KR20160137286A

KR20160137286A - 이물 제거 장치 및 방법

Info

Publication number: KR20160137286A
Application number: KR1020150092961A
Authority: KR
Inventors: 김현우; 조상연; 고정환; 정의승
Original assignee: 한국항공우주연구원
Priority date: 2015-05-22
Filing date: 2015-06-30
Publication date: 2016-11-30
Also published as: KR101749400B1

Abstract

일 실시예에 따른 이물 제거 장치는, 본체; 및 상기 본체의 외주면에 장착되어 방사상 방향으로 연장되는 적어도 두 개의 날개 부재;를 포함하고, 상기 적어도 두 개의 날개 부재에는 고압 가스 분사 노즐 및 진공 흡입 노즐이 각각 구비되고, 상기 고압 가스 분사 노즐이 구비된 날개 부재 및 상기 진공 흡입 노즐이 구비된 날개 부재는 교대로 배치될 수 있다.

Description

이물 제거 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR REMOVING FOREIGN SUBSTANCE}

본 발명은 이물 제거 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 밀폐 공간에 이물을 위치시킨 후 효율적으로 이물을 제거할 수 있는 이물 제거 장치 및 방법에 관한 것이다.

기계 부품 표면에 존재하는 이물 제거 방법에는 고압의 기체/액체 분사, 초음파, 레이저 충격파, CO₂ snow를 이용한 방법 등이 있다.

고압의 기체/액체 분사 방법이나 초음파 방법은 주로 기계 부품의 전체 표면을 세척하기 위해 사용되는 방법이다.

레이저 충격파나 CO₂ snow는 비용이 높고 시간이 오래 걸리므로 대면적의 세척보다는 주로 국소적인 이물의 제거에 사용된다.

이와 같이 기계 부품의 경우 대부분 기체/액체 분사 방법이나 초음파 세척 방법을 이용하여 세척을 하는 것으로 이물 제거가 끝난다.

그러나 항공우주분야와 같은 정밀 기계 부품의 경우 세척 후 제거되지 않고 남아있는 이물에 의해 고장이 발생할 수 있으므로 세척 후 검사가 필요하며, 검사 결과 이물이 남아있는 경우 이를 제거하는 것이 필요하다.

세척 후 남아있는 이물은 소량이기 때문에 고압의 기체/액체 분사나 초음파를 이용한 부품 전체에 대한 세척은 남아있는 이물의 완벽한 제거도 어렵다. 세척 후 국소적으로 남아있는 이물의 제거는 레이저 충격파나 CO₂ snow 방법이 적합하지만, 장비의 특성상 복잡한 형상의 기계 부품 내부 표면 이물 제거에는 적용이 어렵다. 또한 표면에서 떨어진 이물이 다른 표면에 재부착될 가능성이 큰 문제점도 가지고 있다.

따라서, 항공우주분야에서 이물 제거에 대하여 다양하게 연구되고 있다.

예를 들어, 2002년 10월 23일에 출원된, KR2001-0064844에서는 '항공기의 외부이물 제거장치'에 대하여 개시되어 있다.

일 실시예에 따른 목적은 밀폐 공간에 이물을 위치시킨 상태에서 검사 대상으로부터 이물을 분리시키고, 상기 검사 대상으로부터 분리된 이물을 진공으로 흡입하여 검사 대상의 표면에 이물이 재부착되는 것을 방지할 수 있는 이물 제거 장치 및 방법을 제공하는 것이다.

일 실시예에 따른 목적은 고압 가스 공급 라인, 진공 흡입 라인 및 검출 신호 라인이 유연한 재질로 마련되어 검사 대상 내 자유로운 움직임이 가능한 이물 제거 장치 및 방법을 제공하는 것이다.

일 실시예에 따른 목적은 검사 대상의 특성에 따라 날개의 개수 및 날개에 구비된 고압 가스 분사 노즐 및 진공 흡입 노즐의 개수를 조절할 수 있고, 고압 가스 분사 노즐이 구비된 날개 및 진공 흡입 노즐이 구비된 날개를 각각 2개 이상씩 사용할 경우, 본체 주위 전 방향에서 이물을 제거할 수 있는 이물 제거 장치 및 방법을 제공하는 것이다.

일 실시예에 따른 목적은 날개 부재의 양측면으로부터 고압 가스를 분사 또는 흡입하도록 고압 가스 분사 노즐 또는 진공 흡입 노즐이 날개 부재 상에 대칭되게 배치되어, 고압 가스 분사 시 반발력에 의한 진동을 감소시킬 수 있고, 이물 제거 시 장치의 거동을 안정적으로 할 수 있는 이물 제거 장치 및 방법을 제공하는 것이다.

일 실시예에 따른 목적은 소형화가 가능하여 복잡한 형상을 갖는 검사 대상의 이물 제거를 용이하게 할 수 있는 이물 제거 장치 및 방법을 제공하는 것이다.

일 실시예에 따른 목적은 항공우주분야의 정밀 기계 부품에서 이물을 확실히 제거하여 이물에 의한 고장의 발생을 방지할 수 있고 정밀 기계 부품에 대한 재세척이 요구되지 않을 수 있는 이물 제거 장치 및 방법을 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 일 실시예에 따른 이물 제거 장치는, 본체; 및 상기 본체의 외주면에 장착되어 방사상 방향으로 연장되는 적어도 두 개의 날개 부재;를 포함하고, 상기 적어도 두 개의 날개 부재에는 고압 가스 분사 노즐 및 진공 흡입 노즐이 각각 구비되고, 상기 고압 가스 분사 노즐이 구비된 날개 부재 및 상기 진공 흡입 노즐이 구비된 날개 부재는 교대로 배치될 수 있다.

일 측에 의하면, 상기 적어도 두 개의 날개 부재는, 상기 고압 가스 분사 노즐이 구비된 제1 날개 부재; 상기 제1 날개 부재로부터 이격 배치되어, 상기 진공 흡입 노즐이 구비된 제2 날개 부재; 상기 제1 날개 부재와 상기 본체를 중심으로 서로 대칭되게 배치되어, 상기 고압 가스 분사 노즐이 구비된 제3 날개 부재; 및 상기 제2 날개 부재와 상기 본체를 중심으로 서로 대칭되게 배치되어, 상기 진공 흡입 노즐이 구비된 제4 날개 부재;를 포함할 수 있다.

일 측에 의하면, 상기 고압 가스 분사 노즐 또는 상기 진공 흡입 노즐은 상기 날개 부재 상에 상기 본체의 외주면으로부터 방사상 방향으로 향하는 면에 대하여 대칭되게 구비되어, 상기 날개 부재의 양 측면으로부터 고압 가스를 분사 또는 흡입할 수 있다.

일 측에 의하면, 상기 본체의 길이방향에 대하여 수직하는 방향으로 상기 적어도 두 개의 날개 부재의 양측에 장착된 차단 부재를 더 포함할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 일 실시예에 따른 이물 제거 장치는, 검사 대상 내 이물의 존재를 검출하는 이물 검출부; 및 상기 이물 검출부의 외주면에 장착되어 상기 검사 대상으로부터 이물을 제거하는 이물 제거부;를 포함하고, 상기 이물 제거부에 의해 상기 이물은 밀폐 공간 내에 위치된 상태에서 상기 검사 대상으로부터 제거될 수 있다.

일 측에 의하면, 상기 이물 제거부는, 상기 이물을 제거할 수 있도록 상기 이물에 고압 가스를 분사하는 고압 가스 분사 요소; 및 상기 고압 가스 분사 요소로부터 이격 배치되어, 상기 고압 가스에 의해 상기 검사 대상으로부터 제거된 이물을 흡입하는 진공 흡입 요소;를 포함할 수 있다.

일 측에 의하면, 상기 이물 제거부는, 상기 검사 대상, 상기 고압 가스 분사 요소 및 상기 진공 흡입 요소 사이에 상기 밀폐 공간을 형성하도록 마련된 이물 이동 차단 요소;를 더 포함할 수 있다.

일 측에 의하면, 상기 이물 제거부는, 상기 고압 가스 분사 요소에 고압 가스를 공급하는 고압 가스 공급 라인; 및 상기 검사 대상으로부터 제거된 이물을 상기 진공 흡입 요소로부터 흡입하는 진공 흡입 라인;을 더 포함할 수 있다.

일 측에 의하면, 상기 이물 제거부는 복수 개의 고압 가스 분사 요소 및 복수 개의 진공 흡입 요소를 포함하고, 상기 복수 개의 고압 가스 분사 요소 및 상기 복수 개의 진공 흡입 요소는 각각 상기 이물 검출부를 중심으로 대칭되게 배치되고, 상기 고압 가스 분사 요소 및 상기 진공 흡입 요소는 상기 이물 검출부 상에 교대로 배치될 수 있다.

일 측에 의하면, 상기 복수 개의 고압 가스 분사 요소는 상기 이물을 향하여 고압 가스를 분사하고, 상기 복수 개의 진공 흡입 요소는 인접한 상기 복수 개의 고압 가스 분사 요소로부터 분사된 고압 가스 및 상기 검사 대상으로부터 분리된 이물을 흡입할 수 있다.

일 측에 의하면, 상기 검사 대상은 관형으로 마련되고, 상기 이물 이동 차단 요소는 상기 검사 대상의 단면에 대응되는 원형 또는 다각형 형상으로 마련될 수 있다.

일 측에 의하면, 상기 이물 이동 차단 요소는 복수 개로 마련되고, 상기 복수 개의 이물 이동 차단 요소는 상기 검사 대상의 길이방향을 따라 이격 배치될 수 있다.

일 측에 의하면, 상기 이물 검출부에는 상기 이물 검출부에 의해 검출된 신호를 전달하는 검출 신호 라인이 연결될 수 있다.

일 측에 의하면, 상기 이물 검출부는 내시경 또는 이미지 센서로 마련되고, 상기 내시경 또는 이미지 센서에는 조명 요소가 구비되어, 상기 이물에 의한 조명 요소의 산란 신호 이미지를 획득함으로써 상기 이물의 존재가 검출될 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 일 실시예에 따른 이물 검출 방법은, 이물 검출부 및 이물 제거부를 포함하는 이물 제거 장치가 검사 대상에 제공되는 단계; 상기 이물 검출부에 의해 상기 검사 대상에 존재하는 이물이 검출되는 단계; 상기 이물 제거 장치가 상기 이물에 인접하게 이송되는 단계; 및 상기 이물 제거부에 의해 상기 이물이 검사 대상으로부터 제거되는 단계;를 포함하고, 상기 이물은 상기 이물 제거부에 의한 진공 흡입을 통해 상기 검사 대상으로부터 제거될 수 있다.

일 측에 의하면, 상기 이물 제거 장치가 상기 이물에 인접하게 이송되는 단계에서, 상기 이물은 상기 이물 제거부에 의해 밀폐 공간에 위치될 수 있다.

일 측에 의하면, 상기 이물 제거부에 의해 상기 이물이 검사 대상으로부터 제거되는 단계에서, 상기 이물은 상기 이물 제거부로부터 분사되는 고압 가스에 의해 상기 검사 대상으로부터 분리된 후에 상기 진공 흡입을 통해 상기 검사 대상으로부터 제거될 수 있다.

일 측에 의하면, 상기 이물 제거부에 의해 상기 이물이 검사 대상으로부터 제거되는 단계 이후에, 상기 이물 검출부에 의해 상기 이물의 제거가 확인되는 단계를 더 포함할 수 있다.

일 실시예에 따른 이물 제거 장치 및 방법에 의하면, 밀폐 공간에 이물을 위치시킨 상태에서 검사 대상으로부터 이물을 분리시키고, 상기 검사 대상으로부터 분리된 이물을 진공으로 흡입하여 검사 대상의 표면에 이물이 재부착되는 것을 방지할 수 있다.

일 실시예에 따른 이물 제거 장치 및 방법에 의하면, 고압 가스 공급 라인, 진공 흡입 라인 및 검출 신호 라인이 유연한 재질로 마련되어 검사 대상 내 자유로운 움직임이 가능하다.

일 실시예에 따른 이물 제거 장치 및 방법에 의하면, 검사 대상의 특성에 따라 날개의 개수 및 날개에 구비된 고압 가스 분사 노즐 및 진공 흡입 노즐의 개수를 조절할 수 있고, 고압 가스 분사 노즐이 구비된 날개 및 진공 흡입 노즐이 구비된 날개를 각각 2개 이상씩 사용할 경우, 본체 주위 전 방향에서 이물을 제거할 수 있다.

일 실시예에 따른 이물 제거 장치 및 방법에 의하면, 고압 가스 분사 노즐 또는 진공 흡입 노즐이 날개 부재 상에 대칭되게 배치되어 고압 가스 분사 시 반발력에 의한 진동을 감소시킬 수 있고, 이물 제거 시 장치의 거동을 안정적으로 할 수 있다.

일 실시예에 따른 이물 제거 장치 및 방법에 의하면, 소형화가 가능하여 복잡한 형상을 갖는 검사 대상의 이물 제거를 용이하게 할 수 있다.

일 실시예에 따른 이물 제거 장치 및 방법에 의하면, 항공우주분야의 정밀 기계 부품에서 이물을 확실히 제거하여 이물에 의한 고장의 발생을 방지할 수 있고 정밀 기계 부품에 대한 재세척이 요구되지 않을 수 있다.

도 1을 일 실시예에 따른 이물 제거 장치를 도시한다.
도 2(a) 내지 (c)는 일 실시예에 따른 이물 제거 장치에서 본체의 다양한 실시예를 도시한다.
도 3은 일 실시예에 따른 이물 제거 장치에서 날개 부재를 상세히 도시한다.
도 4(a) 내지 (c)는 일 실시예에 따른 이물 제거 장치에서 날개 부재 및 차단 부재의 다양한 실시예를 도시한다.
도 5는 일 실시예에 따른 이물 제거 방법을 나타내는 순서도이다.
도 6은 검사 대상으로부터 이물이 제거되는 과정을 도시한다.
도 7(a) 및 (b)는 본체에 의해 이물의 존재가 검출된 영상 및 이물의 제거가 확인된 영상을 도시한다.

이하, 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.

또한, 실시예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.

도 1을 일 실시예에 따른 이물 제거 장치를 도시하고, 도 2(a) 내지 (c)는 일 실시예에 따른 이물 제거 장치에서 본체의 다양한 실시예를 도시하고, 도 3은 일 실시예에 따른 이물 제거 장치에서 날개 부재를 상세히 도시하고, 도 4(a) 내지 (c)는 일 실시예에 따른 이물 제거 장치에서 날개 부재 및 차단 부재의 다양한 실시예를 도시한다.

도 1을 참조하여, 일 실시예에 따른 이물 제거 장치(10)는 본체(100), 날개 부재(200) 및 차단 부재(300)를 포함할 수 있다.

상기 본체(100)는 이물 제거가 요구되는 검사 대상의 내부 공간에 삽입 가능한 형상으로 마련될 수 있다.

이때, 검사 대상은 일반적인 기계 부품 표면이 될 수 있으며, 특히 항공우주분야의 기계 부품 표면이 될 수 있다. 예를 들어, 검사 대상은 항공우주분야의 정밀 기계 부품으로 될 수 있다.

이와 같이 일 실시예에 따른 이물 제거 장치(10)는 항공우주분야에서 복잡한 형상을 구비하는 기계 부품의 내부에 국소적으로 존재하는 이물을 제거하기 위해 이용될 수 있다.

이하에서는 검사 대상이 관형으로 마련된 기계 부품인 경우를 예로 들어 설명하기로 한다.

도 1에는 본체(100)가 원기둥 형상으로 마련된 것으로 도시되었으나, 본체(100)의 형상은 이에 국한되지 아니하며, 본체(100)의 형상 및 크기는 다양하게 마련될 수 있다.

예를 들어, 검사 대상의 내부 공간이 넓은 경우, 본체(100)의 크기는 상대적으로 크게 형성될 수 있고, 검사 대상의 내부 공간이 좁은 경우, 본체(100)의 크기는 상대적으로 작게 형성될 수 있다.

또한, 구체적으로 도시되지는 않았으나, 본체(100)의 외주면에는 날개 부재(200)의 탈부착을 위한 홈이 형성되어, 본체(100)에 장착되는 날개 부재(200)를 용이하게 변경시킬 수 있다.

도 2(a) 내지 (c)를 참조하여, 본체(100)는 내시경(102) 또는 이미지 센서(104)를 포함할 수 있다.

도 2(a)를 참조하여, 본체(100)가 내시경(102), 예를 들어 산업용 내시경을 포함하는 경우, 내시경에 구비된 조명 요소(미도시)는 도 2(a)에 도시된 화살표 방향으로 이물(T)을 향하여 조사할 수 있다.

이때, 본체(100)는 조명 요소에 의한 조명과 검사 대상(S)의 표면이 이루는 각도(θ)를 작게 하여 이물(T)에 의한 조명의 산란 신호 이미지를 획득할 수 있다.

또한, 도 2(b)를 참조하여, 본체(100)가 카메라와 같은 이미지 센서(104)를 포함하는 경우, 상기 이미지 센서(104)에 별도의 조명 요소(106)가 장착될 수 있다.

상기 조명 요소(106)는 예를 들어, 발광 다이오드 또는 레이저 등으로 마련될 수 있으며, 조명 요소(106)에 의한 조명과 검사 대상(S)의 표면이 이루는 각도(θ)를 작게 하여 이물(T)에 의한 조명의 산란 신호 이미지를 획득할 수 있다.

마지막으로, 도 2(c)를 참조하여, 본체(100)가 카메라와 같은 이미지 센서(104)를 포함하는 경우, 상기 이미지 센서(104)에 별도의 조명 요소(108)가 장착될 수 있다.

상기 조명 요소(108)는 광원(1082) 및 광섬유(1084)를 포함할 수 있다. 이때, 광원(1082)은 LED 램프 등으로 마련될 수 있으며, 광원(1082)에서 방출된 빛은 광섬유(1084)를 통하여 이미지 센서(104)에 전달될 수 있다.

이때, 도 2(a) 및 (b)와 마찬가지로, 조명 요소(108)에 의한 조명과 검사 대상(S)의 표면이 이루는 각도(θ)를 작게 하여 이물(T)에 의한 조명의 산란 신호 이미지를 획득할 수 있다.

특히 도 2(c)의 경우, 광섬유(1084)를 활용함으로써, 검사 대상(S)의 내부 공간이 작은 경우 유용하게 활용될 수 있다.

또한, 본체(100)에는 검출 신호 라인(A)이 연결되어, 본체(100)의 내시경(102) 또는 이미지 센서(104)로부터 획득된 검출 신호를 작업자 또는 외부에 전달할 수 있다.

구체적으로, 검출 신호 라인(A)을 통하여 이물의 존재가 검출되는 신호가 전달되는 경우, 작업자는 원격으로 일 실시예에 따른 이물 제거 장치(10), 예를 들어 본체(100)를 이물에 근접하게 이송시킬 수 있다. 그런 다음, 일 실시예에 따른 이물 제거 장치(10)에 의해 검사 대상(S)으로부터 이물이 제거될 수 있다. 마지막으로, 내시경(102) 또는 이미지 센서(104)를 통하여 이물의 제거 여부를 확인할 수 있다. 이에 의하여, 검사 대상(S)으로부터 이물을 확실하게 제거할 수 있다.

전술된 바와 같이 구성된 본체(100)의 외주면에는 적어도 두 개의 날개 부재(200)가 장착될 수 있다.

상기 날개 부재(200)는 검사 대상으로부터 이물을 분리시킨 다음, 검사 대상으로부터 분리된 이물을 흡입하여 검사 대상으로부터 이물을 완전히 제거하는 역할을 할 수 있다.

특히 도 3을 더 참조하여, 상기 적어도 두 개의 날개 부재(200)는 예를 들어 직육면체 형상으로 마련될 수 있다.

그러나 날개 부재(200)의 형상이 이에 국한되는 것은 아니며, 검사 대상의 특성에 따라서 다른 형상으로 마련될 수 있음은 당연하다.

구체적으로, 날개 부재(200)의 제1 면(200a)은 본체(100)의 외주면에 장착될 수 있으며, 날개 부재(200)의 제2 면(200b)은 제1 면(200a)과 마주보도록 형성될 수 있고, 제2 면(200b)은 본체(100)의 외주면으로부터 방사상 방향으로 연장된 위치에 배치될 수 있다.

날개 부재(200)의 제3 면(200c)은 제1 면(200a)과 제2 면(200b)의 마주보는 일 측을 연결한 면으로서, 제3 면(200c)에는 후술하게 될 고압 가스 분사 노즐 또는 진공 흡입 노즐이 구비될 수 있다. 날개 부재(200)의 제4 면(200d)은 제3 면(200c)과 마주보도록 형성될 수 있고, 제3 면(200c)과 마찬가지로 고압 가스 분사 노즐 또는 진공 흡입 노즐이 구비될 수 있다. 이때, 제3 면(200c)에 고압 가스 분사 노즐이 구비되는 경우, 제4 면(200d) 또한 고압 가스 분사 노즐이 구비될 수 있고, 제3 면(200c)에 진공 흡입 노즐이 구비되는 경우, 제4 면(200d) 또한 진공 흡입 노즐이 구비될 수 있다.

또한, 날개 부재(200)의 제3 면(200c) 및 제4 면(200d)에서는 동시적으로 고압 가스가 분사될 수 있다. 이때, 반발력에 의한 일 실시예에 따른 이물 제거 장치(10)의 진동을 감소시키기 위하여, 제3 면(200c) 및 제4 면(200d)에 구비된 고압 가스 분사 노즐(212, 232)이 대칭되게 구비될 수 있다.

구체적으로, 제3 면(200c) 및 제4 면(200d)에는 본체(100)의 외주면으로부터 방사상 방향으로 연장하는 면을 기준으로 대칭되게 날개 부재(200) 상에 구비될 수 있으며, 제5 면(200e)을 통해 공급된 고압 가스가 제3 면(200c) 및 제4 면(200d)에 구비된 고압 가스 분사 노즐(212, 232)에 균일하게 분배되어, 제3 면(200c) 및 제4 면(200d)으로부터 동일한 양의 고압 가스가 분사될 수 있다.

이때, 제3 면(200c)에 구비된 고압 가스 분사 노즐(212, 232)은 제3 면(200c)으로부터 수직하는 방향으로 고압 가스를 분사하도록 형성되거나 제3 면(200c)으로부터 경사진 방향으로 고압 가스를 분사하도록 형성될 수 있으며, 제4 면(200d)에 구비된 고압 가스 분사 노즐(212, 232) 또한 제3 면(200c)에 구비된 고압 가스 분사 노즐(212, 232)과 마찬가지로 구비될 수 있다.

더 나아가, 제3 면(200c) 및 제4 면(200d)에 진공 흡입 노즐(222, 242)이 구비되는 경우, 고압 가스 분사 노즐(212, 232)과 마찬가지로 서로 대칭되게 날개 부재(200) 상에 구비될 수 있다. 이에 의해, 제3 면(200c) 및 제4 면(200d)에서의 흡입력이 동일하게 될 수 있으므로, 이물 제거 시에 날개 부재(200)가 보다 안정적으로 유지될 수 있다.

또한, 날개 부재(200)의 제5 면(200e)은 제1 면(200a), 제2 면(200b), 제3 면(200c) 및 4 면(200d)에 의해 둘러싸인 면으로서, 제5 면(200e)에는 후술하게 될 고압 가스 공급 라인(B) 또는 진공 흡입 라인(C)이 연결되어, 고압 가스 공급원(미도시)으로부터 고압 가스가 공급되거나, 진공 흡입기(미도시)에 의하여 고압 가스, 및 검사 대상으로부터 분리된 이물이 흡입될 수 있다. 이때, 제5 면(200e)에 연결된 고압 가스 공급 라인(B) 또는 진공 흡입 라인(C)은 날개 부재(200)를 관통하여, 고압 가스 분사 노즐(212, 232) 또는 진공 흡입 노즐(222, 242)과 연결될 수 있다. 날개 부재(200)의 제6 면(200f)은 제5 면(200e)과 마주보도록 형성될 수 있고, 폐쇄된 상태로 마련되어 제5 면(200e)을 통해 공급된 고압 가스가 외부에 누출되지 않고 고압 가스 분사 노즐(212, 232)을 통해서만 분사거나, 흡입된 이물 및 고압 가스가 진공 흡입 노즐(222, 242)을 통해서만 흡입될 수 있다.

추가적으로, 제2 면(200b)은 검사 대상의 내부 표면에 접촉할 수 있고, 제5 면(200e) 및 제6 면(200f)은 차단 부재(300)와 접촉할 수 있으며, 이에 대하여는 이하에서 보다 상세히 설명된다.

다시 도 1을 참조하여, 이와 같이 구성된 날개 부재(200)는 적어도 두 개로 마련될 수 있으며, 예를 들어, 제1 날개 부재(210), 제2 날개 부재(220), 제3 날개 부재(230) 및 제4 날개 부재(240)로 마련될 수 있다.

이때, 제1 날개 부재(210), 제2 날개 부재(220), 제3 날개 부재(230) 및 제4 날개 부재(240)는 본체(100)의 외주면 상에 이격 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 날개 부재(210), 제2 날개 부재(220), 제3 날개 부재(230) 및 제4 날개 부재(240)는 본체(100)의 외주면 상에 90도 간격으로 이격 배치될 수 있다.

또한, 고압 가스 분사 노즐(212, 232)이 구비된 날개 부재(210, 230)와 진공 흡입 노즐(222, 242)이 구비된 날개 부재(220, 240)는 서로 교대로 배치될 수 있다.

예를 들어, 상기 제1 날개 부재(210)에는 고압 가스 분사 노즐(212)이 구비되고, 상기 제2 날개 부재(220)에는 진공 흡입 노즐(222)이 구비되고, 상기 제3 날개 부재(230)에는 고압 가스 분사 노즐(232)이 구비되고, 상기 제4 날개 부재(240)에는 진공 흡입 노즐(242)이 구비될 수 있다.

이때, 고압 가스 분사 노즐(212)이 구비된 제1 날개 부재(210) 및 고압 가스 분사 노즐(232)이 구비된 제3 날개 부재(230)는 본체(100)를 중심으로 서로 대칭되게 배치될 수 있고, 진공 흡입 노즐(222)이 구비된 제2 날개 부재(220) 및 진공 흡입 노즐(242)이 구비된 제4 날개 부재(240)는 본체(100)를 중심으로 서로 대칭되게 배치될 수 있다.

이에 의해, 제1 날개 부재(210)의 고압 가스 분사 노즐(212)에서 분사된 고압 가스는 제2 날개 부재(220)의 일 측에 구비된 진공 흡입 노즐(222) 및 제4 날개 부재(240)의 일 측에 구비된 진공 흡입 노즐(242)에 의해 흡입될 수 있다. 그리고 제3 날개 부재(230)의 고압 가스 분사 노즐(232)에서 분사된 고압 가스는 제2 날개 부재(220)의 타 측에 구비된 진공 흡입 노즐(222) 및 제4 날개 부재(240)의 타 측에 구비된 진공 흡입 노즐(242)에 의해 흡입될 수 있다.

이와 같이, 제1 날개 부재(210) 및 제3 날개 부재(230)에 구비된 고압 가스 분사 노즐(212, 232)은 검사 대상의 표면에 존재하는 이물을 향하여 고압 가스를 분사하고, 제1 날개 부재(210) 및 제3 날개 부재(230)와 인접한 제2 날개 부재(220) 및 제4 날개 부재(240)에 구비된 진공 흡입 노즐(222, 242)을 통하여 고압 가스, 및 검사 대상으로부터 제거된 이물이 진공 흡입될 수 있다.

또한, 고압 가스 분사 노즐(212, 232) 및 진공 흡입 노즐(222, 242)은 날개 부재(200) 상에 각각 복수 개로 마련될 수 있다.

도 1에는 날개 부재(200)의 일 측면에 각각 세 개의 고압 가스 분사 노즐(212, 232) 및 진공 흡입 노즐(222, 242)이 구비된 것으로 도시되었으나, 이에 국한되지 아니하며, 고압 가스 분사 노즐(212, 232) 및 진공 흡입 노즐(222, 242)은 다양한 개수로 마련될 수 있다. 더 나아가, 고압 가스 분사 노즐(212, 232) 및 진공 흡입 노즐(222, 242)의 배치 또는 구성 또한 다양하게 마련될 수 있다.

전술된 바와 같이, 상기 고압 가스 분사 노즐(212, 232)에는 고압 가스 공급 라인(B)이 각각 연결되어, 화살표 방향으로 고압 가스가 공급될 수 있다. 그리고, 상기 진공 흡입 노즐(222, 242)에는 진공 흡입 라인(C)이 각각 연결되어, 화살표 방향으로 흡입될 수 있다.

이때, 검출 신호 라인(A), 고압 가스 공급 라인(B) 및 진공 흡입 라인(C)은 유연한 재질로 마련되어 일 실시예에 따른 이물 제거 장치(10)가 검사 대상의 내부 공간에서 자유로이 움직일 수 있고, 소형화가 가능하며, 복잡한 형상을 갖는 검사 대상의 경우에도 용이하게 이물을 제거할 수 있다.

또한, 본체(100)에는 차단 부재(300)가 장착될 수 있다.

상기 차단 부재(300)는 검사 대상 내에 존재하는 이물을 검사 대상 내 밀폐 공간에 위치시키는 역할을 할 수 있다. 이를 통하여 날개 부재(200)에 의해 검사 대상으로부터 분리된 이물의 이동을 차단할 수 있다.

구체적으로, 차단 부재(300)는 본체(100), 적어도 두 개의 날개 부재(200) 및 검사 대상의 표면이 밀폐 공간을 형성할 수 있도록 형성될 수 있다.

예를 들어, 상기 차단 부재(300)는 본체(100)의 길이방향에 대하여 수직하는 방향으로 본체(100)에 장착될 수 있다.

상기 차단 부재(300)는 복수 개로 마련될 수 있으며, 제1 차단 부재(310) 및 제2 차단 부재(320)를 포함할 수 있다.

상기 제1 차단 부재(310)는 본체(100)의 단부에 인접한 외주면에 장착되어, 예를 들어 날개 부재(200)의 제4 면(200d)에 접촉하도록 마련될 수 있다. 상기 제2 차단 부재(320)는 제1 차단 부재(310)로부터 본체(100)의 길이방향으로 이격 배치되어, 예를 들어 날개 부재(200)의 제3 면(200c)에 접촉하도록 마련될 수 있다.

또한, 검사 대상이 관형으로 마련된 경우, 제1 차단 부재(310) 및 제2 차단 부재(320)의 단면은 검사 대상의 단면 형상에 대응되도록 마련될 수 있으며, 예를 들어 원형 또는 다각형의 단면으로 될 수 있다. 그리고, 제1 차단 부재(310) 및 제2 차단 부재(320)는 서로 동일한 형상으로 마련될 수 있다.

이때, 차단 부재(300)는 검사 대상의 표면과 1mm 이하의 갖도록 마련될 수 있다. 이는 검사 대상으로부터 분리된 이물이 검사 대상의 내부 공간에서 이동되는 것을 방지하면서, 동시에 검사 대상의 내부 공간에서 일 실시예에 따른 이물 제거 장치(10)가 효율적으로 이송되게 하기 위함이다.

그러나, 차단 부재(300)의 형상은 이에 국한되지 아니하며, 이물의 이동을 차단할 수 있다면 어느 것이든지 가능하다.

예를 들어, 차단 부재(300)는 검사 대상의 단면 형상에 대응되도록 확장 또는 팽창 가능한 형상으로 마련될 수 있다.

이 경우, 일 실시예에 따른 이물 제거 장치(10)는 검사 대상의 내부 공간에서 이송될 때 차단 부재(300)가 접힌 상태에 있다가, 날개 부재(200)에 의해 이물이 검사 대상으로부터 분리 또는 제거될 때 펼쳐져 검사 대상으로부터 분리 또는 제거된 이물의 이동을 차단할 수 있다.

또한, 이에 의해 다양한 크기의 검사 대상에 대하여 적용 가능할 수 있다.

예를 들어, 검사 대상의 내부 공간이 좁은 경우, 차단 부재(300)의 팽창 또는 확장 정도 작고, 검사 대상의 내부 공간이 넓은 경우, 차단 부재(300)의 팽창 또는 확장 정도가 클 수 있다.

추가적으로, 이물의 이동을 효과적으로 차단하기 위하여, 본체(100)가 검사 대상의 내부 공간에 직선 이동 또는 회전 이동하여, 적어도 두 개의 날개 부재(200) 사이에 이물이 위치하게 할 수 있다.

다시 말해서, 적어도 두 개의 날개 부재(200) 사이에 이물이 위치된 후에, 차단 부재(300)에 의해 이물이 완전한 밀폐 공간에 위치될 수 있다.

도 4(a) 내지 (c)를 참조하여, 일 실시예에 따른 이물 제거 장치(10)에서 날개 부재(200) 및 차단 부재(300)는 다양하게 배치될 수 있다.

도 4(a)를 참조하여, 일 실시예에 따른 이물 제거 장치(10)는 두 개의 날개 부재(200)와 원형 단면을 구비하는 차단 부재(300)로 구성될 수 있다.

예를 들어, 두 개의 날개 부재(200)는 제1 날개 부재(210) 및 제2 날개 부재(220)로 마련될 수 있다.

상기 제1 날개 부재(210)에는 고압 가스 분사 노즐(212)이 구비될 수 있고, 제2 날개 부재(220)에는 진공 흡입 노즐(222)이 구비될 수 있다.

그리고, 제1 날개 부재(210) 및 제2 날개 부재(220)는 본체(100)를 중심으로 90도 간격으로 이격되어 본체(100)의 외주면에 장착될 수 있다.

또한, 차단 부재(300)는 본체(100)와 동심원으로 배치될 수 있으며, 차단 부재(300)의 반경은 날개 부재(200)가 본체(100)의 외주면으로부터 방사상 방향으로 연장된 길이에 대응되거나 약간 작게 형성될 수 있다.

이러한 날개 부재(200)와 차단 부재(300)의 배치에서는, 제1 날개 부재(210) 및 제2 날개 부재(220) 사이에 이물이 존재하는 경우, 상기 이물을 효율적으로 제거할 수 있다.

구체적으로, 제1 날개 부재(210)로부터 분사된 고압 가스에 의해 이물이 검사 대상으로부터 분리된 후에, 제2 날개 부재(220)로부터 이물 및 고압 가스가 흡입되어, 검사 대상으로부터 이물이 완전히 제거될 수 있다.

또한, 이물의 크기가 작고, 검사 대상에 밀착된 정도가 약한 경우, 제1 날개 부재(210)로부터 고압 가스가 분사되지 않고, 제2 날개 부재(220)부터 이물이 흡입됨으로써, 검사 대상으로부터 이물이 완전히 제거될 수 있다.

이에 의해 검사 대상으로부터 분리된 이물이 검사 대상에 재부착되는 것을 방지할 수 있다.

도 4(b)에 도시된 바와 같이, 일 실시예에 따른 이물 제거 장치(10)는 네 개의 날개 부재(200)와 원형 단면을 구비하는 차단 부재(300)로 구성될 수 있다.

예를 들어, 네 개의 날개 부재(200)는 제1 날개 부재(210), 제2 날개 부재(220), 제3 날개 부재(230) 및 제4 날개 부재(240)로 마련될 수 있다.

전술된 바와 같이, 제1 날개 부재(210)에는 고압 가스 분사 노즐(212)이 구비되고, 제2 날개 부재(220)에는 진공 흡입 노즐(222)이 구비되고, 제3 날개 부재(230)에는 고압 가스 분사 노즐(232)이 구비되고, 제4 날개 부재(240)에는 진공 흡입 노즐(242)이 구비될 수 있다. 이에 의해 고압 가스 분사 노즐(212, 232)이 구비된 날개 부재(210, 230)와 진공 흡입 노즐(222, 242)이 구비된 날개 부재(220, 240)가 서로 교대로 배치될 수 있다.

그리고, 제1 날개 부재(210), 제2 날개 부재(220), 제3 날개 부재(230) 및 제4 날개 부재(240)는 본체(100)를 중심으로 90도 간격으로 이격되어 본체(100)의 외주면에 장착될 수 있다.

이와 같이 본체(100)의 외주면으로부터 360도 방향으로 날개 부재(200)가 장착되어 본체(100) 주위의 전방향에서 이물을 제거할 수 있다.

또한, 제1 날개 부재(210) 및 제3 날개 부재(230)는 본체(100)를 중심으로 서로 대칭되게 배치되고, 제2 날개 부재(220) 및 제4 날개 부재(240)는 본체(100)를 중심으로 서로 대칭되게 배치될 수 있다.

이에 의해 제1 날개 부재(210)의 양측면에서 분사된 고압 가스는 제2 날개 부재(220)의 일 측 및 제4 날개 부재(240)의 일 측에서 흡입될 수 있고, 제3 날개 부재(230)의 양측면에서 분사된 고압 가스는 제2 날개 부재(220)의 타 측 및 제4 날개 부재(240)의 타 측에서 흡입될 수 있다.

다시 말해서 제1 날개 부재(210), 제2 날개 부재(220), 제3 날개 부재(230) 및 제4 날개 부재(240)에는 양측면으로 또는 양방향으로 고압 가스를 분사 또는 흡입할 수 있도록 고압 가스 분사 노즐(212, 232) 및 진공 흡입 노즐(222, 242)이 서로 대칭되게 구비될 수 있다.

이에 의하여 이물 제거 시 일 실시예에 따른 이물 제거 장치(10)의 거동이 보다 안정적으로 될 수 있다.

도 4(c)에 도시된 바와 같이, 일 실시예에 따른 이물 제거 장치(10)는 네 개의 날개 부재(200)와 사각형 단면을 구비하는 차단 부재(300)로 구성될 수 있다.

이때, 네 개의 날개 부재(210, 220, 230, 240)의 구성은 도 4(b)에 도시된 것과 동일하나, 차단 부재(300)의 형상은 도 4(b)에 도시된 것과 다르다.

전술된 바와 같이 차단 부재(300)는 검사 대상 내에 존재하는 이물의 이동을 차단할 수 있다면 어떠한 형상으로 될 수 있으므로, 도 4(c)에 도시된 바와 같이 사각형 단면을 구비할 수 있음은 당연하다.

또한, 일 실시예에 따른 이물 제거 장치(10)에서 본체(100), 날개 부재(200) 및 차단 부재(300)는 탈부착 가능한 구조로 마련될 수 있다.

이에 의해, 경우에 따라서, 본체(100)에 장착된 날개 부재(200)의 개수를 다양하게 할 수 있고, 차단 부재(300)의 형상 또한 다양하게 할 수 있다.

이러한 다양성은 검사 대상에 존재하는 이물의 효율적인 제거에 이로울 수 있다.

또한, 일 실시예에 따른 이물 제거 장치(10)는 이물 검출부 및 이물 제거부를 포함할 수 있다.

상기 이물 검출부는 검사 대상 내 이물의 존재를 검출할 수 있으며, 전술된 본체(100)에 대응될 수 있다.

상기 이물 제거부는 이물 검출부의 외주면에 장착되어 검사 대상으로부터 이물을 제거할 수 있으며, 전술된 날개 부재(200) 및 차단 부재(300)에 대응될 수 있다.

이때, 이물 제거부는, 이물을 제거할 수 있도록 이물에 고압 가스를 분사하는 고압 가스 분사 요소; 고압 가스에 의해 검사 대상으로부터 제거된 이물을 흡입하는 진공 흡입 요소; 및 검사 대상, 이물 검출부, 상기 고압 가스 분사 요소 및 상기 진공 흡입 요소 사이에 밀폐 공간을 형성하도록 마련된 이물 이동 차단 요소를 포함할 수 있다.

상기 고압 가스 분사 요소는 전술된 고압 가스 분사 노즐(212, 232)이 구비된 날개 부재(210, 230)에 대응되고, 상기 진공 흡입 요소는 전술된 진공 흡입 노즐(222, 242)이 구비된 날개 부재(220, 240)에 대응되며, 이물 이동 차단 요소는 전술된 차단부(300)에 대응될 수 있다.

이때, 이물 제거부에 의해 이물은 밀폐 공간에 위치된 상태에서 검사 대상으로부터 제거될 수 있으며, 고압 가스 분사 요소에서 분사된 고압 가스에 의해 검사 대상으로부터 이물이 분리된 후에 진공 흡입 요소에 의해 고압 가스 및 이물이 진공으로 흡입되어, 검사 대상으로부터 이물이 완전히 제거될 수 있다.

이상 일 실시예에 따른 이물 제거 장치에 대하여 설명되었으며, 이하에서는 전술된 일 실시예에 따른 이물 제거 장치를 활용한 일 실시예에 따른 이물 제거 방법에 대하여 설명하기로 한다.

도 5는 일 실시예에 따른 이물 제거 방법을 나타내는 순서도이고, 도 6은 검사 대상으로부터 이물이 제거되는 과정을 도시하고, 도 7(a) 및 (b)는 이물 검출부에 의해 이물의 존재가 검출된 영상 및 이물의 제거가 확인된 영상을 도시한다.

도 5 및 6을 참조하여, 검사 대상에 존재하는 이물은 다음과 같이 제거될 수 있다.

우선, 이물 검출부 및 이물 제거부를 포함하는 이물 제거 장치(10)가 검사 대상에 제공된다(S10).

상기 이물 제거 장치(10)는 전술된 일 실시예에 따른 이물 제거 장치에 대응될 수 있다.

예를 들어, 검사 대상(S)이 관형으로 마련된 경우, 이물 제거 장치(10)는 검사 대상(S)의 내부 공간에 제공될 수 있다.

그런 다음, 이물 검출부에 의해 상기 검사 대상(S)에 존재하는 이물(T)이 검출된다(S20).

이때, 이물 검출부는 예를 들어 내시경 또는 이미지 센서로 마련되고, 내시경 또는 이미지 센서에 조명 요소가 구비되어, 이물(T)에 의한 조명 요소의 산란 신호 이미지를 획득함으로써, 이물(T)의 존재가 검출될 수 있다.

구체적으로, 도 7(a)에 도시된 바와 같이, 이물의 존재가 작업자에게 영상 정보로서 제공될 수 있고, 그 이물이 존재하는 위치 정보에 대해서도 작업자에게 제공될 수 있다.

이어서, 상기 이물 제거 장치(10)가 이물(T)에 인접하게 이송된다(S30).

이때, 이물(T)은 이물 제거부에 의해 밀폐 공간에 위치될 수 있다. 다시 말해서, 이물 검출부, 이물 제거부 및 이물(T)이 존재하는 검사 대상(S)의 표면이 밀폐 공간을 형성될 수 있다.

이에 의해 이물 제거부에 의해 이물(T)이 검사 대상(S)으로부터 제거될 때, 검사 대상(S)의 다른 표면으로 이물(T)이 이동되는 것을 방지할 수 있으며, 이물(T)을 검사 대상(S)으로부터 효율적으로 제거할 수 있다.

이후, 이물 제거부에 의해 이물(T)이 검사 대상(S)으로부터 제거된다(S40).

구체적으로, 이물(T)은 이물 제거부에서 분사되는 고압 가스에 의해 검사 대상(S)으로부터 분리된 후에, 이물 제거부에 의한 진공 흡입을 통해 검사 대상(S)으로부터 완전히 제거될 수 있다.

또는, 이물 제거부에서 분사되는 고압 가스가 분사되지 않고, 이물이 이물 제거부에 의한 진공 흡입을 통해서만 검사 대상(S)으로부터 제거될 수 있다.

마지막으로, 상기 이물 검출부에 의해 상기 이물(T)의 제거가 확인된다(S50).

이때, 이물 제거 장치(10)를 이물(T)이 검출되었던 지점으로부터 후퇴시킨 후에, 상기 지점을 조명으로 조사함으로써 이물(T)의 제거가 확인될 수 있다.

이는 이물 검출부에 의해 이물의 존재를 검출하는 것과 유사하게 수행될 수 있다.

구체적으로, 도 7(b)에 도시된 바와 같이, 이물이 완전히 제거된 상태에서는 이물에 의해 빛이 산란되지 않으므로, 깨끗한 영상 정보가 작업자에게 전달될 수 있다.

이러한 이물 제거 확인을 통하여 검사 대상으로부터 이물 제거를 보다 확실하게 할 수 있다. 항공우주분야의 정밀 기계 부품에서 이물을 확실히 제거하여 이물에 의한 고장의 발생을 방지할 수 있고 정밀 기계 부품에 대한 재세척이 요구되지 않을 수 있다.

이상과 같이 본 발명의 실시예에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.

10: 이물 제거 장치
100: 본체
102: 내시경
104: 이미지 센서
106, 108: 조명 요소
1082: 광원
1084: 광섬유
200: 날개 부재
200a: 제1 면
200b: 제2 면
200c: 제3 면
200d: 제4 면
200e: 제5 면
200f: 제6 면
210: 제1 날개 부재
212: 고압 가스 분사 노즐
220: 제2 날개 부재
222: 진공 흡입 노즐
230: 제3 날개 부재
232: 고압 가스 분사 노즐
240: 제4 날개 부재
242: 진공 흡입 노즐
300: 차단 부재
310: 제1 차단 부재
320: 제2 차단 부재
A: 검출 신호 라인
B: 고압 가스 공급 라인
C: 진공 흡입 라인

Claims

본체; 및
상기 본체의 외주면에 장착되어 방사상 방향으로 연장되는 적어도 두 개의 날개 부재;
를 포함하고,
상기 적어도 두 개의 날개 부재에는 고압 가스 분사 노즐 및 진공 흡입 노즐이 각각 구비되고,
상기 고압 가스 분사 노즐이 구비된 날개 부재 및 상기 진공 흡입 노즐이 구비된 날개 부재는 교대로 배치되는 이물 제거 장치.
제1항에 있어서,
상기 적어도 두 개의 날개 부재는,
상기 고압 가스 분사 노즐이 구비된 제1 날개 부재;
상기 제1 날개 부재로부터 이격 배치되어, 상기 진공 흡입 노즐이 구비된 제2 날개 부재;
상기 제1 날개 부재와 상기 본체를 중심으로 서로 대칭되게 배치되어, 상기 고압 가스 분사 노즐이 구비된 제3 날개 부재; 및
상기 제2 날개 부재와 상기 본체를 중심으로 서로 대칭되게 배치되어, 상기 진공 흡입 노즐이 구비된 제4 날개 부재;
를 포함하는 이물 제거 장치.
제2항에 있어서,
상기 고압 가스 분사 노즐 또는 상기 진공 흡입 노즐은 상기 날개 부재 상에 상기 본체의 외주면으로부터 방사상 방향으로 향하는 면에 대하여 대칭되게 구비되어, 상기 날개 부재의 양 측면으로부터 고압 가스를 분사 또는 흡입하는 이물 제거 장치.
제1항에 있어서,
상기 본체의 길이방향에 대하여 수직하는 방향으로 상기 적어도 두 개의 날개 부재의 양측에 장착된 차단 부재를 더 포함하는 이물 제거 장치.
검사 대상 내 이물의 존재를 검출하는 이물 검출부; 및
상기 이물 검출부의 외주면에 장착되어 상기 검사 대상으로부터 상기 이물을 제거하는 이물 제거부;
를 포함하고,
상기 이물 제거부에 의해 상기 이물은 밀폐 공간 내에 위치된 상태에서 상기 검사 대상으로부터 제거되는 이물 제거 장치.
제5항에 있어서,
상기 이물 제거부는,
상기 이물을 제거할 수 있도록 상기 이물에 고압 가스를 분사하는 고압 가스 분사 요소; 및
상기 고압 가스 분사 요소로부터 이격 배치되어, 상기 고압 가스에 의해 상기 검사 대상으로부터 제거된 이물을 흡입하는 진공 흡입 요소;
를 포함하는 이물 제거 장치.
제6항에 있어서,
상기 이물 제거부는,
상기 검사 대상, 상기 고압 가스 분사 요소 및 상기 진공 흡입 요소 사이에 상기 밀폐 공간을 형성하도록 마련된 이물 이동 차단 요소;
를 더 포함하는 이물 제거 장치.
제6항에 있어서,
상기 이물 제거부는,
상기 고압 가스 분사 요소에 고압 가스를 공급하는 고압 가스 공급 라인; 및
상기 검사 대상으로부터 제거된 이물을 상기 진공 흡입 요소로부터 흡입하는 진공 흡입 라인;
을 더 포함하는 이물 제거 장치.
제6항에 있어서,
상기 이물 제거부는 복수 개의 고압 가스 분사 요소 및 복수 개의 진공 흡입 요소를 포함하고,
상기 복수 개의 고압 가스 분사 요소 및 상기 복수 개의 진공 흡입 요소는 각각 상기 이물 검출부를 중심으로 대칭되게 배치되고, 상기 고압 가스 분사 요소 및 상기 진공 흡입 요소는 상기 이물 검출부 상에 교대로 배치되는 이물 제거 장치.
제9항에 있어서,
상기 복수 개의 고압 가스 분사 요소는 상기 이물을 향하여 고압 가스를 분사하고, 상기 복수 개의 진공 흡입 요소는 인접한 상기 복수 개의 고압 가스 분사 요소로부터 분사된 고압 가스 및 상기 검사 대상으로부터 분리된 이물을 흡입하는 이물 제거 장치.
제5항에 있어서,
상기 검사 대상은 관형으로 마련되고, 상기 이물 이동 차단 요소는 상기 검사 대상의 단면에 대응되는 원형 또는 다각형 형상으로 마련되는 이물 제거 장치.
제7항에 있어서,
상기 이물 이동 차단 요소는 복수 개로 마련되고, 상기 복수 개의 이물 이동 차단 요소는 상기 검사 대상의 길이방향을 따라 이격 배치되는 이물 제거 장치.
제5항에 있어서,
상기 이물 검출부에는 상기 이물 검출부에 의해 검출된 신호를 전달하는 검출 신호 라인이 연결되는 이물 제거 장치.
제5항에 있어서,
상기 이물 검출부는 내시경 또는 이미지 센서로 마련되고, 상기 내시경 또는 이미지 센서에는 조명 요소가 구비되어, 상기 이물에 의한 조명 요소의 산란 신호 이미지를 획득함으로써 상기 이물의 존재가 검출되는 이물 제거 장치.
이물 검출부 및 이물 제거부를 포함하는 이물 제거 장치가 검사 대상에 제공되는 단계;
상기 이물 검출부에 의해 상기 검사 대상에 존재하는 이물이 검출되는 단계;
상기 이물 제거 장치가 상기 이물에 인접하게 이송되는 단계; 및
상기 이물 제거부에 의해 상기 이물이 검사 대상으로부터 제거되는 단계;
를 포함하고,
상기 이물은 상기 이물 제거부에 의한 진공 흡입을 통해 상기 검사 대상으로부터 제거되는 이물 제거 방법.
제15항에 있어서,
상기 이물 제거 장치가 상기 이물에 인접하게 이송되는 단계에서, 상기 이물은 상기 이물 제거부에 의해 밀폐 공간에 위치되는 이물 제거 방법.
제15항에 있어서,
상기 이물 제거부에 의해 상기 이물이 검사 대상으로부터 제거되는 단계에서, 상기 이물은 상기 이물 제거부로부터 분사되는 고압 가스에 의해 상기 검사 대상으로부터 분리된 후에 상기 진공 흡입을 통해 상기 검사 대상으로부터 제거되는 이물 제거 방법.
제15항에 있어서,
상기 이물 제거부에 의해 상기 이물이 검사 대상으로부터 제거되는 단계 이후에, 상기 이물 검출부에 의해 상기 이물의 제거가 확인되는 단계를 더 포함하는 이물 제거 방법.