CN201646001U - 一种激光打标机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型适用于激光打标,提供了一种激光打标机,其包括:激光器、扩束镜、扫描振镜组和聚焦镜,所述激光器发出的激光经所述扩束镜扩束后,进入所述扫描振镜组,进入所述扫描振镜组的激光具有多束,各束激光之间形成夹角,经所述扫描振镜组调整的多束激光投射于所述聚焦镜,所述多束激光经所述聚焦镜聚焦于多个工件表面。所述激光的传输光路上设有将所述激光分成多个子光束的分光组件,各子光束之间形成夹角,所述多个子光束均进入扫描振镜组。本实用新型提供的激光打标机使多束激光同时进入扫描振镜组,经所述聚焦镜聚焦形成多个聚焦点,分别投射至多个工件表面,从而成倍提升打标机的效率,予以用户低成本的解决方案。
Description
技术领域
本实用新型属于激光打标技术,尤其涉及一种激光打标机。
背景技术
激光打标是利用高能量密度激光束,对工件表面进行局部照射,使表层材料迅速汽化或发生颜色变化,从而露出深层物质,或者导致表层物质的化学物理变化而刻出痕迹,或者通过光能烧掉部分物质,显出所需刻蚀的图形、文字。现有激光打标机包括激光器11、扩束镜12、扫描振镜组13和平场聚焦镜14。如图1所示,激光器11发出的激光经由扩束镜12、扫描振镜组13和平场聚焦镜14后的聚焦点随着振镜的摆动在工件表面移动。目前打标机效率低下,亟待提升打标效率,给用户予低成本的解决方案。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种打标机,旨在解决现有打标机效率低下的问题。
本实用新型是这样实现的,一种激光打标机,包括:激光器、扩束镜、扫描振镜组和聚焦镜,所述激光器发出的激光经所述扩束镜扩束后,进入所述扫描振镜组,进入所述扫描振镜组的激光具有多束,各束激光之间形成夹角,经所述扫描振镜组调整的多束激光投射于所述聚焦镜,所述多束激光经所述聚焦镜聚焦于多个工件表面。
本实用新型中所述激光打标机具有多个激光器和与所述激光器一一对应的多个扩束镜。
本实用新型中所述激光的传输光路上设有将所述激光分成多个子光束的分光组件,各子光束之间形成夹角,所述多个子光束均进入扫描振镜组。
本实用新型提供的激光打标机使多束激光同时进入扫描振镜组,经所述聚焦镜聚焦形成多个聚焦点,分别投射至多个工件表面,从而成倍提升打标机的效率。此外,本实用新型中多束激光共用打标机的部分器件,予以用户低成本的解决方案。
附图说明
图1是现有技术提供的激光打标机的结构示意图;
图2是本实用新型提供第一实施例的激光打标机的结构示意图;
图3是本实用新型提供第二实施例的激光打标机的结构示意图(俯视);
图4是本实用新型提供第二实施例的激光打标机的结构示意图(侧视)。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
本实用新型提供的激光打标机使多束激光同时进入扫描振镜组,经所述聚焦镜聚焦形成多个聚焦点,分别投射至多个工件表面,从而成倍提升打标机的效率。此外,本实用新型中多束激光共用打标机的部分器件,予以用户低成本的解决方案。
本实用新型提供的激光打标机包括:激光器、扩束镜、扫描振镜组和聚焦镜,所述激光器发出的激光经所述扩束镜扩束后,进入所述扫描振镜组,进入所述扫描振镜组的激光具有多束,各束激光之间形成夹角,经所述扫描振镜组调整的多束激光投射于所述聚焦镜,所述多束激光经所述聚焦镜聚焦于多个工件表面。
以下列举若干具体实施例详细描述本实用新型实施例提供的激光打标机。
实施例一
图2示出了本实施例提供的激光打标机的结构,为了便于说明,仅示出了与本实施例相关的部分。
如图2所示,本实用新型实施例提供的激光打标机具有两个激光器21和两个扩束镜22,所述扩束镜22与激光器21一一对应。每个激光器21发出的激光经所述扩束镜22扩束后,形成一定夹角,同时进入所述扫描振镜组23,经所述聚焦镜分别聚焦成两点,投射至两个工件表面,这样就可以同时加工两个工件。本实施例通过共用扫描振镜组和聚焦镜,双倍提升打标机的效率,节约成本。
实施例二
图3和图4示出了本实施例提供的激光打标机的结构,为了便于说明,仅示出了与本实施例相关的部分。
如图3和图4所示,本实用新型实施例提供的激光打标机具有一个激光器31、与所述激光器31对应的一个扩束镜32、扫描振镜组33和聚焦镜34。所述激光的传输光路上设有将所述激光分成多个子光束的分光组件35,各子光束之间形成夹角,所述多个子光束均进入扫描振镜组33。本实施例将所述分光组件35设于所述扩束镜32与扫描振镜组33之间,这样利于光路调整和分光。多个子光束进入所述扫描振镜组33后经聚焦形成多个聚焦点,多个聚焦点分别投射至多个工件表面,这样就可以同时加工多个工件。本实施例本实施例通过共用激光器、扩束镜、扫描振镜组和聚焦镜,充分利用激光器的功率,成倍提升打标机的效率,节约成本。
实施例三
本实用新型实施例中,所述分光组件35包括第一反射镜351、第二反射镜352、第三反射镜353和分光镜354,所述激光扩束后,投射至所述第一反射镜351,经第一反射镜351反射至所述分光镜354,被分成第一子光束和第二子光束,所述第一子光束经第二反射镜352反射进入所述扫描振镜组33,所述第二子光束经第三反射镜353反射进入所述扫描振镜组33。
实施例四
本实用新型实施例中,所述分光组件35包括第四反射镜、第五反射镜和分光镜,所述激光扩束后,投射至所述分光镜,被分成第一子光束和第二子光束,所述第一子光束经第四反射镜反射进入所述扫描振镜组33,所述第二子光束经第五反射镜反射进入所述扫描振镜组33。
此外,上述反射镜或\和分光镜与控制其方位及角度的电机相连,便于调整反射镜或\和分光镜,使多个子光束以一定夹角进入所述扫描振镜组33。本实用新型实施例中所述扫描振镜组为XY扫描振镜组,所述聚焦镜为F-Theta平场聚焦镜。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种激光打标机,包括:激光器、扩束镜、扫描振镜组和聚焦镜,所述激光器发出的激光经所述扩束镜扩束后,进入所述扫描振镜组,其特征在于,进入所述扫描振镜组的激光具有多束,各束激光之间形成夹角,经所述扫描振镜组调整的多束激光投射于所述聚焦镜,所述多束激光经所述聚焦镜聚焦于多个工件表面。
2.如权利要求1所述的激光打标机,其特征在于,所述激光打标机具有多个激光器和与所述激光器一一对应的多个扩束镜。
3.如权利要求1所述的激光打标机,其特征在于,所述激光的传输光路上设有将所述激光分成多个子光束的分光组件,各子光束之间形成夹角,所述多个子光束均进入扫描振镜组。
4.如权利要求3所述的激光打标机,其特征在于,所述分光组件设于所述扩束镜与扫描振镜组之间。
5.如权利要求4所述的激光打标机,其特征在于,所述分光组件包括第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜和分光镜,所述激光扩束后,投射至所述第一反射镜,经第一反射镜反射至所述分光镜,被分成第一子光束和第二子光束,所述第一子光束经第二反射镜反射进入所述扫描振镜组,所述第二子光束经第三反射镜反射进入所述扫描振镜组。
6.如权利要求4所述的激光打标机,其特征在于,所述分光组件包括第四反射镜、第五反射镜和分光镜,所述激光扩束后,投射至所述分光镜,被分成第一子光束和第二子光束,所述第一子光束经第四反射镜反射进入所述扫描振镜组,所述第二子光束经第五反射镜反射进入所述扫描振镜组。
7.如权利要求5或6所述的激光打标机,其特征在于,所述反射镜或\和分光镜与控制其方位及角度的电机相连。
8.如权利要求1所述的激光打标机,其特征在于,所述扫描振镜组为XY扫描振镜组,所述聚焦镜为F-Theta平场聚焦镜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010201533477U CN201646001U (zh) | 2010-03-31 | 2010-03-31 | 一种激光打标机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010201533477U CN201646001U (zh) | 2010-03-31 | 2010-03-31 | 一种激光打标机 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN201646001U true CN201646001U (zh) | 2010-11-24 |
Family
ID=43111220
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2010201533477U Expired - Fee Related CN201646001U (zh) | 2010-03-31 | 2010-03-31 | 一种激光打标机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN201646001U (zh) |
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