KR20170089340A - 플렉서블 센서 모듈 및 이의 제조 방법 - Google Patents

플렉서블 센서 모듈 및 이의 제조 방법 Download PDF

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이헌민
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Abstract

본 발명은 제1 기판 위에서 외부의 환경 정보의 측정을 위하여 외부에 노출되도록 위치되는 센서부; 상기 센서부와 나란하게 배치되고, 빛을 받아 전원을 생성하는 태양 전지; 상기 제1 기판 위의 일 측에 위치되고, 상기 센서부로부터 측정된 정보를 외부 서버로 전송하는 무선 통신부; 및 상기 제1 기판 위의 다른 일 측에 위치되고, 상기 태양 전지로부터 전원을 공급받아 충전되며, 충전된 전원을 상기 센서부 및 상기 무선 통신부에 공급하는 화학 전지를 포함하고, 상기 태양 전지는, 제2 기판 위에 위치되고, 빛을 받아 상기 센서부에 공급되는 전원을 생성하는 화합물층; 및 상기 화합물층의 표면에 형성되는 금속 전극을 포함하는 플렉서블 센서 모듈에 관한 것이다.

Description

플렉서블 센서 모듈 및 이의 제조 방법{FLEXIBLE SENSOR MODULE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은 태양 전지를 포함하는 센서 모듈 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
온도, 습도, 가스 농도, 조도 등 다양한 정보를 센싱할 수 있는 장치의 활용성을 높이기 위해서는 다양한 센서를 포함하여 집적화시킨 센서 모듈의 제작이 요구된다. 센서 모듈이란, 센서부, 전원부, 통신부 등이 일체화되도록 구성되는 장치를 의미한다.
센서 모듈에 포함되는 각각의 센서를 작동시키기 위해서는 별도의 에너지원이 필요하고, 일반적으로는 1차 전지인 화학 전지가 사용하여 구성되었다. 화학 전지는 주기적인 충전이나 교체가 요구되므로, 사용 편의성이 떨어지는 문제점이 있고 이러한 문제점을 해결하기 위해 별도의 교체나 에너지의 충전이 불필요한 태양 전지를 포함시켜 센서 모듈을 구성할 수 있다. 다만, 태양 전지를 센서 모듈의 에너지원으로 이용하기 위해서는 고효율의 태양 전지가 필요하고, 태양 전지를 내부에 포함되면, 센서 모듈의 크기가 커지는 문제점이 있다. 센서 모듈의 크기가 커지게 되면, 설치되는 장소에 제약을 받게 되는 문제점이 생기게 된다.
이에 센서 모듈이 집적화되어 크기가 커지지 않으며, 유연한 특성을 가져 곡면에도 설치될 수 있는 특성을 가지는 새로운 구조를 가지는 센서 모듈의 필요성이 요구된다.
본 발명은 센서 모듈의 구동을 위해 에너지를 공급할 수 있는 태양 전지를 포함하는 플렉서블 센서 모듈을 제안하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 플렉서블 센서 모듈이 집적화될 수 있는 새로운 구조를 제안하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 상기와 같은 구조를 가지는 플렉서블 센서 모듈을 제조하는 방법을 제안하기 위한 것이다.
상기와 과제를 실현하기 위한 본 발명의 일 실시예와 관련된 플렉서블 센서 모듈은, 제1 기판 위에서 외부의 환경 정보의 측정을 위하여 외부에 노출되도록 위치되는 센서부; 상기 센서부와 나란하게 배치되고, 빛을 받아 전원을 생성하는 태양 전지; 상기 제1 기판 위의 일 측에 위치되고, 상기 센서부로부터 측정된 정보를 외부 서버로 전송하는 무선 통신부; 및 상기 제1 기판 위의 다른 일 측에 위치되고, 상기 태양 전지로부터 전원을 공급받아 충전되며, 충전된 전원을 상기 센서부 및 상기 무선 통신부에 공급하는 화학 전지를 포함하고, 상기 태양 전지는, 제2 기판 위에 위치되고, 빛을 받아 상기 센서부에 공급되는 전원을 생성하는 화합물층; 및 상기 화합물층의 표면에 형성되는 금속 전극을 포함한다.
본 발명과 관련된 일 예에 따르면, 상기 센서부, 태양 전지, 무선 통신부 및 화학 전지는, 상기 제1 기판 위의 서로 다른 위치에 각각 배치된다.
본 발명과 관련된 일 예에 따르면, 상기 태양 전지는, 외부에 노출되어 빛을 흡수하도록, 상기 무선 통신부 및 상기 화학 전지 중 적어도 하나 위에 위치될 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예에 따르면, 상기 금속 전극은 상기 태양 전지, 상기 센서부, 상기 무선 통신부 및 상기 화학 전지를 각각 연결하고, 상기 금속 전극은,상기 화합물층 위에 형성되는 상부 금속 전극; 및 상기 제2 기판과 상기 화합물층의 사이에 위치되고, 상기 화합물층을 기준으로 상기 상부 금속 전극과 반대쪽에 위치되는 하부 금속 전극을 포함한다.
본 발명과 관련된 일 예에 따르면, 상기 센서부는, 외부로 노출되어 외부의 온도, 습도, 가스 농도 및 조도 중 적어도 어느 하나를 측정한다.
본 발명과 관련된 일 예에 따르면, 상기 화합물층은, 3족 및 5족 화합물이 적층되어 형성된다.
이때, 상기 3족 및 5족 화합물은, 갈륨(Ga) 및 비소(As)로 이루어질 수 있다.
본 발명과 관련된 다른 일 예에 따르면, 제1 기판 위에 위치되고, 외부의 환경 정보를 측정하는 센서부; 상기 센서부 위에 위치되는 태양 전지; 상기 제1 기판 위에서 상기 태양 전지와 나란하게 배치되고, 상기 센서부로부터 측정된 정보를 외부 서버로 전송하는 무선 통신부; 및 상기 제1 기판 위에서 상기 무선 통신부와 나란하도록 배치되고, 상기 태양 전지로부터 전원을 공급받아 충전되며, 충전된 전원을 상기 센서부 및 상기 무선 통신부에 공급하는 화학 전지를 포함하고, 상기 태양 전지는, 상기 제1 기판과 마주보도록 배치되는 제2 기판; 상기 제2 기판 위에 위치되고, 빛을 받아 상기 센서부에 공급되는 전원을 생성하는 화합물층; 상기 화합물층의 표면에 형성되는 금속 전극; 및 상기 센서부의 외부 노출을 위해 상기 태양 전지의 상하부를 관통하도록 형성되는 적어도 하나 이상의 관통 홀을 포함한다.
본 발명과 관련된 일 예에 따르면, 상기 금속 전극은 상기 태양 전지, 상기 센서부, 상기 무선 통신부 및 상기 화학 전지를 서로 연결하고, 상기 금속 전극은,상기 화합물층 위에 형성되는 상부 금속 전극; 및 상기 제2 기판과 상기 화합물층의 사이에 위치되고, 상기 화합물층을 기준으로 상기 상부 금속 전극과 반대쪽에 위치되는 하부 금속 전극을 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예에 따르면, 상기 태양 전지는, 상기 관통 홀을 중심으로 양쪽에서 상기 제2 기판, 상기 하부 금속 전극, 상기 화합물층 및 상기 상부 금속 전극의 순서로 적층되어 서로 마주보도록 배치될 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예에 따르면, 상기 센서부는, 상기 각 관통 홀을 통해 외부로 노출되어 외부의 온도, 습도, 가스 농도 및 조도 중 적어도 어느 하나를 측정할 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예에 따르면, 상기 태양 전지가 외부로 노출되는 것을 제한하도록 상기 태양 전지의 표면을 덮는 밀봉부를 더 포함한다.
본 발명과 관련된 일 예에 따르면, 상기 제1 기판 위에서 상기 센서부와 나란하게 위치되고, 상기 센서부에 의해 측정된 신호를 증폭시키는 신호 증폭부를 더 포함한다.
상기와 과제를 실현하기 위한 본 발명의 일 실시예와 관련된 플렉서블 센서 모듈의 제조 방법은, 제1기판 위에 센서부, 화학 전지 및 무선 통신부를 적층하여 반제품을 형성시키는 제1 단계; 및 태양 전지를 형성시키는 제2 단계를 포함하고,상기 제2 단계는, 상기 제1 기판과 마주보도록 배치되는 제2 기판 위에 하부 금속 전극을 형성시키는 단계; 상기 하부 금속 전극 위에 3족 및 5족 화합물층을 형성시키는 단계; 상기 3족 및 5족 화합물층 위에 상기 3족 및 5족 화합물층의 일부분이 외부로 노출되도록 상부 금속 전극을 형성시키는 단계; 및 적층된 상기 제2 기판, 상기 하부 금속 전극, 상기 3족 및 5족 화합물층 및 상기 상부 금속 전극을 관통하도록 관통 홀을 형성시키는 단계를 포함하며, 상기 반제품을 형성한 후 상기 태양 전지를 형성하여 상기 반제품 위에 상기 태양 전지를 결합시키거나, 상기 태양 전지를 형성한 후 상기 반제품을 형성하여 상기 반제품 위에 상기 태양 전지를 결합시키는 제3 단계를 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예에 따르면, 상기 관통 홀을 형성시키는 단계는, 상기 외부로 노출된 3족 및 5족 화합물층의 일부분을 제거하여 상기 하부 금속 전극을 외부로 노출시키는 단계; 및 상기 하부 금속 전극 및 상기 제2 기판을 타공하여 상기 센서부가 외부로 노출시키는 단계를 포함한다.
본 발명과 관련된 일 예에 따르면, 상기 반제품 위에 결합된 상기 태양 전지가 공기와 접촉되는 것을 방지하도록 상기 태양 전지의 표면을 밀봉부로 덮는 제4 단계를 더 포함한다.
상기와 같은 구성의 본 발명에 의하면, 고효율의 태양 전지를 포함하여 센서 모듈의 작동을 위한 에너지를 공급할 수 있으며, 플렉서블한 특성을 가지므로 사용자는 곡면을 가지는 부위에도 부착하여 센서 모듈의 기능을 수행하도록 할 수 있다.
또한, 센서 모듈의 제안된 구조를 통해 집적화되고, 비교적 크기가 작은 센서 모듈을 얻을 수 있게된다.
또한, 관통 홀을 구비하는 센서 모듈은 센서부를 외부로 노출시키는 구조를 통해 센서 모듈의 크기를 증가시키지 않으면서도 센서 모듈의 구현이 가능하게 된다.
또한, 상기와 같은 구성의 본 발명에 의하여, 센서 모듈을 제조할 수 있다.
도 1은 태양 전지를 포함하는 플렉서블 센서 모듈의 사시도.
도 2는 도 1의 플렉서블 센서 모듈의 구조를 보여주는 측면도.
도 3은 태양 전지의 구조를 나타내는 측면도.
도 4는 도 3의 태양 전지를 밀봉부가 위에서 덮고 있는 모습을 나타내는 측면도.
도 5는 도 1의 플렉서블 센서 모듈과 다른 실시예를 나타내는 사시도.
도 6은 플렉서블 센서 모듈의 다른 실시예를 나타내는 측면도.
도 7은 도 6에 포함되는 태양 전지의 구조를 나타내는 측면도.
도 8의 (a) 및 (b)는 도 7에 포함되는 관통 홀에 의해 노출된 센서부와 상부 금속 전극을 보여주는 개념도.
도 9는 센서 모듈의 각 구성의 연결 관계를 보여주는 개념도.
도 10은 센서 모듈의 제조 방법을 나타내는 개념도.
도 11a 내지 도 11d는 센서 모듈의 제조 방법의 각 단계를 나타내는 순서도.
이하, 본 발명에 관련된 플렉서블 센서 모듈에 대하여 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.
본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다. 본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다.
도 1은 플렉서블 센서 모듈(100)을 나타내는 사시도이고, 도 2는 플렉서블 센서 모듈(100)의 구조를 보여주는 측면도이다.
플렉서블 센서 모듈(100)은 센서부(110), 태양 전지(120), 무선 통신부(130) 및 화학 전지(140)를 포함하며, 도 1에서 보는 바와 같이, 이들 각 구성이 동일 기판 위에 수평형으로 적층되어 집적된 구조를 가지게 된다. 도 1에서 보는 바와 같이, 플렉서블 센서 모듈(100)은 제1 기판(111)이 하부에 위치되고, 그 위에 센서부(110), 태양 전지(120), 무선 통신부(130) 및 화학 전지(140)이 위치되는 구조를 가진다.
플렉서블 센서 모듈(100)은 센서부(110)에 의해 외부 환경 정보를 수집하여 외부에 그 정보를 무선 통신부(130)를 통해 송신할 수 있는 것으로, 빛이 있는 환경에서는 태양 전지(120)를 통해 전원을 공급받아 그 기능을 수행하고, 빛이 없는 환경에서는 태양 전지(120)에 의해 생성되는 전원의 일부를 화학 전지(140)에 저장시킴으로써 정상적인 작동이 가능하게 된다.
센서부(110), 태양 전지(120), 무선 통신부(130) 및 화학 전지(140)는 제1 기판(111) 위에 위치되는데, 각 구성의 특정 위치와 배열은 다양하게 이루어질 수 있다. 따라서 도 1에 나타난 구조 및 배열에 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또한, 각 구성은 동일 기판 위에 위치되는 것이라면, 서로 순서가 바뀌더라도 무관하다.
본 발명에서의 기판은 각 구성을 지지하고, 기판에 형성되는 연결선을 통해 각 구성을 전기적으로 상호 연결하는 역할을 한다. 본 발명에 포함되는 기판은 유연한(flexible) 특성을 가지므로, 플렉서블 센서 모듈(100)은 굴곡이나 곡면을 가지는 벽면 혹은 장치에도 부착이 가능하게 된다.
기판은 제1 기판(111), 제2 기판(121)을 포함한다. 제1 기판(111) 및 제2 기판(121)은 1mm 이하의 두께를 가지는 합성수지계열로 이루어져 구부러지거나 휘어질 수 있는 특성을 가진다. 다만, 제1 기판(111)과 제2 기판(121)은 본 재료에만 한정되는 것은 아니다.
도 2는 플렉서블 센서 모듈(100)의 각 구성을 보여준다. 플렉서블 센서 모듈(100)에 포함되는 각 구성과 이들 각 구성의 상호 작용에 대하여 살펴본다.
센서부(110)는 제1 기판(111) 위에 납이나 합성 수지 등의 다양한 수단을 통해서 고정될 수 있다. 센서부(110)는 외부의 환경 정보를 측정하는 역할을 하는 것으로, 센서부(110)는 외부로 노출되어 외부의 온도, 습도, 가스 농도 및 조도 중 적어도 어느 하나를 측정하는 역할을 한다. 이와 같은 역할을 하기 위하여, 센서부(110)는 온도 센서, 습도 센서, 가스 농도 측정 센서 및 조도 센서 중 적어도 어느 하나를 포함하거나, 이들 각 센서의 역할을 하는 복합 센서 혹은 서로 다른 복수 개의 센서로 구성될 수도 있다.
센서부(110)는 사용 목적에 따라 가스 농도, 온도, 습도, 조도 등을 측정할 수 있으며, 복수개의 센서가 결합되어 다양한 기능을 수행할 수 있다. 센서부(110)의 구조와 그 형상도 특별한 제한이 없다. 다만, 센서부(110)는 일반적으로 모듈의 형태를 가질 것이므로, 센서부(110) 역시 유연한 특성을 가지는 기판을 구성으로 포함하는 것이 바람직 할 것이다.
도 2에서 보듯이, 센서부(110)는 외부의 환경 정보를 측정하는 기능을 수행해야 하므로, 외부에 노출되도록 위치된다.
무선 통신부(130)는 제1 기판(111) 위의 일 측에 위치될 수 있고, 제1 기판(111) 위의 일 측에 위치된 센서부(110)와 나란하게 위치될 수 있다. 무선 통신부(130)는 센서부(110)로부터 측정된 정보를 외부 서버로 전송하는 역할을 하는 것으로, 약 1.56MHz 내지 2.54GHz의 비교적 넓은 범위를 주파수로 선택하여 무선 통신 기능을 수행할 수 있다. 센서부(110)에 의해 측정된 온도, 가스 농도, 조도, 습도 등의 정보는 무선 통신부(130)를 통해 외부 서버로 전송될 수 있고, 사용자는 전송된 정보를 컴퓨터, 스마트폰, 노트북 등의 다양한 장치를 통해 수신하여 확인할 수 있을 것이다.
무선 통신부(130)는 유연한 특성을 가지도록, 1mm 이내의 두께를 구성되는 것이 바람직할 것이다. 무선 통신부(130)는 외부로 노출되지 않아도 되므로 무선 통신부(130)가 배치되는 위치에는 제한이 없다. 도 2에서 보는 바와 같이, 무선 통신부(130)는 제1 기판(111) 위에 일 측에 납이나, 합성 수지 등을 이용하여 고정되게 된다. 즉, 무선 통신부(130)는 센서부(110)와 동일 평면 위에 위치하게 된다.
화학 전지(140)는 화학 에너지를 전기 에너지로 변환하여 각 구성에 전원을 공급하는 역할을 하는 것으로, 아연(Zn), 리튬(Li) 등을 포함하는 2차 전지로 구성될 수 있다. 화학 전지(140)는 유연한 특성을 가질 수 있도록, 1mm 이내의 두께로 이루어지는 것이 바람직할 것이다. 태양 전지(120)가 전원을 생성할 수 없는 환경일 때, 화학 전지(140)는 센서부(110) 및 무선 통신부(130)가 작동될 수 있도록 저장된 전력을 센서부(100) 및 무선 통신부(130)에 공급하는 역할을 하게 된다.
화학 전지(140)는 제1 기판(111) 위의 일 측에 위치되어, 무선 통신부(130) 및 센서부(110)와 동일 평면에 위치될 수 있다. 화학 전지(140)는 태양 전지(120)로부터 전원을 공급받음으로써 충전되고, 충전된 전원은 태양 전지(120)가 빛을 흡수하지 못하여, 전원을 생성하지 못할 때, 센서부(110) 및 무선 통신부(130)의 동작을 위한 전원을 공급하는 역할을 한다.
빛이 없는 환경에서 태양 전지(120)의 작동이 어려운 경우, 화학 전지(140)는 충전된 전원을 센서부(110) 및 무선 통신부(130)에 공급하여 이들을 작동시키게 된다. 화학 전지(140)가 배치되는 위치에는 특별한 제한이 없으며, 도 2에서는 화학 전지(140)를 센서부(100), 무선 통신부(130) 및 태양 전지(120)와 동일 평면 위에 위치되도록 하였다.
도 1과 도 2에서 보듯이, 제1 기판(111) 위에 위치되는 센서부(110), 무선 통신부(130) 및 화학 전지(140)는 각 구성 사이에 접착재(10)가 개재됨으로써 제1 기판(111) 위의 특정 위치에 고정될 수 있게 된다.
도 3과 도 4는 태양 전지(120)의 구조를 나타내는 도면이다.
태양 전지(120)는 태양 에너지를 전기 에너지로 변환하는 역할을 하는 것으로, 태양으로부터 생성된 빛에너지를 전기 에너지로 바꾸는 역할을 한다. 도 1과 도 2에서 보듯이, 태양 전지(120)는 제1 기판(111) 위의 일 측에 위치되고, 센서부(110), 화학 전지(140) 및 무선 통신부(130)와 동일 평면 상에 위치하게 된다.
태양 전지(120)는 제2 기판(121), 화합물층(123), 금속 전극(125)을 포함한다.
태양 전지(120)는 제1 기판(111) 위에 위치되므로, 제2 기판(121)은 제1 기판(111)과 마주보게 된다. 제2 기판(121)은 하부에서 금속 전극(125) 및 화합물층(123)을 지지하는 역할을 한다. 제2 기판(121)은 제2 기판(121)에 형성되는 구리 전극을 통해 제1 기판(111)과 연결되고, 센서부(110), 화학 전지(140) 및 무선 통신부(130)와 연결된다. 제2 기판(121)은 상기 기재한 기판에 관한 내용과 동일하다.
태양 전지(120)의 화합물층(123)에 빛이 들어오게 되면, 빛에너지에 의하여 전자와 정공이 생기는데, p형 반도체의 다수의 캐리어는 정공이고 소수의 캐리어는 전자를 형성한다. 빛에 의해 형성된 전자와 정공 및 이에 의해 형성된 밀도차에 의해 전자와 정공은 주변으로 확산되고 전위차가 p-n 접합부에 도달되면, 강한 전기장에 의하여 전자와 정공은 분리되게 된다. p형 반도체에서 확산된 전자는 n형 반도체 쪽으로, n형 반도체에서 확산된 정공은 p형 반도체 쪽으로 이동하게 되고, 전류가 흐르는 원리에 의해 전원이 생산될 수 있게 된다. 본 발명에서는 태양 전지(120)의 상부 금속 전극(125a) 및 하부 금속 전극(125b)이 각각 n층 및 p층 역할을 하게 된다.
화합물층(123)은 제2 기판(121) 위에 위치되고, 빛을 받아 전자와 정공을 분리시킴으로써 전원을 발생시키는 역할을 하게 된다. 화합물층(123)은 3족 및 5족 화합물이 적층되는 방식으로 이루어진다. 여기서 3족 및 5족 화합물이란, 주기율표상의 3족 및 5족 원소의 결합으로 형성되는 것으로 3족 원소로는 갈륨(Ga), 5족 원소로는 비소(As)가 사용될 수 있다. 화합물층(123)은 유연한 특성을 가지도록 약 3㎛ 이하의 단위 박막으로 이루어질 수 있을 것이다.
갈륨(Ga) 및 비소(As)를 포함하여 태양 전지(120)를 구성하게 되면, 기존의 Si계 태양 전지(120)에 비해 높은 발전량을 제공할 수 있고, 400 lux의 조도가 낮은 환경에서도 높은 발전량의 제공할 수 있게 된다.
갈륨(Ga) 및 비소(As)를 포함하는 태양 전지(120)는 3㎛ 이내의 얇은 두께에서도 높은 발전 효율을 가질 수 있고, 휘어짐(bending)이 가능하여 플렉서블한 특성을 가진다. 이에 형성되는 센서 모듈은 얇고, 컴팩트한 외형 및 가벼운 특성을 가질 수 있다.
도 3과 도 4를 보면, 금속 전극(125)은 화합물층(123)의 표면에 형성되는 것으로, 금속 전극(125)은 상부 금속 전극(125a) 및 하부 금속 전극(125b)을 포함한다.
상부 금속 전극(125a)은 화합물층(123) 위에 위치되고, 상부 금속 전극(125a)은 핑거(125a', 도 8 참조) 및 버스바(125a", 도 8 참조)를 포함한다. 하부 금속 전극(125b)은 제2기판과 화합물층(123)의 사이에 위치되며 화합물층(123)을 기준으로 상부 금속 전극(125a)과 반대쪽에 위치된다.
상부 금속 전극(125a) 및 하부 금속 전극(125b)은 빛에 의해 형성되는 전하를 수집하기 위해 화합물층(123)의 전, 후면에서 전자와 양공을 형성시키는 전극의 역할을 하게 된다. 본 발명에서 상부 금속 전극(125a)은 n층을, 하부 금속 전극(125b)은 p층을 형성하게 된다.
상부 금속 전극(125a) 및 하부 금속 전극(125b)은 금속 페이스트(paste)를 이용하여 형성되는데, 상부 금속 전극(125a)은 알루미늄(Al) 페이스트(paste)가 사용되는 것이 일반적이고, 하부 금속 전극(125b)은 은(Ag) 페이스트(paste)가 사용되는 것이 일반적이다.
태양 전지(120)에 태양광이 조사되면, 화합물층(123), 상부 금속 전극(125a) 및 하부 금속 전극(125b) 간의 상호 작용에 의해 광전효과가 발생하여 기전력이 생기게 되며, 발생된 전원은 저장되거나 전원이 필요한 장치에 연결됨으로써 이용되게 된다. 여기서 광전 효과란, 빛을 흡수하여 전하를 생성하는 것을 의미한다.
태양 전지(120)는 도 4에서와 같이, 태양 전지(120)가 외부로 노출되는 것을 제한하도록, 태양 전지(120)의 표면을 덮는 밀봉부(150)를 더 포함할 수 있다. 밀봉부(150)는 태양 전지(120)의 상부에 위치된다. 밀봉부(150)는 태양 전지(120)가 외부로 노출되어 수분이 침투되거나 오염되는 것을 막기 위해 투명한 합성수지로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 합성수지는 PVC 같은 물질로 이루어질 수 있다.
도 5는 본 발명에 따르는 플렉서블 센서 모듈(100)의 다른 실시예이다.
플렉서블 센서 모듈(100)은 센서부(110), 태양 전지(120), 무선 통신부(130) 및 화학 전지(140)를 포함하며, 이들 각 구성이 기판 위에 적층되어 형성되는 구조를 가진다. 다만, 도 1의 플렉서블 센서 모듈(100)의 구조와는 다르게, 각 구성이 수평형으로 나란하게 적층되는 것이 아닌, 일부 구성 위에 다른 구성이 적층되는 적층형으로 이루어 질 수 있다.
도 5에서 보는 바와 같이, 플렉서블 센서 모듈(100)은 하부에 화학 전지(140) 및 무선 통신부(130)가 위치되고, 화학 전지(140) 및 무선 통신부(130) 위에는 센서부(110) 및 태양 전지(120)가 위치될 수 있다.
도 5는 태양 전지(120) 아래에 무선 통신부(130)가 위치되고, 센서부(110)의 아래에 화학 전지(140)가 위치되는 구성에 대해 나타내고 있으나, 태양 전지(120)와 센서부(110)의 위치는 서로 바뀌어도 무방하다. 다만, 태양 전지(120)는 외부로부터 빛을 흡수해 전원을 생성하여야 하고, 센서부(110)는 외부로 노출되어 외부의 환경 정보를 측정해야 하므로, 태양 전지(120) 및 센서부(110)는 외부에 노출되도록 위치되어야 할 것이다. 화학 전지(140) 및 무선 통신부(130)는 외부에 노출되지 않더라도 기능 수행에 문제 없으므로, 외부에 노출되도록 위치되지 않아도 될 것이다. 즉, 태양 전지(120)는 외부에 노출되어 빛을 흡수하도록, 무선 통신부(130) 및 화학 전지(140) 중 적어도 하나 위에 위치될 수 있고, 센서부(110)는 외부의 환경 정보 측정을 위하여, 무선 통신부(130) 및 화학 전지(140) 중 적어도 하나 위에 위치될 수 있다.
도 6은 플렉서블 센서 모듈(100)의 다른 실시예를 나타내는 것으로, 관통홀(127)이 형성되는 플렉서블 센서 모듈(100)의 모습을 나타낸다. 도 7은 관통홀(127)을 구비하는 태양 전지(120)의 구조를 보여주는 도면이다.
플렉서블 센서 모듈(100)은 센서부(110), 태양 전지(120), 무선 통신부(130) 및 화학 전지(140)를 포함하며, 이들 각 구성이 기판 위에 적층되어 형성되는 구조를 가진다. 플렉서블 센서 모듈(100)은 제1 기판(111) 위에 센서부(110), 무선 통신부(130) 및 화학 전지(140)가 나란하게 배치될 수 있고, 그 위에 태양 전지(120)가 위치하게 된다. 다만, 센서부(110), 무선 통신부(130) 및 화학 전지(140)의 위치는 도 6에 나타난 구조에만 한정되는 것은 아니고, 서로 위치가 바뀌더라도 무방하다.
플렉서블 센서 모듈(100)에 포함되는 기판은 유연한(flexible) 특성을 가지고, 이러한 기판을 포함하여 구성되므로 상기에서 설명한 바와 같이, 굴곡이나 곡면을 가지는 벽면 혹은 장치에 부착될 수 있다.
센서부(110)는 제1 기판(111) 위에 위치된다. 센서부(110)는 태양 전지(120)에 형성되어 있는 관통 홀(127)을 통해 외부로 노출되어 외부의 온도, 습도, 가스 농도 및 조도 중 적어도 어느 하나를 측정하게 된다. 센서부(110)에 관한 설명은 상기 기재한 바와 같다.
무선 통신부(130)는 제1 기판(111) 위에 위치되어 센서부(110)와 동일 평면 위에 위치되거나 센서부(110)보다 아래쪽에 위치될 수 있다. 화학 전지(140)는 센서부(110)와 나란하게 배치되거나 센서부(110)의 아래쪽에 배치될 수 있다. 도 6에서 보듯이, 제1 기판(111) 위에는 센서부(110), 무선 통신부(130) 및 화학 전지(140)가 나란하게 배치되는 구조를 가지는데, 이들 각 구성은 구성 사이에 개재되는 접착재(10)에 의해 제1 기판(111) 위의 특정 위치에 고정될 수 있게 된다.
도 6과 도 7에서 보듯이, 태양 전지(120)는 센서부(110)보다 위쪽에 위치되고, 태양 전지(120)의 관통 홀(127)에 의해 센서부(110)를 외부로 노출시키는 구조를 가진다. 태양 전지(120)는 제2 기판(121), 화합물층(123), 금속 전극(125) 및 이들을 관통하는 관통 홀(127)을 포함한다.
제2 기판(121)은 제1 기판(111)과 마주보도록 배치되고, 하부에서 금속 전극(125) 및 화합물층(123)을 지지하는 역할을 한다. 제2 기판(121)은 제2 기판(121)에 배치되는 구리 전극을 통해 제2 기판(121)의 아래에 위치되는 센서부(110), 화학 전지(140) 및 무선 통신부(130)를 상호간에 연결하는 역할을 하게 된다. 화합물층(123)은 제2 기판(121) 위에 위치되는 것으로, 3족 및 5족 화합물이 적층되는 방식으로 이루어진다. 3족 원소로는 갈륨(Ga), 5족 원소로는 비소(As)가 사용될 수 있다. 금속 전극(125)은 화합물층(123)의 표면에 형성되는 것으로, 금속 전극(125)은 상부 금속 전극(125a) 및 하부 금속 전극(125b)을 포함한다.
도 8 (a)는 관통 홀(127)에 의해 외부로 노출된 센서 A의 주위로 상부 금속 전극(125a)이 형성되는 모습을 나타내고, 도 8의 (b)는 관통 홀(127)에 의해 외부로 노출된 센서 A, B, C 및 센서 A, B, C의 주위로 상부 금속 전극(125a)이 형성되는 모습을 나타낸다.
상부 금속 전극(125a)은 화합물층(123) 위에 위치되고, 상부 금속 전극(125a)은 핑거(125a') 및 버스바(125a")를 포함한다. 가로 방향으로 연장되는 복수 개의 점선은 상부 금속 전극(125a)의 핑거(125a')를 나타내고, 세로 방향으로 연장되고 핑거(125a')의 양단에 위치되는 점선은 버스바(125a")를 나타낸다. 핑거(125a')는 화합물층(123)과 넓은 면적에서 맞닿아 화합물층(123)에서 형성되는 전류를 전달받는 역할을 한다. 버스바(125a")는 핑거(125a')와 연결되어 핑거(125a')에 의해 전류를 전달받아 화합물층(123)에서 형성되는 전류를 수집하는 역할을 한다.
하부 금속 전극(125b)은 제2기판과 화합물층(123)의 사이에 위치되며 화합물층(123)을 기준으로 상부 금속 전극(125a)과 반대쪽에 위치된다.
상부 금속 전극(125a) 및 하부 금속 전극(125b)은 빛에 의해 형성되는 전하를 수집하기 위해 화합물층(123)의 전, 후면에서 전자와 양공을 형성시키는 전극의 역할을 하게 된다. 본 발명에서 상부 금속 전극(125a)은 n층을, 하부 금속 전극(125b)은 p층을 형성하게 된다.
상부 금속 전극(125a) 및 하부 금속 전극(125b)은 금속 페이스트(paste)를 이용하여 형성하게 되는데, 상부 금속 전극(125a)은 알루미늄(Al) 페이스트(paste)가 사용되는 것이 일반적이고, 하부 금속 전극(125b)은 은(Ag) 페이스트(paste)가 사용되는 것이 일반적이다.
태양 전지(120)에 태양광이 조사되면, 화합물층(123), 상부 금속 전극(125a) 및 하부 금속 전극(125b) 간의 상호 작용에 의해 광전효과가 발생하여 기전력이 생기게되며, 발생된 전원은 저장되거나 전원이 필요한 장치에 연결됨으로써 이용되게 된다.
도 7에서 보는 바와 같이, 태양 전지(120)는 관통 홀(127)을 중심으로 양쪽에서 제2 기판(121), 하부 금속 전극(125b), 화합물층(123) 및 상부 금속 전극(125a)의 순서로 적층되어 서로 마주보도록 배치되는 구조를 가진다. 관통 홀(127)은 센서부(110)를 외부로 노출시키도록 태양 전지(120)의 상부 및 하부를 관통하는 역할을 하게 된다. 센서부(110)를 외부로 노출시킬 수 있다면 관통 홀(127)의 형상에는 특별한 제한이 없다.
태양 전지(120)에 형성되는 관통 홀(127)에 의해 센서부(110)는 외부로 노출가능하고, 센서부(110)는 외부의 환경 정보를 측정할 수 있다. 관통 홀(127)을 통해 센서부(110)를 외부로 노출시키는 것은 태양 전지(120)의 좌측 혹은 우측에 별도로 위치시키는 것에 비해 모듈의 배치 및 공간 활용 측면에서 이점이 있다. 또한, 하나의 기판으로 형성할 때, 기판에 존재하게 되는 불필요한 공간(dead area)을 최소화할 수 있게 된다.
태양 전지(120)에서 관통 홀(127)이 형성되는 위치에는 특별한 제한이 없으나, 관통 홀(127)을 중심으로 태양 전지(120)의 금속 전극(125)이 대칭성을 가지도록 구성되어야 높은 발전 효율을 가지므로, 태양 전지(120)의 중앙부에 센서 모듈이 노출되도록 관통 홀(127)이 형성되는 것이 바람직하다.
태양 전지(120), 센서부(110), 무선 통신부(130) 및 화학 전지(140)는 제1 기판(111) 및 제2 기판(121)에 형성되는 연결선에 의해 각 구성들끼리 서로 연결되고, 화학 전지(140) 및 태양 전지(120)는 각 구성에 전원을 공급할 수 있게 된다. 연결선은 통상 금속으로 이루어지고, 그 중 구리로 이루어지는게 일반적일 것이다.
도 9는 태양 전지(120), 센서부(110), 무선 통신부(130) 및 화학 전지(140)의 상호 연결 관계에 대해서 나타낸다. 도 9를 보면, 태양 전지(120)는 화학 전지(140)와 연결되어 태양 전지(120)에 의해서 발생된 전력을 화학 전지(140)에 저장시킬 수 있도록 구성하였고, 태양 전지(120)와 화학 전지(140)는 센서부(110) 및 무선 통신부(130)와 각각 연결된다. 센서부(110) 및 무선 통신부(130)는 외부로부터 빛을 받을 수 있는 환경에서는 태양 전지(120)에 의해 전원을 공급받게 되고, 빛이 없는 환경에서는 태양 전지(120)에 의해 충전된 화학 전지(140)로부터 전원을 공급받게 된다. 도 9에서와 같이, 각 구성 간의 연결선은 하나의 선의 연결이 끊어지더라도 연결이 유지될 수 있도록 복수개로 이루어질 것이다.
센서 모듈(100)은 제1 기판(111) 위에 위치되는 센서부(110), 화학 전지(140)와 나란하게 위치되면서 센서부(110)에 의해 측정된 신호를 증폭시키는 신호 증폭부(미도시)가 더 포함될 수 있다. 신호 증폭부(미도시)의 구조 및 형상에는 특별한 제한이 없다.
플렉서블 센서 모듈(100)은 태양 전지(120)가 외부로 노출되는 것을 제한하도록 태양 전지(120)의 표면을 덮는 밀봉부(150)를 더 포함할 수 있다. 밀봉부(150)에 관한 설명은 상기 기재한 바와 같다.
센서부(110)는 외부로 노출되어 외부의 환경 정보를 측정하여야 하므로 센서부(110)는 밀봉부(150)에 의해 노출이 제한되지 않도록 구성되어야 하므로, 도 6과 도 7에서 보는 바와 같이, 밀봉부(150)는 센서부(110)를 외부로 노출시키면서, 태양 전지(120)를 이루는 각 구성을 덮게 된다. 이에
도 8의 (a)와 (b)에서 보듯이, 태양 전지(120)에 형성된 하나의 관통 홀(127)에 의해 노출되는 센서부에 의해서 외부의 환경 정보를 측정하는 역할을 하게 된다.
센서 모듈(100)은 태양 전지(120)에 형성된 관통 홀(127)을 통해 센서부(110)가 외부로 노출되는 구성을 가지고 있으므로, 구성을 최적화 할 수 있고, 효율화를 도모할 수 있는 장점이 있다. 또한, 센서 모듈(100)은 유연한 특성으로 인해 휘어질 수 있고, 두께가 얇으므로 곡면에도 자유롭게 부착될 수 있다. 센서부(110)는 부착되는 센서의 종류에 따라 가스 농도, 조도, 온도, 습도 등을 측정할 수 있으며, 무선 통신부(130)를 통해 정보를 송신하여 수신 기능이 있는 스마트폰, 노트북, 태블릿PC, 컴퓨터에 정보를 제공할 수 있다.
이상으로 센서 모듈(100)의 구조 및 각 구성에 따른 작동에 대해 살펴보았고, 이하에서는 도 10과 도 11A 내지 도 11D를 참조하여 관통 홀(127)을 구비하는 센서 모듈(100)을 제조하는 방법에 대해서 살펴본다.
도 10은 관통 홀(127)을 구비하는 센서 모듈(100)의 제조하는 방법을 나타내는 도면이다. 다만, 이는 관통 홀(127)을 구비하지 않는, 도 2와 같은 센서 모듈(100)을 제조하는데 이용가능할 것이다.
센서 모듈(100)은 제1 단계, 제2 단계, 제3 단계 및 제4 단계를 거쳐 제조될 수 있다.
도 10의 상단 좌측 및 도 11A를 보면, 제1 단계는 제1 기판(111) 위에 센서부(110), 화학 전지(140) 및 무선 통신부(130)를 적층하여 반제품을 형성시키는 단계이다. 이때, 센서부(110), 화학 전지(140) 및 무선 통신부(130)는 도 6의 센서 모듈(100)의 구조에서 살펴보았듯이, 제1 기판(111) 위의 동일 평면상에 위치되도록, 서로 나란하게 배치되고 이들 사이에 접착재(10)가 개재되어 고정되게 된다.
도 10의 우측 상단 및 도 11B를 보면, 제2 단계는 태양 전지(120)를 형성시키는 단계이다. 제2 단계는 제2 기판(121) 위에 하부 금속 전극(125b)을 형성시키는 단계, 하부 금속 전극(125b) 위에 3족 및 5족 화합물층(123)을 형성시키는 단계, 3족 및 5족 화합물층(123) 위에 상부 금속 전극(125a)을 형성시키는 단계, 적층된 제2 기판(121), 하부 금속 전극(125b), 3족 및 5족 화합물층(123) 및 상부 금속 전극(125a)을 관통하도록 관통 홀(127)을 형성시키는 단계로 구성된다.
여기서 관통 홀(127)을 형성시키는 단계는, 도 10에서 보듯이, 외부로 노출된 3족 및 5족 화합물층(123)의 일부분을 화학적인 방법으로 제거하고 상기 하부 금속 전극(125b)을 외부로 노출시키는 단계와 하부 금속 전극(125b) 및 제2 기판(121)을 타공하여 센서부(110)가 외부로 노출시키는 단계로 구성된다. 관통 홀(127)을 형성시켜 센서부(110)를 외부로 노출시키는 것은 노출된 하부 금속 전극(125b) 및 제2 기판(121)을 레이저, 커터, 펀칭을 이용하여 타공함으로써 형성시킬 수 있다.
다시 말하면, 태양 전지(120)에 관통 홀(127)을 형성시키는 방법은 상부 금속 전극(125a) 사이로 노출된 화합물층(123)을 화학적인 방법으로 제거하고, 노출된 하부 금속 전극(125b) 및 제2 기판(121)을 레이저, 커터, 펀칭 등의 방법을 이용하여 타공함으로써 형성할 수 있게 된다.
도 10 및 도 11C를 보면, 제3 단계는 상기 반제품을 형성한 후 상기 태양 전지(120)를 형성하여 상기 반제품 위에 상기 태양 전지(120)를 결합시키거나, 상기 태양 전지(120)를 형성한 후 상기 반제품을 형성하여 상기 반제품 위에 상기 태양 전지(120)를 결합시키는 단계를 의미한다.
제3 단계는 상기 반제품과 상기 태양 전지(120)를 결합시키는 단계로서, 제1 단계에 의해 형성되는 반제품 위에 제2 단계에 의해 형성되는 상기 태양 전지(120)를 결합시키거나, 제2 단계에 의해 태양 전지(120)를 형성시킨 후 제1 단계에 의해 반제품을 형성시킨 후 이들을 결합시키는 단계를 의미한다. 다만, 제3 단계는 제1 단계와 제2 단계를 병행하여 형성시킨 후에 제1 단계에 의해 형성되는 반제품과 제2 단계에 의해 형성되는 태양 전지(120)를 결합시키는 단계로 이루어질 수도 있다.
도 10 및 도 11D를 보면, 제4 단계는 상기 반제품 위에 결합된 상기 태양 전지(120)가 공기와 접촉되는 것을 방지하도록 상기 태양 전지(120)의 표면을 밀봉부(150)로 덮는 단계를 의미한다. 여기서 밀봉부(150)는 상기 센서 모듈(100)의 구조에서 설명한 바와 동일한 특성을 가진다.
도 10은 제1 단계, 제2 단계, 제3 단계 및 제4 단계를 거치면서 플렉서블 센서 모듈(100)을 제조하는 방법 전체를 개략적으로 나타내는 것으로, 이와 같은 방법으로 플렉서블 센서 모듈(100)을 형성할 수 있게 된다.
이상에서 설명된 센서 모듈 및 이의 제조 방법은 상기 설명된 실시예들의 구성과 방법에 한정되는 것이 아니라, 상기 실시예들의 다양한 변형이 이루어질 수 있도록, 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합될 수 있다.
100: 플렉서블 센서 모듈 110: 센서부
120: 태양 전지 127: 관통 홀
130: 무선 통신부 140: 화학 전지
150: 밀봉부

Claims (16)

  1. 제1 기판 위에서 외부의 환경 정보의 측정을 위하여 외부에 노출되도록 위치되는 센서부;
    상기 센서부와 나란하게 배치되고, 빛을 받아 전원을 생성하는 태양 전지;
    상기 제1 기판 위의 일 측에 위치되고, 상기 센서부로부터 측정된 정보를 외부 서버로 전송하는 무선 통신부; 및
    상기 제1 기판 위의 다른 일 측에 위치되고, 상기 태양 전지로부터 전원을 공급받아 충전되며, 충전된 전원을 상기 센서부 및 상기 무선 통신부에 공급하는 화학 전지를 포함하고,
    상기 태양 전지는,
    제2 기판 위에 위치되고, 빛을 받아 상기 센서부에 공급되는 전원을 생성하는 화합물층; 및
    상기 화합물층의 표면에 형성되는 금속 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 센서 모듈.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 센서부, 태양 전지, 무선 통신부 및 화학 전지는,
    상기 제1 기판 위의 서로 다른 위치에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 센서 모듈.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 태양 전지는,
    외부에 노출되어 빛을 흡수하도록, 상기 무선 통신부 및 상기 화학 전지 중 적어도 하나 위에 위치되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 센서 모듈.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 금속 전극은 상기 태양 전지, 상기 센서부, 상기 무선 통신부 및 상기 화학 전지를 각각 연결하고,
    상기 금속 전극은,
    상기 화합물층 위에 형성되는 상부 금속 전극; 및
    상기 제2 기판과 상기 화합물층의 사이에 위치되고, 상기 화합물층을 기준으로 상기 상부 금속 전극과 반대쪽에 위치되는 하부 금속 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 센서 모듈.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 센서부는, 외부로 노출되어 외부의 온도, 습도, 가스 농도 및 조도 중 적어도 어느 하나를 측정하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 센서 모듈.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 화합물층은, 3족 및 5족 화합물의 적층으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 센서 모듈.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 3족 및 5족 화합물은, 갈륨(Ga) 및 비소(As)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉서블 센서 모듈.
  8. 제1 기판 위에 위치되고, 외부의 환경 정보를 측정하는 센서부;
    상기 센서부 위에 위치되는 태양 전지;
    상기 제1 기판 위에서 상기 태양 전지와 나란하게 배치되고, 상기 센서부로부터 측정된 정보를 외부 서버로 전송하는 무선 통신부; 및
    상기 제1 기판 위에서 상기 무선 통신부와 나란하도록 배치되고, 상기 태양 전지로부터 전원을 공급받아 충전되며, 충전된 전원을 상기 센서부 및 상기 무선 통신부에 공급하는 화학 전지를 포함하고,
    상기 태양 전지는,
    상기 제1 기판과 마주보도록 배치되는 제2 기판;
    상기 제2 기판 위에 위치되고, 빛을 받아 상기 센서부에 공급되는 전원을 생성하는 화합물층;
    상기 화합물층의 표면에 형성되는 금속 전극; 및
    상기 센서부의 외부 노출을 위해 상기 태양 전지의 상하부를 관통하도록 형성되는 적어도 하나 이상의 관통 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 센서 모듈.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 금속 전극은 상기 태양 전지, 상기 센서부, 상기 무선 통신부 및 상기 화학 전지를 서로 연결하고,
    상기 금속 전극은,
    상기 화합물층 위에 형성되는 상부 금속 전극; 및
    상기 제2 기판과 상기 화합물층의 사이에 위치되고, 상기 화합물층을 기준으로 상기 상부 금속 전극과 반대쪽에 위치되는 하부 금속 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 센서 모듈.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 태양 전지는, 상기 관통 홀을 중심으로 양쪽에서 상기 제2 기판, 상기 하부 금속 전극, 상기 화합물층 및 상기 상부 금속 전극의 순서로 적층되어 서로 마주보도록 배치되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 센서 모듈.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 센서부는, 상기 각 관통 홀을 통해 외부로 노출되어 외부의 온도, 습도, 가스 농도 및 조도 중 적어도 어느 하나를 측정하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 센서 모듈.
  12. 제8항에 있어서,
    상기 태양 전지가 외부로 노출되는 것을 제한하도록 상기 태양 전지의 표면을 덮는 밀봉부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 센서 모듈.
  13. 제8항에 있어서,
    상기 제1 기판 위에서 상기 센서부와 나란하게 위치되고, 상기 센서부에 의해 측정된 신호를 증폭시키는 신호 증폭부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 센서 모듈.
  14. 제1기판 위에 센서부, 화학 전지 및 무선 통신부를 적층하여 반제품을 형성시키는 제1 단계; 및
    태양 전지를 형성시키는 제2 단계를 포함하고,
    상기 제2 단계는,
    상기 제1 기판과 마주보도록 배치되는 제2 기판 위에 하부 금속 전극을 형성시키는 단계;
    상기 하부 금속 전극 위에 3족 및 5족 화합물층을 형성시키는 단계;
    상기 3족 및 5족 화합물층 위에 상기 3족 및 5족 화합물층의 일부분이 외부로 노출되도록 상부 금속 전극을 형성시키는 단계; 및
    적층된 상기 제2 기판, 상기 하부 금속 전극, 상기 3족 및 5족 화합물층 및 상기 상부 금속 전극을 관통하도록 관통 홀을 형성시키는 단계를 포함하며,
    상기 반제품을 형성한 후 상기 태양 전지를 형성하여 상기 반제품 위에 상기 태양 전지를 결합시키거나, 상기 태양 전지를 형성한 후 상기 반제품을 형성하여 상기 반제품 위에 상기 태양 전지를 결합시키는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 센서 모듈의 제조 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 관통 홀을 형성시키는 단계는,
    상기 외부로 노출된 3족 및 5족 화합물층의 일부분을 제거하여 상기 하부 금속 전극을 외부로 노출시키는 단계; 및
    상기 하부 금속 전극 및 상기 제2 기판을 타공하여 상기 센서부가 외부로 노출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 센서 모듈의 제조 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 반제품 위에 결합된 상기 태양 전지가 공기와 접촉되는 것을 방지하도록 상기 태양 전지의 표면을 밀봉부로 덮는 제4 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 센서 모듈의 제조 방법.
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