JP6981327B2 - 流体噴射装置 - Google Patents
流体噴射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6981327B2 JP6981327B2 JP2018055181A JP2018055181A JP6981327B2 JP 6981327 B2 JP6981327 B2 JP 6981327B2 JP 2018055181 A JP2018055181 A JP 2018055181A JP 2018055181 A JP2018055181 A JP 2018055181A JP 6981327 B2 JP6981327 B2 JP 6981327B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- shroud
- injection
- liquid nitrogen
- injection device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Description
2 液体窒素噴射システム
2a 噴射ユニット
2b 液体窒素供給部
3 シュラウド
4 ブラシ部(摺動部)
5 可撓性遮蔽部材
5a シート部材
5b 角部シート部材
5c 平部シート部材
6 回収ユニット
6a 吸引ホース
6b 回収部
6b1 集塵機(排気装置)
X 処理対象物
Y 気体
Claims (4)
- 噴射ユニットから処理対象物に流体を噴射すると共に噴射した流体を回収する流体噴射装置であって、
噴射ユニットから噴射される前記流体の噴出経路を囲み、前記流体の噴射方向に向けて開口されたシュラウドと、
前記シュラウドを外側から囲って配置されると共に前記シュラウドの移動に伴って前記処理対象物の表面に摺動される摺動部と、
前記摺動部を外側から囲って配置されると共に気体遮蔽性を有する可撓性遮蔽部材と、 前記シュラウドの内部を排気する排気装置と
を備え、
前記可撓性遮蔽部材は、前記噴射ユニットを中心とする周方向にて、隣接する縁部同士が重ねて配置される複数のシート部材を有し、
前記噴射ユニットを挟んでシュラウド移動方向の後方側に配置された前記シート部材の前記流体の噴射方向に沿った方向の長さ寸法が、シュラウド移動方向の前方側に配置された前記シート部材の前記流体の噴射方向に沿った方向の長さ寸法よりも大きく設定されている
ことを特徴とする流体噴射装置。 - 前記摺動部は、前記流体の噴射方向に沿って配置された複数の線状体からなるブラシ部であることを特徴とする請求項1記載の流体噴射装置。
- 前記流体の噴射方向に沿った方向から見て、前記摺動部の外形形状が多角形状とされ、 前記シート部材同士の縁部が重なる部位が前記摺動部の角部を避けて配置されている ことを特徴とする請求項1または2記載の流体噴射装置。
- 前記流体として液体窒素を前記噴射ユニットに供給する液体窒素供給部を備えることを特徴とする請求項1〜3いずれかに記載の流体噴射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018055181A JP6981327B2 (ja) | 2018-03-22 | 2018-03-22 | 流体噴射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018055181A JP6981327B2 (ja) | 2018-03-22 | 2018-03-22 | 流体噴射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019166452A JP2019166452A (ja) | 2019-10-03 |
JP6981327B2 true JP6981327B2 (ja) | 2021-12-15 |
Family
ID=68106940
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018055181A Active JP6981327B2 (ja) | 2018-03-22 | 2018-03-22 | 流体噴射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6981327B2 (ja) |
-
2018
- 2018-03-22 JP JP2018055181A patent/JP6981327B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019166452A (ja) | 2019-10-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9744622B2 (en) | Moving a laser processing head relative to a clamping claw | |
US20190217414A1 (en) | Laser apparatus including fastening holes and inlet grooves | |
KR102093665B1 (ko) | 관로 방역로봇 | |
JP5578181B2 (ja) | 噴射材回収装置および噴射材回収装置を備えたブラスト加工装置およびブラスト加工方法 | |
JP2015517422A (ja) | 大きな表面をクリーニングするための工具 | |
KR102010620B1 (ko) | 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법 | |
JP6981327B2 (ja) | 流体噴射装置 | |
JP7000943B2 (ja) | カバー構造体及び流体噴射装置 | |
KR20160060555A (ko) | 연마면 세정 장치, 연마 장치 및 연마면 세정 장치의 제조 방법 | |
JP2012086301A (ja) | 半導体製造装置、及び半導体製造方法 | |
JP2010202822A (ja) | コークス炉掃除装置 | |
JP2008080265A (ja) | 建枠洗浄用高圧水噴射回転ノズルヘッドとそれを用いた建枠洗浄システム | |
CN109760105A (zh) | 机器人 | |
JP2019141765A (ja) | 噴射装置及び付着物除去方法 | |
CN104690011A (zh) | 清洁具有多个表面的物体的末端效应器 | |
KR20140054981A (ko) | 물체 운반장치 및 이를 포함하는 로봇 | |
KR20120138640A (ko) | 기판 수용 장치 | |
JPS58318Y2 (ja) | 電子部品の脱塵装置 | |
JP2010267654A (ja) | 洗浄装置、基板処理システム、洗浄方法、プログラムおよび記憶媒体 | |
KR100809596B1 (ko) | 기판 세정 장치 | |
JP2011206858A (ja) | ブラスト処理用カバー | |
JP7504039B2 (ja) | 金属粉処理装置および作業用車両 | |
CN105665376A (zh) | 干式指纹清洗装置 | |
KR20200083229A (ko) | 노덮개 세정장치, 노덮개의 세정방법 | |
JP2006159074A (ja) | 流体噴射ノズル及びそれを用いた洗浄装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201109 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210820 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210907 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211004 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211019 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211101 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6981327 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |