KR20170039704A - 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템과 패키징 방법 - Google Patents

레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템과 패키징 방법 Download PDF

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레일리 챙
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상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트 컴퍼니 리미티드
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템과 패키징 방법은, 레이레이저 장치(1)가 발사한 레이저가 레이저 스캐닝 유닛(4)을 통하여 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지 상에 투사되어 가열을 진행하고, 상기 레이저는 신속하게 주기성 스캐닝을 진행할 수 있으며, 정확하게 동기적 패키징하는 효과를 실현할 수 있어 온도장의 균일성 및 수율을 향상시키는 목표를 달성할 수 있으며, 동시에, 패키징 이미지의 다양화를 실현한다. 추가적으로, 포틀 프레임(3) 상에 하나 또는 복수 개의 레이저 스캐닝 유닛(4)을 설정하고, 스테핑 방식으로 레이저 스캐닝 유닛(4)을 이끌어 이동시켜, 큰 사이즈의 패키징하고자 하는 밀봉 율리 패키지에 대하여 영역 패키징을 진행 또는 동시에 복수 개의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지에 대하여 패키징을 진행할 수 있어 수율을 향상시킬 수 있다.

Description

레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템과 패키징 방법{PACKAGING SYSTEM AND PACKAGING METHOD FOR LASER-SEALED GLASS PACKAGE}
본 발명은 OLED 패키징 분야에 관한 것으로, 특히 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템과 패키징 방법에 관한 것이다.
최근, OLED(Organic Light-Emitting Diode, 유기 발광 다이오드)는 자가 발광, 간단한 구조, 초슬림화, 빠른 응답속도, 높은 색채 대비도, 넓은 시각, 낮은 전력 소모 및 플렉시블 디스플레이의 구현이 가능한 등 우월한 특성으로 인해 이미 패널 디스플레이와 조명 분야의 중요한 발전방향으로 되었다. OLED 기기를 놓고 볼 때, 외부 산소기체와 수증기의 침입을 차단하는 것이 매우 중요하다. 왜냐하면, 수증기와 산소기체가 침입할 경우, OLED 기기 내에 음극 산화, 스트립핑, 유기층 결정 등 효과가 발생해 기기의 노화를 앞당기거나 훼손시키며 흔히 볼 수 있는 현상으로는 블랙 스폿, 화소 축소(pixel shrinkage)과 광 강도 감쇠이다. 업계의 표준에 따르면, 상용화 OLED제품은 반드시 적어도 작동 수명 10000시간, 저장 수명은 적어도 50000시간의 요구에 도달해야 한다. 이는 수증기 침투율(WVTR)이 10-6g/m2/day보다 작고, 산소 기체 투과율(OTR)이 10-5cc/bar/m2/day보다 작으며 물산소에 대한 침투율 요구는 LCD(Liquid Crystal Display, 액정 디스플레이)보다 높을 것을 요구하기 때문에 OLED 소자를 패키징하는 제조기술 및 패키징 재료의 개발은 전반 OLED 기술 중에서 핵심적인 중요 지위를 차지한다.
현재 알려진 OLED 기기 패키징 기술에는 주로 UV접착제 커버식 밀봉, 필름 패키징, 유리 재료 레이저 밀봉 등 3가지가 있다. 그 중, 유리 재료 레이저 밀봉은 신규 개발된 OLED 패키징 공정이다. 이의 기본원리는 다음과 같다. 패키징 과정에서, 반사경, 렌즈 또는 광섬유로 구성된 광로 시스템을 통하여, 레이저가 발생한 빔을 패키징하고자 하는 영역에 포커싱시켜 열 작용 영역을 형성한다. 열 작용 영역 중의 패키징 솔더 - 유리 재료(frit)는 연화되고 융해되어 상하 두 개의 유리 기판이 한데 접합되게 하여 기밀 밀봉을 형성한다.
현재 레이저 가열 유리 재료 패키징 OLED에 사용되는 기술 구현방안은 순서형 윤곽선 스캐닝 패키징과 동기 패키징이다. 소위의 순서형 윤곽선 스캐닝 패키징이란, 성형 후 레이저빔이 일정한 출력으로 분포되어 수직 집광되고, 미리 고화된 frit을 따라 패키징하고자 하는 윤곽선을 따라 상대적으로 운동하여 1바퀴 스캐닝하며, frit윤곽선 상의 각 점을 frit 연화점의 온도이상으로 가열시키고 순차적으로 냉각 본딩하여 패키징을 완성한다. 그러나, 순서형 윤곽선 스캐닝 패키징은 유리 재료의 온도가 불균일한 특성이 있어 패키징 효과가 좋지 않다.
소위 동적 패키징이란, 스티치 또는 공간 광 조절기(예를 들어, DOE 또는 MMA등)를 통하여 레이저빔이 frit 윤곽선과 일치한 이차원 광학 이미지로 성형되도록 하여, 이를 전체 패키징 층의 윤곽선에 커버되어 frit 패키징 윤곽선이 동시에 연화점 온도 이상으로 가열되도록 함으로써, 냉각 접착하여 함께 패키징을 완성한다. 그러나, 동기 패키징의 패키징 공정이 비교적 복잡하여 실현하기 어려우며 수율이 비교적 낮다.
본 발명의 목적은, 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템과 패키징 방법을 제공하기 위한 것으로, 온도장의 균일성을 향상시키고 수율을 향상하기 위한 것이다.
상기 목적을 실현하기 위하여, 본 발명은 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템을 제기하는 것으로, 상기 시스템은 레이저 장치, 포틀 프레임 및 상기 포틀 프레임 상에 설치되는 적어도 하나의 레이저 스캐닝 유닛을 포함하고, 각 상기 적어도 하나의 레이저 스캐닝 유닛은 상기 레이저 장치가 발사한 레이저를 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지 상에 투사하여 하나의 대응되는 스캐닝 패키징 영역을 형성할 수 있으며, 그 중 상기 패키징 시스템은 상기 레이저 스캐닝 유닛의 수량 및 상기 밀봉 유리 패키지의 면적 크기에 따라 각 레이저 스캐닝 유닛의 상기 스캐닝 패키징 영역의 위치, 운동 경로, 작동 상태 중의 적어도 하나를 제어하는 제어기를 더 포함한다.
추가적으로, 상기 밀봉 유리 패키지는 유리 패키징 라인을 구비하고, 각 상기 레이저 스캐닝 유닛의 스캐닝 패키징 영역은 상기 유리 패키징 라인의 길이, 너비와 만곡부 중의 적어도 하나를 커버한다.
추가적으로, 상기 제어기는 또한 상기 포틀 프레임을 제어하여 각 상기 레이저 스캐닝 유닛을 이끌어 이동시켜, 각 상기 레이저 스캐닝 유닛의 스캐닝 패키징 영역이 동적으로 상기 유리 패키징 라인을 커버할 수 있도록 한다.
추가적으로, 상기 포틀 프레임은 스테핑 방식으로 이동하고, 포틀 프레임의 매번 스테핑 이후, 상기 제어기는 각 상기 레이저 스캐닝 유닛의 스캐닝 패키징 영역의 위치, 운동 경로 및 작동 상태 중의 적어도 하나를 조절한다.
추가적으로, 상기 포틀 프레임은 스캐닝 방식으로 이동하고, 상기 제어기는 각 상기 레이저 스캐닝 유닛의 스캐닝 패키징 영역의 위치, 운동 경로 및 작동 상태 중의 적어도 하나를 실시간으로 조절한다.
추가적으로, 상기 레이저 장치는 CO2 레이저 장치이다.
추가적으로, 상기 레이저 장치가 발사한 레이저의 파장 범위는 800nm~900nm이고, 작동 출력 범위는 100W~500W이다.
추가적으로, 상기 레이저 장치는 광섬유를 통하여 각 상기 레이저 스캐닝 유닛과 서로 연결된다.
추가적으로, 각 상기 레이저 스캐닝 유닛은 갈바노미터식 레이저 스캐닝 유닛이고, 하나 또는 복수 개의 반사경, 스캐닝 모터 및 서보 구동 유닛을 포함하며, 서보 구동 유닛은 상기 스캐닝 모터에 편향각도신호를 발송하고, 상기 스캐닝 모터는 상기 하나 또는 복수 개의 반사경을 제어하여 각도 편향을 진행한다.
추가적으로, 상기 반사경의 편향각도범위는 -20o 내지 20o 사이이다.
본 발명은 또 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 유리 재료를 가열시켜 기밀 밀봉을 형성하는 레이저 밀봉 유리 패키지의 패키징 방법을 제기하는 바, 포틀 프레임 상에 적어도 하나의 레이저 스캐닝 유닛을 설치하고, 각 레이저 스캐닝 유닛은 레이저 장치가 발사한 레이저 빔을 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 패키징 라인 상에 투사되어, 하나의 대응되는 스캐닝 패키징 영역을 형성할 수 있는 단계 a;
상기 레이저 스캐닝 유닛의 수량 및 상기 패키징 라인으로 둘러싸인 영역의 크기에 따라 각 레이저 스캐닝 유닛의 상기 스캐닝 패키징 영역의 위치, 운동 경로, 작동 상태 중의 적어도 하나를 제어하여, 레이저 빔이 상기 패키징 라인 상에서 주기성 스캐닝을 진행하여, 패키징 라인 위치의 유리가루를 융해될 때까지 가열하도록 하는 단계 b를 포함한다.
추가적으로, 상기 포틀 프레임 상에는 하나의 레이저 스캐닝 유닛이 구비되고, 상기 패키징 라인으로 둘러싸인 영역은 상기 스캐닝 패키징 영역보다 크며, 상기 단계 b)는,
상기 포틀 프레임이 정지상태를 유지하고, 상기 레이저 스캐닝 유닛이 회동을 진행하게 하여, 상기 레이저가 예정된 궤적과 속도에 따라 현재 스캐닝 패키징 영역 내의 패키징 라인 부분에 대하여 주기성 스캐닝을 진행하도록 하는 단계 b1; 및
상기 포틀 프레임이 상기 레이저 스캐닝 유닛을 이끌어 소정 거리만큼 스테핑하게 하고, 상기 패키징 라인을 전부 가열시킬 때까지 단계 b1을 중복하는 단계 b2를 포함한다.
추가적으로, 상기 포틀 프레임 상에는 하나의 레이저 스캐닝 유닛이 구비되고, 또한 상기 패키징 라인으로 둘러싸인 영역은 상기 스캐닝 패키징 영역보다 크며, 상기 단계 b는 포틀 프레임을 사용하여 스캐닝 방식으로 레이저 스캐닝 유닛을 이끌어 상기 패키징 라인을 따라 이동시키는 동시에 상기 레이저 빔이 상기 패키징 라인을 전부 가열시킬 때까지 예정된 궤적과 속도에 따라 상기 패키징 라인에 대하여 스캐닝을 진행하는 단계를 포함한다.
추가적으로, 상기 포틀 프레임 상에는 복수 개의 레이저 스캐닝 유닛이 구비되고, 각 레이저 스캐닝 유닛은 하나의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지에 대응되며, 상기 단계 b는 상기 포틀 프레임이 정지상태를 유지하고, 복수 개의 상기 레이저 스캐닝 유닛이 회동하게 하여, 각 레이저 스캐닝 유닛이 투사한 레이저가 예정된 궤적과 속도에 따라 각기 대응되는 하나의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 패키징 라인에 대하여 주기성 스캐닝을 진행하도록 하는 것을 포함한다.
추가적으로, 상기 포틀 프레임 상에는 복수 개의 레이저 스캐닝 유닛이 구비되고, 또한, 각 상기 레이저 스캐닝 유닛의 스캐닝 패키징 영역은 상기 패키징 라인을 커버하며, 상기 단계 b는 포틀 프레임이 정지상태를 유지하고, 복수 개의 상기 레이저 스캐닝 유닛이 회동하게 하여, 각 레이저 스캐닝 유닛이 투사한 레이저가 예정된 궤적과 속도에 따라 대응되는 스캐닝 패키징 영역 내의 패키징 라인 부분에 대하여 주기성 스캐닝을 진행하도록 하는 것을 포함한다.
추가적으로, 상기 포틀 프레임 상에는 복수 개의 레이저 스캐닝 유닛이 구비되고, 또한 각 상기 레이저 스캐닝 유닛의 스캐닝 패키징 영역은 상기 패키징 라인의 길이를 커버하며, 상기 단계 b는,
포틀 프레임이 정지상태를 유지하고, 복수 개의 상기 레이저 스캐닝 유닛이 회동하게 하여, 상기 레이저가 예정된 궤적과 속도에 따라 현재 각 스캐닝 패키징 영역 내의 패키징 라인 부분에 대하여 주기성 스캐닝을 진행하도록 하는 단계 b3; 및
상기 포틀 프레임이 상기 복수 개의 레이저 스캐닝 유닛을 이끌어 상기 패키징 라인의 너비방향을 따라 소정 거리만큼 스테핑하게 하고, 전반 상기 패키징 라인을 가열시킬 때까지 단계 b3을 중복하는 단계 b4를 포함한다.
기존의 기술에 비하여, 본 발명의 유익한 효과는 주로 다음과 같은 곳에서 구현된다. 레이저 장치가 발사한 레이저는 레이저 스캐닝 유닛을 통하여 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지에 투사되어 가열을 진행하고 상기 레이저가 주기성 스캔을 신속하게 진행함으로써, 정확하게 동기적인 패키징 효과를 실현할 수 있으며 온도장의 균일성 및 수율을 향상시키는 효과를 실현하는 동시에 패키징 이미지의 다양화를 실현하였다.
추가적으로, 포틀 프레임 상에 적어도 하나 또는 복수 개 레이저 스캐닝 유닛을 설치하여, 스테핑 방식으로 레이저 스캐닝 유닛을 이끌어 이동시킬 수 있으며, 패키징하고자 하는 큰 사이즈 밀봉 유리 패키지에 대해 영역 패키징을 진행 또는 동시에 복수 개의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지에 대해 패키징을 진행하는 것을 실현하여 수율을 최대한으로 향상시킨다.
본 발명의 장점과 취지는 하기 구체적 실시예 및 도면을 통해 더 파악할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예 1에서 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템의 구조를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예 1에서 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템의 구조 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예 1에서 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지 평면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예 1에서 레이저 스캐닝 유닛중 레이저의 광로를 나타내는 도면이다.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 실시예 2에서 사용한 싱글 갈바노미터 유닛 영역 패키징 방법의 구조를 나타내는 도면이다.
도 6a 내지 도 6b 는 본 발명의 실시예 3에서 사용한 싱글 갈바노미터 유닛 스캐닝 패키징 방법의 구조를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예 4에서 사용한 복수 개 갈바노미터 유닛 패키징 방법의 구조를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예 4에서 복수 개 행 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 평면도이다.
도 9는 본 발명의 실시예 5에서 사용한 복수 개 갈바노미터 유닛 정지상태 영역 패키징 방법의 구조를 나타내는 도면이다.
도 10은 봄 발명의 실시예 6에서 사용한 복수 개 갈바노미터 유닛 동적 상태 영역 패키징 방법의 구조를 나타내는 도면이다.
이하, 도면과 결합하여 본 발명의 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템 및 패키징 방법에 대하여 더욱 상세하게 설명하도록 하고, 그 중 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였는바, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 여기서 설명되는 본 발명을 수정할 수 있으며, 이 역시 본 발명의 유리한 효과를 실현할 수 있다고 이해해야 한다. 따라서, 이하 설명은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자들이 광범위하게 알고 있는 것으로, 본 발명에 대한 한정으로 이해되서는 안 된다.
명확히 하기 위하여, 실질적인 실시예의 전부 특징에 대하여 설명하지 않는다. 이하 설명에서, 본 발명에 있어서, 불필요한 세부사항으로 인한 혼란을 방지하기 위하여, 공지의 기능 및 구조에 대하여 상세하게 설명하지 않는다. 모든 실질적인 실시예의 개발에서, 반드시 세부적인 것을 대량으로 실시해야만 개발자의 특정 목표를 이룰 수 있음을 인정해야 하고, 예를 들면 관련 시스템 또는 관련 상업적인 한정에 따라 하나의 실시예가 다른 하나의 실시예로 변할 수 있다. 한편, 이러한 개발작업은 복잡하고 시간을 소모하는 것일 수 있으나, 이는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자들에게 있어서 단지 통상적인 작업일 뿐이다.
이하 단락에서 도면을 참조하여 예를 드는 방식으로 본 발명에 대하여 더욱 구체적으로 설명하도록 한다. 이하 설명 및 특허청구범위에 따라, 본 발명의 장점 및 특징이 더욱 명확해진다. 설명해야 할 것은, 도면은 모두 아주 간소화된 형식을 사용하였으며 모두 부정확한 비례를 사용하였고, 이는 단지 본 발명에 따른 실시예의 목적을 편리하고 명확하게 보조적으로 설명하기 위한 것이다.
실시예 1
도 1 및 도 4를 참조하면, 본 실시예에서 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템을 제출하였는바, 이는 레이저 장치(1), 포틀 프레임(3) 및 레이저 스캐닝 유닛(4)을 포함하며, 그 중, 상기 레이저 스캐닝 유닛(4)은 상기 포틀 프레임(3) 상에 설치되며, 상기 레이저 장치(1)가 발사한 레이저 유닛은 상기 레이저 스캐닝 유닛(4)을 통하여 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지 상에 투사한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지는 일반적으로 상하 유리 기판 8 및 상하 유리 기판 8 사이에 위치된 패키징하고자 하는 OLED 칩(9)과 칩(9) 주위에 위치한 솔더(10), 예를 들면, 분말 형태의 유리 재료를 포함한다.
본 실시예에서, 상기 레이저 장치(1)는 CO2 레이저 장치이고, 광섬유(2)를 통하여 상기 레이저 스캐닝 유닛(4)과 연결되며, 상기 레이저 장치(1)가 발사한 레이저(7) 파장 범위는 800nm~900nm이며, 예를 들어, 850nm이면, 그 작동 파워 범위는 100W~500W이고, 예를 들어 300W이며; 상기 레이저 스캐닝 유닛(4)은 갈바노미터식 레이저 스캐닝 유닛(Galvanometer Scanning Unit)이며, 하나 또는 복수 개의 반사경(40)(도 4에 도시된 바와 같이), 스캐닝 모터 및 서보 구동 유닛(미도시)을 포함한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 갈바노미터식 레이저 스캐닝 유닛은 두 개의 반사경(40)을 포함하며, 각각 도면 중의 상응한 축선 및 화살표 방향을 따라 왕복 편향 또는 요동한다. 그 중, 서보 구동 유닛은 상기 스캐닝 모터에 편향각도신호를 발송하고, 상기 스캐닝 모터는 상기 반사경(40)을 제어하여 각도 편향을 진행하여 레이저(7)가 두 개의 반사경(40)의 협동작용을 통하여 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 유리 재료(10)을 따라 주기성 스캐닝을 진행할 수 있으며, 보다 합리적으로, 상기 반사경(40)의 편향각도 범위는 -20°내지 20° 사이이고, 예를 들면, +/-15°로, 요동 과정에서 상기 반사경(40)에 요동 폭이 과도하게 큼으로 인한 반사경(40)의 진동이 생성되지 않게 하며, 반사경(40)의 요동에 요동 폭의 과도하게 큼으로 인한 관성이 생성되지 않아, 제어 신호의 실행이 지연되지 않으며, 상기 포틀 프레임(3)은 갈바노미터식 레이저 스캐닝 유닛을 매달 수 있고, 상기 레이저 스캐닝 유닛(4)을 이끌어 평면내에서 자유롭게 이동할 수 있으며, 즉 동일한 평면내의 X방향과 Y방향을 따라 자유 이동할 수 있다.
상기와 같이, 상기 레이저 스캐닝 유닛(4) 중의 반사경(40)은 소정 각도 범위 내에서 편향하여 레이저(7)의 발사 방향을 변화하며, 포틀 프레임(3)이 움직이지 않는 경우, 상기 레이저 스캐닝 유닛(4)은 일정한 가열 윈도우(5)를 커버할 수 있으며, 즉, 레이저 스캐닝 유닛(4)에서 발사된 레이저(7)는 일정한 크기의 영역을 커버할 수 있다. 가열 윈도우(5)의 범위 내에서 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 유리 재료 패키징 라인(6)에 따라 필요되는 레이저(7)의 스캐닝 경로를 설정할 수 있다. 반사경(40)으로부터 반사되어 유리 재료를 가열하기 위한 레이저(7)는 콜리메이션 후, 레이저(7)의 광반은 에너지가 플랫 톱 분포인 원형 광반이다.
동기 패키징의 기본 원리에 따라, 도 1과 도 2에 도시된 바와 같이, 패키징 과정에서, 조준을 통하여 광반을 패키징하고자 하는 유리 재료(10)상에 커버하여, 레이저 스캐닝 유닛(4)의 레이저(7)빔 방향에 대한 제어를 통하여, 광반은 패키징 라인(6)에서 신속하게 주기성 반복 스캐닝을 진행하여 유리 재료(10)의 온도를 그 연화점 이상까지 지속적으로 가열하고, 가열을 멈추어, 상하 유리 기판(8)이 냉각될 때, 도 3에 도시된 바와 같이, 중간의 솔더--유리 분말(10)로 이를 견고하게 접합되게 하여 기밀성 패키지를 형성하여 패키징하고자 하는 OLED 칩(9)을 기밀성 패키지 내에 패키징되도록 한다.
바람직하게는, 상기 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템은 싱글 갈바노미터 유닛형 레이저 스캐닝 시스템, 즉, 상기 포틀 프레임(3) 상에 하나의 갈바노미터식의 레이저 스캐닝 유닛(4)이 설치되어 있거나, 또는 상기 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템은 복수 개 갈바노미터 유닛형 레이저 스캐닝 시스템, 즉, 상기 포틀 프레임(3) 상에 복수 개의 갈바노미터식의 레이저 스캐닝 유닛(4)이 설치되어, 큰 사이즈의 패키지의 패키징이 편리하여, 상이한 공정 수요를 만족시키며, 그 중, 갈바노미터식의 레이저 스캐닝 유닛(4)의 개수는 패키지의 사이즈 크기에 따라 선택가능하며 여기서 한정하지 않는다.
설명해야 할 것은, 복수 개의 갈바노미터식의 레이저 스캐닝 유닛(4)을 사용할 때, 상기 레이저 장치(1)는 하나의 레이저 유닛만 포함하고, 여러개 광섬유(2)를 통하여 상기 하나의 레이저 유닛과 각 레이저 스캐닝 유닛(4)이 연결될 수 있으며; 또는 상기 레이저 장치(1)는 복수 개의 레이저 유닛을 포함하고, 각 레이저 유닛은 각각 하나 또는 여러개 광섬유(2)를 통하여 대응되는 하나 또는 복수 개의 레이저 스캐닝 유닛(4)과 연결될 수도 있다. 유사하게, 복수 개의 갈바노미터식의 레이저 스캐닝 유닛(4)을 사용할 때, 상기 포틀 프레임(3)은 모든 레이저 스캐닝 유닛(4)을 고정하는 하나의 지지체만 포함할 수 있고; 또는 상기 포틀 프레임(3)은 복수 개의 지지체를 포함할 수도 있으며, 각 상기 지지체는 하나 또는 복수 개의 레이저 스캐닝 유닛(4)을 각각 고정시키며, 상기 포틀 프레임(3)이 이동할 때, 상기 복수 개의 지지체는 전체적으로 동기적으로 이동한다.
본 실시예는 다른 한편으로, 상기와 같은 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템을 사용하여 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 유리 재료를 가열하는 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 방법을 더 제기하였는바, 상기 방법은 다음과 같은 단계를 포함한다.
S100: 상기 레이저 장치(1)가 발사한 레이저(7)는 상기 레이저 스캐닝 유닛(4)을 통하여 투사하고, 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 패키징 라인(6) 상에 투사되어 커버된다.
S200: 상기 레이저 스캐닝 유닛(4) 및/또는 포틀 프레임(3)을 사용하여 레이저(7) 방향을 제어하여 레이저(7)가 상기 패키징 라인(6) 상에서 주기성 스캐닝을 진행하여 패키징 라인(6)에 있는 유리분말(10)이 융화되어, 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 상하 유리 기판(8)이 함께 접착될 때까지 가열한다.
본 실시예에서, 싱글 갈바노미터 유닛 레이저 스캐닝 시스템을 사용하여 싱글 사이즈의 비교적 작은(즉, 유리 재료 패키징 라인(6)에 둘러싸인 영역이 레이저 스캐닝 유닛(4)의 가열 윈도우(5)보다 작은) 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지에 대하여 패키징하며, 패키징을 진행할 때, 레이저 장치(1)가 발사한 레이저(7)는 레이저 스캐닝 유닛(4)을 통하여 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지 상에 투사되어 패키징 라인(6)을 따라 유리 재료(10)를 가열하며, 포틀 프레임(3)은 이동 또는 스테핑할 필요없이, 레이저 스캐닝 유닛(4)이 신속하게 회동하여, 레이저(7)가 설정된 궤적과 속도에 따라 반복적으로 여러번 스캐닝하여 패키징 라인(6)을 가열시켜 하나의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 패키징을 완성한다. 레이저가 고속 스캐닝 상태에 있으므로 패키징 라인(6) 상 각 위치의 유리 재료(10)는 거의 동시에(또는 아주 작은 시간 차이) 가열되어 정확한 동기적 효과를 실현하여 온도장의 균일성 및 수율을 향상시키는 목적을 달성한다.
실시예 2
도 5a 및 도 5c를 참조하면, 본 실시예에서 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템은 싱글 갈바노미터 유닛형 레이저 스캐닝 시스템이며, 싱글 갈바노미터 유닛을 사용하여 영역 패키징 방법과 배합하여 패키징을 진행한다. 상기 패키징 방법은 하기와 같은 단계를 포함한다.
하나의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지를 복수 개의 패키징 영역으로 구획한다. 도 5a~도 5c에서는 도시적으로 세 개의 패키징 영역을 표시하였고, 즉, 영역A, 영역B, 영역C을 표시하였으며, 포틀 프레임(3)의 스테핑을 통하여 싱글 레이저 스캐닝 유닛(4)의 가열 윈도우(5)가 동적으로 상기 복수 개의 패키징 영역A, B, C를 커버할 수 있도록 한다.
그 중 하나의 패키징 영역에 대하여 패키징을 진행할 때, 상기 포틀 프레임(3)이 정지 상태를 유지하고, 상기 레이저 스캐닝 유닛(4)을 회동시켜, 상기 레이저(7)가 예정된 궤적과 속도에 따라 상기 패키징 영역 내의 패키징 라인을 주기성 스캐닝하도록 한다. 도 5a에 도시된 바와 같이, 포틀 프레임(3)은 우선 영역A에 고정되고, 레이저 스캐닝 유닛(4) 중 반사경(40)의 편향 각도 및 요동 빈도를 설정하여 레이저 스캐닝 유닛(4)이 발사한 레이저(7)가 도 5a에 도시된 바와 같이 패키징 라인(6A)의 궤적을 따라, 예정된 속도로 가열 윈도우(5) 내의 패키징 라인(6A)(전체 패키징 라인의 제1부분에 대응됨)에 대하여 주기성 스캐닝을 진행하도록 하여 상응되는 유리 재료(10) 부분을 가열하여 대응되는 영역의 패키징을 실현한다.
상기 패키징 영역 내 상응되는 부분의 패키징 라인의 스캐닝이 완료된 후, 상기 포틀 프레임(3)이 상기 레이저 스캐닝 유닛(4)을 이끌어 스테핑 방향을 따라 다음의 패키징 영역까지 이동하여 다음 부분 패키징 라인에 대하여 주기성 스캐닝을 진해하되 상기 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 전체 패키징 라인이 모두 스캐닝 되면 패키징을 완료한다. 도 5b에 도시된 바와 같이, 이어서, 포틀 프레임(3)이 레이저 스캐닝 유닛(4)을 이끌어 스테핑 방향(도면의 화살표와 같이)을 따라 다음의 패키징 영역B까지 이동하며, 레이저 스캐닝 유닛(4) 중 반사경(40)의 편향 각도 및 요동 빈도를 설정하여 레이저 스캐닝 유닛(4)이 발사한 레이저(7)가 도 5b에 도시된 바와 같이 패키징 라인(6B)의 궤적을 따라, 예정된 속도로 가열 윈도우(5) 내의 패키징 라인(6B)(전체 패키징 라인의 제2부분에 대응됨)에 대하여 주기성 스캐닝을 진행하도록 한다. 이어서, 도 5c에 도시된 바와 같이, 포틀 프레임(3)은 다시 레이저 스캐닝 유닛(4)을 이끌어 스테핑 방향을 따라 다음의 패키징 영역C까지 이동하며, 레이저 스캐닝 유닛(4) 중 반사경(40)의 편향 각도 및 요동 빈도를 설정하여 레이저 스캐닝 유닛(4)이 발사한 레이저(7)가 도 5C에 도시된 바와 같이 패키징 라인(6C)의 궤적을 따라, 예정된 속도로 가열 윈도우(5) 내의 패키징 라인(6C)(전체 패키징 라인의 제3부분에 대응됨)에 대하여 주기성 스캐닝을 진행하도록 한다. 이로써, 상기 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 전체 밀봉 라인(제1부분, 제2부분, 제3부분으로 구성됨)은 모두 스캐닝이 완료되어, 패키징을 완성한다.
본 실시예에서 밀봉 유리 패키지를 세 개의 패키징 영역으로 구획하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 패키지의 크기, 특히 패키징 라인에 둘러싸인 영역의 크기 및 레이저 스캐닝 유닛(4)의 가열 윈도우(5)의 크기에 따라 구획하고자 하는 패키징 영역의 개수를 확정한다. 이 외에 인접한 패키징 라인 부분 사이는 엄격하게 인접될 수도 있고, 일정한 겹침이 존재할 수도 있는데 모든 패키징 라인이 모두 스캐닝되도록 하기 위함임을, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자들은 당연히 이해할 것이다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자들은 더욱 효과적으로 패키징 라인의 스캐닝을 완성하도록, 상기 포틀 프레임(3)은 각 영역의 중심 위치에 설정할 필요 없고, 해당 영역 내의 패키징 라인 궤적에 따라 적합하게 포틀 프레임(3)의 위치를 설정할 수 있다는 것을 당연히 이해할 것이다. 본 실시예의 싱글 갈바노미터 유닛 영역 패키징 방법은 싱글 갈바노미터식 레이저 스캐닝 시스템만 사용하여 중간 사이즈의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지에 대하여 패키징을 진행할 때 비교적 적합하다.
실시예 3
본 실시예에서 상기 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템은 싱글 갈바노미터 유닛 레이저 스캐닝 시스템이며, 싱글 갈바노미터 유닛 스캐닝 패키징 방법을 사용하여, 즉 포틀 프레임이 레이저 빔을 이끌어 스캐닝을 진행하는 방식으로 큰 사이즈 밀봉 유리 패키지에 대하여 패키징하며, 상기 싱글 갈바노미터 유닛 스캐닝 패키징 방법은 하기와 같다. 하나의 밀봉 유리 패키지에 대하여 패키징을 진행할 때, 상기 포틀 프레임(3)은 상기 패키징 라인(6)의 위쪽 평면을 따라 이동하는 동시에, 레이저 빔은 예정된 궤적과 속도에 따라 상기 패키징 라인(6)부분의 유리 재료(10)에 대하여 상기 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지가 모두 패키징될 때까지 스캐닝을 진행한다.
도 6a, 도 6b에 도시된 바와 같이, 레이저 스캐닝 유닛 내의 갈바노미터는 신속하게 진동하여 레이저 빔이 일정한 각도 및 속도로 회동되어 레이저 빔 커버 범위 내에서 가열 윈도우(5)를 구성하도록 한다. 레이저 빔은 예정된 각도 및 속도로 반복적으로 가열 윈도우(5) 내의 패키징 라인을 스캐닝하는 동시에, 포틀 프레임(3)을 이동시켜, 가열 윈도우(5)가 큰 사이즈 유리 패키지의 패키징 라인에 대하여, 상기 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지가 모두 패키징이 완료될 때까지 슬라이드 스캐닝하도록 한다.
본 실시예에서 포틀 프레임(3)의 이동에 의해 가열 윈도우(5)가 패키징 라인을 따라 슬라이드 스캐닝하는 패키징 방법으로 신속하게 사이즈가 비교적 큰 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지에 대하여 패키징할 수 있다.
실시예 4
도 7 및 도 8을 참조하면, 본 실시예에서, 상기 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템은 복수 개 갈바노미터 유닛형 레이저 스캐닝 시스템이며, 복수 개 갈바노미터 유닛형 패키징 방법을 사용하여 패키징을 진행한다. 상기 복수 개 갈바노미터 유닛 패키징 방법은 하기와 같은 단계를 포함한다.
상기 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지는 복수 개이고 복수 개 행으로 배열되었으며, 각 행 패키지의 개수에 상응되는 복수 개의 갈바노미터식 레이저 스캐닝 유닛이 상기 각 행 중의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지와 일일대응되는 위치에 따라 분포되도록 하여, 상기 복수 개의 갈바노미터식 레이저 스캐닝 유닛이 각각 상기 각 행의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지를 커버하도록 한다.
어느 한 행의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지에 대하여 레이저 스캐닝을 진행할 때, 상기 포틀 프레임(3)은 정지 상태를 유지하고, 복수 개의 상기 레이저 스캐닝 유닛(4)은 회동을 진행하여, 상기 레이저(7)가 예정된 궤적과 속도를 따라, 각각 상응되는 패키지의 상기 패키징 라인에 대하여 주기성 스캐닝을 진행하여 기밀성의 밀봉 유리 패키지를 형성하도록 한다.
구체적으로, m개의 레이저 스캐닝 유닛(4)이 일정한 간격으로 포틀 프레임(3) 상에 배치되며, 그 간격은 자유로이 조절 및 설정할 수 있으며; 상기 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지는 n개 행으로 배열되었고, 각 행에 m개 있으며, 어느 한 행의 패키지에 대하여 패키징할 때, 포틀 프레임(3)은 이동 또는 스테핑할 필요 없이 복수 개의 레이저 스캐닝 유닛(4)이 신속하게 회동되며, 각 레이저(7)가 예정된 궤적과 속도에 따라, 반복 스캐닝으로 하나의 패키징 라인(6)을 여러 번 가열하며, m개의 레이저 스캐닝 유닛(4)은 동시에 동일한 행 내의 m개의 밀봉 유리 패키지를 패키징할 수 있어, 동시에 한 행의 m개 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 패키징을 완성하며, 다시 포틀 프레임(3)의 이동함으로써 모든 레이저 스캐닝 유닛(4)을 이끌어 다음 행의 패키징 영역으로 스테핑하며, n개 행이 모두 패키징될 때까지 상기 동작을 반복한다.
본 실시예에서 제공한 복수 개 갈바노미터 유닛 밀봉방법을 사용하여 신속하게 대량의 패키징을 진행할 수 있어 패키징 효율을 효과적으로 향상시키고 패키징 수율을 최대한으로 향상하였다.
실시예 5
도 9를 참조하면, 본 실시예에서, 상기 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템은 복수 개 갈바노미터 유닛형 레이저 스캐닝 시스템이며, 복수 개 갈바노미터 유닛 정지상태 영역 패키징 방법을 사용하여 패키징을 진행한다. 상기 복수 개 갈바노미터 유닛 정지상태 영역 패키징 방법은 하기와 같은 단계를 포함한다.
하나의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지를 복수 개의 패키징 영역(도 9는 단지 도시적으로 두 개의 패키징 영역을 구획함)으로 구획하고, 포틀 프레임(3) 상에 상기 패키징 영역 개수에 대응되는 복수 개의 갈바노미터식 레이저 스캐닝 유닛을 설정하여 상기 갈바노미터식 레이저 스캐닝 유닛이 상기 패키징 영역과 일일대응되도록 하여, 각각 상기 패키징 영역을 커버하도록 하며; 패키징을 진행할 때, 상기 포틀 프레임(3)이 정지 상태를 유지하고, 복수 개의 상기 레이저 스캐닝 유닛(4)이 회동을 진행하여 상기 레이저(7)가 예정된 궤적과 속도에 따라 상기 패키징 영역 내의 패키징 라인에 대하여 주기성 스캐닝을 진행하도록 하여 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 패키징을 완성하며; 상기 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지에 대하여 패키징이 완료한 후, 상기 포틀 프레임이 상기 레이저 스캐닝 유닛을 이끌어 다음의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지까지 이동시켜 패키징을 진행한다.
본 실시예에서 제공한 복수 개 갈바노미터 유닛 정지 상태 영역 패키징 방법은 큰 사이즈의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지에 대하여 패키징을 진행하여 포틀 프레임(3)이 움직이지 않도록 유지하여 복수 개의 상기 레이저 스캐닝 유닛(4)(갈바노미터 유닛, 도 9에 2개만 도시함)의 가열 윈도우(5)가 겹쳐져 상기 패키징의 밀봉 유리 패키지를 모두 커버할 수 있도록 함으로써 패키징을 진행한다.
실시예 6
도 10을 참조하면, 상기 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템은 복수 개 갈바노미터 유닛형 레이저 스캐닝 시스템이며, 복수 개 갈바노미터 유닛 동적 상태 영역 패키징 방법을 사용하여 패키징을 진행한다. 상기 복수 개 갈바노미터 유닛 동적 상태 영역 패키징 방법은 하기와 같은 단계를 포함한다.
하나의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지를 복수 개의 패키징 영역으로 구획하고, 상기 패키징 영역은 복수 개의 행으로 나누며, 포틀 프레임(3) 상에 복수 개의 갈바노미터식 레이저 스캐닝 유닛을 한 행의 패키징 영역과 일일대응되도록 설정하여 각각 해당 행의 패키징 영역을 커버하도록 한다.
해당 행의 패키징 영역에 대하여 패키징을 진행할 때, 상기 포틀 프레임은 정지 상태를 유지하고, 복수 개의 상기 레이저 스캐닝 유닛은 회동되어 상기 레이저가 예정된 궤적과 속도에 따라 상기 패키징 영역 내의 패키징 라인에 대하여 주기성 스캐닝을 진행하도록 한다.
해당 행의 패키징 영역에 대하여 패키징이 완료된 후, 상기 포틀 프레임은 스테핑을 진행하고, 상기 레이저 스캐닝 유닛을 이끌어 다음 행의 패키징 영역까지 이동시켜 상기 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 패키징이 완료될 때까지 패키징을 진행한다.
구체적으로, 도 10에 도시된 바와 같이, 복수 개의 레이저 스캐닝 유닛(4)(도 10에는 N개만 도시함)은 일정한 간격에 따라 포틀 프레임(3) 상에 배치되었으며, 이의 간격은 자유로이 조절 및 설정할 수 있으며; 패키징을 진행할 때, 하나의 큰 사이즈의 패키징 라인(6)을 x방향에 따라 2개 또는 2개 이상의 서브 부분으로 나누며, 예를 들어, N개의 서브 부분으로 나눌 수도 있으며, 포틀 프레임(3)이 복수 개의 레이저 스캐닝 유닛(4)을 이끌어 스테핑(또는 스캐닝, 스테핑 방향, 즉, y방향)하며, 복수 개의 레이저 스캐닝 유닛(4)이 신속하게 회동되고, 각 레이저 스캐닝 유닛(4)은 실시예 4 또는 실시예 5와 같이, 전체 큰 사이즈의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지가 모두 패키징될 때 까지 동작한다.
본 실시예에서 복수 개 갈바노미터 유닛 동적 상태 영역 패키징 방법을 제공하여 큰 사이즈의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지에 대하여 패키징을 진행할 수 있으므로, 큰 사이즈 유리 패키징 문제를 해결하였다.
본 발명이 제공한 상기 실시예에서, 본 발명에서 제공한 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 방법은 하기와 같은 장점이 있다.
1. 여러가지 사이즈와 여러가지 패키징 라인 정의 형상의 패키징에 적합하다.
2. 윤곽선 스캐닝 패키징의 저수율과 낮은 동기성 문제를 해결한다.
3. 갈바노미터의 고속 스캐닝 특성에 기반하여, 이의 공정 윈도우 및 수율이 순서형 윤곽선 스캐닝 방안 보다 우월하다.
4. 순서형 윤곽선 스캐닝의 유연성 및 프로그래밍성과 동기 패키징 방안의 온도 상승 동기적 일치성을 겸비한다.
5. 패키징 과정을 동시에 수집 또는 감시하고 폐쇄환 온도 제어를 형성하여 공정 과정의 최적화에 유리하여 패키징 품질을 향상시킬 수 있다.
6. 레이저 출력 파워의 프로그래밍 가능 제어를 통하여 수율에 영향주지 않는 전제하에서 온도의 상승 및 냉각 과정을 제어할 수 있다.
7. 패키징 과정에서, 포틀 프레임은 부품에 상대적으로 고정되어 변하지 않고, 갈바노미터만 회동시켜 포틀 프레임의 운동성능 수요를 저하시킨다.
8. 복수 개 갈바노미터는 포틀 프레임의 스테핑 또는 스캐닝과 협동하여 복수 개의 패키징 정의 셀(cell)의 동시 패키징과 큰 패키징 정의 영역 패키징의 수요를 실현시킨다.
결론적으로, 본 발명 실시예에서 제공한 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템과 패키징 방법에서, 레이저 장치가 발사한 레이저는 레이저 스캐닝 유닛을 통하여 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지 상에 투사되어 가열을 진행하며, 상기 레이저가 신속하게 주기성 스캐닝을 진행할 수 있어, 정확하게 동기적 패키징하는 효과를 실현할 수 있으며, 온도장의 균일성 및 수율을 향상시키는 목적을 달성하는 동시에, 패키징 이미지의 다양화를 실현하였다. 더 나아가, 포틀 프레임 상에 하나 또는 복수 개의 레이저 스캐닝 유닛을 설정할 수 있고, 스테핑 방식으로 레이저 스캐닝 유닛을 이끌어 이동시킬 수 있어 큰 사이즈의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지에 대하여 영역 패키징을 진행할 수 있으며, 또는 동시에 복수 개의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지에 대하여 패키징을 진행하여 수율을 최대한으로 향상시켰다.
상기는 단지 본 발명의 바람직한 실시예이며, 본 발명에 대하여 그 어떠한 한정적인 작용도 없다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자들은, 본 발명의 기술적 해결방법의 범위를 벗어나지 않으면서 본 발명이 시사하는 기술적 해결방법 및 기술내용에 대하여 임의의 형식의 균등 대체 또는 보정 등 변경을 진행할 수 있으며, 이는 모두 본 발명의 기술적 해결방법에 따른 내용을 이탈하지 않은 것으로, 여전히 본 발명의 보호범위에 속해야 할 것이다.
1: 레이저 장치
3.: 포틀 프레임
4: 레이저 스캐닝 유닛
9: OLED 칩
40: 반사경

Claims (16)

  1. 레이저 장치, 포틀 프레임 및 상기 포틀 프레임 상에 설치되는 적어도 하나의 레이저 스캐닝 유닛을 포함하고, 각 상기 적어도 하나의 레이저 스캐닝 유닛은 상기 레이저 장치가 발사한 레이저를 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지 상에 투사하여 하나의 대응되는 스캐닝 패키징 영역을 형성할 수 있는 패키징 시스템에 있어서,
    상기 레이저 스캐닝 유닛의 수량 및 상기 밀봉 유리 패키지의 면적 크기에 따라 각 레이저 스캐닝 유닛의 상기 스캐닝 패키징 영역의 위치, 운동 경로, 작동 상태 중의 적어도 하나를 제어하는 제어기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 밀봉 유리 패키지는,
    유리 패키징 라인을 구비하고, 각 상기 레이저 스캐닝 유닛의 스캐닝 패키징 영역은 상기 유리 패키징 라인의 길이, 너비와 만곡부 중의 적어도 하나를 커버하는 것을 특징으로 하는 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제어기는 또한 상기 포틀 프레임을 제어하여 각 상기 레이저 스캐닝 유닛을 이끌어 이동시켜, 각 상기 레이저 스캐닝 유닛의 스캐닝 패키징 영역이 동적으로 상기 유리 패키징 라인을 커버할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 포틀 프레임은 스테핑 방식으로 이동하고, 포틀 프레임의 매번 스테핑 이후, 상기 제어기는 각 상기 레이저 스캐닝 유닛의 스캐닝 패키징 영역의 위치, 운동 경로 및 작동 상태 중의 적어도 하나를 조절하는 것을 특징으로 하는 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 포틀 프레임은 스캐닝 방식으로 이동하고, 상기 제어기는 각 상기 레이저 스캐닝 유닛의 스캐닝 패키징 영역의 위치, 운동 경로 및 작동 상태 중의 적어도 하나를 실시간으로 조절하는 것을 특징으로 하는 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 레이저 장치는 CO2 레이저 장치인 것을 특징으로 하는 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 레이저 장치가 발사한 레이저의 파장 범위는 800nm~900nm이고, 작동 출력 범위는 100W~500W인 것을 특징으로 하는 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 레이저 장치는 광섬유를 통하여 각 상기 레이저 스캐닝 유닛과 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템.
  9. 제1항에 있어서,
    각 상기 레이저 스캐닝 유닛은 갈바노미터식 레이저 스캐닝 유닛이고, 하나 또는 복수 개의 반사경, 스캐닝 모터 및 서보 구동 유닛을 포함하며, 서보 구동 유닛은 상기 스캐닝 모터에 편향각도신호를 발송하고, 상기 스캐닝 모터는 상기 하나 또는 복수 개의 반사경을 제어하여 각도 편향을 진행하는 것을 특징으로 하는 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 반사경의 편향각도범위는 -20o 내지 20o 사이인 것을 특징으로 하는 레이저 밀봉 유리 패키지 패키징 시스템.
  11. 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 유리 재료를 가열시켜 기밀 밀봉을 형성하는 레이저 밀봉 유리 패키지의 패키징 방법에 있어서,
    포틀 프레임 상에 적어도 하나의 레이저 스캐닝 유닛을 설치하고, 각 레이저 스캐닝 유닛은 레이저 장치가 발사한 레이저 빔을 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 패키징 라인 상에 투사하여, 하나의 대응되는 스캐닝 패키징 영역을 형성할 수 있는 단계 a;
    상기 레이저 스캐닝 유닛의 수량 및 상기 패키징 라인으로 둘러싸인 영역의 크기에 따라 각 레이저 스캐닝 유닛의 상기 스캐닝 패키징 영역의 위치, 운동 경로, 작동 상태 중의 적어도 하나를 제어하여, 레이저 빔이 상기 패키징 라인 상에서 주기성 스캐닝을 진행하여, 패키징 라인 위치의 유리가루를 융해될 때까지 가열하도록 하는 단계 b를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 밀봉 유리 패키지의 패키징 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 포틀 프레임 상에는 하나의 레이저 스캐닝 유닛이 구비되고, 상기 패키징 라인으로 둘러싸인 영역은 상기 스캐닝 패키징 영역보다 크며, 상기 단계 b는,
    상기 포틀 프레임이 정지상태를 유지하고, 상기 레이저 스캐닝 유닛이 회동을 진행하게 하여, 상기 레이저가 예정된 궤적과 속도에 따라 현재 스캐닝 패키징 영역 내의 패키징 라인 부분에 대하여 주기성 스캐닝을 진행하도록 하는 단계 b1; 및
    상기 포틀 프레임이 상기 레이저 스캐닝 유닛을 이끌어 소정 거리만큼 스테핑하게 하고, 상기 패키징 라인을 전부 가열시킬 때까지 단계 b1을 중복하는 단계 b2를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 밀봉 유리 패키지의 패키징 방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 포틀 프레임 상에는 하나의 레이저 스캐닝 유닛이 구비되고, 또한 상기 패키징 라인으로 둘러싸인 영역은 상기 스캐닝 패키징 영역보다 크며, 상기 단계 b는 포틀 프레임을 사용하여 스캐닝 방식으로 레이저 스캐닝 유닛을 이끌어 상기 패키징 라인을 따라 이동시키는 동시에 상기 레이저 빔이 상기 패키징 라인을 전부 가열시킬 때까지 예정된 궤적과 속도에 따라 상기 패키징 라인에 대하여 스캐닝을 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 밀봉 유리 패키지의 패키징 방법.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 포틀 프레임 상에는 복수 개의 레이저 스캐닝 유닛이 구비되고, 각 레이저 스캐닝 유닛은 하나의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지에 대응되며, 상기 단계 b는 상기 포틀 프레임이 정지상태를 유지하고, 복수 개의 상기 레이저 스캐닝 유닛이 회동하게 하여, 각 레이저 스캐닝 유닛이 투사한 레이저가 예정된 궤적과 속도에 따라 각기 대응되는 하나의 패키징하고자 하는 밀봉 유리 패키지의 패키징 라인에 대하여 주기성 스캐닝을 진행하도록 하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 밀봉 유리 패키지의 패키징 방법.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 포틀 프레임 상에는 복수 개의 레이저 스캐닝 유닛이 구비되고, 또한 각 상기 레이저 스캐닝 유닛의 스캐닝 패키징 영역은 상기 패키징 라인을 커버하며, 상기 단계 b는 포틀 프레임이 정지상태를 유지하고, 복수 개의 상기 레이저 스캐닝 유닛이 회동하게 하여, 각 레이저 스캐닝 유닛이 투사한 레이저가 예정된 궤적과 속도에 따라 대응되는 스캐닝 패키징 영역 내의 패키징 라인 부분에 대하여 주기성 스캐닝을 진행하도록 하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 밀봉 유리 패키지의 패키징 방법.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 포틀 프레임 상에는 복수 개의 레이저 스캐닝 유닛이 구비되고, 또한 각 상기 레이저 스캐닝 유닛의 스캐닝 패키징 영역은 상기 패키징 라인의 길이를 커버하며, 상기 단계 b는,
    포틀 프레임이 정지상태를 유지하고, 복수 개의 상기 레이저 스캐닝 유닛이 회동하게 하여, 상기 레이저가 예정된 궤적과 속도에 따라 현재 각 스캐닝 패키징 영역 내의 패키징 라인 부분에 대하여 주기성 스캐닝을 진행하도록 하는 단계 b3; 및
    상기 포틀 프레임이 상기 복수 개의 레이저 스캐닝 유닛을 이끌어 상기 패키징 라인의 너비방향을 따라 소정 거리만큼 스테핑하게 하고, 전반 상기 패키징 라인을 가열시킬 때까지 단계 b3을 중복하는 단계 b4를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 밀봉 유리 패키지의 패키징 방법.



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