KR20110090791A

KR20110090791A - Scribing apparatus of the substrate

Info

Publication number: KR20110090791A
Application number: KR1020110008573A
Authority: KR
Inventors: 아키라 시라이; 히데오 스에히로; 다카아키 시라이; 도시우키 이쿠타; 기요히코 가사하라
Original assignee: 가부시키가이샤 시라이텍크
Priority date: 2010-02-04
Filing date: 2011-01-28
Publication date: 2011-08-10
Also published as: KR20170083993A; KR101786436B1; CN202139163U; JP2011178651A; TWM415143U

Abstract

PURPOSE: A substrate scribing apparatus is provided to improve the precision and the yield of a substrate by calculating a correcting value based on a scribing center line and correcting the moving distance of a scribing unit. CONSTITUTION: A driving unit is prepared. A table(3) transfers on the planar surface of the driving unit based on a transferring unit(2) and supports a substrate(A). A guide rail(22) crosses the transferring direction of the table. A plurality of sliders slides to the left direction and the right direction using a transversal moving unit. Scribing units are respectively installed to the sliders and elevate based on an elevating unit(24). Cameras(31) read a scribing mark and an alignment mark(a) by being loaded in respective sliders.

Description

SCRIBING APPARATUS OF THE SUBSTRATE}

본 발명은, 대형(大型)의 액정 패널(液晶 panel) 등의 글라스 기판(glass 基板)이나 막(膜)이 부착된 기판, 그 이외의 기판에 제품 사이즈의 소형절단용의 절단선을 동시에 다수개 형성하는 기판의 스크라이브 장치에 관한 것이다.
The present invention provides a plurality of cutting lines for small-sized cutting at the same time on glass substrates such as large liquid crystal panels, substrates with a film, or other substrates. The scribe apparatus of the board | substrate to form dog.

대형의 액정 패널의 글라스 기판으로부터 한번에 다수 매의 제품 사이즈의 기판을 동시에 얻음으로써 생산성을 높일 수 있다.Productivity can be improved by simultaneously obtaining the board | substrate of several sheets of product size at once from the glass substrate of a large liquid crystal panel.

상기 목적을 달성하기 위하여, 왕복주행 하는 테이블상에 대형의 글라스 기판을 재치한 후에, 테이블을 주행시키면서 테이블의 주행로의 바로 위에 좌우로 소정의 간격을 두고 배열된 복수의 커터(cutter)나 니들(needle), 레이저선(laser線) 등의 스크라이브 치구(scribe 治具)의 강하(降下)에 의하여 글라스 기판의 표면(상면)에 한번에 다수개의 평행하는 소형절단용의 절단선을 형성한다. 이 소형절단용 절단선은, X축방향으로만 또는 X축방향 및 Y축방향으로 형성된다.In order to achieve the above object, after placing a large glass substrate on a reciprocating table, a plurality of cutters or needles are arranged at predetermined intervals on the right and left sides of the table while driving the table. A plurality of small cutting lines for parallel cutting are formed on the surface (upper surface) of the glass substrate at a time by the drop of a scribe jig, such as a needle or a laser line. This small cutting line is formed only in the X-axis direction or in the X-axis direction and the Y-axis direction.

그리고 병렬의 각 스크라이브 치구는, 제품 사이즈의 치수에 맞도록 수치제어(數値制御)에 의하여 간격을 조정할 수 있도록 되어 있다(예를 들면 특허문헌1 참조).And each scribed jig | tool in parallel is able to adjust a space | interval by numerical control so that it may match the dimension of a product size (for example, refer patent document 1).

또한 상기 이외에 카메라에 의하여 정확한 스크라이브가 가능하도록 한 것이 있다(예를 들면 특허문헌2,3 참조).
Moreover, there exist some which enable accurate scribing by a camera other than the above (for example, refer patent document 2, 3).

일본국 공개특허공보 특개평11-343133호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 11-343133 일본국 공개특허 특개2009-73714호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-73714 일본국 공개실용신안 실공평6-415호 공보Japanese Utility Model Utility Model Publication No. 6-415

상기 특허문헌1의 판유리(板 glass)의 절단방식에 의하면, 대형의 글라스 기판으로부터 한번에 다수 매의 제품 사이즈의 기판을 동시에 얻을 수 있는 절단선을 형성하여 생산성을 향상시킬 수 있다.According to the cutting method of the plate glass of the said patent document 1, productivity can be improved by forming the cutting line which can simultaneously obtain the board | substrate of several sheets size from a large glass substrate at a time.

그런데 특허문헌1의 절단방식에서는, 초기의 단계에 있어서 머더기판(mother 基板)에 시험절단(절단선을 형성)을 하고, 형성된 각 절단선이 스크라이브 위치에 있는지 아닌지의 확인을 하고, 절단선이 스크라이브 위치에 없을 경우에 커터의 위치조정을 한다. 또 이 커터의 위치조정은, 순차적으로 글라스 기판을 공급하여 절단선을 형성함으로써 이루어진다.By the way, in the cutting method of patent document 1, in an initial stage, a test cutting (forming cutting line is formed) in a mother substrate, and it confirms whether each cutting line formed is in a scribe position, and a cutting line Adjust the cutter position if it is not in the scribe position. Moreover, the position adjustment of this cutter is performed by supplying a glass substrate sequentially and forming a cutting line.

그러나 시험절단을 하면, 대형이고 고가인 머더기판을 사용하게 되므로, 낭비가 되어 불필요한 지출이 되는 문제가 발생했다.However, when the test was cut, a large and expensive mother board was used, which caused waste and unnecessary expenses.

또한 절단선이 변경될 때마다 시험절단을 하기 때문에, 대폭적인 비용지출이 되는 이외에 스크라이브 위치의 확인작업 등에 의하여 기계의 가동율이 현저하게 저하하는 문제도 있었다.In addition, since the test cutting is performed every time the cutting line is changed, there is a problem that the operation rate of the machine is remarkably lowered due to the checking operation of the scribe position in addition to the significant expense expenditure.

또한 특허문헌2의 글라스 기판의 절단장치에 의하면, 기판별로 또는 검사별로 그 때마다 카메라에 의하여 스크라이브의 가공위치의 어긋남을 보정하도록 스크라이브 치구의 위치결정을 하기 때문에, 택트 가동(tact 稼動)이 대폭적으로 저하하는 문제가 있었다.Moreover, according to the cutting device of the glass substrate of patent document 2, since the scribe fixture is positioned so that the camera may correct the shift | offset | difference of the machining position of a scribe every time by board | substrate or inspection | inspection, the tact operation | movement will be drastically reduced. There was a problem deteriorating.

또한 특허문헌1, 2 및 3의 글라스 기판의 절단방식에 있어서는, 한번에 복수 매의 제품 사이즈의 스크라이브를 커터 및 테이블을 이동시켜서 할 수 있다.Moreover, in the cutting method of the glass substrate of patent documents 1, 2, and 3, the scribe of several sheets of product size can be moved by moving a cutter and a table at a time.

그러나 병렬 커터의 Y축방향(테이블의 주행방향과 교차하는 횡방향)의 위치결정을 할 수 있는 반면, 각 커터의 X축방향(테이블의 주행방향)의 조정을 할 수 없다. 즉 X축방향의 위치조정 기능이 없는 것에 기인한다.However, while the positioning of the parallel cutter in the Y-axis direction (the transverse direction intersecting with the traveling direction of the table) can be performed, the adjustment of the X-axis direction (the traveling direction of the table) of each cutter cannot be made. That is, there is no position adjustment function in the X-axis direction.

그러면, 병렬 커터의 위치 어긋남이 (X축에 대하여) 있으면, 도13에 나타나 있는 바와 같이 스크라이브 한 각 패턴의 제품(T)의 테이블 방향 끝이 X축선상에 있어서 나란하지 않은 어긋남(X)이 발생한다. 이 때문에 불량품이 만들어진다. 즉 제품(T)의 전극면(電極面)의 불일치가 발생하게 되기 때문이다.Then, if there is a positional shift (relative to the X axis) of the parallel cutter, as shown in Fig. 13, the end of the table direction of the product T of each scribed pattern is not parallel to each other on the X axis line. Occurs. This creates a defective product. That is, it is because a mismatch of the electrode surface of the product T arises.

따라서, 본 발명은 상기의 문제를 해결하는 기판의 스크라이브 장치를 제공하는 것이다.
Accordingly, the present invention provides a scribing apparatus for a substrate that solves the above problem.

상기의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은, 왕복주행 하도록 설치한 주행체와, 이 주행체상에 선회수단에 의하여 평면상에서 선회하고 또한 재치한 대형의 기판을 지지하도록 설치한 테이블과, 이 테이블의 주행로의 바로 위를 가로 지르는 가이드 레일에 횡방향 이동수단에 의하여 각각이 좌우방향으로 슬라이드 하도록 설치한 복수의 슬라이더와, 이 각 슬라이더에 승강수단에 의하여 승강하도록 설치한 스크라이브 치구와, 상기 각 슬라이더에 상기 기판의 각 스크라이브 마크 및 얼라인먼트 마크를 읽어내도록 탑재한 카메라로 이루어지고, 상기 카메라에 의한 상기 기판의 얼라인먼트 마크의 읽기 및 그 인식에 따른 가공 차이량(어긋난 양)에 의거하여 선회수단에 의하여 테이블을 선회시키고 또한 카메라에 의한 상기 기판의 스크라이브 마크와 커터에 의한 짧은 시험 절단선의 읽기에 따른 스크라이브 가공 차이량을 산출하여 상기 횡방향 이동수단에 의하여 스크라이브 라인 좌표에 상기 슬라이더를 이동시키도록 연동시켜서 스크라이브 치구에 의하여 스크라이브 하고, 스크라이브 완료시에 스크라이브 중심선과 스크라이브 기준중심의 거리로부터 보정치를 산출하고, 이 보정치를 다음번의 스크라이브를 위하여 스크라이브 치구의 이동거리에 가감산하도록 하는 것을 특징으로 하는 구성을 채용한다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, the present invention provides a traveling body provided for reciprocating, a table provided so as to support a large substrate that is rotated on a plane by means of pivoting means and placed thereon, A plurality of sliders provided on the guide rails which traverse immediately above the traveling path so as to slide left and right in the lateral direction by lateral moving means, a scribed jig which is provided to ascend and descend by the lifting means on each of these sliders, and each of the sliders A camera mounted so as to read out each scribe mark and alignment mark of the substrate, and by turning means based on the amount of deviation (deviation amount) according to the reading and recognition of the alignment mark of the substrate by the camera. When turning table In addition, the amount of scribing difference according to the reading of the scribe mark of the substrate by the camera and the short test cut line by the cutter is calculated, and the lateral movement means is interlocked to move the slider to the scribe line coordinates. And a correction value is calculated from the distance between the scribe center line and the scribe reference center at the completion of the scribe, and the correction value is added and subtracted to the moving distance of the scribe jig for the next scribe.

또한 왕복주행 하도록 설치한 주행체와, 이 주행체상에 선회수단에 의하여 평면상에서 선회하고 또한 재치한 대형의 기판을 지지하도록 설치한 테이블과, 이 테이블의 주행로의 바로 위를 가로 지르는 수평한 바에 횡방향 이동수단에 의하여 좌우방향으로 슬라이드 하도록 설치한 복수의 위치조정수단을 구비하는 슬라이더와, 이 각 슬라이더의 베이스에 종방향 이동수단에 의하여 상기 테이블의 주행방향으로 슬라이드 하도록 설치한 이동대와, 이 각 이동대에 승강수단에 의하여 승강하도록 설치한 스크라이브 치구와, 상기 각 이동대에 상기 기판의 얼라인먼트 마크 및 각 패턴 마크를 읽어내도록 탑재한 카메라로 이루어지고, 이 카메라에 의한 얼라인먼트 마크의 읽기에 따라 상기 선회수단에 의하여 상기 테이블을 선회시키고, 각 카메라에 의한 각 패턴 마크의 읽기에 따라 상기 이동수단에 의하여 이동대를 이동시켜서 정상인 스크라이브 위치에 상기 스크라이브 치구를 이동시키도록 하는 것을 특징으로 하는 구성을 채용한다.
In addition, a traveling body arranged to reciprocate, a table provided to support a large substrate that is turned on a plane by a turning means and mounted on the traveling body, and a horizontal bar which crosses directly above the traveling path of the table A slider having a plurality of position adjusting means arranged to slide left and right by a lateral moving means, a movable table provided on the base of each slider so as to slide in the traveling direction of the table by a longitudinal moving means; A scribed jig provided to elevate on each movable platform by elevating means, and a camera mounted on each movable platform to read the alignment mark and the pattern mark of the substrate, and to read the alignment mark by the camera. The table is pivoted by the pivot means, Depending on the reading of the mark pattern to the normal scribe position to move the moving base by the moving means employing a configuration that is characterized in that to move the scribing tool.

이상과 같이, 본 발명의 기판의 스크라이브 장치에 의하면, 카메라에 의하여 얼라인먼트 마크의 읽기(인식)에 따른 글라스 기판의 좌우 양변 테두리에 대한 가공 차이량을 선회수단에 의하여 테이블을 선회시켜서 보정하고, 또 커터를 강하시키고 또한 테이블을 약간 주행시켜서 기판에 형성하는 짧은 시험 절단선과 스크라이브 마크를 카메라에 의하여 각각 읽어 인식하고, 그 인식에 따른 스크라이브 마크에 대한 시험절단선과의 차이량을, 횡방향 이동수단에 의하여 슬라이더를 좌 또는 우방향으로 슬라이드 시켜서 보정하기 때문에 머더기판을 사용한 시험절단선이 불필요하게 된다.As mentioned above, according to the scribing apparatus of the board | substrate of this invention, the table | substrate correct | amends and correct | amends the process difference amount with respect to the left and right both edges of a glass substrate according to reading (recognition) of the alignment mark by a camera, and A short test cut line and a scribe mark formed on the substrate by lowering the cutter and running the table slightly are read and recognized by the camera, respectively, and the amount of difference between the test cut line and the scribe mark according to the recognition is read on the lateral moving means. By adjusting the slider by sliding it to the left or right direction, the test cutting line using the mother board is unnecessary.

이 때문에 대형이고 고가인 머더기판을 사용하기 때문에 쓸데 없는 지출을 없앨 수 있음과 아울러, 시험절단과 그 후의 스크라이브 위치의 확인 때문에 발생하는, 기계의 대폭적인 가동율이 저하하는 문제도 없앨 수 있다.As a result, large and expensive mother boards can be used to eliminate unnecessary expenditures, as well as the problem of drastically lowering the operation rate of the machine, which is caused by test cutting and subsequent scribing positions.

특히 스크라이브 완료시에 스크라이브 중심선과 스크라이브 기준중심의 거리로부터 보정치를 산출하고, 이 보정치를 다음번의 스크라이브를 위하여 스크라이브 치구의 이동거리에 가감산하도록 되어 있기 때문에, 순차적으로 스크라이브 하는 택트 운전의 가동율을 대폭적으로 향상시켜서 생산율의 현저한 향상을 도모함과 아울러, 스크라이브 정밀도가 안정되고 또한 수율을 향상시킨다.In particular, since the correction value is calculated from the distance between the scribe center line and the scribe reference center at the completion of the scribing, the correction value is added to or subtracted from the moving distance of the scribe jig for the next scribe. In addition to improving the production rate, the scribe accuracy is stabilized and the yield is improved.

또한 이동대에 스크라이브 치구와 카메라를 설치하고, 이 이동대를 종방향 이동수단에 의하여 테이블의 주행방향 전후로 이동하면서 카메라에 의하여 패턴 마크를 읽어내고 인식하고, 그 인식에 의한 어긋남에 따른 보정량에 따라 이동대를 이동시키도록 되어 있기 때문에, 각 스크라이브 치구에 의하여 스크라이브 한 패턴의 제품의 테이블 주행방향 앞쪽 가장자리의 어긋남이 없고, 즉 불량품이 발생하지 않는 패턴의 제품의 스크라이브를 할 수 있다.
In addition, a scribing jig and a camera are installed on the moving table, and the moving table is moved back and forth in the traveling direction of the table by the longitudinal moving means to read and recognize the pattern mark by the camera, and according to the amount of correction according to the deviation caused by the recognition. Since the movable table is moved, there is no misalignment of the leading edge of the table running direction of the product scribed by each scribed jig, that is, the product can be scribed in a pattern in which defective products do not occur.

도1은, 본 발명의 제1실시예를 나타내는 평면도.
도2는, 상기의 측면도.
도3은, 상기의 요부를 나타내는 종단 확대 측면도.
도4는, 글라스 기판의 평면도.
도5는, 시험 절단선과 스크라이브 마크의 관계를 나타내는 확대 평면도.
도6은, 시험 절단선과 스크라이브 마크와의 관계를 나타내는 확대 평면도.
도7은, 정확한 스크라이브를 나타내는 확대 평면도.
도8은, 제2실시예를 나타내는 평면도.
도9는, 상기의 종단 측면도.
도10은, 상기의 요부를 나타내는 확대 평면도.
도11은, 상기의 종단 확대 측면도.
도12은, 제품의 패턴을 나타내는 평면도.
도13은, 제품의 차이량을 나타내는 평면도.1 is a plan view showing a first embodiment of the present invention.
2 is a side view of the above.
3 is a longitudinal enlarged side view showing the main portion described above.
4 is a plan view of a glass substrate.
5 is an enlarged plan view showing a relationship between a test cut line and a scribe mark;
6 is an enlarged plan view showing a relationship between a test cut line and a scribe mark;
7 is an enlarged plan view showing an accurate scribe;
8 is a plan view showing a second embodiment;
9 is a longitudinal side view of the above;
Fig. 10 is an enlarged plan view showing the main portion described above.
Fig. 11 is a longitudinal enlarged side view of the above;
12 is a plan view showing a pattern of a product.
Fig. 13 is a plan view showing the amount of difference between products.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 제1실시예에서는 도1에서부터 도6에 나타나 있는 바와 같이, 왕복주행 하는 주행체(1)상에는 선회수단(2)에 의하여 평면상에서 선회하고 또한 재치된 대형의 기판(A)을 지지하는 테이블(3)이 설치되어 있다.In the first embodiment of the present invention, as shown in Fig. 1 to Fig. 6, the large-sized substrate A, which is pivoted on the plane by the turning means 2 and mounted on the traveling body 1 for reciprocating driving, is supported. The table 3 is provided.

상기의 기판(A)으로서는, 예를 들면 유리로 만든 것으로서 액정용 기판이나 막이 부착된 기판 등 스크라이브 가공하기 위한 기판이다.As said board | substrate A, it is made of glass, for example, and it is a board | substrate for scribing, such as a board | substrate for liquid crystals, a board | substrate with a film | membrane.

상기 주행체(1)의 왕복주행은, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 부설된 2가닥의 레일(4)에 주행체(1)의 양측 하면에 설치되어 있는 슬라이더(5)를 슬라이드 하도록 결합하고 또한 레일(4) 사이에 배치하여 양단을 회전하도록 축지지(軸支持) 한 볼트(6)에 주행체(1)의 하면에 부착되어 있는 너트(7)를 나사결합 하고, 제1모터(8)의 운전에 의하여 볼트(6)를 가역구동(可逆驅動) 하여 주행체(1)를 전후방향으로 주행시키도록 하고 있지만, 이것에 한정되지 않고 그 이외의 구성에 의하여 전후방향으로 주행시켜도 좋다.The reciprocation of the traveling body 1 is coupled to the two rails 4 laid in the drawing so as to slide the sliders 5 provided on both lower surfaces of the traveling body 1 in the case of being shown in the drawing. And a nut (7) attached to the lower surface of the traveling body (1) to a bolt (6) axially supported so as to rotate between both rails (4), thereby screwing the first motor ( Although the bolt 6 is reversibly driven by the operation of 8), the traveling body 1 is made to travel in the front-back direction. However, the configuration is not limited to this and may be moved in the front-back direction by other configurations. .

상기의 선회수단(2)은, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 주행체(1)상에 가역 모터(可逆motor)를 설치하고, 이 가역 모터의 출력축을 테이블(3)의 하면 중심에 고정하고 있지만, 이에 한정되지 않는다.In the case shown in the figure, the turning means 2 is provided with a reversible motor on the traveling body 1, and the output shaft of the reversible motor is fixed to the center of the lower surface of the table 3. However, it is not limited to this.

상기 테이블(3)상에 재치되는 기판(A)의 지지는, 테이블(3)을 박스(box)로 하고 박스내를 흡인하여, 박스의 정상벽(頂上壁)에 다수의 연통소공(連通小孔)(35)을 형성하고 흡인에 의하여 지지하도록 하고 있다.The support of the board | substrate A mounted on the said table 3 makes the table 3 into a box, draws in a box, and draws many communication holes to the top wall of a box. (Iii) 35 are formed and supported by suction.

그 때에, 테이블(3)상의 하나의 코너를 에워싸는 2변에 위치하는 핀(9)에 글라스 기판(A)의 변을 접촉시켜서 위치결정 하도록 하고 있다.At that time, the position of the glass substrate A is brought into contact with the pin 9 located at two sides surrounding one corner on the table 3.

또한 테이블(3)의 주행로를 가로 지르는 수평재(水平材)(21)의 양단간에 가이드 레일(22)을 설치하고, 이 가이드 레일(22)에 복수의 슬라이더(23)를 슬라이드 하도록 결합하고, 이 각 슬라이더(23)에는 실린더 등의 승강수단(24)에 의하여 승강하는 스크라이브 치구(25)가 설치되어 있다.Further, guide rails 22 are provided between both ends of the horizontal member 21 crossing the traveling path of the table 3, and the guide rails 22 are coupled to slide the plurality of sliders 23, Each slider 23 is provided with a scribe jig 25 for elevating by elevating means 24 such as a cylinder.

상기의 스크라이브 치구(25)로서는, 커터휠(cutter wheel)이나 니들(needel), 레이저 광선(laser 光線) 등이 있다.As said scribed jig | tool 25, a cutter wheel, a needle, a laser beam, etc. are mentioned.

그리고 각 슬라이더(23)는, 횡방향 이동수단(26)에 의하여 단독으로 좌우측방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다.And each slider 23 is able to move to the left-right direction independently by the horizontal movement means 26. As shown in FIG.

상기의 횡방향 이동수단(26)은, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 수평재(21)의 대략 전체 길이에 래크(rack)(27)를 부설(敷設)하고 각 슬라이더(23)의 베이스(base)(28)에 부착되어 있는 제2모터(29)의 출력축에 고정된 피니언(pinion)(30)을 맞물리게 하고, 제2모터(29)의 가역운전에 의하여 슬라이더(23)를 좌측방향, 우측방향으로 슬라이드 시키도록 되어 있다.In the lateral movement means 26, as shown in the drawing, the rack 27 is laid at approximately the entire length of the horizontal member 21, and the base of each slider 23 The pinion 30 fixed to the output shaft of the second motor 29 attached to the base 28 is engaged, and the slider 23 is moved leftward, by reversible operation of the second motor 29. It slides to the right direction.

그리고 각 스크라이브 치구(25)의 근방에는 베이스(28)에 부착된 카메라(31)가 설치되어 있다.The camera 31 attached to the base 28 is provided in the vicinity of each scribed jig 25.

상기의 카메라(31) 및 스크라이브 치구(25)는 스크라이브 라인 방향의 동축선(同軸線)상의 전후에 배치되어 있다.The said camera 31 and the scribe fixture 25 are arrange | positioned before and after on the coaxial line of the scribe line direction.

이 카메라(31)는, 횡방향 이동수단(26)에 의하여 양 사이드의 슬라이더(23)를 기판(A)의 상면 양측 모서리의 얼라인먼트 마크(a)의 위치로 이동시켜서 얼라인먼트 마크(a)를 읽어내고, 또 기판(A)의 상면에 형성되어 있는 스크라이브 마크(B) 및 각 스크라이브 치구(25)의 커터휠 등에 의하여 글라스 기판(A)의 주변부 상면에 형성된 짧은 시험 절단선(C)을 읽어낸다.The camera 31 reads the alignment mark a by moving the sliders 23 on both sides to the position of the alignment marks a on both sides of the upper surface of the substrate A by the horizontal moving means 26. In addition, the short test cut line C formed on the upper surface of the peripheral portion of the glass substrate A is read out by the scribe mark B formed on the upper surface of the substrate A and the cutter wheel of each scribe jig 25. .

도면에서 41은 스크라이브 치구(25)의 승강을 가이드 하는 가이드 수단이다.In the figure, 41 is a guide means for guiding the lifting and lowering of the scribe jig 25.

상기한 바와 같이 구성하면, 테이블(3)상에 기판(A)을 재치하고, 주행체(1)를 왕복주행 시켜서, 카메라(31)에 의하여 기판(A)의 네 모서리의 얼라인먼트 마크(a)를 읽어내고, 그 읽기에 따른 가공 차이량(어긋난 양)을 카메라(31)에 접속된 연산장치에 의하여 계산하고, 그 계산에 의거하여 제어장치에 의하여 선회수단(2)을 운전하여 테이블(3)을 시계, 반시계방향으로 보정량에 따른 각도만큼 선회시킨다.When comprised as mentioned above, the board | substrate A is mounted on the table 3, the traveling body 1 is reciprocated, and the alignment mark a of the four corners of the board | substrate A is carried out by the camera 31. As shown in FIG. Is read out, and the machining difference amount (deviation amount) according to the reading is calculated by the calculation device connected to the camera 31, and the turning device 2 is operated by the control device based on the calculation to operate the table (3). ) By turning clockwise or counterclockwise by the angle according to the correction amount.

또한 기판(A)의 대향하는 양측 2변의 테두리 사이에 스크라이브 치구(25)에 의하여 절단선을 형성(스크라이브)하기 전에, 우선 테이블(3)과 함께 지지 기판(A)을 약간 전방으로 주행시킨다.Moreover, before forming a cut line (scribing) by the scribe jig | tool 25 between the edges of the two opposite sides of the board | substrate A, first, the support substrate A is moved forward with the table 3 slightly forward.

이 때에, 승강수단(24)에 의하여 각 스크라이브 치구(25)를 강하시켜서 도4에 나타내는 기판(A)이 필요로 하는 테두리부의 표면에 인쇄되어 있는 각 스크라이브 마크(B)의 전방의 (스크라이브 마크(B)로부터 벗어난) 부분에 도5나 도6에 나타내는 짧은 시험 절단선(C)을 형성하고, 시험 절단선(C)을 형성한 뒤에 승강수단(24)에 의하여 각 스크라이브 치구(25)를 상승복귀 시킨다.At this time, the scribing jig 25 is lowered by the elevating means 24, and the scribe mark in front of each scribe mark B printed on the surface of the edge portion required by the substrate A shown in FIG. The short test cut line C shown in FIG. 5 and FIG. 6 is formed in the part (deviated from (B)), and after forming the test cut line C, each scribe jig 25 is moved by the lifting means 24. As shown in FIG. Ascend return.

이 때에, 각 카메라(31)에 의하여 스크라이브 마크(B)와 시험 절단선(C)을 읽어 인식하고, 그 인식에 따라 시험 절단선(C)이 스크라이브 마크(B)의 설정된 정규의 위치(도5에 나타낸다)에 있는지, 아니면 도6에 나타나 있는 바와 같이 비정규의 위치에 있는지를 감지하고, 감지에 따라 비정규의 위치(도6에 나타나 있는 바와 같이 스크라이브 라인(X)에 대하여 시험 절단선(C)의 어긋남 거리(Z)가 있으면, 스크라이브 라인(X)에 스크라이브 치구(25)가 합치하도록)로부터 스크라이브 치구(25)의 슬라이더(23)를 횡방향 이동수단(26)에 의하여(제2모터(29)의 운전에 의하여) 이동시켜 차이량에 맞는 수정을 하여 정규의 위치로 이동시킨다(보정한다).At this time, the scribe mark B and the test cut line C are read and recognized by each camera 31, and according to the recognition, the test cut line C is set at the normal position of the scribe mark B (Fig. 5, or at an irregular position as shown in FIG. 6, and detects the test cut line C with respect to the irregular position (as shown in FIG. 6). If there is a deviation distance (Z) of the (), the slider 23 of the scribe jig 25 from the scribe line (25) to the scribe line (X) by the lateral movement means 26 (second motor) By the operation of (29), the correction is made according to the difference amount and moved to the normal position (correction).

상기의 보정방식은, 카메라(31)에 접속된 연산장치에 의하여 차이량을 계산하고, 그 계산에 의거하여 제어장치에 의하여 제2모터(29)를 정회전, 역방향 운전한다.In the correction method described above, the difference amount is calculated by the computing device connected to the camera 31, and the second motor 29 is rotated forward and backward by the control device based on the calculation.

이렇게 하여 주행체(1)를 전진주행 시키면서, 테이블(3)상의 기판(A)에 승강수단(24)에 의하여 하강되어 있는 스크라이브 치구(25)에 의하여 절단선을 형성한다.The cutting line is formed by the scribe jig 25 which is lowered by the elevating means 24 on the substrate A on the table 3 while advancing the traveling body 1 in this way.

또한 절단선은, 동일한 순서를 거쳐 앞의 절단선 사이에도 한번 혹은 여러번 형성할 수 있고, 또 테이블(3)과 함께 지지상태인 기판(A)을 90도 선회시켜서, 직각으로 교차하는 절단선을 형성할 수 있다.In addition, the cutting line can be formed once or several times between the preceding cutting lines through the same procedure, and also rotates the board | substrate A supported by 90 degree with the table 3, and cuts the cutting line which crosses at right angles. Can be formed.

또한 주지된 바와 같이 기판(A)의 두께(판의 두께)에 따라 스크라이브 치구(25)의 강하량 즉 스크라이브 깊이를 결정한다.Further, as is well known, the drop amount of the scribe jig 25, that is, the scribe depth, is determined according to the thickness of the substrate A (plate thickness).

이러한 방법에 의하여 각 스크라이브 치구(25)의 이동치를 읽어내고, 상기한 방법에 의하여 보정을 함으로써 각각의 스크라이브 치구(25) 위치 모두가 스크라이브 마크(B)의 기준값의 위치에 위치결정 될 수 있다.By reading the movement value of each scribe fixture 25 by this method and correcting by the above-described method, all the positions of each scribe fixture 25 can be positioned at the position of the reference value of the scribe mark B.

그 후 다시 스크라이브 치구(25)가 스크라이브 마크(B) 위치로 이동하여 그 위치에서 기판(A)의 한 부분에 스크라이브 라인을 형성한다.Thereafter, the scribe jig 25 is moved to the scribe mark B position to form a scribe line in one portion of the substrate A at that position.

또한 상기한 조건이 만족되고 각 스크라이브 치구(25)가 첫번째의 스크라이브를 완료한 후에 실제로 스크라이브가 되어 있는지의 확인을 하더라도 좋다.It is also possible to confirm whether the above conditions are satisfied and each scribe jig 25 is actually scribed after completing the first scribe.

그러면, 도7에 나타나 있는 바와 같이 스크라이브 마크(B)의 중심과 일치한 스크라이브 라인(X)을 스크라이브 할 수 있다.Then, as shown in Fig. 7, the scribe line X coinciding with the center of the scribe mark B can be scribed.

도면에서 S는 스크라이브 라인의 폭이다.In the figure, S is the width of the scribe line.

또한 스크라이브의 완료후에 스크라이브 라인(X)의 중심과 스크라이브 기준 중심의 거리로부터 보정치를 산출하고, 이 보정치를 다음번의 스크라이브를 위하여 스크라이브 치구의 이동거리를 가감산 하기 때문에 순차적으로 스크라이브 하는 택트 운전의 가동율을 대폭적으로 향상시켜서 생산성의 현저한 향상은 물론 스크라이브 정밀도가 안정되고 또한 수율을 향상시킨다.In addition, after completion of the scribe, the correction value is calculated from the distance between the center of the scribe line X and the scribe reference center, and this correction value is added to or subtracted from the moving distance of the scribe jig for the next scribe. Significantly improves the productivity, as well as stabilizes the scribing accuracy and improves the yield.

본 발명의 제2실시예에서는 도8에서부터 도11에 나타나 있는 바와 같이, 왕복주행 하는 주행체(1)상에는 선회수단(2)에 의하여 평면상에서 선회하고 또한 재치된 대형의 기판(A)을 지지하는 테이블(3)이 설치되어 있다.In the second embodiment of the present invention, as shown in Figs. 8 to 11, on the traveling body 1 for reciprocating, the large-size substrate A, which is pivoted on the plane by the swing means 2 and is mounted, is supported. The table 3 is provided.

상기한 기판(A), 주행체(1)의 왕복주행, 테이블(3)의 선회수단(2) 및 테이블(3)에 재치되는 기판(A)의 지지방식의 구성은, 제1실시예와 같은 것에 대하여는 상세한 설명을 생략한다.The structure of the support method of the above-mentioned board | substrate A, the reciprocation of the traveling body 1, the turning means 2 of the table 3, and the board | substrate A mounted on the table 3 is the same as that of 1st Example. The same description is omitted.

또한 테이블(3)의 바로 위를 가로 지르는 수평의 바(61)에는, 횡방향 이동수단(62)에 의하여 좌우방향으로 슬라이드 하는 복수의 위치조정수단(63)을 구비하는 병렬 슬라이더(64)가 설치되어 있다.Moreover, in the horizontal bar 61 which transverses directly above the table 3, the parallel slider 64 provided with the some position adjustment means 63 which slides to the left-right direction by the horizontal movement means 62 is provided. It is installed.

상기의 횡방향 이동수단(62)의 구성은, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 바(61)의 후면 전체 길이에 설치한 레일(65)에 수평한 횡재(橫材)(66)의 전면에 설치되어 있는 슬라이더(67)를 슬라이드 하도록 결합하고 또한 바(61)의 양단간에 축지지된 볼트(68)를 횡재(66)의 너트(69)에 나사결합 하고, 모터(70)의 가역운전에 의하여 볼트(68)를 드라이브 함으로써 횡재(66)가 가로로 이동하고, 또 복수의 슬라이더(64)는, 횡재(66)의 후면의 전체 길이에 설치되어 있는 레일(71)에 슬라이드 하도록 결합되어 있고, 또한 위치조정수단(63)은, 횡재(66)의 상면 전체 길이에 설치되어 있는 래크(72)에 각 슬라이더(64)에 축지지 된 피니언(73)을 맞물리게 함과 아울러 각각의 피니언(73)을 모터(74)에 의하여 가역구동 함으로써 각 슬라이더(64)를 좌우방향으로 슬라이드 하여 위치조정 할 수 있다.The structure of the said transverse direction means 62 is the front surface of the horizontal member 66 horizontal to the rail 65 provided in the full length of the back surface of the bar 61, as shown in the figure. The slider 67 mounted on the slide 67, and the bolt 68 held between the two ends of the bar 61 is screwed to the nut 69 of the cross member 66, and the reversible operation of the motor 70 is performed. By driving the bolt 68, the cross member 66 moves horizontally, and the plurality of sliders 64 are coupled to slide on the rail 71 provided on the entire length of the rear surface of the cross member 66. Moreover, the position adjustment means 63 engages the pinion 73 axially supported by each slider 64 with the rack 72 provided in the full length of the upper surface of the cross member 66, and each pinion ( 73) is reversible driven by the motor (74) Writing can be adjusted by sliding the position of each slider 64 in the left-right direction.

여기에서 본 실시예는 상기 구성에 한정되지 않고, 그 이외의 구성에 의하여 목적을 달성할 수도 있다.Here, the present embodiment is not limited to the above configuration, and the object can be achieved by other configurations.

또한 각 슬라이더(64)에는 종방향 이동수단(75)에 의하여 테이블(3)의 주행방향으로 슬라이드 하는 이동대(76)가 설치되어 있고, 각 이동대(76)에는 승강수단(77)에 의하여 승강하는 스크라이브 치구(78)가 설치되어 있다.Further, each slider 64 is provided with a moving table 76 which slides in the traveling direction of the table 3 by the longitudinal moving means 75, and each moving table 76 is provided by lifting means 77. The scribe fixture 78 which moves up and down is provided.

상기의 승강수단(77) 및 스크라이브 치구(78)는, 제1실시예와 동일한 것에 관한 설명을 생략한다.The lifting means 77 and the scribe jig 78 are omitted from the same description as in the first embodiment.

상기의 종방향 이동수단(75)은, 도면에 나타나 있는 바와 같은 경우에, 슬라이더(64)의 베이스(79)의 레일(80)에 이동대(76)의 슬라이더(81)를 슬라이드 하도록 결합하고 또한 베이스(79)에 설치된 모터(91)의 가역구동에 의하여 회전하는 볼트(82)를 이동대(76)에 지지되어 있는 너트(83)에 나사결합 하여 구성했지만, 이에 한정되지 않고 그 이외의 구성에 의하여 이동대(76)를 (전후방향으로) 이동시켜도 좋다.The longitudinal movement means 75 is coupled to the rail 80 of the base 79 of the slider 64 so as to slide the slider 81 of the movable base 76, as shown in the figure. Moreover, although the bolt 82 which rotates by the reversible drive of the motor 91 installed in the base 79 was screwed together with the nut 83 supported by the moving base 76, it is not limited to this, but other than that By the configuration, the moving table 76 may be moved (in the front and rear directions).

또한 이동대(76)에는, 기판(A)의 얼라인먼트 마크(a) 및 각 스크라이브 제품별 패턴 마크(s)(제품 패턴(T)별)를 읽어내는 카메라(84)가 설치되어 있다.Moreover, the camera 84 which reads the alignment mark a of the board | substrate A, and the pattern mark s (for each product pattern T) for each scribe product is provided in the movable base 76. As shown in FIG.

상기한 바와 같이 구성하면, 양측 이동대(76)의 카메라(84)에 의하여 기판(A)의 양 모서리의 얼라인먼트 마크(a)를 읽어내고, 그 읽기에 따른 가공 차이량을 카메라(84)에 접속된 연산장치에 의하여 계산하고, 그 계산에 의거하여 제어장치에 의하여 선회수단(2)을 운전하여 테이블(3)을 시계, 반시계방향으로 보정량에 따른 각도만큼 선회시킨다.When comprised as mentioned above, the alignment mark (a) of the both edges of the board | substrate A is read by the camera 84 of the both side moving boards 76, and the processing difference according to the reading is read into the camera 84. Calculation is performed by the connected computing device, and the turning device 2 is driven by the control device based on the calculation to rotate the table 3 clockwise and counterclockwise by an angle corresponding to the correction amount.

다음에 각 카메라(84)에 의하여 각 스크라이브 제품별 패턴 마크(s)를 읽어내고, 읽기에 따른 스크라이브 치구(78)와 스크라이브 제품(T)의 테이블(3)의 주행방향 앞쪽 가장자리와의 가공(스크라이브 라인)차이량을 카메라(84)에 접속된 연산장치에 의하여 계산하고, 그 계산에 의거하여 종방향 이동수단(75)에 의하여 이동대(76)를 테이블의 주행방향 전방 또는 후방으로 (보정량에 따라) 이동시킨다.Next, each camera 84 reads out the pattern mark s for each scribe product, and processes the scribing jig 78 and the running edge of the table 3 of the scribe product T according to the reading. Scribe line) the difference amount is calculated by an arithmetic device connected to the camera 84, and the moving table 76 is moved forward or rearward of the table by the longitudinal movement means 75 based on the calculation (correction amount) Move accordingly).

그 후에 승강수단(77)에 의하여 스크라이브 치구(78)를 강하시켜, 횡방향 이동수단(62)에 의한 스크라이브 치구(78)의 가로 이동, 테이블(3)의 세로 이동에 의하여 스크라이브 하여 패턴대로의 제품(T)을 얻는다.
Thereafter, the scribing fixture 78 is lowered by the elevating means 77, and the scribe jig 78 is scribed by the horizontal movement of the scribe jig 78 by the lateral moving means 62 and the vertical movement of the table 3 to form a pattern. Obtain the product T.

A 기판
a 얼라인먼트 마크
B 스크라이브 마크
C 시험 절단선
1 주행체
2 선회수단
3 테이블
4 레일
5 슬라이더
6 볼트
7 너트
8 제1모터
9 핀
21 수평재
22 레일
23 슬라이더
24 승강수단
25스크라이브 치구
26 횡방향 이동수단
27 래크
28 베이스
29 제2모터
30 피니언
31 카메라
61 바
62 횡방향 이동수단
63 위치조정수단
64 슬라이더
65 레일
66 횡재
67 슬라이더
68 볼트
69 너트
70 모터
71 레일
72 래크
73 피니언
74 모터
75 종방향 이동수단
76 이동대
77 승강수단
78 스크라이브 치구
79 베이스
80 레일
81 슬라이더
82 볼트
83 너트
84 카메라
s 패턴 마크A board
a alignment mark
B scribe mark
C test cutting line
1 vehicle
2 means of turning
3 table
4 rails
5 slider
6 volts
7 nuts
8 First Motor
9 pin
21 leveling
22 rails
23 slider
24 lifting means
25 scribe jig
26 transverse vehicles
27 racks
28 base
29 2nd Motor
30 pinion
31 cameras
61 bar
62 Transverse Vehicles
63 Position adjusting means
64 slider
65 rails
66 windfall
67 slider
68 volts
69 nuts
70 motor
71 rails
72 racks
73 pinion
74 motor
75 longitudinal vehicles
76 mobile
77 Lifting Means
78 scribe jig
79 Base
80 rails
81 slider
82 volts
83 nuts
84 camera
s pattern mark

Claims

A traveling body arranged to reciprocate, a table provided to support a large substrate that is rotated on a plane by a turning means on the traveling body and is mounted thereon; A plurality of sliders which are provided on the guide rails which traverse directly above the traveling path of this table so that each slides in the left and right directions by a lateral moving means; And a scribe jig provided to lift up and down each slider by lifting means, and to read out each scribe mark and alignment mark of the substrate on each slider. It is made with a camera mounted,
Swivel the table by the pivot means based on the amount of processing difference according to the reading and recognition of the alignment mark of the substrate by the camera, and the scribe according to the reading of the scribe mark of the substrate by the camera and the short test cutting line by the cutter. The amount of machining difference is calculated and scribed by a scribe jig by interlocking the slider to move the slider to scribe line coordinates by the lateral moving means,
At the completion of scribing, a correction value is calculated from the distance between the scribe center line and the scribe baseline, and this correction value is added to and subtracted from the moving distance of the scribe jig for the next scribe. A scribe device for a substrate, characterized in that the.

A traveling body arranged to reciprocate, a table provided to support a large substrate that is turned on a plane by a turning means on the traveling body, and is placed thereon, and a horizontal bar crossing directly above the traveling path of the table ( a plurality of sliders installed on the bar to slide left and right by the lateral moving means and provided with a positioning means, and a traveling direction of the table by longitudinal moving means at the base of each slider. A moving table installed to slide with a slide, a scribed jig provided to move up and down by each of the moving tables, and an alignment mark and a pattern mark of the substrate on the respective moving tables. It consists of a camera mounted to put out,
The table is pivoted by the pivoting means in accordance with the reading of the alignment mark by the camera, and the movable table is moved by the moving means in accordance with the reading of each pattern mark by each camera to place the scribe jig at a normal scribe position. The scribing apparatus of the board | substrate which makes it move.