KR101693614B1 - 엑스레이 촬영용 지그 - Google Patents

엑스레이 촬영용 지그 Download PDF

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Abstract

엑스레이 촬영용 지그가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그는 설치면과 평행한 제 1 회전축을 중심으로 회전하는 제 1 회전부 및 상면에 검사 대상물이 놓이며 상기 제 1 회전부 상에 설치되어 상기 제 1 회전부와 함께 회전하고, 상기 제 1 회전축과 수직인 제 2 회전축을 중심으로 회전하는 제 2 회전부를 포함한다.

Description

엑스레이 촬영용 지그{Jig for X-ray Examination}
본 발명은 엑스레이 촬영용 지그에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 검사 대상물을 서로 직교하는 두 회전축을 중심으로 회전 가능하게 하여 검사 대상물의 모든 면을 촬영할 수 있는 엑스레이 촬영용 지그에 관한 것이다.
일반적으로, 가전제품이나 컴퓨터 등과 같은 전기전자제품의 주요부품으로 내장되는 인쇄회로기판(PCB)에는 예컨대, 반도체칩이나 저항칩과 같은 소형 전자부품이 납땜에 의해 실장된다.
따라서, 이러한 인쇄회로기판은 전기전자제품 세트에 내장되는 과정에 있어서 실장된 전자부품의 납땜상태에 대한 양부를 검사하는 과정을 거치게 된다. 이와 같이 인쇄회로기판(PCB)의 납땜상태를 검사하기 위한 것으로, 최근에는 엑스레이(X-ray) 검사장치가 주로 이용되고 있다.
상술한 바와 같은 인쇄회로기판의 엑스레이 검사장치는 엑스레이 차폐를 위한 실내공간이 형성되도록 제작된 캐비넷의 내부에 공급되어 검사위치에 세팅되는 인쇄회로기판에 엑스레이를 조사하여 투영된 영상을 엑스레이 디텍터로 촬상하여 출력되는 영상정보를 통해 인쇄회로기판의 납땜부에 대한 납땜상태의 양부를 판정하도록 되어 있다.
한편, 종래 인쇄회로기판의 엑스레이 검사장치는, 검사대상 인쇄회로기판이 놓이는 지그가 고정되어 있으며, 통상 검사위치에 세팅된 인쇄회로기판의 하방과 상방에 각각 엑스레이 발생기와 엑스레이 디텍터를 고정된 상태로 설치하여 납땜상태를 검사함으로써, 납땜　검사부위에 대해 입체적인 다양한 형태의 촬상 입사각을 얻기가 어려워 검사 정밀도가 저하되는 문제점이 있었으며, 특히 다층 구조를 가지는 인쇄회로기판의 내부에 형성된 납땜부는 표면에 형성된 납땜부에 의해 영상 촬상이 방해됨에 따라 기본적인 검사도 수행하기가 어려운 문제점을 가지고 있다.
도 1은 종래의 엑스레이 촬영 장치를 나타내는 도면이다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 도 1에 도시된 바와 같이 검사대상 인쇄회로기판(10)에 대해 엑스레이 발생기(30)는 고정되도록 설치하고 엑스레이 디텍터(40)를 가변 가능한 상태로 설치하여 검사 부위에 대해 다양한 촬상 입사각으로 영상정보를 얻을 수 있도록 구성함으로써 검사 부위의 입체적인 영상정보를 취득할 수 있는 인쇄회로기판의 엑스레이 검사방법 및 검사장치가 개발되었다.
그러나, 종래의 엑스레이 촬영 장치에서는 검사대상 인쇄회로기판(10)이 놓이는 지그(200가 이동 또는 회전이 불가능하기 때문에 검사대상 인쇄회로기판(10)의 모든 면을 촬영할 수 없는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 다음과 같다.
본 발명은 엑스레이 발생기 및 디텍터를 고정한 상태에서 검사 대상물의 모든 면을 촬영할 수 있는 엑스레이 촬영용 지그를 제공하고자 한다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그는 제 1 회전부 및 제 2 회전부를 포함한다.
상기 제 1 회전부는 설치면과 평행한 제 1 회전축을 중심으로 회전한다.
상기 제 2 회전부는 상면에 검사 대상물이 놓이며, 상기 제 1 회전부 상에 설치되어 상기 제 1 회전부와 함께 회전하고, 상기 제 1 회전축과 수직인 제 2 회전축을 중심으로 회전한다.
본 실시예의 엑스레이 촬영용 지그는 상기 제 1 회전부를 회전시키는 제 1 회전구동부 및 상기 제 2 회전부를 회전시키는 제 2 회전구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 제 2 회전부는 엑스레이 투과성 재질로 형성될 수 있다.
상기 제 1 회전부 및 상기 제 2 회전부는 360도 회전 가능하게 구성될 수 있다.
상기 제 1 회전부는 x축, y축, z축으로 이동 가능하게 구성될 수 있다.
이를 위하여, 본 실시예의 엑스레이 촬영용 지그는 설치면에 대해 상, 하 방향으로 수직 이동하는 z 스테이지, 상기 z스테이지 상에 설치되어 상기 z스테이지에 대해 일방향으로 수평 이동하는 x스테이지 및 상기 x스테이지 상에 설치되어 상기 x스테이지의 이동 방향과 수직한 방향으로 수평이동하는 y스테이지를 더 포함할 수 있다.
그리고, 상기 제 1 회전부는 상기 y스테이지 상에 설치되어 상기 y스테이지와 함께 이동할 수 있다.
이를 위하여, 본 실시예의 엑스레이 촬영용 지그는 상기 z스테이지를 이동시키는 z축 구동부, 상기 x스테이지를 이동시키는 x축 구동부 및 상기 y스테이지를 이동시키는 y축 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 제 1 회전부, 상기 x스테이지, 상기 y스테이지 및 상기 z스테이지의 중앙에는 서로 연통되는 개구부가 형성될 수 있다.
또는, 상기 제 1 회전부, 상기 제 2 회전부, 상기 x스테이지, 상기 y스테이지 및 상기 z스테이지는 투명한 재질의 플레이트 형상을 가질 수 있다.
상기 제 2 회전부는 상기 제 2 회전부의 상부에 구비되어 상기 검사 대상물이 놓이는 받침부를 포함할 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그에 의하면 검사 대상물이 놓이는 제 2 회전부가 서로 직교하는 제 1 회전축 및 제 2 회전축을 중심으로 회전하며, x축, y축, z축으로 이동함으로써 엑스레이 발생기 또는 디텍터의 이동 없이 검사 대상물의 모든 면을 촬영할 수 있는 장점이 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
아래에서 설명하는 본 출원의 바람직한 실시예의 상세한 설명뿐만 아니라 위에서 설명한 요약은 첨부된 도면과 관련해서 읽을 때에 더 잘 이해될 수 있을 것이다. 본 발명을 예시하기 위한 목적으로 도면에는 바람직한 실시예들이 도시되어 있다. 그러나, 본 출원은 도시된 정확한 배치와 수단에 한정되는 것이 아님을 이해해야 한다.
도 1은 종래의 엑스레이 촬영 장치를 나타내는 도면;
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그를 나타내는 사시도;
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 제 1 회전부가 회전한 모습을 나타내는 도면;
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 제 2 회전부가 회전한 모습을 나타내는 도면;
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 z스테이지가 이동한 모습을 나타내는 도면;
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 x스테이지가 이동한 모습을 나타내는 도면; 및
도 7는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 y스테이지가 이동한 모습을 나타내는 도면이다.
이하 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 다만, 첨부된 도면은 본 발명의 내용을 보다 쉽게 개시하기 위하여 설명되는 것일 뿐, 본 발명의 범위가 첨부된 도면의 범위로 한정되는 것이 아님은 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 알 수 있을 것이다.
그리고, 본 발명의 실시예를 설명함에 있어서, 동일 기능을 갖는 구성요소에 대해서는 동일 명칭 및 동일부호를 사용할 뿐 실질적으론 종래기술의 구성요소와 완전히 동일하지 않음을 미리 밝힌다.
또한, 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그에 대하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그를 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 제 1 회전부가 회전한 모습을 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 제 2 회전부가 회전한 모습을 나타내는 도면이다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그는 제 1 회전부(100) 및 제 2 회전부(200)를 포함한다.
제 1 회전부(100)는 설치면과 평행한 제 1 회전축을 중심으로 회전한다. 그리고, 제 1 회전부(100)의 중앙에는 엑스레이가 통과할 수 있도록 개구부가 형성될 수 있다. 본 실시예에서 제 1 회전부(100)는 사가 틀 형태의 프레임이며, 제 1 회전부(100)의 내측에는 후술할 제 2 프레임이 위치할 수 있다.
제 1 회전부(100)는 제 1 회전 구동부(120)에 의해 회전할 수 있다. 예를 들면, 제 1 회전 구동부(120)는 제 1 회전부(100)를 회전시키는 제 1 모터(122)를 포함할 수 있다.
제 1 회전 구동부(120)는 제 1 회전부(100)를 360도 회전시킬 수 있다. 또한, 제 1 회전 구동부(120)의 제 1 모터(122)는 정방향 또는 역방향으로 회전하여 제 1 회전부(100)를 정방향 또는 역방향으로 회전시킬 수 있다.
제 2 회전부(200)는 사각 프레임 형상의 제 1 회전부(100)의 내측에 위치하는 사각 플레이트 형상일 수 있다. 제 2 회전부(200)의 상면에는 검사 대상물이 놓인다. 제 2 회전부는 제 2 회전부의 상부에 구비되어 검사 대상물이 놓이는 받침부(240)를 포함할 수 있다.
일반적으로, 검사 대상물의 상부에 엑스레이 발생기(미도시)가 위치하고 검사 대상물의 하부에 디텍터(미도시)가 위치하거나, 또는 이와 반대로 배치되기 때문에 검사 대상물이 놓이는 제 2 회전부(200)가 엑스레이 불투과성 재질로 형성된다면 검사 대상물의 결함 검사가 불가능하다.
따라서, 제 2 회전부(200)는 엑스레이 투과성 수지게열, 카본게열 등이 적용될 수 있다. 그리고, 제 2 회전부(200)에는 투명한 재질이 적용될 수 있다. 그러나, 제 2 회전부(200)의 재질은 상술하는 것에 한정되는 것이 아니며, 투명한 엑스레이 투과성 재질이라면 어떤 것이든 적용될 수 있다.
제 2 회전부(200)는 제 1 회전부(100) 상에 설치되어 제 1 회전부(100)와 함께 회전하고, 제 1 회전축과 수직인 제 2 회전축을 중심으로 회전한다.
제 2 회전부(200)는 제 2 회전 구동부(220)에 의해 회전할 수 있다. 예를 들면, 제 2 회전 구동부(220)는 제 2 회전부(200)와 결합되어 제 2 회전축을 중심으로 회전하는 회전 샤프트(222), 회전 샤프트(222)를 회전시키는 제 2 모터(224)를 포함할 수 있다.
제 2 샤프트는 제 1 회전부(100)의 일측으로부터 제 1 회전부(100)의 타측까지 제 2 회전부(200)를 가로지르도록 배치될 수 있다. 이로써, 제 2 회전부(200)는 제 1 회전부(100)의 회전에 따라 제 1 회전축을 중심으로 회전하는 동시에 제 2 회전축을 중심으로 회전할 수 있다. 따라서, 제 2 회전부(200) 상에 놓이는 검사 대상물은 서로 수직하게 배치되는 제 1 회전축 및 제 2 회전축, 즉 2축 회전을 할 수 있다.
제 2 회전 구동부(220)는 제 2 회전부(200)를 360도 회전시킬 수 있다. 또한, 제 2 회전 구동부(220)의 제 2 모터(224)는 정방향 또는 역방향으로 회전하여 제 2 회전부(200)를 정방향 또는 역방향으로 회전시킬 수 있다.
제 1 회전부(100) 및 제 2 회전부(200)가 상기와 같이 회전 가능하게 구성됨으로써 카메라는 검사 대상물의 전면을 촬영할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 z스테이지가 이동한 모습을 나타내는 도면이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 x스테이지가 이동한 모습을 나타내는 도면이고, 도 7는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그의 y스테이지가 이동한 모습을 나타내는 도면이다.
도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 제 1 회전부(100)는 x축, y축, z축으로 이동 가능하게 구성될 수 있다.
이를 위하여, 설치면에 대해 상, 하 방향으로 수직 이동하는 z스테이지(300), z스테이지(300) 상에 설치되어 z스테이지(300)와 함께 상, 하 방향으로 이동하며 z스테이지(300)에 대해 일방향으로 수평 이동하는 x스테이지(400) 및 x스테이지(400) 상에 설치되어 x스테이지(400)의 이동 방향과 수직한 방향으로 수평이동하는 y스테이지(500)가 구비되며, 제 1 회전부(100)는 y스테이지(500) 상에 설치되어 y스테이지(500)와 함께 이동할 수 있다.
이를 위하여, z스테이지(300)를 이동시키는 z축 구동부(320), x스테이지(400)를 이동시키는 x축 구동부(420) 및 y스테이지(500)를 이동시키는 y축 구동부(420)가 구비될 수 있다.
z축 구동부(320)는 외주면에 나사선이 형성된 설치면에 대하여 수직 방향으로 설치된 제 1 LM가이드(322), z스테이지(300)와 결합되며 볼스크류가 내장된 제 1 LM블록(324), 제 1 LM가이드(322)를 회전시키는 z축 구동 모터(326)를 포함할 수 있다. 따라서, z축 구동 모터(326)가 제 1 LM가이드(322)를 회전시키면 볼스크류가 내장된 제 1 LM블록(324)이 제 1 LM가이드(322)를 따라 상, 하 방향으로 이동함으로써 제 1 LM블록(324)과 결합된 z스테이지(300)가 상, 하 방향으로 이동할 수 있다.
x축 구동부(420)는 z스테이지(300) 상에 설치될 수 있다. 이로써, x축 구동부(420) 및 x스테이지(400)는 z스테이지(300)와 함께 상, 하 방향으로 이동할 수 있다. 그리고, x축 구동부(420)는 나사선이 형성된 제 2 LM가이드(422), x스테이지(400)와 결합되며 볼스크류가 내장된 제 2 LM블록(424), 제 2 LM가이드(422)를 회전시키는 x축 구동 모터(426)를 포함할 수 있다. 다만, x축 구동부(420)의 제 2 LM가이드(422)는 설치면에 대하여 수평 방향으로 설치될 수 있다. 따라서, x축 구동 모터(426)가 제 2 LM가이드(422)를 회전시키면 볼스크류가 내장된 제 2 LM블록(424)이 제 2 LM가이드(422)를 따라 수평 방향으로 이동함으로써 제 2 LM블록(424)과 결합된 x스테이지(400)가 수평 방향으로 이동할 수 있다.
y축 구동부(420)는 x스테이지(400) 상에 설치될 수 있다. 이로써, y축 구동부(420) 및 y스테이지(500)는 x스테이지(400)와 함께 수평 방향으로 이동할 수 있다. 그리고, y축 구동부(420)는 나사선이 형성된 제 3 LM가이드(522), x스테이지(400)와 결합되며 볼스크류가 내장된 제 3 LM블록(524), 제 3 LM가이드(522)를 회전시키는 y축 구동 모터(526)를 포함할 수 있다. 다만, y축 구동부(420)의 제 3 LM가이드(522)는 설치면에 대하여 수평하며, 제 2 LM가이드(422)와 수직한 방향으로 설치될 수 있다. 따라서, x축 구동 모터(426)가 제 3 LM가이드(522)를 회전시키면 볼스크류가 내장된 제 3 LM블록(524)이 제 3 LM가이드(522)를 따라 이동함으로써 제 3 LM블록(524)과 결합된 y스테이지(500)가 x스테이지(400)와 수직한 방향으로 이동할 수 있다.
그리고, 제 1 회전부(100)는 y스테이지(500) 상에 설치됨으로써 x스테이지(400), y스테이지(500), z스테이지(300)의 이동에 따라 함께 이동할 수 있다.
이로써, 제 2 회전부(200) 상에 위치한 검사 대상물은 x, y, z 3축 방향으로 이동할 수 있으며, 제 1 회전축 및 제 2 회전축을 중심으로 회전함으로써 검사 대상물의 모든 부분을 검사할 수 있다.
여기서, x스테이지(400), y스테이지(500), z스테이지(300)의 중앙부에는 모두 개구부가 형성될 수 있다. x스테이지(400), y스테이지(500), z스테이지(300)에 형성된 개구부는 x스테이지(400), y스테이지(500)의 수평이동에도 불구하고 상시 일부가 연통될 수 있다.
또는, 제 1 회전부(100), 제 2 회전부(200), x스테이지(400), y스테이지(500), z스테이지(300)는 모두 투명한 엑스레이 투과성 재질의 플레이트 형상을 가질 수 있다. 이로써, 엑스레이 발생기(미도시)에서 발생한 엑스레이가 디텍터(미도시)까지 도달할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
10: 인쇄회로기판 20: 지그
30: 엑스레이 발생기 40: 디텍터
100: 제 1 회전부 120: 제 1 회전 구동부
122: 제 1 모터 200: 제 2 회전부
220: 제 2 회전 구동부 222: 회전 샤프트
224: 제 2 모터 240: 받침부
300: z스테이지 320: z축 구동부
322: 제 1 LM가이드 324: 제 1 LM블록
326: z축 구동 모터 400: x스테이지
420: x축 구동부 422: 제 2 LM가이드
424: 제 2 LM블록 426: x축 구동 모터
500: y스테이지 520: y축 구동부
522: 제 3 LM가이드 524: 제 3 LM블록
526: y축 구동 모터

Claims (10)

  1. 설치면과 평행한 제 1 회전축을 중심으로 회전하는 제 1 회전부; 및
    상면에 검사 대상물이 놓이며, 상기 제 1 회전부 상에 설치되어 상기 제 1 회전부와 함께 회전하고, 상기 제 1 회전축과 수직인 제 2 회전축을 중심으로 회전하는 제 2 회전부;를 포함하며,
    상기 제1회전부는,
    설치면에 대해 상, 하 방향으로 수직 이동하는 z 스테이지, 상기 z스테이지 상에 설치되어 상기 z스테이지에 대해 일방향으로 수평 이동하는 x스테이지 및 상기 x스테이지 상에 설치되어 상기 x스테이지의 이동 방향과 수직한 방향으로 수평이동하는 y스테이지를 포함하여 상기 제 1 회전부는 상기 y스테이지 상에 설치되어 상기 y스테이지와 함께 이동하는 엑스레이 촬영용 지그.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 회전부를 회전시키는 제 1 회전구동부 및 상기 제 2 회전부를 회전시키는 제 2 회전구동부를 더 포함하는 엑스레이 촬영용 지그.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제 2 회전부는 엑스레이 투과성 재질로 형성되는 엑스레이 촬영용 지그.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 회전부 및 상기 제 2 회전부는 360도 회전 가능한 엑스레이 촬영용 지그.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 z스테이지를 이동시키는 z축 구동부, 상기 x스테이지를 이동시키는 x축 구동부 및 상기 y스테이지를 이동시키는 y축 구동부를 더 포함하는 엑스레이 촬영용 지그.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 회전부, 상기 x스테이지, 상기 y스테이지 및 상기 z스테이지의 중앙에는 서로 연통되는 개구부가 형성되는 엑스레이 촬영용 지그.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 회전부, 상기 제 2 회전부, 상기 x스테이지, 상기 y스테이지 및 상기 z스테이지는 투명한 재질의 플레이트 형상을 가지는 엑스레이 촬영용 지그.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 제 2 회전부는.
    상기 제 2 회전부의 상부에 구비되어 상기 검사 대상물이 놓이는 받침부를 포함하는 엑스레이 촬영용 지그.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210021067A (ko) * 2018-10-15 2021-02-24 가부시키가이샤 도쿄 웰드 비파괴 자동 검사 시스템
KR102459079B1 (ko) * 2020-07-20 2022-10-26 주식회사 에스에프에이 2차 전지용 오버행 검사장치 및 이를 구비하는 2차 전지 제조 시스템
KR102492155B1 (ko) * 2020-07-20 2023-01-26 주식회사 에스에프에이 2차 전지용 오버행 검사장치 및 이를 구비하는 2차 전지 제조 시스템

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013228214A (ja) * 2012-04-24 2013-11-07 Atel Corp マクロ観察装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0821605B2 (ja) * 1988-04-18 1996-03-04 東京エレクトロン株式会社 Ｘ線検査装置
KR101168732B1 (ko) * 2009-11-12 2012-07-26 한동희 패널 부착 장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013228214A (ja) * 2012-04-24 2013-11-07 Atel Corp マクロ観察装置

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