JP2017530512A - レーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステム及びパッケージング方法 - Google Patents
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Abstract
Description
a)ポータルフレーム上に少なくとも一つのレーザー走査ユニットが設置され、各レーザー走査ユニットは、一つのレーザー装置から発射されるレーザービームをパッケージング対象の封止ガラスパッケージのパッケージングライン上に投射し、対応する走査パッケージング領域を形成する。
b2)前記ポータルフレームが前記レーザー走査ユニットを段階的に所定の距離に移動させるようにし、前記パッケージングラインを全て加熱し終えるまでステップb1を繰り返す。
b3)前記ポータルフレームを静態に保ち、複数の前記レーザー走査ユニットを回転させ、前記レーザーが所定の軌跡と速度に従い、現在の各走査パッケージング領域内におけるパッケージングライン部分に対して周期的な走査を行うようにする、及び
b4)前記ポータルフレームが前記複数のレーザー走査ユニットを前記パッケージングラインの幅方向に沿って所定の距離に段階的に移動させるようにし、前記パッケージングラインを全て加熱し終えるまで、ステップb3を繰り返す。
図1から図4を参照するに、本実施例において、以下のレーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステムを提示する。レーザー装置1と、ポータルフレーム3と、レーザー走査ユニット4とを有し、更に、前記レーザー走査ユニット4が前記ポータルフレーム3上に設置され、前記レーザー装置1から発射されるレーザーが前記レーザー走査ユニット4を介してパッケージング対象の封止ガラスパッケージ上に投射される。図3に示す通り、パッケージング対象の封止ガラスパッケージは、通常、上下ガラス基板8と、上下ガラス基板8の中間に位置するパッケージング対象のOLEDチップ9と、チップ9の周囲に位置する粉末状のガラスフリット等の溶接材料10とを有する。
S200:前記レーザー走査ユニット4及び/又はポータルフレーム3を使用し、レーザー7の方向を制御し、レーザー7が前記パッケージングライン6上において周期的な走査を行うようにし、パッケージングライン6のガラスフリット10を溶解するまで加熱し、パッケージング対象の封止ガラスパッケージの上下ガラス基板8を接着させ、気密性の封止ガラスパッケージを形成する。
図5aから5cを参照するに、本実施例において、前記レーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステムは単一ガルバノメータユニット式レーザー走査システムであり、単一ガルバノメータユニットに領域パッケージングを組み合わせた方法を採用してパッケージングを行う。前記パッケージング方法は以下のステップを含む。
本実施例において、前記レーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステムは、単一ガルバノメータユニットレーザー走査システムであり、単一ガルバノメータユニット走査パッケージング方法、即ちポータルフレームがレーザービームを移動させて走査する方式を採用して、大型の封止ガラスパッケージに対するパッケージングを行う。前記単一ガルバノメータユニット走査パッケージング方法は、一つの封止ガラスパッケージに対してパッケージングを行うに当たって、前記ポータルフレーム3が前記パッケージングライン6の上方平面に沿って移動すると同時に、前記パッケージング対象の封止ガラスパッケージ全体に対するパッケージングが完了するまで、レーザービームが所定の軌跡と速度に従い、前記パッケージングライン6のガラスフリット10を走査する方法である。
図7と図8を参照するに、本実施例において、前記レーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステムは、複数ガルバノメータユニット式レーザー走査システムであり、複数ガルバノメータユニット式パッケージング方法を採用してパッケージングを行う。前記複数ガルバノメータユニット式パッケージング方法は以下のステップを含む。
図9を参照するに、本実施例において、前記レーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステムは複数ガルバノメータユニット式レーザー走査システムであり、複数ガルバノメータユニット静的領域パッケージング方法を採用してパッケージングを行う。前記複数ガルバノメータユニット静的領域パッケージング方法は以下のステップを含む。
図10を参照するに、前記レーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステムは複数ガルバノメータユニット式レーザー走査システムであり、複数ガルバノメータユニット動的領域パッケージング方法を採用してパッケージングを行う。前記複数ガルバノメータユニット動的領域パッケージング方法は以下のステップを含む。
1、多種のサイズ及び多種のパッケージングラインの形状を定義するパッケージングシーンに適する。
2、輪郭走査パッケージングの低生産性と低同期性の課題を解決する。
3、ガルバノメータの高速走査という特性に基づき、そのプロセスウインドウ及び生産性が連続的な輪郭走査プログラムより優れている。
4、連続的な輪郭走査のフレキシビリティ及びプログラマブル、と同期パッケージング方法の温度上昇の同期一致性を兼ね備える。
5、パッケージングプロセスを同期的に収集してモニタリングし、閉ループの温度制御を形成することで、プロセスの最適化に寄与し、パッケージングの品質を向上させることが可能である。
6、レーザー出力パワーのプログラマブル制御を介して生産性を犠牲にしないという前提の下、昇温及び冷却プロセスを制御することが可能である
7、パッケージングプロセスにおいて、ポータルフレームが半製品に対して固定的かつ不変であり、ガルバノメータを回転させるのみで、ポータルフレームの動作性能に関する要求事項を軽減する
8、複数のガルバノメータを組み合わせてポータルフレームの段階的な移動又は走査と連携させ、複数のパッケージング定義領域(cell)の同時パッケージングと大型パッケージング定義領域のパッケージングのニーズを満たすことが可能である。
Claims (16)
- レーザー装置と、ポータルフレームと、前記ポータルフレーム上に設置される少なくとも一つのレーザー走査ユニットと、を有し、
前記少なくとも一つのレーザー走査ユニット中のそれぞれが、前記レーザー装置から発射されるレーザーを、パッケージング対象の封止ガラスパッケージ上に投射し、対応する走査パッケージング領域を形成することができるレーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステムであって、
前記パッケージングシステムが更にコントローラーを有し、前記コントローラーは、前記レーザー走査ユニットの数、及び前記封止ガラスパッケージの面積のサイズに基づき、前記各レーザー走査ユニットの前記走査パッケージング領域の位置、運動経路、動作状態の内の少なくとも一つを制御するために用いられる、
ことを特徴とするレーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステム。 - 前記封止ガラスパッケージがガラスパッケージングラインを有し、
前記各レーザー走査ユニットの走査パッケージング領域が前記ガラスパッケージングラインの長さ、幅、湾曲部の内の少なくとも一つをカバーする、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステム。 - 前記コントローラーが更に前記ポータルフレームを制御して、前記各レーザー走査ユニットを移動させるために用いられ、
前記各レーザー走査ユニットの走査パッケージング領域が動的に前記ガラスパッケージングラインをカバーできるようにする、
ことを特徴とする請求項2に記載のレーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステム。 - 前記ポータルフレームが段階的な方式で移動し、前記ポータルフレームが各段階に至った後、前記コントローラーが前記各レーザー走査ユニットの走査パッケージング領域の位置、運動経路、動作状態の内の少なくとも一つを調整する、
ことを特徴とする請求項3に記載のレーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステム。 - 前記ポータルフレームが走査方式で移動し、前記コントローラーが前記各レーザー走査ユニットの走査パッケージング領域の位置、運動経路、動作状態の内の少なくとも一つをリアルタイムに調整する、
ことを特徴とする請求項3に記載のレーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステム。 - 前記レーザー装置がCO2レーザー装置である、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステム。 - 前記レーザー装置から発射されるレーザーの波長範囲が800nm〜900nmであり、その動作電力範囲が100W〜500Wである、
ことを特徴とする請求項6に記載のレーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステム。 - 前記レーザー装置が光ファイバーを介して前記各レーザー走査ユニットと相互に接続される、
ことを特徴とする請求項6に記載のレーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステム。 - 前記各レーザー走査ユニットがガルバノメータ走査ユニットであり、一つ又は複数の反射鏡と、走査型モーターと、サーボ駆動ユニットとを有し、
前記サーボ駆動ユニットが前記走査型モーターに向けて偏向角度信号を発信し、前記走査型モーターが前記一つ又は複数の反射鏡の角度偏向を制御する、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステム。 - 前記反射鏡の偏向角度範囲が−20°から20°の間である、
ことを特徴とする請求項9に記載のレーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステム。 - パッケージング対象の封止ガラスパッケージのガラスフリットを加熱し、ハーメチックシールを形成するために用いる、レーザー封止ガラスパッケージのパッケージング方法であって、 前記方法が、
a)ポータルフレーム上に少なくとも一つのレーザー走査ユニットが設置され、前記各レーザー走査ユニットが一つのレーザー装置から発射されるレーザービームをパッケージング対象の封止ガラスパッケージのパッケージングライン上に投射し、対応する走査パッケージング領域を形成し、
b)前記レーザー走査ユニットの数、及び前記パッケージングラインで囲まれた領域のサイズに基づき、前記各レーザー走査ユニットの前記走査パッケージング領域の位置、運動経路、動作状態の内の少なくとも一つを制御し、前記パッケージングライン部分のガラス粉末が加熱され溶解するまで、前記レーザービームが前記パッケージングライン上において周期的な走査を行うようにするステップ、
を含む、
レーザー封止ガラスパッケージのパッケージング方法。 - 前記ポータルフレーム上に一つのレーザー走査ユニットが設置され、かつ前記パッケージングラインで囲まれた領域が前記走査パッケージング領域より大きく、
前記ステップbが、
b1)前記ポータルフレームを静態に保ち、前記レーザー走査ユニットを回転させ、前記レーザーが所定の軌跡と速度に従い、現在の走査パッケージング領域内におけるパッケージングライン部分に対する周期的な走査を行うようにするステップと、
b2)前記ポータルフレームが前記レーザー走査ユニットを段階的に所定の距離に移動させるようにし、前記パッケージングラインを全て加熱し終えるまでステップb1を繰り返すステップと、
を含む、
ことを特徴とする請求項11に記載のレーザー封止ガラスパッケージのパッケージング方法。 - 前記ポータルフレーム上に一つのレーザー走査ユニットが設置され、かつ前記パッケージングラインで囲まれた領域が前記走査パッケージング領域より大きく、
前記ステップbが、
ポータルフレームを用いた走査方式でレーザー走査ユニットを前記パッケージングラインに沿って移動させると同時に、前記パッケージングラインを全て加熱し終えるまで、前記レーザービームが所定の軌跡と速度に従い、前記パッケージングラインに対する走査を行うステップを含む、
ことを特徴とする請求項11に記載のレーザー封止ガラスパッケージのパッケージング方法。 - 前記ポータルフレーム上に複数のレーザー走査ユニットが設置され、前記各レーザー走査ユニットが単一のパッケージング対象の封止ガラスパッケージに対応し、
前記ステップbが、
前記ポータルフレームを静態に保ち、複数の前記レーザー走査ユニットを回転させ、各レーザー走査ユニットから投射されるレーザーが所定の軌跡と速度に従い、それぞれ対応する単一のパッケージング対象の封止ガラスパッケージのパッケージングラインに対して周期的な走査を行うようにするステップを含む、
ことを特徴とする請求項11に記載のレーザー封止ガラスパッケージのパッケージング方法。 - 前記ポータルフレーム上に複数のレーザー走査ユニットが設置され、かつ前記各レーザー走査ユニットの走査パッケージング領域が前記パッケージングラインをカバーし、
前記ステップbが、
前記ポータルフレームを静態に保ち、複数の前記レーザー走査ユニットを回転させ、前記各レーザー走査ユニットから投射されるレーザーが所定の軌跡と速度に従い、対応する走査パッケージング領域内におけるパッケージングライン部分に対して周期的な走査を行うようにするステップを含む、
ことを特徴とする請求項11に記載のレーザー封止ガラスパッケージのパッケージング方法。 - 前記ポータルフレーム上に複数のレーザー走査ユニットが設置され、かつ前記各レーザー走査ユニットの走査パッケージング領域が前記パッケージングラインの長さをカバーし、
前記ステップbが、
b3)前記ポータルフレームを静態に保ち、複数の前記レーザー走査ユニットを回転させ、前記レーザーが所定の軌跡と速度に従い、現在の各走査パッケージング領域内におけるパッケージングライン部分に対して周期的な走査を行うようにするステップと、
b4)前記ポータルフレームが前記複数のレーザー走査ユニットを前記パッケージングラインの幅方向に沿って段階的に所定の距離に移動させるようにし、前記パッケージングラインを全て加熱し終えるまで、ステップb3を繰り返すステップと、
を含む、
ことを特徴とする請求項11に記載のレーザー封止ガラスパッケージのパッケージング方法。
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