JP6861470B2 - X線検査装置 - Google Patents
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Description
よい。
なお、以下の説明で用いる図面では、各構成要素を見やすくするため、構成要素を模式的に示している場合があり、構成要素によっては寸法の縮尺を異ならせて示すこともある。
先ず、本発明の一実施形態として、例えば図1〜図3に示すX線検査装置1の構成について説明する。なお、図1は、X線検査装置1の構成を示す正面図である。図2は、X線検査装置1の要部を拡大した平面図である。図3は、X線検査装置1の要部を拡大した断面図である。
次に、上記X線検査装置1を用いたX線検査について、被検査物Sとして、例えば半導体デバイスを検査する場合を例に挙げて説明する。なお、被検査物Sについては、半導体デバイスに限らず、X線検査が可能なものであればよく、特に限定されるものではない。
Claims (6)
- 被検査物が載置されるステージと、
前記被検査物に対してX線を照射するX線源と、
前記被検査物を透過したX線を検出するX線検出器と、
前記ステージと前記X線源との間に選択的に配置されて、前記X線のうち特定の波長域を吸収するフィルタと、
前記ステージと前記X線源との間に選択的に配置されて、前記X線のうち少なくとも一部又は全てを遮蔽する遮蔽板とを備え、
前記遮蔽板は、窓部を有すると共に、前記窓部から前記X線を通過させる位置と前記窓部以外の部分で前記X線を遮断する位置との間で挿脱自在に配置され、且つ、前記窓部を移動させることによって、前記被検査物に対する前記X線の照射位置が変更可能であり、
前記フィルタは、前記X線のうち互いに異なる波長域を吸収する複数のフィルタ板を有し、
前記複数のフィルタ板は、それぞれ前記窓部と重なる位置と重ならない位置との間で挿脱自在に配置され、且つ、それぞれを前記窓部と重なる位置に選択的に移動させることによって、前記被検査物に照射される前記X線の波長域が変更可能であることを特徴とするX線検査装置。 - 前記ステージを面内で移動させるステージ移動機構を備えることを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記X線源は、前記X線を拡散した状態で照射することを特徴とする請求項1又は2に記載のX線検査装置。
- 前記X線検出器は、前記ステージを挟んで前記X線源と対向する位置に配置されると共に、その検出面が前記X線源から照射されるX線の軸線方向に対して垂直に配置されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のX線検査装置。
- 前記X線検出器は、前記ステージを挟んで前記X線源と対向する位置の周辺に配置されると共に、その検出面が前記X線源から照射されるX線の軸線方向に対して斜めに配置されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のX線検査装置。
- 前記X線検出器を周方向に回転させる検出器回転機構を備えることを特徴とする請求項5に記載のX線検査装置。
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