KR20140049347A

KR20140049347A - 멸균방법

Info

Publication number: KR20140049347A
Application number: KR1020120115492A
Authority: KR
Inventors: 우병훈; 황종윤
Original assignee: 우병훈
Priority date: 2012-10-17
Filing date: 2012-10-17
Publication date: 2014-04-25

Abstract

본 발명은 멸균방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피멸균물을 챔버 내에 수용하여 멸균하는 멸균방법에 있어서, 상기 챔버 내부를 감압하는 감압공정; 과산화수소수를 가열하여 물만 기화시키면서 원하는 농도로 과산화수소수를 농축시키는 농축공정; 상기 농축공정에서 기화된 수증기 중 적어도 일부를 챔버 내부로 공급하는 수증기 공급공정; 상기 챔버 내의 수증기를 배기하는 수증기 배기공정; 상기 농축공정에서 농축된 과산화수소수를 가열하여 기화시켜 멸균가스를 생성하고, 생성된 멸균가스를 상기 챔버 내부로 공급하여 챔버 내의 피멸균물을 멸균시키는 멸균공정; 및 상기 챔버 내의 멸균가스를 배기하는 멸균가스 배기공정을 포함하는 멸균방법에 대한 것이다.

Description

멸균방법{Sterilizing method}

본 발명은 멸균방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 저농도의 멸균수용액을 고농도의 멸균수용액으로 농축하고 농축된 과산화수소수를 증발시켜 멸균에 이용함으로서 멸균에 드는 시간을 단축시키고 멸균효율을 극대화하는 멸균방법에 대한 것이다.

일반적으로, 병원 등에서 환자들을 대상으로 사용되는 의료기구는 1회 사용 후 반드시 멸균시켜 재사용하는 절차를 가져야 한다. 이를 위해 의료기구를 멸균시키기 위한 장치가 개발되었고, 계속해서 개량 발전되고 있다.

이러한 의료기구의 멸균처리에는 다양한 멸균수용액을 증발시켜 멸균에 사용하는 것이 사용되고 있으며, 구체적으로는 진공챔버 내에 과산화수소(H₂O₂)와 RF 대역의 플라즈마를 이용하여 멸균할 수 있는 기술이 개발되었다. 과산화수소 플라즈마 멸균 장치는 가습에 의한 습도조절 과정 대신, 전기적 방전의 매개체로서 과산화수소(농도 약 50% 이상, 과산화수소+물)를 증발된 기체로 주입하게 된다. 주입된 과산화수소 증기만으로도 물과 반응기 산소로 분리되는 강한 산화작용이 발생하므로 미생물에 대한 멸균 강도는 충분해 진다. RF 대역의 주파수로 기체방전에 의한 플라즈마를 진공 챔버 내에서 발생시키면서, 잔존하는 과산화수소와 물, 산소 등이 다양한 라디칼(radical) 생성을 유도하며 마지막으로 생존하는 미생물을 파괴하며, 잔존하는 멸균제를 완전히 제거한다. 이러한 방법은 독성의 멸균제가 진공 챔버와 멸균 대상물(이하, 피멸균물이라 칭함)에 남지 않아 안전하며, 매우 신속하고 신뢰성 있는 멸균이 가능한 장점이 있다.

이러한 과산화수소수를 이용하는 멸균방법은 대부분 농도가 50% 정도의 저농도의 과산화수소수를 이용하여 멸균작업을 수행하게 된다. 그러나, 저농도의 멸균용액을 이용하여 멸균작업을 수행하는 경우에는 멸균적이 떨어져서 1회의 멸균작업만으로는 완전한 멸균이 어렵게 때문에 복수회 멸균공정을 수행하고 있게 된다. 이와 같이 수회 멸균공정을 수행함에 따라서 멸균에 드는 시간이 늘어나고 바람직하지 못하다는 단점이 있다.

한편, 물의 비중이 과산화수소에 비해서 적은 고농도의 과산화수소수를 증발시켜 진공챔버 내에 공급하는 것도 고려할 수 있다. 고농도의 과산화수소수를 채택하는 경우에는 멸균을 위하여 수회 멸균공정을 하지 않아도 되어 전체적인 멸균시간이 감소된다는 장점이 있게 된다. 그러나, 고농도의 과산화수소수는 취급과정에서 폭발의 염려가 있을 뿐만 아니라, 운반하는 사람의 부주의로 운반과정에서 손 또는 신체에 묻는 경우에 심각한 신체적인 피해를 불러일으킬 염려가 있어서 실제적으로 대부분의 멸균방법에서는 사용되고 있지 않다.

1. 일본공개특허 제2006-204889호

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 저농도의 멸균수용액을 고농도의 멸균수용액으로 농축하고, 농축된 고농도의 멸균수용액을 증발시켜 멸균을 실시함으로서 전체적인 멸균시간을 감축하고 멸균효율을 극대화하는 멸균방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 피멸균물을 챔버 내에 수용하여 멸균하는 멸균방법에 있어서,

상기 챔버 내부를 감압하는 감압공정;

과산화수소수를 가열하여 물만 기화시키면서 원하는 농도로 과산화수소수를 농축시키는 농축공정;

상기 농축공정에서 기화된 수증기 중 적어도 일부를 챔버 내부로 공급하는 수증기 공급공정;

상기 챔버 내의 수증기를 배기하는 수증기 배기공정;

상기 농축공정에서 농축된 과산화수소수를 가열하여 기화시켜 멸균가스를 생성하고, 생성된 멸균가스를 상기 챔버 내부로 공급하여 챔버 내의 피멸균물을 멸균시키는 멸균공정; 및

상기 챔버 내의 멸균가스를 배기하는 멸균가스 배기공정을 포함한다.

상기 멸균방법에서,

상기 농축공정에서 상기 과산화수소수를 가열하는 온도보다, 상기 멸균공정에서 과산화수소수를 가열하는 온도가 더 높을 수 있다.

상기 멸균방법의 상기 농축공정에서,

상기 과산화수소수는 물의 끓는점과, 과산화수소의 끓는점 사이의 온도에서 가열될 수 있다.

상기 멸균방법의 상기 멸균공정에서,

상기 과산화수소수는 과산화수소의 끓는점보다 높은 온도에서 가열될 수 있다.

상기 멸균방법에서, 상기 멸균공정에는,

챔버 내에 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생공정이 더 포함될 수 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 멸균방법은, 피멸균물을 챔버 내에 수용하여 멸균하는 멸균방법에 있어서,

상기 챔버 내부를 감압하는 감압공정;

멸균수용액을 가열하여 물만 기화시키면서 원하는 농도로 멸균수용액을 농축시키는 농축공정;

상기 챔버 내의 수증기를 배기하는 수증기 배기공정;

상기 농축공정에서 농축된 멸균수용액을 가열하여 기화시켜 멸균가스를 생성하고, 생성된 멸균가스를 상기 챔버 내부로 공급하여 챔버 내의 피멸균물을 멸균시키는 멸균공정; 및

상기 챔버 내부를 감압하는 감압공정;

멸균용액과 물로 이루어진 멸균수용액을 물의 끓는점과 멸균용액의 끓는점 사이의 온도에서 가열하여 원하는 농도로 멸균수용액을 농축시키는 농축공정;

상기 챔버 내의 수증기를 배기하는 수증기 배기공정;

상기 농축공정에서 농축된 멸균용액을 가열하여 기화시켜 멸균가스를 생성하고, 생성된 멸균가스를 상기 챔버 내부로 공급하여 챔버 내의 피멸균물을 멸균시키는 멸균공정; 및

본 발명에 따른 멸균방법은, 운반된 저농도의 멸균수용액을 고농도의 멸균수용액으로 농축하고, 농축된 고농도의 멸균수용액을 증발시켜 생성한 멸균가스를 피멸균물의 멸균에 이용함으로서 전체적인 멸균시간을 단축시키고 멸균효율을 극대화시키는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 멸균방법을 위한 장치의 구조도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 멸균방법의 순서도.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 멸균방법의 순서도.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 멸균방법을 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 멸균방법은 도 1에 도시된 멸균장치로 구현되는데, 이러한 멸균장치는, 챔버(10), 과산화수소수 공급장치(20), 과산화수소수 증발기(30), 인젝션 밸브(40), 플라즈마 발생기(50), 트로틀밸브, 진공펌프(70), 이물질 제거 필터 및 벤트라인(90)을 포함한다.

상기 챔버(10)는, 피멸균물 (구체적으로는 '의료용 멸균 대상물')을 수납하여 진공 상태에서 멸균이 수행되는 멸균공간을 제공하는 것이다. 챔버(10)는 다면체 형태로 이루어질 수 있으며 그 내부에 상기 멸균공간이 마련되되 일측면에는 피멸균물을 넣거나 뺄수 있는 도어가 마련될 수 있다.

이러한 챔버(10)에는, 내부의 상대습도, 온도 및 압력을 각각 감지하는 습도센서, 온도센서 및 압력센서 등이 마련될 수 있다. 또한, 챔버(10)에는 습도센서, 온도센서 및 압력센서에서 감지된 신호에 따라서 챔버(10) 내의 습도, 온도 및 압력을 조절하기 위한 습도조절밸브, 온도조절밸브 및 압력조절밸브 등이 마련될 수 있다.

상기 과산화수소수 공급장치(20)는, 과산화수소와 물이 혼합되어 이루어지는 과산화수소수를 챔버(10) 내에 공급할 수 있도록 하는 것이다. 이러한 과산화수소수 공급장치(20)는, 과산화수소수가 담길 수 있는 용기 또는 과산화수소수가 내부에 포장된 포장체가 끼워질 수 있는 수용부가 마련되어 있으며 그 용기 또는 수용부로부터 상기 챔버(10)를 향하여 과산화수소수를 공급하도록 구성된다. 다만, 구체적인 형상 및 구조에 대해서는 종래기술과 동일하므로 설명은 생략한다.

상기 과산화수소수 증발기(30)는, 과산화수소수 공급장치(20)로부터 공급된 과산화수소수를 가열하여 증발시켜 가스상태로 만드는 것으로서, 히터 등에 주변에 설치되며 내부의 과산화수소수를 가열하게 된다. 이러한 과산화수소수 증발기(30)는 사용자가 설정한 온도까지 상기 과산화수소수를 가열시켜 적정한 온도에서 증발되도록 구성된다.

상기 인젝션 밸브(40)는, 과산화수소수 증발기(30)로부터 증발된 수증기 또는 기체상태의 과산화수소수를 챔버(10) 내로 공급하거나 차단하기 위한 것으로서, 인젝션 밸브(40)가 닫힌 경우에는 과산화수소수 증발기(30)로부터 수증기 또는 기체상태의 과산화수소수가 챔버(10) 내로 유입되는 것을 방지하고, 인젝션 밸브(40)가 열린 경우에는 수증기 또는 증발된 과산화수소수가 챔버(10) 내부로 공급되는 것을 허용한다.

이러한 인젝션 밸브(40)는 소정의 제어수단에 의하여 개폐가 조절될 수 있다.

상기 플라즈마 발생기(50)는, 챔버(10)와 인젝션 밸브(40)의 사이에 배치되고 10~100kHz 범위의 교류주파수로 5~10kV의 전압을 발생하는 트랜스에 의해 구동되며, 산소와 같은 별도의 가스유입 없이 챔버(10) 내부에서 저온 대기압 플라즈마를 발생시킨다. 플라즈마 발생기(50)에 의해서 대기중에 포함된 산소가 플라즈마화되면서 OH radical을 발생시킨다. 멸균인자로 OH Radical을 사용하는 이유는 산화 반응성을 극대화 하기 위함이다. 챔버(10) 내부의 OH Radical은 피멸균물에 붙어있는 병원균과 아포를 사멸시킴으로써 멸균된다.

상기 플라즈마 발생기(50)의 전극구조는 통상적으로 사용되는 고전압이 인가되는 전원전극과 접지전극 사이에 구비된 절연체를 포함하고, 접지전극은 그물망 형태의 메쉬전극을 사용할 수 있다.

상기 플라즈마 발생기(50)의 전극구조가 평면형태로, 멸균챔버(10)내 일측면에 형성할 수 있기 때문에, 공간적으로 소형 장치를 구현하는데 적합하다. 대기압 플라즈마는 접지전극과 절연체 사이에서 강한 전기장에 의해 발생되고, 산소분자가 이온화되면서 다량의 활성종들이 형성되고, 멸균챔버(10)의 공간으로 확산될 수 있다.

상기 트로틀밸브(60)는, 챔버(10)와 진공펌프(70)의 사이에 배치되어 진공펌프(70)의 동작중에서는 개방되고, 진공펌프(70)의 동작이 멈춘 후에는 폐쇄되도록 구성된다. 이러한 트로틀밸브(60)는 제어부(미도시)에 의하여 동작될 수 있다.

상기 진공펌프(70)는, 챔버(10) 내의 공기를 외부로 배기하여 챔버(10) 내부를 진공 감압상태로 유지하거나 챔버(10) 내부의 공기를 순환시키는 것으로서, 통상적으로 멸균장치에 사용되는 것이 사용된다.

상기 이물질 제거 필터(80)는, 멸균이 완료된 후에 과산화수소수 내에 포함된 이물질을 제거하기 위한 것으로서, 다공성의 필터가 사용될 수 있으며 구체적인 소재 등에 대해서는 통상적인 구성이므로 구체적인 설명을 생략한다.

상기 벤트라인(90)은, 챔버(10)와 연결되어 있으며 진공펌프(70)에 의하여 감압된 챔버(10) 내부에 외부의 공기를 유입하여 대기압으로 만들어주는 기능을 수행하는 것이다. 3즉, 진공상태의 챔버(10)에서 멸균작업이 완료된 후에 챔버(10)의 도어를 오픈시키기 위해서는 챔버(10) 내부를 대기압으로 만들어주는 것이 유리한데, 이와 같이 도어의 오픈을 용이하게 하게 위하여 벤트라인(90)이 마련되어 있게 된다.

위에서 설명한 멸균장치를 이용한 멸균방법을 설명하겠다.

먼저, 피멸균물을 챔버(10) 내부에 수용한 후에 챔버(10) 내부를 감압한다. (감압공정; S100). 구체적으로는 인젝션 밸브(40)를 닫고 트로틀 밸브(60)를 개방시킨 후에 진공펌프(70)를 동작시켜 챔버(10) 내부를 필요한 압력이 될때까지 감압한다. 필요한 압력까지 감압된 후에는, 트로틀 밸브(60)를 닫고 상기 챔버(10) 내부가 진공상태를 유지하도록 한다.

이후에, 과산화수소수 공급장치(20)로부터 과산화수소수를 과산화수소수 증발기(30) 내부로 유입시킨 후에 과산화수소수를 가열하여 물만 기화시키면서 원하는 농도로 과산화수소수를 농축시킨다. (농축공정; S 200) 구체적으로는 물과 과산화수소로 이루어진 과산화수소수에서 물만 증발시켜 과산화수소수를 농축시키기 위하여, 물의 끓는점(100℃) 및 과산화수소의 끓는점(151℃) 사이의 범위에서 과산화수소수를 가열하여 과산화수소수 증발기(30) 내부에서 물이 증발될 수 있도록 한다.

이후에, 상기 농축공정에서 기화된 수증기 중 적어도 일부를 챔버(10) 내부로 공급한다.(수증기 공급공정; S300) 구체적으로는 닫혀진 인젝선 밸브(40)를 열어 진공의 챔버(10) 내부로 상기 수증기 중 적어도 일부가 공급될 수 있도록 한다. 충분하게 수증기가 챔버(10) 내에 공급된 후에는 인젝션 밸브(40)를 닫는다.

이후에, 상기 챔버(10) 내의 수증기를 배기한다.(수증기 배기공정;S400) 구체적으로는 밴트라인으로부터 공기를 챔버(10) 내부로 유입시켜 챔버(10) 내부를 대기압 상태로 만든 후에, 트로틀 밸브(60)를 열고 진공펌프(70)를 작동시켜 챔버(10) 내의 수증기를 외부로 배출시킨다. 수증기가 충분히 제거된 후에는 진공펌프(70)를 계속 동작시키면서 챔버(10) 내부를 감압시켜 진공상태로 만들어준다.

이후에, 농축과정에서 농축된 과산화수소수를 가열하여 기화시켜 멸균가스를 생성하고 생성된 멸균가스를 상기 챔버(10) 내부로 공급하여 챔버(10) 내의 피멸균물을 멸균시킨다. (멸균공정; S500) 구체적으로는 과산화수소수 증발기(30)에서 상기 농축된 과산화수소수를 과산화수소의 끓는점(114℃) 이상으로 가열시킴으로서 고농도의 과산화수소수를 증발시켜 멸균가스를 생성시킨다. 이후에, 인젝션 밸브(40)를 열어 멸균가스(고농도의 과산화수소수가 증발된 가스)가 상기 챔버(10) 내부로 공급될 수 있도록 한다. 이와 같이 챔버(10) 내에 공급된 멸균가스는 챔버(10) 내부의 피멸균물을 멸균시키게 된다.

충분하게 멸균이 이루어진 후에는, 챔버(10) 내의 멸균가스를 배기시킨다.(멸균가스 배기공정; S600). 구체적으로는 벤트라인(90)을 통하여 챔버(10) 내에 공기를 주입시켜 챔버(10) 내부가 대기압이 되도록 한후에, 트로틀 밸브(60)를 열고 진공펌프(70)를 동작시켜 챔버(10) 내부의 멸균가스를 배기시킨다. 이때 상기 멸균가스는 이물질제거 필터(80)를 지나면서 불순물이 제거될 수 있다.

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 멸균방법은 다음과 같은 장점을 가진다.

본 발명의 일 실시예에서는, 멸균가스의 멸균공정 이전에 멸균공정과 유사한 공정을 수행하되 다만, 과산화수소수를 통상적인 과산화수소수 가열온도보다 낮은 온도(예를 들면 물만 끓을 수 있는 온도)에서 가열하여 과산화수소수를 농축시키고, 이후에 농축된 과산화수소수를 증발시켜 멸균을 수행함으로서 새로운 장치의 부가 없이 기존의 장치를 이용하여 고농축의 과산화수소수로 멸균작업을 수행할 수 있다는 장점이 있다.

저온플라즈마 멸균장치에서 멸균력은 과산화수소의 농도에 큰 영향을 미치는데, 예컨데, 과산화수소의 반응성은 농도가 10% 올라갈때 마다 2배씩 상승하게 된다. 이와 같이 기존의 장비를 그대로 이용하면서도 손쉽게 과산화수소수를 고농도로 농축시킴으로서 반응성을 크게 향상시키므로 기존과 같이 저농도의 과산화수소수를 이용하여 수회 멸균을 수행하는 방식에 비해서 본 실시예에서는 1회 또는 종래보다 적은 수의 멸균공정으로 멸균작업을 완료시킬 수 있다는 장점이 있다.

또한, 별도의 농축기나 고농도의 과산화수소수를 과산화수소수 공급장치에 공급함이 없이 기존의 저농도의 과산화수소수를 이용하여 멸균작업을 손쉽게 수행할 수 있다는 장점이 있다. 즉, 고농도의 과산화수소수를 운반하는 것은 취급상 매우 위험하다. 그러나, 본 발명에서는 별도의 추가구성없이 내부 공정에서 저농도의 과산화수소수를 고농도의 과산화수소수로 농축시키고, 그 이후에 고농도의 과산화수소수를 이용하여 멸균작업을 수행하고 있어 취급이 간편하고, 설치비용이 크게 상승하는 일이 없게 된다는 장점이 있다.

이상에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 멸균방법을 설명하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 다음과 같이 변형되는 것도 가능하다.

상술한 실시예에서는, 별도로 플라즈마 발생기를 사용하는 것을 예시하고 있지 않으나, 멸균과정에서 챔버 내부의 물, 과산화수소 등이 플라즈마화되면서 OH 라디칼과 같은 강한 산화력을 가지는 멸균가스가 생성될 수 있도록 하는 플라즈마 발생공정이 추가될 수 있다. 이러한 플라즈마 발생기는 챔버로 이동하는 가스형태의 과산화수소수 증기의 이동통로 상에 마련되어 있어서 보다 효과적으로 플라즈마화가 되는 것이 가능해질 수 있다.

또한, 상술한 실시예에서는 멸균을 위한 멸균수용액으로서 과산화수소수를 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 멸균성능이 우수한 것이라면 무엇이나 사용가능하다. 예를 들어 프로필렌옥사이드, 포름알데히드, 에틸렌옥사이드 등이 사용될 수 있다.

이와 같이 멸균수용액을 이용하는 경우에는, 챔버 내부를 감압하는 감압공정(S100'); 멸균수용액을 가열하여 물만 기화시키면서 원하는 농도로 멸균수용액을 농축시키는 농축공정(S200'); 상기 농축공정에서 기화된 수증기 중 적어도 일부를 챔버 내부로 공급하는 수증기 공급공정(S300'); 상기 챔버 내의 수증기를 배기하는 수증기 배기공정(S400'); 상기 농축공정에서 농축된 멸균수용액을 가열하여 기화시켜 멸균가스를 생성하고, 생성된 멸균가스를 상기 챔버 내부로 공급하여 챔버 내의 피멸균물을 멸균시키는 멸균공정(S500'); 및 상기 챔버 내의 멸균가스를 배기하는 멸균가스 배기공정(S600')을 포함할 수 있다.

또는 챔버 내부를 감압하는 감압공정; 멸균용액과 물로 이루어진 멸균수용액을 물의 끊는점과 멸균용액의 끊는점 사이의 온도에서 가열하여 원하는 농도로 멸균수용액을 농축시키는 농축공정; 상기 농축공정에서 기화된 수증기 중 적어도 일부를 챔버 내부로 공급하는 수증기 공급공정; 상기 챔버 내의 수증기를 배기하는 수증기 배기공정; 상기 농축공정에서 농축된 멸균용액을 가열하여 기화시켜 멸균가스를 생성하고, 생성된 멸균가스를 상기 챔버 내부로 공급하여 챔버 내의 피멸균물을 멸균시키는 멸균공정; 및 상기 챔버 내의 멸균가스를 배기하는 멸균가스 배기공정을 포함할 수 있다.

이러한 본 발명에 따른 멸균방법은 이에 한정되는 것은 아니며 특허청구범위에 의하여 합리적으로 해석되는 범위라면 확대되어 해석될 수 있음은 물론이다.

10...챔버 20...과산화수소수 공급장치
30...과산화수소수 증발기 40...인젝션 밸브
50...플라즈마 발생기 60...트로틀 밸브
70...진공펌프 80...이물질제거 필터
90...벤트라인

Claims

피멸균물을 챔버 내에 수용하여 멸균하는 멸균방법에 있어서,
상기 챔버 내부를 감압하는 감압공정;
과산화수소수를 가열하여 물만 기화시키면서 원하는 농도로 과산화수소수를 농축시키는 농축공정;
상기 농축공정에서 기화된 수증기 중 적어도 일부를 챔버 내부로 공급하는 수증기 공급공정;
상기 챔버 내의 수증기를 배기하는 수증기 배기공정;
상기 농축공정에서 농축된 과산화수소수를 가열하여 기화시켜 멸균가스를 생성하고, 생성된 멸균가스를 상기 챔버 내부로 공급하여 챔버 내의 피멸균물을 멸균시키는 멸균공정; 및
상기 챔버 내의 멸균가스를 배기하는 멸균가스 배기공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 멸균방법.
제1항에 있어서,
상기 농축공정에서 상기 과산화수소수를 가열하는 온도보다, 상기 멸균공정에서 과산화수소수를 가열하는 온도가 더 높은 것을 특징으로 하는 멸균방법.
제2항에 있어서,
상기 농축공정에서,
상기 과산화수소수는 물의 끓는점과, 과산화수소의 끓는점 사이의 온도에서 가열되는 것을 특징으로 하는 멸균방법.
제2항에 있어서,
상기 멸균공정에서,
상기 과산화수소수는 과산화수소의 끓는점보다 높은 온도에서 가열되는 것을 특징으로 하는 멸균방법.
제1항에 있어서,
상기 멸균공정에는,
챔버 내에 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생공정이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 멸균방법.
피멸균물을 챔버 내에 수용하여 멸균하는 멸균방법에 있어서,
상기 챔버 내부를 감압하는 감압공정;
멸균수용액을 가열하여 물만 기화시키면서 원하는 농도로 멸균수용액을 농축시키는 농축공정;
상기 농축공정에서 기화된 수증기 중 적어도 일부를 챔버 내부로 공급하는 수증기 공급공정;
상기 챔버 내의 수증기를 배기하는 수증기 배기공정;
상기 농축공정에서 농축된 멸균수용액을 가열하여 기화시켜 멸균가스를 생성하고, 생성된 멸균가스를 상기 챔버 내부로 공급하여 챔버 내의 피멸균물을 멸균시키는 멸균공정; 및
상기 챔버 내의 멸균가스를 배기하는 멸균가스 배기공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 멸균방법.
피멸균물을 챔버 내에 수용하여 멸균하는 멸균방법에 있어서,
상기 챔버 내부를 감압하는 감압공정;
멸균용액과 물로 이루어진 멸균수용액을 물의 끓는점과 멸균용액의 끓는점 사이의 온도에서 가열하여 원하는 농도로 멸균수용액을 농축시키는 농축공정;
상기 농축공정에서 기화된 수증기 중 적어도 일부를 챔버 내부로 공급하는 수증기 공급공정;
상기 챔버 내의 수증기를 배기하는 수증기 배기공정;
상기 농축공정에서 농축된 멸균용액을 가열하여 기화시켜 멸균가스를 생성하고, 생성된 멸균가스를 상기 챔버 내부로 공급하여 챔버 내의 피멸균물을 멸균시키는 멸균공정; 및
상기 챔버 내의 멸균가스를 배기하는 멸균가스 배기공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 멸균방법.