KR20170064622A - 플라즈마 멸균기 및 플라즈마 멸균기의 과산화수소 기체 발생장치 - Google Patents

플라즈마 멸균기 및 플라즈마 멸균기의 과산화수소 기체 발생장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 플라즈마 멸균기 및 플라즈마 멸균기의 과산화수소 기체 발생장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 플라즈마 멸균기는 멸균챔버를 100torr 이상의 상압(준상압)으로 형성한 다음, 비활성 기체를 이용하여 플라즈마를 발생시키고, 발생된 플라즈마에 의해 과산화수소 기체로부터 OH 라디컬을 생성시킴으로써 멸균대상을 멸균시키며, 이때 비활성 기체를 이용하여 과산화수소 기체를 생성하는 것을 특징으로 한다.

Description

플라즈마 멸균기 및 플라즈마 멸균기의 과산화수소 기체 발생장치{PLASMA STERILIZER AND APPARATUS FOR GENERATING HYDROGEN PEROXIDE VAPOR IN THE STERILIZER}
본 발명은 플라즈마 멸균기 및 플라즈마 멸균기의 과산화수소 기체 발생장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플라즈마를 이용하여 OH 라디컬을 발생시켜 멸균을 수행하는 플라즈마 멸균기 및 플라즈마 멸균기에 사용되는 과산화수소 기체 발생장치에 관한 것이다.
과거 멸균의 역사를 살펴보면 1850년부터 고온 고압의 환경을 멸균대상물에 노출시켜 소독이라는 개념으로 멸균을 하기 시작하였다. 하지만 긴 멸균 시간과 고온 고압에 취약한 대상물의 경우 변형을 일으킬 수 있으며 이로 인해 멸균 대상물의 수명이 짧아진다는 단점이 있었다. 이후 포름 알데히드를 이용한 스팀을 이용하였으나 독성을 지닌다는 단점 때문에 1950년 이후에는 에틸렌 옥사이드(Ethylene oxide, EO)를 이용한 화학적 저온 방식 멸균법이 개발되면서 플라스틱 및 다공성 물질 등을 손상 없이 소독할 수 있었지만, 독성이 강한 잔류 물질이 존재하며 발생되는 유독가스로 인해 관리가 어렵다는 단점이 있었다. 이후 글루타르알데히드 플라즈마(Glutaraldehyde plasma)를 이용하여 처음으로 플라즈마 기반의 멸균 방법이 개발되었고, 아산화질소(N2O) 또는 오존(O3) 혼합 플라즈마를 이용한 멸균이 이루어졌다. 이후 계속된 가스 멸균법의 개발 과정에서 과산화수소(H2O2) 증기 만을 이용하여 우수한 멸균 효과를 나타내는 것이 확인되었으며, 최근에는 과산화수소 가스를 플라즈마 상태로 분해하여 발생된 들뜬 에너지 상태인 활성종 OH 라디칼을 이용한 멸균이 제시되었는데, 이는 OH 라디칼이 멸균 대상의 세포벽으로 구성되어 있는 H+ 와 만나 세포벽을 파괴함으로써 매우 우수한 멸균 효과를 나타내는 것으로 알려져 있다. 이와 같이 OH 라디칼은 강력한 멸균제 역할을 하므로 멸균 시간이 짧을 뿐 아니라, OH 라디칼의 생존 시간이 짧으므로 배기 시 H2O, O2, H2 등의 화합물로 즉시 환원되어 기타의 가스 멸균에 비해 인체 유해성의 위험이 비교적 적다.
이러한 과산화수소 가스와 플라즈마를 이용한 멸균방법은 대체적으로 다음 두 가지의 특징을 기초로 한다. 첫 번째 특징은 기화된 과산화수소를 직접 플라즈마로 발생시키기가 쉽지 않기 때문에 높은 수준의 진공에서 멸균 공정을 진행하게 된다. 이러한 높은 수준의 진공을 형성하기 위해서는 고성능의 진공 펌프 및 진공 챔버 등의 진공 장비를 이용해야 하므로 플라즈마 멸균장치가 대형화되고 설비의 가격이 비싸지게 된다. 두 번째 특징은 플라즈마를 발생시키기 위한 에너지원으로 RF 코일을 사용하게 되는데, 이 경우 교류의 전원을 알맞은 플라즈마 파워로 변환하기 위해 매칭 네트워크(Matching Network), RF 파워증폭기 등의 고가의 장비가 필요하여 이 역시 멸균 설비의 크기가 커지고 비용이 비싸지게 된다.
기존 플라즈마 멸균기의 경우, 과산화수소 가스를 바로 공급하여 과산화수소 플라즈마를 발생시키므로 이를 위해 높은 수준의 진공이 필요한 문제점이 있어왔다.
이에 출원인은 이러한 문제점을 해결할 수 있는 플라즈마 멸균기를 발명하였고, 발명한 플라즈마 멸균기에 최적화하여 사용될 수 있는 과산화수소 기체 발생장치를 제안하고자 한다.
대한민국 특허공개공보 10-2012-0135128
따라서, 본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 상압(준상압)에서 마이크로웨이브를 이용하여 비활성 기체의 플라즈마를 발생시켜 과산화수소 기체의 분해를 위한 물리적 운동에너지를 확보한 상태에서, 과산화수소 기체를 공급하여 생성되는 OH 라디컬을 이용하여 멸균을 수행하고, 상기 과산화수소 기체는 비활성 기체를 이용하여 생성되도록 하는 플라즈마 멸균기 및 플라즈마 멸균기내 과산화수소 발생 장치를 제공함에 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 멸균 공간을 제공하는 멸균 챔버; 상기 멸균 챔버 내부를 상압 또는 준상압 상태의 약한 진공을 형성하는 진공펌프; 상기 멸균 챔버 내부로 비활성 기체를 공급하는 비활성 기체 공급부; 상기 멸균 챔버 내부에 초고주파를 인가하여 비활성 기체 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생부; 및 상기 비활성 기체의 압력으로 액체 상태의 과산화수소를 기화시켜 상기 멸균 챔버 내부로 과산화수소 기체를 공급하는 과산화수소 기체 발생부를 포함하는 플라즈마 멸균기에 의해 달성될 수 있다.
여기서, 상기 과산화수소 기체 발생부는 상기 액체 상태의 과산화수소가 담긴 과산화수소 저장부; 상기 과산화수소 저장부에 담긴 상기 액체 상태의 과산화수소에 일단이 잠기며 액체 상태의 과산화수소를 이동시키는 경로를 제공하는 제 1 배관; 및 일단으로부터 상기 비활성 기체를 공급받고 상기 제 1 배관의 타단이 배관의 중간에 연결되어 상기 비활성 기체의 흐름에 의한 압력과 상기 과산화수소 저장부 내부의 압력 차이로 상기 과산화수소 저장부에 담긴 액체 상태의 과산화수소를 상기 제 1 배관을 통해 이동시키고 타단에 형성된 노즐을 통해 기화된 과산화수소를 분사하는 제 2 배관을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 비활성 기체 공급부는 상기 비활성 기체를 저장하는 비활성 기체 저장부; 및 상기 비활성 기체 저장부와 상기 멸균 챔버를 연결하는 비활성 기체 주입 라인을 포함할 수 있고, 상기 제 2 배관은 상기 비활성 기체 주입 라인에서 분기되어 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 비활성 기체는 헬륨, 아르곤, 또는 상기 헬륨과 상기 아르곤의 혼합 기체인 것이 바람직하다.
또한, 상기 플라즈마 발생부는 상기 멸균 챔버 내부에 비활성 기체 플라즈마를 발생시켜 과산화수소 기체의 분해를 위한 물리적 운동에너지를 확보하고, 상기 과산화수소 기체 발생부는 상기 플라즈마 발생부에 의해 상기 비활성 기체 플라즈마가 발생된 상기 멸균 챔버 내부로 상기 과산화수소 기체를 공급하여 상기 상압 또는 준상압 상태에서 OH 라디컬을 발생시켜 멸균 대상을 멸균시키는 것이 바람직하다.
또한, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 비활성 기체를 이용하여 플라즈마를 발생시킨 상태에서 과산화수소 기체를 공급하여 OH 라디컬을 발생시켜 멸균을 수행하는 플라즈마 멸균기의 과산화수소 기체 발생장치에 있어서, 상기 액체 상태의 과산화수소가 담긴 과산화수소 저장부; 상기 과산화수소 저장부에 담긴 상기 액체 상태의 과산화수소에 일단이 잠기며 액체 상태의 과산화수소를 이동시키는 경로를 제공하는 제 1 배관; 및 일단으로부터 상기 비활성 기체를 공급받고 상기 제 1 배관의 타단이 배관의 중간에 연결되어 상기 비활성 기체의 흐름에 의한 압력과 상기 과산화수소 저장부 내부의 압력 차이로 상기 과산화수소 저장부에 담긴 액체 상태의 과산화수소를 상기 제 1 배관을 통해 이동시키고 타단에 형성된 노즐을 통해 기화된 과산화수소를 분사하는 제 2 배관을 포함하는 플라즈마 멸균기의 과산화수소 기체 발생장치에 의해 달성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 상압(준상압)의 환경에서 플라즈마가 쉽게 발생할 수 있도록 비활성 기체(Ar, Ne, He 등)를 우선 공급하여 플라즈마를 점화(ignition) 시키고 이로 인해 발생된 활성 라디칼들로 말미암아 챔버 내에 과산화수소 기체를 분해할 수 있는 물리적인 운동에너지가 확보 된 상태에서 과산화수소 기체를 공급함으로써 과산화수소 플라즈마가 효과적으로 발생할 수 있도록 하는 플라즈마 멸균기에 있어서, 멸균 챔버 내에 공급되는 비활성 기체를 이용하여 액체 상태의 과산화수소를 기화시킬 수 있어서 멸균기의 구조를 더욱 간소화시킬 수 있다는 장점이 있다.
또한, 비활성 기체를 이용하여 과산화수소를 기화시키기 때문에 멸균 챔버 내에 비활성 기체 외의 다른 기체가 유입되는 것을 방지할 수 있다는 장점도 있다.
도 1은 본 발명에 따른 플라즈마 멸균기를 도시한 간략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 멸균기의 과산화수소 기체 발생부의 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 멸균 공정을 나타내는 순서도이다.
실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 플라즈마 멸균기 및 플라즈마 멸균기의 과산화수소 기체 발생장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명에 따른 플라즈마 멸균기를 도시한 간략도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 멸균기의 과산화수소 기체 발생부의 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 멸균기는 멸균 챔버(10), 멸균 챔버(10) 내부를 100torr 이상의 상압(준상압)상태로 유지하도록 할 수 있는 진공 펌프(20), 멸균 챔버(10) 내부에 비활성 기체를 공급하는 비활성 기체 공급부(30), 멸균 챔버(10) 내부에 비활성 기체의 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생부(40), 과산화수소 기체를 발생시킬 수 있는 과산화수소 기체 발생부(50)를 포함하여 구성될 수 있다.
멸균 챔버(10)는 멸균 대상이 배치되고 플라즈마가 발생되어 OH 라디컬에 의해 멸균과정이 수행되는 공간이다.
진공 펌프(20)는 멸균 챔버(10) 내부를 100torr 이상의 상압(준상압)상태로 유지할 수 있도록 마련된다. 본 발명에서는 멸균 챔버(10)의 내부가 상압(준상압)상태에서 플라즈마를 발생시킬 수 있으므로, 멸균 챔버(10) 내부를 약한 진공 상태로 유지할 수 있는 소형 진공 펌프(20)로 마련될 수 있다. 따라서, 플라즈마를 생성하기 위해 멸균 챔버(10) 내부에 높은 수준의 진공을 형성할 필요가 없으므로, 고성능의 진공 장비를 사용할 필요가 없어서 멸균기의 크기와 가격을 절감할 수 있다.
비활성 기체 공급부(30)는 멸균 챔버(10) 내부로 비활성 기체를 공급한다. 비활성 기체 공급부(30)는 비활성 기체를 저장하는 비활성 기체 저장부(31) 및 비활성 기체 저장부(31)와 멸균 챔버(10)를 연결하여 비활성 기체 저장부(31)에 저장된 비활성 기체를 멸균 챔버(10) 내부로 공급하도록 하는 비활성 기체 주입 라인(32)을 포함하여 구성될 수 있다. 또한, 비활성 기체 주입 라인(32)의 중간에 제 2 배관(54)이 분기될 수 있는데, 제 2 배관(54)을 통하여 과산화수소 기체 발생부(50)에 비활성 기체를 공급하여 기화된 과산화수소를 생성할 수가 있다. 이에 관해서는 도 2를 참조로 후술하기로 한다.
플라즈마 발생부(40)는 멸균 챔버(10) 내부에 플라즈마가 발생될 수 있도록 초고주파를 발진시켜주는 장치이다. 보다 자세히는, 멸균 챔버(10) 내부에 비활성 기체가 주입된 상태에서 플라즈마 발생부(40)에서 발진되는 초고주파의 에너지로 비활성 기체의 플라즈마를 생성할 수 있다. 본 발명에서는 초고주파를 발진시키기 위하여 마그네트론이 이용되나, 반드시 여기에 국한되는 것은 아니다.
과산화수소 기체 발생부(50)는 액체 상태의 과산화수소로부터 멸균 챔버(10) 내부로 주입되는 과산화수소 기체를 발생시키는 장치이다. 본 발명에 따른 과산화수소 기체 발생부(50)는 비활성 기체의 압력을 이용하여 액체 상태의 과산화수소를 기화시켜 과산화수소 기체를 생성한다.
과산화수소 기체 발생부(50)를 도 2를 참조로 보다 자세히 설명하면, 도 2에 도시되어 있는 것과 같이 과산화수소 기체 발생부(50)는 과산화수소 저장부(51), 제 1 배관(53), 및 제 2 배관(54)을 포함하여 구성될 수가 있다.
과산화수소 저장부(51)는 액체 상태의 과산화수소가 저장되는 공간으로 액체 상태의 과산화수소를 담는 하부 몸체(51a)와 상부를 덮는 덮개(51b)로 형성될 수 있다. 상부의 덮개(51b)는 개폐가 가능하므로, 과산화수소 저장부(51) 내에 과산화수소 액체가 소진되었을 때 덮개(51b)를 열어 충진이 가능하다.
도시되어 있지 않지만, 내부에는 과산화수소의 액위를 감지하여 소정의 위치에 도달하면 사용자에게 과산화수소 액체의 충진 시기를 알릴 수 있는 센서가 장착될 수가 있다.
제 1 배관(53)은 일단은 과산화수소 저장부(51)에 담긴 액체 상태의 과산화수소에 잠기도록 형성되고 타단은 제 2 배관(54)에 연결된다.
제 2 배관(54)은 일단으로부터 비활성 기체를 공급받아 배관(54)을 통해 비활성 기체가 유동하여 흐르도록 하고, 비활성 기체의 유동에 의한 압력으로 과산화수소 저장부(51)에 저장된 액체 상태의 과산화수소를 제 1 배관(53)을 통해 제 2 배관(54)으로 끌어올리게 된다. 이때, 제 2 배관(54)의 타단에 형성된 노즐(55)을 통해 기화된 과산화수소를 분사시킨다.
제 2 배관(54)의 일단을 통해 소정 압력의 비활성 기체를 공급하게 되면, 비활성 기체의 속력이 빨라짐에 따라서 제 2 배관(54) 내부의 압력이 과산화수소 저장부(51)의 내부 압력보다 낮아지게 된다. 따라서, 과산화수소 저장부(51) 내부의 압력과 제 2 배관(54) 내부의 압력 차이에 의해, 제 1 배관(53)을 통해 과산화수소 저장부(51) 내부의 액체 상태의 과산화수소가 제 2 배관(54)을 향하여 올라가게 된다. 제 2 배관(54)으로 올라온 과산화수소는 비활성 기체의 압력으로 힘을 받고 노즐(55)을 통과함으로써 기화된 상태로 분사하게 된다. 따라서, 도 2에 도시되어 있는 것과 같이 과산화수소 저장부(51) 내부의 상부 공간을 향하여 분사되는 기화된 과산화수소 기체는 내부의 압력에 의해 상부의 유출구(52)를 통해 외부로 유출되게 된다. 이때, 유출구(52)를 통해 과산화수소 기체와 비활성 기체가 함께 분사된다.
이때, 도 1에 도시되어 있는 것처럼, 제 2 배관(54)은 비활성 기체 주입라인(32)에 분기하도록 형성될 수 있다. 따라서, 본 발명은 과산화수소 기체를 발생시키기 위한 별도의 비활성 기체 저장부를 구비할 필요가 없어서 장비의 구조를 간단하게 할 수가 있다.
또한, 과산화수소 저장부(51)의 유출구(52)는 과산화수소 기체 주입라인(60)에 연결되어 멸균 챔버(10) 내부로 과산화수소 기체를 공급하게 된다.
배기라인(70)은 멸균 공정이 완료된 후, 멸균 챔버(10) 내부의 잔류물을 제거하기 위한 라인이다. 일반적으로 플라즈마를 이용한 멸균방법의 경우 플라즈마에 의해 유해물질이 제거되기 때문에 별도의 유독성 문제가 발생되지 않으나, 배기라인(70)을 둠으로써 보다 확실하게 유해 물질을 제거시킬 수가 있다.
다음으로, 상술한 플라즈마 멸균기를 이용하여 본 발명의 따른 멸균 공정을 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 멸균 공정을 나타내는 순서도이다.
도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 멸균기를 이용한 멸균공정은 진공 펌프(20)가 멸균 챔버(10) 내부를 100torr 이상의 상압(준상압)으로 형성하는 진공 형성단계(S1), 비활성 기체 공급부(30)가 멸균 챔버(10) 내부로 비활성 기체를 주입하는 비활성 기체 주입단계(S2), 플라즈마 발생부(40)가 멸균 챔버(10) 내부에 비활성 기체의 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생단계(S3), 과산화수소 기체 발생부(50)가 플라즈마가 발생된 멸균 챔버(10) 내부로 과산화수소 기체를 주입함으로써 OH 라디컬을 발생시키는 라디컬 발생단계(S4), OH 라디컬에 의해 멸균 대상이 멸균되는 멸균단계(S5), 멸균이 완료되면 멸균 챔버(10) 내부의 가스를 배기시키는 배기단계(S6)로 이루어질 수 있다.
진공 형성단계(S1)에서는 진공 펌프(20)가 멸균 챔버(10) 내부의 공기를 배출시켜 플라즈마의 생성이 원할하도록 멸균 챔버(10) 내부를 약한 진공의 조건으로 만든다. 이때, 멸균 챔버(10) 내부의 진공도는 높은 수준의 진공을 필요로 하지 않으며 100 torr 이상의 상압(준상압)으로 마련한다.
다음으로 비활성 기체 공급부(30)에 의해 멸균 챔버(10) 내부에 비활성 기체를 주입하는 비활성 기체 주입단계(S2)가 마련된다. 비활성 기체 주입단계(S2)에서는 상압(준상압) 상태에서도 플라즈마가 원활히 생성될 수 있는 비활성 기체를 주입하게 되는데, 주입되는 비활성 기체는 헬륨, 아르곤 또는 헬륨과 아르곤의 혼합기체로 마련될 수 있으나, 반드시 여기에 국한되는 것은 아니다.
플라즈마 발생단계(S3)에서는 플라즈마 발생부(40)가 비활성 기체가 주입된 상압(준상압) 상태의 멸균 챔버(10) 내부로 초고주파를 발생시켜 비활성 기체에 에너지를 가하게 된다. 이때, 초고주파는 마그네트론을 이용하여 발생시킬 수가 있다. 멸균 챔버(10) 내부가 상압(준상압) 상태의 비활성 기체 분위기이므로 초고주파를 발생시키면 전기적 에너지가 비활성 기체에 가해짐으로써 플라즈마 상태가 활성화 된다.
이어, 물리적인 운동 에너지를 지니고 있는 비활성 기체 플라즈마가 활성화된 멸균 챔버(10) 내부로, 과산화수소 기체 발생부(50)가 과산화수소 기체를 멸균 챔버(10) 내부로 공급하여 기 발생된 플라즈마에 의해 과산화수소 기체로부터 OH 라디컬이 발생되는 라디컬 발생단계(S4)가 진행된다. 이때, 과산화수소 기체는 도 2를 참조로 설명한 것과 같이 비활성 기체의 유동시 발생하는 압력을 이용하여 과산화수소를 기화시켜 과산화수소 기체를 발생시킬 수가 있다.
이때, 과산화수소 기체 발생부(50)로부터 멸균 챔버(10) 내부로 과산화수소 기체 뿐만 아니라 비활성 기체도 공급될 수가 있다. 따라서, 본 발명에서 전체 멸균 공정 시에 필요한 비활성 기체를 비활성 기체 주입단계(S2)에서 70% 공급하도록 하고, 나머지 30%는 과산화수소 기체 발생부(50)를 이용한 라디컬 발생단계(S4)에서 공급될 수 있도록 한다.
멸균단계(S5)에서는 멸균 챔버(10) 내부에서 발생된 OH 라디컬에 의해 멸균대상이 멸균되는 단계이다. 멸균 챔버(10) 내부에서 OH 라디컬에 의해 멸균 대상이 멸균된 이후에는 멸균 챔버(10) 내부의 잔류물을 배기시키는 배기단계(S6)가 진행됨으로써 본 발명의 플라즈마 멸균기의 멸균 공정이 종료된다.
한편, 공정 중 주입되는 비활성 기체와 과산화수소 기체를 멸균 챔버(10) 내부에서 유동시킬 수도 있는데, 이럴 경우에는 멸균 대상과 OH 라디컬의 접촉을 향상시킬 수 있어 보다 좋은 멸균 성능을 구현할 수 있게 된다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허 청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
10: 멸균 챔버 20: 진공 펌프
30: 비활성 기체 공급부 31: 비활성 기체 저장부
32: 비활성 기체 주입라인 40: 플라즈마 발생부
50: 과산화수소 기체 발생부 51: 과산화수소 저장부
52: 유출구 53: 제 1 배관
54: 제 2 배관 55: 노즐
60: 과산화수소 기체 주입라인 70: 배기라인

Claims (6)

  1. 멸균 공간을 제공하는 멸균 챔버;
    상기 멸균 챔버 내부를 상압 또는 준상압 상태의 약한 진공을 형성하는 진공펌프;
    상기 멸균 챔버 내부로 비활성 기체를 공급하는 비활성 기체 공급부;
    상기 멸균 챔버 내부에 초고주파를 인가하여 비활성 기체 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생부; 및
    상기 비활성 기체의 압력으로 액체 상태의 과산화수소를 기화시켜 상기 멸균 챔버 내부로 과산화수소 기체를 공급하는 과산화수소 기체 발생부를 포함하는 플라즈마 멸균기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 과산화수소 기체 발생부는
    상기 액체 상태의 과산화수소가 담긴 과산화수소 저장부;
    상기 과산화수소 저장부에 담긴 상기 액체 상태의 과산화수소에 일단이 잠기며 액체 상태의 과산화수소를 이동시키는 경로를 제공하는 제 1 배관; 및
    일단으로부터 상기 비활성 기체를 공급받고 상기 제 1 배관의 타단이 배관의 중간에 연결되어 상기 비활성 기체의 흐름에 의한 압력과 상기 과산화수소 저장부 내부의 압력 차이로 상기 과산화수소 저장부에 담긴 액체 상태의 과산화수소를 상기 제 1 배관을 통해 이동시키고 타단에 형성된 노즐을 통해 기화된 과산화수소를 분사하는 제 2 배관을 포함하는 플라즈마 멸균기.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 비활성 기체 공급부는
    상기 비활성 기체를 저장하는 비활성 기체 저장부; 및
    상기 비활성 기체 저장부와 상기 멸균 챔버를 연결하는 비활성 기체 주입 라인을 포함하고,
    상기 제 2 배관은 상기 비활성 기체 주입 라인에서 분기되어 형성되는 플라즈마 멸균기.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 비활성 기체는 헬륨, 아르곤, 또는 상기 헬륨과 상기 아르곤의 혼합 기체인 플라즈마 멸균기.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 플라즈마 발생부는 상기 멸균 챔버 내부에 비활성 기체 플라즈마를 발생시켜 과산화수소 기체의 분해를 위한 물리적 운동에너지를 확보하고,
    상기 과산화수소 기체 발생부는 상기 플라즈마 발생부에 의해 상기 비활성 기체 플라즈마가 발생된 상기 멸균 챔버 내부로 상기 과산화수소 기체를 공급하여 상기 상압 또는 준상압 상태에서 OH 라디컬을 발생시켜 멸균 대상을 멸균시키는 플라즈마 멸균 장치.
  6. 비활성 기체를 이용하여 플라즈마를 발생시킨 상태에서 과산화수소 기체를 공급하여 OH 라디컬을 발생시켜 멸균을 수행하는 플라즈마 멸균기의 과산화수소 기체 발생장치에 있어서,
    상기 액체 상태의 과산화수소가 담긴 과산화수소 저장부;
    상기 과산화수소 저장부에 담긴 상기 액체 상태의 과산화수소에 일단이 잠기며 액체 상태의 과산화수소를 이동시키는 경로를 제공하는 제 1 배관; 및
    일단으로부터 상기 비활성 기체를 공급받고 상기 제 1 배관의 타단이 배관의 중간에 연결되어 상기 비활성 기체의 흐름에 의한 압력과 상기 과산화수소 저장부 내부의 압력 차이로 상기 과산화수소 저장부에 담긴 액체 상태의 과산화수소를 상기 제 1 배관을 통해 이동시키고 타단에 형성된 노즐을 통해 기화된 과산화수소를 분사하는 제 2 배관을 포함하는 플라즈마 멸균기의 과산화수소 기체 발생장치.
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