KR20170006461A

KR20170006461A - 액정 표시 장치

Info

Publication number: KR20170006461A
Application number: KR1020150097098A
Authority: KR
Inventors: 정수민
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2015-07-08
Filing date: 2015-07-08
Publication date: 2017-01-18

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치는 기판의 패드 영역에 패드가 구비되고, 상기 기판의 검사 영역에 검사 라인이 구비되고, 상기 패드와 검사 라인을 연결하는 연결 전극 및 상기 연결 전극의 상면이 식각되는 것을 방지하기 위해서 상기 연결 전극의 상면에 구비된 식각 방지층이 구비되어 있다.

Description

액정 표시 장치{LIQUID CRYSTAL DISPALY DEVICE}

본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 검사 신호를 통해 표시 영역의 화소를 검사할 수 있는 액정 표시 장치에 관한 것이다.

이동통신 단말기, 노트북 컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 평판 표시 장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 증대되고 있다.

평판 표시 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display Device), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display Device), 발광 다이오드 표시장치(Light Emitting Diode Display Device), 유기발광 다이오드 표시장치(Organic Light Emitting Diode Display Device) 등이 연구되고 있다.

이러한 평판 표시 장치 중에서 액정 표시 장치는 양산 기술의 발전, 구동수단의 용이성, 저전력 소비, 고화질 구현 및 대화면 구현의 장점이 있어 적용 분야가 확대되고 있다.

액정 표시 장치는 외부로부터 입력된 영상 신호를 데이터 전압으로 변환하고, 데이터 전압에 따라 복수의 화소의 액정층을 투과하는 광의 투과율을 조절하여 영상 신호에 따른 화상을 표시하게 된다.

이러한 액정 표시 장치는 일반적으로 하부 기판 상에 박막 트랜지스터를 포함한 여러 패턴을 형성하는 공정, 상부 기판 상에 컬러필터층을 포함한 각종 패턴을 형성하는 공정, 하부 기판과 상부 기판을 대향 합착하고 그 사이에 액정을 주입하는 공정 및 하부 기판에 구동 회로부를 연결하는 공정을 통해 제조된다.

이 때, 상기 하부 기판 상에 박막 트랜지스터를 형성한 후, 라인들의 쇼트, 단선 등과 같은 라인 불량과 박막 상기 박막 트랜지스터의 불량 등을 검출하기 위한 검사를 수행한다.

최근에는 박막 트랜지스터 어레이의 신호 검사를 위해 검사 패드와 연결된 검사 라인을 통해 게이트 라인과 데이터 라인으로 검사 신호를 인가하여 기판 상의 라인들 및 화소들이 정상적으로 형성되었는지를 검사한다.

도 1a는 종래의 액정 표시 장치의 기판의 개략적인 평면도이다.

도 1b는 도 1a에서 선 "A-B"를 따라 절취한 액정 표시 장치의 단면도이다.

도 1a를 참조하면, 종래 기술에 따른 액정 표시 장치의 기판(1)에는 표시 영역과 비표시 영역이 포함된다.

표시 영역에는 복수의 게이트 라인, 복수의 데이터 라인 및 복수의 화소들이 형성되고, 복수의 화소 각각은 박막 트랜지스터 및 스토리지 커패시터를 포함한다.

비표시 영역에는 상기 복수의 게이트 라인, 복수의 데이터 라인 및 복수의 화소들이 정상적으로 형성되었는지를 검사하기 위한 신호 패드(4) 및 검사 라인(2)이 형성된다. 데이터 라인 또는 게이트 라인의 일측 끝단에는 검사 신호가 입력되는 신호 패드(4)가 연결되고, 신호 패드(4)는 검사 패드(3)와 연결되는 검사 라인(2)에 연결된다.

도 1b를 참조하여 종래 기술에 따른 액정 표시 장치의 비표시 영역의 단면을 살펴보면, 신호 패드(4) 영역에서는 기판(1) 상에 패드(4-1)가 형성되고, 상기 패드(4-1) 상에 절연막(5), 제1 패시베이션층(6) 및 제2 패시베이션층(7)이 형성되고, 상기 제2 패시베이션층(7) 상에 형성된 패드 전극(4-2)이 콘택홀(CH)을 통해 상기 신호 패드(4-1)와 연결되어 형성된다.

그리고, 검사 라인(2) 영역에서는 기판(1) 상에 검사 라인(2), 절연막(5), 제1 패시베이션층(6) 및 제2 패시베이션층(7)이 순차적으로 형성된다.

그리고, 도 1a 및 도 1b에 도시되지는 않았지만, 연결 전극을 통해 상기 검사 라인(2)과 상기 패드(4-1)가 연결되기 때문에 검사 패드(3)의 검사 신호가 상기 패드(4-1)로 입력되고, 상기 표시 영역의 화소에 대한 검사가 수행된다.

이와 같은 종래의 액정 표시 장치는 다음과 같은 문제가 있다.

전술한 바와 같이 상기 검사 라인(2)과 패드(4-1)가 연결 전극을 통해서 연결되는데, 상기 신호 패드(4) 영역과 상기 검사 라인(2) 영역 사이의 영역 중 연결 전극이 형성되지 않는 영역에는 상기 제1 패시베이션층(6) 상부에 제2 패시베이션층(7)이 직접 형성된다.

이 때, 상기 제1 패시베이션층(6)에 대한 상기 제2 패시베이션층(7)의 접착력이 낮기 때문에, 도 1b의 "X"에 표시된 바와 같이 상기 제1 패시베이션층(6)과 제2 패시베이션층(7) 사이에 접착되지 않은 부분이 발생하게 된다. 그리고, 최종적으로 완성된 기판(1) 상에서 상기 제1 패시베이션층(6)과 제2 패시베이션층(7)이 분리되는 문제가 발생하고 있다.

즉, 전술한 검사 라인(2)을 통해 검사가 완료되면 스크라이브 라인(Scribe Line)(8)에 따라 기판(1)의 검사 패드(3)를 스크라이브하여 최종적으로 액정 표시 장치를 제작하는데, 도 1b의 "X"와 같은 틈이 점차 증가하고 결국 기판(1) 상의 모든 영역에서 상기 제2 패시베이션층(7)이 하부층으로부터 분리되는 문제가 발생하고 있었다.

본 발명은 전술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 고안된 것으로서, 본 발명은 표시 영역의 화소에 대한 검사를 위한 액정 표시 장치의 최종 기판에서 패시베이션층이 분리되는 것을 방지하고 견고한 부착 상태를 유지하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치는 기판의 패드 영역에 패드가 구비되고, 상기 기판의 검사 영역에 검사 라인이 구비되고, 상기 패드와 검사 라인을 연결하는 연결 전극 및 상기 연결 전극의 상면이 식각되는 것을 방지하기 위해서 상기 연결 전극의 상면에 구비된 식각 방지층이 구비되어 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치는 기판의 패드 영역에 구비된 패드, 상기 패드와 연결되는 연결 전극이 구비되고, 상기 연결 전극의 상면이 식각되는 것을 방지하기 위해서 상기 연결 전극의 상면에 구비된 식각 방지층이 구비되어 있다.

이상과 같은 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.

본 발명에 따르면, 기판으로부터 검사 영역을 스크라이브하는 스크라이브 라인을 포함하는 소정의 영역에는 절연막, 제1 패시베이션층 및 제2 패시베이션층 없이 연결 전극만이 형성되어 있기 때문에 접착력이 약한 상기 제2 패시베이션층이 하부층으로부터 분리되는 문제가 방지될 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면 스크라이브 라인을 포함하는 소정의 영역에는 상기 연결 전극의 전면을 덮도록 식각 방지층이 형성되어 있기 때문에 패드 전극을 패턴 형성하는 공정 중에 식각액에 의해 연결 전극이 손상되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면 상기 식각 방지층은 별도의 공정 추가없이 종래의 마스크 공정에서 마스크 패턴만을 변경하여 형성될 수 있다.

도 1a는 종래의 액정 표시 장치의 기판의 개략적인 평면도이다.
도 1b는 도 1a에서 선 "A-B"를 따라 절취한 액정 표시 장치의 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 기판의 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 2에서 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 S영역을 확대해서 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3에서 선 "H-H"를 따라 절취한 액정 표시 장치의 단면도이다.
도 5는 도 2에서 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 S영역을 확대해서 나타낸 도면이다.
도 6a는 도 5에서 선 "I-I"를 따라 절취한 액정 표시 장치의 단면도이다.
도 6b는 도 5에서 선 "L-L"을 따라 절취한 액정 표시 장치의 단면도이다.
도 7은 도 2에서 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치의 S영역을 확대해서 나타낸 도면이다.
도 8는 도 7에서 선 "J-J"를 따라 절취한 액정 표시 장치의 단면도이다.
도 9a 내지 도 9e는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조방법을 도시한 개략적인 공정 단면도이다.
도 10a 내지 도 10d는 본 발명의 제2 실시예에 따른 패드 전극 및 식각 방지층을 동시에 패턴 형성하는 공정을 도시한 공정 단면도이다.
도 11a 내지 도 11e는 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조방법을 도시한 개략적인 공정 단면도이다.
도 12는 본 발명의 제4 실시예에 따른 액정 표시 장치의 단면도이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급한 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.

구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.

위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.

시간 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~후에', '~에 이어서', '~다음에', '~전에' 등으로 시간적 선후 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 연속적이지 않은 경우도 포함할 수 있다.

제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성 요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.

본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.

이하, 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 기판의 개략적인 평면도이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 액정 표시 장치는 기판(100) 상에 구비되어 화상을 표시하는 영역인 표시 영역과 상기 표시 영역 외곽부의 비표시 영역을 포함하여 이루어진다.

특히, 비표시 영역은 데이터 라인(미도시) 또는 게이트 라인(미도시)에 접속되는 데이터 또는 게이트 Driver IC(DIC)와 연결된 복수의 패드(110)가 구비되는 패드 영역, 및 상기 복수의 패드(110)로 검사 신호를 전달하도록 상기 복수의 패드(110)에 접속되는 검사 라인(200)과 상기 검사 라인(200)으로 검사 신호를 출력하는 검사 패드(210)가 구비되는 검사 영역을 포함하여 이루어진다.

표시 영역은 게이트 라인, 데이터 라인, 박막 트랜지스터(미도시), 공통 전극(미도시), 및 화소 전극(미도시)을 포함하여 이루어진다.

상기 게이트 라인은 제1 방향, 예를 들어 가로 방향으로 배열되어 있고, 상기 데이터 라인은 상기 제1 방향과 상이한 방향, 예를 들어 세로 방향으로 배열되어 있다. 이와 같이 상기 게이트 라인과 상기 데이터 라인이 교차되도록 배열되어 화소 영역이 정의된다.

상기 박막 트랜지스터는 상기 게이트 라인과 상기 데이터 라인이 교차하는 영역에 형성된다. 상기 박막 트랜지스터는 게이트 전극(미도시), 반도체층(미도시), 소스 전극(미도시) 및 드레인 전극(미도시)을 포함하여 이루어진다.

상기 게이트 전극은 상기 게이트 라인에서 연장형성되어 있다. 상기 게이트 전극과 상기 게이트 라인은 동시에 형성되며, 따라서 서로 동일한 층에 동일한 물질로 이루어진다.

상기 소스 전극은 상기 게이트 전극 상으로 게이트 절연막(미도시)을 사이에 두고 상기 데이터 라인에서 연장형성되어 있고, 상기 드레인 전극은 상기 소스 전극과 소정 간격으로 이격되어 서로 마주하고 있다. 상기 소스/드레인 전극과 상기 데이터 라인은 동시에 형성되며, 따라서 서로 동일한 층에 동일한 물질로 이루어진다.

상기 반도체층은 상기 게이트 전극과 상기 소스/드레인 전극 사이의 중간층에 형성되어 박막 트랜지스터가 동작할 때 전자가 이동하는 채널 역할을 하는 것으로서, 본 발명에 따르면, 상기 반도체층이 상기 소스/드레인 전극과 동시에 패턴 형성된다. 따라서, 상기 반도체층은 상기 소스/드레인 전극과 동일한 패턴으로 형성되며, 또한 상기 소스/드레인 전극이 상기 데이터 라인과 동시에 형성되기 때문에, 상기 반도체층은 결국 상기 소스/드레인 전극 및 상기 데이터 라인과 동일한 패턴으로 형성될 수 있다.

상기 공통 전극은 표시 영역 전면에 형성되고, 상기 화소 전극은 화소 영역 내에 형성된다. 상기 공통 전극과 상기 화소 전극은 절연층을 사이에 두고 형성되는데, 상기 공통 전극은 절연층 아래에 형성되고, 상기 화소 전극은 절연층 위에 형성된다.

상기 공통 전극은 판(plate) 형상으로 형성되고, 상기 화소 전극은 프린지 필드(Fringe Field) 형성을 위해서 복수 개의 슬릿을 구비하도록 형성될 수 있다. 다만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니고, 상기 화소 전극이 판 형상으로 형성되고, 상기 공통 전극이 화소 영역 내에 복수 개의 슬릿을 구비하도록 형성될 수도 있다.

상기 화소 전극은 상기 화소 영역 내에 형성되며, 소정의 콘택홀을 통해서 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 연결되어 있다.

전술한 표시 영역의 구체적인 적층 방식은 하나의 예에 불과한 것으로 본 실시예에 따른 액정 표시 장치는 기재하지 않은 다양한 방식으로 적층된 표시 영역을 포함할 수 있다.

상기 비표시 영역은 전술한 바와 같이 패드 영역 및 검사 영역을 포함하고, 상기 검사 영역에 포함된 검사 패드(210)에서 발생시킨 검사 신호를 검사 라인(200)을 통해 복수의 패드(110)로 각각 입력함으로써 각 화소의 점등 검사 등을 수행한다.

그리고 신호 검사가 완료되면 액정 패널의 크기에 따라 기판(100)을 스크라이브한다. 이 때, 스크라이브 라인(Scribe Line)(10)을 따라 기판(100)에서 검사 라인(200) 및 검사 패드(210)를 제거함으로써 정상적으로 구동되는 최종의 액정 표시 장치용 기판(100)을 제조하게 된다.

이하에서는 본 발명에 따른 보다 구체적인 액정 표시 장치의 다양한 실시예를 살펴보기로 한다.

도 3은 도 2에서 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 S영역을 확대해서 나타낸 도면이다.

도 4는 도 3에서 선 "H-H"를 따라 절취한 액정 표시 장치의 단면도이다.

도 3을 참조하면, 상기 패드 영역의 패드(110)와 상기 검사 영역의 검사 라인(200)은 소정의 연결 전극(140)에 의해 연결될 수 있다. 구체적으로, 상기 연결 전극(140)은 그 일단이 제2 콘택홀(CH2)을 통해 상기 패드(110)와 연결되어 있고 그 타단이 제4 콘택홀(CH4)을 통해 상기 검사 라인(200)과 연결되어 있다.

이하에서는, 도 4를 참조로 하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 적층 구조에 대해서 보다 상세히 설명하기로 한다.

도 4에서 알 수 있듯이, 기판(100) 상의 패드 영역에는 패드(110)가 형성되어 있고, 상기 패드(110) 상에는 절연막(120)이 형성되어 있다. 상기 패드(110)는 상기 표시 영역의 게이트 전극과 동시에 패턴 형성되고, 상기 절연막(120)은 상기 표시 영역의 게이트 절연막이 연장된 형태로 형성될 수 있다.

상기 절연막(120)을 포함하는 기판(100) 전면에는 제1 패시베이션층(130)이 형성되어 있고, 상기 제1 패시베이션층(130) 상에는 연결 전극(140)이 형성되어 있다. 상기 연결 전극(140)은 상기 표시 영역의 공통 전극과 동시에 패턴 형성될 수 있다. 따라서, 상기 연결 전극(140)과 상기 공통 전극은 동일한 층에 동일한 물질로 이루어질 수 있다.

상기 연결 전극(140)은 상기 제2 콘택홀(CH2)을 통해서 상기 패드(110)의 일단 영역과 연결되고, 상기 제4 콘택홀(CH4)을 통해서 상기 검사 라인(200)의 일단 영역과 연결됨으로써, 상기 검사 라인(200)의 검사 신호를 상기 패드(110)로 전달한다. 상기 제2 콘택홀(CH2)은 상기 패드(110)가 노출되도록 상기 절연막(120) 및 상기 제1 패시베이션층(130)의 소정 영역에 형성되고, 상기 제4 콘택홀(CH4)은 상기 검사 라인(200)이 노출되도록 상기 절연막(120) 및 상기 제1 패시베이션층(130)의 소정 영역에 형성된다.

상기 연결 전극(140) 상에는 제2 패시베이션층(150)이 형성되어 있고, 상기 제2 패시베이션층(150) 상에는 패드 전극(160)이 형성되어 있다.

상기 패드 전극(160)은 제1 콘택홀(CH1)을 통해 상기 패드(110)와 연결되고, 제3 콘택홀(CH3)을 통해 상기 연결 전극(140)과 연결된다. 상기 제1 콘택홀(CH1)은 상기 패드(110)가 노출되도록 상기 절연막(120), 상기 제1 패시베이션층(130) 및 상기 제2 패시베이션층(150)의 소정 영역에 형성되고, 상기 제3 콘택홀(CH3)은 상기 연결 전극(140)이 노출되도록 상기 제2 패시베이션층(150)의 소정 영역에 형성된다.

상기 패드 전극(160)은 상기 표시 영역 내의 상기 화소 전극과 동시에 패턴 형성될 수 있다. 따라서, 상기 패드 전극(160)과 상기 화소 전극은 동일한 층에 동일한 물질로 이루어질 수 있다.

도 4에서 알 수 있듯이, 기판(100) 상의 검사 영역에는 검사 라인(200)이 형성되어 있고, 상기 검사 라인(200) 상에는 절연막(120)이 형성되어 있다.

상기 절연막(120) 상에는 제1 패시베이션층(130)이 형성되어 있고, 상기 제1 패시베이션층(130) 상에는 상기 연결 전극(140)이 형성되어 있다.

상기 패드(110)와 상기 검사 라인(200)은 상기 연결 전극(140)에 의해 연결되어 있다. 이를 위해서, 상기 패드 영역의 상기 절연막(120) 및 상기 제1 패시베이션층(130)의 소정 영역에는 상기 패드(110)가 노출되도록 제2 콘택홀(CH2)이 형성되어 있고, 상기 검사 영역의 상기 절연막(120) 및 상기 제1 패시베이션층(130)의 소정 영역에는 상기 검사 라인(200)이 노출되도록 제4 콘택홀(CH4)이 형성되어 있으며, 상기 연결 전극(140)의 일단은 상기 제2 콘택홀(CH2)을 통해 상기 패드(110)와 연결되어 있고, 상기 연결 전극(140)의 타단은 상기 제4 콘택홀(CH4)을 통해 상기 검사 라인(200)과 연결되어 있다.

그리고, 상기 연결 전극(140) 상에는 제2 패시베이션층(150)이 형성되어 있다.

상기 절연막(120), 상기 제1 패시베이션층(130) 및 상기 제2 패시베이션층(150)은 기판(100) 전면에 형성되지만, 소정 영역에 개구부가 구비될 수 있다. 구체적으로 도 3의 A영역에서 상기 절연막(120), 제1 패시베이션층(130) 및 제2 패시베이션층(150)에는 상기 기판(100)을 노출시키는 개구부가 구비되고, A영역 이외의 연결 전극(140)이 형성된 영역에서 상기 제2 패시베이션층(150)에는 상기 연결 전극(140)을 노출시키는 개구부가 구비될 수 있다.

따라서 도 4에 도시된 상기 스크라이브 라인(10)을 포함하는 소정의 영역에서는 상기 연결 전극(140)이 외부로 노출되도록 상기 제2 패시베이션층(150)이 형성되지 않음을 알 수 있다.

이와 같이 본 발명의 제1 실시예에 따르면 A영역에는 상기 스크라이브 라인(10)을 따라 상기 기판(100)이 외부로 노출되도록, 상기 절연막(120), 제1 패시베이션층(130) 및 제2 패시베이션층(150)에 개구부가 형성되기 때문에, 접착력이 낮은 상기 제2 패시베이션층(150)이 상기 제1 패시베이션층(130)에 단독으로 접착됨에 따른 분리 현상을 방지할 수 있다.

즉, 도 3에 도시된 A영역에는 연결 전극(140)이 형성되지 않기 때문에 상기 절연막(120), 제1 패시베이션층(130) 및 제2 패시베이션층(150)을 기판(100) 전면에 형성할 경우, A영역에서는 제1 패시베이션층(130) 상에 제2 패시베이션층(150)이 직접 형성되게 된다. 그리고 접착력이 낮은 상기 제2 패시베이션층(150)이 상기 제1 패시베이션층(130)으로부터 분리됨에 따라 결국 모든 기판(100) 상에서 상기 제2 패시베이션층(150)이 분리되는 문제가 발생할 수 있다.

따라서, 본 발명의 제1 실시예에서는 연결 전극(140)이 형성되지 않는 A영역에서 상기 절연막(120), 제1 패시베이션층(130) 및 제2 패시베이션층(150)을 형성하지 않음으로써, 접착력이 낮은 상기 제2 패시베이션층(150)이 하부층과 분리되는 현상을 방지할 수 있다.

이상 설명한 각각의 구성들은 당업계에 공지된 다양한 재료를 이용하여 형성할 수 있다. 이하에서는 각각의 구성들의 재료에 대한 예를 설명하지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다.

상기 게이트 라인, 상기 게이트 전극, 상기 공통 라인, 상기 데이터 라인, 상기 소스 전극, 상기 드레인 전극, 상기 패드(110) 및 상기 검사 라인(200)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오듐(Nd), 구리(Cu), 또는 그들의 합금으로 이루어질 수 있으며, 상기 금속 또는 합금의 단일층 또는 2층 이상의 다중층으로 이루어질 수 있다.

상기 게이트 절연막, 상기 절연막(120), 제1 패시베이션층(130) 및 제2 패시베이션층(150)은 실리콘 산화막(SiOx)과 실리콘 질화막(SiNx) 등과 같은 무기계 물질, 또는 벤조사이클로부텐(BCB)과 포토아크릴(photo acryl) 등과 같은 유기계 물질로 이루어질 수 있다.

상기 반도체층은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘을 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 공통 전극, 상기 화소 전극, 상기 연결 전극(140) 및 상기 패드 전극(160)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ZnO(Zinc Oxide)와 같은 투명 도전물로 이루어질 수 있다.

도 5는 도 2에서 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 S영역을 확대해서 나타낸 도면이다.

도 6a는 도 5에서 선 "I-I"를 따라 절취한 액정 표시 장치의 단면도이다.

도 6b는 도 5에서 선 "L-L"을 따라 절취한 액정 표시 장치의 단면도이다.

도 5, 도 6a 및 도 6b는 스크라이브 라인(10)을 포함하는 소정의 영역에서 상기 연결 전극(140) 상에 식각 방지층(300)을 형성한 것을 제외하고, 전술한 도 3 및 도 4의 액정 표시 장치와 동일하다. 따라서, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였다.

도 5를 참조하면, 상기 패드 영역의 패드(110)와 상기 검사 영역의 검사 라인(200)은 소정의 연결 전극(140)에 의해 연결될 수 있다. 구체적으로, 상기 연결 전극(140)은 그 일단이 제2 콘택홀(CH2)을 통해 상기 패드(110)와 연결되어 있고 그 타단이 제4 콘택홀(CH4)을 통해 상기 검사 라인(200)과 연결되어 있다. 그리고 상기 스크라이브 라인(10)을 포함하는 소정의 영역에서 상기 연결 전극(140) 상에는 식각 방지층(300)이 형성되어 있다.

이하에서는, 도 6a를 참조로 하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 적층 구조에 대해서 보다 상세히 설명하기로 한다.

도 6a에서 알 수 있듯이, 기판(100) 상의 패드 영역에는 패드(110)가 형성되어 있고, 상기 패드(110) 상에는 절연막(120)이 형성되어 있다. 상기 패드(110)는 상기 표시 영역의 게이트 전극과 동시에 패턴 형성되고, 상기 절연막(120)은 상기 표시 영역의 게이트 절연막이 연장된 형태로 형성될 수 있다.

상기 패드 전극(160)은 상기 표시 영역 내의 상기 화소 전극과 동시에 형성될 수 있다. 따라서, 상기 패드 전극(160)과 상기 화소 전극은 동일한 층에 동일한 물질로 이루어질 수 있다.

도 6a에서 알 수 있듯이, 기판(100) 상의 검사 영역에는 검사 라인(200)이 형성되어 있고, 상기 검사 라인(200) 상에는 절연막(120)이 형성되어 있다.

상기 절연막(120), 상기 제1 패시베이션층(130) 및 상기 제2 패시베이션층(150)은 기판 전면에 형성되지만, 소정 영역에 개구부가 구비될 수 있다. 구체적으로 도 5의 상기 연결 전극(140)이 형성되지 않는 영역에서 상기 절연막(120), 제1 패시베이션층(130) 및 제2 패시베이션층(150)에는 상기 기판(100)을 노출시키는 개구부가 구비되고, 상기 연결 전극(140)이 형성된 영역에서 상기 제2 패시베이션층(150)에는 상기 연결 전극(140)을 노출시키는 개구부가 구비될 수 있다.

따라서, 도 6a에 도시된 상기 스크라이브 라인(10)을 포함하는 소정의 영역에서는 상기 연결 전극(140)이 외부로 노출되도록 상기 제2 패시베이션층(150)이 형성되지 않음을 알 수 있다.

그리고 본 발명의 제2 실시예에 따르면 상기 제2 패시베이션층(150)의 개구부를 통해 노출된 상기 연결 전극(140) 상에 식각 방지층(300)이 형성되어 있다. 구체적으로, 식각 방지층(300)은 상기 패드 전극(160)을 기판(100) 상에 패턴 형성하는 과정에서 상기 패드 전극(160)과 동일한 물질로 이루어진 상기 연결 전극(140)이 식각되는 것을 방지한다.

즉, 상기 연결 전극(140) 및 상기 패드 전극(160)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide) 또는 ZnO(Zinc Oxide)와 같은 투명 도전물로 이루어질 수 있는데, 도 3 및 도 4에 도시된 본 발명의 제1 실시예에 따르면, 상기 스크라이브 라인(10)을 따라 마련된 개구부 영역에서는 상기 연결 전극(140)이 외부로 노출된다. 그로 인해 상기 패드 전극(160)을 패턴 형성하는 과정에서 상기 패드 전극(160)의 식각액에 의해 상기 연결 전극(140)이 함께 식각될 가능성이 높아질 수 있다.

따라서, 본 발명의 제2 실시예에서는 상기 연결 전극(140) 상에 식각 방지층(300)을 추가로 형성함으로써 상기 연결 전극(140)을 보호할 수 있다.

이 때, 상기 식각 방지층(300)은 상기 패드 전극(160)과 동일한 층에 동일한 물질로 형성될 수 있다. 특히, 상기 식각 방지층(300)은 상기 스크라이브 라인(10)을 따라 마련된 개구부를 통해 노출된 상기 연결 전극(140)의 형상에 대응되는 패턴으로 상기 패드 전극(160)의 패턴 형성 과정에서 형성될 수 있다. 본 발명의 제2 실시예에 따르면 마스크 패턴을 변경하는 것만으로 마스크 공정 추가없이 식각액으로부터 상기 연결 전극(140)을 보호하는 것이 가능하다. 보다 구체적인 식각 방지층(300)의 형성 과정은 후술하기로 한다.

본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 단면도를 또 다른 측면에서 살펴보면 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 패드 영역과 검사 영역 사이에서 상기 연결 전극(140)이 형성되는 영역에는 상기 기판(100) 상에 상기 절연막(120), 제1 패시베이션층(130), 연결 전극(140) 및 상기 식각 방지층(300)이 차례로 형성되어 있다.

반면, 상기 연결 전극(140)이 형성되지 않는 영역에는 전술한 바와 같이 상기 절연막(120), 제1 패시베이션층(130) 및 제2 패시베이션층(150)에 개구부가 형성되어 상기 기판(100)이 외부로 노출되어 있다. 이와 같이 상기 연결 전극(140)이 형성되지 않는 영역에서 상기 절연막(110), 제1 패시베이션층(130) 및 제2 패시베이션층(150)을 형성하지 않음으로써, 접착력이 낮은 상기 제2 패시베이션층(150)이 직접 제1 패시베이션층(130)에 형성되어 발생하는 하부층과의 분리를 방지할 수도 있다.

도 7은 도 2에서 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치의 S영역을 확대해서 나타낸 도면이다.

도 8은 도 7에서 선 "J-J"를 따라 절취한 액정 표시 장치의 단면도이다.

도 7 및 도 8은 스크라이브 라인(10)을 포함하는 소정의 영역에서 상기 절연막(120) 및 제1 패시베이션층(130)에 개구부를 형성하여 상기 연결 전극(140)을 형성하고, 상기 연결 전극(140) 상에 식각 방지층에 해당하는 제2 패시베이션층(150)을 형성한 것을 제외하고, 전술한 도 3 및 도 4의 액정 표시 장치와 동일하다. 따라서, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였다.

도 7을 참조하면, 상기 패드 영역의 패드(110)와 상기 검사 영역의 검사 라인(200)은 소정의 연결 전극(140)에 의해 연결될 수 있다. 구체적으로, 상기 연결 전극(140)은 그 일단이 제2 콘택홀(CH2)을 통해 상기 패드(110)와 연결되어 있고 그 타단이 제4 콘택홀(CH4)을 통해 상기 검사 라인(200)과 연결되어 있다. 그리고 상기 스크라이브 라인(10)을 포함하는 소정의 영역에서 상기 연결 전극(140) 상에는 제2 패시베이션층(150)이 형성되어 있다.

이하에서는, 도 8을 참조로 하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치의 적층 구조에 대해서 보다 상세히 설명하기로 한다.

도 8에서 알 수 있듯이, 기판(100) 상의 패드 영역에는 패드(110)가 형성되어 있고, 상기 패드(110) 상에는 절연막(120)이 형성되어 있다. 상기 패드(110)는 상기 표시 영역의 게이트 전극과 동시에 패턴 형성되고, 상기 절연막(120)은 상기 표시 영역의 게이트 절연막이 연장된 형태로 형성될 수 있다.

상기 절연막(120)을 포함하는 기판(100) 전면에는 제1 패시베이션층(130)이 형성되어 있고, 상기 제1 패시베이션층(130) 상에는 연결 전극(140)이 형성되어 있다. 상기 연결 전극(140)은 상기 표시 영역의 공통 전극과 동시에 패턴 형성될 수 있다. 따라서, 상기 연결 전극(160)과 상기 공통 전극은 동일한 층에 동일한 물질로 이루어질 수 있다.

도 8에서 알 수 있듯이, 기판(100) 상의 검사 영역에는 검사 라인(200)이 형성되어 있고, 상기 검사 라인(200) 상에는 절연막(120)이 형성되어 있다.

상기 절연막(120), 상기 제1 패시베이션층(130) 및 상기 제2 패시베이션층(150)은 기판 전면에 형성되지만, 소정 영역에 개구부가 구비될 수 있다. 구체적으로 상기 절연막(120) 및 제1 패시베이션층(130)에는 상기 기판(100)을 노출시키는 개구부가 구비되고, 상기 제2 패시베이션층(150)에는 상기 연결 전극(140)을 노출시키는 개구부가 구비될 수 있다.

특히, 상기 개구부는 도 8에 도시된 바와 같이 상기 패드 영역과 상기 검사 영역 사이에 위치하는 스크라이브 라인(10)을 따라 마련되어 있을 수 있다.

따라서, 상기 스크라이브 라인(10)을 따라 마련된 상기 절연막(120), 제1 패시베이션층(130) 및 제2 패시베이션층(150)의 개구부에서는 상기 연결 전극(140)이 상기 기판(100) 상에 바로 적층됨을 알 수 있다.

그리고 상기 스크라이브 라인(10)을 포함하는 소정의 영역에서 상기 연결 전극(140) 상에는 식각 방지층(300)으로서 상기 제2 패시베이션층(150)이 형성되어 있다. 즉, 전술한 본 발명의 제2 실시예에 따라 식각 방지층(300)을 상기 패드 전극(160)을 패턴 형성하는 과정에서 함께 형성할 수 있지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니므로 상기 연결 전극(140)의 식각을 방지할 수만 있다면 어떠한 물질로도 식각 방지층(300)을 형성하는 것이 가능하다.

구체적으로 본 발명의 제3 실시예에 따르면 상기 스크라이브 라인(10)을 따라 마련된 개구부를 통해 노출된 상기 연결 전극(140) 상에는 상기 제2 패시베이션층(150)을 식각 방지층(300)으로 형성함으로써 상기 연결 전극(140)을 보호할 수 있다.

이 때, 본 발명의 제3 실시예에 따른 식각 방지층(300)이 형성되는 영역은 본 발명의 제2 실시예에 따른 식각 방지층(300)이 형성되는 영역과 다를 수 있다. 구체적으로, 본 발명의 제2 실시예에 따른 식각 방지층(300)은 개구부를 통해 노출된 상기 연결 전극(140) 상에만 구비될 수 있지만, 본 발명의 제3 실시예에 따른 식각 방지층(300)은 상기 연결 전극(140)의 상부뿐만 아니라 상기 연결 전극(140)이 형성되지 않은 영역에까지 구비될 수 있다.

즉, 본 발명의 제3 실시예에서는 상기 제2 패시베이션층(150)을 상기 연결 전극(140)의 상부뿐만 아니라, 상기 패드 영역과 검사 영역 사이의 상기 연결 전극(140)이 형성되지 않는 영역에도 형성함으로써 상기 연결 전극(140)의 식각을 방지한다. 또한, 본 발명의 제2 실시예에 따른 식각 방지층(300)은 상기 패드 전극(160)과 이격되면서 형성되는 것을 특징으로 하지만, 본 발명의 제3 실시예에 따른 식각 방지층(300)은 상기 제2 패시베이션층(150)과 연결되면서 형성되는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명의 제2 실시예와는 다르게 상기 제2 패시베이션층(150)에 개구부가 구비되지 않는다.

이 경우 마스크 패턴을 변경하는 것만으로 마스크 공정 추가없이 상기 패드 전극(160) 형성시 이용되는 식각액으로부터 상기 연결 전극(140)을 보호하는 것이 가능하다.

도 9a 내지 도 9e는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조방법을 도시한 개략적인 공정 단면도이다. 이는 전술한 도 5에 따른 액정 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다. 따라서, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였고, 각각의 구성의 물질 및 구조 등에 있어서 반복되는 부분에 대한 중복 설명은 생략한다.

우선, 도 9a에 도시된 바와 같이, 기판(100) 상에 패드(110) 및 검사 라인(200)을 형성한다. 이 때, 상기 패드(110) 및 상기 검사 라인(200)은 표시 영역의 게이트 전극과 동일한 층에 동일한 물질로 형성된다. 따라서 상기 패드(110) 및 상기 검사 라인(200)은 게이트 전극과 동일한 패턴 형성 과정을 통해 형성될 수 있다.

구체적으로 상기 패드(110) 및 상기 검사 라인(200)은 상기 기판(100) 상에 소정의 금속물질을 적층하고, 소정의 금속물질 상에 포토 레지스트를 적층한 후 마스크를 이용하여 노광, 현상 및 식각 공정을 차례로 수행하는 방식으로 패턴 형성될 수 있다.

이하에서는, 이와 같이 마스크를 이용하여 패턴 형성하는 공정을 마스크 공정이라 칭하도록 한다.

다음, 도 9b에 도시된 바와 같이, 상기 패드(110) 및 검사 라인(200) 상에 절연막(120) 및 제1 패시베이션층(130)을 형성한다. 상기 절연막(120) 및 제1 패시베이션층(130)은 플라즈마 강화 화학 기상증착법(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition: PECVD)을 이용하여 형성할 수 있다. 상기 절연막(120)은 표시 영역의 게이트 절연막과 동일한 층에 동일한 물질로 형성되고, 상기 제1 패시베이션층(130)은 표시 영역의 제1 패시베이션층과 동일한 층에 동일한 물질로 형성된다.

특히, 상기 절연막(120) 및 제1 패시베이션층(130)에는 제1 콘택홀(CH1), 제2 콘택홀(CH2) 및 제4 콘택홀(CH4)이 형성된다.

상기 제1 콘택홀(CH1) 및 제2 콘택홀(CH2)은 상기 패드(110)가 노출되도록 상기 패드 영역에서 상기 절연막(120) 및 제1 패시베이션층(130)의 소정 영역에 형성되고, 상기 제4 콘택홀(CH4)은 상기 검사 라인(200)이 노출되도록 상기 검사 영역에서 상기 절연막(120) 및 제1 패시베이션층(130)의 소정 영역에 형성된다.

다음, 도 9c에 도시된 바와 같이, 상기 절연막(120) 및 제1 패시베이션층(130) 상에 연결 전극(140)을 형성한다.

상기 연결 전극(140)은 마스크 공정을 통해 패턴 형성하며, 특히 상기 연결 전극(140)은 상기 제2 콘택홀(CH2)을 통해서 상기 패드(110)와 연결되고, 상기 제4 콘택홀(CH4)을 통해서 상기 검사 라인(200)과 연결됨으로써, 상기 검사 라인(200)의 검사 신호를 상기 패드(110)로 전달하게 된다.

다음, 도 9d에 도시된 바와 같이, 상기 연결 전극(140) 상에 제2 패시베이션층(150)을 형성한다. 상기 제2 패시베이션층(150)은 플라즈마 강화 화학 기상증착법(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition: PECVD)을 이용하여 형성될 수 있다.

특히, 상기 제2 패시베이션층(150)에는 제1 콘택홀(CH1) 및 제3 콘택홀(CH3)이 형성된다.

상기 제1 콘택홀(CH1)은 상기 패드(110)가 노출되도록 상기 패드 영역에서 상기 절연막(120), 제1 패시베이션층(130) 및 제2 패시베이션층(150)의 소정 영역에 형성되고, 상기 제3 콘택홀(CH3)은 상기 연결 전극(140)이 노출되도록 상기 패드 영역에서 상기 제2 패시베이션층(150)의 소정 영역에 형성된다.

상기에서는 전술한 도 9b의 과정에서 상기 절연막(120) 및 제1 패시베이션층(130)의 소정 영역에 상기 제1 콘택홀(CH1)을 형성하고 도 9d의 과정에서 다시 제1 콘택홀(CH1)을 형성하는 것으로 기재하였으나, 본 발명의 제2 실시예는 이에 한정되는 것은 아니다.

즉, 상기 절연막(120), 제1 패시베이션층(130) 및 제2 패시베이션층(150)은 동일한 물질로 형성되므로, 도 9d의 과정에서 상기 절연막(120), 제1 패시베이션층(130) 및 제2 패시베이션층(150)의 소정 영역에 한 번에 상기 제1 콘택홀(CH1)을 형성하는 것도 가능하다. 이러한 차이는 마스크 공정 횟수가 추가되는 것은 아니고 마스크 패턴의 차이만 있으므로 상기 제1 콘택홀(CH1)은 다양한 방식으로 형성될 수 있다.

다음, 도 9e에 도시된 바와 같이, 패드 전극(160) 및 식각 방지층(300)을 형성하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조를 완성한다.

상기 패드 전극(160)은 상기 제1 콘택홀(CH1)을 통해 상기 패드(110)와 연결되고, 상기 제3 콘택홀(CH3)을 통해 상기 연결 전극(140)과 연결된다.

상기 식각 방지층(300)은 상기 연결 전극(140)을 식각으로부터 보호하는 구성으로, 특히 본 발명의 실시예에서는 상기 패드 전극(160)과 동일한 마스크 공정을 통해 동일한 물질로 동시에 형성될 수 있는데, 이에 대해서 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

도 10a 내지 도 10d는 본 발명의 일 실시예에 따른 패드 전극 및 식각 방지층을 동시에 패턴 형성하는 공정을 도시한 공정 단면도이다.

도 10a에 도시된 바와 같이, 상기 제2 패시베이션층(150) 상에 패드 전극(160) 및 포토 레지스트층(PR)을 차례로 적층한다.

다음, 도 10b에 도시된 바와 같이, 제1 패턴(401) 및 제2 패턴(402)을 구비한 마스크(400)를 이용하여 상기 포토 레지스트층(PR)에 광을 조사한다.

상기 제1 패턴(401)은 광 투과를 차단하도록 구성되고, 상기 제2 패턴(402)은 광의 전부를 투과하도록 구성된다.

다음, 도 10c에 도시된 바와 같이, 상기 광이 조사된 포토 레지스트층(PR)을 현상하여 포토 레지스트 패턴(PR)을 형성한다. 즉, 상기 마스크(400)의 제1 패턴(401)에 대응하는 포토 레지스트층(PR) 영역은 광 투과가 차단되었기 때문에 현상공정에 의해 제거되지 않아 포토 레지스트층(PR)이 그대로 존재하고, 상기 마스크(400)의 제2 패턴(402)에 대응하는 포토 레지스트층(PR) 영역은 광의 전부가 투과되었기 때문에 현상공정에 의해 완전히 제거되어, 최종적으로 도 10c에 도시된 바와 같은 포토 레지스트 패턴(PR)이 형성된다.

다음, 도 10d에 도시된 바와 같이, 상기 포토 레지스트 패턴(PR)을 마스크로 이용하여 상기 패드 전극(160)을 식각한다.

그리고 남은 포토 레지스트 패턴(PR)에 대해서 애싱(ashing)처리하여 상기 패드 전극(160)이 외부로 노출되고, 상기 식각 방지층(300)이 상기 연결 전극(140)을 보호하는 적층 구조를 얻을 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 실시예에서는 패드 전극(160)을 형성하는 마스크 공정을 통해서 식각 방지층(300)을 동시에 형성함으로써, 해당 마스크 공정에서 이용되는 식각액에 의해 상기 연결 전극(300)이 식각되는 것을 방지할 수 있다.

도 11a 내지 도 11e는 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조방법을 도시한 개략적인 공정 단면도이다. 이는 전술한 도 8에 따른 액정 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다. 따라서, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였고, 각각의 구성의 물질 및 구조 등에 있어서 반복되는 부분에 대한 중복 설명은 생략한다.

우선, 도 11a에 도시된 바와 같이, 기판(100) 상에 패드(110) 및 검사 라인(200)을 형성한다. 이 때, 상기 패드(110) 및 상기 검사 라인(200)은 표시 영역의 게이트 전극과 동일한 층에 동일한 물질로 형성된다. 따라서 상기 패드(110) 및 상기 검사 라인(200)은 게이트 전극과 동일한 패턴 형성 과정을 통해 형성될 수 있다.

다음, 도 11b에 도시된 바와 같이, 상기 패드(110) 및 검사 라인(200) 상에 절연막(120) 및 제1 패시베이션층(130)을 형성한다. 상기 절연막(120) 및 제1 패시베이션층(130)은 플라즈마 강화 화학 기상증착법(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition: PECVD)을 이용하여 형성할 수 있다. 상기 절연막(120)은 표시 영역의 게이트 절연막과 동일한 층에 동일한 물질로 형성되고, 상기 제1 패시베이션층(130)은 표시 영역의 제1 패시베이션층과 동일한 층에 동일한 물질로 형성된다.

또한, 본 발명의 제3 실시예에서는 상기 패드 영역 및 검사 영역 사이의 스크라이브 라인(10)을 포함하는 소정의 영역에 대응되도록 상기 절연막(120) 및 제1 패시베이션층(130)에 개구부를 형성한다.

다음, 도 11c에 도시된 바와 같이, 상기 절연막(120) 및 제1 패시베이션층(130) 상에 연결 전극(140)을 형성한다.

도 11b에서 살펴본 바와 같이 상기 스크라이브 라인(10)을 포함하는 소정의 영역에서 상기 절연막(120) 및 제1 패시베이션층(130)에는 개구부가 형성되기 때문에, 상기 연결 전극(140)은 해당 소정의 영역에서 상기 기판(100)에 직접 형성되고 상기 연결 전극(140)이 형성되지 않는 영역에서 상기 기판(100)은 외부로 노출되게 된다.

다음, 도 11d에 도시된 바와 같이, 상기 연결 전극(140) 상에 제2 패시베이션층(150)을 형성한다. 상기 제2 패시베이션층(150)은 플라즈마 강화 화학 기상증착법(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition: PECVD)을 이용하여 형성될 수 있다.

특히, 본 발명의 제3 실시예에 따르면, 도 11d에 도시된 바와 같이 상기 제2 패시베이션층(150)은 상기 제1 콘택홀(CH1)과 상기 제3 콘택홀(CH3)을 제외하고 기판(100)의 전면에 형성되어 상기 연결 전극(140)의 외부 노출을 방지한다.

상기에서는 전술한 도 11b의 과정에서 상기 절연막(120) 및 제1 패시베이션층(130)의 소정 영역에 상기 제1 콘택홀(CH1)을 형성하고 도 11d의 과정에서 다시 제1 콘택홀(CH1)을 형성하는 것으로 기재하였으나, 본 발명의 제3 실시예는 이에 한정되는 것은 아니다.

즉, 상기 절연막(120), 제1 패시베이션층(130) 및 제2 패시베이션층(150)은 동일한 물질로 형성되므로, 도 11d의 과정에서 상기 절연막(120), 제1 패시베이션층(130) 및 제2 패시베이션층(150)의 소정 영역에 한 번에 상기 제1 콘택홀(CH1)을 형성하는 것도 가능하다. 이러한 차이는 마스크 공정 횟수가 추가되는 것은 아니고 마스크 패턴의 차이만 있으므로 상기 제1 콘택홀(CH1)은 다양한 방식으로 형성될 수 있다.

다음, 도 11e에 도시된 바와 같이, 패드 전극(160)을 형성하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조를 완성한다.

본 발명의 제3 실시예에 따르면 상기 패드 영역과 검사 영역 사이의 소정의 영역에서 상기 연결 전극(140) 상에도 상기 제2 패시베이션층(150)을 형성함으로써 상기 제2 패시베이션층(150)이 식각 방지층(300)으로 기능한다. 따라서, 상기 패드 전극(160)을 형성할 때 사용되는 식각액으로부터 상기 연결 전극(140)을 보호할 수 있다. 또한, 도 11b에서 설명한 바와 같이 상기 연결 전극(140)이 형성되지 않는 영역에서도 상기 절연막(120) 및 제1 패시베이션층(130)에는 개구부가 형성되어 상기 기판(100)이 외부로 노출되어 있기 때문에, 상기 제2 패시베이션층(150)을 기판 전면에 형성하더라도 상기 제1 패시베이션층(130)에 직접 형성되지 않아 접착력이 낮은 상기 제2 패시베이션층(150)이 하부층과 분리되는 현상을 방지할 수 있다.

도 12는 본 발명의 제4 실시예에 따른 액정 표시 장치의 단면도이다.

구체적으로, 본 발명의 제4 실시예에 따른 액정 표시 장치는 검사 라인(200) 및 검사 패드(210)가 구비된 검사 영역이 제거된 것을 제외하고 전술한 도 6a에 따른 액정 표시 장치와 동일하다. 따라서, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였으며, 검사 영역을 제외하고 동일하게 포함된 패드 영역의 구성에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.

도 12에 도시된 바와 같이, 스크라이브 라인(10)을 따라 기판(100)의 검사 영역을 커팅한 결과, 상기 표시 영역과 대향하지 않는 상기 패드 영역의 일 영역 즉, 검사 영역과 연결되었던 일 영역에는 상기 연결 전극(140) 및 상기 연결 전극(140) 상에 구비된 식각 방지층(300)이 구비되어 있다.

따라서 본 발명의 제4 실시예에 따른 액정 표시 장치에서 상기 연결 전극(140) 및 식각 방지층(300)의 끝단은 상기 기판(100)의 측면을 통해 노출되어 있다.

본 발명의 제4 실시예와 관련하여, 상기에서는 도 6a에 따른 제2 실시예에 기초하여 형성된 기판(1)에서 검사 영역을 커팅한 것으로 기재하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니므로 전술한 제1 실시예 및 제3 실시예에 기초하여 형성된 기판(1)에서 검사 영역을 커팅함으로써 형성하는 것도 가능하다.

10: 스크라이브 라인 100: 기판
110: 패드 120: 절연막
130: 제1 패시베이션층 140: 연결 전극
150: 제2 패시베이션층 160: 패드 전극
200: 검사 라인 210: 검사 패드
300: 식각 방지층

Claims

표시 영역, 및 패드 영역과 검사 영역을 포함하는 비표시 영역을 포함하는 기판;
상기 기판의 패드 영역에 구비된 패드;
상기 기판의 검사 영역에 구비된 검사 라인;
상기 패드와 상기 검사 라인을 연결하는 연결 전극; 및
상기 연결 전극의 상면이 식각되는 것을 방지하기 위해서 상기 연결 전극의 상면에 구비된 식각 방지층을 포함하여 이루어진 액정 표시 장치.
제1항에 있어서,
상기 패드 및 상기 연결 전극과 각각 연결되는 패드 전극을 추가로 포함하는 액정 표시 장치.
제2항에 있어서,
상기 식각 방지층은 상기 패드 전극과 이격되면서 상기 패드 전극과 동일한 물질로 이루어진 액정 표시 장치.
제1항에 있어서,
상기 패드 및 상기 검사 라인 상에 차례로 적층된 절연막 및 제1 패시베이션층을 추가로 포함하고,
상기 절연막 및 제1 패시베이션층에는 개구부가 마련되어 있고,
상기 연결 전극은 상기 개구부를 가로질러 구비된 액정 표시 장치.
제4항에 있어서,
상기 개구부는 스크라이브 라인을 따라 마련되어 있는 액정 표시 장치.
제4항에 있어서,
상기 연결 전극 상에 적층된 제2 패시베이션층을 추가로 포함하는 액정 표시 장치.
제6항에 있어서,
상기 식각 방지층은 상기 제2 패시베이션층과 연결되면서 상기 제2 패시베이션층과 동일한 물질로 이루어진 액정 표시 장치.
표시 영역, 및 패드 영역을 구비한 비표시 영역을 포함하는 기판;
상기 기판의 패드 영역에 구비된 패드;
상기 패드와 연결되는 연결 전극;
상기 연결 전극의 상면이 식각되는 것을 방지하기 위해서 상기 연결 전극 상면에 구비된 식각 방지층을 포함하여 이루어진 액정 표시 장치.
제8항에 있어서,
상기 연결 전극 및 상기 식각 방지층의 끝단은 상기 기판의 측면을 통해 노출되는 액정 표시 장치.
제9항에 있어서,
상기 패드와 연결되는 패드 전극을 추가로 포함하는 액정 표시 장치.
제10항에 있어서,
상기 식각 방지층은 상기 패드 전극과 이격되면서 상기 패드 전극과 동일한 물질로 이루어진 액정 표시 장치.
제9항에 있어서,
상기 패드 상에 차례로 적층된 절연막 및 제1 패시베이션층을 추가로 포함하고,
상기 절연막 및 제1 패시베이션층에는 개구부가 구비되어 있고,
상기 연결 전극은 상기 개구부에 구비된 액정 표시 장치.
제12항에 있어서,
상기 개구부는 스크라이브 라인을 따라 마련되어 있는 액정 표시 장치.
제9항에 있어서,
상기 연결 전극 상에 적층된 제2 패시베이션층을 추가로 포함하는 액정 표시 장치.
제14항에 있어서,
상기 식각 방지층은 상기 제2 패시베이션층과 연결되면서 상기 제2 패시베이션층과 동일한 물질로 이루어진 액정 표시 장치.