KR20170019318A - 위치 보정용 지그 및 x선 위치 계측 장치 - Google Patents

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Abstract

(과제)X선 방사기의 방사 중심과 X선 카메라의 광축을, 신속하고 정밀도 좋게 조정할 수 있는 위치 보정용 지그를 제공하는 것을 목적으로 한다.
(해결 수단)X선 위치 계측 장치의 위치 보정용 지그는, X선 방사기로부터 방사된 X선에 기초하는 화상을 X선 카메라로 촬상하여 측정 대상물을 측정하는 X선 위치 계측 장치에 있어서의 X선 방사기의 X선 방사 중심과 X선 카메라의 광축을 맞추기 위해서 이용되는 X선 위치 계측 장치의 위치 보정용 지그로서, X선 방사기측이 방사한 X선을 투과하는 제1 투과부와, 제1 투과부에 의해 투과된 X선을 투과하여 X선 카메라에 투영하는 제2 투과부를 구비하고, 제1 투과부에 의해 투과된 X선에 기초하는 제1 투영상과, 제2 투과부에 의해 투과된 X선에 기초하는 제2 투영상을, X선 카메라에 투영한다.

Description

위치 보정용 지그 및 X선 위치 계측 장치{POSITION CORRECTING JIG AND X-RAY POSITION MEASUREMENT DEVICE}
본 발명은, 위치 보정용 지그 및 X선 위치 계측 장치에 관한 것이다.
X선 방사기 및 X선 카메라를 이용하여 프린트판의 위치 계측을 행하는 X선 위치 계측 장치가 알려져있다(특허 문헌 1). 이러한 X선 위치 계측 장치에서는, X선 방사기의 방사 중심과 X선 카메라의 광축이 일치하지 않으면 X선 카메라의 촬상 화상에 왜곡이 생기고, 정확한 위치 결정을 행할 수 없다. 이 때문에, 이러한 X선 위치 계측 장치에서는, 방사기의 방사 중심과 X선 카메라의 광축을 일치시키는 조정이 행해진다.
일본국 특허공개 2012-88170호 공보
이와 같이 방사기의 방사 중심과 X선 카메라의 광축을 일치시키는 조정을 행할 때, 조정에 힘들이지 않고, 짧은 조정 시간으로, 정확하게, 방사기의 방사 중심과 X선 카메라의 광축을 일치시키는 조정을 행할 수 있는 것이 요구된다.
상술의 과제를 감안하여, 본 발명은, X선 방사기의 방사 중심과 X선 카메라의 광축을, 신속하게 정밀도 좋게 조정할 수 있는 위치 보정용 지그 및 이러한 위치 보정용 지그를 이용할 수 있는 X선 위치 계측 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
(1)상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일형태에 따른 위치 보정용 지그는, X선 방사기로부터 방사된 X선에 기초하는 화상을 X선 카메라로 촬상하여 측정 대상물을 측정하는 X선 위치 계측 장치에 있어서의 상기 X선 방사기의 X선 방사 중심과 상기 X선 카메라의 광축을 맞추기 위해서 이용되는 상기 X선 위치 계측 장치의 위치 보정용 지그로서, 상기 X선 방사기측이 방사한 X선을 투과하는 제1 투과부와, 상기 제1 투과부에 의해 투과된 X선을 투과하여 상기 X선 카메라에 투영하는 제2 투과부를 구비하고, 상기 제1 투과부에 의해 투과된 X선에 기초하는 제1 투영상과, 상기 제2 투과부에 의해 투과된 X선에 기초하는 제2 투영상을, 상기 X선 카메라에 투영한다.
(2)또, 본 발명의 일형태에 따른 위치 보정용 지그에 있어서, 상기 제1 투과부와 상기 제2 투과부는, X선을 투과시키는 구멍을 구비하도록 해도 된다.
(3)또, 본 발명의 일형태에 따른 위치 보정용 지그에 있어서, 상기 제1 투과부의 구멍의 지름은, 상기 제2 투과부의 구멍의 지름보다 작게 해도 된다.
(4)또, 본 발명의 일형태에 따른 위치 보정용 지그에 있어서, 상기 제1 투과부의 부재의 두께는, 상기 제2 투과부의 부재의 두께보다 얇게 해도 된다.
(5)또, 본 발명의 일형태에 따른 위치 보정용 지그에 있어서, 상기 제1 투과부와 상기 제2 투과부는, 서로 X선 투과율이 다른 부재로 구성되도록 해도 된다.
(6)또, 본 발명의 일형태에 따른 위치 보정용 지그에 있어서, 상기 제1 투과부의 부재는 알루미늄이며, 상기 제2 투과부의 부재는 놋쇠이도록 해도 된다.
(7)상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일형태에 따른 X선 위치 계측 장치는, X선 방사기 및 X선 카메라와, 측정 대상물을 올려놓는 워크 재치 테이블과, 상기 워크 재치 테이블 상의 측정 대상물에 대해서, 상기 X선 방사기를 상기 워크 재치 테이블면을 따라 이동시키는 제1 이동부와, 상기 워크 재치 테이블 상의 측정 대상물에 대해서, 상기 X선 카메라를 상기 워크 재치 테이블면을 따라 이동시키는 제2 이동부와, 상기 X선 방사기로부터 방사되고, 상기 측정 대상물을 투과한 X선이 2개의 다른 X선 투영상으로서 투영되는 화상 표시부와, 상기의 위치 보정용 지그를 구비하고, 상기 2개의 다른 X선 투영상의 위치 편차량에 기초하여, 상기 제1 이동부 및 제2 이동부 중 적어도 한쪽을 이동시킴으로써, 상기 X선 방사기의 X선 방사 중심과 상기 X선 카메라의 광축을 일치시킨다.
본 발명에 의하면, 2개의 다른 X선 투영상을 이용하여, X선 방사기의 X선 방사 중심과 X선 카메라의 광축을 일치시키는 조정을 신속하고 정확하게 행할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그에 의해 위치 조정을 행할 수 있는 X선 위치 계측 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는, X선 위치 계측 장치의 -Y방향에서 본 모식 측면도이다.
도 3은, X선 위치 계측 장치의 하드웨어 구성을 설명하기 위한 기능 블럭도이다.
도 4는, 제1 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그의 측면 단면도이다.
도 5는, 제1 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그의 화상 해석의 설명도이다.
도 6은, 제1 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그를 이용한 광축 조정의 설명도이다.
도 7은, 제1 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그를 이용한 광축 조정의 설명도이다.
도 8은, 제1 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그를 이용하여 X선 방사기의 X선 방사 중심과 X선 카메라의 광축을 일치시키는 조정을 행할 때의 처리를 나타내는 플로차트이다.
도 9는, 제2 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그의 화상 해석의 설명도이다.
도 10은, 제3 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그의 화상 해석의 설명도이다.
이하, 본 발명의 실시의 형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은, X선 방사기 및 X선 카메라를 이용하여 프린트판의 위치 계측을 행하는 X선 위치 계측 장치의 일례를 나타내는 사시도이며, 도 2는, X선 위치 계측 장치(10)의 -Y방향에서 본 모식 측면도이다. 본 발명의 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그는, 이러한 X선 위치 계측 장치(10)에 있어서, 방사기의 방사 중심과 X선 카메라의 광축을 일치시키는 조정을 행할 때에 이용된다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, X선 위치 계측 장치(10)는, X선 방사기(10a) 및 X선 카메라(10b)와, 직사각형 틀 형상의 워크 재치 테이블(10c)을 구비하고 있다. 워크 재치 테이블(10c)에는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 다층 프린트 기판(70)이 올려놓여진다.
X선 위치 계측 장치(10)는, 바닥이나 테이블 상에 설치되는 평면에서 볼 때 방형의 기대(10d)와, 이 기대(10d)의 Y방향 중앙부로부터 상방(＋Z방향)으로 세워 설치된 직사각형 평판 형상의 입설(立設) 플레이트(10e)를 더 구비하고 있다. 이 기대(10d)의 각변은, 각각, 좌우 방향(±X방향), 전후 방향(±Y방향), 상하 방향(±Z방향)을 따르고 있고, 입설 플레이트(10e)는, 좌우 방향으로 연장되어 있다. 워크 재치 테이블(10c)은, 기대(10d)의 상면과 평행하게 배치되어 있다.
X선 방사기(10a) 및 X선 카메라(10b)는, 워크 재치 테이블(10c)의 개구 내에 소정 거리를 두고 상하 방향으로 대향하도록 배치되어 있다. X선 방사기(10a)로부터 방사되고, 다층 프린트 기판을 투과한 X선은, X선 카메라(10b)의 수광면에서 X선 투영상으로서 포착된다.
X선 카메라(10b)는, 단면 L자형의 Z방향 이동체(15)에 의해 지지되고, 이 Z방향 이동체(15)는, 한 쌍의 제1 궤도 레일(51)을 통해 직사각형 모양의 제1 X방향 이동체(13)에 대해서 상하 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 그리고, Z방향 이동체(15)는, 제1 X방향 이동체(13)에 배치된 Z모터(43)에 의해, 한 쌍의 제1 궤도 레일(51)로 안내되면서 제1 X방향 이동체(13)에 대해서 워크 재치 테이블면과 수직인 방향(상하 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다. 이 한 쌍의 제1 궤도 레일(51)은, 제1 X방향 이동체(13)의 ＋Y측의 측면의 대략 중앙부에 Z방향으로 연장되도록 배치되어 있다.
제1 X방향 이동체(13)는, 한 쌍의 제2 궤도 레일(52)를 통해 입설 플레이트(10e)에 대해서 X방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 이 한 쌍의 제2 궤도 레일(52)은, 입설 플레이트(10e)의 ＋Y측의 측면의 상하 주연부에 X방향으로 연장되도록 배치되어 있다. 그리고, 제1 X방향 이동체(13)는, 입설 플레이트(10e)에 배치된 제1 X모터(11)에 의해, 제2 궤도 레일(52)로 안내되면서 입설 플레이트(10e)를 따라 X방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, X선 카메라(10b)는, Z방향 이동체(15) 상에 배치된 제3 X모터(31) 및 제3 Y모터(32)에 의해, Z방향 이동체(15)에 대해서 X방향 및 Y방향으로 미소한 범위에서 이동 가능하게 되어 있다.
X선 방사기(10a)는, 직사각형 평판 형상의 제2 X방향 이동체(14) 상에 올려놓여지고, 이 제2 X방향 이동체(14)는, X방향으로 연장되는 한 쌍의 제3 궤도 레일(53)을 통해 기대(10d)에 대해서 X방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 그리고, 제2 X방향 이동체(14)는, 기대(10d)에 배치된 제2 X모터(21)에 의해, 제3 궤도 레일(53)로 안내되면서 기대(10d)에 대해서 X방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 한 쌍의 제3 궤도 레일(53) 및 제2 X모터(21)는, 기대(10d)의 중앙부에 X방향으로 연장되도록 형성된 홈부(10f)의 저면에 배치되어 있다. 또한, X선 방사기(10a)는, 제2 X방향 이동체(14) 상에 배치된 제2 Y모터(22)에 의해, 제2 X방향 이동체(14)에 대해서 Y방향으로 미소한 범위에서 이동 가능하게 되어 있다.
이와 같이, X선 방사기(10a) 및 X선 카메라(10b)는, 제1 X모터(11) 및 제2 X모터(21)에 의해, 워크 재치 테이블(10c) 상의 다층 프린트 기판에 대해서, 각각 독립적으로 상기 워크 재치 테이블면을 따라 이동 가능하게 되어 있다.
워크 재치 테이블(10c)은, 한 쌍의 제3 궤도 레일(54)을 통해 기대(10d)에 대해서 Y방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 이 제3 궤도 레일(54)은, 기대(10d)의 좌우 주연부에 Y방향으로 연장되도록 배치되어 있다. 그리고, 워크 재치 테이블(10c)은, 기대(10d) 상에 배치된 제4 Y모터(42)에 의해, 제3 궤도 레일(54)로 안내되면서 기대(10d)에 대해서 Y방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
또, X선 카메라(10b)와 X선 방사기(10a)의 사이에는, 위치 보정용 지그(101)가 장착된다. 위치 보정용 지그(101)는, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축을 일치시키기 위해 이용된다. 위치 보정용 지그(101)는 원통 형상으로 성형되어 있고, 측면부(111)와, 원통의 양단의 저면부(112a 및 112b)를 갖고 있다. 저면부(112a)가 X선 방사기(10a)측에 배치되고, 저면부(112b)가 X선 카메라(10b)측에 배치된다.
도 3은, X선 위치 계측 장치(10)의 하드웨어 구성을 설명하기 위한 기능 블럭도이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, X선 위치 계측 장치(10)는, CPU(Central Processing Unit)를 갖는 컨트롤러(81), 화상 표시부(45), X선 방사기 구동부(46), 기억부(47), 입력부(48)를 구비하고 있다. 이들 화상 표시부(45), X선 방사기 구동부(46), 기억부(47), 입력부(48)는, 각각, 컨트롤러(81)에 접속되어 있다.
또, 컨트롤러(81)에는, 상술한 X선 위치 계측 장치(10)의 각 구성요소를 구동하기 위한 서보모터군(44), 즉, 상술한 제1 X모터(11), 제2 X모터(21), Z모터(43), 제2 Y모터(22), 제3 X모터(31), 제3 Y모터(32), 제4 Y모터(42)가 접속되어 있다.
화상 표시부(45)는, X선 카메라(10b)에 접속되고, X선 카메라(10b)의 수광면에 투영된 X선 투영상이 투영된다. 그리고, 컨트롤러(81)에서는, 화상 표시부(45)의 표시 화면에 표시되는 X선 투영상이 화상 처리되도록 되어 있다.
X선 방사기 구동부(46)는, X선 방사기(10a)에 접속되고, 입력부(48)로부터의 입력 정보에 기초하여 X선 방사기(10a)로부터 X선을 방사시키거나, 그 방사를 정지시키는 것이다. 기억부(47)는, RAM(Random Access Memory), ROM(Read Only Memory), 반도체 메모리 등의 불휘발성 메모리를 포함한다. 기억부(47)에는, 컨트롤러(81)가 실행하는 프로그램, 프로그램의 실행에 필요한 각종 파라미터, 상기 서보모터군(44)를 구동하고, X선 방사기(10a) 및 X선 카메라(10b)를 이동시키기 위한 각종 정보가 저장된다.
입력부(48)는, 전원 스위치나 X선 위치 계측 장치(10)에 대한 지령을 입력하기 위한 조작 패널 등을 포함하여 구성되고, 유저로부터의 입력을 접수한다. 유저로부터의 지시는, 이 입력부(48)를 통해 입력되고, 컨트롤러(81)에 통지된다.
다음에, 제1 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그(101)에 대해 설명한다. 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, X선 위치 계측 장치(10)는, X선 방사기(10a)로부터의 X선 화상을 X선 카메라(10b)로 포착하고, 다층 프린트 기판의 위치 계측을 행하고 있다. 이러한 X선 위치 계측 장치(10)에서는, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축을 일치시켜 둘 필요가 있다. 본 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그(101)는, 이러한 X선 위치 계측 장치(10)에서, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축을 일치시키는데 이용된다.
도 4는, 본 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그(101)의 측면 단면도이다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 위치 보정용 지그(101)는, 원통 형상으로 성형되어 있고, 측면부(111)와, 원통의 양단의 저면부(112a)(제1 투과부) 및 저면부(112b(제2 투과부)를 갖고 있다. 저면부(112a)는, 저면부(112b)를 구성하는 부재보다 X선 투과율이 큰(X선을 투과하기 쉬운) 부재, 예를 들면 알루미늄에 의해 성형되어 있다. 저면부(112a)의 중심에, 원형의 구멍(113a)이 형성되어 있다. 저면부(112b)는, X선 투과율이 작은(X선을 투과하기 어려운) 부재, 예를 들면 놋쇠에 의해 성형되어 있다. 저면부(112b)의 중심에, 원형의 구멍(113b)이 형성되어 있다. 저면부(112a)의 구멍(113a)의 지름은, 저면부(112b)의 구멍(113b)의 지름보다 작다. 측면부(111)에는, 플랜지부(115)가 설치된다.
또한, 이 예에서는, 측면부(111)와 저면부(112b)를 예를 들면 놋쇠에 의해 일체적으로 성형하고, 저면부(112a)를 예를 들면 알루미늄으로 성형하여 위치 보정용 지그(101)의 단면에 끼워넣고 있지만, 저면부(112a)와 저면부(112b)는, 어떻게 가공해도 상관없다.
또, 여기에서는, 저면부(112a)를 알루미늄, 저면부(112b)를 놋쇠로 하고 있지만, X선 투과율이 다른 부재의 조합이면, 어떠한 부재를 이용해도 된다. 예를 들면, 저면부(112a)는 알루미늄 대신에, 수지를 이용해도 된다. 또, 저면부(112b)는 놋쇠 대신에, 철, 동, 스테인리스 등을 이용해도 된다.
또, 이 예에서는, 저면부(112a) 및 저면부(112b)의 두께는 측면부(111)의 두께보다 얇게 하고 있다. 이것은, 위치 검출 정밀도를 높게 하기 위해서이다.
상술한 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그(101)에서는, 한쪽의 저면부(112a)를 예를 들면 알루미늄으로 성형하고, 다른쪽의 저면부(112b)를 예를 들면 놋쇠로 성형하고 있고, 한쪽의 저면부(112a)와 다른쪽의 저면부(112b)에서 X선 투과율이 다른 부재가 이용되고 있다. 그리고, 저면부(112a)(제1 투과부)에 의해 투과된 X선에 기초하는 제1 투영상과, 저면부(112b)(제2 투과부)에 의해 투과 된 X선에 기초하는 제2 투영상이, X선 카메라(10b)에 투영된다. 이 때문에, X선 카메라(10b)의 촬상 화상으로부터, 저면부(112a)의 구멍(113a)의 투영상과 저면부(112b)의 구멍(113b)의 투영상을 구별하여 검출할 수 있다.
도 5는, 본 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그(101)의 화상 해석의 설명도이다. 도 5에 있어서, P101은, X선 방사기(10a)로부터의 X선 초점을 나타내고 있다. P102는, X선 카메라(10b)의 수광면을 나타내고 있다. G100은, X선 카메라(10b)의 촬상 화상을 나타내고 있다.
도 5(A)에 있어서, X선 초점(P101)으로부터의 X선은, 한쪽의 저면부(112a)에 조사된다. 저면부(112a)에 도달한 X선 중, 구멍(113a)에 조사된 X선은, 그대로 투과하여, 다른쪽의 저면부(112b)에 도달한다. 여기서, 저면부(112a)는 X선 투과율이 높은 알루미늄으로 성형되어 있다. 이 때문에, 저면부(112a)에 조사된 X선의 일부는 저면부(112a)를 통과하여, 다른 쪽의 저면부(112b)에 도달한다.
저면부(112b)는 놋쇠로 성형되어 있다. 놋쇠는, X선을 거의 차단한다. 이 때문에, 저면부(112b)에 도달한 X선 중, 구멍(113b)에 조사된 X선은, 그대로 투과 하여, X선 카메라(10b)의 수광면에 도달하고, 구멍(113b)의 주위에 조사된 X선은, 저면부(112b)에서 차단된다.
이와 같이, X선 방사기(10a)와 X선 카메라(10b)의 사이에 위치 보정용 지그(101)를 장착하면, X선 방사기(10a)로부터 방사된 X선의 진행 방향에 대해서, 제1 투과부인 저면부(112a)와 제2 투과부인 저면부(112b)의 2개의 투과부가 개재하여 배치되게 된다. 그리고, X선 방사기(10a)측의 저면부(112a)에서는, 구멍(113a)의 부분에 의해 X선이 모두 투과되고, 그 이외의 부분에 의해 X선의 일부가 투과된다. 또, X선 카메라(10b)측의 저면부(112b)에서는, 구멍(113b)의 부분에 의해 X선이 모두 투과되고, 그 이외의 부분에 의해 X선이 차단된다.
이것으로부터, X선 카메라(10b)의 촬상 화상(G100)은, 도 5(B)에 나타내는 바와 같이 된다. 즉, 도 5(B)에 나타내는 바와 같이, X선 카메라(10b)의 촬상 화상(G100)에서는, 주위가 가장 어두워지고, 그 내측에, 원형의 상(Q102)이 생긴다. 가장 어두운 부분은, 예를 들면 놋쇠로 이루어지는 저면부(112b)에 의해 X선이 차단된 부분이다. 저면부(112b)의 구멍(113b)은 저면부(112a)의 구멍(113a)보다 크기 때문에, 이 원형의 상(Q102)의 부분은, 저면부(112b)의 구멍(113b)의 상이다. 그리고, 원형의 상(Q102)의 내측에, 조금 밝아지는 부분이 생기고, 그 내측에, 원형의 상(Q101)이 생긴다. 원형의 상(Q102)의 내측의 조금 밝아지는 부분은, 예를 들면 알루미늄으로 이루어지는 저면부(112a)를 X선이 통과한 부분에서, 원형의 상(Q101)은, 저면부(112a)의 구멍(113a)의 상이다. 이와 같이, X선 카메라(10b)의 촬상 화상(G100)에서는, 가장 어두워지는 부분의 투영상의 중심에, 구멍(113b)의 상(Q102)이 비추어지고, 조금 밝아지는 부분의 투영상의 중심에, 가장 밝은 상으로서, 구멍(113a)의 상(Q101)이 비추어진다. 따라서, 상의 밝기를 검출함으로써, X선 카메라(10b)의 촬상 화상(G100) 상에서의 저면부(112a)의 구멍(113a)의 상(Q101)과, 저면부(112b)의 구멍(113b)의 상(Q102)의 위치를 분리하여 검출할 수 있다. X선 카메라(10b)의 촬상 화상(G100) 상에서의 저면부(112a)의 구멍(113a)의 상(Q101)의 위치와, 저면부(112b)의 구멍(113b)의 상(Q102)의 위치를 검출할 수 있으면, 이하에 설명하는 바와 같이, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축을 일치시키는 광축 조정을 행할 수 있다.
도 6 및 도 7은, 본 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그(101)를 이용한 광축 조정의 설명도이다.
도 6은, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축이 일치하고 있는 경우를 나타내고 있다. 도 6(A)에 나타내는 바와 같이, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과, X선 카메라(10b)의 광축과, 위치 보정용 지그(101)의 중심이 모두 일치하고 있으면, X선 방사기(10a)의 X선 초점(P101)과, X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 위치를 연결하는 선 상에, 위치 보정용 지그(101)의 2개의 원형의 구멍(113a 및 113b)의 중심이 위치한다. 따라서, 도 6(B)에 나타내는 바와 같이, X선 카메라(10b)의 촬상 화상(G100)에서는, 촬상 화상(G100)의 화상 센터(C101)에서, 구멍(113a)의 상(Q101)의 중심과, 구멍(113b)의 상(Q102)의 중심이 일치하는 형태로, X선 화상이 촬상된다.
이에 대해서, 도 7은, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축이 어긋나 있는 경우를 나타내고 있다. 도 7(A)에 나타내는 바와 같이, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과, X선 카메라(10b)의 광축의 중심이 어긋나 있으면, 도 7(B)에 나타내는 바와 같이, 구멍(113a)의 상(Q101)의 중심과, 구멍(113b)의 상(Q102)의 중심의 사이에 편차가 생긴다.
이것으로부터, X선 위치 계측 장치(10)에서는, X선 카메라(10b)의 촬상 화상(G100)을 해석하고, 구멍(113a)의 상(Q101)의 위치와, 구멍(113b)의 상(Q102)의 위치를 검출함으로써, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축의 편차를 보정한다.
도 8은, 본 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그(101)를 이용하여, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축을 일치시키는 조정을 행할 때의 처리를 나타내는 플로차트이다. 도 8에 나타내는 처리에서는, 우선, 단계 S102 내지 단계 S104에서, X선 카메라(10b) 측에 배치되는 저면부(112b)의 구멍(113b)의 상(Q102)의 중심 위치와, X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)를 일치시키는 처리를 행하고 있다. 다음에, 단계 S105 내지 단계 S106에서, X선 방사기(10a) 측에 배치되는 저면부(112a)의 구멍(113a)의 상(Q101)의 중심 위치와, X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)를 일치시키는 처리를 행하고 있다. 이상의 처리가 종료하면, 저면부(112a)의 구멍(113a)의 상(Q101)의 중심 위치, 저면부(112b)의 구멍(113b)의 상(Q102)의 중심 위치, X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)는, 모두 일치되게 되고, 도 6에 나타낸 바와 같이, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축이 일치하게 된다.
도 8에 있어서, 컨트롤러(81)는, 위치 보정용 지그(101)의 근방에, X선 카메라(10b) 및 X선 방사기(10a)를 이동시킨다(단계 S101). 그리고, X선 카메라(10b)는, X선 방사기(10a)로부터의 X선을 수광하고, X선 투영상을 취득하고, 화상 표시부(45)에 투영시킨다(단계 S102).
단계 S102에서 X선 화상이 취득되면, 컨트롤러(81)는, X선 투영상으로부터, 구멍(113b)의 상(Q102)의 중심 위치와, X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 편차량을 검출하고, 이 구멍(113b)의 상(Q102)의 중심 위치와 X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 편차량이 기정치 이내인지의 여부를 판정한다(단계 S103).
구멍(113b)의 상(Q102)의 중심 위치와 X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 편차량이 기정치 이내에 없으면(단계 S103:NO), 컨트롤러(81)는, 구멍(113b)의 상(Q102)의 중심 위치와 X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)가 일치하도록, X선 카메라(10b)의 위치를 이동시킨다(단계 S104).
즉, X선 카메라(10b)의 위치는, 제3 X모터(31)와 제3 Y모터(32)에 의해, X방향과 Y방향으로 움직일 수 있다. 컨트롤러(81)는, 서보모터군(44)에 지령을 주고, 구멍(113b)의 상(Q102)의 중심 위치와 X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 위치가 일치하도록, 제3 X모터(31)와 제3 Y모터(32)를 움직이는 처리를 행한다.
컨트롤러(81)는, X선 카메라(10b)의 위치를 이동시키면, 처리를 단계 S102로 되돌린다. 단계 S102에서, X선 카메라(10b)에서 X선 화상이 취득되고, 화상 표시부(45)에 투영된다. 그리고, 컨트롤러(81)는, 단계 S103에서, 구멍(113b)의 상(Q102)의 중심 위치와 X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 편차량이 기정치 이내인지의 여부를 판정한다.
구멍(113b)의 상(Q102)의 중심 위치와 X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 편차량이 기정치 이내라고 판정되면(단계 S103:YES), 컨트롤러(81)는, X선 방사기(10a) 측의 구멍(113a)의 상(Q101)의 중심 위치와, X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 편차량을 검출하고, 이 구멍(113a)의 상(Q101)의 중심 위치와 X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 편차량이 기정치 이내인지의 여부를 판정한다(단계 S105).
단계 S105에서, 구멍(113a)의 상(Q101)의 중심 위치와 X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 편차량이 기정치 이내가 아니면(단계 S105:NO), 컨트롤러(81)는, 구멍(113a)의 상(Q101)의 중심 위치와 X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)가 일치하도록, X선 방사기(10a)의 위치를 이동시킨다(단계 S106).
즉, X선 방사기(10a)의 위치는, 제2 X모터(21)와 제2 Y모터(22)에 의해, X방향과 Y방향으로 이동시킬 수 있다. 컨트롤러(81)는, 서보모터군(44)에 지령을 주고, 구멍(113a)의 상(Q101)의 중심 위치와 X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 위치가 일치하도록, 제2 X모터(21)와 제2 Y모터(22)를 움직이는 처리를 행한다.
컨트롤러(81)는, X선 방사기(10a)의 위치를 이동시키면, 처리를 단계 S102로 되돌린다. 단계 S102에서, X선 카메라(10b)에서 X선 화상이 취득되고, 화상 표시부(45)에 투영된다. 그리고, 단계 S103에서, 컨트롤러(81)는, 구멍(113b)의 상(Q102)의 중심 위치와 X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 편차량이 기정치 이내인지의 여부를 판정한다.
또한, 단계 S102, 단계 S103에서, 구멍(113b)의 상(Q102)의 중심 위치와 X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)를 일치시키는 처리가 다시 행해지는 것은, 단계 S106에서, X선 방사기(10a)의 위치를 이동함으로써, 구멍(113b)의 상(Q102)의 중심 위치와 X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 관계가 어긋날 가능성이 있기 때문이다.
단계 S103에서, 구멍(113b)의 상(Q102)의 중심 위치와, X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 편차량이 기정치 이내라면(단계 S103:YES), 단계 S105에서, 컨트롤러(81)는, 구멍(113a)의 상(Q101)의 중심 위치와, X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 편차량을 검출하고, 이 구멍(113a)의 상(Q101)의 중심 위치와 X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 편차량이 기정치 이내인지의 여부를 판정한다(단계 S105).
단계 S105에서, 구멍(113a)의 상(Q101)의 중심 위치와 X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 편차량이 기정치 이내라고 판정되면(단계 S105:YES), 위치 보정 처리는 종료된다.
단계 S105에서, 구멍(113a)의 상(Q101)의 중심 위치와 X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 편차량이 기정치 이내가 아닌 경우(단계 S105:NO), 단계 S102~단계 S105의 처리가 반복된다. 그리고, 단계 S103에서, 구멍(113b)의 상(Q102)의 중심 위치와, X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 편차량이 기정치 이내이며, 단계 S105에서, 구멍(113a)의 상(Q101)의 중심 위치와 X선 카메라(10b)의 화상 센터(C101)의 편차량이 기정치 이내라고 판정되면, 위치 보정 처리는 종료된다.
여기서, X선 방사기(10a) 및 X선 카메라(10b)의 보정치(이동량)를 기억부(47)에 기억하고, 다음 회의 X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축을 일치시키는 조정시의 보정치로서 사용해도 된다. 이로 인해, X선 방사기(10a) 및 X선 카메라(10b)의 광축 맞춤을 신속하게 행할 수 있다.
＜제2 실시 형태＞
다음에, 제2 실시 형태에 대해 설명한다. 도 9는, 본 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그(201)의 화상 해석의 설명도이다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그(201)는, 원통 형상으로 성형되어 있고, 측면부(211)와, 원통의 양단의 저면부(212a)(제1 투과부) 및 저면부(212b)(제2 투과부)를 갖고 있다. 측면부(211)에는, 플랜지부(215)가 설치된다. 저면부(212a 및 212b)는 동일한 부재로, 저면부(212a)의 두께는 저면부(212b)의 두께보다 얇게 성형되어 있다. 저면부(212a 및 212b)로서 이용하는 재료로서는, 어느 정도 X선을 투과할 수 있고, 용이하게 가공할 수 있는 재료, 예를 들면 알루미늄이나 수지를 이용하는 것을 생각할 수 있다. 저면부(212a)에는, 원형의 구멍(213a)가 형성되어 있다. 저면부(212b)에는, 원형의 구멍(213b)이 형성되어 있다. 저면부(212a)의 구멍(213a)의 지름은, 저면부(212b)의 구멍(213b)의 지름보다 작다.
또, 도 9에 있어서, P201은, X선 방사기(10a)로부터의 X선 초점을 나타내고 있다. P202는, X선 카메라(10b)의 수광면을 나타내고 있다. G200은, X선 카메라(10b)의 촬상 화상을 나타내고 있다. Q201은, 저면부(212a)의 구멍(213a)의 상을 나타내고, Q202는, 저면부(212b)의 구멍(213b)의 상을 나타내고 있다.
본 실시 형태에서는, 저면부(212a)(제1 투과부)의 두께와, 저면부(212b)(제2 투과부)의 두께를 다르게 함으로써, X선 카메라(10b)의 촬상 화상(G200)으로부터, 저면부(212a)의 구멍(213a)의 상(Q201)과 저면부(212b)의 구멍(213b)의 상(Q202)을 구별할 수 있도록 하고 있다.
즉, 도 9(A)에 있어서, X선 초점(P201)으로부터의 X선은, 한쪽의 저면부(212a)에 조사된다. 여기서, 저면부(212a)는 얇은 재료로 성형되어 있고, 그 중심에, 구멍(213a)이 형성되어 있다. 저면부(212a)에 도달한 X선 중, 구멍(213a)에 조사된 X선은, 그대로, 다른쪽의 저면부(212b)에 도달한다. 또, 저면부(212a)가 얇은 재료이기 때문에, 저면부(212a)의 구멍(213a)의 주위에 조사된 X선의 일부는, 저면부(212a)를 통과하고, 다른쪽의 저면부(212b)에 도달한다.
저면부(212b)는 두꺼운 재료로 성형되어 있다. 이 때문에, 저면부(212b)에 도달한 X선 중, 구멍(213b)에 조사된 X선은, 그대로, X선 카메라(10b)의 수광면에 도달하고, 구멍(213b)의 주위에 조사된 X선은, 저면부(212b)에서 거의 차단된다. 즉, 본 실시 형태에서는, 저면부(212a)와 저면부(212b)의 두께가 다르기 때문에, 재질이 같아도 X선의 투과율이 다르다.
이것으로부터, X선 카메라(10b)의 촬상 화상(G200)은, 도 9(B)에 나타내는 바와 같이 된다. 즉, 저면부(212a)를 통과한 투영상은, 도 9(B)에 나타내는 바와 같이, 조금 밝은 부분의 투영상이 되고, 그 중심에, 가장 밝은 부분으로서, 구멍(213a)의 상(Q201)이 비추어진다. 또, 저면부(212b)에서 차단된 투영상은 어두운 부분의 투영상이 되고, 그 중심에, 구멍(213b)의 상(Q202)이 비추어진다.
이와 같이, 본 실시 형태에서는, 저면부(212a)(제1 투과부)와 저면부(212b)(제2 투과부)의 두께가 다르도록 함으로써, 저면부(212a)의 구멍(213a)의 상(Q201)과, 저면부(212b)의 구멍(213b)의 상(Q202)의 위치를 분리하여 검출할 수 있다. 다른 구성에 대해서는, 제1 실시 형태와 같다.
＜제3 실시 형태＞
다음에, 제3 실시 형태에 대해 설명한다. 도 10은, 본 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그(301)의 화상 해석의 설명도이다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그(301)는, 원통 형상으로 성형되어 있고, 측면부(311)와, 원통의 양단의 저면부(312a)(제1 투과부) 및 저면부(312b)(제2 투과부)를 갖고 있다. 측면부(311)에는 플랜지부(315)가 설치된다. 저면부(312a 및 312b)는 동일한 부재로, 동일한 두께의 것을 이용할 수 있다. 저면부(312a)에는, 예를 들면 중심이 작은 원형으로 그 주위에 십자형의 홈이 신장되는 형상의 구멍(313a)이 형성되어 있다. 저면부(312b)에는, 원형의 구멍(313b)이 형성되어 있다.
또, 도 10에 있어서, P301은, X선 방사기(10a)로부터의 X선 초점을 나타내고 있다. P302는, X선 카메라(10b)의 수광면을 나타내고 있다. G300은, X선 카메라(10b)의 촬상 화상을 나타내고 있다. Q301은 저면부(312a)의 구멍(313a)의 상을 나타내고, Q302는 저면부(312b)의 구멍(313b)의 상을 나타내고 있다.
본 실시 형태에서는, 저면부(312a)의 구멍(313a)의 형상은 중심이 작은 원형으로 그 주위에 십자형의 홈이 신장하는 형태이며, 저면부(312b)의 구멍(313b)의 형상은 원형이다. 따라서, 도 10(B)에 나타내는 바와 같이, 촬상 화상(G300)에서 취득되는 저면부(312a)의 구멍(313a)과 저면부(312b)의 구멍(313b)의 형상이 다르다. 구멍(313a)은 예를 들면 중심이 작은 원형으로 그 주위에 십자형의 홈이 신장하는 형상이기 때문에, 구멍(313)의 상(Q313a)의 중심과 구멍(313b)의 상(Q302)의 중심이 일치하면, 상(Q301)의 십자형으로 신장하는 부분의 길이는 모두 같아진다. 이로 인해, 구멍(313a)의 상(Q301)의 위치와, 구멍(313b)의 상(Q302)의 위치가 일치한 것을 검출할 수 있다. 다른 구성에 대해서는, 제1 실시 형태와 같다.
또한, 상술의 설명에서는, 본 발명의 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그(101, 201, 301)를 X선 위치 계측 장치(10)의 X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축을 일치시키기 위한 조정에 이용하고 있지만, 본 발명의 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그(101, 201, 301)는, X선 위치 계측 장치(10)뿐만 아니라, 다른 기기에도 이용할 수 있다. 본 발명의 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그(101, 201, 301)는, 예를 들면, 프린트판의 천공 장치에 이용할 수 있다.
또, 본 발명의 실시 형태에 있어서, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축을 일치시키기 위한 조정을 컨트롤러(81)에 의해 자동으로 행하는 경우에 대해 설명했지만, 작업자가 수동으로 X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축을 일치시킨 후, X선 방사기(10a) 및 X선 카메라(10b)를 나사 등의 고정 수단에 의해 고정하는 구성이어도 된다.
또한, 상술한 본 발명의 실시 형태에서는, X선 조사기(10a)측에 1개의 구멍을 구비하는 제1 투과부와, X선 카메라(10b)측에 1개의 구멍을 구비하는 제2 투과부를 구비하는 예를 설명했지만, 이것에 한정되지 않는다. 각 투과부가 구비하는 구멍의 수는, 2개 이상이어도 된다.
이상과 같이, 본 발명의 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그(101)는, X선 방사기(10a)로부터 방사된 X선에 기초하는 화상을 X선 카메라(10b)로 촬상하여 측정 대상물을 측정하는 X선 위치 계측 장치(10)에 있어서의 X선 방사기의 X선 방사 중심과 X선 카메라의 광축을 맞추기 위해 이용되는 X선 위치 계측 장치의 위치 보정용 지그로서, X선 방사기측이 방사한 X선을 투과하는 제1 투과부(저면부(112a, 212a, 312a))와, 제1 투과부에 의해 투과된 X선을 투과하여 X선 카메라에 투영하는 제2 투과부(저면부(112b, 212b, 312b))를 구비하고, 제1 투과부에 의해 투과된 X선에 기초하는 제1 투영상(상(Q101, Q201, Q301))과, 제2 투과부에 의해 투과된 X선에 기초하는 제2 투영상(상(Q102, Q202, Q302))을, X선 카메라에 투영한다.
이 구성에 의하면, 2개의 다른 X선 투영상을 이용하여, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축을 일치시키는 조정을 신속히 행할 수 있다.
또, 본 발명의 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그(101)에 있어서, 제1 투과부(저면부(112a, 212a, 312a))와 제2 투과부(저면부(112b, 212b, 312b))는, X선을 투과시키는 구멍(구멍(113a 및 113b), 또는 구멍(213a 및 213b), 또는 구멍(313a 및 313b))을 구비한다.
이 구성에 의하면, 예를 들면 저면부(112a)의 구멍(113a)의 상(Q101)과, 저면부(112b)의 구멍(113b)의 상(Q102)의 X선 투영상의 중심 위치를 검출함으로써, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축을 일치시키는 조정을 정확하게 행할 수 있다.
또, 제1 실시 형태의 위치 보정용 지그(101)에 있어서, 제1 투과부(저면부(112a))의 구멍(113a)의 지름은, 제2 투과부(저면부(112b))의 구멍(113b)의 지름보다 작다.
이 구성에 의하면, X선 투영 화상으로부터, X선 방사기(10a)측의 저면부(112a)(제1 투과부)의 구멍(113a)의 상(Q101)과, X선 카메라(10b)측의 저면부(112b)(제2 투과부)의 구멍(113b)의 상(Q102)이 완전히 포개지는 일이 없어진다. 이로 인해, 1개의 촬상 화면으로부터, X선 방사기(10a)측의 저면부(112a)의 구멍(113a)의 상(Q101)의 위치와, X선 카메라(10b)측의 저면부(112b)의 구멍(113b)의 상(Q102)의 위치의 편차량을 검출하여, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축을 일치시키는 조정을 정확하게 행할 수 있다.
또, 제2 실시 형태의 위치 보정용 지그(201)에 있어서, 제1 투과부(저면부(212a))의 부재의 두께는, 제2 투과부(저면부(212b))의 부재의 두께보다 얇다.
이 구성에 의하면, X선 방사기(10a)측의 저면부(212a)(제1 투과부)의 부재의 두께를 X선 카메라(10b)측의 저면부(212b)(제2 투과부)의 부재의 두께보다 얇게 함으로써, X선 방사기(10a)측의 저면부(212a)를 통해 X선의 일부가 투과된다. 이로 인해, X선 투영 화상으로부터, X선 방사기(10a)측의 저면부(212a)의 구멍(213a)의 상(Q201)과, X선 카메라(10b)측의 저면부(212b)의 구멍(213b)의 상(Q202)을 판별할 수 있다. 이로 인해, 1개의 촬상 화면으로부터, X선 방사기(10a)측의 저면부(212a)의 구멍(213a)의 상(Q201)의 위치와, X선 카메라(10b)측의 저면부(212b)의 구멍(213b)의 상(Q202)의 위치의 편차량을 검출하여, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축을 일치시키는 조정을 정확하게 행할 수 있다.
또, 제1 실시 형태의 위치 보정용 지그(101)에 있어서, 제1 투과부(저면부(112a))와 제2 투과부(저면부(112b))는, 서로 X선 투과율이 다른 부재로 구성된다.
또, 제1 실시 형태의 위치 보정용 지그(101)에 있어서, 제1 투과부(저면부(112a))의 부재는 알루미늄이며, 제2 투과부(저면부(112b))의 부재는 놋쇠이다.
이 구성에 의하면, X선 방사기(10a)측의 저면부(112a)(제1 투과부)의 부재와 X선 카메라(10b)측의 저면부(112b)(제2 투과부)의 부재의 X선 투과율을 다르게 함으로써, X선 방사기(10a)측의 저면부(112a)를 통해 X선의 일부가 투과된다. 이로 인해, X선 투영 화상으로부터, X선 방사기(10a)측의 저면부(112a)의 구멍(113a)의 상(Q101)과, X선 카메라(10b)측의 저면부(112b)의 구멍(113b)의 상(Q102)을 판별할 수 있다. 이로 인해, 1개의 촬상 화면으로부터, X선 방사기(10a)측의 저면부(112a)의 구멍(113a)의 상(Q101)의 위치와, X선 카메라(10b)측의 저면부(112b)의 구멍(113b)의 상(Q102)의 위치의 편차량을 검출하여, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축을 일치시키는 조정을 정확하게 행할 수 있다.
또, 본 발명의 실시 형태에 따른 X선 위치 계측 장치(10)는, X선 방사기(10a) 및 X선 카메라(10b)와, 측정 대상물을 올려놓는 워크 재치 테이블(10c)과, 워크 재치 테이블(10c) 상의 측정 대상물에 대해서, X선 방사기(10a)를 상기 워크 재치 테이블면을 따라 이동시키는 제1 이동부(제2 X모터(21) 및 제2 Y모터(22))와, 워크 재치 테이블(10c) 상의 측정 대상물에 대해서, X선 카메라(10b)를 상기 워크 재치 테이블면을 따라 이동시키는 제2 이동부(제3 X모터(31) 및 제3 Y모터(32))와, X선 방사기(10a)로부터 방사되고, 측정 대상물을 투과한 X선이 2개의 다른 X선 투영상(상(Q101 및 Q102))으로서 투영되는 화상 표시부(45)와, 실시 형태에 따른 위치 보정용 지그(101)를 구비하고, 2개의 다른 X선 투영상(상(Q101 및 Q102))의 위치 편차량에 기초하여, 제1 이동부(제2 X모터(21) 및 제2 Y모터(22)) 및 제2 이동부(제3 X모터(31) 및 제3 Y모터(32))가 적어도 한쪽을 이동시킴으로써, X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축을 일치시키는 것이다.
이 구성에 의하면, X선 위치 계측 장치(10)에 배치되어 있는 X선 방사기(10a)의 X선 방사 중심과 X선 카메라(10b)의 광축을, 신속하고, 또, 정확하게 일치시킬 수 있다.
이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 도면을 참조하여 상술해 왔지만, 구체적인 구성은 이 실시 형태에 한정되는 것이 아니며, 이 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위의 설계 변경 등도 포함된다.
10:X선 위치 계측 장치 10a:X선 방사기
10b:X선 카메라 10c:워크 재치 테이블
21:제2 X모터 22:제2 Y모터
31:제3 X모터 32:제3 Y모터
81:컨트롤러 101, 201, 301:위치 보정용 지그
112a, 212a, 312a:저면부(제1 투과부)
112b, 212b, 312b:저면부(제2 투과부)
113a, 113b, 213a, 213b, 313a, 313b:구멍

Claims (7)

  1. X선 방사기로부터 방사된 X선에 기초하는 화상을 X선 카메라로 촬상하여 측정 대상물을 측정하는 X선 위치 계측 장치에 있어서의 상기 X선 방사기의 X선 방사 중심과 상기 X선 카메라의 광축을 맞추기 위해서 이용되는 상기 X선 위치 계측 장치의 위치 보정용 지그로서,
    상기 X선 방사기측이 방사한 X선을 투과하는 제1 투과부와,
    상기 제1 투과부에 의해 투과된 X선을 투과하여 상기 X선 카메라에 투영하는 제2 투과부를 구비하고,
    상기 제1 투과부에 의해 투과된 X선에 기초하는 제1 투영상과, 상기 제2 투과부에 의해 투과된 X선에 기초하는 제2 투영상을, 상기 X선 카메라에 투영하는, 상기 X선 위치 계측 장치의 위치 보정용 지그.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 투과부와 상기 제2 투과부는, X선을 투과시키는 구멍을 구비하는, 위치 보정용 지그.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 투과부의 구멍의 지름은, 상기 제2 투과부의 구멍의 지름보다 작은, 위치 보정용 지그.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 투과부의 부재의 두께는, 상기 제2 투과부의 부재의 두께보다 얇은, 위치 보정용 지그.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 투과부와 상기 제2 투과부는, 서로 X선 투과율이 다른 부재로 구성되는, 위치 보정용 지그.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 제1 투과부의 부재는 알루미늄이며, 상기 제2 투과부의 부재는 놋쇠인, 위치 보정용 지그.
  7. X선 방사기 및 X선 카메라와,
    측정 대상물을 올려놓는 워크 재치 테이블과,
    상기 워크 재치 테이블 상의 측정 대상물에 대해서, 상기 X선 방사기를 상기 워크 재치 테이블면을 따라서 이동시키는 제1 이동부와,
    상기 워크 재치 테이블 상의 측정 대상물에 대해서, 상기 X선 카메라를 상기 워크 재치 테이블면을 따라서 이동시키는 제2 이동부와,
    상기 X선 방사기로부터 방사되고, 상기 측정 대상물을 투과한 X선이 2개의 다른 X선 투영상으로서 투영되는 화상 표시부와,
    청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 기재된 위치 보정용 지그를 구비하고,
    상기 2개의 다른 X선 투영상의 위치 편차량에 기초하여, 상기 제1 이동부 및 제2 이동부 중 적어도 한쪽을 이동시킴으로써, 상기 X선 방사기의 X선 방사 중심과 상기 X선 카메라의 광축을 일치시키는, X선 위치 계측 장치.
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