KR20160149494A - 엑스레이 검사장치 - Google Patents

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Abstract

엑스레이 검사장치가 개시된다. 개시된 엑스레이 검사장치는 엑스레이를 차폐하는 캐비닛; 상기 캐비닛의 내부에 배치되며, 피검사 대상물이 장착되고, X축 및 Y축을 따라 이동 가능한 피검사 대상물 배치부; 상기 피검사 대상물의 일측에 배치되며, 상기 피검사 대상물 배치부를 향해 엑스레이를 조사하기 위한 주사구를 구비하는 엑스레이 발생장치; 상기 피검사 대상물 배치부의 타측에 배치되며, 상기 피검사 대상물을 투과한 엑스레이를 검출하기 위해 상기 피검사 대상물 배치부의 이동에 대응하여 이동 가능한 디텍터; 및 상기 엑스레이 발생장치와 상기 피검사 대상물 배치부 사이에 배치되며, 상기 피검사 대상물 배치부를 향해 조사되는 엑스레이의 일부를 차폐하는 콜리메이터;를 포함하며, 상기 콜리메이터는 상기 주사구의 중심축을 중심으로 회전 가능하며, X축 및 Y축을 따라 이동 가능하다.

Description

엑스레이 검사장치{X-ray inspecting apparatus}
본 발명은 엑스레이 검사장치에 관한 것으로, 특히 엑스레이에 노출되는 피검사 대상물의 검사부분을 조절할 수 있는 엑스레이 검사장치에 관한 것이다.
엑스레이 검사장치는 종래에는 의료분야에서만 사용되었으나, 최근에는 산업분야에서 부품의 내부의 미세한 결함을 찾아 불량을 예방하기 위한 용도로 널리 사용되고 있다.
이러한 엑스레이 검사장치는 피검사 대상물 배치부가 엑스레이 발생장치의 주사구의 중심축상에 배치되는 콘빔(conebeam) 타입의 엑스레이 검사장치와 피검사 대상물 배치부가 엑스레이 발생장치의 주사구의 중심축에 대해 소정 각도 경사지게 배치된 오블리크(Oblique) 타입의 엑스레이 검사장치가 있다. 이때, 오블리크 타입의 엑스레이 검사장치는 플라나(Planar) 타입 또는 토모신데시스(tomosysthesis) 타입으로도 불린다. 이하에서는 편의상 오블리크 타입의 엑스레이 검사장치라고 부른다.
상술한 두 가지 타입의 엑스레이 검사장치 중 오블리크 타입의 엑스레이 검사장치를 사용하여 부품을 검사하는 경우, 사용자는 반도체 소자와 같이 다층박막으로 형성되어 있으며 인쇄회로기판(Printed circuit board)에 패키징(Packaging) 되어 있는 복잡한 부품의 외관검사만으로는 확인할 수 없는 미세한 결함까지 확인할 수 있다.
하지만, 이러한 부품은 엑스레이 검사장치에 의해 검사되는 과정에서 필연적으로 엑스레이에 노출되었다. 이때, 부품을 통과하는 엑스레이 중 일부는 부품을 통과하는 과정에서 부품 내부에 흡수되었으며, 이는 부품에 손상을 입히고 부품의 물성을 변화시키는 문제를 발생시켰다.
종래에는 부품이 엑스레이에 노출되는 시간이 상대적으로 짧았기 때문에 부품의 손상 정도나 부품의 물성 변화에 따른 영향이 미비하였으나, 최근에는 반도체 소자와 같은 부품들의 밀접도가 매우 높고 다수의 반도체가 스태킹(stacking)되어 있기 때문에 내부 결함을 검사하기 위해 엑스레이에 노출되어야 하는 시간이 길어져 부품의 손상 정도나 부품이 물성 변화에 따른 영향이 커지게 되었다. 즉, 반도체 소자와 같은 부품들을 검사하기 위한 촬영시간이 증가함에 따라 반도체 소자와 같은 부품들의 손상이나 부품들의 물성 변화 문제가 더욱 심해지는 문제가 있었다. 아울러, 부품의 크기가 작아질수록 엑스레이에 의한 영향을 더 크게 받기 때문에 반도체 소자와 같이 미세한 부품일수록 엑스레이에 의한 손상 정도나 물성변화 정도가 더욱 커졌다.
또한, 사용자가 부품의 일부만을 검사하고자 하는 경우, 검사를 원하는 부품의 부분 이외의 부분까지 불필요하게 엑스레이에 노출되어야 하였으므로, 검사가 불필요한 부분까지 손상을 입히는 문제가 있었다. 이를 위해, 콘빔 타입의 엑스레이 검사장치의 경우에는 콜리메이터를 사용하여 이러한 문제를 해결할 수 있었으나, 오블리크 타입의 엑스레이 검사장치의 경우에는 엑스레이 발생장치의 주사구의 중심축을 중심으로 회전하거나 주사구의 중심축과 직교하는 평면상에서 이동하며 부품의 검사를 실시하여야 하므로 일반적인 콜리메이터를 적용할 수 없는 문제점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 엑스레이에 노출되는 피검사 대상물의 부분을 조절할 수 있는 오블리크 타입의 엑스레이 검사장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 엑스레이에 노출됨에 따라 발생하는 피검사 대상물의 손상을 감소시킬 수 있는 엑스레이 검사장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 엑스레이를 차폐하는 캐비닛; 상기 캐비닛의 내부에 배치되며, 피검사 대상물이 장착되고, X축 및 Y축을 따라 이동 가능한 피검사 대상물 배치부; 상기 피검사 대상물의 일측에 배치되며, 상기 피검사 대상물 배치부를 향해 엑스레이를 조사하기 위한 주사구를 구비하는 엑스레이 발생장치; 상기 피검사 대상물 배치부의 타측에 배치되며, 상기 피검사 대상물을 투과한 엑스레이를 검출하기 위해 상기 피검사 대상물 배치부의 이동에 대응하여 이동 가능한 디텍터; 및 상기 엑스레이 발생장치와 상기 피검사 대상물 배치부 사이에 배치되며, 상기 피검사 대상물 배치부를 향해 조사되는 엑스레이의 일부를 차폐하는 콜리메이터;를 포함하며, 상기 콜리메이터는 상기 주사구의 중심축을 중심으로 회전 가능하며, X축 및 Y축을 따라 이동 가능한 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치를 제공한다.
여기서, 상기 콜리메이터는 상기 피검사 대상물의 촬상시, 엑스레이에 노출되는 상기 피검사 대상물의 부분이 일정하도록 상기 피검사 대상물 배치부의 이동에 대응하여 이동할 수 있다.
더욱이, 상기 피검사 대상물 배치부가 X축 및 Y축을 포함하는 평면상에 형성되며 상기 주사구의 중심축을 중심으로 하는 가상의 원의 둘레를 따라 이동하는 경우, 상기 콜리메이터는 상기 주사구의 중심축을 중심으로 회전할 수 있다.
아울러, 상기 피검사 대상물 배치부가 X축 및 Y축을 따라 직선방향으로 이동하는 경우, 상기 콜리메이터는 X축 및 Y축을 따라 직선방향으로 이동할 수 있다.
또한, 상기 콜리메이터는 엑스레이를 차폐하는 차폐부 및 엑스레이가 통과 가능하도록 관통 형성되는 관통부를 포함할 수 있다.
아울러, 상기 관통부는 상기 콜리메이터의 회전축으로부터 이격 배치될 수 있다.
또한, 상기 관통부는 상기 주사구의 중심축에 대해 경사지게 형성될 수 있다.
더욱이, 상기 관통부에는 상기 콜리메이터를 통과하는 엑스레이에 의한 상기 피검사 대상물의 손상을 저감시키기 위한 엑스레이 저감필터가 구비될 수 있다.
또한, 상기 차폐부는 납 또는 텅스텐으로 이루어질 수 있다.
아울러, 상기 콜리메이터는 Z축을 따라 이동하며 상기 피검사 대상물의 검사부분의 면적을 조절할 수 있다.
더욱이, 상기 콜리메이터는 상기 엑스레이 발생장치에 인접하게 배치될 수 있다.
또한, 상기 피검사 대상물 배치부는 Z축 방향을 따라 이동 가능할 수 있다.
상기와 같이 본 발명은 회전 및 이동 가능한 콜리메이터를 구비하고 있으므로, 피검사 대상물의 검사부분 이외의 부분이 엑스레이에 노출되지 않도록 할 수 있어 피검사 대상물의 물성이 변하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은 콜리메이터에 엑스레이를 저감시키는 엑스레이 저감필터를 구비하므로, 엑스레이에 의한 피검사 대상물의 손상 및 물성의 변화를 저감시킬 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 검사장치를 개략적으로 나타내는 개략도이다.
도 3 및 도 4는 도 1에 도시한 피검사 대상물 배치부의 회전 및 이동을 각각 나타내는 평면도이다.
도 5는 도 1에 표시한 Ⅴ부분을 확대한 확대도이다.
도 6은 도 2에 표시한 Ⅵ부분을 확대한 확대도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 검사장치의 검사방법을 순차적으로 나타내는 순서도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 검사장치(1)에 대하여 설명한다. 다만, 이하에서 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성요소에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명 및 구체적인 도시를 생략한다. 또한, 발명의 이해를 돕기 위하여, 첨부된 도면은 실제 축적대로 도시된 것이 아니라 일부 구성요소의 치수가 과장되게 도시될 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 엑스레이 검사장치(1)는 피검사 대상물을 검사하기 위해 캐비닛(10), 피검사 대상물 배치부(20), 엑스레이 발생장치(30), 디텍터(40), 콜리메이터(50) 및 제어부(60)를 포함한다.
캐비닛(10)은 엑스레이 발생장치(30)에서 발생된 엑스레이가 외부로 방출되지 않도록 차폐하며, 적어도 하나의 문(미도시)을 포함한다. 적어도 하나의 문은 피검사 대상물(2)을 피검사 대상물 배치부(20)에 장착하거나, 탈착할 수 있도록 캐비닛(10)을 개방하는 역할을 한다.
피검사 대상물 배치부(20)는 캐비닛(10)의 내부에 엑스레이 발생장치(30)와 디텍터(40) 사이에 배치되며, 피검사 대상물(2)을 파지하고 피검사 대상물(2)의 위치를 변화시켜 피검사 대상물(2) 전체 영역에 대해 불량 여부를 검사할 수 있도록 한다. 이를 위해, 피검사 대상물 배치부(20)는 피검사 대상물(2)을 다양한 각도에서 엑스레이에 노출시켜 촬상하기 위해 파지부(21), 동력전달부(22) 및 구동모터(23)를 포함한다.
구체적으로, 피검사 대상물(2)은 파지부(21)에 고정되며, 파지부(21)는 동력전달부(22)에 의해 구동모터(23)와 연결된다. 이러한 구동모터(23)는 제어부(60)와 연결되어 있으며, 제어부(60)의 제어에 의해 파지부(21)를 X축 및 Y축을 포함하는 평면상에서 이동시키기 위한 동력을 발생시킨다. 이렇게 발생된 동력은 동력전달부(22)에 의해 파지부(21)로 전달된다.
이에 따라, 도 3 및 도 4를 참조하면, 파지부(21)는 X축 및 Y축을 포함하는 평면상에 형성되며 엑스레이 발생장치(30)의 주사구(31)의 중심축(A)을 중심으로 하는 가상의 원(C)의 둘레를 따라 이동하거나, X축 및 Y축을 따라 직선방향으로 이동하며 피검사 대상물(2)의 다양한 면을 엑스레이에 노출시킬 수 있다. 아울러, 이러한 파지부(21)는 엑스레이 발생장치(30)에서 엑스레이가 방사되는 범위 내에서 이동 가능하도록 할 수 있다. 또한, 피검사 대상물(2)은 인쇄회로기판과 같이 평판 형상일 수 있으며, 피검사 대상물(2)이 X축 및 Y축을 포함하는 평면상에서 이동하며 검사가 진행되므로 피검사 대상물(2)을 엑스레이 발생장치(30)에 근접하도록 이동시킬 수 있어 고배율의 촬상이 가능하다. 이를 위해, 피검사 대상물 배치부(20)는 Z축을 따라 이동할 수도 있다.
엑스레이 발생장치(30)는 피검사 대상물 배치부(20)에 고정된 피검사 대상물(2)의 하측에 설치되며, 피검사 대상물(2)을 향하여 엑스레이(X-ray)를 조사한다. 엑스레이 발생장치(30)는 캐비닛(10)의 저부에 설치되어 상측으로 엑스레이를 조사할 수 있으며, 이와 달리, 캐비닛(10)의 상부에 설치되어 하측으로 엑스레이를 조사할 수도 있다.
이러한 엑스레이 발생장치(30)는 엑스레이를 발생하기 위해 엑스레이 튜브(X-ray tube)를 포함한다. 엑스레이 발생장치(30)는 엑스레이 주사구(31)에서 일정 각도 범위(θ)로 엑스레이를 방사한다. 본 실시예의 경우에는 엑스레이 발생장치(30)는 대략 120° 범위로 엑스레이를 방사한다. 이러한 엑스레이 발생장치(30)로는 일반적인 엑스레이 발생기를 사용할 수 있으므로 구체적인 설명은 생략한다.
디텍터(40)는 피검사 대상물 배치부(20)의 상측에 배치되며, 피검사 대상물(2)을 투과한 엑스레이를 검출하여 피검사 대상물(2)의 영상을 촬상한다. 또한, 디텍터(40)는 피검사 대상물 배치부(20)의 X축 이동에 대응하여 이동할 수 있도록 동력전달부(42) 및 구동모터(43)를 포함한다.
구체적으로, 구동모터(43)는 디텍터(40)를 X축 방향으로 이동시키기 위한 동력을 발생시킨다. 이러한 동력은 동력전달부(42)에 의해 디텍터(40)로 전달되며, 이에 따라, 디텍터(40)는 피검사 대상물 배치부(20)의 X축 이동에 대응하여 이동할 수 있다.
다만, 디텍터(40)는 피검사 대상물 배치부(20)의 Y축 방향의 이동에 대응하여서는 이동할 필요가 없도록 Y축 방향을 따라 충분한 길이를 가지도록 형성되므로 피검사 대상물 배치부(20)가 Y축을 따라 이동하더라도 디텍터(40)는 Y축 방향으로는 이동할 필요가 없다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 콜리메이터(50)는 엑스레이에 노출되는 피검사 대상물(2)의 부분을 조절할 수 있도록 차폐부(51), 관통부(52) 및 엑스레이 저감필터(53)를 포함한다. 도 5 및 도 6에서 음영으로 표시한 부분은 엑스레이가 조사되는 부분이며, 음영으로 표시되지 않은 부분은 엑스레이가 조사되지 않거나 차폐되는 부분이다.
차폐부(51)는 엑스레이가 통과할 수 없는 부분으로 피검사 대상물(2)에서 검사를 원하는 부분(2a) 이외의 부분(도 5 및 도 6에서 음영으로 표시되지 않은 부분)으로 엑스레이가 조사되지 않도록 한다. 이를 위해 차폐부(51)는 납 또는 텅스텐으로 이루어질 수 있으나 이에 제한되지는 않으며 엑스레이를 차폐할 수 있는 물질이라면 어떠한 것이라도 가능하다.
관통부(52)는 콜리메이터(50)의 회전축으로부터 소정 거리 이격된 위치에 관통 형성되며, 이에 따라, 도 5 및 도 6에서 음영으로 표시한 바와 같이 엑스레이가 통과한다. 이러한 관통부(52)는 단면이 원형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 타원형 및 다각형으로 형성되는 것도 가능하다. 아울러, 관통부(52)는 주사구(31)의 중심축(A)과 평행하게 형성될 수도 있으며, 주사구(31)의 중심축(A)에 대해 경사지게 형성될 수도 있다. 이는 피검사 대상물(2)의 검사를 원하는 부분(2a)을 고려하여 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 도시하지는 않았으나, 관통부(52)는 크기가 조절될 수 있도록 형성되는 것도 가능하다. 이에 대한 내용은 공지의 사항인바 그 상세한 설명은 생략한다.
엑스레이 저감필터(53)는 관통부(52)의 엑스레이가 통과하는 위치에 배치되며, 피검사 대상물(2)이 엑스레이에 의해 입는 손상을 저감시키기 위해 엑스레이의 특정 에너지 영역대를 필터링한다.
아울러, 콜리메이터(50)는 피검사 대상물(2)의 검사를 원하는 부분(2a)을 따라 회전 또는 이동할 수 있도록 동력전달부(55) 및 구동모터(56)를 포함한다.
구체적으로, 사용자가 피검사 대상물(2)의 검사를 원하는 부분(2a)에 맞추어 콜리메이터(50)의 위치를 설정한 후 엑스레이를 조사하여 피검사 대상물(2)의 검사를 시작하면, 상술한 바와 같이 피검사 대상물 배치부(20)는 X축 및 Y축을 포함하는 평면상에서 가상의 원(C)의 둘레를 따라 이동하거나, X축 및 Y축을 따라 직선방향으로 이동을 하며 피검사 대상물(2)의 다양한 부분들이 엑스레이에 노출되도록 한다. 따라서, 피검사 대상물(2)의 엑스레이에 노출되는 검사를 원하는 부분(2a)을 일정하게 유지하게 위해서는 콜리메이터(50)도 피검사 대상물 배치부(20)의 동작에 대응하는 동작을 하여야 한다. 즉, 콜리메이터(50)는 피검사 대상물 배치부(20)의 동작과 동기화된다.
구체적으로, 도 5 및 도 6을 참조하면, 피검사 대상물 배치부(20)가 가상의 원(C)의 둘레를 따라 이동하는 경우 콜리메이터(50)는 주사구(31)의 중심축(A)을 중심으로 회전하여야 하며, 피검사 대상물 배치부(20)가 X축 및 Y축을 따라 직선방향으로 이동하는 경우 콜리메이터(50)는 X축 및 Y축을 따라 직선방향으로 이동하여야 한다.
이러한 콜리메이터(50)에 의해 사용자는 피검사 대상물(2)의 검사를 원하는 부분(2a)에만 다양한 각도로 엑스레이를 노출시켜 검사를 원하는 부분(2a)의 결함 여부를 확인할 수 있다. 또한, 피검사 대상물(2)의 검사를 원하지 않는 부분에는 엑스레이가 노출되지 않도록 하므로, 피검사 대상물(2)의 전체가 엑스레이에 의해 손상을 입거나 물성의 변화가 생기는 것을 방지할 수 있다.
아울러, 콜리메이터(50)는 엑스레이에 노출되는 피검사 대상물(2)의 검사부분(2a)의 면적을 조절하기 위해 Z축을 따라 이동하는 것도 가능하다. 구체적으로, 피검사 대상물(2)의 검사부분(2a)의 면적을 넓게 하고자 한다면 콜리메이터(50)를 Z축을 따라 엑스레이 발생장치(30)에 근접하도록 이동시킬 수 있으며, 피검사 대상물(2)의 검사부분(2a)의 면적을 좁게 하고자 한다면 콜리메이터(50)를 Z축을 따라 엑스레이 발생장치(30)에서 멀어지도록 이동시킬 수 있다. 콜리메이터(50)의 이러한 이동은 콜리메이터(50)의 초기 위치 설정시 수행될 것이다.
제어부(60)는 피검사 대상물 배치부(20), 엑스레이 발생장치(30), 디텍터(40) 및 콜리메이터(50)를 제어하여 피검사 대상물을 촬상하고, 촬상된 영상을 이용하여 피검사 대상물의 불량 여부를 판단한다. 이를 위해 제어부(60)는 사용자가 명령을 입력할 수 있는 입력부(61)와 검사 결과를 출력할 수 있는 출력부(62)를 포함할 수 있다. 입력부(61)는 키보드, 마우스, 터치 패드 등이 사용될 수 있다. 또한, 출력부(62)는 액정 디스플레이와 같은 디스플레이 장치를 사용할 수 있다.
이하, 도 7을 참조하여, 상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 검사장치(1)의 작용에 대하여 설명한다.
우선, 사용자는 피검사 대상물(2)을 피검사 대상물 배치부(20)에 고정한다(S10).
이어서, 사용자는 피검사 대상물(2)의 검사를 원하는 부분(2a)에 맞추어 콜리메이터(50)의 초기 위치를 설정한다(S20). 구체적으로, 사용자는 피검사 대상물(2)의 검사를 원하는 부분(2a)의 위치 및 면적을 고려하여, 피검사 대상물(2)의 검사 중 콜리메이터(50)가 피검사 대상물(2)의 검사를 원하는 부분(2a)에 엑스레이를 계속해서 일정하게 조사하도록 X축, Y축 및 Z축을 따라 적절한 초기위치를 설정한다.
콜리메이터(50)의 초기 위치가 설정되면, 사용자는 입력부(61)를 통해 엑스레이 발생장치(30)가 엑스레이를 조사(S30)하도록 하여 피검사 대상물(2)의 검사를 시작한다.
검사 과정에서 피검사 대상물(2)은 피검사 대상물 배치부(20)에 고정된 채로 가상의 원(C)의 둘레를 따라 이동하거나 및/또는 X축과 Y축을 따라 직선방향으로 이동한다. 이에 따라, 콜리메이터(50)도 피검사 대상물 배치부(20)의 동작에 대응하는 동작을 수행한다(S40). 구체적으로, 콜리메이터(50)는 피검사 대상물 배치부(20)가 가상의 원(C)의 둘레를 따라 이동하는 경우 피검사 대상물 배치부(20)의 주사구(31)의 중심축(A)에 대한 각속도와 동일한 각속도로 회전하며, 피검사 대상물 배치부(20)가 X축 및 Y축을 따라 직선방향으로 이동하는 경우 피검사 대상물 배치부(20)의 이동속도와 대응하는 속도로 이동한다. 이에 따라, 본 발명에 따른 엑스레이 검사장치(1)는 피검사 대상물(2)의 검사를 원하는 부분(2a)만 엑스레이에 노출시키며 피검사 대상물(2)을 검사할 수 있다. 따라서, 피검사 대상물(2)의 손상 및 물성변화를 최소화할 수 있다.
디텍터(40)를 통해 피검사 대상물(2)을 다양한 각도에서 촬상한 후, 제어부(60)는 촬상한 2D 영상들을 취합하여 3D 영상을 만든 후 사용자에게 제공한다(S50). 이에 따라, 검사과정은 종료된다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 가능함은 물론이다.
2; 피검사 대상물
20; 피검사 대상물 배치부
50; 콜리메이터
53; 엑스레이 저감필터

Claims (12)

  1. 엑스레이를 차폐하는 캐비닛;
    상기 캐비닛의 내부에 배치되며, 피검사 대상물이 장착되고, X축 및 Y축을 따라 이동 가능한 피검사 대상물 배치부;
    상기 피검사 대상물의 일측에 배치되며, 상기 피검사 대상물 배치부를 향해 엑스레이를 조사하기 위한 주사구를 구비하는 엑스레이 발생장치;
    상기 피검사 대상물 배치부의 타측에 배치되며, 상기 피검사 대상물을 투과한 엑스레이를 검출하기 위해 상기 피검사 대상물 배치부의 이동에 대응하여 이동 가능한 디텍터; 및
    상기 엑스레이 발생장치와 상기 피검사 대상물 배치부 사이에 배치되며, 상기 피검사 대상물 배치부를 향해 조사되는 엑스레이의 일부를 차폐하는 콜리메이터;를 포함하며,
    상기 콜리메이터는 상기 주사구의 중심축을 중심으로 회전 가능하며, X축 및 Y축을 따라 이동 가능한 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 콜리메이터는 상기 피검사 대상물의 촬상시, 엑스레이에 노출되는 상기 피검사 대상물의 부분이 일정하도록 상기 피검사 대상물 배치부의 이동에 대응하여 이동하는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 피검사 대상물 배치부가 X축 및 Y축을 포함하는 평면상에 형성되며 상기 주사구의 중심축을 중심으로 하는 가상의 원의 둘레를 따라 이동하는 경우, 상기 콜리메이터는 상기 주사구의 중심축을 중심으로 회전하는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 피검사 대상물 배치부가 X축 및 Y축을 따라 직선방향으로 이동하는 경우, 상기 콜리메이터는 X축 Y축 방향을 따라 직선방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 콜리메이터는 엑스레이를 차폐하는 차폐부 및 엑스레이가 통과 가능하도록 관통 형성되는 관통부를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 관통부는 상기 콜리메이터의 회전축으로부터 이격 배치되는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 관통부는 상기 주사구의 중심축에 대해 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 관통부에는 상기 콜리메이터를 통과하는 엑스레이에 의한 상기 피검사 대상물의 손상을 저감시키기 위한 엑스레이 저감필터가 구비되는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 차폐부는 납 또는 텅스텐으로 이루어진 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 콜리메이터는 Z축을 따라 이동하며 상기 피검사 대상물의 검사부분의 면적을 조절하는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 콜리메이터는 상기 엑스레이 발생장치에 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 피검사 대상물 배치부는 Z축 방향을 따라 이동 가능한 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.
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