KR20170037319A - Printed circuit board and method for manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

A printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes an insulating layer on which a via hole is formed, a copper foil layer formed on one surface of the insulating layer by avoiding the via hole, and an electroless copper plating layer formed in the via hole, The thickness of the copper foil layer is thinner than the thickness of the electroless copper plating layer. Accordingly, the present invention can implement a micro circuit.

Description

인쇄회로기판 및 그 제조방법{PRINTED CIRCUIT BOARD AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a printed circuit board

본 발명은 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a printed circuit board and a manufacturing method thereof.

전자 기기에 대한 요구는 소형화경량화에만 그치지 않고, 고속 통신 대응, 대용량 통신 대응이 강하게 요구되고 있다. 그 때문에, 전자 부품의 추가적인 소형화, 부품 개수의 증가, LSI 입출력수의 증가 등은 계속해서 진행되고 있다. 한편, 소형화?E경량화?E박형화의 관점에서, 이 전자 부품들을 탑재하는 배선판의 면적에는 제약이 있으므로, 필요 이상으로 큰 설계를 하는 것이 어려운 상황이다. 그 때문에, 배선판에 대해서는 보다 고밀도의 배선 형성이 요구되고 있다. The demand for electronic devices is not limited not only to reduction in size and weight, but also to high-speed communication and large capacity communication. For this reason, further miniaturization of electronic components, an increase in the number of parts, and an increase in the number of LSI input / output, etc., continue to progress. On the other hand, from the viewpoint of miniaturization, E weight reduction, and E thinning, there is a limitation in the area of the wiring board on which these electronic parts are mounted, and therefore, it is difficult to design larger than necessary. Therefore, it is required to form wiring with a higher density for the wiring board.

일본등록특허 제3142270호 (프린트 배선판의 제조 방법, 2001.03.07 발행)Japanese Patent Registration No. 3142270 (Manufacturing Method of Printed Circuit Board, published on Mar. 3, 2001)

본 발명의 목적은 미세한 회로를 구현할 수 있는 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a printed circuit board capable of realizing a fine circuit and a method of manufacturing the same.

본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판은, 비아홀이 형성된 절연층, 상기 비아홀 내에 형성되는 무전해동도금층, 상기 절연층의 일면에 형성된 동박층, 상기 무전해동도금층 상에 도금으로 형성되는 비아 및 상기 동박층 상에 도금으로 형성되는 회로층을 포함하고, 상기 동박층의 두께는 상기 무전해동도금층의 두께보다 얇다.A printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes an insulating layer formed with a via hole, an electroless plated layer formed in the via hole, a copper foil layer formed on one surface of the insulating layer, a via formed by plating on the electroless plated layer, And a circuit layer formed by plating on the copper foil layer, wherein the thickness of the copper foil layer is thinner than the thickness of the electroless copper plating layer.

본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법은, 절연층 일면에 동박층을 형성하는 단계, 상기 동박층 상에 필름층을 형성하는 단계, 상기 동박층, 필름층 및 절연층을 관통하여 비아홀을 형성하는 단계, 상기 비아홀 내부에, 단부가 상기 동박층 접촉되는 무전해동도금층을 형성하는 단계 및 상기 필름층을 제거하는 단계를 포함하고, 상기 동박층의 두께는 상기 무전해동도금층의 두께보다 얇다.A method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes the steps of forming a copper foil layer on one side of an insulating layer, forming a film layer on the copper foil layer, passing through the copper foil layer, A step of forming an electroless plated layer in which the end portion is in contact with the copper foil layer and a step of removing the film layer in the via hole, wherein the thickness of the copper foil layer is thinner than the thickness of the electroless plated layer .

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타낸 도면.
도 2 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법을 나타낸 공정도.
1 illustrates a printed circuit board according to one embodiment of the present invention.
2 to 10 are process drawings illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 인쇄회로기판 및 그 제조방법의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a perspective view of a printed circuit board according to a first embodiment of the present invention; Fig. A duplicate description will be omitted.

또한, 이하 사용되는 제1, 제2 등과 같은 용어는 동일 또는 상응하는 구성 요소들을 구별하기 위한 식별 기호에 불과하며, 동일 또는 상응하는 구성 요소들이 제1, 제2 등의 용어에 의하여 한정되는 것은 아니다.It is also to be understood that the terms first, second, etc. used hereinafter are merely reference numerals for distinguishing between identical or corresponding components, and the same or corresponding components are defined by terms such as first, second, no.

또한, 결합이라 함은, 각 구성 요소 간의 접촉 관계에 있어, 각 구성 요소 간에 물리적으로 직접 접촉되는 경우만을 뜻하는 것이 아니라, 다른 구성이 각 구성 요소 사이에 개재되어, 그 다른 구성에 구성 요소가 각각 접촉되어 있는 경우까지 포괄하는 개념으로 사용하도록 한다.In addition, the term " coupled " is used not only in the case of direct physical contact between the respective constituent elements in the contact relation between the constituent elements, but also means that other constituent elements are interposed between the constituent elements, Use them as a concept to cover each contact.

인쇄회로기판Printed circuit board

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판은, 절연층(110), 동박층(120) 및 무전해동도금층(130)을 포함하고, 회로층(140), 비아(150)를 더 포함할 수 있다. 회로층(140)의 시드층은 동박층(120)이고, 비아(150)의 시드층은 무전해동도금층(130)이다.1, a printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes an insulating layer 110, a copper foil layer 120, and an electroless copper plated layer 130, and includes a circuit layer 140, a via 150, As shown in FIG. The seed layer of the circuit layer 140 is the copper foil layer 120 and the seed layer of the via 150 is the electroless copper plating layer 130. [

절연층(110)은 프리프레그(PPG) 또는 빌드업 필름층(build up film)일 수 있다. 프리프레그에는 유리섬유(glass cloth)와 같은 보강재가 포함될 수 있다. 빌드업 필름층은 실리카와 같은 필러(filler)가 충진된 수지재일 수 있으며, ABF(Ajinomoto Build-up Film) 등이 사용될 수 있다.The insulating layer 110 may be a prepreg (PPG) or a build-up film. The prepreg may include a reinforcing material such as glass cloth. The buildup film layer may be a resin filled with a filler such as silica, and ABF (Ajinomoto Build-up Film) may be used.

절연층(110)은 다층(111, 112)으로 구성될 수 있으며, 절연층(110)에는 비아홀(VH)이 형성된다. 비아홀(VH)은 다층으로 구성되는 절연층(110)의 최외곽층(112)에 형성될 수 있다. 비아홀(VH)은 CO2 레이저 등의 레이저 가공으로 형성될 수 있으며, 단면이 역사다리꼴일 수 있다. 한편, 비아홀(VH)의 두께는 60um 일 수 있다.The insulating layer 110 may be composed of multiple layers 111 and 112 and a via hole VH may be formed in the insulating layer 110. The via hole VH may be formed in the outermost layer 112 of the insulating layer 110 composed of multiple layers. The via hole VH may be formed by a laser process such as a CO 2 laser or the like and may have an inverted trapezoidal cross section. On the other hand, the thickness of the via hole VH may be 60 mu m.

절연층(110) 내에는 내층회로(113)와 내층패드(114)가 매립될 수 있다. 다층의 절연층(110)인 경우, 하부에 위치하는 제1 층(111) 상에 내층회로(113)와 내층패드(114)가 형성되고, 상부에 위치하는 제2 층(112)이 내층회로(113)와 내층패드(114)를 커버한다. 내층회로(113)와 내층패드(114)는 전기적으로 연결된다.The inner layer circuit 113 and the inner layer pad 114 may be embedded in the insulating layer 110. In the case of the multilayer insulating layer 110, the inner layer circuit 113 and the innerlayer pad 114 are formed on the first layer 111 located at the lower portion, and the second layer 112 located at the upper portion is formed on the innerlayer circuit (113) and the inner layer pad (114). The inner layer circuit 113 and the inner layer pad 114 are electrically connected.

내층패드(114)는 비아홀(VH)에 의하여 적어도 일부가 노출된다. 즉, 비아홀(VH)은 내층패드(114) 상에 형성된다. 내층패드(114)는 비아(150)와 접촉되어 회로층(140)과 전기적으로 연결된다.The innerlayer pad 114 is at least partially exposed by the via hole VH. That is, the via hole VH is formed on the innerlayer pad 114. The inner layer pad 114 is in electrical contact with the circuit layer 140 in contact with the via 150.

동박층(120)은 절연층(110) 최외곽층 일면에 형성될 수 있다. 동박층(120)은 후술하게 될 회로층(140)의 기반이 되는 층이다. 즉, 동박층(120)은 비아홀(VH)을 회피하여 형성되고, 절연층(110)의 최외곽층 일면 중에서 회로층(140)이 형성되는 영역에 한해 형성된다. 구체적으로 설명하면, 절연층(110)의 상기 일면 전체에, 비아홀(VH)을 회피하여 동박층(120')이 형성된 후에, 회로층(140)이 형성되는 영역 외의 부분은 제거된다. 여기서, 불필요한 동박층 제거는 에칭 방법으로 이루어질 수 있다.The copper foil layer 120 may be formed on one surface of the outermost layer of the insulating layer 110. The copper foil layer 120 serves as a base layer of the circuit layer 140 to be described later. That is, the copper foil layer 120 is formed by avoiding the via hole VH, and is formed only in a region where the circuit layer 140 is formed on one surface of the outermost layer of the insulating layer 110. Specifically, after the copper foil layer 120 'is formed by avoiding the via hole VH on the entire surface of the insulating layer 110, portions other than the region where the circuit layer 140 is formed are removed. Here, unnecessary removal of the copper foil layer can be performed by an etching method.

동박층(120)은 0.05μm~5μm 두께일 수 있으며, 바람직하게는 1μm 이하, 예를 들어, 0.3 μm 일 수 있다. 동박층(120)의 두께가 1μm 이하인 경우에는, 상술한 에칭에 의한 제거가 용이해질 수 있다. The copper foil layer 120 may be 0.05 탆 to 5 탆 thick, and may preferably be 1 탆 or less, for example, 0.3 탆. When the thickness of the copper foil layer 120 is 1 占 퐉 or less, the removal by the etching described above can be facilitated.

즉, 불필요한 동박층을 에칭하는 공정에서, 해당 에칭이 등방성 에칭인 경우에, 원하는 영역을 벗어나, 회로층(140) 영역까지 에칭될 수 있으며, 이러한 불필요한 에칭은 회로층(140)이 절연층(110)으로부터 떨어져 나가는 문제를 야기시킬 수 있다. 그러나, 동박층(120)의 두께가 1μm 이하로 얇은 경우에는 에칭 공정 시, 회로층(140)이 될 영역까지 에칭이 되는 문제는 발생하지 않는다.That is, in the step of etching the unnecessary copper foil layer, when the etching is an isotropic etching, it can be etched to the area of the circuit layer 140 beyond the desired area, 110). ≪ / RTI > However, when the thickness of the copper foil layer 120 is as thin as 1 占 퐉 or less, there is no problem of etching to the area to be the circuit layer 140 in the etching step.

동박층(120)은 무전해 도금법, 스퍼터(sputter)법으로 형성되거나, 시판 금속박을 적층시켜 형성할 수 있으나, 본 발명에서 목적으로 하는 미세 회로 형성이 가능한 것이라면, 특별히 제한되지 않는다.The copper foil layer 120 may be formed by an electroless plating method, a sputtering method, or a laminate of commercially available metal foils. However, the copper foil layer 120 is not particularly limited as long as it can form a desired microcircuit in the present invention.

동박층(120)은, 전기 저항, 에칭의 용이성, 비용의 측면에서, 구리, 크롬, 티탄, 니켈 등의 금속으로 형성될 수 있다. 한편, 시판 금속박으로는 동박, 알루미늄박 등이 사용될 수 있다.The copper foil layer 120 may be formed of a metal such as copper, chromium, titanium, or nickel in terms of electrical resistance, ease of etching, and cost. On the other hand, as the commercially available metal foil, a copper foil, an aluminum foil and the like can be used.

무전해동도금층(130)은 비아홀(VH) 내부에 형성되는 도전층으로 동(Cu)층일 수 있다. 무전해동도금층(130)은 절연층(110)의 최외곽층 일면을 회피하여 비아홀(VH) 내부에만 형성된다. 즉, 비아홀(VH)의 내측벽과 바닥에 형성된다. 무전해동도금층(130)은 무전해 도금으로 형성될 수 있으며, 팔라듐(Pd) 등의 촉매가 이용될 수 있다. The electroless plating layer 130 may be a copper layer formed inside the via hole VH. The electroless plating plating layer 130 is formed only inside the via hole VH by avoiding one surface of the outermost layer of the insulating layer 110. That is, on the inner wall and bottom of the via hole VH. The electroless plating plating layer 130 may be formed by electroless plating, or a catalyst such as palladium (Pd) may be used.

여기서, 동박층(120)의 두께는 무전해동도금층(130)의 두께보다 얇을 수 있다. 즉, 동박층(120)은 무전해동도금층(130)보다도 미세한 두께를 가진다. 예를 들어, 무전해동도금층(130) 두께는 1um 초과인 반면, 동박층(120) 두께는 0.3um일 수 있다. Here, the thickness of the copper foil layer 120 may be thinner than the thickness of the electroless copper plating layer 130. That is, the copper foil layer 120 has a smaller thickness than the electroless copper plating layer 130. For example, the thickness of the electroless plated layer 130 may be greater than 1 um while the thickness of the copper foil layer 120 may be 0.3 um.

무전해동도금층(130)은 동박층(120) 상에는 형성되지 않고, 비아홀(VH) 내부에만 형성되기 때문에, 동박층(120)으로부터 성장하는 회로층(140)은 미세 회로로 구현될 수 있다.Since the electroless plating layer 130 is not formed on the copper foil layer 120 but is formed only in the via hole VH, the circuit layer 140 growing from the copper foil layer 120 can be realized as a microcircuit.

회로층(140)은, 외층회로로서 동박층(120) 상에 형성되며, 도금으로 형성될 수 있다. 도금 레지스트(R)가 동박층(120')에 회로층(140)을 형성하고자 하는 영역 이외의 영역에 형성되면, 회로층(140)을 형성하고자 하는 영역에 대해서만 동박층(120)이 노출되는데, 이를 개구영역(O)이라 부른다. 개구영역(O)에 대해 도금을 실시하면, 노출된 동박층(120)으로부터 도금층이 성장하고, 원하는 영역에만 회로층(140)이 형성된다. The circuit layer 140 is formed on the copper foil layer 120 as an outer layer circuit, and may be formed by plating. If the plating resist R is formed in a region other than the region where the circuit layer 140 is to be formed in the copper foil layer 120 ', the copper foil layer 120 is exposed only to the region where the circuit layer 140 is to be formed , And this is called an opening area (O). When the opening region O is plated, the plating layer grows from the exposed copper foil layer 120, and the circuit layer 140 is formed only in a desired region.

이후에, 도금 레지스트(R)를 제거하고, 회로층(140)이 형성된 영역 이외의 동박층은 상술한 에칭으로 제거된다. 이 경우, 플래쉬 에칭으로 동박층이 제거될 수 있다.Thereafter, the plating resist R is removed, and the copper foil layers other than the regions where the circuit layers 140 are formed are removed by the above-described etching. In this case, the copper foil layer can be removed by flash etching.

비아(150)는 무전해동도금층(130) 상에 형성되며, 도금으로 형성될 수 있다. 이 경우에도 도금 레지스트(R)가 사용되며, 비아홀(VH)을 제외한 부분에 대해 도금 레지스트(R)를 형성하고, 비아홀(VH)에 대해 도금을 실시하면, 무전해동도금층(130)으로부터 도금층이 성장한다. 도금층 성장이 종료된 후에 도금 레지스트(R)가 박리되면, 비아홀(VH) 내에 비아(150)가 형성된다.The via 150 is formed on the electroless plated layer 130 and may be formed by plating. Also in this case, when the plating resist R is used for the portion excluding the via hole VH and plating is performed for the via hole VH, the plating layer is removed from the electroless copper plating layer 130 It grows. When the plating resist R is peeled off after the completion of the plating layer growth, the via 150 is formed in the via hole VH.

회로층(140)과 비아(150)는 동일한 도금 공정으로 형성될 수 있으며, 이 경우, 동일한 도금 레지스트(R)가 사용될 수 있다. 회로층(140)과 비아(150)가 형성될 영역을 제외한 나머지 영역에 대해 도금 레지스트(R)를 형성한 후에, 회로층(140)과 비아(150)를 동시에 도금으로 형성할 수 있다. 즉, 포토 레지스트의 개구영역(O)은 회로층(140)이 형성되는 영역과 비아홀(VH)이 된다. 이 경우, 회로층(140)의 도금영역과 비아홀(VH) 상의 도금영역의 체적이 다르기 때문에, 레벨러(lever) 등을 이용하여 도금 두께를 조절할 수 있다. The circuit layer 140 and the vias 150 may be formed by the same plating process, in which case the same plating resist R may be used. The circuit layer 140 and the vias 150 can be simultaneously formed by plating after the plating resist R is formed on the remaining region except for the area where the circuit layer 140 and the via 150 are to be formed. That is, the opening area O of the photoresist becomes the area where the circuit layer 140 is formed and the via hole VH. In this case, since the volume of the plating region on the circuit layer 140 is different from the volume of the plating region on the via hole VH, the plating thickness can be adjusted using a lever or the like.

회로층(140)과 비아(150)는 전기 도금으로 형성될 수 있다. 회로층(140)은 동박층(120)을 기반으로, 비아(150)는 무전해동도금층(130)을 기반으로 전기 도금하여 형성될 수 있다. 무전해동도금층(130)은 도전층이기 때문에 전기를 통하므로, 전기 도금으로 비아(150)가 형성될 수 있다.Circuit layer 140 and vias 150 may be formed by electroplating. The circuit layer 140 may be formed on the copper foil layer 120 and the vias 150 may be formed by electroplating based on the electroless copper plating layer 130. Since the electroless plated layer 130 is a conductive layer, the via 150 is formed by electroplating because it is electrically conductive.

또한, 비아(150) 상에는 비아패드(151)가 형성될 수 있으며, 비아패드(151)의 두께는 회로층(140)의 두께와 동일할 수 있다. 비아패드(151)의 횡단면적은 비아(150)의 횡단면적보다 크게 형성될 수 있으며, 이 경우에는, 비아홀(VH) 주변의 도금 레지스트(R) 개구영역(O)은 비아홀(VH)의 크기보다 크게 형성된다. In addition, the via pad 151 may be formed on the via 150, and the thickness of the via pad 151 may be the same as the thickness of the circuit layer 140. The cross sectional area of the via pad 151 may be larger than the cross sectional area of the via 150. In this case, the opening area O of the plating resist R around the via hole VH may be larger than the cross sectional area of the via hole VH .

비아패드(151)는 비아(150)와 접촉되고, 회로층(140)과 전기적으로 연결될 수 있다. 이에 따라, 비아(150)는 내층패드(114)와 비아패드(151) 사이에 개재되어, 절연층(110)의 서로 다른 층에 있는 회로층(140) 및 내층회로(113)를 층간연결시킨다.The via pad 151 is in contact with the via 150 and may be electrically connected to the circuit layer 140. The via 150 is interposed between the inner layer pad 114 and the via pad 151 to interlayer connect the circuit layer 140 and the inner layer circuit 113 in the different layers of the insulating layer 110 .

인쇄회로기판 제조방법Printed circuit board manufacturing method

도 2 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법을 나타낸 공정도이다. 도 2 내지 도 10을 참조하면, 인쇄회로기판 제조방법은, 동박층(120')을 형성하는 단계, 동박층(120') 상에 필름층(F)을 형성하는 단계, 비아홀(VH)을 형성하는 단계, 무전해동도금층(130)을 형성하는 단계, 필름층(F)을 제거하는 단계, 회로층(140)과 비아(150)를 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 2 to 10 are process diagrams illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention. 2 to 10, a method of manufacturing a printed circuit board includes the steps of forming a copper foil layer 120 ', forming a film layer F on the copper foil layer 120', forming a via hole VH Forming the electroless copper plating layer 130, removing the film layer F, and forming the circuit layer 140 and the vias 150. [0064]

동박층(120')을 형성하는 단계는, 회로층(140)의 기반이 되는 동박층(120')이 절연층(110)의 최외곽층 일면에 형성되는 단계이다. 동박층(120')은 무전해 도금법, 스퍼터(sputter)법으로 형성되거나, 시판 금속박을 적층시켜 형성할 수 있다. The step of forming the copper foil layer 120 'is a step in which the copper foil layer 120' serving as a base of the circuit layer 140 is formed on one surface of the outermost layer of the insulating layer 110. The copper foil layer 120 'may be formed by an electroless plating method, a sputtering method, or a laminate of commercially available metal foils.

한편, 상기 절연층(110) 최외곽층 일면에 동박층(120')을 형성하는 단계는, 동박층(120')이 구비된 캐리어를 제공하는 단계, 동박층(120')이 개재되도록 캐리어를 절연층(110)에 적층하는 단계 그리고 캐리어를 제거하는 단계를 포함할 수 있다.The step of forming the copper foil layer 120 'on one side of the outermost layer of the insulating layer 110 may include the steps of providing a carrier provided with the copper foil layer 120' Depositing a dielectric layer on the insulating layer 110 and removing the carrier.

동박층(120')은 캐리어 상에 도금법 또는 스퍼터법으로 형성될 수 있다. 캐리어는 절연층(110)에 적층되며, 이 때, 동박층(120')은 캐리어와 절연층(110) 사이에 개재된다. 캐리어가 제거되면, 동박층(120')은 절연층(110) 상에 잔류한다. 캐리어는 상기 동박층(120')을 보호하기 위한 자재이다.The copper foil layer 120 'may be formed on the carrier by a plating method or a sputtering method. The carrier is stacked on the insulating layer 110, wherein the copper foil layer 120 'is interposed between the carrier and the insulating layer 110. When the carrier is removed, the copper foil layer 120 'remains on the insulating layer 110. The carrier is a material for protecting the copper foil layer 120 '.

동박층(120')은 절연층(110) 일면 전체에 형성된다. 동박층(120')은 0.05μm~5μm 두께일 수 있으며, 바람직하게는 1μm 이하, 예를 들어, 0.3 μm 일 수 있다. 동박층(120)의 두께가 1μm 이하인 경우에는, 에칭에 의한 제거가 용이해질 수 있다. The copper foil layer 120 'is formed on one surface of the insulating layer 110. The copper foil layer 120 'may be 0.05 袖 m to 5 袖 m thick, and may preferably be 1 袖 m or less, for example, 0.3 袖 m. When the thickness of the copper foil layer 120 is 1 占 퐉 or less, the removal by etching can be facilitated.

동박층(120')은, 전기 저항, 에칭의 용이성, 비용의 측면에서, 구리, 크롬, 티탄, 니켈 등의 금속으로 형성될 수 있다. 한편, 시판 금속박으로는 동박, 알루미늄박 등이 사용될 수 있다.The copper foil layer 120 'may be formed of a metal such as copper, chromium, titanium, or nickel in terms of electrical resistance, ease of etching, and cost. On the other hand, as the commercially available metal foil, a copper foil, an aluminum foil and the like can be used.

동박층(120') 상에 필름층(F)을 형성하는 단계는, 동박층(120')을 커버하는 필름층(F)을 형성하는 단계이다. The step of forming the film layer F on the copper foil layer 120 'is a step of forming a film layer F covering the copper foil layer 120'.

필름층(F)은 수지 필름일 수 있다. 또한, 필름층(F)은 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리메틸펜텐 및 이 성분들로 구성되는 코폴리머 또는 폴리머 블렌드 중에서 선정되는 폴리올레핀 재료를 성분으로 하는 필름일 수 있다. 이러한 성분의 필름은 이 필름들은, 내약품성이 우수하기 때문에, 디스미어액 등에 의해 변형, 팽윤, 용해 등 변성되지 않는다. 또한, 이러한 필름은 드라이 필름용 라미네이터로 동박층(120') 상에 라미네이트될 수 있다. The film layer (F) may be a resin film. Further, the film layer (F) may be a film composed of a polyolefin material selected from polyethylene, polypropylene, polymethylpentene and a copolymer or a polymer blend composed of these components. These films of these components are excellent in chemical resistance, and therefore are not deformed, deformed, swelled, dissolved, or the like due to a dispersion liquid. In addition, such a film may be laminated on the copper foil layer 120 'with a laminator for a dry film.

필름층(F)은 표면에 접착재 또는 이형재가 형성되지 않은 단일필름 형태일 수 있다. 또한, 필름층(F)은 가소제를 함유하지 않을 수 있다. 필름층(F)에 접착재, 이형재, 가소제 등이 형성되지 않음으로써, 인쇄회로기판 제조 공정 상에서 불필요한 이물이 발생하지 않는다.The film layer (F) may be in the form of a single film on which no adhesive or release agent is formed. Further, the film layer (F) may contain no plasticizer. Since the adhesive layer, the release material, the plasticizer, and the like are not formed on the film layer F, unnecessary foreign matters are not generated in the process of manufacturing the printed circuit board.

한편, 필름층(F)은 3μm~50μm 의 두께를 가지며, 취급 용이성, 입수 용이성, 가격 등을 고려해볼 때, 바람직하게는 5μm~20μm의 두께를 가진다.On the other hand, the film layer F has a thickness of 3 to 50 mu m and preferably has a thickness of 5 to 20 mu m in consideration of ease of handling, availability and cost.

비아홀(VH)을 형성하는 단계는, 필름층(F), 동박층(120') 및 절연층(110)을 관통하는 홀을 형성하는 단계이다. 비아홀(VH)은 레이저 가공 또는 드릴 가공으로 형성될 수 있다. The step of forming the via hole VH is a step of forming a hole penetrating the film layer F, the copper foil layer 120 'and the insulating layer 110. The via hole VH can be formed by laser machining or drilling.

비아홀(VH)을 형성하는 과정에서, 절연층(110)의 수지가 녹으면서 비아홀(VH)에 수지 잔사가 존재할 수 있다. 이러한 수지 잔사는 스미어(smear)라고 불리며, 스미어를 제거하기 위해, 디스미어(desmear) 단계가 포함될 수 있다. 디스미어 단계에서는 디스미어액으로 스미어가 제거된다.In the process of forming the via hole VH, a resin residue may exist in the via hole VH while the resin of the insulating layer 110 is melted. Such a resin residue is called a smear, and a desmearing step may be included to remove the smear. In the desmear step, the smear is removed by the desmear liquid.

디스미어 단계에서, 필름층(F)은 디스미어액에 의하여 동박층(120')이 손상되는 것을 방지한다. 또한, 디스미어액에 의하여 필름층(F) 자체가 손상되지 않아야 하므로, 필름층(F)은 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리메틸펜텐 등의 성분을 포함할 수 있다.In the desmear step, the film layer (F) prevents the copper foil layer 120 'from being damaged by the liquid dispersion. In addition, since the film layer F itself should not be damaged by the desmear liquid, the film layer F may contain components such as polyethylene, polypropylene, polymethylpentene and the like.

무전해동도금층(130)을 형성하는 단계는, 비아홀(VH)의 내측벽과 바닥에 도전층을 형성하는 단계이다. 이 도전층은 구리일 수 있다. 무전해동도금층(130)은 무전해 도금으로 형성될 수 있으며, 팔라듐(Pd) 등의 촉매가 이용될 수 있다.The step of forming the electroless plating plating layer 130 is a step of forming a conductive layer on the inner wall and the bottom of the via hole VH. This conductive layer may be copper. The electroless plating plating layer 130 may be formed by electroless plating, or a catalyst such as palladium (Pd) may be used.

필름층(F)은 절연층(110) 일면 또는 동박층(120') 상에 무전해동도금층(130)이 형성되는 것을 방지한다. 즉, 필름층(F)에 의하여 동박층(120')은 가려지기 때문에 무전해동도금층(130)이 동박층(120') 상에 형성되지 않을 수 있다.The film layer F prevents the electroless plated layer 130 from being formed on one surface of the insulating layer 110 or on the copper foil layer 120 '. That is, since the copper foil layer 120 'is covered with the film layer F, the electroless copper plating layer 130 may not be formed on the copper foil layer 120'.

동박층(120')의 두께는 무전해동도금층(130)의 두께보다 얇을 수 있다. 즉, 동박층(120')은 무전해동도금층(130)보다도 미세한 두께를 가진다. 이 경우, 무전해동도금층(130)은 동박층(120') 상에는 형성되지 않고, 비아홀(VH) 내부에만 형성되기 때문에, 동박층(120')으로부터 성장하는 회로층(140)은 미세 회로로 구현될 수 있다.The thickness of the copper foil layer 120 'may be thinner than the thickness of the electroless plated layer 130. That is, the copper foil layer 120 'has a thickness smaller than that of the electroless copper plating layer 130. In this case, since the electroless plated layer 130 is not formed on the copper foil layer 120 'but is formed only in the via hole VH, the circuit layer 140 growing from the copper foil layer 120' .

만약, 필름층(F)이 없다면, 무전해동도금층(130)은 동박층(120') 상에까지 형성될 수 있고, 동박층(120') 및 무전해동도금층(130) 상에 회로층(140)이 형성되면, 회로 전체의 높이는 무전해동도금층(130)만큼 더 높아지며, 미세한 회로 구현이 불가능하다. If there is no film layer F, the electroless copper plating layer 130 may be formed on the copper foil layer 120 ', and the circuit layer 140 may be formed on the copper foil layer 120' and the electroless copper plating layer 130. [ The height of the entire circuit becomes higher than that of the electroless plated layer 130, and a minute circuit can not be realized.

즉, 필름층(F)을 사용함으로써, 비아홀(VH) 내부에만 무전해동도금층(130)을 형성할 수 있고, 이 때문에 회로층(140)을 더 미세하게 형성할 수 있다.That is, by using the film layer F, the electroless plated layer 130 can be formed only in the via hole VH, and the circuit layer 140 can be formed finer.

필름층(F)을 제거하는 단계는, 무전해동도금층(130)이 형성된 후에, 동박층(120')을 커버하고 있던 필름층(F)을 박리 등의 방법으로 제거하는 단계이다. 필름층(F) 제거 방법에 대해서는 한정되지 않는다.The step of removing the film layer F is a step of removing the film layer F covering the copper foil layer 120 'by peeling or the like after the electroless copper plating layer 130 is formed. The method of removing the film layer (F) is not limited.

회로층(140)을 형성하는 단계는 동박층(120') 상에 도금 레지스트(R)를 형성하고, 도금 레지스트(R)를 패터닝한 후에 도금층을 형성하는 단계이다. 비아(150)를 형성하는 단계는 비아홀(VH) 내부에 도금층을 형성하는 단계이다. The step of forming the circuit layer 140 is a step of forming a plating resist R on the copper foil layer 120 'and forming a plating layer after patterning the plating resist R. The step of forming the via 150 is a step of forming a plating layer inside the via hole VH.

회로층(140)과 비아(150)는 동일한 도금 공정으로 형성될 수 있다. 이 경우, 동일한 도금 레지스트(R)가 사용될 수 있다. 즉, 동박층(120')과 비아홀(VH) 상에 도금 레지스트(R)를 적층하고, 회로층(140)이 형성될 영역과 비아홀(VH) 영역에 대해서 도금 레지스트(R)를 제거한다. 도금 레지스트(R)의 제거된 영역을 개구영역(O)이라 부를 수 있다. The circuit layer 140 and the vias 150 can be formed by the same plating process. In this case, the same plating resist R can be used. That is, the plating resist R is laminated on the copper foil layer 120 'and the via hole VH to remove the plating resist R on the region where the circuit layer 140 is to be formed and the via hole VH region. The removed region of the plating resist R may be referred to as an opening region O. [

개구영역(O)이 도금되면, 회로층(140)과 비아(150)가 형성된다. 이 경우, 회로층(140)과 비아(150)는 전기 도금으로 형성될 수 있다. 회로층(140)은 동박층(120)을 기반으로, 비아(150)는 무전해동도금층(130)을 기반으로 전기 도금하여 형성될 수 있다. When the opening area O is plated, the circuit layer 140 and the vias 150 are formed. In this case, the circuit layer 140 and the vias 150 may be formed by electroplating. The circuit layer 140 may be formed on the copper foil layer 120 and the vias 150 may be formed by electroplating based on the electroless copper plating layer 130.

회로층(140)을 형성하는 단계는, 회로층(140)이 형성되지 않은 동박층을 제거하는 단계를 포함한다. 동박층(120)은 에칭으로 제거될 수 있다. 이 때, 특정 영역의 동박층만을 제거하기 위하여 에칭 레지스트가 사용될 수 있다.The step of forming the circuit layer 140 includes removing the copper foil layer on which the circuit layer 140 is not formed. The copper foil layer 120 may be removed by etching. At this time, an etching resist may be used to remove only the copper foil layer in a specific region.

상술한 필름층(F)이 없다면, 회로층(140)이 형성되기 위한 기반으로, 동박층(120)에 무전해동도금층(130)이 더해지기 때문에, 회로 전체 두께가 커짐은 앞에서 설명한 바 있다. 이 경우, 불필요한 동박층을 제거하기 위한 에칭 시, 에칭 시간도 증가함은 당연한 결과이다.If there is no film layer F as described above, since the electroless plated layer 130 is added to the copper foil layer 120 as the basis for forming the circuit layer 140, the overall thickness of the circuit is increased as described above. In this case, it is a natural result that the etching time is also increased at the time of etching for removing the unnecessary copper foil layer.

즉, 본 발명의 실시예에서처럼 필름층(F)을 사용하게 되면, 회로 두께도 감소될 뿐만 아니라, 에칭 시간도 줄어들 수 있다. 또한, 회로 두께가 감소되면서 미세 회로 구현이 가능해지고, 미세 회로에 대한 수율이 높아진다. That is, by using the film layer F as in the embodiment of the present invention, not only the circuit thickness but also the etching time can be reduced. In addition, as the circuit thickness is reduced, a microcircuit can be realized and the yield for a microcircuit can be increased.

이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit of the invention as set forth in the appended claims. The present invention can be variously modified and changed by those skilled in the art, and it is also within the scope of the present invention.

110: 절연층
111: 제1 층
112: 제2 층
113: 내층회로
114: 내층패드
VH: 비아홀
120, 120': 동박층
130: 무전해동도금층
140: 회로층
150: 비아
151: 비아패드
F: 필름층
R: 도금 레지스트
O: 개구영역
110: insulating layer
111: first layer
112: Second layer
113: Inner layer circuit
114: Inner layer pad
VH: Via hole
120, 120 ': copper foil layer
130: electroless galvanized layer
140: Circuit layer
150: Via
151: via pad
F: film layer
R: plating resist
O: opening area

Claims (10)

비아홀이 형성된 절연층;
상기 비아홀 내에 형성되는 무전해동도금층;
상기 절연층의 일면에 형성된 동박층;
상기 무전해동도금층 상에 도금으로 형성되는 비아; 및
상기 동박층 상에 도금으로 형성되는 회로층을 포함하고,
상기 동박층의 두께는 상기 무전해동도금층의 두께보다 얇은 인쇄회로기판.
An insulating layer on which a via hole is formed;
An electroless plated layer formed in the via hole;
A copper foil layer formed on one surface of the insulating layer;
A via formed on the electroless plated layer by plating; And
And a circuit layer formed by plating on the copper foil layer,
Wherein the thickness of the copper foil layer is thinner than the thickness of the electroless copper plating layer.
제1항에 있어서,
상기 동박층의 두께는 1um 이하인 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the thickness of the copper foil layer is 1um or less.
제1항에 있어서,
상기 절연층 내에 형성되며, 적어도 일부가 상기 비아와 접촉되는 내층패드를 더 포함하는 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
And an inner layer pad formed in the insulating layer, wherein at least a portion of the inner layer pad is in contact with the via.
제1항에 있어서,
상기 무전해동도금층은 상기 비아홀 내부에만 형성되는 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
And the electroless plated layer is formed only inside the via hole.
절연층 일면에 동박층을 형성하는 단계;
상기 동박층 상에 필름층을 형성하는 단계;
상기 동박층, 필름층 및 절연층을 관통하여 비아홀을 형성하는 단계;
상기 비아홀 내부에, 단부가 상기 동박층 접촉되는 무전해동도금층을 형성하는 단계; 및
상기 필름층을 제거하는 단계를 포함하고,
상기 동박층의 두께는 상기 무전해동도금층의 두께보다 얇은 인쇄회로기판 제조방법.
Forming a copper foil layer on one surface of the insulating layer;
Forming a film layer on the copper foil layer;
Forming a via hole through the copper foil layer, the film layer, and the insulating layer;
Forming an electroless plated layer on the inside of the via hole, the end of the plated layer being in contact with the copper foil layer; And
Removing the film layer,
Wherein the thickness of the copper foil layer is thinner than the thickness of the electroless copper plating layer.
제5항에 있어서,
상기 동박층 상에 회로층를 형성하는 단계; 및
상기 무전해동도금층 상에 비아를 형성하는 단계를 더 포함하는 인쇄회로기판 제조방법.
6. The method of claim 5,
Forming a circuit layer on the copper foil layer; And
And forming a via on the electroless copper plating layer.
제5항에 있어서,
상기 동박층의 두께는 1um 이하인 인쇄회로기판 제조 방법.
6. The method of claim 5,
Wherein the thickness of the copper foil layer is 1um or less.
제5항에 있어서,
상기 필름층은, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 또는 폴리메틸펜텐 중 적어도 하나를 포함하는 재질로 형성된 인쇄회로기판 제조방법.
6. The method of claim 5,
Wherein the film layer is formed of a material containing at least one of polyethylene, polypropylene, and polymethylpentene.
제5항에 있어서,
상기 비아홀을 형성하는 단계와 무전해동도금층을 형성하는 단계 사이에,
디스미어(desmear) 단계를 더 포함하는 인쇄회로기판 제조방법.
6. The method of claim 5,
Between the step of forming the via hole and the step of forming the electroless plated layer,
The method further comprising a desmear step.
제5항에 있어서,
상기 절연층 일면에 동박층을 형성하는 단계는,
상기 동박층이 구비된 캐리어를 제공하는 단계;
상기 동박층이 개재되도록 상기 캐리어를 상기 절연층에 적층하는 단계; 및
상기 캐리어를 제거하는 단계를 포함하는 인쇄회로기판 제조방법.

6. The method of claim 5,
Wherein the step of forming the copper foil layer on one surface of the insulating layer comprises:
Providing a carrier having the copper foil layer;
Depositing the carrier on the insulating layer such that the copper foil layer is interposed therebetween; And
And removing the carrier.

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