KR20160150464A - 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 및 그 제조방법 - Google Patents

금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 이차원 나노소재의 전구체 또는 전구체 화합물에 촉매금속이 분산되어 있는 혼합액을 형성하는 단계와, 상기 혼합액에 초음파를 조사하여 미세기포를 발생시키고 상기 미세기포의 붕괴시 발생하는 에너지를 이용하여 상기 전구체 화합물을 분해시켜 상기 이차원 나노소재를 상기 촉매금속의 외벽에 합성하여 촉매금속/이차원 나노소재를 형성하는 단계를 포함하는 전도막 제조방법에 있어서, 상기 촉매금속/이차원 나노소재를 분산액에 분산시켜 잉크를 제조하는 단계와; 상기 잉크를 기판에 도포하고 급속 대기소성(Sintering)하는 단계를 포함하는 것을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 높은 산화도 특성을 가지는 비귀금속계 금속의 외벽에 이차원 나노소재를 합성하여 공기로부터 금속이 산화되는 것을 방지하는 효과를 얻을 수 있다. 또한 광 흡수가 뛰어난 이차원 나노소재에 의해 고에너지의 광을 조사함으로써 급속 대기소성이 가능하며, 급속 소성에 의해 금속의 산화를 최소화하고 공정시간을 단축하는 효과를 얻을 수 있다.

Description

금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 및 그 제조방법 {Metal/two-dimensional nano material hybride conductive film and method of manufacturing the same}
본 발명은 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 높은 산화도 특성을 가지는 비귀금속계 금속의 외벽에 이차원 나노소재를 합성하여 공기로부터 금속이 산화되는 것을 방지하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 및 그 제조방법에 관한 것이다.
나노입자는 벌크 및 원자 종의 속성들과는 달리 독특한 물리적 특성들을 가지며, 이에 의해 최근 나노소재에 대한 연구가 전세계적으로 급속도로 증가하고 있는 실정이다. 이러한 독특한 물리적 특성들에 의해 전기화학, 극소전자공학, 광학, 바이오공학 등의 많은 분야에 응용 가능성이 대두되고 있으며, 특히 전자분야에서는 다양한 기판을 적용하여 전자부품을 제조하는 추세인데 이에 맞춰 다양한 인쇄 방식을 통한 박막에 미세 배선의 형성에 나노소재를 필요로 하고 있다. 기판에 패턴을 인쇄하는 방법으로는 일반적으로 리소그래피(Lithography)를 이용하고 있지만, 이는 복잡한 공정을 통해 이루어지기 때문에 공정단가가 상승하는 문제가 있다. 따라서 복잡한 공정을 거치지 않고 필름 위에 직접 회로를 인쇄할 수 있는 전도성 금속 잉크가 절실히 요구되고 있는 상황이다.
현재 산업계에서 주로 사용하고 있는 전도성 잉크 소재는 은(Ag), 금(Au), 백금(Pt) 등과 같은 귀금속계 금속으로 높은 전기전도도와 낮은 산화도 특성으로 인해 인쇄공정에 직접 응용가능한 소재로 인식되어 오고 있다. 하지만 귀금속계 금속은 높은 가격 및 이온 마이그레이션(Ion migration) 현상으로 인해 극세선 회로를 제조하는 데 한계가 있다. 이러한 문제점을 극복하기 위해 귀금속계 금속과 비슷한 수준의 전기전도도를 가지는 구리(Cu), 니켈(Ni), 알루미늄(Al) 등과 같은 비귀금속계 금속을 사용하는데, 비귀금속계 금속은 극미세선 설계가 가능하고 경제성이 뛰어나다는 장점이 있다. 그럼에도 불구하고 높은 산화도 특성으로 인해 공정 단가가 상승한다는 문제가 상용화에 큰 걸림돌로 작용하고 있다.
표면 산화방지와 더불어 기판을 소성(Sintering)하는 단계 또한 전도막을 제조하는 방법에서 해결해야 할 과정 중에 하나이다. 금속입자로 구성된 전도성 잉크는 절연성 기판 상부에 인쇄 후 열 또는 광 에너지를 이용하여 금속입자 간 연결을 통해 전도성을 부여하는 소성과정을 거치게 된다. 산화도가 낮은 귀금속계 전도성 잉크의 영우 일반적으로 대기 하에서 소성을 진행하여도 무방한데 비해, 비귀금속계 잉크는 산화도가 높아 불활성 가스, 수소 가스 분위기 또는 진공 중에서 소성을 진행하여야 한다. 이러한 종래기술은 '대한민국특허청 등록특허 제10-1418276호 표면 산화막 형성이 제어된 금속 나노 입자 합성 방법 및 용액 공정을 통한 금속 전도성 박막의 제조방법'에 알려져 있는데, 종래기술에서는 표면산화방지막이 형성된 구리 기반 전도성 잉크를 이용하여 아르곤 및 수소 기체 분위기 하에서 소성하여 전도막을 형성하는 방법을 소개하고 있다. 하지만 이와 같이 비활성 기체 분위기에서 소성을 진행할 경우 일반적인 대기 분위기 하에서 공정을 진행할 때보다 공정 단가가 상승하는 문제점이 있다.
또한 '대한민국특허청 등록특허 제10-0775077호 리튬 이차전지의 양극재 및 그 제조방법'과 같이 산화방지를 위해 안정화된 산화물층을 추가로 형성하고 있으나, 이와 같이 산화물층을 형성할 경우 별도의 공정 및 재료가 필요하기 때문에 공정이 복잡하며 제조 단가가 상승하는 단점이 있다.
대한민국특허청 등록특허 제10-1418276호 대한민국특허청 등록특허 제10-0775077호
따라서 본 발명의 목적은 높은 산화도 특성을 가지는 비귀금속계 금속의 외벽에 이차원 나노소재를 합성하여 공기로부터 금속이 산화되는 것을 방지하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
또한 마이크로파와 같은 고 에너지 광의 흡수가 뛰어난 이차원 나노소재에 의해 급속 대기소성이 가능하며, 급속 소성에 의해 금속의 산화를 최소화하고 공정시간을 단축시킨 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
상기한 목적은, 이차원 나노소재의 전구체 또는 전구체 화합물에 촉매금속이 분산되어 있는 혼합액을 형성하는 단계와, 상기 혼합액에 초음파를 조사하여 미세기포를 발생시키고 상기 미세기포의 붕괴시 발생하는 에너지를 이용하여 상기 전구체 화합물을 분해시켜 상기 이차원 나노소재를 상기 촉매금속의 외벽에 합성하여 촉매금속/이차원 나노소재를 형성하는 단계를 포함하는 전도막 제조방법에 있어서, 상기 촉매금속/이차원 나노소재를 분산액에 분산시켜 잉크를 제조하는 단계와; 상기 잉크를 기판에 도포하고 급속 대기소성(Sintering)하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 및 그 제조방법에 의해 달성된다.
여기서, 상기 급속 대기소성하는 단계는, 대기 중에서 상기 기판에 광 에너지를 조사하여 이루어지는 것이 바람직하다.
상기한 목적은 또한, 기판과; 상기 기판에 도포되어 급속 소성된 금속/이차원 나노소재 하이브리드 입자층을 포함하는 것을 특징으로 하는 산화 방지를 위한 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막에 의해서도 달성된다.
여기서, 상기 급속 소성은 대기 중에서 상기 하이브리드 입자층에 광 에너지를 조사하여 이루어지며, 상기 이차원 나노소재는 광 에너지를 흡수하여 발열하는 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 이차원 나노소재는 그래핀(Graphene), 헥사고날 보론 나이트라이드(h-Boron nitride), 전이금속 칼코겐화합물 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되며, 상기 촉매금속은 비귀금속계 금속인 구리(Cu), 니켈(Ni), 코발트(Co), 철(Fe), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 알루미늄(Al) 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것이 바람직하다.
상술한 본 발명의 구성에 따르면 높은 산화도 특성을 가지는 비귀금속계 금속의 외벽에 이차원 나노소재를 합성하여 공기로부터 금속이 산화되는 것을 방지하는 효과를 얻을 수 있다.
또한 광 에너지 흡수가 뛰어난 이차원 나노소재에 의해 광 에너지를 이용하여 급속 대기소성이 가능하며, 급속 소성에 의해 금속의 산화를 최소화하고 공정시간을 단축하는 효과를 얻을 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 제조방법의 순서도이고,
도 3은 급속 대기소성 소성 후 실시예 및 비교예의 주사현미경 사진이고,
도 4는 실시예 및 비교예 샘플의 광 에너지 조사시간에 따른 온도 변화를 나타낸 그래프이고,
도 5는 급속 대기소성 후 실시예 및 비교예의 표면 산화 상태를 나타낸 엑스선 회절 스펙트럼이고,
도 6은 급속 대기소성 후 실시예 및 비교예의 상대습도와 온도에 따른 저항 변화를 나타낸 그래프이고,
도 7은 실시예 샘플을 유리기판 및 플라스틱 기판의 상부에 패터닝한 후 얻은 전도막을 나타낸 사진이다.
이하 본 발명의 실시예에 따른 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 및 그 제조방법을 도면을 참고하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 먼저, 이차원 나노소재의 전구체 또는 전구체 화합물(11)에 촉매금속(13)이 분산되어 있는 혼합액(10)을 형성한다(S1).
혼합액(10)에 분산된 촉매금속(13)은 이차원 나노소재(15)를 구성하는 원자를 흡착하고, 이차원 나노소재(15)의 합성을 위한 템플레이트(Template) 역할을 한다. 따라서 촉매금속(13)의 순도 및 종류에 따라 합성되는 이차원 나노소재(15)의 수율, 결정성 및 레이어(Layer)의 수가 달라진다. 촉매금속(13)의 순도가 높을수록 촉매금속(13)을 둘러싸는 이차원 나노소재(15)의 흡착이 용이하기 때문에, 경우에 따라서 혼합액(10)에 촉매금속(13)이 혼합되기 전에 촉매금속(13)을 정제 및 환원하는 단계를 더 포함할 수 있다.
여기서 촉매금속(13)은 대기 중에서 산화가 잘되는 비귀금속계 금속을 말하며, 구리(Cu), 니켈(Ni), 알루미늄(Al), 코발트(Co), 철(Fe), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 팔라듐(Pd) 및 이를 포함한 합금이거나, 메탈로센과 같은 유기금속화합물로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나 이상일 수 있다.
이차원 나노소재(15)의 전구체 화합물(11)은 이차원 나노소재(15)로 합성되는 전구체를 말하며, 촉매금속(13)을 코어(Core)로 하여 주위를 이차원 나노소재(15)가 둘러싸서 쉘(Shell)을 형성하도록 합성된다. 합성되는 이차원 나노소재(15)는 전기전도성이 큰 그래핀(Graphene), 헥사고날 보론 나이트라이드(h-Boron nitride), 전이금속 칼코겐화합물 및 이의 혼합으로 이루어진 군 중 어느 하나로 합성된다. 여기서 전이금속 칼코겐화합물은 MX2로 표현되는데, M은 티타늄(Ti), 바나듐(V), 지르코늄(Zr), 나이오븀(Nb), 몰리브데늄(Mo), 테크네튬(Tc), 하프늄(Hf), 탄탈늄(Ta), 텅스텐(W), 레늄(Re) 중 하나로 구성되고, X는 황(S), 셀레늄(Se), 텔루륨(Te) 중 하나로 구성되는 구조를 갖는다.
이차원 나노소재(15)의 전구체 화합물(11)은 그래핀, 헥사고날 보론 나이트라이드, 전이금속 칼코겐화합물을 합성가능한 각각의 전구체 화합물을 의미한다.
여기서 그래핀 합성을 위한 전구체 화합물(11)은 탄소를 포함하는 화합물이며, 아세트산(Acetic acid), 아세톤(Acetone), 아세틸아세톤(Acetyl acetone), 아니솔(Anisole), 벤젠(Benzene), 벤질알코올(Benzyl alcohol), 부탄올(Butanol), 부탄온(Butanone), 클로로벤젠(Chlorobenzene), 클로로폼(Chloroform), 사이클로헥산(Cyclohexane), 사이클로헥산올(Cyclohexanol), 사이클로헥사논(Cyclohexanone), 부틸프탈레이트(Butyl phthalate), 디클로로에탄(Dichloroethane), 디에틸렌글리콜(Diethylene glycol), 디글림(Diglyme), 디메톡시에탄(Dimthoxyethane), 디메틸프탈레이트(Dimethyl phthalate), 디옥산(Dioxane), 에탄올(Ethanol), 에틸아세테이트(Ethyl acetate), 에틸아세토아세테이트(Ethyl acetoacetate), 에틸벤조네이트(Ethyl benzonate), 에틸렌글리콜(Ethylene glycol), 글리세린(Glycerin), 헵탄(Heptane), 헵탄올(Heptanol), 헥산(Hexane), 헥산올(Hexanol), 메탄올(Methanol), 메틸아세테이트(Methyl acetate), 메틸렌클로라이드(Methylene chloride), 옥탄올(Octanol), 펜탄(Pentane), 펜탄올(Pentanol), 펜타논(Pentanone), 테트라하이드로퓨란(Tetrahydrofuran), 톨루엔(Toluene), 자일렌(Xylene)과 같은 유기용매, 유기계 모노머 또는 폴리머가 용해된 용매 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것이 바람직하나 이에 한정되지는 않는다.
헥사고날 보론 나이트라이드를 합성하기 위한 전구체 화합물(11)은 보라진(Borazine), 암모니아 보레인(Ammonia borane) 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택된다.
또한 전이금속 칼코겐화합물을 합성하기 위한 전구체 화합물(11)은 암모늄테트라티오몰리브데이트((NH4)2MoS4), 몰리브데늄 클로라이드(MoCl5), 몰리브데늄 옥사이드(MoO3), 텅스텐 옥시테트라클로라이드(WOCl4), 1,2-에탄에디티올(Hs(CH2)2SH), 디테르트부틸셀레나이드(C8H18Se), 디에틸셀레나이드(C4H10Se), 바나듐 테트라키스디메틸아마이드(V(NMe2)4), 테트라키스디메틸아마이도티타늄(Ti(NMe2)4), 2-메틸프로판에티올(ButSH), 테르트부틸디설파이드(Bu2 tS2) 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택된다.
상기의 방법 및 재료를 통해 형성된 혼합액(10)에 헬륨(He) 또는 아르곤(Ar) 가스를 버블링(Bubbling)하여 용액 내부를 불활성 기체 분위기로 제어한다. 혼합액(10)에 활성 기체가 존재할 경우 이후의 단계에서 초음파 조사시 원하지 않는 물질이 합성되거나 촉매금속(13)의 일부가 산화할 우려가 있으므로, 이를 방지하기 위해 혼합액(10) 내에 존재할 수 있는 활성 기체를 모두 제거하도록 헬륨 또는 아르곤 불활성 기체를 버블링한다.
혼합액(10)에 초음파를 조사하여 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)-코어/쉘 물질을 합성한다(S2).
촉매금속(13)이 전구체 또는 전구체 화합물(11)에 분산된 혼합액(10)에 초음파 조사기(30)를 통해 초음파를 조사하여 미세기포를 발생시킨다. 미세기포는 초음파를 연속적으로 조사하면 크기가 점점 커지고, 미세기포 내부의 압력이 상승하여 결국 붕괴된다. 이때 발생하는 국부적인 에너지는 5000℃ 이상의 고온에 해당되며 미세기포 주위에 존재하는 전구체 화합물(11)의 분해를 야기시킨다. 이러한 미세기포가 붕괴될 때 발생하는 에너지를 이용하여 분해된 전구체 화합물(11)은 촉매역할을 하는 촉매금속(13)의 외벽을 둘러싸도록 흡착되어 이차원 나노소재(15)의 핵이 형성된다. 그리고 전구체 화합물(11)의 연속적인 분해와 흡착과정을 통해 이차원 나노소재(15)의 핵이 확장하여 완전한 이차원 나노소재(15)을 포함하는 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15) 하이브리드 입자가 합성된다. 이러한 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)는 중앙영역엔 나노 사이즈의 촉매금속(13)이 존재하고, 촉매금속(13)의 외벽에는 이차원 나노소재(15)가 합성된 코어/쉘 구조로 이루어진다. 여기서 초음파를 발생시키기 위해 사용되는 초음파 조사기(30)는 100 내지 200W의 전력을 사용하며, 10초 내지 6시간의 범위 내에서 사용하는 것이 바람직하다.
이와 같은 방법을 통해 얻은 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)-코어/쉘 하이브리드 입자는 비귀금속계 금속인 촉매금속(13)의 주위를 이차원 나노소재(15)가 둘러싸고 있기 때문에 대기 중에서 촉매금속(13)이 산화되는 것이 방지된다. 따라서 이를 이용하여 급속 대기소성과정을 거치더라도 촉매금속(13)의 성질에 변화가 없기 때문에 촉매금속(13)의 전기전도도가 유지된다.
경우에 따라서 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)를 합성한 이후에 혼합액(10)으로부터 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)를 분리하는 단계를 더 포함할 수 있다. 혼합액(10)에 합성되지 않고 남은 잔여 촉매금속(13) 또는 잔여 전구체 화합물(11)이 있을 경우 순수한 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)를 얻기 위해서는 이들을 제거할 수 있다. 이 경우 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)를 여과한 다음 잔여물이 남지 않도록 세척하는 단계를 통해 순수한 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)를 얻게 된다.
촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)를 분산액(51)에 분산시켜 잉크(50)를 제조한다(S3).
순수하게 얻은 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)를 분산액(51)에 분산시켜 고전도성 잉크(50)를 제조한다. 여기서 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)는 잉크(50) 전체 100중량부 중 40 내지 80중량부로 포함되는 것이 바람직하다. 40중량부 미만일 경우 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)의 양이 부족하여 전기전도성이 현저히 감소하며, 80중량부를 초과할 경우 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)의 분산성이 떨어지며 점도 상승으로 인해 코팅성능이 감소되는 단점이 있다.
분산액(51)은 통상적으로 코팅 잉크 조성물에 이용되는 용매를 사용하며, 비점이 150 내지 300℃인 극성 또는 비극성 용매를 사용하는 것이 바람직하다.
이러한 분산액(51)은 터피놀(Terpineol), 에탈 셀로솔브(Ehtyl cellosolve), 부틸 셀로솔브(Butyl cellosolve), 카비톨(Carbitol), 부틸 카비톨(Butyl carbitol) 및 글리세롤(Glycerol) 중 적어도 하나를 포함한다.
잉크(50)를 제조하는 단계에서 추가적으로 잉크(50)의 점도 및 접착성을 증가시키기 위해 잉크용 바인더를 첨가한다. 구체적으로 바인더는 유기 및 무기 소재로써, 메틸셀룰로오즈, 에틸셀룰로오즈, 하이드록시프로필셀룰로오즈, 하이드록시프로필메틸셀룰로오즈, 셀룰로오즈아세테이트부트레이트, 카르복시메틸셀룰로오즈, 하이드록시에틸셀룰로오즈 등과 같은 셀룰로오즈 계열 수지, 폴리우레탄 계열 수지 및 아크릴 계열 수지, 실란 커플링제 중 어느 하나 혹은 그 이상의 혼합물이 될 수 있다. 여기서 실란 커플링제는 비닐 알콕시 실란, 에폭시 알킬 알콕시 실란, 메타 아크릴옥시 알킬 알콕시 실란, 머캅토 알킬 알콕시 실란, 아미노 알킬 알콕시 실란 등이 있다.
이와 같은 바인더 수지는 잉크(50) 전체 100중량부 중 0.5 내지 5중량부 포함될 수 있으며, 0.5 중량부 미만으로 첨가될 경우 첨가되는 양이 소량이므로 점성 및 접착성이 크게 향상되지 않으며, 5중량부를 초과할 경우 전기전도성이 현저히 감소하는 현상이 발생한다.
잉크(50)를 기판(70)에 도포하여 전도막을 형성한다(S4).
촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)을 포함하는 고전도성 잉크(50)를 이용하여 얇은 막 형태의 기판(70)에 도포하여 전도막을 형성한다. 여기서 기판(70)은 광 에너지의 흡수율이 낮은 플라스틱 기판을 사용하며, 플라스틱 기판은 폴리에틸렌테레프탈레이트(Polyethylene terephtalate), 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylene naphthalate), 폴리카보네이트(Polycarbonate), 폴리이미드(Polyimide) 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택된 것이 바람직하다.
잉크(50)를 기판(70)에 도포할 때 기판(70) 전체에 잉크(50)를 도포할 수 있으며, 전극 패턴과 같이 기판(70)의 일부 영역에 패터닝을 통해 잉크(50)를 도포할 수도 있다. 이와 같이 기판(70)에 잉크(50)를 도포하는 방법으로는 코팅(Coating), 패터닝(Patterning), 압출(Extruding), 블라스팅(Blasting), 스프레드(Spread), 프린팅(Printing) 등과 같은 가공법을 사용 가능하다.
대기 중에서 전도막에 광(90)을 조사하여 전도막을 급속 소성한다(S5).
전극 패턴이 인쇄되거나 기판(70) 전면에 잉크가 도포된 전도막에 광(90)을 조사하여 고온에서 급속 대기소성한다. 전도막에 광(90)을 조사하게 되면 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)-코어/쉘 하이브리드 입자 중 이차원 나노소재(15)가 광(90)을 흡수하게 되면서 순간적으로 고온으로 가열된다. 이와 같이 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)가 가열되면 열이 주변으로 전도되어 전도막이 고온에서 소성된다. 이때 비금속계 금속인 촉매금속(13)은 외벽을 감싸는 이차원 나노소재(15)에 의해 공기와 접촉하지 않고 이로 인해 소성과정에서 산화가 방지된다. 촉매금속(13)의 표면에 이차원 나노소재(15)가 감싸고 있기 때문에 경우에 따라서 광 소성법을 사용하지 않고 대기 중에서 일반 열 소성 방법을 사용하여도 무방하다.
고 에너지의 광(90)을 이용하여 전도막을 소성할 때 광(90)을 조사하는 시간은 0.1 내지 50밀리초와 같이 짧은 시간 내에 조사하게 되는데, 이와 같이 짧은 시간 내에 조사하게 되면 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)는 순식간에 고온에서 가열되지만 기판(70)은 온도가 상승하기 전에 소성이 완료되어 기판(70)의 변형을 방지할 수 있다. 광(90)을 조사하는 시간이 0.1밀리초 미만일 경우 완벽한 소성이 이루어지기 힘들며, 50밀리초를 초과하여 조사할 경우 촉매금속(13)의 산화가 발생하고 또한 가열되는 온도가 과도하게 높아져 전도막이 손상될 우려가 있다.
여기서 광은 자외선(Ultraviolet ray), 가시광선(Visible ray), 적외선(Infrared ray), 마이크로파(Microwave) 등이 사용 가능하며 촉매금속(13)/이차원 나노소재(15)에 흡수율이 높은 전자기파를 의미한다.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 구체적으로 설명한다.
<실시예 1>
1-1. 구리/그래핀 하이브리드 잉크 제조
표면 산화막이 제거된 5g의 구리입자 파우더를 250ml의 자일렌(Xylene)에 첨가하고, 초음파 화학법을 이용하여 구리입자 표면에 그래핀을 합성하여 구리/그래핀-코어/쉘 구조의 하이브리드 입자를 형성한다. 그 후 여과 및 세척을 통해 잔여 자일렌을 제거한 후, 디메틸포름아미드(Dimethylformamide, DMF)에 구리/그래핀 입자를 분산시켜 잉크를 제조한다. 추가적으로 고점도 잉크를 얻기 위해 에틸셀룰로오스(Ethyl cellulose), 터피네올(Terpineol)을 첨가하여 교반한다.
1-2. 구리/그래핀 하이브리드 전도막 제조
1-1 단계를 통해 준비된 고점도 잉크를 스크린 프린팅(Screen printing)을 이용하여 2×2㎠의 넓이를 가진 폴리이미드(Polyimide) 절연막 기판 상부에 프린팅을 통해 구리/그래핀 하이브리드 전도막을 제조한 후 150℃의 가열로에서 잉크가 코팅된 기판을 건조시킨다.
1-3. 구리/그래핀 하이브리드 전도막 소성
1-2 단계에서 준비된 구리/그래핀 하이브리드 전도막을 포함하는 기판에 1.8kW의 마이크로파(Microwave)를 10ms 동안 조사하여 전도막을 소성한다.
<실시예 2>
2-1. 니켈/그래핀 하이브리드 잉크 제조
표면 산화막이 제거된 5g의 니켈입자 파우더를 500ml의 자일렌에 첨가하고, 초음파 화학법을 이용하여 니켈입자 표면에 그래핀을 합성하여 니켈/그래핀-코어/쉘 구조의 하이브리드 입자를 형성한다. 이후 여과 및 세척을 통해 잔여 자일렌을 제거한 후, 니켈/그래핀 입자를 디메틸포름아미드에 분산하여 잉크를 제조한다. 추가적으로 고점도 잉크를 얻기 위해 에틸셀룰로오스(Ethyl cellulose), 터피네올(Terpineol)을 첨가하여 교반한다.
2-2. 니켈/그래핀 하이브리드 전도막 제조
2-1 단계를 통해 준비된 고점도 잉크를 스크린 프린팅을 이용하여 2×2㎠의 넓이를 가진 폴리이미드 절연막 기판 상부에 프린팅을 통해 니켈/그래핀 하이브리드 전도막을 제조한 후 150℃의 가열로에서 잉크가 코팅된 기판을 건조시킨다.
2-3. 니켈/그래핀 하이브리드 전도막 소성
2-2 단계에서 준비된 니켈/그래핀 하이브리드 전도막을 포함하는 기판에 1.8kW의 마이크로파(Microwave)를 14ms 동안 조사하여 전도막을 소성한다.
<비교예 1>
3-1. 구리 잉크 제조
표면 산화막 제거를 위해 5g의 구리입자 파우더를 4M 염산(HCl)에 첨가하고 10분동안 교반한다. 그 후 여과 및 세척 과정을 거치고, 디메틸포름아미드에 구리 입자를 분산시켜 잉크를 제조한다. 추가적으로 고점도 잉크를 얻기 위해 에틸셀룰로오스(Ethyl cellulose), 터피네올(Terpineol)을 첨가하여 교반한다.
3-2. 구리 전도막 제조
3-1 단계에서 준비된 고점도 잉크를 스크린 프린팅을 이용하여 폴리이미드 절연막 기판 상부에 프린팅하여 구리 전도막을 제조한 후, 150℃의 가열로에서 잉크가 코팅된 기판을 건조시킨다.
3-3. 구리 전도막 소성
3-2 단계에서 준비된 구리 전도막을 포함하는 기판에 1.8kW의 마이크로파(Microwave)를 5ms 동안 조사하여 전도막을 소성한다.
<비교예 2>
4-1. 니켈 잉크 제조
표면 산화막 제거를 위해 5g의 니켈입자 파우더를 4M 염산(HCl)에 첨가하고 10분동안 교반한다. 그 후 여과 및 세척 과정을 거치고, 디메틸포름아미드에 니켈 입자를 분산시켜 잉크를 제조한다. 추가적으로 고점도 잉크를 얻기 위해 에틸셀룰로오스(Ethyl cellulose), 터피네올(Terpineol)을 첨가하여 교반한다.
4-2. 니켈 전도막 제조
4-1 단계에서 준비된 고점도 잉크를 스크린 프린팅을 이용하여 폴리이미드 절연막 기판 상부에 프린팅하여 니켈 전도막을 제조한 후, 150℃의 가열로에서 잉크가 코팅된 기판을 건조시킨다.
4-3. 니켈 전도막 소성
4-2 단계에서 준비된 니켈 전도막을 포함하는 기판에 1.8kW의 마이크로파(Microwave)를 5ms 동안 조사하여 전도막을 소성한다.
도 3은 상기의 실시예 및 비교예를 통해 제조된 샘플의 급속 대기소성 후의 주사현미경 사진이다. 실시예 1(Cu/Graphene) 및 실시예 2(Ni/Graphene)는 급속 대기소성 후에도 입자가 산화되지 않은 것을 확인할 수 있지만, 비교예 1(Cu) 및 비교예 2(Ni)는 급속 대기소성 후에 표면이 산화된 것을 확인할 수 있다.
도 4는 실시예 및 비교예를 통해 제조된 샘플의 광 조사 시간에 따른 샘플 온도를 나타낸 그래프이다. 비교예 1 및 비교예 2는 금속 표면에 이차원 나노소재가 존재하지 않기 때문에 광을 흡수하지 못하며 이에 따른 온도 증가가 이루어지지 않는다. 이에 비해 실시예 1 및 실시예 2는 이차원 나노소재가 광을 흡수하여 순식간에 온도가 증가하는 것을 확인할 수 있다.
도 5는 실시예 1 및 비교예 1을 통해 제조된 샘플에 급속 대기소성한 후 표면 산화상태를 나타낸 엑스선 회절 스펙트럼이다. 스펙트럼에서 확인할 수 있듯이 이차원 나노소재인 그래핀이 외표면에 합성된 실시예 1의 경우 산화구리(CuO2) 피크가 확인되지 않으나, 구리 단독 입자를 급속 대기소성한 경우 산화구리 피크가 나타나는 것을 확인할 수 있다.
도 6은 실시예 1 및 비교예 1을 통해 제조된 샘플에 급속 대기소성한 후 80%의 상대습도 및 온도에 따른 저항변화를 나타낸 그래프이다. 실시예 1의 경우 온도가 증가하더라도 저항의 변화가 거의 없으나, 비교예 1의 경우 온도가 증가함에 따라 저항이 급격하게 증가하는 것을 확인할 수 있다.
도 7은 실시예를 통해 얻은 샘플을 유리기판 및 플라스틱 기판의 상부에 패터닝한 후 얻은 전도막을 나타낸 사진으로, 패터닝 및 소성 단계에서 전도막이 손상되지 않으며 유연한 플라스틱 기판에도 무리 없이 적용 가능하다는 것을 확인할 수 있다.
종래에는 소성 과정에서 금속이 산화되는 것을 방지하기 위하여 비활성 기체 분위기 또는 진공 분위기 하에서 소성을 하거나, 금속의 상부에 보호막을 형성한 뒤 소성을 거치는 방법을 통해 전도막을 제조하였다. 이러한 방법을 사용할 경우 제조 공정이 까다로우며 제조 비용이 증가한다는 단점이 있었다. 하지만 본 발명의 경우 금속의 외벽에 이차원 나노소재를 합성하고 이를 기판에 도포한 후 고 에너지의 광을 이용하여 급속 소성하는 방법을 통해 전도막을 얻으며, 고전도성의 이차원 나노소재가 금속의 외벽에 존재하기 때문에 불활성 기체 분위기나 진공 분위기 하에서 소성을 진행하지 않고 대기 중에서 진행하라도 금속 산화가 방지된다.
10: 혼합액 11: 전구체 화합물
13: 촉매금속 15: 이차원 나노소재
30: 초음파 조사기 50: 잉크
51: 분산액 70: 기판
90: 광

Claims (13)

  1. 이차원 나노소재의 전구체 또는 전구체 화합물에 촉매금속이 분산되어 있는 혼합액을 형성하는 단계와, 상기 혼합액에 초음파를 조사하여 미세기포를 발생시키고 상기 미세기포의 붕괴시 발생하는 에너지를 이용하여 상기 전구체 화합물을 분해시켜 상기 이차원 나노소재를 상기 촉매금속의 외벽에 합성하여 촉매금속/이차원 나노소재를 형성하는 단계를 포함하는 전도막 제조방법에 있어서,
    상기 촉매금속/이차원 나노소재를 분산액에 분산시켜 잉크를 제조하는 단계와;
    상기 잉크를 기판에 도포하고 급속 대기소성(Sintering)하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 산화 방지를 위한 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 급속 대기소성하는 단계는,
    대기 중에서 상기 기판에 고 에너지의 광을 조사하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 제조방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 급속 대기소성하는 단계는,
    상기 광이 0.1 내지 50밀리초(ms) 동안 상기 기판에 조사되는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 제조방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 잉크를 기판에 도포하고 급속 대기소성하는 단계는,
    코팅(Coating), 패터닝(Patterning), 압출(Extruding), 블라스팅(Blasting), 스프레드(Spread) 또는 프린팅(Printing) 방법을 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 제조방법.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 초음파는 100 내지 300W의 전력에 의해 발생되는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막 제조방법.
  6. 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막에 있어서,
    기판과;
    상기 기판에 도포되어 급속 대기소성된 금속/이차원 나노소재 하이브리드 입자층을 포함하는 것을 특징으로 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 급속 소성은 대기 중에서 상기 하이브리드 입자층에 고 에너지의 광을 조사하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 이차원 나노소재는 상기 광을 흡수하여 발열하는 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 이차원 나노소재는 그래핀(Graphene), 헥사고날 보론 나이트라이드(h-Boron nitride), 전이금속 칼코겐화합물 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 전이금속 칼코겐화합물은 MX2로 표현되며 M은 티타늄(Ti), 바나듐(V), 지르코늄(Zr), 나이오븀(Nb), 몰리브데늄(Mo), 테크네튬(Tc), 하프늄(Hf), 탄탈늄(Ta), 텅스텐(W), 레늄(Re) 중 하나로 구성되고, X는 황(S), 셀레늄(Se), 텔루륨(Te) 중 하나로 구성되는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막.
  11. 제 6항에 있어서,
    상기 촉매금속은 비귀금속계 금속인 구리(Cu), 니켈(Ni), 코발트(Co), 철(Fe), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 알루미늄(Al) 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막.
  12. 제 6항에 있어서,
    상기 하이브리드 입자층은,
    상기 이차원 나노소재의 전구체 또는 전구체 화합물에 촉매금속이 분산된 혼합액을 이용하여 상기 이차원 나노소재를 상기 촉매금속의 외벽에 합성하고, 상기 촉매금속을 산화시켜 형성되는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 하이브리드 입자층은,
    상기 혼합액에 초음파를 조사하여 미세기포를 발생시켜 상기 미세기포의 붕괴 시 발생하는 에너지를 이용하여 상기 전구체 화합물을 분해시켜 상기 이차원 나노소재를 상기 촉매금속의 외벽에 합성하여 형성되는 것을 특징으로 하는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 전도막.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190087211A (ko) * 2018-01-16 2019-07-24 한국전기연구원 계층구조를 갖는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 잉크, 하이브리드 잉크 제조방법 및 하이브리드 잉크를 통해 형성된 전도막
CN111423769A (zh) * 2020-04-15 2020-07-17 广东康烯科技有限公司 一种钯量子点掺杂石墨烯基导电油墨的制备方法及导电油墨和应用
KR20220004465A (ko) 2020-07-03 2022-01-11 대성금속주식회사 금속-탄소 복합체 조성물 및 금속-탄소 복합체 조성물을 포함하는 전도체 패턴

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100775077B1 (ko) 2005-08-19 2007-11-08 경상대학교산학협력단 리튬 이차전지의 양극재 및 그 제조방법
KR20080027716A (ko) * 2006-09-25 2008-03-28 삼성전자주식회사 나노층상 나노구조체의 제조방법 및 그로부터 제조된나노층상 나노구조체
JP2008221121A (ja) * 2007-03-12 2008-09-25 National Institute Of Advanced Industrial & Technology キャビテーション反応の加速方法及びそれを用いた金属ナノ粒子の生成方法
JP2013185213A (ja) * 2012-03-08 2013-09-19 Tokyo Institute Of Technology 金属ナノ粒子及びその製造方法並びに導電性インク
KR20140044743A (ko) * 2012-10-04 2014-04-15 한양대학교 산학협력단 전도성 하이브리드 구리잉크 및 이를 이용한 광소결 방법
KR20140063982A (ko) * 2012-11-19 2014-05-28 김용석 다층 그래핀 및/또는 나노 그라파이트 층으로 코팅된 금속 분말
KR101418276B1 (ko) 2012-03-30 2014-07-15 한국화학연구원 표면 산화막 형성이 제어된 금속 나노 입자 합성 방법 및 용액 공정을 통한 금속 전도성 박막의 제조방법

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100775077B1 (ko) 2005-08-19 2007-11-08 경상대학교산학협력단 리튬 이차전지의 양극재 및 그 제조방법
KR20080027716A (ko) * 2006-09-25 2008-03-28 삼성전자주식회사 나노층상 나노구조체의 제조방법 및 그로부터 제조된나노층상 나노구조체
JP2008221121A (ja) * 2007-03-12 2008-09-25 National Institute Of Advanced Industrial & Technology キャビテーション反応の加速方法及びそれを用いた金属ナノ粒子の生成方法
JP2013185213A (ja) * 2012-03-08 2013-09-19 Tokyo Institute Of Technology 金属ナノ粒子及びその製造方法並びに導電性インク
KR101418276B1 (ko) 2012-03-30 2014-07-15 한국화학연구원 표면 산화막 형성이 제어된 금속 나노 입자 합성 방법 및 용액 공정을 통한 금속 전도성 박막의 제조방법
KR20140044743A (ko) * 2012-10-04 2014-04-15 한양대학교 산학협력단 전도성 하이브리드 구리잉크 및 이를 이용한 광소결 방법
KR20140063982A (ko) * 2012-11-19 2014-05-28 김용석 다층 그래핀 및/또는 나노 그라파이트 층으로 코팅된 금속 분말

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190087211A (ko) * 2018-01-16 2019-07-24 한국전기연구원 계층구조를 갖는 금속/이차원 나노소재 하이브리드 잉크, 하이브리드 잉크 제조방법 및 하이브리드 잉크를 통해 형성된 전도막
CN111423769A (zh) * 2020-04-15 2020-07-17 广东康烯科技有限公司 一种钯量子点掺杂石墨烯基导电油墨的制备方法及导电油墨和应用
KR20220004465A (ko) 2020-07-03 2022-01-11 대성금속주식회사 금속-탄소 복합체 조성물 및 금속-탄소 복합체 조성물을 포함하는 전도체 패턴

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