KR20170083993A - Scribing apparatus of the substrate - Google Patents

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KR20170083993A
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scribe
substrate
scribing
camera
fixture
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아키라 시라이
히데오 스에히로
다카아키 시라이
도시우키 이쿠타
기요히코 가사하라
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가부시키가이샤 시라이텍크
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Abstract

(과제) 커터에 의하여 형성되는 절단선의 정확한 라인을 보장하도록 한다.
(해결수단) 기판을 지지하는 선회수단(2)를 구비하는 테이블(3)의 주행로의 바로 위를 가로 지르는 가이드 레일(22)에 횡방향 이동수단에 의하여 각각이 좌우방향으로 슬라이드 하도록 설치한 복수의 슬라이더와, 이 각 슬라이더에 승강수단(24)에 의하여 승강하도록 설치한 스크라이브 치구와, 상기 각 슬라이더에 상기 기판의 각 스크라이브 마크(a) 및 얼라인먼트 마크를 읽어내도록 탑재한 카메라(31)로 이루어지고, 상기 카메라에 의한 얼라인먼트 마크의 읽기와 그 인식에 따른 가공 차이량에 의거하여 선회수단에 의하여 테이블을 선회시키고 또한 카메라에 의한 스크라이브 마크와 상기 스크라이브 치구에 의한 짧은 시험 절단선의 읽기와 그 인식에 따른 스크라이브 가공 차이량에 의거하여 횡방향 이동수단에 의하여 보정위치로 상기 슬라이더를 이동시키도록 연동시켜서 스크라이브 치구에 의하여 스크라이브 하고, 스크라이브 완료시에 스크라이브 중심선과 스크라이브 기준 중심의 거리로부터 보정치를 산출하고, 이 보정치를 다음번의 스크라이브를 위하여 스크라이브 치구의 이동거리에 가감산하도록 하는 구성을 채용한다.
[PROBLEMS] Ensure accurate lines of cut lines formed by the cutter.
A guide rail (22) is provided on a table (3) having a table (3) provided with pivot means (2) for supporting a substrate. The guide rail (22) A plurality of sliders, a scribe fixture provided on the respective sliders so as to ascend and descend by the elevating means 24, and a camera 31 mounted to read the scribe marks (a) and alignment marks of the substrate on the sliders And the table is pivoted by the pivot means on the basis of the reading of the alignment mark by the camera and the amount of machining difference according to the recognition, and also the scribe marks by the camera, the reading of the short test cut line by the scribe fixture, On the basis of the scribing difference amount according to the scribing process amount, A correction value is calculated from the distance between the scribe center line and the center of the scribe reference at the time of completion of scribing and the correction value is added to or subtracted from the moving distance of the scribe fixture for the next scribe do.

Figure P1020170087639
Figure P1020170087639

Description

기판의 스크라이브 장치{SCRIBING APPARATUS OF THE SUBSTRATE}[0001] SCRIBING APPARATUS OF THE SUBSTRATE [0002]

본 발명은, 대형(大型)의 액정 패널(液晶 panel) 등의 글라스 기판(glass 基板)이나 막(膜)이 부착된 기판, 그 이외의 기판에 제품 사이즈의 소형절단용의 절단선을 동시에 다수개 형성하는 기판의 스크라이브 장치에 관한 것이다.Disclosure of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a glass substrate or a film substrate on which a glass substrate or film such as a large liquid crystal panel is adhered and a plurality of cutting lines for small- The present invention relates to a scribing apparatus for a substrate on which a substrate is formed.

대형의 액정 패널의 글라스 기판으로부터 한번에 다수 매의 제품 사이즈의 기판을 동시에 얻음으로써 생산성을 높일 수 있다.Productivity can be improved by simultaneously obtaining a plurality of substrates of a product size from a glass substrate of a large liquid crystal panel at one time.

상기 목적을 달성하기 위하여, 왕복주행 하는 테이블상에 대형의 글라스 기판을 재치한 후에, 테이블을 주행시키면서 테이블의 주행로의 바로 위에 좌우로 소정의 간격을 두고 배열된 복수의 커터(cutter)나 니들(needle), 레이저선(laser線) 등의 스크라이브 치구(scribe 治具)의 강하(降下)에 의하여 글라스 기판의 표면(상면)에 한번에 다수개의 평행하는 소형절단용의 절단선을 형성한다. 이 소형절단용 절단선은, X축방향으로만 또는 X축방향 및 Y축방향으로 형성된다.In order to achieve the above object, a large-size glass substrate is mounted on a reciprocating table, and then a plurality of cutters and needles arranged at a predetermined interval on the right side of the traveling path of the table, a plurality of parallel cutting lines for small cutting are formed on the surface (upper surface) of the glass substrate at one time by the descent of a scribe jig such as a needle, a laser line or the like. The small cutting lines are formed only in the X-axis direction or in the X-axis direction and the Y-axis direction.

그리고 병렬의 각 스크라이브 치구는, 제품 사이즈의 치수에 맞도록 수치제어(數値制御)에 의하여 간격을 조정할 수 있도록 되어 있다(예를 들면 특허문헌1 참조).Each of the scribing jigs in parallel can be adjusted in intervals by numerical control so as to match the dimensions of the product size (see, for example, Patent Document 1).

또한 상기 이외에 카메라에 의하여 정확한 스크라이브가 가능하도록 한 것이 있다(예를 들면 특허문헌2,3 참조).In addition to the above, there is one that enables accurate scribing by a camera (see, for example, Patent Documents 2 and 3).

일본국 공개특허공보 특개평11-343133호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-343133 일본국 공개특허 특개2009-73714호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-73714 일본국 공개실용신안 실공평6-415호 공보Japanese Utility Model Utility Model Publication No. 6-415

상기 특허문헌1의 판유리(板 glass)의 절단방식에 의하면, 대형의 글라스 기판으로부터 한번에 다수 매의 제품 사이즈의 기판을 동시에 얻을 수 있는 절단선을 형성하여 생산성을 향상시킬 수 있다.According to the cutting method of the plate glass of Patent Document 1, it is possible to form a cutting line capable of simultaneously obtaining a plurality of substrates of a product size from a large glass substrate at one time, thereby improving the productivity.

그런데 특허문헌1의 절단방식에서는, 초기의 단계에 있어서 머더기판(mother 基板)에 시험절단(절단선을 형성)을 하고, 형성된 각 절단선이 스크라이브 위치에 있는지 아닌지의 확인을 하고, 절단선이 스크라이브 위치에 없을 경우에 커터의 위치조정을 한다. 또 이 커터의 위치조정은, 순차적으로 글라스 기판을 공급하여 절단선을 형성함으로써 이루어진다.However, in the cutting method of Patent Document 1, test cutting (forming a cutting line) is performed on a mother substrate in an initial stage, and it is confirmed whether or not each formed cutting line is in a scribing position, Adjust the position of the cutter when it is not in the scribe position. The adjustment of the position of the cutter is performed by sequentially supplying the glass substrate and forming a cut line.

그러나 시험절단을 하면, 대형이고 고가인 머더기판을 사용하게 되므로, 낭비가 되어 불필요한 지출이 되는 문제가 발생했다.However, when the test cutting is performed, a large and expensive mother substrate is used, which causes waste and unnecessary expenditure.

또한 절단선이 변경될 때마다 시험절단을 하기 때문에, 대폭적인 비용지출이 되는 이외에 스크라이브 위치의 확인작업 등에 의하여 기계의 가동율이 현저하게 저하하는 문제도 있었다.Further, since the test cutting is performed every time the cutting line is changed, there is also a problem that the operation rate of the machine remarkably decreases due to the confirmation of the scribe position in addition to the considerable expenditure of the cost.

또한 특허문헌2의 글라스 기판의 절단장치에 의하면, 기판별로 또는 검사별로 그 때마다 카메라에 의하여 스크라이브의 가공위치의 어긋남을 보정하도록 스크라이브 치구의 위치결정을 하기 때문에, 택트 가동(tact 稼動)이 대폭적으로 저하하는 문제가 있었다.Further, according to the apparatus for cutting a glass substrate of Patent Document 2, since the scribe fixture is positioned so as to correct the displacement of the scribe processing position by the camera every inspection of the substrate or each inspection, the tact operation is significantly .

또한 특허문헌1, 2 및 3의 글라스 기판의 절단방식에 있어서는, 한번에 복수 매의 제품 사이즈의 스크라이브를 커터 및 테이블을 이동시켜서 할 수 있다.In the method of cutting the glass substrates of Patent Documents 1, 2 and 3, scribing of a plurality of product sizes at one time can be performed by moving the cutter and the table.

그러나 병렬 커터의 Y축방향(테이블의 주행방향과 교차하는 횡방향)의 위치결정을 할 수 있는 반면, 각 커터의 X축방향(테이블의 주행방향)의 조정을 할 수 없다. 즉 X축방향의 위치조정 기능이 없는 것에 기인한다.However, while it is possible to position the parallel cutter in the Y-axis direction (lateral direction intersecting with the running direction of the table), it is not possible to adjust the X-axis direction of each cutter (running direction of the table). That is, there is no position adjusting function in the X-axis direction.

그러면, 병렬 커터의 위치 어긋남이 (X축에 대하여) 있으면, 도13에 나타나 있는 바와 같이 스크라이브 한 각 패턴의 제품(T)의 테이블 방향 끝이 X축선상에 있어서 나란하지 않은 어긋남(X)이 발생한다. 이 때문에 불량품이 만들어진다. 즉 제품(T)의 전극면(電極面)의 불일치가 발생하게 되기 때문이다.Then, when the position of the parallel cutter is displaced (relative to the X axis), as shown in Fig. 13, the position of the table T of the scribed product T in the table direction is not parallel to the X axis, Occurs. This creates defective products. That is, the electrode surface (electrode surface) of the product T is inconsistent.

따라서, 본 발명은 상기의 문제를 해결하는 기판의 스크라이브 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a scribing apparatus for a substrate which solves the above problems.

상기의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은, 왕복주행 하도록 설치한 주행체와, 이 주행체상에 선회수단에 의하여 평면상에서 선회하고 또한 재치한 대형의 기판을 지지하도록 설치한 테이블과, 이 테이블의 주행로의 바로 위를 가로 지르는 가이드 레일에 횡방향 이동수단에 의하여 각각이 좌우방향으로 슬라이드 하도록 설치한 복수의 슬라이더와, 이 각 슬라이더에 승강수단에 의하여 승강하도록 설치한 스크라이브 치구와, 상기 각 슬라이더에 상기 기판의 각 스크라이브 마크 및 얼라인먼트 마크를 읽어내도록 탑재한 카메라로 이루어지고, 상기 카메라에 의한 상기 기판의 얼라인먼트 마크의 읽기 및 그 인식에 따른 가공 차이량(어긋난 양)에 의거하여 선회수단에 의하여 테이블을 선회시키고 또한 카메라에 의한 상기 기판의 스크라이브 마크와 커터에 의한 짧은 시험 절단선의 읽기에 따른 스크라이브 가공 차이량을 산출하여 상기 횡방향 이동수단에 의하여 스크라이브 라인 좌표에 상기 슬라이더를 이동시키도록 연동시켜서 스크라이브 치구에 의하여 스크라이브 하고, 스크라이브 완료시에 스크라이브 중심선과 스크라이브 기준중심의 거리로부터 보정치를 산출하고, 이 보정치를 다음번의 스크라이브를 위하여 스크라이브 치구의 이동거리에 가감산하도록 하는 것을 특징으로 하는 구성을 채용한다.In order to solve the above problems, the present invention provides a vehicle comprising a traveling body provided for reciprocating travel, a table provided on the traveling body for supporting a large-sized substrate pivotally mounted on the traveling body by the pivoting means, A plurality of sliders provided on the guide rails transverse to the upper side of the traveling path so as to slide in the left and right directions respectively by means of the lateral direction moving means and a scribe fixture provided on the respective sliders so as to ascend and descend by the elevating means, And a camera mounted to read each of the scribe marks and the alignment marks of the substrate, wherein the camera reads the alignment mark of the substrate and, based on the amount of machining difference (deviation amount) When turning the table And a scribing process amount according to a scribing mark of the substrate by the camera and a short test cutting line read by the cutter is calculated and the slider is moved to the scribe line coordinates by the lateral moving means, A correction value is calculated from the distance between the scribe center line and the center of the scribe reference at the time of completing the scribe and the correction value is added to and subtracted from the moving distance of the scribe fixture for the next scribe.

또한 왕복주행 하도록 설치한 주행체와, 이 주행체상에 선회수단에 의하여 평면상에서 선회하고 또한 재치한 대형의 기판을 지지하도록 설치한 테이블과, 이 테이블의 주행로의 바로 위를 가로 지르는 수평한 바에 횡방향 이동수단에 의하여 좌우방향으로 슬라이드 하도록 설치한 복수의 위치조정수단을 구비하는 슬라이더와, 이 각 슬라이더의 베이스에 종방향 이동수단에 의하여 상기 테이블의 주행방향으로 슬라이드 하도록 설치한 이동대와, 이 각 이동대에 승강수단에 의하여 승강하도록 설치한 스크라이브 치구와, 상기 각 이동대에 상기 기판의 얼라인먼트 마크 및 각 패턴 마크를 읽어내도록 탑재한 카메라로 이루어지고, 이 카메라에 의한 얼라인먼트 마크의 읽기에 따라 상기 선회수단에 의하여 상기 테이블을 선회시키고, 각 카메라에 의한 각 패턴 마크의 읽기에 따라 상기 이동수단에 의하여 이동대를 이동시켜서 정상인 스크라이브 위치에 상기 스크라이브 치구를 이동시키도록 하는 것을 특징으로 하는 구성을 채용한다.A table provided so as to support a large substrate which is swiveled and mounted on a plane by the pivoting means on the traveling body, and a table which is provided on a horizontal bar crossing directly above the traveling path of the table A slider having a plurality of position adjusting means provided so as to slide in the left and right direction by the lateral moving means, a moving base provided on the base of each slider so as to slide in the running direction of the table by the longitudinal moving means, A scribe fixture provided on each of the movable belts so as to ascend and descend by the elevating means, and a camera mounted to read the alignment mark and each pattern mark of the substrate on each of the movable belts. Accordingly, By and pivot the table, according to the reading of each pattern mark by each camera is in the normal scribe position to move the moving base by the moving means employing a configuration that is characterized in that to move the scribing tool.

이상과 같이, 본 발명의 기판의 스크라이브 장치에 의하면, 카메라에 의하여 얼라인먼트 마크의 읽기(인식)에 따른 글라스 기판의 좌우 양변 테두리에 대한 가공 차이량을 선회수단에 의하여 테이블을 선회시켜서 보정하고, 또 커터를 강하시키고 또한 테이블을 약간 주행시켜서 기판에 형성하는 짧은 시험 절단선과 스크라이브 마크를 카메라에 의하여 각각 읽어 인식하고, 그 인식에 따른 스크라이브 마크에 대한 시험절단선과의 차이량을, 횡방향 이동수단에 의하여 슬라이더를 좌 또는 우방향으로 슬라이드 시켜서 보정하기 때문에 머더기판을 사용한 시험절단선이 불필요하게 된다.As described above, according to the scribing apparatus for a substrate of the present invention, the machining difference amounts to the left and right sides of the glass substrate due to the reading (recognition) of the alignment marks by the camera are corrected by turning the table by the turning means, A short test cutting line and a scribe mark formed on a substrate by lowering the cutter and running the table slightly are respectively read and recognized by the camera and the amount of difference between the test cutting line and the scribe mark according to the recognition is detected by the lateral moving means The test slice using the mother substrate is unnecessary because the slider is slid in the left or right direction and corrected.

이 때문에 대형이고 고가인 머더기판을 사용하기 때문에 쓸데 없는 지출을 없앨 수 있음과 아울러, 시험절단과 그 후의 스크라이브 위치의 확인 때문에 발생하는, 기계의 대폭적인 가동율이 저하하는 문제도 없앨 수 있다.Therefore, unnecessary expenditure can be eliminated because a large and expensive mother substrate is used, and a problem that a considerable operating rate of the machine is reduced due to the test cutting and confirmation of the scribing position thereafter can be eliminated.

특히 스크라이브 완료시에 스크라이브 중심선과 스크라이브 기준중심의 거리로부터 보정치를 산출하고, 이 보정치를 다음번의 스크라이브를 위하여 스크라이브 치구의 이동거리에 가감산하도록 되어 있기 때문에, 순차적으로 스크라이브 하는 택트 운전의 가동율을 대폭적으로 향상시켜서 생산율의 현저한 향상을 도모함과 아울러, 스크라이브 정밀도가 안정되고 또한 수율을 향상시킨다.In particular, since the correction value is calculated from the distance between the scribe center line and the center of the scribe reference at the completion of scribing and the correction value is added to or subtracted from the moving distance of the scribe fixture for the next scribe, the operation rate of the tact operation sequentially scribed is greatly The scribing accuracy can be stabilized and the yield can be improved.

또한 이동대에 스크라이브 치구와 카메라를 설치하고, 이 이동대를 종방향 이동수단에 의하여 테이블의 주행방향 전후로 이동하면서 카메라에 의하여 패턴 마크를 읽어내고 인식하고, 그 인식에 의한 어긋남에 따른 보정량에 따라 이동대를 이동시키도록 되어 있기 때문에, 각 스크라이브 치구에 의하여 스크라이브 한 패턴의 제품의 테이블 주행방향 앞쪽 가장자리의 어긋남이 없고, 즉 불량품이 발생하지 않는 패턴의 제품의 스크라이브를 할 수 있다.In addition, a scribe fixture and a camera are installed on the movable table, and the moving table is moved by the longitudinal moving means in the forward and backward directions of the table, and the pattern mark is read and recognized by the camera. In accordance with the correction amount It is possible to perform scribing of a product in which there is no deviation of the leading edge in the table running direction of the product scribed by each scribing jig, that is, a product in which a defective product does not occur.

도1은, 본 발명의 제1실시예를 나타내는 평면도.
도2는, 상기의 측면도.
도3은, 상기의 요부를 나타내는 종단 확대 측면도.
도4는, 글라스 기판의 평면도.
도5는, 시험 절단선과 스크라이브 마크의 관계를 나타내는 확대 평면도.
도6은, 시험 절단선과 스크라이브 마크와의 관계를 나타내는 확대 평면도.
도7은, 정확한 스크라이브를 나타내는 확대 평면도.
도8은, 제2실시예를 나타내는 평면도.
도9는, 상기의 종단 측면도.
도10은, 상기의 요부를 나타내는 확대 평면도.
도11은, 상기의 종단 확대 측면도.
도12은, 제품의 패턴을 나타내는 평면도.
도13은, 제품의 차이량을 나타내는 평면도.
1 is a plan view showing a first embodiment of the present invention.
2 is a side view of the above.
Fig. 3 is a longitudinal enlarged side view showing the above-mentioned recess. Fig.
4 is a plan view of a glass substrate.
5 is an enlarged plan view showing a relationship between a test cutting line and a scribe mark;
6 is an enlarged plan view showing a relationship between a test cutting line and a scribe mark;
7 is an enlarged plan view showing an accurate scribe.
8 is a plan view showing a second embodiment.
9 is a longitudinal side view of the above.
10 is an enlarged plan view showing the above-mentioned recessed portion.
11 is a longitudinally enlarged side view of the above.
12 is a plan view showing a pattern of a product;
13 is a plan view showing the amount of difference of products;

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 제1실시예에서는 도1에서부터 도6에 나타나 있는 바와 같이, 왕복주행 하는 주행체(1)상에는 선회수단(2)에 의하여 평면상에서 선회하고 또한 재치된 대형의 기판(A)을 지지하는 테이블(3)이 설치되어 있다.In the first embodiment of the present invention, as shown in Figs. 1 to 6, on a traveling body 1 that travels on a reciprocating basis, a large substrate A, which is pivoted on a plane by the pivot means 2, A table 3 is provided.

상기의 기판(A)으로서는, 예를 들면 유리로 만든 것으로서 액정용 기판이나 막이 부착된 기판 등 스크라이브 가공하기 위한 기판이다.The above-mentioned substrate (A) is, for example, a substrate made of glass and used for scribing, such as a liquid crystal substrate or a substrate having a film attached thereto.

상기 주행체(1)의 왕복주행은, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 부설된 2가닥의 레일(4)에 주행체(1)의 양측 하면에 설치되어 있는 슬라이더(5)를 슬라이드 하도록 결합하고 또한 레일(4) 사이에 배치하여 양단을 회전하도록 축지지(軸支持) 한 볼트(6)에 주행체(1)의 하면에 부착되어 있는 너트(7)를 나사결합 하고, 제1모터(8)의 운전에 의하여 볼트(6)를 가역구동(可逆驅動) 하여 주행체(1)를 전후방향으로 주행시키도록 하고 있지만, 이것에 한정되지 않고 그 이외의 구성에 의하여 전후방향으로 주행시켜도 좋다.In the reciprocating travel of the traveling body 1, as shown in the figure, the slider 5 provided on both sides of the traveling body 1 is slidably engaged with the two rails 4 attached thereto And a nut 7 attached to a lower surface of the traveling body 1 is screwed to a bolt 6 which is disposed between the rails 4 and rotatably supported at both ends so as to rotate, 8, the bolt 6 is reversibly driven so as to travel the traveling body 1 in the front-rear direction. However, the present invention is not limited to this, .

상기의 선회수단(2)은, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 주행체(1)상에 가역 모터(可逆motor)를 설치하고, 이 가역 모터의 출력축을 테이블(3)의 하면 중심에 고정하고 있지만, 이에 한정되지 않는다.The pivoting means 2 is provided with a reversible motor on the traveling body 1 so that the output shaft of the reversible motor is fixed to the center of the lower surface of the table 3 But is not limited thereto.

상기 테이블(3)상에 재치되는 기판(A)의 지지는, 테이블(3)을 박스(box)로 하고 박스내를 흡인하여, 박스의 정상벽(頂上壁)에 다수의 연통소공(連通小孔)(35)을 형성하고 흡인에 의하여 지지하도록 하고 있다.The support of the substrate A placed on the table 3 is carried out by using the table 3 as a box and sucking the inside of the box so that a large number of communicating pores Holes) 35 are formed and supported by suction.

그 때에, 테이블(3)상의 하나의 코너를 에워싸는 2변에 위치하는 핀(9)에 글라스 기판(A)의 변을 접촉시켜서 위치결정 하도록 하고 있다.At this time, the sides of the glass substrate A are brought into contact with the fins 9 located at two sides surrounding one corner on the table 3 to position them.

또한 테이블(3)의 주행로를 가로 지르는 수평재(水平材)(21)의 양단간에 가이드 레일(22)을 설치하고, 이 가이드 레일(22)에 복수의 슬라이더(23)를 슬라이드 하도록 결합하고, 이 각 슬라이더(23)에는 실린더 등의 승강수단(24)에 의하여 승강하는 스크라이브 치구(25)가 설치되어 있다.A guide rail 22 is provided between both ends of a horizontal member 21 across a traveling path of the table 3 and a plurality of sliders 23 are slidably engaged with the guide rail 22, The slider 23 is provided with a scribe jig 25 which is moved up and down by a lifting means 24 such as a cylinder.

상기의 스크라이브 치구(25)로서는, 커터휠(cutter wheel)이나 니들(needel), 레이저 광선(laser 光線) 등이 있다.The scribe fixture 25 may be a cutter wheel, a needle, a laser beam, or the like.

그리고 각 슬라이더(23)는, 횡방향 이동수단(26)에 의하여 단독으로 좌우측방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다.Each of the sliders 23 can be independently moved in the lateral direction by the lateral moving means 26.

상기의 횡방향 이동수단(26)은, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 수평재(21)의 대략 전체 길이에 래크(rack)(27)를 부설(敷設)하고 각 슬라이더(23)의 베이스(base)(28)에 부착되어 있는 제2모터(29)의 출력축에 고정된 피니언(pinion)(30)을 맞물리게 하고, 제2모터(29)의 가역운전에 의하여 슬라이더(23)를 좌측방향, 우측방향으로 슬라이드 시키도록 되어 있다.The lateral moving means 26 is arranged such that a rack 27 is laid on the substantially entire length of the horizontal member 21 and the base 27 of each slider 23 the pinion 30 fixed to the output shaft of the second motor 29 attached to the base 28 is engaged and the slider 23 is moved in the leftward direction by reversible operation of the second motor 29, And is slid in the right direction.

그리고 각 스크라이브 치구(25)의 근방에는 베이스(28)에 부착된 카메라(31)가 설치되어 있다.A camera 31 attached to the base 28 is provided near each scribe fixture 25.

상기의 카메라(31) 및 스크라이브 치구(25)는 스크라이브 라인 방향의 동축선(同軸線)상의 전후에 배치되어 있다.The camera 31 and the scribing jig 25 are arranged on the front and rear sides of the coaxial line in the scribe line direction.

이 카메라(31)는, 횡방향 이동수단(26)에 의하여 양 사이드의 슬라이더(23)를 기판(A)의 상면 양측 모서리의 얼라인먼트 마크(a)의 위치로 이동시켜서 얼라인먼트 마크(a)를 읽어내고, 또 기판(A)의 상면에 형성되어 있는 스크라이브 마크(B) 및 각 스크라이브 치구(25)의 커터휠 등에 의하여 글라스 기판(A)의 주변부 상면에 형성된 짧은 시험 절단선(C)을 읽어낸다.The camera 31 moves the sliders 23 on both sides of the substrate A to the positions of the alignment marks a on both side edges of the upper surface of the substrate A by the lateral movement means 26 to read the alignment marks a A short test cutting line C formed on the upper surface of the peripheral portion of the glass substrate A is read out by a scribe mark B formed on the upper surface of the substrate A and a cutter wheel of each scribe fixture 25 .

도면에서 41은 스크라이브 치구(25)의 승강을 가이드 하는 가이드 수단이다.In the drawing, reference numeral 41 denotes guide means for guiding the scribing jig 25 up and down.

상기한 바와 같이 구성하면, 테이블(3)상에 기판(A)을 재치하고, 주행체(1)를 왕복주행 시켜서, 카메라(31)에 의하여 기판(A)의 네 모서리의 얼라인먼트 마크(a)를 읽어내고, 그 읽기에 따른 가공 차이량(어긋난 양)을 카메라(31)에 접속된 연산장치에 의하여 계산하고, 그 계산에 의거하여 제어장치에 의하여 선회수단(2)을 운전하여 테이블(3)을 시계, 반시계방향으로 보정량에 따른 각도만큼 선회시킨다.The substrate A is placed on the table 3 and the traveling body 1 is reciprocated to move the alignment mark a of the four corners of the substrate A by the camera 31, (Deviation amount) according to the reading is calculated by an arithmetic unit connected to the camera 31 and the turning unit 2 is operated by the control unit on the basis of the calculation, ) Clockwise or counterclockwise by an amount corresponding to the amount of correction.

또한 기판(A)의 대향하는 양측 2변의 테두리 사이에 스크라이브 치구(25)에 의하여 절단선을 형성(스크라이브)하기 전에, 우선 테이블(3)과 함께 지지 기판(A)을 약간 전방으로 주행시킨다.The supporting substrate A is moved slightly forward with the table 3 before the scribe fixture 25 scribes the scribe line between the opposite sides of the opposite sides of the substrate A.

이 때에, 승강수단(24)에 의하여 각 스크라이브 치구(25)를 강하시켜서 도4에 나타내는 기판(A)이 필요로 하는 테두리부의 표면에 인쇄되어 있는 각 스크라이브 마크(B)의 전방의 (스크라이브 마크(B)로부터 벗어난) 부분에 도5나 도6에 나타내는 짧은 시험 절단선(C)을 형성하고, 시험 절단선(C)을 형성한 뒤에 승강수단(24)에 의하여 각 스크라이브 치구(25)를 상승복귀 시킨다.At this time, the scribing jig 25 is lowered by the elevating means 24 to move the scribing mark 25 in front of each scribe mark B printed on the surface of the rim portion required by the substrate A shown in Fig. 5 and 6 is formed on the portion of the scribing tool 25 which is located outside of the scribing tool 25 and the test cutting line C is formed thereon, Up.

이 때에, 각 카메라(31)에 의하여 스크라이브 마크(B)와 시험 절단선(C)을 읽어 인식하고, 그 인식에 따라 시험 절단선(C)이 스크라이브 마크(B)의 설정된 정규의 위치(도5에 나타낸다)에 있는지, 아니면 도6에 나타나 있는 바와 같이 비정규의 위치에 있는지를 감지하고, 감지에 따라 비정규의 위치(도6에 나타나 있는 바와 같이 스크라이브 라인(X)에 대하여 시험 절단선(C)의 어긋남 거리(Z)가 있으면, 스크라이브 라인(X)에 스크라이브 치구(25)가 합치하도록)로부터 스크라이브 치구(25)의 슬라이더(23)를 횡방향 이동수단(26)에 의하여(제2모터(29)의 운전에 의하여) 이동시켜 차이량에 맞는 수정을 하여 정규의 위치로 이동시킨다(보정한다).At this time, the scribe mark B and the test cut line C are read and recognized by each camera 31 and the test cut line C is read out from the set normal position (FIG. 6), as shown in FIG. 6, and detects whether or not it is in an irregular position as shown in FIG. 6, The slider 23 of the scribe fixture 25 is moved by the lateral direction moving means 26 from the second motor 22 to the scribing line 25 in such a manner that the scribing line 25 coincides with the scribing line X, (By the operation of the operation unit (29)) and corrects the difference to move to the normal position (corrects).

상기의 보정방식은, 카메라(31)에 접속된 연산장치에 의하여 차이량을 계산하고, 그 계산에 의거하여 제어장치에 의하여 제2모터(29)를 정회전, 역방향 운전한다.In the above correction method, the difference is calculated by the calculation device connected to the camera 31, and the control device drives the second motor 29 in the forward and reverse directions on the basis of the calculation.

이렇게 하여 주행체(1)를 전진주행 시키면서, 테이블(3)상의 기판(A)에 승강수단(24)에 의하여 하강되어 있는 스크라이브 치구(25)에 의하여 절단선을 형성한다.A cutting line is formed on the substrate A on the table 3 by the scribing tool 25 lowered by the elevating means 24 while the traveling body 1 is moved forward.

또한 절단선은, 동일한 순서를 거쳐 앞의 절단선 사이에도 한번 혹은 여러번 형성할 수 있고, 또 테이블(3)과 함께 지지상태인 기판(A)을 90도 선회시켜서, 직각으로 교차하는 절단선을 형성할 수 있다.Further, the cutting lines can be formed once or several times between the preceding cutting lines through the same procedure, and the substrate A supported in the table 3 together with the table 3 can be turned by 90 degrees and cut lines crossing at right angles .

또한 주지된 바와 같이 기판(A)의 두께(판의 두께)에 따라 스크라이브 치구(25)의 강하량 즉 스크라이브 깊이를 결정한다.Also, as is well known, the amount of descent of the scribe fixture 25, that is, the scribe depth, is determined according to the thickness of the substrate A (thickness of the plate).

이러한 방법에 의하여 각 스크라이브 치구(25)의 이동치를 읽어내고, 상기한 방법에 의하여 보정을 함으로써 각각의 스크라이브 치구(25) 위치 모두가 스크라이브 마크(B)의 기준값의 위치에 위치결정 될 수 있다.By reading the moving value of each scribe jig 25 by this method and performing the correction by the above method, all the positions of the respective scribe jigs 25 can be positioned at the position of the reference value of the scribe mark B. [

그 후 다시 스크라이브 치구(25)가 스크라이브 마크(B) 위치로 이동하여 그 위치에서 기판(A)의 한 부분에 스크라이브 라인을 형성한다.Thereafter, the scribing jig 25 is moved to the position of the scribe mark B and scribe lines are formed in one portion of the substrate A at that position.

또한 상기한 조건이 만족되고 각 스크라이브 치구(25)가 첫번째의 스크라이브를 완료한 후에 실제로 스크라이브가 되어 있는지의 확인을 하더라도 좋다.It is also possible to confirm whether the scribe fixture 25 is actually scribed after the above conditions are satisfied and each scribe fixture 25 completes the first scribe.

그러면, 도7에 나타나 있는 바와 같이 스크라이브 마크(B)의 중심과 일치한 스크라이브 라인(X)을 스크라이브 할 수 있다.Then, the scribe line X coinciding with the center of the scribe mark B can be scribed as shown in Fig.

도면에서 S는 스크라이브 라인의 폭이다.In the figure, S is the width of the scribe line.

또한 스크라이브의 완료후에 스크라이브 라인(X)의 중심과 스크라이브 기준 중심의 거리로부터 보정치를 산출하고, 이 보정치를 다음번의 스크라이브를 위하여 스크라이브 치구의 이동거리를 가감산 하기 때문에 순차적으로 스크라이브 하는 택트 운전의 가동율을 대폭적으로 향상시켜서 생산성의 현저한 향상은 물론 스크라이브 정밀도가 안정되고 또한 수율을 향상시킨다.Further, after completion of the scribing, the correction value is calculated from the distance between the center of the scribing line X and the center of the scribing reference, and the correction value is used to add / subtract the moving distance of the scribe fixture for the next scribing, The scribing accuracy is stabilized and the yield is improved as well as the productivity is remarkably improved.

본 발명의 제2실시예에서는 도8에서부터 도11에 나타나 있는 바와 같이, 왕복주행 하는 주행체(1)상에는 선회수단(2)에 의하여 평면상에서 선회하고 또한 재치된 대형의 기판(A)을 지지하는 테이블(3)이 설치되어 있다.In the second embodiment of the present invention, as shown in Figs. 8 to 11, on a traveling body 1 that travels on a reciprocating basis, a large substrate A, which is pivoted on the plane surface by the pivot means 2, A table 3 is provided.

상기한 기판(A), 주행체(1)의 왕복주행, 테이블(3)의 선회수단(2) 및 테이블(3)에 재치되는 기판(A)의 지지방식의 구성은, 제1실시예와 같은 것에 대하여는 상세한 설명을 생략한다.The configuration of the above-described substrate A, the reciprocating running of the traveling body 1, the pivoting means 2 of the table 3, and the supporting system of the substrate A placed on the table 3 are the same as those of the first embodiment A detailed description thereof will be omitted.

또한 테이블(3)의 바로 위를 가로 지르는 수평의 바(61)에는, 횡방향 이동수단(62)에 의하여 좌우방향으로 슬라이드 하는 복수의 위치조정수단(63)을 구비하는 병렬 슬라이더(64)가 설치되어 있다.A parallel bar slider 64 having a plurality of position adjusting means 63 slidable in the lateral direction by the lateral moving means 62 is provided on the horizontal bar 61 transversely over the table 3 Is installed.

상기의 횡방향 이동수단(62)의 구성은, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 바(61)의 후면 전체 길이에 설치한 레일(65)에 수평한 횡재(橫材)(66)의 전면에 설치되어 있는 슬라이더(67)를 슬라이드 하도록 결합하고 또한 바(61)의 양단간에 축지지된 볼트(68)를 횡재(66)의 너트(69)에 나사결합 하고, 모터(70)의 가역운전에 의하여 볼트(68)를 드라이브 함으로써 횡재(66)가 가로로 이동하고, 또 복수의 슬라이더(64)는, 횡재(66)의 후면의 전체 길이에 설치되어 있는 레일(71)에 슬라이드 하도록 결합되어 있고, 또한 위치조정수단(63)은, 횡재(66)의 상면 전체 길이에 설치되어 있는 래크(72)에 각 슬라이더(64)에 축지지 된 피니언(73)을 맞물리게 함과 아울러 각각의 피니언(73)을 모터(74)에 의하여 가역구동 함으로써 각 슬라이더(64)를 좌우방향으로 슬라이드 하여 위치조정 할 수 있다.The configuration of the lateral movement means 62 is such that the front surface of the horizontal cross member 66 that is horizontal to the rail 65 provided on the entire length of the rear surface of the bar 61 The bolts 68 supported on both ends of the bar 61 are screwed to the nuts 69 of the transverse member 66 and the reversible operation of the motor 70 And the plurality of sliders 64 are slidably engaged with the rail 71 provided on the entire length of the rear surface of the transverse member 66 The position adjusting means 63 is configured to engage a pinion 73 pivotally supported on each slider 64 with a rack 72 provided on the entire length of the upper surface of the transverse member 66, 73 are reversely driven by the motor 74 Writing can be adjusted by sliding the position of each slider 64 in the left-right direction.

여기에서 본 실시예는 상기 구성에 한정되지 않고, 그 이외의 구성에 의하여 목적을 달성할 수도 있다.Here, the present embodiment is not limited to the above-described configuration, and other configurations can achieve the object.

또한 각 슬라이더(64)에는 종방향 이동수단(75)에 의하여 테이블(3)의 주행방향으로 슬라이드 하는 이동대(76)가 설치되어 있고, 각 이동대(76)에는 승강수단(77)에 의하여 승강하는 스크라이브 치구(78)가 설치되어 있다.Each of the sliders 64 is provided with a moving table 76 which slides in the traveling direction of the table 3 by means of the longitudinal moving means 75. Each moving table 76 is provided with an elevating means 77 And a scribe fixture 78 for ascending and descending is provided.

상기의 승강수단(77) 및 스크라이브 치구(78)는, 제1실시예와 동일한 것에 관한 설명을 생략한다.The elevation means 77 and the scribing jig 78 described above are omitted from the description of the same as the first embodiment.

상기의 종방향 이동수단(75)은, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 슬라이더(64)의 베이스(79)의 레일(80)에 이동대(76)의 슬라이더(81)를 슬라이드 하도록 결합하고 또한 베이스(79)에 설치된 모터(91)의 가역구동에 의하여 회전하는 볼트(82)를 이동대(76)에 지지되어 있는 너트(83)에 나사결합 하여 구성했지만, 이에 한정되지 않고 그 이외의 구성에 의하여 이동대(76)를 (전후방향으로) 이동시켜도 좋다.The longitudinal moving means 75 is configured to slide the slider 81 of the moving table 76 to the rail 80 of the base 79 of the slider 64 in the case shown in the figure The bolt 82 rotated by the reversible drive of the motor 91 provided on the base 79 is screwed to the nut 83 supported by the moving table 76. However, It is also possible to move the movable stage 76 (in the front-rear direction).

또한 이동대(76)에는, 기판(A)의 얼라인먼트 마크(a) 및 각 스크라이브 제품별 패턴 마크(s)(제품 패턴(T)별)를 읽어내는 카메라(84)가 설치되어 있다.The moving base 76 is provided with a camera 84 for reading the alignment mark a of the substrate A and the pattern mark s (product pattern T) for each scribe product.

상기한 바와 같이 구성하면, 양측 이동대(76)의 카메라(84)에 의하여 기판(A)의 양 모서리의 얼라인먼트 마크(a)를 읽어내고, 그 읽기에 따른 가공 차이량을 카메라(84)에 접속된 연산장치에 의하여 계산하고, 그 계산에 의거하여 제어장치에 의하여 선회수단(2)을 운전하여 테이블(3)을 시계, 반시계방향으로 보정량에 따른 각도만큼 선회시킨다.The alignment marks a at both corners of the substrate A are read by the camera 84 of the both side moving table 76 and the amount of processing difference according to the reading is read by the camera 84 And the table 3 is turned clockwise or counterclockwise by an angle corresponding to the correction amount by operating the turning means 2 by the control device based on the calculation.

다음에 각 카메라(84)에 의하여 각 스크라이브 제품별 패턴 마크(s)를 읽어내고, 읽기에 따른 스크라이브 치구(78)와 스크라이브 제품(T)의 테이블(3)의 주행방향 앞쪽 가장자리와의 가공(스크라이브 라인)차이량을 카메라(84)에 접속된 연산장치에 의하여 계산하고, 그 계산에 의거하여 종방향 이동수단(75)에 의하여 이동대(76)를 테이블의 주행방향 전방 또는 후방으로 (보정량에 따라) 이동시킨다.Next, the pattern mark s for each scribe product is read by each camera 84, and the scribe fixture 78 according to the reading and the front edge of the scribe product T in the running direction of the table 3 Scribing line) difference is calculated by the calculation device connected to the camera 84 and the moving base 76 is moved forward or backward in the traveling direction of the table by the longitudinal moving means 75 .

그 후에 승강수단(77)에 의하여 스크라이브 치구(78)를 강하시켜, 횡방향 이동수단(62)에 의한 스크라이브 치구(78)의 가로 이동, 테이블(3)의 세로 이동에 의하여 스크라이브 하여 패턴대로의 제품(T)을 얻는다.Thereafter, the scribing jig 78 is lowered by the elevating means 77, and the scribing jig 78 is scribed by the lateral moving means 62 and the scribing jig 78 by the vertical movement of the table 3, Product (T) is obtained.

A 기판
a 얼라인먼트 마크
B 스크라이브 마크
C 시험 절단선
1 주행체
2 선회수단
3 테이블
4 레일
5 슬라이더
6 볼트
7 너트
8 제1모터
9 핀
21 수평재
22 레일
23 슬라이더
24 승강수단
25스크라이브 치구
26 횡방향 이동수단
27 래크
28 베이스
29 제2모터
30 피니언
31 카메라
61 바
62 횡방향 이동수단
63 위치조정수단
64 슬라이더
65 레일
66 횡재
67 슬라이더
68 볼트
69 너트
70 모터
71 레일
72 래크
73 피니언
74 모터
75 종방향 이동수단
76 이동대
77 승강수단
78 스크라이브 치구
79 베이스
80 레일
81 슬라이더
82 볼트
83 너트
84 카메라
s 패턴 마크
A substrate
a alignment mark
B scribe mark
C test cutting line
1 traveling body
2 turning means
3 tables
4 rails
5 slider
6 volts
7 nut
8 First motor
9 pin
21 Horizontal
22 rails
23 slider
24 lifting means
25 scribe jig
26 lateral movement means
27 Racks
28 base
29 Second motor
30 pinion
31 Camera
61 bars
62 lateral movement means
63 position adjusting means
64 sliders
65 rails
66 windfall
67 slider
68 volts
69 Nut
70 motor
71 rail
72 rack
73 pinion
74 Motor
75 longitudinal direction moving means
76 Moving Base
77 Lifting means
78 scribe fixture
79 Base
80 rails
81 slider
82 volts
83 nut
84 Camera
s pattern mark

Claims (1)

왕복주행(往復走行) 하도록 설치한 주행체(走行體)와, 이 주행체상에 선회수단(旋回手段)에 의하여 평면상에서 선회하고 또한 재치된 대형의 기판을 지지하도록 설치한 테이블(table)과, 이 테이블의 주행로(走行路)의 바로 위를 가로 지르는 가이드 레일(guide rail)에 횡방향 이동수단(橫方向移動手段)에 의하여 각각이 좌우방향으로 슬라이드 하도록 설치한 복수의 슬라이더(slider)와, 이 각 슬라이더에 승강수단(昇降手段)에 의하여 승강하도록 설치한 스크라이브 치구(scribe治具)와, 상기 각 슬라이더에 상기 기판의 각 스크라이브 마크(scribe mark) 및 얼라인먼트 마크(alignment mark)를 읽어내도록 탑재한 카메라로 이루어지고,
상기 카메라에 의한 상기 기판의 얼라인먼트 마크의 읽기와 인식에 따른 가공 차이량에 의거하여 선회수단에 의하여 테이블을 선회시키고 또한 카메라에 의한 상기 기판의 스크라이브 마크와 커터에 의한 짧은 시험 절단선의 읽기에 따른 스크라이브 가공 차이량을 산출하여 상기 횡방향 이동수단에 의하여 스크라이브 라인 좌표(scribe line 座標)에 상기 슬라이더를 이동시키도록 연동시켜서 스크라이브 치구에 의하여 스크라이브 하고,
스크라이브 완료시에 스크라이브 중심선(scribe 中心線)과 스크라이브 기준중심(scribe 基準中心)의 거리로부터 보정치(補正値)를 산출하고, 이 보정치를 다음번의 스크라이브를 위하여 스크라이브 치구의 이동거리에 가감산(加減算)하도록 하는 것을 특징으로 하는 기판의 스크라이브 장치.
A table provided so as to support a large substrate which is swiveled and mounted on a plane by the pivot means on the traveling body, A plurality of sliders provided so as to slide in the left and right directions by means of the lateral direction moving means (moving direction moving means) on a guide rail transversely over the traveling path of the table, A scribe jig mounted on each of the sliders so as to ascend and descend by means of elevating means and a scribe mark and an alignment mark of the substrate on the slider, It is composed of a built-in camera,
A table is swiveled by the pivot means on the basis of the amount of machining difference due to the reading and recognition of the alignment mark of the substrate by the camera, and a scribe mark of the substrate by the camera and a scribe Calculating a machining difference amount and interlocking the slider to move the slider to a scribe line coordinate by the transverse moving means, scribing it by a scribe jig,
(Corrected value) is calculated from the distance between the scribe center line (scribe center line) and the scribe reference center (scribe reference center) at the time of completing the scribe, and the corrected value is added / subtracted to the moving distance of the scribe fixture for the next scribe, The scribing device comprising:
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