KR20190005433A - 엑스선 발생장치 및 그 제조방법 - Google Patents

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KR20190005433A KR1020170086063A KR20170086063A KR20190005433A KR 20190005433 A KR20190005433 A KR 20190005433A KR 1020170086063 A KR1020170086063 A KR 1020170086063A KR 20170086063 A KR20170086063 A KR 20170086063A KR 20190005433 A KR20190005433 A KR 20190005433A
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Abstract

본 발명은 절연 및 차폐 성능을 향상시킬 수 있는 엑스선 발생장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명의 엑스선 발생장치는 엑스선을 방출하는 엑스선 튜브, 상기 엑스선 튜브에 인가되는 전압을 승압하는 승압 회로, 엑스선 튜브 및 승압 회로를 수용하며, 차폐제와 절연 수지가 제1 혼합 비율로 혼합된 제1 혼합물로 이루어진 외부 케이스, 및 외부 케이스 내에 채워지며, 차폐제와 절연 수지가 제1 혼합 비율과 다른 제2 혼합 비율로 혼합된 제2 혼합물로 이루어진 몰딩부를 포함한다. 이와 같이, 엑스선 튜브 및 승압 회로를 수용하는 외부 케이스 및 외부 케이스에 충진되는 몰딩부의 물질을 최적화하여 엑스선 발생장치의 절연 및 차폐 특성을 향상시킬 수 있으며 이를 기반으로 초소형 및 초경량 엑스선 발생장치의 구현이 가능해 진다.

Description

엑스선 발생장치 및 그 제조방법{X-RAY GENERATOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은 엑스선 발생장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 엑스선 차폐 및 전기적 절연 성능을 동시에 확보시킬 수 있는 엑스선 발생장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 엑스선(X-ray) 발생장치는 의료 진단용이나 비파괴 검사용 또는 화학분석용 등 다양한 검사장치 또는 진단장치에 응용되어 폭넓게 사용되고 있다.
한편, 엑스선을 발생시키기 위해서는 고전압을 필요로 하고 있으며, 종래에는 전기적인 절연을 확보하기 위해서 절연유, 절연용 가스 또는 몰드 기술 등을 사용한 절연기술이 사용되고 있다.
몰드 기술을 이용한 절연기술에 의하면 소형으로도 절연을 확보할 수 있다는 장점을 구비하고 있으나, 몰드시 공극이 많이 형성되어, 절연 효율이 떨어진다는 문제가 있다.
또한, 엑스선을 이용한 장치를 사용함에 있어서는, 인체에 유해한 엑스선을 차폐하고자하는 노력이 매우 중요하며, 현재 소형 엑스선관을 제작하는 데 있어서 차폐 물질로 가장 많이 사용하는 것은 납으로, 얇은 시트 형태로 만들어질 수 있는 만큼 가공성이 좋으나, 납이 중금속이라는 점 때문에 환경오염이나 인체에 유해하다는 문제점이 있다.
한편, 종래에 납을 대체할 수 있는 물질로 제시되고 있는 텅스텐 등의 비중이 높은 금속류의 경우, 텅스텐의 도체적 특성으로 인하여 절연되어야 하는 구조에 있어서 전기적 분리가 용이하지 않는 문제점이 있다. 이로 인해, 엑스선 튜브를 절연시키기 위한 절연 땡크(배쓰)와 상기 절연 땡크의 외부를 감싸는 차폐제를 구성함에 따라, 엑스선 발생장치의 크기 및 무게가 커지게 되는 문제점이 발생된다.
따라서 본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 엑스선 튜브 및 승압 회로를 수용하는 외부 케이스 및 외부 케이스에 충진되는 몰딩부의 물질을 최적화시켜 엑스선 차폐 및 전기적 절연 특성을 향상시킬 수 있는 엑스선 발생장치 및 그 제조 방법을 제공한다.
이러한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 의한 엑스선 발생장치는, 엑스선을 방출하는 엑스선 튜브, 상기 엑스선 튜브에 인가되는 전압을 승압하는 승압 회로, 상기 엑스선 튜브 및 상기 승압 회로를 수용하며, 차폐제와 절연 수지가 제1 혼합 비율로 혼합된 제1 혼합물로 이루어진 외부 케이스, 및 상기 외부 케이스 내에 충진되며, 상기 차폐제와 상기 절연 수지가 상기 제1 혼합 비율과 다른 제2 혼합 비율로 혼합된 제2 혼합물로 이루어진 몰딩부를 포함한다.
상기 제1 혼합물은 상기 차폐제 및 상기 절연 수지가 3:1 ~ 6:1의 중량비로 혼합되며, 상기 제2 혼합물은 상기 차폐제 및 상기 절연 수지가 1:1 ~ 2:1의 중량비로 혼합될 수 있다.
상기 차폐제는 황산바륨(BaSO4) 및 산화비스무트(Bi2O3)과 같은 고비중의 절연 산화물을 포함하고, 상기 절연 수지는 실리콘 수지 및 에폭시 수지 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 엑스선 발생장치는 상기 엑스선 튜브의 엑스선 방출면 상에 형성된 엑스선 투과부를 더 포함할 수 있다.
상기 엑스선 발생장치는 상기 외부 케이스의 내부 중 상기 엑스선 튜브의 애노드 전극과 인접하게 형성된 방열판을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 엑스선 발생장치의 제조방법은, 차폐제와 절연 수지가 제1 혼합 비율로 혼합된 제1 혼합물로 외부 케이스를 형성하는 단계, 상기 외부 케이스 내부에 엑스선을 방출하는 엑스선 튜브 및 상기 엑스선 튜브에 인가되는 전압을 승압하는 승압 회로를 삽입하는 단계, 및 상기 엑스선 튜브 및 상기 승압 회로가 삽입된 상기 외부 케이스 내부에 상기 차폐제와 상기 절연 수지가 상기 제1 혼합 비율과 다른 제2 혼합 비율로 혼합된 제2 혼합물을 충진하여 경화시키는 단계를 포함할 수 있다.
이와 같은 엑스선 발생장치 및 그 제조방법에 의하면, 엑스선 튜브 및 승압 회로를 패키징함에 있어, 엑스선 차폐성 및 전기적 절연성을 동시에 갖는 복합 혼합물로 외부 케이스 및 몰딩부를 형성하여 이중으로 패키징함으로써, 엑스선 발생장치의 엑스선 차폐성 및 전기적 절연성을 동시에 향상시킬 수 있다. 또한, 몰딩부를 형성함에 있어, 외부 케이스를 형성하는 혼합물에 비하여 낮은 점성을 갖는 혼합물을 이용함으로써, 몰딩부를 형성할 때 공극이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스선 발생장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 엑스선 발생장치의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 다른 엑스선 발생장치의 제조방법을 나타낸 순서도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다.
그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 하부, 상부 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 하부 구성 요소는 상부 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 상부 구성 요소도 하부 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스선 발생장치를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 엑스선 발생장치의 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 엑스선 발생장치(100)는, 엑스선을 방출하는 엑스선 튜브(110), 상기 엑스선 튜브(110)에 인가되는 전압을 승압하는 승압 회로(120), 상기 엑스선 튜브(110) 및 상기 승압 회로(120)를 수용하며, 차폐제와 절연 수지가 제1 혼합 비율로 혼합된 제1 혼합물로 이루어진 외부 케이스(130), 및 상기 외부 케이스(130) 내에 충진되며, 상기 차폐제와 상기 절연 수지가 상기 제1 혼합 비율과 다른 제2 혼합 비율로 혼합된 제2 혼합물로 이루어진 몰딩부(140)를 포함한다.
상기 엑스선 튜브(110)는 예를 들어, 냉음극 전자 방출원으로 탄소나노튜브(Carbon Nano Tube: CNT) 등의 나노 구조물을 이용한 전계 방출형 엑스선 튜브로 형성될 수 있다. 상기 전계 방출형 엑스선 튜브는 세라믹 재질의 진공 튜브 내에 캐소드 전극, 게이트 전극, 및 애노드 전극을 구비하고 있으며, 상기 캐소드 전극의 표면에 CNT 등의 나노 구조물로 형성된 에미터로부터 방출된 전자가 게이트 전극에 의해 여기 및 가속되어 상기 애노드 전극 상에 형성된 타겟에 충돌하여 엑스선이 발생되는 구성을 갖는다. 이와 달리, 상기 엑스선 튜브(110)는 전자 방출원으로 텅스텐 소재의 열음극을 사용하며, 텅스텐 필라멘트를 가열하여 전자를 방출시키고, 방출된 전자를 애노드 전극 측의 타겟에 충돌시켜 엑스선을 발생시키는 열음극 방식의 구성으로 이루어질 수도 있다.
상기 승압 회로(120)는 외부로부터 인가되는 전압을 상기 엑스선 튜브(110)에 필요한 전압으로 승압하여 상기 엑스선 튜브(110)에 공급한다. 예를 들어, 상기 승압 회로(120)는 상기 엑스선 튜브(110)의 캐소드 전극, 게이트 전극 및 애노드 전극에 각각 인가되는 캐소드 전압, 게이트 전압 및 애노드 전압을 생성하여 엑스선 튜브(110)에 공급한다.
상기 엑스선 튜브(110) 및 상기 승압 회로(120)는 상기 외부 케이스(130) 내에 실장된다. 상기 외부 케이스(130)는 차폐제와 절연 수지가 제1 혼합 비율로 혼합된 제1 혼합물로 이루어진다. 예를 들어, 상기 외부 케이스(130)는 상기 차폐제와 상기 절연 수지가 약 3:1 ~ 6:1의 중량비로 혼합된 복합 혼합물을 몰딩 성형하여 형성할 수 있다. 이때, 상기 차폐제는 전기적으로 절연성을 가지는 황산바륨(Barium Sulfate, BaSO4) 및 산화비스무트(bismuth oxide, Bi2O3) 중 어느 하나로 형성되는 것이 바람직하나, 이에 한정하지 않고 비중이 높은 재료의 절연 산화물 등이 사용될 수도 있다. 상기 차폐제의 절연 성능은 납 등의 전도체에 비해선 매우 우수한 편이나 엑스선 튜브(110)에서 요구하는 고전압 절연을 완벽히 확보하기엔 부족한 면이 있다. 따라서, 상기 엑스선 튜브(110)의 고전압 절연 성능을 확보하기 위한 절연 수지가 필요하게 되며, 상기 절연 수지는 실리콘 수지 및 에폭시 수지 중 어느 하나로 형성될 수 있다. 한편, 상기 차폐제와 상기 절연 수지가 혼합된 상기 제1 혼합물에는 상기 절연 수지를 경화시키기 위한 실리콘 경화제 또는 에폭시 경화제가 추가적으로 첨가될 수 있다.
상기 차폐제로 이용되는 황산바륨(BaSO4) 또는 산화비스무트(Bi2O3)는 납을 대체하기 위한 전기적 절연성을 가지는 엑스선 차폐 물질로, 텅스텐(W), 붕소(B), 티타늄(Ti) 등에 비하여 우수한 안정성, 가공성 및 경제성을 지니고 있다. 예를 들어, 황산바륨(BaSO4) 또는 산화비스무트(Bi2O3)는 약 1 ~ 50um 크기의 파우더 형태로 제공되어 상기 절연 수지에 혼합된다.
상기 절연 수지는 고전압이 인가되는 상기 엑스선 튜브(110)를 절연시키기 위하여 절연성이 우수한 실리콘 수지 또는 에폭시 수지를 사용하는 것이 바람직하나, 이에 한정하지 않고 열가소성 수지 기반의 PC(Polycarbonate), ABS(Acrylonitrile Butadiene Styrene) 등과 같은 수지도 사용될 수 있다.
상기 외부 케이스(130)를 형성함에 있어, 상기 제1 혼합물을 구성하는 상기 차폐제와 상기 절연 수지의 혼합 비율에 따라, 엑스선 차폐성, 전기적 절연성, 점성, 성형 가공성 등이 달라지게 된다. 예를 들어, 상기 제1 혼합물에 함유된 상기 차폐제의 함량이 증가할수록 엑스선 차폐성 및 점성은 높아지나, 고전압 절연성 및 성형 가공성은 떨어지게 된다. 따라서, 상기 외부 케이스(130)의 엑스선 차폐 성능이 기존의 납과 비교하여 동등 이상의 수준으로 유지시킴과 동시에, 전기적 절연성 및 성형 가공성의 특징을 만족시키기 위하여, 상기 차폐제와 상기 절연 수지는 약 3:1 ~ 6:1의 혼합 비율로 혼합되는 것이 바람직하다.
상기 몰딩부(140)는 상기 엑스선 튜브(110) 및 승압 회로(120)가 실장된 상기 외부 케이스(130) 내에 충진된다. 상기 몰딩부(140)는 상기 외부 케이스(130)의 제조에 사용되는 혼합물과 동일한 혼합물이 사용되나, 혼합물의 혼합 비율이 다르다는 점에서 차이가 있다. 즉, 상기 몰딩부(140)는 상기 외부 케이스(130)에 사용되는 상기 차폐제와 상기 절연 수지가 상기 제1 혼합 비율과 다른 제2 혼합 비율로 혼합된 제2 혼합물로 이루어진다. 예를 들어, 상기 몰딩부(140)는 상기 차폐제와 상기 절연 수지가 약 1:1 ~ 2:1의 중량비로 혼합된 복합 혼합물로 형성될 수 있다. 이때, 상기 차폐제는 상기 외부 케이스(130)와 마찬가지로, 황산바륨(Barium Sulfate, BaSO4) 및 산화비스무트(bismuth oxide, Bi2O3) 중 어느 하나로 형성되는 것이 바람직하나, 이에 한정하지 않고 비중이 높은 재료의 절연 산화물 등이 사용될 수도 있으며, 상기 절연 수지는 실리콘 수지 및 에폭시 수지 중 어느 하나로 형성될 수 있다.
상기 몰딩부(140)를 형성함에 있어, 상기 외부 케이스(130)에 비하여 전기적 절연성을 향상시키고, 몰딩부(140)를 형성할 때 공극이 발생되지 않도록 하는 것이 중요하다. 이러한 점을 고려하여, 상기 몰딩부(140)를 형성하는 상기 제2 혼합물은 상기 외부 케이스(130)를 형성하는 상기 제1 혼합물에 비하여 전기적 절연성이 높고, 점성이 낮은 혼합물로 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 조건을 만족시키기 위해, 상기 제2 혼합물은 상기 제1 혼합물에 비하여 상기 절연 수지의 함량이 증가되며, 예를 들어, 상기 차폐제와 상기 절연 수지가 약 1:1 ~ 2:1의 중량비로 혼합되는 것이 바람직하다.
이상과 같이, 상기 엑스선 튜브(110) 및 상기 승압 회로(120)를 패키징함에 있어, 엑스선 차폐성 및 전기적 절연성을 동시에 갖는 복합 혼합물로 상기 외부 케이스(130) 및 상기 몰딩부(140)를 형성하여 이중으로 패키징함으로써, 엑스선 발생장치의 엑스선 차폐성 및 전기적 절연성을 동시에 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 몰딩부(140)를 형성함에 있어, 상기 외부 케이스(130)를 형성하는 혼합물에 비하여 낮은 점성을 갖는 혼합물을 이용함으로써, 상기 몰딩부(140)를 형성할 때 공극이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기 외부 케이스(130)는 상기 엑스선 튜브(110) 및 상기 승압 회로(120)의 삽입을 위해 일측이 개구된 형상으로 형성되며, 상기 외부 케이스(130)의 내부는 몰딩부(140)에 의해 채워진 구조로 형성될 수 있다. 이때, 상기 엑스선 튜브(110)로부터 발생된 엑스선이 외부로 방출될 수 있도록 상기 엑스선 튜브(110)의 엑스선 방출면 상에는 엑스선 투과부(132)가 형성될 수 있다. 상기 엑스선 투과부(132)는 상기 외부 케이스(130)의 측면 중 일부 영역에 형성될 수 있다. 상기 엑스선 투과부(132)는 예를 들어, 엑스선을 통과시키는 성질을 갖는 베릴륨(Be)으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 엑스선 튜브(110)의 애노드 전극에서 발생되는 열을 효과적으로 방열시키기 위하여, 상기 외부 케이스(130) 내부에는 상기 엑스선 튜브(110)의 애노드 전극과 인접하게 형성되는 방열판(142)이 형성될 수 있다. 상기 방열판(142)은 예를 들어, 전기적으로 절연성을 가지면서 열전도율이 높은 산화베릴륨(BeO) 등을 이용하여 형성할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 다른 엑스선 발생장치의 제조방법을 나타낸 순서도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 엑스선 발생장치(100)의 제조를 위해, 우선, 차폐제와 절연 수지가 제1 혼합 비율로 혼합된 제1 혼합물을 이용하여 외부 케이스(130)를 형성한다(S10). 예를 들어, 상기 외부 케이스(130)는 황산바륨(Barium Sulfate, BaSO4) 및 산화비스무트(bismuth oxide, Bi2O3)와 같이 비중이 높은 절연 산화물로 형성되는 차폐제와 실리콘 수지 및 에폭시 수지 등으로 형성되는 절연 수지가 약 3:1 ~ 6:1의 중량비로 혼합된 복합 혼합물을 몰딩 성형하여 형성할 수 있다.
다음으로, 상기 외부 케이스(130) 내부에 엑스선을 방출하는 엑스선 튜브(110) 및 상기 엑스선 튜브(110)에 인가되는 전압을 승압하는 승합 회로(120)를 삽입한다(S20).
다음으로, 상기 엑스선 튜브(110) 및 상기 승압 회로(120)가 삽입된 상기 외부 케이스(130) 내부에 상기 차폐제와 상기 절연 수지가 상기 제1 혼합 비율과 다른 제2 혼합 비율로 혼합된 제2 혼합물을 충진한 후 경화시켜 몰딩부(140)를 형성한다(S30). 예를 들어, 상기 몰딩부(140)는 황산바륨(Barium Sulfate, BaSO4) 및 산화비스무트(bismuth oxide, Bi2O3)와 같이 비중이 높은 절연 산화물로 형성되는 차폐제와 실리콘 수지 및 에폭시 수지 등으로 형성되는 절연 수지가 약 1:1 ~ 2:1의 중량비로 혼합된 복합 혼합물을 이용하여 형성할 수 있다.
한편, 상기 몰딩부(140)의 형성 전에 , 또는 상기 몰딩부(140)의 형성 후 일부를 제거하여 방열판(142)을 형성할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 엑스선 발생장치
110 : 엑스선 튜브
120 : 승압회로
130 : 외부 케이스
140 : 몰딩부
132 : 엑스선 투과부
142 : 방열판

Claims (8)

  1. 엑스선을 방출하는 엑스선 튜브;
    상기 엑스선 튜브에 인가되는 전압을 승압하는 승압 회로;
    상기 엑스선 튜브 및 상기 승압 회로를 수용하며, 차폐제와 절연 수지가 제1 혼합 비율로 혼합된 제1 혼합물로 이루어진 외부 케이스; 및
    상기 외부 케이스 내에 충진되며, 상기 차폐제와 상기 절연 수지가 상기 제1 혼합 비율과 다른 제2 혼합 비율로 혼합된 제2 혼합물로 이루어진 몰딩부를 포함하는 엑스선 발생장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 혼합물은 상기 차폐제 및 상기 절연 수지가 3:1 ~ 6:1의 중량비로 혼합되며,
    상기 제2 혼합물은 상기 차폐제 및 상기 절연 수지가 1:1 ~ 2:1의 중량비로 혼합되는 것을 특징으로 하는 엑스선 발생장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 차폐제는 황산바륨(BaSO4) 및 산화비스무트(Bi2O3)와 같은 고비중의 절연 산화물을 포함하고,
    상기 절연 수지는 실리콘 수지 및 에폭시 수지 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 발생장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 엑스선 튜브의 엑스선 방출면 상에 형성된 엑스선 투과부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 발생장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 외부 케이스의 내부 중 상기 엑스선 튜브의 애노드 전극과 인접하게 형성된 방열판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 발생장치.
  6. 차폐제와 절연 수지가 제1 혼합 비율로 혼합된 제1 혼합물로 외부 케이스를 형성하는 단계;
    상기 외부 케이스 내부에 엑스선을 방출하는 엑스선 튜브 및 상기 엑스선 튜브에 인가되는 전압을 승압하는 승압 회로를 삽입하는 단계; 및
    상기 엑스선 튜브 및 상기 승압 회로가 삽입된 상기 외부 케이스 내부에 상기 차폐제와 상기 절연 수지가 상기 제1 혼합 비율과 다른 제2 혼합 비율로 혼합된 제2 혼합물을 충진하여 경화시키는 단계를 포함하는 엑스선 발생장치의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 혼합물은 상기 차폐제 및 상기 절연 수지가 3:1 ~ 6:1의 중량비로 혼합되며,
    상기 제2 혼합물은 상기 차폐제 및 상기 절연 수지가 1:1 ~ 2:1의 중량비로 혼합되는 것을 특징으로 하는 엑스선 발생장치의 제조방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 차폐제는 황산바륨(BaSO4) 및 산화비스무트(Bi2O3)와 같은 고비중의 절연 산화물을 포함하고,
    상기 절연 수지는 실리콘 수지 및 에폭시 수지 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 발생장치의 제조방법.
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