KR20170011501A - 탄소섬유가 포함된 방열시트 ,이의 제조방법 및 제조장치 - Google Patents

탄소섬유가 포함된 방열시트 ,이의 제조방법 및 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 탄소섬유가 포함된 방열 시트 ,이의 제조방법 및 제조장치에 관한 것이다. 본 발명의 탄소섬유가 포함된 방열 시트는 면상형태로 스프레딩된 탄소섬유층; 상기 스프레딩된 탄소섬유에 도포되어 상기 탄소섬유를 고정하기 위한 접착층; 및 탄화되어 공급되고, 상기 접착층에 부착되는 면상 형태의 필름층을 포함한다. 본 발명의 탄소섬유가 포함된 방열 시트 ,이의 제조방법 및 제조장치는 방열시트 표면의 평활도를 높여 열전도율이 우수하고, 효과적인 방열이 가능하다. 또한 박막으로 방열시트를 형성할 수 있어 휴대폰, 노트북과 같이 슬림한 제품에 적용이 가능하다. 또한 추가적으로 탄소나노튜브나 카본블랙을 첨가함으로써 폴리이미드 필름의 접착력을 향상시킬 수 있다.

Description

탄소섬유가 포함된 방열시트 ,이의 제조방법 및 제조장치{RADIATING SHEET INCLUDING CARBON FIBERS, MANUFACTURING METHOD THEREOF AND MANUFACTURING EQUIPMENT THEREOF}
본 발명은 탄소섬유가 포함된 방열 시트 ,이의 제조방법 및 제조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 발열 부위에 부착하여 방열시키기 위한 탄소섬유가 포함된 방열 시트 ,이의 제조방법 및 제조장치에 관한 것이다.
탄소섬유는 비강도 및 비탄성률 등의 기계적 물성이 매우 우수하기 때문에 첨단 복합재료의 강화제로 가장 널리 사용되고 있다. 이러한 탄소섬유 용도로는 골프채나 낚싯대 등의 스포츠 용도에 더하여, 항공기, 자동차 부재, 압축 천연가스용 탱크, 건조물의 내진 보강 부재 및 선박 부재 등 일반산업용으로 전개가 진행되고 있다. 그에 수반하여 요구되는 역학특성 레벨이 높아지고 있다. 예를 들면, 항공기 용도에서는 경량화를 위하여 구조 부재의 대부분이 탄소섬유 강화 플라스틱으로 치환되고 있고, 그 때문에 압축 강도와 인장 탄성률이 높은 레벨에서 양립한 탄소섬유가 요구되고 있다.
최근에는 탄소섬유의 높은 열전도율을 활용하기 위하여 전자제품 내에 시트 형상으로 형성된 방열시트가 포함된다. 텔레비전, 컴퓨터, 사무기기, 통신장치 등의 장치의 복잡성이 증가하고 있다. 특히 전자 부품이 복잡해질수록 소형화, 고성능화로 인해 점점 면적이 축소되면서 조립되는 전자 부품의 개수는 증가하는 반면, 부품 자체의 형상은 소형화되고 있다. 그래서, 각각의 전자 부품에서 발생하는 열이 증가함으로 인해 일어나는 고장이나 불량을 방지하기 위해 발생하는 열을 효과적으로 제거해야할 필요성이 커지고 있다. 특히, 휴대폰, 테블릿 PC, 노트북 등과 같이, 소형 전자제품은 박막으로 형성되면서도 빠르고 효율적인 방열이 이루어져야한다. 그러므로 소형 전자제품에 사용하기 위한 방열시트는 박막이면서도 열전도율이 높아야한다.
일반적으로 탄소섬유를 이용한 방열시트는 펼쳐진 탄소섬유에 접착을 위한 솔벤트와 같은 접착액을 녹여서 주입하여 코팅하고 경화한 후 탄화, 흑연화하여 제조된다. 이때, 접착을 위한 접착액을 주입한 후 건조하는 과정에서 표면을 매끄럽게하기 위한 단계가 필요하는데, 대체로 롤러를 이용한다. 그러나, 롤러를 이용한 표면처리시 접착액이 롤러에 묻거나 표면이 균일하게 처리되지 않는 단점이 있다. 표면이 균일하게 처리되지 않으면 수평방향으로 열전도율이 떨어지게 되어 방열 효율이 낮아진다.
본 발명의 목적은 탄소섬유 및 폴리이미드 필름을 이용하여 방열 시트 표면 평활도를 높임으로써 수평방향으로의 열전달이 효율적으로 이루어지는 탄소섬유가 포함된 방열 시트 ,이의 제조방법 및 제조장치를 제공하는데 있다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일면은 탄소섬유가 포함된 방열 시트 ,이의 제조방법 및 제조장치에 관한 것이다. 본 발명의 탄소섬유가 포함된 방열 시트는 면상형태로 스프레딩된 탄소섬유층; 상기 스프레딩된 탄소섬유에 도포되어 상기 탄소섬유를 고정하기 위한 접착층; 및 탄화되어 공급되고, 상기 접착층에 부착되는 면상 형태의 필름층을 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 필름층은 폴리이미드 필름, 메타 아라미드 필름 또는 파라 아라마드 필름 중 어느 하나이다.
일 실시예에 있어서, 상기 접착층은 페놀, 폴리이미드, 폴리아크릴로니트릴, 아라미드 중 어느 하나를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 방열시트는 상기 폴리이미드 필름과 상기 접착층 사이에 접착력을 강화시키기 위한 제2 접착층을 더 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2 접착층은 카본나노튜브 또는 카본 블랙 중 어느 하나를 포함한다.
본 발명의 탄소섬유가 포함된 방열 시트 제조 방법은 탄소섬유 다발을 면상형태로 스프레딩하는 단계; 면상 형태의 필름을 탄화하여 준비하는 단계; 스프레딩된 탄소섬유에 접착제를 도포하는 단계; 접착제가 도포된 탄소섬유에 탄화된 필름을 라미네이팅하는 단계; 라미네이팅된 탄소섬유 시트를 탄화하는 단계; 및 탄화된 탄소섬유 시트를 흑연화하는 단계를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 탄소섬유 스프레딩 단계에서 상기 탄소섬유는 기체를 통해 스프레딩된다.
일 실시예에 있어서, 상기 필름은 폴리이미드 필름, 메타 아라미드 필름 또는 파라 아라마드 필름 중 어느 하나이다.
본 발명의 탄소섬유가 포함된 방열 시트 제조장치는 다발 형태의 탄소섬유를 면상형태로 스프레딩하기 위한 스프레딩 장치; 필름을 탄화하여 공급하는 필름공급모듈; 상기 필름을 접착하기 위한 라미네이팅모듈; 라미네이팅된 탄소섬유와 필름을 탄화하기 위한 탄화모듈; 및 탄화된 탄소섬유와 필름을 흑연화하기 위한 흑연화모듈을 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 스프레딩 장치는 기체를 이용하여 다발 형태의 탄소섬유를 필라멘트 단위로 분리하기 위한 에어덕트를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 필름은 폴리이미드 필름, 메타 아라미드 필름 또는 파라 아라마드 필름 중 어느 하나이다.
본 발명의 탄소섬유가 포함된 방열 시트 ,이의 제조방법 및 제조장치는 방열시트 표면의 평활도를 높여 열전도율이 우수하고, 효과적인 방열이 가능하다. 또한 박막으로 방열시트를 형성할 수 있어 휴대폰, 노트북과 같이 슬림한 제품에 적용이 가능하다. 또한 추가적으로 탄소나노튜브나 카본블랙을 첨가함으로써 폴리이미드 필름의 접착력을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 방열시트 제조장치의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 방열시트의 구조를 도시한 도면이다.
도 3 및 도 4는 방열시트 제조장치를 도시한 사시도 및 측면도이다.
도 5는 방열시트 제조 방법을 도시한 흐름도이다.
도 6 및 도 7은 탄소섬유 스프레딩 장치를 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 방열시트의 구조를 도시한 도면이다.
본 발명을 충분히 이해하기 위해서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공 되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어 표현될 수 있다. 각 도면에서 동일한 구성은 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다. 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 방열시트 제조장치의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 방열시트 제조장치(100)는 탄소섬유 공급부(105), 스프레딩 장치(110), 필름 공급부(107), 탄화모듈(109), 접착제 공급모듈(120), 라미네이팅 모듈(130), 건조모듈(140), 탄화모듈(150). 흑연화모듈(160) 및 저장모듈(170)로 구성된다.
탄소섬유 공급부(105)는 다발 형태의 탄소섬유가 롤에 감겨져 공급된다. 탄소섬유 공급부(105)로부터 공급된 탄소섬유는 스프레딩 장치(110)를 통과하면서 면상형태로 스프레딩된다. 스프레딩 장치(110)는 복수 개의 탄소섬유 필라멘트가 다발 형태로 엮여져 있는 탄소섬유 다발을 면상 형태로 펼쳐주는 장치이다. 다발 형태로 공급된 탄소섬유는 스프레딩 장치(110)를 통과하며 면상 형태로 펼쳐지게 된다.
접착제 공급모듈(120)은 면상 형태로 스프레딩된 탄소섬유에 접착제를 도포하여 탄소섬유를 고정하기 위한 구성이다. 접착제 공급장치를 이용하여 바인더가 포함된 접착제를 스프레딩된 탄소섬유 전체에 고르게 도포한다. 접착제는 스프레딩된 탄소섬유를 고정하기 위한 것이다. 접착제는 고분자 물질로 페놀(phenol), 폴리이미드(Polyimide), 폴리아크릴로니트릴(Polyacrylonitrile) 또는 메탈 아라미드(m-Aramid) 중 어느 하나를 포함한다. 여기서 언급된 고분자 물질 이외에 접착을 위한 다양한 물질을 사용할 수 있다.
본 발명에서의 접착제 공급모듈(120)은 슬롯다이(Slot die)를 이용한 수지함침으로 레진탱크(resin tank)로부터 슬롯다이까지 공기중에 수지의 노출이 없어, 용제의 점도 변화없이 코팅이 가능하다. 또한 정량펌프를 이용하여 수지를 공급하기 때문에 적정량의 코팅이 가능하다. 또한 수지함침 후 안정성 및 재현성이 뛰어나며, 멀티레이어 코팅(multi-layer coating)이 가능하다.
필름 공급부(107)는 면상 형태의 필름을 공급하는 부분이다. 필름은 폴리 미이드 필름, 메탈 아라미드계열 필름 또는 파라 아라미드 계열 필름 중 어느 하나일 수 있으며, 바람직하게는 폴리이미드 필름을 사용한다.
폴리이미드 필름은 영상 400도 이상의 고온이나 영하 269도의 저온을 견디는 필름으로 얇고 굴곡성이 뛰어난 첨단 고기능성 산업용 소재다. 내화학성, 내마모성도 강해 열악한 환경에서 안정적인 성능 유지가 필요한 분야에 널리 쓰인다. 초기에는 항공우주 분야 재료로 개발, 사용됐으나 현재는 산업용 기기와 연성회로기판(FPCB), 전기 전자부품 등 광범위한 분야에 사용되고 있다. 최근 전세계적으로 정보기술(IT) 기기의 성능이 다양해지고 두께가 얇아지면서 발열 문제를 해결하기 위해 방열 시트용으로의 폴리이미드 필름의 수요가 증가하고 있다. 이하에서는 폴리이미드 필름 사용하여 탄소섬유가 포함된 방열시트를 제조하는 과정을 설명한다.
탄화모듈(109)은 공급된 폴리이미드 필름을 탄화하기 위한 구성이다. 탄화모듈(109)은 질소(N2) 분위기에서 800 ~ 1,000℃의 탄화온도로 폴리이미드 필름을 탄화한다. 폴리이미드 필름을 탄화한 후 탄소섬유에 접착함으로써 필름 접착이 용이할 뿐만아니라, 필름을 탄소섬유에 접착한 후 탄화시 발생되는 필름 수축현상을 방지할 수 있다.
라미네이팅 모듈(130)은 접착제가 도포된 탄소섬유에 탄화된 폴리이미드 필름을 적층하여 결합하기 위한 구성이다. 라미네이팅 모듈(130)은 폴리이미드 필름을 접착제가 도포된 탄소섬유에 적층한 후, 폴리이미드 필름이 접착제에 의해 접착되어 방열시트가 형성되도록 한다.
건조모듈(140)은 라미네이팅 모듈(130)에서 라미네이팅된 방열시트를 건조하기 위한 구성이다. 건조모듈(140)은 접착제에 접착된 폴리이미드 필름이 견고하게 접착제에 접착될 수 있도록 예를 들어, 열풍을 이용하여 방열시트를 건조할 수 있다.
탄화모듈(150) 및 흑연화모듈(160)은 건조된 방열시트를 탄화 및 흑연화하기 위한 구성이다. 탄화모듈(150)은 질소(N2) 분위기에서 800 ~ 1,000℃의 탄화온도로 방열시트를 탄화한다. 탄화된 방열시트는 흑연화모듈(160)에서 2,000℃ 이상의 고온으로 흑연화된다. 흑연화모듈(160)에서는 흑연판 사이에 방열시트를 넣어 적절한 압력을 유지함으로써 방열시트의 형태가 변형되는 것을 방지한다. 완성된 방열시트는 저장모듈(170)에 저장된다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 방열시트의 구조를 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 방열시트 제조장치(100)를 통해 제조된 방열시트(200)는 면상형태로 스프레딩된 탄소섬유(101), 제1 접착층(124) 및 탄화된 폴리이미드 필름(182)으로 구성된다. 탄소섬유(101)은 다발 형태의 탄소섬유가 면상형태로 스프레딩되어 형성된다. 제1 접착층(124)은 면상형태로 스프레딩된 탄소섬유를 면상형태가 유지될 수 있도록 고정하면서 적층되는 폴리이미드 필름(182)을 접착한다.
방열시트(200)는 탄화된 폴리이미드 필름(182)을 스프레딩된 탄소섬유(101)에 접착하여 형성하므로 전체적인 평활도가 좋아진다. 그러므로 수평방향으로의 열전도율이 좋아져 빠른 방열이 가능하다. 또한 폴리이미드 필름(182)을 탄화한 후 접착하기 때문에 박막의 방열시트(200) 제조가 가능하여 소형 전기제품에도 활용이 가능하다.
도 3 및 도 4는 방열시트 제조장치를 도시한 사시도 및 측면도이고, 도 5는 방열시트 제조 방법을 도시한 흐름도이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 다발 형태로 롤에 권취되어 공급된 탄소섬유(103)는 스프레딩 장치(110)를 통과하면서 면상형태로 스프레딩된다(S100). 면상형태로 스프레딩된 탄소섬유(101)에는 접착액 공급장치(122)로부터 공급된 접착액이 주입되어 도포된다(S110). 폴리이미드 필름(180)은 탄화모듈(109)에 공급되고, 탄화모듈(109)에서 탄화되어 탄화된 폴리이미드 필름(182)이 형성된다(S120). 접착액이 도포된 탄소섬유(101)와 탄화된 폴리이미드 필름(182)은 라미네이팅 모듈(130)에서 라미네이팅된다(S130). 이때, 탄소섬유(101)와 탄화된 폴리이미드 필름(182)은 적층되어 라미네이팅 모듈(130)에 포함된 압연롤러(132)를 이용하여 라미네이팅할 수 있다. 라미네이팅된 탄소섬유(101)와 탄화된 폴리이미드 필름(182)은 건조하는 단계(S140)를 거친다. 이후 탄화모듈(150)에서 탄화공정을 진행(S160)한 후 흑연화 모듈(160)에서 흑연화공정을 진행하여 탄소섬유 방열시트(200)를 형성한다(S170). 탄화공정과 흑연화 공정은 일반적으로 탄소섬유 제조시 진행되는 공정이다. 방열시트 제조장치는 도면에 도시한 바와 같이, 탄소섬유(101)가 연속적으로 처리될 수 있도록 연속공정으로 형성될 수도 있고, 배치(batch) 처리될 수도 있다. 연속공정으로 진행 시 탄소섬유(101)는 복수 개의 가이드 롤러(102)에 의해 지지되며 이동된다.
도 6 및 도 7은 탄소섬유 스프레딩 장치를 도시한 도면이다.
도 6을 참조하면, 스프레딩 장치(110)는 탄소섬유 다발(103)을 면상형태로 펼치기 위한 장치이다. 스프레딩 장치(110)는 프레임(112) 내에 탄소섬유(103, 101)를 지지하며 이동시키기 위한 다수 개의 가이드 롤러(114)가 구비된다. 가이드 롤러(114)에 지지되며 스프레딩 장치(110) 내로 유입된 탄소섬유 다발(103)은 탄소섬유 다발(103) 상부에 설치된 에어덕트(116)에서 분사되는 기체에 의해 필라멘트 단위로 펼쳐진다. 에어덕트(116)는 스프레딩 장치(110)의 상부 또는 하부에 설치되어 기체를 탄소섬유 다발(103)의 상부 또는 하부로 분사되어 스프레딩할 수 있다.
도 7을 참조하면, 탄소섬유 다발(103)은 에어덕트(116)의 하부를 지나 이동한다. 이때, 에어덕트(116)의 하부에는 기체 분사홀이 구비된 다수의 분사노즐(117)이 구비된다. 분사노즐(117)을 통해 기체가 공급된다. 탄소섬유(101) 필라멘트 사이로 기체가 지나가면서 유로 확보를 위해 탄소섬유(101) 필라멘트 사이의 간극이 넓어지게 되고, 점차적으로 스프레딩되어 평면형태로 펼쳐지게 된다. 이때, 탄소섬유(101) 간의 집속력을 낮추기 위하여 사이징(sizing)제의 연화점 정도의 열을 가해주거나, 사이징제를 제거할 수 있다. 또한 구동모터의 속도 차에 의해 탄소섬유 길이방향의 장력을 제어하는데, 이에 따라 탄소섬유가 펼쳐지는 폭과 형태가 결정된다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 방열시트의 구조를 도시한 도면이다.
도 8을 참조하면, 방열시트(200a)는 제1 실시예에서의 방열시트(200)에 제2 접착층(126)이 더 추가되어 형성된다. 방열시트(200a)는 평면형태의 탄소섬유(101)에 접착제를 도포하여 제1 접착층(124)을 형성하고, 충진제 역할 및 접착력 향상을 위하여 추가적으로 접착제를 도포하여 제2 접착층(126)을 더 형성한다. 제2 접착층(126)은 카본나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube) 또는 카본 블랙(Carbon Black)중 어느 하나를 포함하여 형성된다.
이상에서 설명된 본 발명의 탄소섬유가 포함된 방열 시트 ,이의 제조방법 및 제조장치의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다.
그럼으로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
100: 방열시트 제조장치 101: 탄소섬유
102: 가이드 롤러 103: 탄소섬유 다발
105: 탄소섬유 공급부 107: 필름 공급부
109: 탄화모듈 110: 스프레딩 장치
112: 프레임 114: 가이드 롤러
116: 에어덕트 117: 분사노즐
120: 접착제 공급모듈 124: 제1 접착층
126: 제2 접착층 130: 라미네이팅 모듈
132: 압연롤러 140: 건조모듈
150: 탄화모듈 160: 흑연화모듈
170: 저장모듈 180: 폴리이미드 필름
182: 탄화된 폴리이미드 필름 200, 200a: 방열시트

Claims (11)

  1. 면상형태로 스프레딩된 탄소섬유층;
    상기 스프레딩된 탄소섬유에 도포되어 상기 탄소섬유를 고정하기 위한 접착층; 및
    탄화되어 공급되고, 상기 접착층에 부착되는 면상 형태의 필름층을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유가 포함된 방열시트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 필름층은 폴리이미드 필름, 메타 아라미드 필름 또는 파라 아라마드 필름 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 탄소섬유가 포함된 방열시트.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 접착층은 페놀, 폴리이미드, 폴리아크릴로니트릴, 아라미드 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유가 포함된 방열시트.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 방열시트는 상기 폴리이미드 필름과 상기 접착층 사이에 접착력을 강화시키기 위한 제2 접착층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유가 포함된 방열시트.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2 접착층은 카본나노튜브 또는 카본 블랙 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유가 포함된 방열시트.
  6. 탄소섬유 다발을 면상형태로 스프레딩하는 단계;
    면상 형태의 필름을 탄화하여 준비하는 단계;
    스프레딩된 탄소섬유에 접착제를 도포하는 단계;
    접착제가 도포된 탄소섬유에 탄화된 필름을 라미네이팅하는 단계;
    라미네이팅된 탄소섬유 시트를 탄화하는 단계; 및
    탄화된 탄소섬유 시트를 흑연화하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유가 포함된 방열시트의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 탄소섬유 스프레딩 단계에서 상기 탄소섬유는 기체를 통해 스프레딩되는 것을 특징으로 하는 탄소섬유가 포함된 방열시트의 제조방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 필름은 폴리이미드 필름, 메타 아라미드 필름 또는 파라 아라마드 필름 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 탄소섬유가 포함된 방열시트의 제조방법.
  9. 다발 형태의 탄소섬유를 면상형태로 스프레딩하기 위한 스프레딩 장치;
    필름을 탄화하여 공급하는 필름공급모듈;
    상기 필름을 접착하기 위한 라미네이팅모듈;
    라미네이팅된 탄소섬유와 필름을 탄화하기 위한 탄화모듈; 및
    탄화된 탄소섬유와 필름을 흑연화하기 위한 흑연화모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유가 포함된 방열시트의 제조장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 스프레딩 장치는 기체를 이용하여 다발 형태의 탄소섬유를 필라멘트 단위로 분리하기 위한 에어덕트를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유가 포함된 방열시트의 제조장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 필름은 폴리이미드 필름, 메타 아라미드 필름 또는 파라 아라마드 필름 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 탄소섬유가 포함된 방열시트의 제조장치.

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