하게 한다. 그러한 유동은 "마란고니" 유동으로서 알려져 있고, 기판 상에 스트리킹, 스폿팅 또는 린싱 유체 잔류물을 남기지 않고서 기판 건조를 달성하기 위해 이용될 수 있다. 낙수 장치(100a 및/또는 100b)는 기판 건조가 수행되는지의 여부에 상관없이 기판들을 린싱하기 위해 이용될 수 있음이 이해될 것이다.
일부 실시예들에서, 시스템(400)은 린싱 유체(412)를 포함하는 탱크 또는 배쓰(410)로부터 제거되는 기판을 마란고니 건조하기 위해 이용될 수 있다. 하나 이상의 실시예에서, 기판 린싱 동안의 입자 재부착은 기판(200)을 탱크(410) 내의 린싱 유체(412)에 침지(submersion)시키고, 산 또는 염기, 유기 알칼리(organic alkaline), TMAH, 수산화 암모늄, 다른 pH 조절제, 또는 그와 유사한 것과 같은 화학물질을 탱크(410) 내의 린싱 유체(412)에 첨가함으로써 회피될 수 있다. 다음으로, 기판(200)은 위에서 설명된 것과 같은 린싱 및/또는 마란고니 건조를 위해 낙수 장치(100a 및 100b)로부터의 낙수들을 통해 탱크(410) 밖으로 리프팅될 수 있다. 각각의 낙수(100a, 100b)로부터의 결과적인 린싱 유체 커튼은 기판(200)으로부터 화학물질을 효과적으로 린싱하고, 각각의 낙수 위의 N2/IPA 가스는 입자 재부착이 감소된 및/또는 최소화된 마란고니 건조를 제공할 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시예들에 따라 제공되는 기판을 린싱 및/또는 건조하는 예시적인 방법(600)의 흐름도이다. 도 6을 참조하면, 블록(601)에서, 낙수 장치(100a 및/또는 100b)는 낙수 장치(100a 및/또는 100b)에 의해 생성되는 린싱 유체가 원하는 각도로 기판에 충돌하도록 위치된다. 예를 들어, 슬롯(122)에 의해 출력되는 린싱 유체를 기판(200)에서 원하는 각도(예를 들어, 일부 실시예들에서, 린싱되고 있는 표면에 대해 40-60도)로 지향시키기 위해, 각각의 낙수 장치(100a 및 100b)가 기울어질 수 있고/거나, 유동 편향기들(138)이 이용될 수 있다.
블록(602)에서, 린싱 유체는 각각의 낙수 장치(100a 및 100b)의 유입구(110)에 제공된다. 린싱 유체는 유입구(110)를 통해 제1 플레넘(112)으로, 한정된 유체 경로(116)를 통해 제2 플레넘(114)으로, 그리고 제2 플레넘(114)으로부터 슬롯(122)을 통해 이동하여, 기판(200)에 충돌하는 린싱 유체 낙수를 형성한다. 각각의 낙수 장치(100a 및 100b)의 유입구(110)에 제공되는 예시적인 유량들은 약 4 내지 약 8리터/분의 범위이고, 일부 실시예들에서는 약 5 내지 약 6리터/분의 범위이다. 다른 유량들이 이용될 수 있다. 유량은 슬롯 높이, 슬롯 폭, 린싱 유체의 표면 장력, 낙수 장치와 기판 사이의 거리, 린싱 유체가 기판에 충돌하는 각도 등과 같은 인자들에 의존할 수 있다.
일부 실시예들에서, 블록(603)에서, IPA와 같은 용매 증기는 각각의 낙수/기판 계면에서 기판의 마란고니 건조에 영향을 주도록 지향될 수 있다.
블록(604)에서, 기판(200)은 (예를 들어, 낙수 장치들 사이에서) 낙수 장치(100a 및/또는 100b)를 지나 이동되고/거나, 기판(200)을 린싱 및/또는 건조한다.
각각의 낙수 장치(100a 및 100b)는 완전한 기판 직경에 걸쳐 이어질 수 있는 고도로 균일한 유동 린싱 유체 커튼을 제공할 수 있다. 각각의 낙수 장치(100a 및 100b)는 비용, 공간, 및 압력 강하를 감소시키고/거나 최소화하는 한편, 넓은 유량 윈도우에 걸쳐 균일한 슬롯 탈출 속도를 제공할 수 있다. 추가로, 유동 편향기들의 이용을 통해 및/또는 낙수 장치를 기울이는 것을 통해, 유동 스트림이 기판에 충돌하는 각도에 대한 조절들이 이루어질 수 있다. 낙수 장치의 유동 출구와 기판 표면 사이의 수평 갭에 대한 조절은 예를 들어 장착 프레임(402)을 이용하여 이루어질 수 있다.
시스템(400) 및/또는 낙수 장치(100a 및/또는 100b)는 균일한 린싱 유체 커튼(낙수)을 생성할 수 있고, 기판이 그 린싱 유체 커튼을 통해 이동될 수 있으며, 그에 의해 기판의 양면을 효과적으로 린싱한다. 린싱 유체 커튼 위에서의 질소/IPA와 같은 용매 가스 유동의 첨가는 마란고니 프로세스를 통한 기판의 효과적인 건조를 가능하게 한다. 기판의 강력한 린싱 및 건조는 [예를 들어, 슬롯(122)을 통해] 낙수 장치(100a 및/또는 100b)의 길이에 걸친 균일한 린싱 유체 유동을 통해 제공될 수 있다.
린싱 유체가 낙수 장치(100a 또는 100b)를 빠져나가는 각도는 린싱 유체 커튼이 기판(200)에 접촉할 때 린싱 유체 커튼의 메니스커스 형상에 영향을 줄 수 있다. 일부 실시예들에서, 기판(200)에 거의 수직하게 충돌하는 낙수 장치(100a 또는 100b)를 빠져나가는 순수 수평 유동은 크고 불안정한 메니스커스를 생성할 수 있다. 기판의 표면에 대한 약 40 내지 60도의 각도는 기판 상에 더 안정적인 메니스커스를 생성할 수 있고/거나 마란고니 건조 응용들에 더 도움이 될 수 있다.
린싱 유체가 낙수 장치(100a 또는 100b)를 빠져나가는 각도는 여러 방식으로 제어될 수 있다. 예를 들어, 유동 편향기(138)가 낙수 장치(100a 또는 100b)에 부착될 수 있다. 다양한 각도들이 유동 편향기(138)로 머시닝될 수 있다. 일부 실시예들에서, 유동 편향기(138)는 낙수 장치(100a 또는 100b)의 배출구(124)로 직접 머시닝될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 낙수 장치(100a 및 100b)는 낙수 장치(100a/100b)와 기판(200) 사이의 거리의 조절을 허용하는 장착 프레임(402)에 부착될 수 있다. 일부 실시예들에서, 낙수 장치(100a)와 낙수 장치(100b) 사이의 (수평) 갭은 약 10 내지 30mm일 수 있다. 다른 갭들이 이용될 수 있다.
일부 실시예들에서, 장착 프레임(402)은 기판을 린싱하는 낙수(들)에 의해 형성되는 임의의 메니스커스에 대한 용매의 충돌 위치 및/또는 각도를 개선 및/또는 최적화하기 위해, 낙수 장치(100a 또는 100b)에 대한 용매 증기(예를 들어, N2/IPA) 전달 메커니즘(408a-b)의 위치의 조절을 허용할 수 있다. 예시적인 용매 증기 충돌 각도들 및/또는 유량들은 (수직 배향된 기판에 대한 수평선으로부터) 약 40 내지 약 80도이고, 일부 실시예들에서는 약 55 내지 65도이며, 약 3 내지 12 리터/분이고, 일부 실시예들에서는 약 4.5 내지 6 리터/분의 범위이다. 다른 용매 증기 충돌 각도들 및/또는 유량들이 이용될 수 있다.
언급된 바와 같이, 낙수 장치(100a 및 100b)는 기판의 전체 표면에 걸쳐 고도로 균일한 유동 린싱 유체 유동을 제공할 수 있다(예를 들어, 일부 실시예들에서, 약 1% 미만의 유량 변동). 더 균일한 린싱 유체 유동은 기판에 걸쳐 더 강력한 린싱 및 건조 프로세스를 산출해낼 수 있다. 추가로, 낙수 장치(100a 및/또는 100b) 내에서 공기/기포 형성이 감소될 수 있다.
일반적으로, 제1 및 제2 플레넘(112, 114)은 삼각형, 원형, 또는 임의의 다른 적절한 형상일 수 있다. 일부 실시예들에서, 한정된 유체 경로(116)는 슬롯(122)의 길이를 연장하는 단일 개구가 아니라, 일련의 개구들을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 슬롯(122)은 연속적인 개구가 아니라, 낙수 장치의 길이에 걸쳐서 일련의 개구들을 제공하는 톱니형 또는 유사한 형상의 스페이서를 이용함으로써 형성될 수 있다. 예를 들어, 일부 실시예들에서, (단일 개구가 아니라) 슬롯(122)에 걸쳐 일련의 개구들을 생성하기 위해, 제1 결합 표면(118)과 제2 결합 표면(120) 사이에 톱니 형상 스페이서가 이용될 수 있다.
낙수 장치(100a 및/또는 100b)가 2개의 플레넘을 이용하는 것으로서 설명되었지만, 추가 플레넘들(예를 들어, 한정된 유체 경로들에 의해 결합되는 3개, 4개 또는 그보다 많은 플레넘)이 이용될 수 있음이 이해될 것이다.
일부 실시예들에서, 낙수 장치(100a 및/또는 100b)에 대한 유입구는 제2 부분(104)의 다른 위치들 내에, 또는 제1 부분(102) 상에[예를 들어, 제1 플레넘(112)에 직접적으로 공급함] 위치될 수 있다. 일부 실시예들에서, 기판에 린싱 유체를 제공하도록 구성된 낙수 장치는 (1) 제1 부분 - 제1 부분은 (a) 제1 플레넘, 제1 플레넘으로부터 분리된 제2 플레넘, 및 제1 플레넘과 제2 플레넘 사이의 한정된 유체 경로; (b) 제1 결합 표면; 및 (c) 제1 플레넘으로의 유체 경로를 생성하는 유입 개구를 가짐 - ; 및 (2) 제2 결합 표면을 갖는 제2 부분을 포함할 수 있다. 제1 부분의 제1 결합 표면 및 제2 부분의 제2 결합 표면은 낙수 장치의 길이의 적어도 일부를 따라 연장되고 제2 플레넘에 연결되는 슬롯을 형성한다. 제1 부분의 유입 개구 내로 도입되는 유체는 제1 부분의 제1 플레넘을 충진하고, 한정된 유체 경로를 통해 제2 플레넘으로 이동하고, 제1 부분과 제2 부분 사이의 슬롯을 빠져나와서 린싱 유체 낙수를 형성한다. 일부 실시예들에서, 기판은 낙수 장치의 슬롯의 정면에 위치될 수 있고, 린싱 유체가 한정된 유체 경로를 통해 제2 플레넘으로 이동하고, 제1 부분과 제2 부분 사이의 슬롯을 빠져나와서 린싱 유체 낙수를 형성하도록, 린싱 유체가 제1 부분의 유입 개구 내로 지향되어 제1 부분의 제1 플레넘을 충진할 수 있다. 린싱 유체 낙수는 기판을 린싱하도록 기판에서 지향될 수 있다.
따라서, 본 발명이 예시적인 실시예들에 관련하여 개시되었지만, 다른 실시예들은 이하의 청구항들에 의해 정의되는 것과 같은 본 발명의 범위 내에 포함될 수 있음을 이해해야 한다.

Claims (15)

  1. 기판에 린싱 유체를 제공하도록 구성된 낙수 장치(waterfall apparatus)로서,
    제1 폭의 제1 부분 - 상기 제1 부분은,
    제1 플레넘, 상기 제1 플레넘으로부터 분리된 제2 플레넘, 및 상기 제1 플레넘과 상기 제2 플레넘 사이의 한정된 유체 경로,
    제1 결합 표면, 및
    상기 제1 결합 표면과 상기 제1 플레넘 사이에 유체 경로를 생성하는 유입 개구(inlet opening)를 가짐 - ; 및
    상기 제1 폭보다 큰 제2 폭의 제2 부분 - 상기 제2 부분은,
    제2 결합 표면, 및
    상기 제2 부분을 통해 상기 제1 플레넘으로의 유체 경로를 생성하기 위해 상기 제1 부분의 상기 유입 개구와 정렬되는 유입구를 가짐 -
    을 포함하고,
    상기 제1 부분의 상기 제1 결합 표면 및 상기 제2 부분의 상기 제2 결합 표면은 상기 낙수 장치의 길이의 적어도 일부를 따라 연장되고 상기 제2 플레넘에 연결되는 슬롯을 형성하고,
    상기 제2 부분의 상기 유입구 내로 도입되는 유체는 상기 제1 부분의 상기 제1 플레넘을 충진하고, 상기 한정된 유체 경로를 통해 상기 제2 플레넘으로 이동하고, 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이의 상기 슬롯을 빠져나와서 린싱 유체 낙수를 형성하는, 낙수 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이에 형성되는 상기 슬롯은 상기 낙수 장치로 린싱되는 기판의 직경보다 긴 길이를 갖는, 낙수 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 슬롯은 상기 낙수 장치로 린싱되는 기판의 직경보다 대략 10 내지 100mm 더 긴 길이를 갖는, 낙수 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 슬롯은 대략 310 내지 400mm 길이인, 낙수 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 슬롯은 대략 0.5mm 미만의 높이를 갖는, 낙수 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 플레넘은 제1 면, 상기 제1 면에 대향하는 제2 면, 및 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이에 연장되는 제3 면을 포함하고, 상기 제1 면은 상기 제2 면보다 짧고, 상기 제3 면은 상기 제1 부분의 상기 제1 결합 표면에 대해 소정의 각도로 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이에 연장되는, 낙수 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제3 면의 상기 각도는 상기 제1 결합 표면에 대해 약 1 내지 10도인, 낙수 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 한정된 유체 경로 중 적어도 하나는 상기 슬롯의 길이와 동일한 길이를 갖고, 상기 제1 플레넘 및 상기 제2 플레넘은 상기 슬롯의 길이와 동일한 길이를 갖는, 낙수 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 제1 결합 표면과 상기 제2 결합 표면 사이에 형성된 상기 슬롯을 통해 이동하는 유체가 상기 제2 결합 표면 이전에 상기 제1 결합 표면과의 접촉을 끊도록, 상기 제2 부분의 상기 제2 결합 표면은 상기 제1 부분의 상기 제1 결합 표면의 폭보다 큰 폭을 갖는, 낙수 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 제2 부분은 상기 슬롯의 단부에 위치되어 상기 슬롯을 통해 유동되는 린싱 유체를 상기 제2 부분의 상기 제2 결합 표면에 대해 소정의 각도로 재지향시키는 유동 편향기(flow deflector)를 포함하는, 낙수 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 각도는 상기 제2 결합 표면에 대해 대략 40 내지 60도인, 낙수 장치.
  12. 기판을 린싱하도록 구성된 시스템으로서,
    전면측 낙수 장치;
    후면측 낙수 장치; 및
    기판이 린싱 동작 동안 상기 전면측 낙수 장치와 상기 후면측 낙수 장치 사이를 통과하는 것을 허용하도록, 상기 전면측 낙수 장치와 상기 후면측 낙수 장치를 미리 결정된 거리만큼 이격하여 조절가능하게 위치시키는 장착 메커니즘
    을 포함하고,
    상기 전면측 낙수 장치 및 상기 후면측 낙수 장치 각각은,
    제1 폭의 제1 부분 - 상기 제1 부분은,
    제1 플레넘, 상기 제1 플레넘으로부터 분리된 제2 플레넘, 및 상기 제1 플레넘과 상기 제2 플레넘 사이의 한정된 유체 경로,
    제1 결합 표면, 및
    상기 제1 결합 표면과 상기 제1 플레넘 사이에 유체 경로를 생성하는 유입 개구를 가짐 - ; 및
    상기 제1 폭보다 큰 제2 폭의 제2 부분 - 상기 제2 부분은,
    제2 결합 표면, 및
    상기 제2 부분을 통해 상기 제1 플레넘으로의 유체 경로를 생성하기 위해 상기 제1 부분의 상기 유입 개구와 정렬되는 유입구를 가짐 -
    을 포함하고,
    상기 제1 부분의 상기 제1 결합 표면 및 상기 제2 부분의 상기 제2 결합 표면은 상기 낙수 장치의 길이의 적어도 일부를 따라 연장되고 상기 제2 플레넘에 연결되는 슬롯을 형성하고;
    상기 제2 부분의 상기 유입구 내로 도입되는 유체는 상기 제1 부분의 상기 제1 플레넘을 충진하고, 상기 한정된 유체 경로를 통해 상기 제2 플레넘으로 이동하고, 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이의 상기 슬롯을 빠져나와서 린싱 유체 낙수를 형성하는, 시스템.
  13. 제12항에 있어서, 상기 장착 메커니즘은 상기 전면측 낙수 장치와 상기 후면측 낙수 장치의 수평, 횡방향, 및 회전 위치들의 조절을 허용하는, 시스템.
  14. 제13항에 있어서, 상기 전면측 낙수 장치와 상기 후면측 낙수 장치 사이의 상기 미리 결정된 거리는 대략 25 mm 미만인, 시스템.
  15. 기판을 린싱하는 방법으로서,
    기판에 린싱 유체를 제공하도록 구성된 낙수 장치를 제공하는 단계 - 상기 낙수 장치는,
    제1 폭의 제1 부분 - 상기 제1 부분은,
    제1 플레넘, 상기 제1 플레넘으로부터 분리된 제2 플레넘, 및 상기 제1 플레넘과 상기 제2 플레넘 사이의 한정된 유체 경로,
    제1 결합 표면, 및
    상기 제1 결합 표면과 상기 제1 플레넘 사이에 유체 경로를 생성하는 유입 개구를 가짐 - ; 및
    상기 제1 폭보다 큰 제2 폭의 제2 부분 - 상기 제2 부분은,
    제2 결합 표면, 및
    상기 제2 부분을 통해 상기 제1 플레넘으로의 유체 경로를 생성하기 위해 상기 제1 부분의 상기 유입 개구와 정렬되는 유입구를 가짐 -
    을 포함하고,
    상기 제1 부분의 상기 제1 결합 표면 및 상기 제2 부분의 상기 제2 결합 표면은 상기 낙수 장치의 길이의 적어도 일부를 따라 연장되고 상기 제2 플레넘에 연결되는 슬롯을 형성하고,
    상기 제2 부분의 상기 유입구 내로 도입되는 유체는 상기 제1 부분의 상기 제1 플레넘을 충진하고, 상기 한정된 유체 경로를 통해 상기 제2 플레넘으로 이동하고, 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이의 상기 슬롯을 빠져나와서 린싱 유체 낙수를 형성함 - ;
    상기 낙수 장치의 상기 슬롯의 전면에 기판을 위치시키는 단계;
    린싱 유체가 상기 한정된 유체 경로를 통해 상기 제2 플레넘으로 이동하고, 상기 제1 부분과 상기 제2 부분 사이의 상기 슬롯을 빠져나와서 린싱 유체 낙수를 형성하도록, 상기 린싱 유체를 상기 제2 부분의 상기 유입구 내로 지향시켜 상기 제1 부분의 상기 제1 플레넘을 충진하는 단계; 및
    상기 기판에서 상기 기판을 린싱하도록 상기 린싱 유체 낙수를 지향시키는 단계
    를 포함하는 방법.
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