KR20170041700A

KR20170041700A - End-face machining device for plate-like object

Info

Publication number: KR20170041700A
Application number: KR1020177001940A
Authority: KR
Inventors: 마스미 이부키; 코지 이치카와
Original assignee: 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
Priority date: 2014-08-06
Filing date: 2015-08-04
Publication date: 2017-04-17
Also published as: CN106660188A; KR102397586B1; CN106660188B; TWI696520B; WO2016021620A1; JP6609847B2; JP2016036867A; TW201628778A

Abstract

판유리 등의 판형상물의 끝면을 착탈 가능한 회전 숫돌의 외주면에 의해 연마하는 끝면 가공 장치로서, 회전 숫돌의 교환 작업에 시간이 걸리는 일도 없어 생산 효율의 저하를 초래하지 않는 판형상물의 끝면 가공 장치를 제공한다.
판유리(W)의 끝면을 회전 수단(21)에 착탈 가능한 회전 숫돌(20)의 외주면에 의해 가공하는 끝면 가공 장치(1)이며, 홈부(20c)가 형성되지 않은 상태의 상기 회전 숫돌(20)을 상기 회전 수단(21)에 장착한 후에 상기 회전 숫돌(20)의 상기 외주면에 둘레 방향을 따르는 환상의 상기 홈부(20c)를 형성한다.There is provided an end surface machining apparatus for grinding an end surface of a plate material such as a plate glass by means of an outer circumferential surface of a rotatable grindstone capable of being detached and detachable, do.
An end face machining apparatus 1 for machining an end face of a plate glass W by an outer circumferential face of a rotary grindstone 20 attachable to and detachable from a rotary means 21. The rotary grindstone 20 in a state in which a groove portion 20c is not formed, Is formed on the outer circumferential surface of the rotary grindstone (20) after the circular grindstone (20) is mounted on the rotary means (21).

Description

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an end-

본 발명은 착탈 가능한 회전 숫돌의 외주면에 의해서 판형상물의 끝면을 가공하는 판형상물의 끝면 가공 장치의 기술에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD The present invention relates to a technique of an end face machining apparatus for machining an end face of a plate-like object by means of an outer circumferential face of a detachable rotary grindstone.

최근, 유리나 세라믹스 등의 판형상물의 이용 분야는 점점 넓어져서, 예를 들면 플랫 패널 디스플레이나 스마트폰 등의 이용 분야에 있어서는 얇은 판유리의 수요가 급속히 신장되고 있다. [0002] In recent years, the field of use of plate materials such as glass or ceramics has been widening, and demand for thin plate glass has been rapidly increasing in the field of applications such as flat panel displays and smart phones.

이러한 판유리는, 예를 들면 오버플로우 다운드로우법에 의해서 장척 띠 형상으로 성형된다. 이 때, 성형된 판유리의 폭 방향의 양측 가장자리부에는 폭 방향의 중앙부에 비해서 두꺼운 비드가 형성된다. Such a plate glass is formed into a long belt-like shape by, for example, an overflow down-draw method. At this time, thicker beads are formed on both side edge portions in the width direction of the formed plate glass compared with the center portion in the width direction.

그리고, 장척·띠 형상의 판유리는 폭 방향으로 절단(할단)된 후, 상기 비드를 포함하는 양측 가장자리부가 절단되어서 제거됨으로써 소정 수치의 직사각형 판형상으로 절단된다. Then, the elongated strip-shaped plate glass is cut (cut) in the width direction, and then both side edges including the bead are cut off and cut into a rectangular plate shape having a predetermined numerical value.

이렇게 해서, 균일한 두께의 유리 기판에 형성된 직사각형 판형상의 판유리는, 그 후 절단된 각 끝면에 있어서, 예를 들면 특허문헌 1에 나타내는 바와 같은 외주면에 환상의 홈부가 미리 형성된 회전 숫돌에 의해서 조연마 가공이나 마무리 연마 가공 등의 끝면 가공이 실시되어 최종 제품으로서 형성된다. In this way, the rectangular plate-like plate glass formed on the glass substrate having a uniform thickness is subjected to rough polishing by a rotating grindstone in which an annular groove portion is formed in advance on the outer peripheral surface as shown in Patent Document 1, End surface processing such as machining or finish polishing is performed to form the final product.

여기서, 종래의 끝면 가공 장치(101)에 대해서 도 7을 이용하여 설명한다. Here, a conventional end face machining apparatus 101 will be described with reference to Fig.

도 7(a)는 종래의 끝면 가공 장치(101)의 전체적인 구성을 나타낸 평면도이며, 도 7(b)는 도 7(a) 중의 화살표 Y의 방향에서 본 확대 정면도이다. 7 (a) is a plan view showing the overall configuration of a conventional end face machining apparatus 101, and Fig. 7 (b) is an enlarged front view seen from the direction of an arrow Y in Fig. 7 (a).

또한, 이하의 설명에 있어서는 편의상, 도 7(a)에 있어서의 화살표 A의 방향을 끝면 가공 장치(101)의 전방으로 규정하여 기술한다. 또한, 도 7(b)에 있어서는 상하 방향을 끝면 가공 장치(101)의 상하 방향으로 규정하여 기술한다. In the following description, the direction of the arrow A in Fig. 7 (a) is defined to be the forward direction of the machining apparatus 101 for convenience. In Fig. 7 (b), the vertical direction is defined in the vertical direction of the processing device 101. Fig.

도 7(a)에 나타내는 바와 같이, 끝면 가공 장치(101)는 주로 수평 또한 전후 방향(화살표 A와의 평행 방향)으로 연장하여 배치되는 평면으로 보아 직사각 형상의 흡착 정반(110)이나, 흡착 정반(110)의 좌우 방향(흡착 정반(110)의 연장 방향과의 평면으로 볼 때 직교 방향)의 양측에서 전후 방향으로 일렬로 배치되는 복수의 회전 숫돌(120·120…) 등에 의해 구성된다. As shown in Fig. 7A, the end surface machining apparatus 101 is mainly composed of a suction surface plate 110 having a rectangular shape in a plan view extending horizontally and in the front-back direction (direction parallel to the arrow A) And a plurality of rotary grinders 120 占 쏙옙 占 which are arranged in a line in the fore-and-aft direction on both sides in the left-right direction (the direction perpendicular to the extending direction of the adsorption tablet 110)

흡착 정반(110)의 상면에는 무수한 작은 흡입 구멍(도시하지 않음)이 천공되어 있다. Numerous small suction holes (not shown) are perforated on the upper surface of the suction platen 110.

그리고, 이들 복수의 흡입 구멍을 통해서 직사각형 판형상의 판유리(W)는 흡착 정반(110)에 흡착되어서 견고하게 유지된다. Through the plurality of suction holes, the rectangular plate-like plate glass W is attracted to the suction platen 110 and is firmly held.

이 때, 판유리(W)는 수평 또한 전후 방향으로 연장됨과 아울러, 좌우 양측의 측가장자리부가 흡착 정반(110)의 외부로 돌출된 자세로써 흡착 정반(110)의 상면에 유지된다. At this time, the plate glass W is horizontally extended in the front and rear direction, and the side edge portions on both the left and right sides are held on the upper surface of the suction platen 110 in a posture protruding to the outside of the suction platen 110.

한편, 흡착 정반(110)의 좌우 양측의 각 측방에 있어서의 복수의 회전 숫돌(120·120…)은 전방측에서부터 순서대로 복수의 조연마용의 회전 숫돌(120(이하, 적당히 「조연마용 회전 숫돌(120X)」이라고 기재한다)·120…)과, 마무리 연마용의 회전 숫돌(120)(이하, 적당히 「마무리 연마용 회전 숫돌(120Y)」이라고 기재한다)에 의해서 구성된다. On the other hand, a plurality of rotating grindstones 120 占 2 占 on each side of the left and right sides of the adsorption surface plate 110 are provided with a plurality of rotating grindstones 120 (hereinafter referred to as " (Hereinafter referred to as " finish grinding rotary wheel 120Y ") 120 占 and a rotary grindstone 120 for finish grinding (hereinafter referred to as "finish grinding rotary grindstone 120Y"

또한, 이들 회전 숫돌(120·120…)은 각각 축심 방향을 판유리(W)의 두께 방향, 즉 상하 방향(흡착 정반(110)의 연장 방향과의 측면에서 본 직교 방향)으로 해서 착탈 가능하게 배치되고, 축심을 중심으로 해서 회전 구동 가능하게 설치된다. The rotating grindstones 120 占 쏙옙 占 are detachably arranged in the thickness direction of the plate glass W in the vertical direction (direction orthogonal to the extending direction of the suction platen 110) And is rotatably driven around the axis.

그리고, 흡착 정반(110)의 좌우 양측에 위치하는 이들 복수의 회전 숫돌(120·120…)은 일체적 또한 흡착 정반(110)에 대하여 상대적으로, 전방으로부터 후방을 향해서(도 7(a)에 있어서의 화살표 B의 방향) 이동 가능한 구성으로 되어 있다. The plurality of rotary grindstones 120 占 2 占 located on both the left and right sides of the adsorption surface plate 110 are integrally and integrally arranged with respect to the adsorption surface plate 110 from front to back In the direction of arrow B in Fig.

이러한 구성으로 이루어지는 종래의 끝면 가공 장치(101)에 의해서 판유리(W)의 끝면 가공을 행하는 경우, 축심을 중심으로 해서 회전 구동하는 복수의 회전 숫돌(120·120…)을 판유리(W)의 좌우 양측의 끝면에 접촉시키면서, 흡착 정반(110)(보다 구체적으로는 판유리(W))과 상대적으로, 전방으로부터 후방을 향해서 일체적으로 이동시킨다. In the case of machining the end face of the plate glass W by the conventional end face machining apparatus 101 having such a configuration, a plurality of rotary grindstones 120, 120 ... which are rotationally driven about the axis are arranged on the left and right sides of the plate glass W And moves integrally with the suction platen 110 (more specifically, the plate glass W) from the front side to the rear side while being in contact with the end surfaces of both sides.

이 때, 도 7(b)에 나타내는 바와 같이, 판유리(W)의 좌우 양측의 측가장자리부는 각 회전 숫돌(120)의 외주면에 형성된 환상의 홈부(120a) 내에 끼워넣어짐과 아울러 상기 측가장자리부의 끝면이 홈부(120a)의 저면에 접촉된다. At this time, as shown in Fig. 7 (b), the left and right side edge portions of the plate glass W are sandwiched in the annular groove portion 120a formed in the outer peripheral surface of each rotary grindstone 120, And the end surface is in contact with the bottom surface of the groove portion 120a.

이와 같이, 판유리(W)의 끝면 가공을 행할 때에는, 종래부터 판유리(W)의 두께 수치와 대략 같은 정도의 폭 수치로 이루어지는 환상의 홈부(120a)가 외주면에 형성된 조연마용 회전 숫돌(120X)을, 홈부(120a)를 통해서 판유리(W)의 끝면에 접촉시키면서 조연마를 행하고, 계속해서 마찬가지의 형상으로 이루어지는 환상의 홈부(120a)가 외주면에 형성된 마무리 연마용 회전 숫돌(120Y)을, 홈부(120a)를 통해서 판유리(W)의 끝면에 접촉시키면서 마무리 연마를 행하는 것이 일반적이었다. As described above, when the end face of the plate glass W is to be machined, an abrasive rotary grindstone 120X having an annular groove portion 120a formed on the outer peripheral surface and having a width approximately equal to the thickness of the plate glass W The rotary grindstone 120Y for finish grinding having an annular groove portion 120a having the same shape and formed on the outer peripheral surface is formed in contact with the end face of the plate glass W through the groove portion 120a, To finish the polishing while bringing it into contact with the end face of the plate glass W.

일본 특허 공개 2008-93744호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-93744

이상과 같이, 종래의 끝면 가공 장치에 있어서는 회전 숫돌의 외주면에 미리 형성된 환상의 홈부를 통해서 판형상물의 끝면을 협지하면서 끝면 가공을 행하기 때문에, 회전 숫돌의 교환 작업(보다 구체적으로는, 사용 수명에 도달한 회전 숫돌을 사용하지 않은 새로운 회전 숫돌로 교환하는 작업)을 행할 때마다, 환상의 홈부의 위치를 판유리의 끝면의 위치와 일치시키기 위한 조정 작업이 필요했다. As described above, in the conventional end face machining apparatus, since the end face machining is performed while holding the end face of the plate-shaped object through the annular groove portion previously formed on the outer circumferential face of the rotary grindstone, the exchange of the rotary grindstone (more specifically, The operation of changing the position of the annular groove portion to the position of the end face of the plate glass was required every time the operation of exchanging the rotating grindstone that has reached the position of the end face of the plate glass with the new rotating grindstone which did not use the rotating grindstone reached to the position

따라서, 회전 숫돌의 교환 작업에 시간이 걸려서 타임 로스를 발생시켜 생산 효율의 저하를 초래하는 요인이 되고 있었다. Therefore, it takes time to exchange the rotating grindstones, which causes a time loss, which is a cause of lowering the production efficiency.

본 발명은 이상에 나타낸 현상의 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 판유리 등의 판형상물의 끝면을 착탈 가능한 회전 숫돌의 외주면에 의해 연마하는 끝면 가공 장치로서, 회전 숫돌의 교환 작업에 시간이 걸리는 일도 없어 생산 효율의 저하를 초래하는 일이 없는 판형상물의 끝면 가공 장치를 제공하는 것을 과제로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide an end surface machining apparatus which polishes the end surface of a plate- And it is an object of the present invention to provide an end face machining apparatus for a plate shaped object which does not cause a decrease in efficiency.

본 발명의 해결하고자 하는 과제는 이상과 같으며, 이어서 이 과제를 해결하기 위한 수단을 설명한다. The problem to be solved by the present invention is as described above, and means for solving the problem will be described.

즉, 본 발명의 판형상물의 끝면 가공 장치는 판형상물의 끝면을 회전 수단에 착탈 가능한 회전 숫돌의 외주면에 의해 가공하는 끝면 가공 장치로서, 홈부가 형성되지 않은 상태의 상기 회전 숫돌을 상기 회전 수단에 장착한 후에, 상기 회전 숫돌의 상기 외주면에 둘레 방향을 따르는 환상의 상기 홈부를 형성하는 것을 특징으로 한다. In other words, the end face machining apparatus of the present invention is an end face machining apparatus for machining an end face of a plate-shaped article by an outer circumferential surface of a rotary grindstone which is detachable to and from a rotary means. The rotary grindstone, The annular groove along the circumferential direction is formed on the outer circumferential surface of the rotary grindstone after the mounting.

이러한 본 발명에 있어서의 판형상물의 끝면 가공 장치에 의하면, 회전 수단에 회전 숫돌을 장착한 후의 조정 작업이 불필요해지기 때문에 회전 숫돌의 교환 작업에 시간이 걸리는 일도 없어 생산 효율의 저하를 초래하는 일도 없다. According to the end face machining apparatus of the present invention, it is not necessary to perform the adjustment work after mounting the rotary grindstone on the rotary means, so that the replacement work of the rotary grindstone does not take much time, none.

또한, 본 발명의 판형상물의 끝면 가공 장치에 있어서, 상기 끝면 가공 장치는 상기 회전 숫돌의 상기 외주면에 둘레 방향을 따르는 환상의 홈부를 형성하는 홈 형성 수단을 구비하고, 상기 홈 형성 수단은 상기 판형상물의 상기 끝면과 대응하는 위치이며 상기 회전 숫돌의 상기 외주면에 상기 홈부를 형성하는 것을 특징으로 한다. Further, in the end face machining apparatus of the present invention, the end face machining apparatus includes groove forming means for forming an annular groove portion along the circumferential direction on the outer circumferential face of the rotary grindstone, And the groove portion is formed at the outer peripheral surface of the rotary grindstone at a position corresponding to the end surface of the shape.

이러한 본 발명에 있어서의 판형상물의 끝면 가공 장치에 의하면, 회전 수단에 장착된 직후의 회전 숫돌에 대하여 특단의 조정 작업을 행하는 일 없이 홈 형성 수단에 의해서 해당 회전 숫돌의 외주면의 적당한 위치에 환상의 홈부를 형성할 수 있다. According to the end face machining apparatus of the present invention, it is not necessary to perform a specific adjustment operation on the rotary grindstone just after being mounted on the rotary means, but the circular grindstone can be formed in an appropriate position on the outer peripheral surface of the rotary grindstone A groove portion can be formed.

또한, 본 발명의 판형상물의 끝면 가공 장치에 있어서, 상기 끝면 가공 장치는 상기 회전 숫돌에 의한 상기 판형상물의 상기 끝면의 가공을 실행하는 가공 공정과, 후속하는 상기 판형상물의 끝면 가공의 준비를 행하는 준비 공정을 교대로 실시하고, 상기 준비 공정의 실시 중에 상기 홈 형성 수단에 의한 상기 회전 숫돌의 상기 외주면에 대한 상기 홈부의 형성을 실행하는 것을 특징으로 한다. In the end face machining apparatus of the present invention, the end face machining apparatus may further include a machining step of machining the end face of the plate-shaped article by the rotary grindstone, and a step of preparing the end face machining of the plate- And the groove portion is formed in the outer peripheral surface of the rotary grindstone by the groove forming means during the preparation step.

이와 같이, 본 발명에 있어서의 판형상물의 끝면 가공 장치에 의하면, 후속하는 판형상물의 끝면의 가공(연마)의 준비를 행하는 준비 공정(예를 들면, 가공 공정의 실시 직후의 회전 숫돌을, 다시 연마 개시 위치까지 이동시키는 복귀 운전 등)을 실시하면서, 회전 숫돌의 외주면에 새로운 환상의 홈부를 형성하기 위해 해당 홈부를 형성하기 위한 새로운 스텝을 별도 설치할 필요도 없어 타임 로스에 의한 생산 효율의 저하를 초래하는 일도 없다. As described above, according to the end face machining apparatus of the present invention, the preparation step for preparing the machining (polishing) of the end surface of the following plate material (for example, It is not necessary to separately provide a new step for forming the groove portion in order to form a new annular groove portion on the outer circumferential surface of the rotary grindstone while performing the return operation for moving the wafer to the polishing start position, There is nothing to bring about.

또한, 본 발명의 판형상물의 끝면 가공 장치에 있어서, 상기 홈 형성 수단은 상기 판형상물의 상기 끝면과 대응하는 위치이며 상기 회전 숫돌의 상기 외주면에, 상기 환상의 홈부를 형성하는 블레이드와, 상기 블레이드를 상기 회전 숫돌의 상기 외주면에 접촉하는 접촉 위치와 상기 회전 숫돌의 상기 외주면으로부터 이반하는 이간 위치로 스위칭 가능한 스위칭 수단을 갖는 것을 특징으로 한다. Further, in the end face machining apparatus of the present invention, the groove forming means is a position corresponding to the end face of the plate-shaped article and is formed on the outer circumferential face of the rotary grindstone to form the annular groove portion, And a switching means capable of switching between a contact position for contacting the outer circumferential surface of the rotary grindstone and an intervening position for separating from the outer circumferential surface of the rotary grindstone.

이와 같이, 본 발명에 있어서의 판형상물의 끝면 가공 장치에 있어서는, 블레이드의 위치가 판형상물의 끝면에 대응하는 위치로 되도록 미리 조정되어 있기 때문에, 홈 형성 수단에 의해서 형성된 직후의 환상의 홈부는 항상 판형상물의 끝면과 대향하는 것으로 되어 해당 홈부의 위치를 새롭게 조정할 필요도 없다. As described above, in the end face machining apparatus of the present invention, since the position of the blade is adjusted in advance to the position corresponding to the end face of the plate-like object, the annular groove portion immediately after being formed by the groove forming means is always It is not necessary to newly adjust the position of the groove portion.

한편, 본 발명의 판형상물의 끝면 가공 장치는 상기 판형상물의 상기 끝면을 가공함으로써 상기 홈부를 형성하는 것을 특징으로 해도 좋다. On the other hand, the end face machining apparatus of the plate material of the present invention may be characterized in that the groove portion is formed by machining the end face of the plate material.

이와 같이, 본 발명에 있어서의 판형상물의 끝면 가공 장치에 있어서는, 피 가공물인 판형상물에 의해서 회전 숫돌의 외주면에 환상의 홈부를 형성하는 것으로 해도 좋고, 이 경우 보다 적절한 형상 및 배치 위치로 이루어지는 환상의 홈부를 용이하게 형성할 수 있다. As described above, in the end face machining apparatus of the present invention, an annular groove portion may be formed on the outer circumferential surface of the rotary grindstone by means of the plate-shaped workpiece to be processed. In this case, It is possible to easily form the groove portion of the groove.

또한, 본 발명의 판형상물의 끝면 가공 장치는, 상기 판형상물의 상기 끝면의 양단부를 제외한 영역을 가공함으로써 상기 홈부를 형성하는 것을 특징으로 해도 좋다. Further, the end face machining apparatus of the present invention may be characterized in that the groove portion is formed by machining a region except for both end portions of the end face of the plate-shaped article.

이 경우, 회전 숫돌의 외주면에 대하여 보다 적절한 형상 및 배치 위치로 이루어지는 환상의 홈부를 용이하게 형성할 수 있을 뿐만 아니라, 판형상물의 끝면 부근의 플러터링을 방지할 수 있어 가공 후의 판형상물의 품질을 확보할 수 있다. In this case, it is possible to easily form an annular groove portion having a more appropriate shape and arrangement position with respect to the outer circumferential surface of the rotary grindstone, and also to prevent fluttering near the end face of the plate-like object, .

또한, 본 발명의 판형상물의 끝면 가공 장치에 있어서, 상기 회전 숫돌은 회전 축심 방향을 따라서 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 한다. Further, in the end face machining apparatus of the plate-like material of the present invention, the rotary grindstone is provided so as to be movable along the rotation axis direction.

이러한 구성을 가짐으로써, 본 발명에 있어서의 판형상물의 끝면 가공 장치에 의하면 회전 숫돌 자신을 교환하는 대대적인 교환 작업을 행하는 일 없이, 그 회전 숫돌을 회전 축심 방향을 따라서 소정의 스트로크만큼 이동시키는 것만으로 용이하게 새로운 환상의 홈부를 형성 가능한 상태로 할 수 있다. With this configuration, according to the end surface machining apparatus of the present invention, it is possible to move the rotary grindstone by a predetermined stroke along the direction of the rotation axis without performing a large exchange operation of replacing the rotary grindstone itself It is possible to easily form a new annular groove portion.

(발명의 효과) (Effects of the Invention)

본 발명의 판형상물의 끝면 가공 장치에 의하면, 회전 숫돌의 교환 작업에 시간이 걸리는 일도 없어 생산 효율의 저하를 초래하는 일도 없다. According to the end face machining apparatus of the present invention, the replacement work of the rotating grindstone does not take much time, and the production efficiency is not lowered.

도 1은 본 발명의 일실시형태에 의한 끝면 가공 장치에 있어서, 회전 숫돌 및 홈 형성 기구부의 전체적인 구성을 나타낸 평면도이다.
도 2는 회전 숫돌 및 홈 형성 기구부의 전체적인 구성을 나타낸 도면으로서,도 1 중의 화살표 X의 방향에서 본 확대 정면도이다.
도 3은 회전 숫돌 및 홈 형성 기구부의 이동 방향을 경시적으로 나타낸 개략 평면도이다.
도 4는 본 실시형태의 끝면 가공 장치에 의해서 판유리의 끝면 가공을 행할 때의 순서를 경시적으로 나타낸 플로우 차트이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시형태에 의한 끝면 가공 장치에 있어서, 회전 숫돌의 이동 범위를 나타낸 도면으로서, (a)는 판유리의 끝면 전체를 가공하는 상태를 나타낸 개략 평면도, (b)는 판유리의 끝면으로부터 떨어진 위치에서 가공을 개시하는 상태를 나타낸 개략 평면도이다.
도 6은 본 발명의 끝면 가공 장치를 나타낸 도면으로서, 판유리의 끝면의 코너부 부근에 회전 숫돌이 접촉한 직후의 상태를 나타낸 개략 사시도이다.
도 7은 종래의 끝면 가공 장치를 나타낸 도면으로서, (a)는 전체적인 구성을 나타낸 평면도, (b)는 도 7(a)의 화살표 Y 방향에서 본 확대 정면도이다.
도 8은 종래의 끝면 가공 장치에 의해서 판유리의 끝면 가공을 행할 때의 순서를 경시적으로 나타낸 플로우 차트이다.
도 9는 종래의 끝면 가공 장치에 있어서, 회전 숫돌과 판유리의 관계를 나타낸 확대 정면도이다. 1 is a plan view showing the overall structure of a rotating grindstone and a groove forming mechanism in an end face machining apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged front view of the rotary grindstone and groove forming mechanism as viewed from the direction of the arrow X in Fig. 1.
3 is a schematic plan view showing the moving direction of the rotating grindstone and the groove forming mechanism portion with a time lapse.
Fig. 4 is a flowchart showing the order of time when the end face machining of the plate glass is performed by the end face machining device of the present embodiment.
(A) is a schematic plan view showing a state in which the entire end surface of the plate glass is machined, (b) is a plan view of the end surface of the plate glass Fig. 7 is a schematic plan view showing a state where machining is started at a position away from the end face. Fig.
Fig. 6 is a schematic perspective view showing a state after the rotating grindstone is brought into contact with the corner of the end face of the plate glass, according to the present invention. Fig.
Fig. 7 is a plan view of a conventional end face machining apparatus. Fig. 7 (a) is a plan view showing the overall structure, and Fig. 7 (b) is an enlarged front view seen from the direction of arrow Y in Fig.
Fig. 8 is a flowchart showing a procedure of the end face machining of the plate glass by the conventional end face machining device with the passage of time.
9 is an enlarged front view showing the relationship between a rotating grindstone and a plate glass in a conventional end face machining apparatus.

이어서, 발명의 실시형태를 설명한다. Next, an embodiment of the invention will be described.

[끝면 가공 장치(1)] [End face machining device (1)]

먼저, 본 발명을 구현화하는 끝면 가공 장치(1)의 구성에 대해서 도 1 및 도 2를 이용하여 설명한다. First, the configuration of the end face machining apparatus 1 embodying the present invention will be described with reference to Figs. 1 and 2. Fig.

또한, 이하의 설명에 있어서는 편의상, 도 2의 상하 방향을 끝면 가공 장치(1)의 상하 방향으로 규정하여 기술한다. In the following description, for the sake of convenience, the vertical direction of Fig. 2 is defined in the vertical direction of the machining apparatus 1 when it is terminated.

또한, 도 1에 있어서는 화살표 A의 방향을 끝면 가공 장치(1)의 전방으로 규정하여 기술한다. In Fig. 1, the direction of the arrow A is defined in front of the machining apparatus 1 when it is terminated.

본 실시형태에 있어서의 끝면 가공 장치(1)는, 도 1에 나타내는 바와 같이 판형상물인 판유리(W)의 끝면에 대하여, 후술하는 회전 수단(21)(도 2 참조)에 착탈 가능한 회전 숫돌(20)의 외주면에 의해서 연마 등의 가공을 실시하기 위한 장치이다. 1, the end face machining apparatus 1 according to the present embodiment includes a rotating grindstone (not shown) which is detachably attached to an end face of a plate glass W, which is a plate- 20 by means of an outer peripheral surface thereof.

끝면 가공 장치(1)는 주로 흡착 정반(10), 회전 숫돌(20), 및 홈 형성 기구부(30) 등에 의해 구성된다. The end face machining apparatus 1 mainly comprises an adsorption surface plate 10, a rotating grindstone 20, a groove forming mechanism unit 30, and the like.

여기서, 끝면 가공 장치(1)에 있어서 흡착 정반(10)의 좌우 양측의 각 측에는, 상술한 바와 같이 조연마용 및 마무리 연마용의 복수의 회전 숫돌(20·20…), 및 이들 회전 숫돌(20·20…)의 근방에 각각 배치되는 복수의 홈 형성 기구부(30·30…)가 각각 설치된다. 그리고, 이들 복수의 회전 숫돌(20·20…)은 서로 동일한 구성으로 이루어지고, 또한 마찬가지로 이들 복수의 홈 형성 기구부(30·30…)도 서로 동일한 구성으로 이루어진다. As described above, a plurality of rotating grindstones 20 · 20 ... for grinding and finishing grinding, and a plurality of rotating grindstones 20 (20) are provided on both sides of the left and right sides of the suction platen 10 in the end surface machining apparatus 1 20, ..., respectively, are provided on the outer circumferential surface of each of the grooves. The plurality of rotary grinders 20, 20, ... have the same configuration, and likewise, the plurality of groove forming mechanism portions 30, 30 ... have the same configuration.

따라서, 이하의 설명에 있어서는 주로 흡착 정반(10)의 일방측(예를 들면, 본 실시형태에 있어서는 우측)에 설치되는 한 쌍의 회전 숫돌(20) 및 홈 형성 기구부(30)에 착안하여 기술하는 것으로 하고, 다른 복수의 회전 숫돌(20·20…), 및 홈 형성 기구부(30·30…)에 대한 기술은 생략한다. Therefore, in the following description, attention will be focused on a pair of rotary grindstone 20 and groove forming mechanism portion 30 provided on one side (for example, the right side in the present embodiment) of the suction platen 10, And description of the other plurality of rotary grindstone 20 · 20 ... and the groove forming mechanism portions 30 · 30 is omitted.

또한, 홈 형성 기구부(30)는 복수의 회전 숫돌(20·20…) 중, 일부의 회전 숫돌(20·20…)에 대응하여 설치하는 것도 가능하다. 예를 들면, 도 7에 나타내는 조연마용 회전 숫돌(120X)을 종래의 회전 숫돌(120)로 하고, 마무리 연마용 회전 숫돌(120Y)을 본 발명의 회전 숫돌(20)로 하여 홈 형성 기구부(30)를 설치해도 된다. It is also possible to provide the groove forming mechanism portion 30 in correspondence with a part of the rotating grindstones 20 占 쏙옙 占 among the plurality of rotary grindstones 20 占 20. For example, the conventional grinding wheel 120X shown in Fig. 7 may be used as the conventional grinding wheel 120, and the grinding wheel 120Y for finishing grinding may be used as the grinding wheel 20 of the present invention, ) May be installed.

흡착 정반(10)은 직사각형 판형상의 판유리(W)를 수평 상태로 견고하게 유지하기 위한 것이다. The suction platen 10 is for holding a rectangular plate-shaped plate glass W in a horizontal state firmly.

흡착 정반(10)은 평면으로 보아 직사각 형상으로 형성되고, 그 상면에는 도시하지 않은 무수한 흡인 구멍이 천공되어있다. The suction platen 10 is formed in a rectangular shape in a plan view, and a number of suction holes (not shown) are formed on the upper surface thereof.

그리고, 이러한 구성으로 이루어지는 흡착 정반(10)의 상면에 있어서 판유리(W)는 수평 또한 전후 방향으로 연장됨과 아울러, 좌우 양측의 측가장자리부가 흡착 정반(10)의 외부로 각각 돌출된 자세에 의해서 적재되고, 상기 무수한 흡인 구멍을 통해서 흡착됨으로써 견고하게 유지된다. On the upper surface of the suction platen 10 having such a configuration, the plate glass W is horizontally extended in the front and rear direction, and the lateral side portions of the left and right sides are projected to the outside of the suction platen 10, And is held firmly by adsorption through the innumerable suction holes.

이어서, 회전 숫돌(20)에 대해서 설명한다. Next, the rotating grindstone 20 will be described.

회전 숫돌(20)은 판유리(W)의 끝면에 대하여 챔퍼링 가공이나 연마 가공 등의 끝면 가공을 실시하기 위한 것이다. The rotating grindstone 20 is for performing end face machining such as chamfering or polishing on the end face of the plate glass W. [

회전 숫돌(20)은 기체가 되는 원반 형상의 베이스 메탈(base metal)(20a)이나 베이스 메탈(20a)의 외주면에 들어맞아 고정되는 연마 입자층(20b) 등에 의해 구성된다. The rotary grindstone 20 is composed of a disk-shaped base metal 20a to be a base or an abrasive grain layer 20b fixed to the outer peripheral surface of the base metal 20a.

그리고, 사용하지 않은 회전 숫돌(20)에 있어서는 아직 외주면에 환상의 홈부(20c)가 형성되어 있지 않고, 후술하는 바와 같이 환상의 홈부(20c)는 판유리(W)의 끝면 가공을 행할 때에 홈 형성 기구부(30)에 의해서 회전 숫돌(20)의 외주면에 형성된다. The circular grinding wheel 20 which is not used does not yet have an annular groove 20c formed on the outer circumferential surface thereof and the annular groove 20c is formed in a groove shape when the end face of the plate glass W is machined Is formed on the outer circumferential surface of the rotating grindstone (20) by the mechanism portion (30).

베이스 메탈(20a)은, 예를 들면 알루미늄, 강(鋼), 초경합금, 몰리브덴, 몰리브덴 합금, 서멧, 티타늄, 또는 세라믹 등의 재질로 이루어지는 원반 형상의 부재에 의해서 형성된다. The base metal 20a is formed of a disc-like member made of a material such as aluminum, steel, cemented carbide, molybdenum, molybdenum alloy, cermet, titanium, or ceramic.

또한, 강의 재질로서는, 예를 들면 탄소 공구강, 합금 공구강, 또는 고속도강 등을 이용하는 것이 가능하다. As the material of the steel, for example, carbon tool steel, alloy tool steel, or high-speed steel can be used.

한편, 연마 입자층(20b)은 도시되지 않은 접착층 등을 통해서 베이스 메탈(20a)의 외주면에 고착된다. On the other hand, the abrasive grain layer 20b is fixed to the outer circumferential surface of the base metal 20a through an adhesive layer or the like (not shown).

또한, 연마 입자층(20b)은 결합재, 및 다수의 연마 입자로 이루어지는 혼합물을 소성함으로써 제작된다. The abrasive grain layer 20b is produced by firing a mixture composed of a binder and a plurality of abrasive grains.

여기서, 결합재로서는 열경화성 수지를 주성분으로 하는 레진본드 등을 사용하는 것이 가능하며, 또한 연마 입자로서는 다이아몬드 입자, 산화알루미늄 입자, 탄화규소 입자, 입방정 질화붕소 입자, 금속산화물 입자, 금속탄화물 입자, 또는 금속질화물 입자 등을 이용하는 것이 가능하다. The abrasive grains may be diamond grains, aluminum oxide grains, silicon carbide grains, cubic boron nitride grains, metal oxide grains, metal carbide grains, or metal carbide grains. Nitride particles or the like can be used.

또한, 이들 결합재와 연마 입자의 비율에 대해서는 결합재가 30~97체적%, 연마 입자가 3~70체적%로 되도록 하는 것이 적당하다. The ratio of the binder to the abrasive grains is preferably 30 to 97% by volume of the binder and 3 to 70% by volume of the abrasive grains.

그리고, 연마 입자층(20b)은 연마 입자층(20b)의 외표면으로부터 연마 입자의 일부가 노출되도록 해서 베이스 메탈(20a)의 외주면을 따라서 환상으로 제작된다. The abrasive grain layer 20b is formed in an annular shape along the outer peripheral surface of the base metal 20a so that a part of the abrasive grains are exposed from the outer surface of the abrasive grain layer 20b.

또한, 연마 입자의 입자지름은 그 연마량이나 마무리 표면 거칠기의 요구 레벨에 따라서 선택하면 되고, 예를 들면 #100~3,000, 바람직하게는 #600~1,000의 범위에서 적절히 결정하면 된다. The particle size of the abrasive grains may be selected according to the amount of abrasion or the required level of the finish surface roughness. For example, it may be suitably determined in the range of # 100 to 3,000, preferably # 600 to 1,000.

이렇게 해서 형성된 회전 숫돌(20)은, 도 2에 나타내는 바와 같이 예를 들면 구동 모터 등에 의한 회전 수단(21)에 대하여 축심 방향을 판유리(W)의 두께 방향, 즉 상하 방향으로 하면서 착탈 가능하게 고정되고, 해당 회전 수단(21)에 의해서 축심을 중심으로 해서 회전 구동된다. 2, the rotating grindstone 20 formed in this manner is detachably fixed to the rotating means 21 such as a driving motor, for example, while the axial direction of the rotating grindstone 20 is in the thickness direction of the plate glass W, And is rotationally driven about the axis by the rotating means 21.

이상과 같은 구성으로 이루어지는 회전 숫돌(20·20…)은 1대의 끝면 가공 장치(1)에 대하여 복수(도 2에 있어서는 확대 정면도이기 때문에 1개만 기재) 구비되고, 흡착 정반(10)의 좌우 방향의 양측에서 전후 방향을 따라서 일렬로 배치된다. The rotating grinders 20 · 20 having the above-described configuration are provided with a plurality of (in FIG. 2, only one is shown because of the enlarged front view) with respect to one end face machining apparatus 1, And are arranged in a line along the front-rear direction on both sides of the frame.

그리고, 흡착 정반(10)의 좌우 양측에 위치하는, 이들 복수의 회전 숫돌(20·20…)은 일체적, 또한 흡착 정반(10)에 대하여 상대적으로 전후 방향으로 이동 가능한 구성으로 되어 있다. The plurality of rotary grindstones 20 占 쏙옙 占 located on both left and right sides of the adsorption surface plate 10 are integrally movable relative to the adsorption surface plate 10 in the forward and backward directions.

또한, 흡착 정반(10)의 좌우 양측의 각 측에 있어서 일렬로 배치되는 회전 숫돌(20·20…)은 흡착 정반(10)에 대하여 근접 이반 방향(본 실시형태에 있어서는 좌우 방향)으로 이동 가능한 구성으로 되어 있다. The rotating grindstones 20 占 2 arranged in a row on both sides of the left and right sides of the adsorption surface plate 10 are movable in the proximity of the adsorption surface plate 10 in the opposite directions (right and left directions in this embodiment) .

이어서, 홈 형성 기구부(30)에 대해서 설명한다. Next, the groove forming mechanism section 30 will be described.

홈 형성 기구부(30)는 장착된 회전 숫돌(20)의 외주면에 있어서, 판유리(W)의 끝면과 대응하는 위치에 둘레 방향을 따르는 환상의 홈부(20c)를 형성하기 위한 홈 형성 수단으로서, 각 회전 숫돌(20)에 대하여 각각 배치된다. The groove forming mechanism portion 30 is a groove forming means for forming an annular groove portion 20c along the circumferential direction at a position corresponding to the end surface of the plate glass W on the outer circumferential surface of the mounted rotary grindstone 20, Are disposed respectively with respect to the rotating grindstone (20).

홈 형성 기구부(30)는, 도 1에 나타내는 바와 같이 수평 방향(판유리(W)의 판면을 따르는 방향이며, 예를 들면 본 실시형태에 있어서는 전후 방향)으로 연장되는 회동 암(31)을 구비하고, 회동 암(31)의 연장 방향의 중앙부에는 축심 방향을 상하 방향으로 하는 회동 샤프트(32)가 베어링 부재(33)를 통해서 관통되어 있다. 1, the groove forming mechanism portion 30 is provided with a pivot arm 31 extending in the horizontal direction (along the plate surface of the plate glass W, for example, in the forward and backward direction in this embodiment) And a pivot shaft 32 which vertically extends in the axial direction is passed through the bearing member 33 at a central portion of the pivot arm 31 in the extending direction.

또한, 회동 암(31)의 연장 방향의 일단부(예를 들면, 본 실시형태에 있어서는 전단부)에는, 예를 들면 초경재로 이루어지는 블레이드(34)가 착탈 가능하게 고정 설치된다. A blade 34 made of a hard material, for example, is detachably fixed to one end (for example, the front end in the present embodiment) in the extending direction of the pivoting arm 31.

그리고, 회동 샤프트(32)를 중심으로 해서 회동 암(31)이 회동함으로써 블레이드(34)가 회전 숫돌(20)의 외주면에 대하여 근접 이반하는 구성으로 되어 있다. The rotating arm 31 is rotated about the rotating shaft 32 so that the blade 34 is moved close to the outer peripheral surface of the rotating grindstone 20.

여기서, 회동 암(31)의 연장 방향의 타단부(예를 들면, 본 실시형태에 있어서는 후단부)에는, 예를 들면 인장 스프링 등으로 이루어지는 바이어싱 수단(35)이 설치되어 있으며, 회동 암(31)은 해당 바이어싱 수단(35)에 의해서 항상 블레이드(34)가 회전 숫돌(20)의 외주면에 근접하는 방향으로 바이어싱된 상태로 되어 있다. A biasing means 35 such as a tension spring is provided at the other end of the pivot arm 31 in the extending direction (for example, the rear end in the present embodiment) 31 are always biased by the biasing means 35 in the direction in which the blade 34 is close to the outer circumferential surface of the rotary grindstone 20.

또한, 바이어싱 수단(35)의 근방에는, 예를 들면 에어 실린더 등으로 이루어지는 액추에이터(36)가 설치되어 있으며, 해당 액추에이터(36)의 신축 로드(36a)에 의해서 회동 암(31)의 타단부를 압박함으로써 블레이드(34)가 회전 숫돌(20)의 외주면으로부터 이반하는 방향으로 회동 암(31)이 회동되도록 되어 있다. An actuator 36 composed of an air cylinder or the like is provided in the vicinity of the biasing means 35 and the other end of the rotating arm 31 is rotated by the stretching rod 36a of the actuator 36, The rotary arm 31 is rotated in the direction in which the blade 34 is separated from the outer circumferential surface of the rotary grindstone 20.

이러한 구성으로 이루어지는 홈 형성 기구부(30)에 의해, 블레이드(34)의 수평 방향 위치를 회전 숫돌(20)의 외주면에 접촉하는 접촉 위치와, 회전 숫돌(20)의 외주면으로부터 이반하는 이간 위치로 스위칭 가능하게 하고 있다. The groove forming mechanism 30 having such a configuration switches the horizontal position of the blade 34 to a contact position for contacting the outer circumferential surface of the rotary grindstone 20 and an intervening position for separating from the outer circumferential surface of the rotary grindstone 20. [ .

즉, 회동 암(31), 회동 샤프트(32), 베어링 부재(33), 바이어싱 수단(35), 및 액추에이터(36)에 의해 블레이드(34)를 접촉 위치와 이간 위치로 스위칭 가능한 스위칭 수단이 구성되어 있다. That is, the switching means capable of switching the blade 34 to the contact position and the separating position by the rotating arm 31, the rotating shaft 32, the bearing member 33, the biasing means 35 and the actuator 36 Consists of.

또한, 홈 형성 기구부(30)에 있어서, 바이어싱 수단(35)의 바이어싱력에 의해서 회동 암(31)을 회동시켜서 회전 구동 상태에 있는 회전 숫돌(20)의 외주면에 블레이드(34)를 접촉시킴으로써 해당 외주면에 환상의 홈부(20c)를 형성할 수 있다. In the groove forming mechanism section 30, the rotating arm 31 is rotated by the biasing force of the biasing means 35 to bring the blade 34 into contact with the outer peripheral surface of the rotating grindstone 20 in the rotational driving state An annular groove 20c can be formed on the outer peripheral surface.

또한, 홈 형성 기구부(30)는 회전 숫돌(20)과 일체적으로 이동 가능하게 구성되어 있다. The groove forming mechanism portion 30 is configured to be movable integrally with the rotating grindstone 20. [

또한, 도 2에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 있어서는 블레이드(34)의 상하 위치가 흡착 정반(10)에 적재된 판유리(W)의 끝면의 상하 위치와 일치하도록 미리 조정되어 있기 때문에, 홈 형성 기구부(30)에 의해서 형성되는 홈부(20c)의 상하 위치는 판유리(W)의 끝면의 상하 위치와 항상 일치한다. 2, in the present embodiment, since the vertical position of the blade 34 is adjusted in advance so as to coincide with the vertical position of the end face of the plate glass W loaded on the suction platen 10, The vertical position of the groove portion 20c formed by the mechanism portion 30 always coincides with the vertical position of the end face of the plate glass W.

환언하면, 홈 형성 기구부(30)는 블레이드(34)에 의해서 판유리(W)의 끝면과 대응하는 위치(예를 들면, 본 실시형태에 있어서는 상하 방향에 일치하는 위치이며, 판유리의 끝면과 대향하는 위치)이며, 회전 숫돌(20)의 외주면에 환상의 홈부(20b)를 형성하도록 구성되어 있다. In other words, the groove forming mechanism portion 30 is located at a position corresponding to the end face of the plate glass W by the blade 34 (for example, in the present embodiment, the position corresponding to the vertical direction, And is structured so as to form an annular groove 20b on the outer circumferential surface of the rotary grindstone 20. [

이것에 의해, 본 실시형태에 있어서의 끝면 가공 장치(1)에 있어서는, 예를 들면 회전 숫돌(20)의 교환 작업을 행할 때마다 회전 숫돌(20)의 상하 위치를 판유리(W)의 상하 위치와 일치시키기 위한 조정 작업이 필요해지는 일도 없다. Thus, in the end face machining apparatus 1 according to the present embodiment, for example, every time the rotating grindstone 20 is exchanged, the upper and lower positions of the rotating grindstone 20 are positioned at the upper and lower positions of the plate glass W It is not necessary to make an adjustment operation to match with

이상과 같이, 본 실시형태에 있어서의 끝면 가공 장치(1)에 있어서는 홈부(20c)가 형성되지 않은 상태의 회전 숫돌(20)을 회전 수단(21)에 장착한 후에, 홈 형성 기구부(30)에 의해서 회전 숫돌(20)의 외주면에 둘레 방향을 따르는 환상의 홈부(20c)를 형성하는 구성으로 되어 있다. As described above, in the end face machining apparatus 1 according to the present embodiment, after the rotary grindstone 20 in which the groove portion 20c is not formed is mounted on the rotary means 21, An annular groove 20c along the circumferential direction is formed on the outer circumferential surface of the rotary grindstone 20 by means of the ring gear.

따라서, 상술한 바와 같은 회전 수단(21)에 회전 숫돌(20)을 장착한 후의 조정 작업이 불필요해지기 때문에 회전 숫돌(20)의 교환 작업에 시간이 걸리는 일도 없어 생산 효율의 저하를 초래하는 일도 없다. Therefore, since the adjustment operation after mounting the rotary grindstone 20 on the rotary means 21 as described above becomes unnecessary, the replacement work of the rotary grindstone 20 does not take much time, thereby causing a decrease in production efficiency none.

[끝면 가공 방법] [Finishing method]

이어서, 본 실시형태에 있어서의 끝면 가공 장치(1)에 의해서 판유리(W)의 끝면 가공을 행할 때의 끝면 가공 방법에 대해서 도 2~도 4를 이용하여 설명한다. Next, a method of machining the end face of the plate glass W by the end face machining apparatus 1 according to the present embodiment will be described with reference to Figs. 2 to 4. Fig.

또한, 이하의 설명에 있어서는 편의상, 도 3에 있어서의 화살표 A의 방향을 끝면 가공 장치(1)의 전방으로 규정하여 기술한다. In the following description, for the sake of convenience, the direction of the arrow A in Fig. 3 is defined in front of the machining apparatus 1 when it is terminated.

먼저 처음으로, 도 3에 나타내는 바와 같이 자동 운전을 정지시킨 끝면 가공 장치(1)에 있어서, 회전 숫돌(20)을 회전 구동하는 회전 수단(21)(도 2 참조) 및 홈 형성 기구부(30)는 모두 초기 상태로 되어 있다. 3, rotation means 21 (see Fig. 2) for rotationally driving the rotary grindstone 20 and a groove forming mechanism portion 30 for rotationally driving the rotary grindstone 20 are provided in the end surface machining apparatus 1 in which the automatic operation is stopped, Are all in the initial state.

구체적으로는, 초기 상태에 있어서는 회전 수단(21) 및 홈 형성 기구부(30)는 소정의 기준 위치(Sp1)(예를 들면, 도 3에 있어서는 흡착 정반(10)에 대하여 후방, 또한 오른쪽으로 이반한 위치)에 위치하고 있다. More specifically, in the initial state, the rotating means 21 and the groove forming mechanism portion 30 are moved to a predetermined reference position Sp1 (for example, in FIG. 3, rearward with respect to the suction platen 10, One location).

이 경우, 회전 수단(21)은 정지되어 있으며, 홈 형성 기구부(30)는 액추에이터(36)의 신축 로드(36a)가 신장하여 블레이드(34)가 이간 위치에 위치한 상태로 되어 있다. 또한, 회전 수단(21)에는 회전 숫돌(20)은 아직 장착되어 있지 않다. In this case, the rotating means 21 is stopped, and the groove forming mechanism portion 30 is in a state in which the extensible rod 36a of the actuator 36 is extended and the blade 34 is located at the spaced position. Further, the rotating grindstone 20 is not yet mounted on the rotating means 21.

이러한 상태로 이루어지는 끝면 가공 장치(1)에 있어서, 도 4에 나타내는 바와 같이 흡착 정반(10)의 상면에 판유리(W)를 소정의 적재 자세에 의해서 적재하고, 그 후 홈 형성 기구부(30)의 블레이드(34)의 상하 위치를 해당 판유리(W)의 상하 위치와 일치하도록 조정한다(스텝 S101). 4, the plate glass W is placed on the upper surface of the suction platen 10 by a predetermined stacking posture, and thereafter the flat plate W is placed on the upper side of the groove forming mechanism 30 The vertical position of the blade 34 is adjusted so as to coincide with the vertical position of the plate glass W (step S101).

블레이드(34)의 조정이 완료되면 사용하지 않은 회전 숫돌(20)을 해당 회전 수단(21)에 장착한다(스텝 S102). When the adjustment of the blade 34 is completed, the unused rotating grindstone 20 is attached to the rotating means 21 (step S102).

그리고, 회전 숫돌(20)의 장착이 완료되면 끝면 가공 장치(1)의 자동 운전을 기동한다(스텝 S103). When the mounting of the rotary grindstone 20 is completed, the automatic operation of the machining apparatus 1 is started (step S103).

끝면 가공 장치(1)가 자동 운전을 개시하면 회전 숫돌(20)의 제 1 복귀 운전이 실행된다(스텝 S104). When the end surface machining apparatus 1 starts automatic operation, the first return operation of the rotating grindstone 20 is executed (step S104).

제 1 복귀 운전은 회전 숫돌(20)을 판유리(W)의 끝면 가공 개시 위치의 근방까지 이동시키면서, 해당 회전 숫돌(20)의 외주면에 환상의 홈부(20a)를 형성하는 것이다. The first return operation is to form the annular groove 20a on the outer circumferential surface of the rotary grindstone 20 while moving the rotary grindstone 20 to the vicinity of the processing start position of the end face of the plate glass W. [

스텝 S104에 있어서의 제 1 복귀 운전에서는, 먼저 회전 수단(21)에 의한 회전 숫돌(20)의 회전 구동이 개시됨과 아울러, 홈 형성 기구부(30)에 있어서의 액추에이터(36)의 신축 로드(36a)가 축퇴함으로써 블레이드(34)가 접촉 위치로 이동되어 회전 숫돌(20)의 외주면에 블레이드(34)가 접촉한다(스텝 S105). In the first return operation in step S104, first, rotation of the rotary grindstone 20 is started by the rotating means 21, and at the same time, the retracting rod 36a of the actuator 36 in the groove forming mechanism 30 The blade 34 is moved to the contact position and the blade 34 comes into contact with the outer peripheral surface of the rotary grindstone 20 (step S105).

그 후, 회전 구동되는 회전 숫돌(20)의 외주면에 블레이드(34)가 접촉한 상태인 채 회전 숫돌(20)이 이동을 개시한다(스텝 S106). Thereafter, the rotary grindstone 20 starts moving with the blade 34 in contact with the outer peripheral surface of the rotary grindstone 20 to be rotated (step S106).

회전 숫돌(20)의 이동 방향으로서는 회전 숫돌(20)이 흡착 정반(10)에 대하여 상대적으로 기준 위치(Sp1)로부터 전방으로 이동하고, 판유리(W)의 끝면 가공 개시 위치의 근방에 위치하는 소정의 제 1 정지 위치(Sp2)(예를 들면, 도 3에 있어서는 흡착 정반(10)에 대하여 전방 또한 오른쪽으로 이반한 위치)에서 정지한다. The rotary grindstone 20 moves forward from the reference position Sp1 relative to the suction table 10 in the direction of movement of the rotary grindstone 20, (For example, in Fig. 3, a position distanced frontward and rightward with respect to the suction platen 10).

제 1 정지 위치(Sp2)에 회전 숫돌(20)이 도달하여 정지하면, 홈 형성 기구부(30)에 있어서의 액추에이터(36)의 신축 로드(36a)가 신장하고, 회전 숫돌(20)의 외주면으로부터 블레이드(34)가 이반한다(스텝 S107). When the rotary grindstone 20 reaches and stops at the first rest position Sp2, the extensible rod 36a of the actuator 36 in the groove forming mechanism portion 30 expands, The blade 34 is transferred (step S107).

이와 같이 해서 행해지는, 스텝 S104의 제 1 복귀 운전 중에는 블레이드(34)가 회전 숫돌(20)의 외주면에 접촉하고 있으므로, 기준 위치(Sp1)를 출발한 회전 숫돌(20)이 제 1 정지 위치(Sp2)에 도달할 때까지의 동안에 있어서, 회전 숫돌(20)의 외주면에 환상의 홈부(20c)가 블레이드(34)에 의해서 형성된다. 본 실시형태에서는 회전 숫돌(20)에 최초로 형성되는 홈부(20c)는 회전 숫돌(20)의 상단부에 형성된다. Since the blade 34 is in contact with the outer circumferential surface of the rotary grindstone 20 during the first return operation in step S104 as described above, the rotary grindstone 20 starting from the reference position Sp1 is at the first rest position An annular groove 20c is formed by the blade 34 on the outer circumferential surface of the rotating grindstone 20 until reaching the spindle Sp2. In the present embodiment, the groove 20c to be initially formed in the rotary grindstone 20 is formed at the upper end of the rotary grindstone 20.

이와 같이, 스텝 S104에 있어서의 제 1 복귀 운전 중에 회전 숫돌(20)의 외주면에 환상의 홈부(20c)를 형성하는 홈 형성 공정이 실시된다. As described above, during the first return operation in step S104, a groove forming step for forming an annular groove 20c on the outer peripheral surface of the rotary grindstone 20 is performed.

또한, 본 실시형태에서는 회전 숫돌(20)의 외주면에 블레이드(34)를 접촉시킨 후에 회전 숫돌(20)의 기준 위치(Sp1)로부터의 이동을 개시하고, 회전 숫돌(20)이 제 1 정지 위치(Sp2)에 도달하여 정지한 후에 회전 숫돌(20)의 외주면으로부터 블레이드(34)를 이반시키고 있지만, 회전 숫돌(20)의 기준 위치(Sp1)로부터의 이동을 개시하면서 회전 숫돌(20)의 외주면에 블레이드(34)를 접촉시키거나, 회전 숫돌(20)이 제 1 정지 위치(Sp2)에 도달하기 전에 회전 숫돌(20)의 외주면으로부터 블레이드(34)를 이반시키거나 하는 것도 가능하다. In this embodiment, after the blade 34 is brought into contact with the outer circumferential surface of the rotary grindstone 20, movement of the rotary grindstone 20 from the reference position Sp1 is started, and the rotary grindstone 20 is moved to the first stop position The rotation of the rotary grindstone 20 is stopped by the rotation of the rotary grindstone 20 after the rotation of the rotary grindstone 20 reaches the reference position Sp2 of the rotary grindstone 20, It is also possible to bring the blade 34 into contact with the rotating grindstone 20 or detach the blade 34 from the outer peripheral surface of the rotating grindstone 20 before the rotary grindstone 20 reaches the first rest position Sp2.

회전 숫돌(20)에 홈부(20c)가 형성되면 끝면 가공 장치(1)는 연마 운전을 실행한다(스텝 S108). When the groove 20c is formed in the rotary grindstone 20, the end face machining apparatus 1 performs the polishing operation (step S108).

연마 운전이 개시되면 회전 숫돌(20)은 홈 형성 기구부(30)와 함께 흡착 정반(10)에 근접하는 방향으로 이동하고, 소정의 가공 개시 위치(Sp3)(예를 들면, 도 3에 있어서는 흡착 정반(10)에 대하여 전방, 또한 우측에 근접한 위치)에 도달하여 정지한다. When the polishing operation is started, the rotary grindstone 20 moves together with the groove forming mechanism 30 in the direction close to the suction platen 10, and moves to a predetermined machining start position Sp3 (for example, To the front and to the right of the base 10) and stops.

즉, 회전 숫돌(20)은 연마 운전의 개시시에 판유리(W)의 끝면의 일단측(즉, 후술하는 바와 같이 판유리(W)의 끝면 가공을 행할 때의 개시 위치가 되는 전단측)의 근방(가공 개시 위치(Sp3))으로 미리 이동된다. That is, the rotary grindstone 20 is located at a position near the one end side of the end face of the plate glass W (that is, the front end side which becomes the start position when processing the end face of the plate glass W as described later) (Machining start position Sp3).

그 후, 도 3에 나타내는 바와 같이 회전 숫돌(20)은 회전 구동을 행하면서 흡착 정반(10)과 상대적으로 가공 개시 위치(Sp3)로부터 후방으로 이동하고, 소정의 제 2 정지 위치(Sp4)(예를 들면, 도 3에 있어서는 흡착 정반(10)에 대하여 후방, 또한 우측에 근접한 위치)에 도달하여 정지한다. 3, the rotary grindstone 20 moves rearward from the machining start position Sp3 relative to the suction platen 10 while rotating, and is moved to a predetermined second stop position Sp4 ( For example, a position close to the suction platen 10 in the backward direction and the right side in Fig. 3).

회전 구동되는 회전 숫돌(20)이 가공 개시 위치(Sp3)로부터 제 2 정지 위치(Sp4)까지 이동하는 동안에 회전 숫돌(20)의 홈부(20c)가 판유리(W)의 각 끝면(예를 들면, 도 3에 있어서는 우측 끝면)의 전단측으로부터 후단측에 걸친 전체 범위에 걸쳐서 접촉하게 되어, 판유리(W)의 끝면 가공이 실시된다. The grooved portion 20c of the rotary grindstone 20 is pressed against each end face of the plate glass W while the rotary grindstone 20 is rotated from the machining start position Sp3 to the second rest position Sp4, (The right end face in Fig. 3) from the front end side to the rear end side, so that the end face machining of the plate glass W is carried out.

판유리(W)의 끝면 가공이 완료되면, 회전 숫돌(20)은 제 2 정지 위치(Sp4)로부터 흡착 정반(10)에 대한 이간 방향으로 이동하고, 다시 기준 위치(Sp1)에 도달하여 정지한다. When the processing of the end face of the plate glass W is completed, the rotary grindstone 20 moves in the separating direction with respect to the suction platen 10 from the second rest position Sp4, reaches the reference position Sp1 again and stops.

회전 숫돌(20)이 기준 위치(Sp1)에서 정지하면, 끝면 가공 장치(1)가 구비하는 판정 수단에 의해서 판유리(W)의 상하 위치와 일치하는 환상의 홈부(20c)(전회의 판유리(W)의 끝면 가공을 실시한 홈부(20c))가 규정의 사용 수명에 도달하고 있는지의 여부의 판단이 실행된다(스텝 S109). When the rotary grindstone 20 stops at the reference position Sp1, the determination means provided in the end surface machining apparatus 1 causes the annular groove 20c (the previous plate glass W (The groove 20c in which the end face machining is performed) has reached the specified service life (step S109).

또한, 이 때 흡착 정반(10)에 있어서는 상기 스텝 S108에 의해서 끝면 가공이 실시된 판유리(W)가 반출되는 한편, 새로운 가공되지 않은 판유리(W)가 소정의 적재 자세에 의해서 흡착 정반(10)의 상면에 적재된다. At this time, in the suction platen 10, the plate glass W subjected to the end face machining is taken out by the step S108, and the new unprocessed plate glass W is taken out from the suction platen 10 by the predetermined stacking posture. As shown in FIG.

그리고, 상기 홈부(20c)가 아직 규정의 사용 수명에 도달하고 있지 않다고 판단되면, 회전 숫돌(20)의 제 2 복귀 운전이 실행된다(스텝 S110). When it is determined that the groove 20c has not yet reached the specified service life, the second return operation of the rotary grindstone 20 is executed (step S110).

제 2 복귀 운전은 회전 숫돌(20)의 외주면에 환상의 홈부(20a)를 형성하는 일 없이 단지 회전 숫돌(20)을 판유리(W)의 끝면 가공 개시 위치의 근방까지 이동시키는 것이다. The second return operation moves only the rotary grindstone 20 to the vicinity of the end surface machining start position of the plate glass W without forming the annular groove portion 20a on the outer peripheral surface of the rotary grindstone 20. [

스텝 S110에 있어서의 제 2 복귀 운전에서는 회전 숫돌(20)의 외주면으로부터 블레이드(34)가 이반한 상태에서 회전 숫돌(20)이 흡착 정반(10)에 대하여 상대적으로 기준 위치(Sp1)로부터 전방으로 이동하여 제 1 정지 위치(Sp2)에서 정지한다. In the second return operation in step S110, the rotary grindstone 20 is moved forward from the reference position Sp1 relative to the suction table 10 in a state where the blade 34 is separated from the outer peripheral surface of the rotary grindstone 20 And stops at the first stop position Sp2.

또한, 제 2 복귀 운전에서는 블레이드(34)가 회전 숫돌(20)의 외주면으로부터 이반하고 있으므로, 회전 숫돌(20)의 외주면에 대한 홈부(20c)의 형성은 행해지 지 않는다. Since the blade 34 is separated from the outer circumferential surface of the rotating grindstone 20 in the second returning operation, the groove 20c is not formed with respect to the outer circumferential surface of the rotating grindstone 20.

회전 숫돌(20)이 제 1 정지 위치(Sp2)에서 정지하면 다시 연마 운전이 개시되고(스텝 S108), 회전 숫돌(20)이 가공 개시 위치(Sp3)로 이동하고, 또한 가공 개시 위치(Sp3)로부터 제 2 정지 위치(Sp4)로 이동하여 새롭게 적재된 가공되지 않은 판유리(W)의 끝면 가공을 행한다. When the rotary grindstone 20 is stopped at the first rest position Sp2, the grinding operation is started again (step S108), the rotary grindstone 20 is moved to the processing start position Sp3, To the second stop position Sp4, and the end face machining of the newly loaded unprocessed plate glass W is performed.

이후, 스텝 S109에서 홈부(20c)가 규정의 사용 수명에 도달하고 있지 않다고 판단될 때까지 제 2 복귀 운전(스텝 S110) 및 연마 운전(스텝 S108)이 반복해서 실행된다. Thereafter, the second return operation (step S110) and the polishing operation (step S108) are repeatedly executed until it is determined in step S109 that the groove 20c does not reach the specified service life.

한편, 스텝 S109에 있어서, 상기 홈부(20c)가 이미 규정된 사용 수명에 도달하고 있다고 판단되면, 상기 판정 수단에 의해서 회전 숫돌(20) 자신이 규정의 사용 수명에 도달하고 있는지의 여부의 판단이 더 실행된다(스텝 S111). On the other hand, if it is determined in step S109 that the groove 20c has reached the predetermined service life, it is determined by the determination unit whether or not the rotary grindstone 20 itself has reached the specified service life (Step S111).

또한, 스텝 S109에서는 미리 설정된 소정의 판유리(W)의 가공 매수의 가공 종료로서, 상기 홈부(20c)의 규정의 사용 수명에 도달한 것으로 판단해도 된다. In addition, in step S109, it may be judged that the predetermined service life of the groove 20c has reached the end of machining of the predetermined number of sheets of plate glass W.

그리고, 회전 숫돌(20) 자신이 아직 규정의 사용 수명에 도달하고 있지 않다고 판단되면, 회전 숫돌(20)은 교체(보다 구체적으로는 사용 수명에 도달한 홈부(20c)를 대신해서 새로운 홈부(20c)를 형성 가능하게 하는 동작)를 실행한다(스텝 S112). When it is determined that the rotating grindstone 20 itself has not yet reached the specified service life, the rotating grindstone 20 is replaced (in more detail, in place of the grooved portion 20c having reached its service life, a new groove portion 20c ) (Step S112).

구체적으로는, 도 2에 나타내는 바와 같이 회전 숫돌(20)은 회전 수단(21)과 함께 회전 축심 방향(본 실시형태에 있어서는 상하 방향)을 따라서 소정의 스트로크분만큼 소정의 방향(본 실시형태에 있어서는 상방)으로 이동하여 정지한다. More specifically, as shown in Fig. 2, the rotary grindstone 20 is rotated in a predetermined direction (in this embodiment, a predetermined amount of stroke) along the rotation axis direction (up and down direction in this embodiment) The upper side) and stops.

이것에 의해, 판유리(W)의 끝면에는 회전 숫돌(20)의 외주면에 있어서의 환상의 홈부(20c)가 형성되어 있지 않은 부분이 대향하게 된다. Thereby, the end surface of the plate glass W is opposed to the portion of the outer peripheral surface of the rotary grindstone 20 where the annular groove 20c is not formed.

이와 같이, 회전 숫돌(20)의 교체는 판유리(W)의 끝면이 사용 수명에 도달한 홈부(20c)와 대향하고 있는 상태로부터 회전 숫돌(20)의 외주면에 있어서의 환상의 홈부(20c)가 형성되어 있지 않은 부분과 대향하는 상태로 스위칭되는 동작이다. As described above, the rotation grindstone 20 is replaced by the annular groove portion 20c on the outer peripheral surface of the rotary grindstone 20 from the state in which the end face of the plate glass W is opposed to the groove portion 20c reaching the service life And is opposed to the portion where it is not formed.

그 후, 회전 숫돌(20)의 교체를 종료한 끝면 가공 장치(1)는, 도 4에 나타내는 바와 같이 제 1 복귀 운전(스텝 S104) 이후의 동작을 다시 반복하여 회전 숫돌(20)의 외주면 새로운 홈부(20c)를 형성한 후, 판유리(W)의 끝면 가공을 실시하게 된다. 4, the operation after the first return operation (step S104) is repeated again, and the outer peripheral surface of the rotating grindstone 20 After the groove 20c is formed, the end face of the plate glass W is processed.

이 경우, 스텝 S112의 교체 후에 형성되는 홈부(20c)는 전회 형성된 홈부(20c)보다 하방에 형성된다. In this case, the groove 20c formed after the replacement of the step S112 is formed below the groove 20c formed previously.

또한, 스텝 S111에 있어서, 회전 숫돌(20) 자신이 이미 규정된 사용 수명에 도달하고 있다고 판단되면, 끝면 가공 장치(1)의 자동 운전이 정지된다(스텝 S113). If it is determined in step S111 that the rotating grindstock 20 itself has already reached the specified service life, the automatic operation of the end face machining apparatus 1 is stopped (step S113).

이것에 의해, 끝면 가공 장치(1)에 의한 판유리(W)의 끝면 가공은 종료된다. Thus, the end face machining of the plate glass W by the end face machining apparatus 1 is completed.

또한, 계속해서 끝면 가공 장치(1)에 의해서 판유리(W)의 끝면 가공을 행하는 경우에는 상기 스텝 S102 이후의 각 스텝을 순서대로 실행하게 된다. 즉, 사용 수명에 도달한 회전 숫돌(20)을 홈부(20c)가 형성되지 않은 새로운 회전 숫돌(20)로 교환한 후, 끝면 가공 장치(1)의 자동 운전을 재개한다. When the end face machining of the plate glass W is to be performed by the machining apparatus 1, the steps after the step S102 are executed in order. That is, after the rotary grindstone 20 which has reached the service life is replaced with a new rotary grindstone 20 on which the grooves 20c are not formed, the automatic operation of the end face machining apparatus 1 is resumed.

이와 같이, 본 실시형태의 끝면 가공 장치(1)에 있어서는 회전 숫돌(20)에 의한 판유리(W)의 끝면의 가공(구체적으로는 연마)을 실행하는 가공 공정(스텝 S108)과, 후속하는 판유리(W)(즉, 이어서 끝면 가공이 행해지는 판유리(W))의 끝면 가공(연마 가공)의 준비를 행하는 준비 공정(예를 들면, 제 1 및 제 2 복귀 운전을 실행하는 스텝 S104, 스텝 S110 등)을 교대로 실시하는 것으로 하고 있으며, 홈 형성 기구부(30)에 의한 회전 숫돌(20)의 외주면으로의 홈부(20c)의 형성은 상기 준비 공정의 실시 중(예를 들면, 본 실시형태에 있어서는 스텝 S104의 실행시)에 실행하는 것으로 하고 있다. As described above, in the end face machining apparatus 1 of the present embodiment, the machining step (step S108) of performing machining (specifically polishing) of the end face of the plate glass W by the rotating grindstone 20 (step S108) (Step S104, step S110 for executing the first and second return operations, for example) for preparing the end face machining (polishing processing) of the wafer W (that is, The formation of the groove 20c on the outer peripheral surface of the rotary grindstone 20 by the groove forming mechanism portion 30 is performed during the preparation step (for example, in the present embodiment) At the time of execution of step S104).

따라서, 본 실시형태의 끝면 가공 장치(1)에 의하면, 회전 숫돌(20)의 외주면에 환상의 홈부(20c)를 형성하기 위한 새로운 스텝을 별도 설치할 필요도 없고, 타임 로스에 의한 생산 효율의 저하를 초래하는 일도 없다. Therefore, according to the end surface machining apparatus 1 of the present embodiment, there is no need to separately provide a new step for forming the annular groove 20c on the outer circumferential surface of the rotary grindstone 20, .

또한, 본 실시형태에 있어서의 끝면 가공 장치(1)는 스텝 S104의 제 1 복귀 운전시에 있어서의 일련의 스텝 S105, 스텝 S106, 스텝 S107을 통해서 회전 숫돌(20)의 외주면에 미리 환상의 홈부(20c)를 형성한 후에 판유리(W)의 끝면 가공을 행하는 것으로 하고 있기 때문에, 가공된 판유리(W)의 품질 향상을 도모할 수 있다. The end face machining apparatus 1 according to the present embodiment is configured so that the circumferential surface of the rotary grindstone 20 is formed in advance through a series of steps S105, S106, and S107 in the first return operation in step S104, The processing of the end face of the plate glass W is carried out after the step 20c is formed. Therefore, the quality of the processed plate glass W can be improved.

그런데, 상술한 종래의 끝면 가공 장치(101)(도 7 참조)에 의해서 판유리(W)의 끝면 가공을 행할 때의 끝면 가공 방법에 대해서는 본 실시형태의 끝면 가공 장치(1)에 의한 끝면 가공 방법과 대략 동일한 스텝으로 구성되는 한편, 자동 운전을 기동하기 이전의 각 스텝에 대해서 크게 상위하다. The end face machining method when the end face machining of the plate glass W is performed by the above-described conventional end face machining apparatus 101 (see Fig. 7) is not limited to the end face machining method by the end face machining apparatus 1 of this embodiment And the steps prior to starting the automatic operation are largely different from each other.

이하, 종래의 끝면 가공 장치(101)에 의해서 판유리(W)의 끝면 가공을 행할 때의 끝면 가공 방법에 대해서 도 8 및 도 9를 이용하여 설명한다. Hereinafter, a method of machining the end face of the plate glass W by the conventional end face machining apparatus 101 will be described with reference to Figs. 8 and 9. Fig.

또한, 이하의 설명에 있어서는 편의상, 도 9의 상하 방향을 끝면 가공 장치(101)의 상하 방향으로 규정하여 기술한다. In the following description, for the sake of convenience, the vertical direction of Fig. 9 is defined in the vertical direction of the machining apparatus 101 when it is terminated.

먼저 처음으로, 도 8에 나타내는 바와 같이 끝면 가공 장치(101)의 장치 바깥에 있어서 미리 복수의 환상의 홈부(120a·120a…)를 회전 숫돌(120)의 외주면에 형성한다(스텝 S201). First, as shown in Fig. 8, a plurality of annular grooves 120a, 120a, ... are formed on the outer circumferential surface of the rotary grindstone 120 in advance outside the apparatus of the end face machining apparatus 101 (step S201).

또한, 그 한쪽에 있어서 흡착 정반(도시하지 않음)의 상면에 판유리(W)를 소정의 적재 자세에 의해서 적재한다. Further, on one side thereof, a plate glass W is stacked on a top surface of an adsorption tablet (not shown) by a predetermined loading posture.

그리고, 복수의 환상의 홈부(120a·120a…)를 형성 종료한 회전 숫돌(120)을 끝면 가공 장치(101)의 회전 수단(121)에 장착한 후(스텝 S202), 판유리(W)의 끝면과 대향하는 환상의 홈부(120a)의 상하 위치가, 해당 판유리(W)의 상하 위치와 일치하도록 회전 숫돌(120)의 상하 위치를 조정한다(스텝 S203). After the rotating grindstone 120 in which the annular grooves 120a are formed is mounted on the rotating means 121 of the machining apparatus 101 (Step S202), the end surface of the plate glass W The upper and lower positions of the rotary grindstone 120 are adjusted so that the upper and lower positions of the ring-shaped grooves 120a opposed to the rotary shaft 120a coincide with the upper and lower positions of the plate glass W (step S203).

회전 숫돌(120)의 장착이 종료된 후, 끝면 가공 장치(101)의 자동 운전을 기동하면(스텝 S204), 회전 숫돌(120)은 홈 형성 기구부(도시하지 않음)를 따라 복귀 운전을 실행한다(스텝 S205). When the automatic operation of the machining apparatus 101 is started (step S204) after the rotary grindstone 120 is mounted, the rotary grindstone 120 performs a return operation along the groove forming mechanism (not shown) (Step S205).

복귀 운전에서는 회전 숫돌(120)은 기준 위치(Sp1)로부터 제 1 정지 위치(Sp2)로 이동하여 정지한다. In the return operation, the rotary grindstone 120 moves from the reference position Sp1 to the first rest position Sp2 and stops.

그 후, 연마 운전이 실행되고(스텝 S206), 회전 숫돌(120)이 제 1 정지 위치(Sp2)로부터 이동을 개시하고, 가공 개시 위치(Sp3)에 도달하여 정지한다. Thereafter, the polishing operation is executed (step S206), the rotary grindstone 120 starts to move from the first stop position Sp2, reaches the machining start position Sp3, and stops.

가공 개시 위치(Sp3)에서 정지하면, 회전 숫돌(120)은 회전 수단(121)에 의한 회전 구동을 개시한다. When the rotation grindstone 120 stops at the machining start position Sp3, rotation of the grindstone 120 is started by the rotation means 121. [

구체적으로는 상술한 본 실시형태의 끝면 가공 장치(1)에 있어서의 스텝 S108과 마찬가지로, 회전 숫돌(120)은 회전 구동을 행하면서 가공 개시 위치(Sp3)로부터 제 2 정지 위치(Sp4)로 이동하여 정지한다. Concretely, like the step S108 in the end surface machining apparatus 1 of the present embodiment described above, the rotating grindstone 120 is moved from the machining start position Sp3 to the second stop position Sp4 while performing rotational drive And stops.

이것에 의해, 회전 숫돌(120)은 판유리(W)의 각 끝면의 전단으로부터 후단에 걸친 전체 범위에 걸쳐서 회전 구동하면서 환상의 홈부(120a)를 통해서 접촉하면서 이동하게 되어 판유리(W)의 끝면 가공이 실시된다. As a result, the rotary grindstone 120 moves while contacting the annular grooves 120a while being driven to rotate over the entire range from the front end to the rear end of each end face of the plate glass W, .

제 2 정지 위치(Sp4)에 도달한 회전 숫돌(120)은 다시 기준 위치(Sp1)로 이동하여 정지한다. The rotary grindstone 120 which has reached the second rest position Sp4 again moves to the reference position Sp1 and stops.

회전 숫돌(120)이 다시 기준 위치(Sp1)에서 정지하면, 판정 수단에 의해서 판유리(W)의 상하 위치와 일치하는 환상의 홈부(120a)가 규정의 사용 수명에 도달하고 있는지의 여부의 판단이 실행된다(스텝 S207). When the rotating grindstone 120 stops again at the reference position Sp1, it is judged by the judging means whether or not the annular groove portion 120a coinciding with the vertical position of the plate glass W reaches the specified service life (Step S207).

그리고, 상기 환상의 홈부(120a)가 아직 규정의 사용 수명에 도달하고 있지 않다고 판단되면, 회전 숫돌(120)은 상술한 스텝 S205 이후의 동작을 다시 반복하게 된다. If it is determined that the annular groove 120a has not yet reached the specified service life, the rotating grindstone 120 repeats the above-described operation after step S205.

한편, 상기 환상의 홈부(120a)가 이미 규정된 사용 수명에 도달하고 있다고 판단되면, 판정 수단에 의해서 회전 숫돌(120) 자신이 규정의 사용 수명에 도달하고 있는지의 여부의 판단이 더 실행된다(스텝 S208). On the other hand, if it is determined that the annular groove 120a has reached the predetermined service life, the determination means further determines whether or not the rotating grindstones 120 themselves have reached the specified service life Step S208).

그리고, 회전 숫돌(120) 자신이 아직 규정의 사용 수명에 도달하고 있지 않다고 판단되면, 회전 숫돌(120)은 교체(보다 구체적으로는, 사용 수명에 도달한 홈부(120a)를 대신해서 새로운 홈부(120a)를 사용 가능하게 하는 동작)를 실행한다(스텝 S209). When it is determined that the rotating grindstone 120 itself has not yet reached the specified service life, the rotating grindstone 120 is replaced (more specifically, a new groove portion 120a) is enabled (step S209).

구체적으로는, 도 9에 나타내는 바와 같이 회전 숫돌(120)은 회전 수단(121)과 함께 소정의 스트로크분만큼 수직 방향으로 상승하여 정지한다. Concretely, as shown in Fig. 9, the rotary grindstone 120 is lifted in the vertical direction by a predetermined stroke together with the rotating means 121 and stopped.

이것에 의해, 회전 숫돌(120)의 외주면에 있어서 판유리(W)의 끝면의 상하 위치와 일치하는 개소에는 사용하지 않는 환상의 홈부(120a)가 위치하게 된다. As a result, an annular groove 120a which is not used is located at a position corresponding to the vertical position of the end face of the plate glass W on the outer peripheral surface of the rotary grindstone 120. [

그리고, 교체를 종료한 회전 숫돌(120)은 도 8에 나타내는 바와 같이 상술한 스텝 S202 이후의 동작을 다시 반복하게 된다. Then, the rotating grindstone 120, which has completed the replacement, repeats the operations of step S202 and the subsequent steps as shown in Fig.

한편, 회전 숫돌(120) 자신이 이미 규정된 사용 수명에 도달하고 있다고 판단되면(즉, 사용하지 않은 환상의 홈부(120a)가 존재하지 않는다고 판단되면), 끝면 가공 장치(101)의 자동 운전이 정지된다(스텝 S210). On the other hand, if it is determined that the rotating grindstone 120 itself has reached the predetermined service life (that is, it is determined that the unused groove 120a is not present), the automatic operation of the end face machining apparatus 101 (Step S210).

이것에 의해, 끝면 가공 장치(101)에 의한 판유리(W)의 끝면 가공은 종료된다. Thus, the end face machining of the plate glass W by the end face machining apparatus 101 is completed.

또한, 계속해서 끝면 가공 장치(101)에 의해서 판유리(W)의 끝면 가공을 행하는 경우에는, 다시 스텝 S201 이후의 각 스텝을 순서대로 실행하게 된다. When the end face machining of the plate glass W is to be performed by the machining apparatus 101, the steps after step S201 are executed again in order.

이상과 같이, 종래의 끝면 가공 장치(101)에 있어서는 회전 숫돌(120) 자신이 이미 규정된 사용 수명에 도달하고 있는 경우, 상술한 스텝 S202에서 사용되지 않은 회전 숫돌(120)로 교환하는 교환 작업을 실행할 때마다, 스텝 S203에서 회전 숫돌(120)의 상하 위치를 조정하지 않으면 안된다. As described above, in the conventional end face machining apparatus 101, when the rotating grindstones 120 themselves have already reached the specified service life, the exchange operation for exchanging with the rotating grindstones 120 which have not been used in the above-described step S202 The upper and lower positions of the rotating grindstones 120 must be adjusted in step S203.

이것에 대하여, 본 실시형태의 끝면 가공 장치(1)에 있어서는, 도 4에 나타내는 바와 같이 스텝 S101에 있어서 판유리(W)의 상하 위치와 일치하도록 블레이드(34)의 상하 위치를 한번 조정할 뿐이며, 그 후 회전 숫돌(20)의 교환 작업을 몇번 행했다고 해도 해당 회전 숫돌(20)의 상하 위치를 조정할 필요는 없기 때문에 타임 로스가 생겨 생산 효율이 저하되는 일도 없다. On the contrary, in the end face machining apparatus 1 of the present embodiment, as shown in Fig. 4, the upper and lower positions of the blade 34 are adjusted only once so as to coincide with the vertical position of the plate glass W in step S101, There is no need to adjust the vertical position of the rotary grindstone 20, so that a time loss is caused and the production efficiency is not lowered.

[검증 실험] [Verification experiment]

이어서, 본 실시형태에 있어서의 끝면 가공 장치(1)에 있어서, 홈 형성 기구부(30)의 유효성을 판단하기 위해서 본 발명자들이 행한 검증 실험에 대해서 도 1을 이용하여 설명한다. Next, a verification experiment performed by the present inventors in order to judge the effectiveness of the groove forming mechanism 30 in the end face machining apparatus 1 according to the present embodiment will be described with reference to Fig.

먼저 처음으로, 본 발명자들은 본 발명의 실시형태의 샘플로서 외경 치수가 150[mm]인 원반 형상의 회전 숫돌(20)을 준비하고, 해당 회전 숫돌(20)을 사용하지 않은 상태(외주면에 환상의 홈부(20c)(도 2 참조)가 아직 형성되어 있지 않은 상태)인 채 끝면 가공 장치(1)에 장착했다. First, the inventors of the present invention prepared a disk-shaped rotary grindstone 20 having an outer diameter dimension of 150 mm as a sample of the embodiment of the present invention, and in a state where the rotary grindstone 20 is not used (Not shown in Fig. 2) of the end face machining apparatus 1, as shown in Fig.

또한, 본 발명자들은 홈 형성 기구부(30)의 회동 암(31)에 있어서, 회동 샤프트(32)와 바이어싱 수단(35)의 이간 거리(도 1에 있어서의 치수 a) 및 회동 샤프트(32)와 블레이드(34)의 이간 거리(도 1에 있어서의 치수 b)가 모두 30[mm]로 되도록 조정했다. The present inventors have also found that the distance between the pivoting shaft 32 and the biasing means 35 (the dimension a in Fig. 1) and the distance between the pivoting shaft 32 and the pivoting shaft 32 in the pivoting arm 31 of the groove- And the distance between the blade 34 and the blade 34 (the dimension b in Fig. 1) were both 30 [mm].

그리고, 본 발명자들은 회전 숫돌(20)을 회전 구동시키면서 해당 회전 숫돌(20)의 외주면에 블레이드(34)를 소정의 시간 접촉시켰다. The present inventors rotated the rotating grindstone 20 and brought the blade 34 into contact with the outer peripheral surface of the rotating grindstone 20 for a predetermined period of time.

이 때의 여러 조건으로서 회전 숫돌(20)의 회전수를 3,820[rpm]으로 하고, 회전 숫돌(20)의 외주면에의 블레이드(34)의 압박력을 3~4[N]로 하고, 또한 블레이드(34)의 접촉 시간을 3[s]로 하여, 회전 숫돌(20)의 외주면에 환상의 홈부(20c)를 형성하는 것으로 했다.The number of revolutions of the rotary grindstone 20 is set to 3,820 rpm and the pressing force of the blade 34 to the outer peripheral surface of the rotary grindstone 20 is set to 3 to 4 N, 34) is set to 3 [s], and an annular groove 20c is formed on the outer circumferential surface of the rotary grindstone 20.

이상의 결과, 본 발명자들은 회전 숫돌(20)의 외주면에 있어서, 홈 깊이 0.2~0.3[mm]로 이루어지는 환상의 홈부(20c)가 안정적으로 형성되는 것을 확인했다. As a result, the present inventors confirmed that an annular groove portion 20c having a groove depth of 0.2 to 0.3 [mm] on the outer circumferential surface of the rotary grindstone 20 is formed stably.

또한, 본 발명자들은 이 회전 숫돌(20)을 이용하여 0.3~0.5[mm]의 두께 치수로 이루어지는 판유리(W)의 끝면 가공을 행한 결과, 홈부(20c)의 형성 후에 미세 조정 등이 필요 없었던 것을 확인함과 아울러, 코너부 부근의 플러터링의 발생을 억제하면서 각 끝면의 전단으로부터 후단에 걸친 전체 범위에 걸쳐서 판유리(W)의 끝면 가공을 행하는 것이 가능한 것을 확인했다. The inventors of the present invention have also found that when the end milling of the plate glass W having a thickness of 0.3 to 0.5 [mm] is performed by using the rotary grindstone 20, fine adjustment and the like are not necessary after the formation of the groove portion 20c It was confirmed that it is possible to process the end face of the plate glass W over the entire range from the front end to the rear end of each end face while suppressing the occurrence of fluttering near the corner portion.

[끝면 가공 장치(201)(다른 실시형태)] [End face machining apparatus 201 (another embodiment)]

이어서, 다른 실시형태에 있어서의 끝면 가공 장치(201)의 구성에 대해서 도 5를 이용하여 설명한다. Next, the configuration of the end face machining apparatus 201 in another embodiment will be described with reference to Fig.

또한, 이하의 설명에 있어서는 편의상, 도 5에 있어서의 화살표 A의 방향을 끝면 가공 장치(201)의 전방으로 규정하여 기술한다. In the following description, the direction of the arrow A in Fig. 5 will be defined as the forward direction of the machining apparatus 201 when it is finished.

다른 실시형태에 있어서의 끝면 가공 장치(201)는 홈부가 형성되지 않은 상태의 회전 숫돌(220)을 회전 수단(도시하지 않음)에 장착한 후에, 회전 숫돌(220)의 외주면에 둘레 방향을 따르는 환상의 홈부(도시하지 않음)를 형성하는 점에 대해서 상술한 끝면 가공 장치(1)와 공통되는 한편, 홈 형성 기구부(30)(도 1 참조)와 같은 상기 환상의 홈부를 형성하기 위한 수단이 구비되어 있지 않은 점에 대해서 끝면 가공 장치(1)와 상위하다. The end face machining apparatus 201 according to another embodiment is characterized in that after the rotary grindstone 220 in a state in which the grooves are not formed is mounted on the rotating means (not shown) (Not shown) for forming an annular groove portion such as the groove forming mechanism portion 30 (see Fig. 1) is provided on the surface of the end surface machining apparatus 1, And is different from the end face machining apparatus 1 in that it is not provided.

즉, 끝면 가공 장치(201)에 있어서는 판유리(W)의 끝면을 가공함으로써 회전 숫돌(220)의 외주면에 환상의 홈부를 형성하는 구성으로 되어 있다. That is, in the end surface machining apparatus 201, an end surface of the plate glass W is processed to form an annular groove portion on the outer circumferential surface of the rotary grindstone 220.

구체적으로는, 끝면 가공 장치(201)에 있어서 회전 숫돌(220)은 아직 환상의 홈부가 형성되어 있지 않은 상태인 채 판유리(W)의 끝면 가공에 사용되고, 판유리(W)의 끝면을 연마함으로써 회전 숫돌(220)의 외주면에 환상의 홈부가 형성된다. Specifically, in the end surface finishing apparatus 201, the rotating grindstones 220 are used for machining the end faces of the plate glass W while the annular grooves are not yet formed, and by polishing the end faces of the plate glass W, An annular groove portion is formed on the outer peripheral surface of the grindstone (220).

그리고, 회전 숫돌(220)에 의한 판유리(W)의 끝면의 연마에 따라, 환상의 홈부의 깊이가 증대하여 회전 숫돌(220)의 연마 능력이 저하되면, 상기 환상의 홈부가 사용 수명에 도달한 것으로 해서 회전 숫돌(220)은 소정의 스트로크분만큼 상승한다. When the end face of the plate glass W is polished by the rotary grindstone 220, the depth of the annular groove portion increases to lower the polishing ability of the rotary grindstone 220. When the annular groove portion reaches the service life The rotary grindstone 220 is lifted by a predetermined stroke.

이것에 의해, 회전 숫돌(220)의 외주면(보다 구체적으로는, 회전 숫돌(220)의 외주면에 있어서의 판유리(W)의 끝면과 접촉되는 부위)에 있어서는 다시 환상의 홈부가 형성되지 않은 상태로 된다. As a result, in the circumferential surface of the rotary grindstone 220 (more specifically, the portion that comes into contact with the end surface of the plate glass W on the outer circumferential surface of the rotary grindstone 220) do.

그 후, 판유리(W)의 끝면을 연마함으로써 회전 숫돌(220)의 외주면에 다시 새로운 환상의 홈부가 형성된다. Thereafter, a new annular groove portion is formed on the outer peripheral surface of the rotary grindstone 220 by polishing the end face of the plate glass W.

그런데, 도 6에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 아직 환상의 홈부가 형성되어 있지 않은 회전 숫돌(220)에 의해서 판유리(W)의 끝면 가공을 행했을 경우, 판유리(W)의 끝면 가공의 개시 직후에 있어서 판유리(W)의 코너부 부근이 회전 구동하는 회전 숫돌(220)의 외주면에 접하여 튕겨 날려져서 플러터링을 발생시킬 우려가 있다. 6, when the end face of the plate glass W is machined by the rotary grindstone 220 which is not yet provided with an annular grooved portion, for example, immediately after the start of the end face machining of the plate glass W The vicinity of the corner of the plate glass W may bounce off the outer circumferential surface of the rotary grindstone 220 to be rotationally driven and cause fluttering.

그 결과, 판유리(W)의 코너부 부근을 균일하게 연마하는 것이 곤란해지는 한편, 회전 숫돌(220) 자신이 판유리(W)의 코너부에 의해서 파손될 우려도 있어 판유리(W)의 품질 저하를 초래할 우려가 있었다. As a result, it is difficult to uniformly polish the vicinity of the corner of the plate glass W, while the rotating grinding stone itself may be damaged by the corner of the plate glass W, resulting in deterioration of the quality of the plate glass W There was concern.

이러한 점에서, 본 실시형태에 있어서의 끝면 가공 장치(201)에 있어서는, 도 5(b)에 나타내는 바와 같이 회전 숫돌(220)의 교환 작업이나 교체의 종료 직후에 있어서의 최초의 1장째의 판유리(W)로서 더미의 판유리(W)를 이용하는 것으로 하고, 이 더미의 판유리(W)의 끝면 가공을 행할 때에 한해 해당 판유리(W)의 앞측(화살표 A의 방향측)의 코너부보다 후방으로 거리 Z분만큼 이반한 위치로부터 후방을 향하여 끝면 가공을 행하는 것으로 하고 있다. 이것에 의해, 회전 숫돌(220)의 외주면에 새로운 환상의 홈부(도시하지 않음)가 형성된다. 상술의 거리 Z는 1~100mm가 바람직하고, 30~40mm가 바람직하다. In this regard, in the end face machining apparatus 201 according to the present embodiment, as shown in Fig. 5 (b), the first grinding wheel 220, It is preferable to use a dummy glass plate W as the dummy plate glass W and to adjust the distance to the rear side of the corner portion on the front side of the plate glass W Z is machined toward the rear side from the position opposite to the rear end. As a result, a new annular groove (not shown) is formed on the outer circumferential surface of the rotary grindstone 220. The above-mentioned distance Z is preferably 1 to 100 mm, more preferably 30 to 40 mm.

그리고, 도 5(a)에 나타내는 바와 같이 2장째 이후의 판유리(W)에 대해서는 앞측의 코너부를 제외하지 않고 끝면 전체에 걸쳐서 끝면 가공을 행하는 제어로 하고 있다. As shown in Fig. 5 (a), the second and subsequent plate glasses W are controlled so as to finish the end faces over the entire end surface without excluding the front corner portion.

이와 같이, 판유리(W)의 끝면의 양단부(예를 들면, 본 실시형태에 있어서는 전단부)를 제외한 영역을 끝면 가공함으로써 회전 숫돌(220)의 외주면에 환상의 홈부를 형성하는 제어 운전이 행해지는 끝면 가공 장치(201)에 의하면, 홈 형성 기구부(30)를 생략하는 만큼, 설비 비용의 저감화를 도모할 수 있음과 아울러, 예를 들면 회전 숫돌(220)의 교환 작업이나 교체의 종료 후의 2장째 이후의 판유리(W)에 대하여 회전 숫돌(220)에 새롭게 형성된 환상의 홈부에 의해서 판유리(W)의 코너부 부근의 플러터링의 발생을 억제하면서 판유리(W)의 끝면 가공을 행하는 것이 가능해져서, 가공 종료 후의 판유리(W)의 품질 향상을 도모할 수 있다. In this manner, a control operation is performed in which an annular groove is formed on the outer circumferential surface of the rotary grindstone 220 by machining the end surface of the end surface of the plate glass W except for both end portions (for example, the front end portion in this embodiment) According to the end surface machining apparatus 201, it is possible to reduce the equipment cost by omitting the groove forming mechanism section 30, and at the same time, for example, It is possible to process the end face of the plate glass W while suppressing the occurrence of fluttering near the corner of the plate glass W by the annular groove portion newly formed in the rotary grindstone 220 with respect to the subsequent plate glass W, It is possible to improve the quality of the plate glass W after the completion of the processing.

또한, 끝면 가공 장치(1)에 있어서도 미리 홈 형성 기구부(30)에서 홈부(20c)를 형성하기 때문에 판유리(W)의 코너부 부근의 플러터링의 발생을 억제하면서 판유리(W)의 끝면 가공을 행하는 것이 가능해져서 가공 종료 후의 판유리(W)의 품질 향상을 도모할 수 있다. Since the grooved portion 20c is formed in the groove forming mechanism portion 30 in advance in the end face machining apparatus 1 as well, the end face machining of the plate glass W can be performed while suppressing the occurrence of fluttering near the corner portion of the plate glass W It is possible to improve the quality of the plate glass W after the completion of the processing.

(산업상 이용가능성) (Industrial applicability)

본 발명에 의한 판형상물의 끝면 가공 장치는, 예를 들면 플랫 패널 디스플레이나 스마트폰 등에 사용되는 얇은 판유리의 끝면을 착탈 가능한 회전 숫돌의 외주면에 의해서 연마하기 위한 기술로서 이용할 수 있다. The end face machining apparatus of the present invention can be used as a technique for polishing the end face of a thin plate glass used for a flat panel display, a smart phone, or the like, by the outer circumferential surface of a detachable rotary grindstone.

20: 회전 숫돌 20c: 홈부
30: 홈 형성 기구부(홈 형성 수단) 34: 블레이드
35: 바이어싱 수단 36: 액추에이터
W: 판유리(판형상물)20: rotating wheel 20c:
30: groove forming mechanism (groove forming means) 34: blade
35: Biasing means 36: Actuator
W: Plate glass (plate material)

Claims

An end face machining device for machining an end face of a plate-like object by an outer circumferential face of a rotary grindstone detachable from a rotating means,
After the rotating grindstone in a state in which the grooves are not formed is mounted on the rotating means,
And an annular groove along the circumferential direction is formed on the outer circumferential surface of the rotary grindstone.

The method according to claim 1,
The end surface machining device includes groove forming means for forming an annular groove portion along the circumferential direction on the outer circumferential surface of the rotary grindstone,
Wherein the groove forming means is located at a position corresponding to the end surface of the plate-like object and the groove portion is formed on the outer circumferential surface of the rotary grindstone.

3. The method of claim 2,
The end face machining device alternately carries out a machining step of machining the end face of the plate material by the rotary grindstone and a preparation step of preparing the subsequent end face machining of the plate material,
Wherein the grooved portion is formed with respect to the outer circumferential surface of the rotary grindstone by the groove forming means during the preparation step.

The method according to claim 2 or 3,
Wherein the groove forming means includes a blade for forming the annular groove portion on the outer circumferential surface of the rotary grindstone at a position corresponding to the end surface of the plate shaped article and a contact position for contacting the blade with the outer circumferential surface of the rotary grindstone And a switching means capable of being switched to an intermittent position which is separated from the outer circumferential surface of the rotary grindstone.

The method according to claim 1,
And the groove portion is formed by machining the end surface of the plate-shaped article.

6. The method according to claim 1 or 5,
And the groove portion is formed by machining a region except for both end portions of the end face of the plate-form article.

7. The method according to any one of claims 1 to 6,
Wherein the rotary grindstone is provided so as to be movable along the direction of the rotation axis.