KR20170006908A - 평탄도 측정 장치 - Google Patents

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KR20170006908A
KR20170006908A KR1020150098300A KR20150098300A KR20170006908A KR 20170006908 A KR20170006908 A KR 20170006908A KR 1020150098300 A KR1020150098300 A KR 1020150098300A KR 20150098300 A KR20150098300 A KR 20150098300A KR 20170006908 A KR20170006908 A KR 20170006908A
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 평탄도 측정 장치는, 노즐 홀더, 상기 노즐 홀더의 일측에 회전 가능하게 결합되며 내부에는 부압 유로가 형성된 평탄도 측정용 노즐, 상기 부압 유로로 부압을 제공하는 부압 공급부 및 상기 부압 유로의 내부 압력을 측정하는 부압 측정부를 포함하며, 상기 평탄도 측정용 노즐은, 상기 노즐 홀더의 내측에 수용되는 홀더 결합부 및 상기 홀더 결합부의 중심축에 대해 편심되도록 상기 홀더 결합 바디로부터 연장 형성되며 상기 부압 유로의 적어도 일부를 형성하는 노즐팁을 포함한다.

Description

평탄도 측정 장치{Apparatus for measuring flatness}
본 발명은 평탄도 측정 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 부압을 이용해 부재를 픽업하는 픽업 장치의 평탄도를 측정하는 평탄도 측정 장치에 관한 것이다.
칩 마운팅 장비 중에는 다이 터렛(Die Turret)에서 픽업한 전자 부품 등의 부재를 셔틀(shuttle)로 이송하기 위한 다이 트랜스퍼(Die Transfer) 모듈이 사용되는 장비가 있다.
다이 트랜스퍼 모듈에는 부압을 이용해 부재를 픽업하는 노즐과 노즐이 교체 가능하게 결합되는 노즐 홀더가 포함된다. 다이 트랜스퍼 모듈이 부재를 픽업하고 셔틀에 내려놓는 과정에서 부재에 가해지는 손상을 최소화하기 위해 노즐 홀더의 평탄도를 조정하는 작업이 이루어진다.
일반적으로 다이 트랜스퍼 모듈은 부재를 1축 방향으로 이동시키는 구조를 가지므로, 노즐 홀더의 평탄도를 측정하기 위해, 노즐 홀더에 평탄도 측정용 노즐을 결합한 후, 고정 설치된 측정용 툴을 이용해 평탄도 측정용 노즐의 일측 단부의 위치를 감지한 후, 평탄도 측정용 노즐의 타측 단부가 측정용 툴에 인접하도록 노즐 홀더를 1축 방향으로 소정 거리 이동시켜 평탄도 측정용 노즐의 타측 단부의 위치를 감지하게 한 후, 평탄도 측정용 노즐의 일측 단부의 위치와 타측 단부의 위치 차이를 연산하여 노즐 홀더의 평탄도를 측정한다.
그러나, 이와 같은 평탄도 측정 방법으로는, 노즐 홀더의 1축 방향 평탄도만 측정되므로, 노즐 홀더의 정확한 평탄도를 측정하기에 곤란하다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 2축 방향의 노즐 홀더 평탄도를 측정할 수 있는 평탄도 측정 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 평탄도 측정 장치는, 노즐 홀더, 상기 노즐 홀더의 일측에 회전 가능하게 결합되며 내부에는 부압 유로가 형성된 평탄도 측정용 노즐, 상기 부압 유로로 부압을 제공하는 부압 공급부 및 상기 부압 유로의 내부 압력을 측정하는 부압 측정부를 포함하며, 상기 평탄도 측정용 노즐은, 상기 노즐 홀더의 내측에 수용되는 홀더 결합부 및 상기 홀더 결합부의 중심축에 대해 편심되도록 상기 홀더 결합 바디로부터 연장 형성되며 상기 부압 유로의 적어도 일부를 형성하는 노즐팁을 포함한다.
상기 평탄도 측정용 노즐은 상기 홀더 결합부의 중심축을 중심으로 상기 노즐 홀더에 대해 회전 가능하게 설치될 수 있다.
상기 평탄도 측정용 노즐의 하부에 위치하는 기준 플레이트를 더 포함하며, 상기 부압 측정부는, 상기 노즐팁이 상기 홀더 결합부의 중심축을 중심으로 회전하며 위치하는 상기 기준 플레이트의 복수 지점에서 상기 부압 유로의 내부 압력을 측정할 수 있다.
상기 기준 플레이트의 복수 지점에서 측정된 상기 부압 유로의 내부 압력을 기초로 상기 노즐 홀더의 평탄도를 판단하는 평탄도 판단부를 더 포함할 수 있다.
상기 기준 플레이트의 복수 지점은 상기 홀더 결합부의 중심축을 중심으로 90도 간격으로 배열된 4개의 지점을 포함하고, 상기 평탄도 판단부는, 상기 4개의 지점에서 측정된 상기 부압 유로의 내부 압력을 기초로 상기 노즐 홀더의 X축 방향 평탄도 및 Y축 방향 평탄도를 판단할 수 있다.
상기 노즐 홀더를 승강 가능하게 지지하는 승강부를 더 포함하며, 상기 승강부는 상기 노즐팁이 상기 기준 플레이트에 인접하게 위치하도록 상기 노즐 홀더를 승강 구동할 수 있다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
노즐 홀더의 2축 방향 평탄도를 측정할 수 있어, 노즐 홀더의 평탄도를 보다 정밀하게 측정할 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평탄도 측정 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1의 노즐 홀더 및 평탄도 측정 노즐의 결합 상태를 도시한 단면도이다.
도 3은 도 1의 평탄도 측정 노즐을 도시한 사시도이다.
도 4 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 평탄도 측정 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 도 1의 노즐 홀더가 기울어지도록 조립된 일례를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 평탄도 측정 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
또한, 본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 개략도들을 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 또한 본 발명에 도시된 각 도면에 있어서 각 구성 요소들은 설명의 편의를 고려하여 다소 확대 또는 축소되어 도시된 것일 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 평탄도 측정 장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대하여 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평탄도 측정 장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 노즐 홀더 및 평탄도 측정 노즐의 결합 상태를 도시한 단면도이며, 도 3은 도 1의 평탄도 측정 노즐을 도시한 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 평탄도 측정 장치(1)는, 리니어 가이드(10), 승강부(20), 노즐 홀더(30), 평탄도 측정용 노즐(40), 부압 전달 튜브(50), 부압 공급부(60), 부압 측정부(70) 및 평탄도 판단부(80)를 포함한다.
리니어 가이드(10)는 X축 방향으로 일정 길이만큼 연장 형성된다.
도시되어 있지는 않지만, 리니어 가이드(10)는 픽업할 부재가 위치하는 다이 터렛으로부터 다이 터렛으로부터 픽업한 부재를 내려놓는 셔틀까지 연장될 수 있다.
승강부(20)는 리니어 가이드(10)를 따라 X축 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 승강부(20)는 승강부(20)를 X축 방향으로 이동시키는 수평 구동 모터(미도시)를 포함할 수 있다.
승강부(20)에는 노즐 홀더(30)가 승강 가능하게 설치된다. 승강부(20) 또는 노즐 홀더(30)에는 노즐 홀더(30)를 승강부(20)에 대해 승강 구동시키는 수직 구동 모터(미도시)를 포함할 수 있다.
노즐 홀더(30)의 하단에는 평탄도 측정용 노즐(40)이 XY 평면 상에서 회전 가능하도록 설치된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 노즐 홀더(30)는 하단이 개구 형성되고, 개구된 하단으로부터 내측으로 함몰 형성되는 노즐 홀더 수용 공간(31)을 포함한다. 노즐 홀더 수용 공간(31)의 상단에는 부압 전달 튜브(50)와 연결되도록 노즐 홀더(30)를 관통하는 홀더측 유로(33)가 형성된다.
그리고, 노즐 홀더(30)는 노즐 홀더 수용 공간(31)으로 출몰 가능하게 설치되는 복수의 스토퍼(32)를 포함한다. 스토퍼(32)는 평탄도 측정용 노즐(40)의 홀더 결합부(43)가 노즐 홀더 수용 공간(31)으로 진입할 때에는 평탄도 측정용 노즐(40)의 결합 헤드(43b)에 의해 노즐 홀더(30)의 내부로 밀려 들어가고, 평탄도 측정용 노즐(40)과 노즐 홀더(30)의 결합이 완료된 상태에서는 결합 헤드(43b)를 지지하여 평탄도 측정용 노즐(40)의 이탈을 방지한다.
평탄도 측정용 노즐(40)은 노즐 홀더(30)의 평탄도를 측정하기 위한 구성으로서, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 노즐 팁(41), 지지 플레이트(42) 및 홀더 결합부(43)를 포함한다.
홀더 결합부(43)는 지지 플레이트(42)의 상면으로부터 돌출 형성되며, 노즐 팁(41)은 지지 플레이트(42)의 하면으로부터 돌출 형성된다.
홀더 결합부(43)는 지지 플레이트(42)의 상면으로부터 연장 형성되는 지지단(43c)과, 지지단(43c)의 상단에 형성되는 결합 헤드(43b)를 포함한다.
결합 헤드(43b)의 하단은 지지단(43c)의 상단과 단차를 이루도록 지지단(43c)의 외측으로 확장 형성된다. 결합 헤드(43b)는 하단으로부터 상단을 향해 점차 좁아지는 테이퍼 형상을 가질 수 있다.
지지 플레이트(42)는 홀더 결합부(43)의 지지단(43c)이 중심에 위치하며, 노즐 홀더(30)의 하단보다 큰 직경을 갖는 원형 플레이트일 수 있다.
한편, 노즐 팁(41)은 지지 플레이트(42)의 중심으로부터 편심되도록 형성될 수 있다. 즉, 노즐 팁(41)의 중심축(A2)는 지지단(43c)의 중심축(A1)으로부터 일정 거리(d) 이격되도록 형성될 수 있다.
노즐 팁(41)은 평탄도 측정용 노즐(40)의 회전 중심축(A1)으로부터 편심되도록 형성되어 있으므로, 평탄도 측정용 노즐(40)이 회전함에 따라 노즐 팁(41)은 편심 거리(d)를 반경으로 하는 원형의 궤적을 형성하며 이동하게 된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 평탄도 측정용 노즐(40)이 노즐 홀더(30)에 결합된 상태에서 노즐 팁(41)과 지지 플레이트(42)는 노즐 홀더(30)의 하부에 노출된다.
평탄도 측정용 노즐(40)은 평탄도 측정용 노즐(40)을 상하로 관통하는 부압 유로(41a, 42a, 43a)를 포함한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 부압 유로(41a, 42a, 43a)는 노즐 팁(41)의 내부에 형성되는 제1 부압 유로(41a), 제1 부압 유로(41a)로부터 연장되어 지지 플레이트(42)의 내부에 형성되는 제2 부압 유로(42a) 및 제2 부압 유로(42a)로부터 연장되어 결합 헤드(43b)의 내부에 형성되는 제3 부압 유로(43a)를 포함한다.
제1 부압 유로(41a)는 노즐 팁(41)의 하부를 통해 개방되고, 제3 부압 유로(43a)는 홀더측 유로(33)와 연결된다.
부압 전달 튜브(50)는 홀더측 유로(33)와 부압 공급부(60)를 연결하여, 부압 공급부(60)로부터 제공된 부압을 홀더측 유로(33)를 통해 부압 유로(41a, 42a, 43a)로 전달한다.
한편, 부압 측정부(70)는 부압 전달 튜브(50) 내측의 압력을 측정한다. 부압 전달 튜브(50)는 부압 유로(41a, 42a, 43a)와 연결된 공간이므로, 부압 측정부(70)가 측정한 압력은 부압 유로(41a, 42a, 43a) 내부의 압력으로 볼 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 평탄도 측정 장치(1)는 평탄도 판단부(80)를 포함할 수 있다. 평탄도 판단부(80)는 부압 측정부(70)가 측정한 압력값을 전달받아 이를 기초로 노즐 홀더(30)의 평탄도를 판단한다.
이하에서는, 전술한 본 발명의 일 실시예에 따른 평탄도 측정 장치(1)의 구성을 기초로 본 발명의 일 실시예에 따른 평탄도 측정 장치의 동작 및 평탄도 측정 방법에 설명한다.
도 4 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 평탄도 측정 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 평탄도 측정 장치(1)는 기준 플레이트(S)를 포함할 수 있다. 기준 플레이트(S)는 평탄도 측정용 노즐(40)의 아래에 위치하며, 기준 플레이트(S)의 상면은 편평한 평면으로서, 이미 XY 방향의 평탄도가 조정된 상태일 수 있다. 기준 플레이트(S)는 노즐 홀더(30)에 장착되는 노즐(미도시)에 의해 픽업된 부재가 놓여질 셔틀의 다이(die)일 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 승강부(20)는 노즐 홀더(30)를 하강시켜, 노즐 팁(41)을 기준 플레이트(S)에 인접하게 위치시킨다. 노즐 팁(41)은 기준 플레이트(S)와 닿지 않도록 기준 플레이트(S)의 상면의 제1 지점(X1, 도 9 참고)에 인접하여 위치하게 된다.
이후, 부압 공급부(60)는 부압 전달 튜브(50)를 통해 부압 유로(41a, 42a, 43a)로 부압을 공급한다.
부압 유로(41a, 42a, 43a) 내에 형성되는 부압으로 인해 노즐 팁(41)의 외부 공기는 부압 유로(41a, 42a, 43a)로 흡입된다. 이 때, 노즐 팁(41)과 기준 플레이트(S)의 간격에 따라 부압 측정부(70)에 측정되는 압력값은 달라지게 된다.
부압 측정부(70)에서 압력 측정이 완료된 이후, 도 6에 도시된 바와 같이, 평탄도 측정용 노즐(40)은 180도 회전될 수 있다. 평탄도 측정용 노즐(40)은 작업자에 의해 180도 회전되거나, 노즐 홀더(30) 내에 회전 구동 모터(미도시)를 구비하여 회전 구동 모터에 의해 180도 회전될 수 있다.
평탄도 측정용 노즐(40)이 180도 회전됨에 따라 노즐 팁(41)은 기준 플레이트(S)의 상면의 제2 지점(X2, 도 9 참고)에 인접하여 위치하게 된다.
부압 공급부(60)는 부압 전달 튜브(50)를 통해 부압 유로(41a, 42a, 43a)로 부압을 공급하고, 부압 측정부(70)는 제2 지점(X2)에서의 압력값을 측정한다.
제1 지점(X1)과 제2 지점(X2)에서 각각 측정된 압력값을 통해 부압 측정부(70)는 노즐 홀더(30)의 X축 방향 평탄도를 판단한다.
부압 측정부(70)는 제1 지점(X1)과 제2 지점(X2)에서 각각 측정된 압력값이 압력값이 동일하거나 기 설정된 오차 범위 내 존재하는 경우에는 노즐 홀더(30)가 X축 방향으로 평탄하게 설치되었다고 판단할 수 있다.
제1 지점(X1)과 제2 지점(X2)에서 각각 측정된 압력값이 동일하거나 수용 가능한 오차 범위 내 존재하는 경우에는, 제1 지점(X1)과 제2 지점(X2)에서 노즐 팁(41)과 기준 플레이트(S)의 일면 상의 거리가 일정하게 유지된 것이므로, 노즐 홀더(30)가 X축 방향으로 평탄하게 설치된 것을 의미한다.
제1 지점(X1)과 제2 지점(X2)에서 각각 측정된 압력값이 다르거나 기 설정된 오차 범위를 벗어난 경우에는 노즐 홀더(30)가 X축 방향으로 기울어진 상태라고 판단할 수 있다.
도 10은 도 1의 노즐 홀더가 기울어지도록 조립된 일례를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 10에 도시된 바와 같이, 노즐 홀더(30)가 기울어지게 조립된 경우에는, 노즐 팁(41)과 기준 플레이트(S)의 일면 상의 거리가 제1 지점(X1)과 제2 지점(X2)에서 각각 상이하게 된다.
도 10의 상태에서는, 제1 지점(X1)에서의 노즐 팁(41)과 기준 플레이트(S)의 일면 상의 거리가 제2 지점(X2)에서의 노즐 팁(41)과 기준 플레이트(S)의 일면 상의 거리 보다 크므로, 노즐 팁(41)이 제1 지점(X1)에 위치할 때에 측정된 압력값이 제2 지점(X2)에 위치할 때 측정된 압력값보다 높게 측정된다.
반대로, 제1 지점(X1)에서의 노즐 팁(41)과 기준 플레이트(S)의 일면 상의 거리가 제2 지점(X2)에서의 노즐 팁(41)과 기준 플레이트(S)의 일면 상의 거리 보다 작은 경우에는, 노즐 팁(41)이 제1 지점(X1)에 위치할 때에 측정된 압력값이 제2 지점(X2)에 위치할 때 측정된 압력값보다 낮게 측정된다.
따라서, 부압 측정부(70)는 제1 지점(X1)과 제2 지점(X2)에서 각각 측정된 압력값을 이용해 노즐 홀더(30)가 X축 상에서 기울어진 방향을 판단할 수 있다. 제1 지점(X1)과 제2 지점(X2)에서 각각 측정된 압력값의 차이가 클수록 노즐 홀더(30)가 기울어진 정도 역시 증가하므로, 제1 지점(X1)과 제2 지점(X2)에서 측정된 압력자를 이용해 노즐 홀더(30)가 X축 상에서 기울어진 정도를 판단할 수도 있다.
한편, 제2 지점(X2)에 대한 압력 측정이 완료된 이후, 도 7에 도시된 바와 같이, 평탄도 측정용 노즐(40)은 90도 회전하여, 노즐 팁(41)을 기준 플레이트(S)의 상면의 제3 지점(Y1, 도 9 참고)에 인접하여 위치시킬 수 있다.
부압 공급부(60)는 부압 전달 튜브(50)를 통해 부압 유로(41a, 42a, 43a)로 부압을 공급하고, 부압 측정부(70)는 제3 지점(Y1)에서의 압력값을 측정한다.
제3 지점(Y1)에 대한 압력 측정이 완료된 이후, 도 8에 도시된 바와 같이, 평탄도 측정용 노즐(40)은 180도 회전하여, 노즐 팁(41)을 기준 플레이트(S)의 상면의 제4 지점(Y2, 도 9 참고)에 인접하여 위치시킬 수 있다.
부압 공급부(60)는 부압 전달 튜브(50)를 통해 부압 유로(41a, 42a, 43a)로 부압을 공급하고, 부압 측정부(70)는 제4 지점(Y2)에서의 압력값을 측정한다.
제3 지점(Y1)과 제4 지점(Y2)에서 각각 측정된 압력값을 통해 부압 측정부(70)는 노즐 홀더(30)의 Y축 방향 평탄도를 판단한다.
부압 측정부(70)는 제3 지점(Y1)과 제4 지점(Y2)에서 각각 측정된 압력값이 압력값이 동일하거나 기 설정된 오차 범위 내 존재하는 경우에는 노즐 홀더(30)가 Y축 방향으로 평탄하게 설치되었다고 판단할 수 있다.
그리고, 제3 지점(Y1)과 제4 지점(Y2)에서 각각 측정된 압력값이 다르거나 기 설정된 오차 범위를 벗어난 경우에는 노즐 홀더(30)가 Y축 방향으로 기울어진 상태라고 판단할 수 있다.
전술한 바와 같이, 부압 측정부(70)는 제3 지점(Y1)과 제4 지점(Y2)에서 각각 측정된 압력값을 이용해 노즐 홀더(30)가 Y축 상에서 기울어진 방향을 판단할 수 있다. 그리고, 제3 지점(Y1)과 제4 지점(Y2)에서 측정된 압력자를 이용해 노즐 홀더(30)가 Y축 상에서 기울어진 정도를 판단할 수도 있다.
상술한 평탄도 측정 방법에서는 도 9의 X1, X2, Y1, Y2의 순서로 압력값을 측정하는 예를 설명하였으나, X1, X2, Y1, Y2의 순서는 변경될 수 있다. 예를 들어, 최초 X1 지점에서의 압력값을 측정한 이후, 평탄도 측정용 노즐(40)을 90도씩 회전시키며, Y1, X2, Y2의 순서로 압력값을 측정하거나, Y2, X2, Y1의 순서로 압력값을 측정할 수도 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 평탄도 측정 장치(1)는 노즐 홀더(30)를 X축 상에서 이동시키지 않고, 평탄도 측정용 노즐(40)을 회전시키며 복수의 지점(X1, X2, Y1, Y2)에서 측정된 압력값으로 노즐 홀더(30)의 X축 방향 평탄도 및 Y 축 방향 평탄도를 측정할 수 있다. 노즐 홀더(30)에 대한 2축 방향 평탄도를 측정할 수 있으므로, 노즐 홀더(30)의 평탄도를 보다 정밀하게 측정할 수 있다.
한편, 도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 평탄도 측정 장치를 개략적으로 도시한 도면이다. 설명의 편의를 위하여 전술한 실시예와 유사한 부분은 동일한 도면부호를 사용하고, 전술한 실시예와 공통되는 부분은 그 설명을 생략한다.
본 실시예에 따른 평탄도 측정 장치(2)는 엔코더(90)를 포함한다.
전술한 실시예에서는 부압 전달 튜브(50)의 내부 압력을 측정하고 이를 이용해 노즐 홀더(30)의 평탄도를 측정한 반면, 본 실시예에서는 엔코더(90)를 이용해 노즐 홀더(30)의 승강량을 측정하여 노즐 홀더(30)의 평탄도를 측정한다.
즉, 도 11에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 평탄도 측정 장치(2)는 복수의 지점(X1, X2, Y1, Y2; 도 9 참고)에서 노즐 홀더(30)를 하강시켜 노즐 팁(41)과 기준 플레이트(S)의 상면을 접촉시킨다.
노즐 홀더(30)는 수직 구동 모터(미도시)에 의해 승강 구동되는데, 엔코더(90)는 수직 구동 모터의 회전 수를 검출한다. 노즐 홀더(30)의 승강량에 따라 수직 구동 모터의 회전 수가 달라지므로, 부압 측정부(70)는 복수의 지점(X1, X2, Y1, Y2)에거 각각 엔코더(90)가 검출한 수직 구동 모터의 회전 수를 비교하여 노즐 홀더(30)의 평탄도를 판단할 수 있다.
예를 들어, 부압 측정부(70)는 제1 지점(X1)과 제2 지점(X2)에서 각각 검출된 수직 구동 모터의 회전 수가 동일하거나 기 설정된 오차 범위 내 존재하는 경우에는 노즐 홀더(30)가 X축 방향으로 평탄하게 설치되었다고 판단할 수 있다.
그러나, 제1 지점(X1)과 제2 지점(X2)에서 각각 검출된 수직 구동 모터의 회전 수가 다르거나 기 설정된 오차 범위를 벗어난 경우에는 노즐 홀더(30)가 X축 방향으로 기울어진 상태라고 판단할 수 있다. 그리고, 제1 지점(X1)과 제2 지점(X2)에서 각각 검출된 수직 구동 모터의 회전 수의 차이를 이용해 노즐 홀더(30)가 X축 상에서 기울어진 방향 및 X축 상에서 기울어진 정도를 판단할 수도 있다.
유사하게, 부압 측정부(70)는 제3 지점(Y1)과 제4 지점(Y2)에서 각각 검출된 수직 구동 모터의 회전 수를 비교하여, 노즐 홀더(30)의 Y축 방향 평탄도를 판단할 수 있다.
도 11의 실시예는 기준 플레이트(S)와 노즐 팁(41)의 접촉이 이루어지므로, 기준 플레이트(S)의 경도가 상대적으로 높은 경우에 사용되고, 도 1 내지 도 10의 실시예는 기준 플레이트(S)와 노즐 팁(41)의 접촉이 이루어지지 않으므로 기준 플레이트(S)의 경도가 상대적으로 낮은 경우에 사용될 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1, 2: 평탄도 측정 장치 10: 리니어 가이드
20: 승강부 30: 노즐 홀더
31: 노즐 홀더 수용 공간 32: 스토퍼
33: 홀더측 유로 40: 평탄도 측정용 노즐
41: 노즐 팁 41a: 제1 부압 유로
42: 지지 플레이트 42a: 제2 부압 유로
43: 홀더 결합부 43a: 제3 부압 유로
43b: 결합 헤드 43c: 지지단
50: 부압 전달 튜브 60: 부압 공급부
70: 부압 측정부 80: 평탄도 판단부
90: 엔코더 S: 기준 플레이트

Claims (6)

  1. 노즐 홀더;
    상기 노즐 홀더의 일측에 회전 가능하게 결합되며 내부에는 부압 유로가 형성된 평탄도 측정용 노즐;
    상기 부압 유로로 부압을 제공하는 부압 공급부; 및
    상기 부압 유로의 내부 압력을 측정하는 부압 측정부를 포함하며,
    상기 평탄도 측정용 노즐은,
    상기 노즐 홀더의 내측에 수용되는 홀더 결합부 및
    상기 홀더 결합부의 중심축에 대해 편심되도록 상기 홀더 결합 바디로부터 연장 형성되며 상기 부압 유로의 적어도 일부를 형성하는 노즐팁을 포함하는, 평탄도 측정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 평탄도 측정용 노즐은 상기 홀더 결합부의 중심축을 중심으로 상기 노즐 홀더에 대해 회전 가능하게 설치되는, 평탄도 측정 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 평탄도 측정용 노즐의 하부에 위치하는 기준 플레이트를 더 포함하며,
    상기 부압 측정부는,
    상기 노즐팁이 상기 홀더 결합부의 중심축을 중심으로 회전하며 위치하는 상기 기준 플레이트의 복수 지점에서 상기 부압 유로의 내부 압력을 측정하는, 평탄도 측정 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 기준 플레이트의 복수 지점에서 측정된 상기 부압 유로의 내부 압력을 기초로 상기 노즐 홀더의 평탄도를 판단하는 평탄도 판단부를 더 포함하는, 평탄도 측정 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 기준 플레이트의 복수 지점은 상기 홀더 결합부의 중심축을 중심으로 90도 간격으로 배열된 4개의 지점을 포함하고,
    상기 평탄도 판단부는, 상기 4개의 지점에서 측정된 상기 부압 유로의 내부 압력을 기초로 상기 노즐 홀더의 X축 방향 평탄도 및 Y축 방향 평탄도를 판단하는, 평탄도 측정 장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 노즐 홀더를 승강 가능하게 지지하는 승강부를 더 포함하며,
    상기 승강부는 상기 노즐팁이 상기 기준 플레이트에 인접하게 위치하도록 상기 노즐 홀더를 승강 구동하는, 평탄도 측정 장치.
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