KR20160105353A - 웨이퍼 접착 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 접착 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 접착 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 접착 방법에 관한 것으로 접착필름의 양면에 제1보호필름과 제2보호필름이 부착된 제1접착필름체를 제1보호필름과 상기 접착필름을 캐리어 웨이퍼의 형상과 대응되게 절단하는 하프커팅하고, 상기 하프커팅 기기로 하프커팅된 제1접착필름체 중에서 상기 접착필름 중 캐리어 웨이퍼와 대응되는 부분을 제외한 부분 및 상기 제1보호필름 중 캐리어 웨이퍼에 대응되는 부분을 제거하여 제2접착필름체를 형성하며, 상기 제1필름 제거기를 거친 상기 제2접착필름체에서 상기 제1보호필름을 제거하여 제3접착필름체를 형성하고 상기 제3접착필름체를 챔버 내에서 캐리어 웨이퍼와 접착시킴으로써 캐리어 웨이퍼에 접착필름을 진공 접착하는 공정이 하나의 라인으로 연속적으로 이루어지도록 하여 생산성을 향상시키며, 상기 접착필름체를 캐리어 웨이퍼의 크기로 정확하게 커팅하여 캐리어 웨이퍼와 정확하게 일치되게 용이하게 접착시키며 보호 필름을 용이하게 분리할 수 있어 접착 공정의 편의성을 향상시키고 접착 공정의 불량률을 크게 낮춘다.

Description

웨이퍼 접착 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 접착 방법{Bonding appraratus for wafer and Bonding Method thereof}
본 발명은 웨이퍼 접착 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 접착 방법에 관한 것으로 더 상세하게는 캐리어 웨이퍼와 디바이스 웨이퍼를 접착시키기 위한 접착필름을 챔버 내에서 캐리어 웨이퍼에 접착시키는 웨이퍼 접착 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 접착 방법에 관한 것이다.
최근에 반도체 패키징 공정은 3D 적층 기술을 적용한 TSV(through silicon via)가 주로 이용되고 있고, 상기 TSV은 디바이스 웨이퍼의 뒷면을 그라인딩 한 후 캐리어 웨이퍼와 본딩으로 접착하는 공정을 포함한다.
그리고, 상기 디바이스 웨이퍼와 상기 캐리어 웨이퍼는 통상 챔버 내에서 상기 캐리어 웨이퍼의 크기에 맞게 절단된 접착필름을 이용하여 접착되고 있다.
상기 접착필름은 양면에 각각 보호필름이 부착된 상태에서 레이저 또는 커터로 양면의 보호필름과 함께 캐리어 웨이퍼의 크기에 맞게 절단되어 챔버 내에서 상기 캐리어 웨이퍼에 1차로 접착된다.
그러나, 상기 접착필름은 레이저 또는 커터에 의한 타발 방법으로 양면의 보호필름과 함께 절단되므로 절단 후 상기 캐리어 웨이퍼에 접착시키기 위해 하나의 보호필름을 분리하는 데 어려움이 있어 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.
특히, 상기 접착필름과 상기 보호필름은 레이저로 절단 시 절단면에서 열에 의해 일부가 융착되는 부분이 발생하여 서로 분리하기가 더 어려우며, 상기 보호필름이 분리된 후 상기 접착필름의 절단면에서 상기 보호필름과 융착된 부분이 불규칙하게 형성되어 상기 캐리어 웨이퍼와 정확하게 일치되어 접착되기 어려운 문제점이 있었다.
또한, 현재 캐리어 웨이퍼와 디바이스 웨이퍼의 접착 공정은 접착필름과 보호필름을 절단하는 공정과, 상기 접착필름을 캐리어 웨이퍼에 부착하는 공정이 각각 별개로 이루어져 생산성이 낮고, 제조원가가 많이 소요되는 문제점이 있었다.
국내특허등록 제0226027호 '웨이퍼접착장치 및 웨이퍼접착방법'(1999.10.15 공고)
본 발명의 목적은, 양면에 보호필름이 부착된 접착필름을 하프커팅하여 캐리어 웨이퍼의 크기로 정확히 절단한 후 캐리어 웨이퍼에 간단하게 접착시킴으로써 캐리어 웨이퍼와 디바이스 웨이퍼의 접착 공정의 효율성을 향상시키고 접착 시 불량률을 저하시키는 웨이퍼 접착 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 접착 방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 접착 장치는, 접착필름의 양면에 제1보호필름과 제2보호필름이 부착된 제1접착필름체를 캐리어 웨이퍼의 형상과 대응되게 하프커팅하는 하프커팅 기기, 상기 하프커팅 기기로 하프커팅된 제1접착필름체 중에서 상기 접착필름 중 캐리어 웨이퍼와 대응되는 부분을 제외한 부분 및 상기 제1보호필름 중 캐리어 웨이퍼에 대응되는 부분을 제거하여 제2접착필름체를 형성하는 제1필름 제거기, 상기 제1필름 제거기를 거친 상기 제2접착필름체에서 상기 제1보호필름을 제거하여 제3접착필름체를 형성하는 제1보호필름 제거기, 상기 제1보호필름 제거기기를 거친 제3접착필름체가 내부에 삽입되고, 상기 제3접착필름체가 접착되는 캐리어 웨이퍼가 내부에 삽입되는 챔버 및 상기 챔버 내에 구비되어 상기 제3접착필름체의 접착필름을 상기 캐리어 웨이퍼로 접착시키는 캐리어 접착기기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 접착 방법은, 접착필름의 양면에 제1보호필름과 제2보호필름이 부착된 접착필름체를 제1보호필름과 상기 접착필름을 캐리어 웨이퍼의 형상과 대응되게 절단하는 하프커팅단계, 상기 하프커팅단계에서 절단된 상기 접착필름 중 캐리어 웨이퍼와 대응되는 부분을 제외한 부분 및 상기 제1보호필름 중 캐리어 웨이퍼와 대응되는 부분을 제외한 부분을 제거하는 제1필름 제거단계, 상기 제1필름 제거단계를 거친 제2접착필름체에서 상기 제1보호필름 중 나머지 부분을 제거하는 제1보호필름 제거단계, 상기 제1보호필름이 제거된 제3접착필름체와 캐리어 웨이퍼를 챔버 내로 삽입하고 상기 챔버 내에서 상기 제3접착필름체의 접착필름과 상기 캐리어 웨이퍼를 동일 수직선상에 위치시키는 캐리어 정렬단계 및 상기 캐리어 정렬단계 후 상기 제3접착필름체의 접착필름을 상기 캐리어 웨이퍼 상에 접착시키는 필름 접착단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 접착필름의 양면에 보호필름이 부착된 접착필름체를 캐리어 웨이퍼에 진공 접착하는 공정이 하나의 라인으로 연속적으로 이루어지도록 하여 생산성을 향상시키는 효과가 있다.
본 발명은 접착필름의 양면에 보호필름이 부착된 접착필름체를 캐리어 웨이퍼의 크기로 정확하게 커팅하여 캐리어 웨이퍼와 정확하게 일치되게 용이하게 접착시키며 보호 필름을 용이하게 분리할 수 있어 접착 공정의 편의성을 향상시키고 접착 공정의 불량률을 크게 낮추는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치의 일 실시예를 도시한 개략도
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치의 다른 실시예를 도시한 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치의 다른 실시예를 도시한 확대 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 하프커팅 기기의 일 실시예를 도시한 사시도.
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 하프커팅 기기의 다른 실시예를 도시한 도면.
도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 필름 절단위치 이동기기의 작동을 확대 도시한 도면.
도 9는 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 라인커팅 기기의 작동 예를 도시한 도면.
도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 제1보호필름 제거기기의 일 예를 도시한 도면.
도 12 및 도 13은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 챔버삽입 대기받침부의 일 예를 도시한 도면.
도 14 및 도 15는 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 챔버삽입 대기받침부에서 웨이퍼를 챔버 내로 삽입하는 예를 도시한 도면.
도 16 내지 도 18은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 챔버 내에서 웨이퍼가 1차 정렬되는 예를 도시한 도면.
도 19 내지 도 21은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 챔버삽입 대기받침부에 절단된 제3접착필름체를 안착시킨 후 챔버 내로 삽입하는 예를 도시한 도면.
도 22는 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 챔버 내 제3접착필름체가 흡착되는 상부 필름흡착부에 필름이 흡착된 예를 도시한 도면.
도 23은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치의 챔버 내에서 캐리어 웨이퍼와 접착필름체를 위치를 정렬하는 예를 도시한 도면.
도 24는 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치의 챔버 내에서 제3접착필름체가 접착된 캐리어 웨이퍼를 인출하는 예를 도시한 도면.
도 25 내지 도 27은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치로 제3접착필름체가 접착된 캐리어 웨이퍼에서 최종 보호필름을 제거하는 예를 도시한 도면.
도 28은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 방법의 일 실시예를 도시한 공정도.
도 29은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 방법에서 접착필름체의 상태 변화를 도시한 개략도.
본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서, 반복되는 설명, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능, 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 본 발명의 실시형태는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치의 일 실시예를 도시한 개략도로서, 도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 접착 장치는, 접착필름(1a)의 양면에 제1보호필름(1b)과 제2보호필름(1c)이 부착된 제1접착필름체(1)를 캐리어 웨이퍼(4)의 형상과 대응되게 하프커팅하여 상기 접착필름(1a)에서 절단되어 캐리어 웨이퍼(4)에 접착되는 웨이퍼 접착부분을 형성하는 하프커팅 기기(10)를 포함한다.
상기 캐리어 웨이퍼(4)는 글라스(glass) 웨이퍼일 수도 있고, 실리콘 웨이퍼일 수도 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 접착 장치는, 상기 제1접착필름체(1)가 복수회 감겨진 필름 권취릴부재(60); 및 상기 필름 권취릴부재(60)와 상기 하프커팅 기기(10) 사이에 배치되어 상기 제1접착필름체(1)를 상기 하프커팅 기기(10)로 안내하는 필름 이송 가이드 롤부(61)를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 접착 장치는 상기 필름 이송 가이드 롤부(61)를 통해 이송되는 상기 제1접착필름체(1)의 텐션을 조절하는 제1필름 텐션조절기(70)를 더 포함할 수 있다.
상기 제1필름 텐션조절기(70)는 상기 하프커팅 기기(10)의 앞쪽과 뒷쪽에 각각 배치되어 상기 제1접착필름체(1)의 장력을 조절하여 상기 하프커팅 기기(10)로 상기 제1접착필름체(1)가 웨이퍼와 정확하게 대응되는 형상으로 정확한 위치로 하프커팅될 수 있도록 한다.
상기 하프커팅 기기(10)는, 상기 제1접착필름체(1) 중 상기 제2보호필름(1c)을 제외한 상기 제1보호필름(1b)과 상기 접착필름(1a)만 캐리어 웨이퍼(4)의 형상과 대응되게 절단하는 것이다. 즉, 상기 제2보호필름(1c)은 상기 하프커팅 기기(10)에 의해 절단되지 않는다. 또한, 상기 제1보호필름(1b)과 상기 접착필름(1a)은 상기 하프커팅 기기(10)에 의해 절단되어 상기 캐리어 웨이퍼(4)와 대응되는 부분과, 이를 제외한 나머지 부분으로 분리된다.
본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 접착 장치는, 내부에서 상기 접착필름(1a)과 상기 캐리어 웨이퍼(4)가 접착되는 챔버(40)를 포함한다.
상기 챔버(40)는 내부를 진공 상태로 유지할 수 있는 진공 챔버(40)인 것을 일 예로 한다.
본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 접착 장치는, 상기 제1접착필름체(1)의 이송방향에서 상기 하프커팅 기기(10)의 다음에 배치되며 상기 하프커팅 기기(10)에 의해 절단된 상기 제1보호필름(1b)에서 캐리어 웨이퍼(4)와 대응되는 부분을 제외한 부분과 상기 접착필름(1a) 중 캐리어 웨이퍼(4)와 대응되는 부분을 제외한 부분을 제거하는 제1필름 제거기기(20)를 포함한다.
상기 제1필름 제거기기(20)는, 상기 제1접착필름체(1)에서 상기 제1보호필름(1b)에서 캐리어 웨이퍼(4)와 대응되는 부분을 제외한 부분과 상기 접착필름(1a) 중 캐리어 웨이퍼(4)와 대응되는 부분을 제외한 부분을 감는 와인더(21); 및 상기 나머지 부분이 상기 와인더(21)로 감겨지도록 안내하는 복수의 필름 제거 가이드롤(22)을 포함하며, 상기 와인더(21)로 감겨지는 필름의 장력을 조절하는 제2필름 텐션조절기(23)를 더 포함할 수 있다.
상기 제1필름 제거기기(20)는 상기 제1접착필름체(1)에서 상기 제1보호필름(1b)의 선단부와 상기 접착필름(1a)의 선단부를 상기 와인더(21)에 연결된 상태에서 이송시키면 상기 하프 커팅기기에 의한 하프 커팅 후 상기 제1보호필름(1b) 즉, 캐리어 웨이퍼(4)와 대응되는 부분을 제외한 부분과 상기 접착필름(1a) 중 캐리어 웨이퍼(4)와 대응되는 부분을 제외한 부분이 자연스럽게 상기 제2보호필름(1c)에서 분리되면서 상기 와인더(21)에 감기게 되는 것이다.
상기 제1접착필름체(1)는 상기 제1필름 제거기기(20)를 거치면서 상기 제1보호필름(1b) 즉, 캐리어 웨이퍼(4)와 대응되는 부분을 제외한 부분과 상기 접착필름(1a) 중 캐리어 웨이퍼(4)와 대응되는 부분을 제외한 부분이 제거되어 제2접착 필름체로 형성된다.
본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 접착 장치는, 상기 제1필름 제거기기(20)에 의해 상기 제1보호필름(1b)과 상기 접착필름(1a) 중 캐리어 웨이퍼(4)와 대응되는 부분을 제외한 부분이 제거된 제2접착필름체(2)를 절단 위치까지 이송시키는 필름 절단위치 이동기기(80); 및 상기 제2접착필름체(2)를 절단하는 라인커팅 기기(90); 상기 웨이퍼 접착부분을 보호하는 상기 제1보호필름(1b)을 제거하는 제1보호필름 제거기기(30)를 포함한다.
상기 제1보호필름 제거기기(30)는 상기 제1필름 제거기를 거친 상기 제2접착필름체(2)에서 상기 제1보호필름(1b)을 제거하여 제3접착필름체(3)를 형성한다.
상기 라인커팅 기기(90)는 상기 하프커팅 기기(10)에 의해 하프커팅된 부분 즉 캐리어 웨이퍼(4)에 대응되는 절단부분이 중앙에 위치하도록 절단한다.
상기 라인커팅 기기(90)에 의해 제2접착필름체(2)에서 절단되고, 웨이퍼 접착부분을 보호하는 상기 제1보호필름(1b)을 제거한 제3접착필름체(3)는 챔버 출입용 이동기기를 통해 챔버(40) 내로 삽입된다.
상기 필름 절단위치 이동기기(80)는 상기 제2접착필름체(2)를 잡아 이동시키며 상기 제2접착필름체(2)의 이송방향에 대응되게 직선왕복이동하는 제1필름클램핑 이동부(81)와 제2필름클램핑 이동부(82)를 포함한다.
또한, 상기 챔버 출입용 이동기기는 상기 제2접착필름체(2)의 이송방향에 대응되게 제1필름클램핑 이동부(81)와 제2필름클램핑 이동부(82)에 일직선상으로 배치가능하고 횡방향으로 이동 가능한 제3필름클램핑 이동부(83), 상기 제3필름클램핑 이동부(83)로 이동되는 상기 제3접착필름체(3) 또는 캐리어 웨이퍼(4)가 상부에 올려지는 챔버삽입 대기받침부(84); 상기 챔버삽입 대기받침부(84)에 올려진 상기 제3접착필름체(3) 또는 캐리어 웨이퍼(4)를 상기 챔버(40) 내로 출입시키는 챔버 출입이동부(85)를 더 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 접착 장치는, 상기 챔버(40) 내에 구비되어 상기 제3접착필름체(3)의 접착필름(1a)을 상기 캐리어 웨이퍼(4)로 접착시키는 캐리어 접착기기(50)를 포함한다.
상기 캐리어 접착기기(50)는 상기 챔버(40) 내에 상기 캐리어 웨이퍼(4)가 안착되는 웨이퍼 받침부(51); 상기 웨이퍼 받침부(51) 상에서 상기 제3접착필름체(3)가 하부면에 흡착되는 상부 필름흡착부(52)를 포함하며 상기 웨이퍼 받침부(51)와 상기 상부 필름흡착부(52) 중 적어도 어느 하나는 승하강 작동되며 본 발명에서는 상기 웨이퍼 받침부(51)와 상기 상부 필름흡착부(52)가 각각 승하강 작동되는 것을 일 예로 한다.
상기 상부 필름흡착부(52)는, 접착면이 상기 캐리어 웨이퍼(4)를 향하도록 상기 제3접착필름체(3)를 흡착한다. 즉, 상기 상부 필름흡착부(52)의 하부면에는 제2보호필름(1c)의 상부면이 밀착되면서 흡착되는 것이다.
상기 웨이퍼 받침부(51)와 상기 상부 필름흡착부(52)는 승하상 작동되어 상기 제3접착필름체(3)를 상기 캐리어 웨이퍼(4)의 상부면에 접착시킨다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 접착 장치는, 상기 챔버(40) 내에서 상기 캐리어 웨이퍼(4)와 일치되게 상기 접착필름(1a)의 위치를 조정하는 얼라인 기기(100)를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 접착 장치는, 상기 챔버 출입용 이동기기로부터 상기 챔버(40)의 외부로 배출되며 상기 제3접착필름체(3)가 접착된 상기 캐리어 웨이퍼(4)에서 상기 제2보호필름(1c)을 제거하는 제2보호필름 제거기기(200)를 더 포함할 수 있다.
즉, 상기 제2보호필름 제거기기(200)는 상기 캐리어 웨이퍼(4)에 접착된 상기 제3접착필름체(3)에서 최종적으로 남은 상기 제2보호필름(1c)을 제거한다.
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치의 다른 실시예를 도시한 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치의 다른 실시예를 도시한 확대 사시도이다.
도 2 및 도 3 참고하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치는 상기 하프커팅 기기(10), 상기 필름 권취릴부재(60), 상기 필름 이송 가이드 롤부(61), 상기 제1필름 텐션조절기(70), 상기 챔버(40), 상기 제1필름 제거기기(20), 상기 제1보호필름 제거기기(30), 상기 필름 절단위치 이동기기(80), 상기 라인커팅 기기(90), 상기 챔버 출입용 이동기기, 상기 제2보호필름 제거기기(200)가 하나의 본체 하우징(300) 내에 설치될 수 있다.
상기 본체 하우징(300)에는 캐리어 웨이퍼(4)의 접착 공정을 2개의 직선라인으로 구분하는 라인구획격벽(310)이 구분된다.
상기 라인구획격벽(310)으로 구분된 한 측으로 상기 하프커팅 기기(10), 상기 필름 이송 가이드 롤부(61), 상기 제1필름 텐션조절기(70), 상기 제1필름 제거기기(20), 상기 필름 절단위치 이동기기(80), 상기 라인커팅 기기(90)가 하나의 필름 절단 라인(311)을 이루도록 배치되고, 상기 라인구획격벽(310)의 구분된 다른 한측으로 상기 챔버(40), 상기 챔버 출입용 이동기기, 상기 제2보호필름 제거기기(200)가 하나의 필름 접착 라인(312)을 이루도록 배치될 있다.
상기 라인구획격벽(310)으로 구분된 2개의 직선 라인은 상기 챔버 출입용 이동기기에서 상기 횡방향으로 이동하여 제1접착필름체(1)가 이송되는 직선 이송방향에 대응되게 일직선상으로 배치가능한 제3필름클램핑 이동부(83)에 의해 서로 연결될 수 있으며 이는 하기에서 더 상세하게 설명한다.
도 3을 참고하면, 상기 제1필름 텐션조절기(70)는 상기 하프커팅기기의 앞쪽과 뒷쪽에 각각 배치되며 상기 제1접착필름체(1)를 클팸핑하여 상, 하 이동가능한 구조로 구성되어 상기 제1접착필름체(1)를 클램핑하고 상, 하 이동하여 상기 제1접착필름체(1)의 장력을 조절하는 것을 일 예로 한다.
상기 제1필름 텐션조절기(70)는 사이 간격이 좁혀지거나 넓혀지는 두개의 클램핑 바를 구비하여 상기 클램핑 바의 사이에서 상기 제1접착필름체(1)를 파지하거나 파지된 상태를 해제하는 것을 일 예로 한다.
도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 하프커팅 기기(10)의 일 실시예를 도시한 사시도로써, 상기 하프커팅 기기(10)는, 외주면에 상기 캐리어 웨이퍼(4)의 형상에 대응되는 커터날(11a)이 구비된 커팅롤부(11);
상기 커팅롤부(11)에 이격되게 배치되는 받침롤부(12)를 포함한다.
상기 제1접착필름체(1)는 상기 커팅롤부(11)와 상기 받침롤부(12)의 사이를 통과하여 상기 제1접착필름체(1) 중 상기 제2보호필름(1c)을 제외한 상기 제1보호필름(1b)과 상기 접착필름(1a)만 캐리어 웨이퍼(4)의 형상과 대응되게 절단된다.
통상 상기 캐리어 웨이퍼(4)의 형상이 원판형상이므로 상기 커터날(11a)의 형상도 이와 대응되는 원형의 링체로 형성되는 것을 일 예로 한다.
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 하프커팅 기기의 다른 실시예를 도시한 도면으로 상기 하프커팅 기기(10)는, 상, 하 이동하며, 상면 또는 하면에 하프 커터날(13a)이 구비된 커팅 가압부(13)을 포함할 수 있다.
또한, 상기 하프커팅 기기(10)는, 상기 제1접착필름체(1)에서 상기 커팅 가압부(13)로 커팅되는 반대측 면을 지지하여 상기 커팅 가압부(13)로 원활하게 상기 제1접착필름체(1)를 하프커팅하도록 하는 커팅 받침부(14)를 더 포함할 수 있다.
상기 커팅 받침부는 상기 제1접착필름체(1)를 이송시키는 벨트 컨베이어(14a)를 포함하고, 상기 벨트 컨베이어의 벨트(14a)를 지지하는 받침 플레이트(14b)를 더 포함할 수도 있다.
본 발명에서 상기 제1접착필름체(1)는 상기 제1보호필름(1b)이 상기 접착필름(1a)의 하부 측에 상기 제2보호필름층(1c)이 상기 접착필름(1a)의 상부 측에 배치되어 이송되는 것을 일 예로 하고, 상기 하프커팅 기기(10)는 상기 제1보호필름(1b)과 상기 접착필름(1a)은 캐리어 웨이퍼(4)의 형상과 대응되게 완전히 절단하고 상기 제2보호필름층(1c)을 하프 커팅하는 것을 일 예로 하여 하기에서 설명한다.
상기 커팅롤부(11) 또는 상기 커팅 가압부(13)는 상기 제1접착필름체(1)의 하부에 배치되어 상기 제1보호필름(1b)과 상기 접착필름(1a)은 캐리어 웨이퍼(4)의 형상과 대응되게 완전히 절단하고 상기 제2보호필름층(1c)을 하프 커팅하는 것이다.
도 7 및 도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 필름 절단위치 이동기기(80)의 작동을 확대 도시한 도면이다.
도 7 및 도 8을 참고하면 상기 제1필름클램핑 이동부(81)는 사이로 상기 제2접착필름체(2)가 통과되며 상, 하 이동되는 필름 클램핑부를 포함하고, 직선 왕복이동하여 상기 제2접착필름체(2)를 절단 위치 즉, 상기 라인커팅 기기(90)로 절단되는 위치로 상기 제2접착필름체(2)를 클램핑하여 이동시킨다.
상기 제2필름클램핑 이동부(82)는 상기 제2접착필름체(2)의 일부를 덮어 가압하는 제1상부 클램핑플레이트부재(82a), 상기 제1상부 클램핑플레이트부재(82a)의 하부면에 배치되는 제2하부 클램핑플레이트부재(83b)를 포함한다.
상기 제1하부 클램핑플레이트부재(82b)의 상부면에서 선단부와 후단부에는 각각 클램핑 돌출부가 구비되어 상기 제1상부 클램핑플레이트부재(82a)와 상기 클램핑 돌출부 사이에서 상기 제2접착필름체(2)가 클램핑되고, 클램핑 해제되는 것을 일 예로 한다.
상기 상부 클램핑플레이트부재는 상기 라인커팅 기기(90)로 절단되는 면적을 덮을 수 있는 크기로 형성되는 것을 일 예로 한다.
상기 제2필름클램핑 이동부(82)는 직선 왕복이동하여 상기 제2접착필름체(2)를 절단 위치 즉, 상기 라인커팅 기기(90)로 절단되는 위치로 상기 제2접착필름체(2)를 클램핑하여 이동시킨 후 후퇴하여 다음에 상기 제2접착필름체(2)에서 상기 라인커팅 기기(90)로 절단되는 부분을 클램핑한다.
또한, 상기 제3필름클램핑 이동부(83)는 챔버 출입용 이동기기는 횡방향 및 상, 하 이동 가능한 상기 라인커팅 기기(90)로 절단되는 상기 제2접착필름체(2)의 부분을 덮어 가압하는 제2상부 클램핑플레이트부재(83a); 횡방향으로 이동 가능하며 상기 제2상부 클램핑플레이트부재(83a)의 하부에 배치되는 제2하부 클램핑플레이트부재(83b)를 포함한다.
상기 제2하부 클램핑플레이트부재(83b)의 상부면에서 선단부와 후단부에는 각각 클램핑 돌출부가 구비되어 상기 제2상부 클램핑플레이트부재(83a)와 상기 클램핑 돌출부 사이에서 상기 제2접착필름체(2)가 클램핑되고, 클램핑 해제되는 것을 일 예로 한다.
상기 제2상부 클램핑플레이트부재(83a)의 하부면에는 상기 라인커팅 기기(90)로 절단된 상기 제3접착필름체(3)를 흡착할 수 있는 필름흡착부가 구비되며, 상기 필름흡착부는 상기 제2상부 클램핑플레이트부재(83a)의 하부면에 형성되는 다수의 공기흡입공을 통해 공기를 흡입하여 제3접착필름체(3) 즉, 상기 제3접착필름체(3)의 상기 제2보호필름(1c)을 상기 제2상부 클램핑플레이트부재(83a)의 하부면에 흡착될 수 있게 한다.
도 9를 참고하면, 상기 라인 커팅기기는 상기 제2접착필름체(2)의 폭방향으로 이동하여 상기 웨이퍼 접착부분이 중앙에 위치되도록 상기 제2접착필름체(2)를 절단한다.
상기 라인 커팅기기는 상기 제2접착필름체(2)의 폭방향 및 상, 하 이동 가능하여 승강된 상태에서 상기 제2접착필름체(2)의 폭방향으로 이동하여 상기 제2접착필름체(2)를 절단하고 다시 하강하고 다시 절단 시 이동방향과 역방향으로 이동한 후 승강하는 것을 반복하여 상기 제2접착필름체(2)를 일정한 크기로 반복 절단하는 것을 일 예로 한다.
상기 라인 커팅기기의 절단 작업 시 상기 제2접착필름체(2)에서 절단되는 부분은 상기 제2상부 클램핑플레이트부재(83a)와 상기 제2하부 클램핑플레이트부재(83b) 사이에서 클램핑되고, 상기 제2접착필름체(2)의 다음 절단부분은 상기 제1상부 클램핑플레이트부재(82a)와 상기 제1하부 클램핑플레이트부재(82b) 사이에서 클램핑된다.
상기 라인 커팅기기의 절단 작업 시 상기 제2접착필름체(2)는 상기 제1상부 클램핑플레이트부재(82a)와 상기 제1하부 클램핑플레이트부재(82b)의 사이 및 상기 제2상부 클램핑플레이트부재(83a)와 상기 제2하부 클램핑플레이트부재(83b)에서 각각 클램핑되고, 상기 제2필름클램핑 이동부(82)와 상기 제3필름클램핑 이동부(83) 사이에서 상기 라인 커팅기기가 이동하여 상기 제2접착필름체(2)를 절단하므로 안정적인 절단 작업이 이루어질 수 있다.
도 9에서 상기 제2상부 클램핑플레이트부재(83a)와 상기 제2하부 클램핑플레이트부재(83b)가 미세한 선으로 도시되어 확인되기는 어려우나 상기 라인 커팅기기의 절단 작업 시 상기 제2접착필름에에서 절단되는 부분은 상기 제2상부 클램핑플레이트부재(83a)와 상기 제2하부 클램핑플레이트부재(83b)의 사이에서 클램핑된다. 상기 라인 커팅기기의 절단날은 상기 제1하부 클램핑플레이트부재(82b)와 상기 제2하부 클램핑플레이트부재(83b)의 사이에서 상부로 돌출되어 상기 제2접착필름체(2)의 횡방향으로 이동하여 상기 제2접착필름체(2)를 절단하는 것이며 도 7은 상기 라인 커팅기기의 절단날 위치를 확인하기 위하여 상기 제2상부 클램핑플레이트부재(83a)와 상기 제2하부 클램핑플레이트부재(83b)가 미세한 선으로 도시한 것임을 밝혀둔다.
상기 라인 커팅기기에 의한 절단 작업 후 절단된 제3접착필름체(3)는 상기 제2상부 클램핑플레이트부재(83a)의 하부면에 흡착된 상태로 고정되고 상기 제2하부 클램핑플레이트부재(83b)는 횡방향으로 이동하여 상기 제3접착필름체(3)의 하부면 즉, 상기 웨이퍼 접착부분을 보호하고 있는 상기 제1보호필름(1b)을 노출시킨다.
상기 제3접착필름체(3)의 하부에서 노출된 상기 제1보호필름(1b)은 상기 제1보호필름 제거기기(30)에 의해 접착되어 제거된다.
도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 제1보호필름 제거기기(30)의 일 예를 도시한 도면으로 도 10 및 도 11을 참고하면 상기 제1보호필름 제거기기(30)는 필름제거용 테이프가 권취된 테이프 권취롤부(31), 상기 테이프 권취롤부(31)와 이격되게 배치되고 상기 필름 제거용 테이프가 걸쳐지며 전, 후, 상, 하 이동되어 상기 필름 제거용 테이프를 상기 제3접착필름체(3)의 하부에서 노출된 상기 제1보호필름(1b)의 하부면에 접착시키는 테이프 접착부(32), 상기 테이프 권취롤부(31)에서 풀린 상기 필름 제거용 테이프를 회수하여 권취하는 테이프 회수롤부(33); 상기 필름 제거용 테이프를 상기 테이프 접착부(32)로 안내하고 상기 테이프 접착부(32)를 통과하여 상기 제1보호필름(1b)이 부착된 상기 필름 제거용 테이프를 상기 테이프 회수롤부(33)로 안내하는 복수의 테이프 이동가이드롤부(34)를 포함한다.
상기 제3접착필름체(3)의 하부면 즉, 상기 웨이퍼 접착부분을 보호하고 있는 상기 제1보호필름(1b)이 노출된 후 상기 테이프 접착부(32)는 상기 제3접착필름체(3)를 향해 전진 이동한 후 승강하여 상기 제1보호필름(1b)에 상기 필름 제거용 테이프를 부착시킨다.
상기 제1보호필름(1b)에 상기 필름 제거용 테이프가 부착된 상기 테이프 접착부(32)는 하강하고 상기 테이프 권취롤부(31)를 향해 후퇴 이동한다.
상기 필름 제거용 접착테이프는 상기 테이프 권취롤부(31)에서 풀린 후 상기 테이프 이동 가이드롤부를 따라 이동하면서 상기 제1보호필름(1b)에 부착되어 상기 제1보호필름(1b)을 상기 제3접착필름체(3)에서 분리하여 제거한 후 상기 테이프 회수롤부(33)로 감겨 회수된다.
상기 제1보호필름(1b)이 제거된 제3접착필름체(3)는 상기 라인커팅기기에 의해 절단된 사각형상의 제2보호필름(1c) 및 상기 제2보호필름(1c)의 하부면에 캐리어 웨이퍼(4)에 대응되는 원형으로 절단된 접착필름(1a)으로만 이루어지며 상기 접착필름(1a)의 하부면은 상기 제1보호필름(1b)이 제거되면서 접착면이 노출된 상태가 된다.
도 12 및 도 13은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 챔버삽입 대기받침부(84)의 일 예를 도시한 도면으로 도 12 및 도 13을 참고하면 상기 챔버삽입 대기받침부(84)는 대기 받침플레이트부재(84a); 상기 대기 받침플레이트부재(84a) 상에서 상, 하 이동하여 상기 대기 받침플레이트부재(84a) 상에 올려지는 캐리어 웨이퍼(4) 또는 상기 제3접착필름체(3)를 승하강하며 상면에 다수의 흡착용 구멍이 형성된 파지용 승하강부(84b)를 포함하는 것을 일 예로 한다.
상기 파지용 승하강부(84b)는 상면에 상기 제3접착필름체(3)를 흡착하는 다수의 흡착용 구멍이 형성되어 상기 제3접착필름체(3)를 흡착한 상태에서 안정적으로 승하강한다.
상기 파지용 승하강부(84b)는 상기 대기 받침플레이트부재(84a) 상에서 상기 캐리어 웨이퍼(4) 또는 상기 제3접착필름체(3)를 승하강하여 상기 캐리어 웨이퍼(4)와 상기 대기 받침플레이트부재(84a)의 사이에 간격을 형성하거나 상기 제3접착필름체(3)와 상기 대기 받침플레이트부재(84a)의 사이에 간격을 형성한다.
상기 캐리어 웨이퍼(4)와 상기 대기 받침플레이트부재(84a)의 사이 간격 또는 상기 제3접착필름체(3)와 상기 대기 받침플레이트부재(84a)의 사이에 간격으로 상기 챔버 출입이동부(85)가 삽입되어 상기 캐리어 웨이퍼(4)와 또는 상기 제3접착필름체(3)를 파지하거나 흡착할 수 있게 하며 이는 하기에서 더 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치는 캐리어 웨이퍼(4)를 상기 대기 받침플레이트부재(84a) 상에 올려놓는 웨이퍼 이동기기(86)를 더 포함할 수 있고, 상기 웨이퍼 이동기기(86)는 공지의 웨이퍼 이동 로봇으로 다양하게 변형실시 가능하여 더 상세한 설명은 생략함을 밝혀둔다.
상기 제3접착필름체(3)를 상기 챔버(40) 내로 삽입하기 전에 상기 캐리어 웨이퍼(4)를 상기 챔버(40) 내로 삽입하며, 상기 캐리어 웨이퍼(4)는 상기 웨이퍼 이동기기(86)에 의해 상기 대기 받침 플레이트부재 상에 올려진다.
도 14 및 도 15는 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 챔버삽입 대기받침부(84)에서 웨이퍼를 챔버(40) 내로 삽입하는 예를 도시한 도면이다.
상기 챔버 출입이동부(85)는 상, 하, 전, 후 이동되며 이격되며 상기 제3접착필름체(3)를 흡착시키는 제1받침 포크(85b)와 제2받침 포크(85c)가 구비되고 이동포크부재(85a); 및
상기 제1받침 포크(85b)와 상기 제2받침 포크(85c)에 구비되며 각각 횡방향으로 왕복이동하여 상기 제1받침 포크(85b)와 상기 제2받침 포크(85c) 상에 안착되는 상기 캐리어 웨이퍼(4)를 파지하는 제1웨이퍼 파지부재(85d)와 제2웨이퍼 파지부재(85e)를 포함한다.
상기 제1받침 포크(85b)와 상기 제2받침 포크(85c)에는 상기 제3접착필름체(3)를 흡착시킬 수 있도록 공기를 흡입하는 다수의 공기흡입공이 형성되며 다수의 공기흡입공은 상기 제3접착필름체(3)의 각 모서리부분에 대응되는 부분에 위치하여 상기 제3접착필름체(3)를 안정적으로 흡착한다.
상기 챔버 출입이동부(85)는 상기 제3접착필름체(3)를 흡착시키는 제1받침 포크(85b)와 제2받침 포크(85c)와 상기 제1받침 포크(85b)로 상기 제3접착필름체(3)를 고정시킨 상태에서 안정적으로 상기 챔버(40) 내로 출입시킬 수 있고, 상기 제1웨이퍼 파지부재(85d)와 상기 제2웨이퍼 파지부재(85e)로 상기 캐리어 웨이퍼(4)를 고정시킨 상태에서 안정적으로 상기 챔버(40) 내로 출입시킬 수 있다.
상기 대기 받침 플레이트부재 상에 올려진 캐리어 웨이퍼(4)는 상기 파지용 승하강부(84b)에 의해 승강된다.
승강된 상기 캐리어 웨이퍼(4)와 상기 대기 받침플레이트부재(84a)의 사이로 상기 이동포크부재(85a)가 삽입되고 상기 제1웨이퍼 파지부재(85d)와 제2웨이퍼 파지부재(85e)의 사이 간격이 넓혀졌다 좁혀지면서 상기 제1웨이퍼 파지부재(85d)와 제2웨이퍼 파지부재(85e)가 상기 캐리어 웨이퍼(4)를 파지하게 된다.
상기 이동포크부재(85a)는 상, 하, 전, 후 이동되어 파지한 상기 캐리어 웨이퍼(4)를 상기 챔버(40) 내로 출입시킨다.
도 16 내지 도 18은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 챔버(40) 내에서 웨이퍼가 1차 정렬되는 예를 도시한 도면으로 상기 챔버(40) 내에는 승하강 이동되며 상부에 상기 캐리어 웨이퍼(4)가 안착되는 캐리어 승하강지지부(41)와 상기 웨이퍼 받침부(51) 상에 올려진 상기 캐리어 웨이퍼(4)의 위치를 조정하는 웨이퍼 위치정렬부(42)가 구비된다.
상기 캐리어 승하강지지부(41)는 상기 웨이퍼 받침부(51)보다 높게 위치한 상태에서 상기 이동포크부재(85a)에 의해 상기 챔버(40) 내로 삽입된 상기 캐리어 웨이퍼(4)가 안착된다.
상기 이동포크부재(85a)는 상기 챔버(40) 내로 삽입되어 상기 캐리어 웨이퍼(4)를 상기 캐리어 승하강지지부(41)에 올려놓고 상기 챔버(40)의 외측으로 이동하여 상기 대기 받침 플레이트부재 상에서 대기한다.
상기 캐리어 승하강지지부(41)는 상기 캐리어 웨이퍼(4)가 안착된 상태에서 하강하여 상기 캐리어 웨이퍼(4)를 상기 웨이퍼 받침부(51) 상에 안착시킨다.
또한, 상기 캐리어 승하강지지부(41)는 회전되어 상기 웨이퍼 받침부(51)와 근접하거나 이격될 수 있다.
상기 웨이퍼 받침부(51)는 상기 캐리어 웨이퍼(4)가 안착되는 웨이퍼 안착 상부플레이트부재부(51a)를 포함하고, 상기 웨이퍼 안착 상부플레이트부재부(51a)의 외주면에는 웨이퍼 정렬용홈(51b)이 방사상으로 이격되게 배치된다.
상기 웨이퍼 정렬용홈(51b)은 반원형홈으로 형성되는 것을 일 예로 하며, 상기 웨이퍼 위치정렬부(42)는 복수의 상기 웨이퍼 정렬용홈(51b) 중 어느 한측에 삽입되며 상기 캐리어 웨이퍼(4)의 외측 둘레에 접촉되는 제1위치 정렬롤(42a), 상기 제1위치 정렬롤(42a)이 설치되며 회전되어 상기 제1위치 정렬롤(42a)을 상기 웨이퍼 정렬홈 내로 삽입시키거나 상기 웨이퍼 정렬홈 내에서 이탈시키는 제1정렬 회전암(42b), 복수의 상기 웨이퍼 정렬용홈(51b) 중 다른 한측에 삽입되며 상기 캐리어 웨이퍼(4)의 외측 둘레에 접촉되는 제2위치 정렬롤(42c), 상기 제2위치 정렬롤(42c)이 설치되며 회전되어 상기 제2위치 정렬롤(42c)을 상기 웨이퍼 정렬홈 내로 삽입시키거나 상기 웨이퍼 정렬홈 내에서 이탈시키는 제2정렬 회전암(42d)을 포함한다.
상기 제1위치 정렬롤(42a)과 상기 제2위치 정렬롤(42c)은 각각 복수로 구비되고, 각각의 정렬롤은 서로 다른 상기 웨이퍼 정렬홈에 삽입되어 상기 캐리어 웨이퍼(4)의 외측 둘레에 접촉됨으로써 상기 캐리어 웨이퍼(4)를 정확한 위치로 정렬한다.
상기 제1위치 정렬롤(42a)과 상기 제2위치 정렬롤(42c)은 각각 상기 제1정렬 회전암(42b)과 상기 제2정렬 회전암(42d)의 정회전에 의해 웨이퍼 정렬홈 내로 삽입되어 상기 캐리어 웨이퍼(4)의 위치를 정렬한 후 상기 제1정렬 회전암(42b)과 상기 제2정렬 회전암(42d)의 역회전에 의해 상기 웨이퍼 정렬홈에서 이탈된다.
도 19 내지 도 21은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 챔버삽입 대기받침부(84)에 절단된 제3접착필름체(3)를 안착시킨 후 챔버(40) 내로 삽입하는 예를 도시한 도면으로 도 17은 상기 이동포크부재(85a)가 상기 챔버(40) 내로 삽입되어 상기 캐리어 웨이퍼(4)를 상기 캐리어 승하강지지부(41)에 올려놓고 상기 챔버(40)의 외측으로 이동하여 상기 대기 받침 플레이트부재 상에서 대기하고 있는 상태를 도시한 것이다.
상기 이동포크부재(85a)가 상기 대기 받침 플레이트부재 상에서 대기한 상태에서 상기 제2상부 클램핑플레이트부재(83a)는 하부면에 상기 제3접착필름체(3)를 흡착된 상태이동하여 상기 제3접착필름체(3)를 상기 이동포크부재(85a) 상에 안착시킨다.
상기 제2상부 클램핑플레이트부재(83a)는 상기 제3접착필름체(3)를 상기 이동포크부재(85a) 상 즉, 상기 제1받침 포크(85b)와 상기 제2받침 포크(85c)에 안착시킨 후 다시 원위치로 복귀 즉, 상기 제2하부 클램핑플레이트부재(83b)의 상부로 이동한다.
상기 이동포크부재(85a)는 상기 제1받침 포크(85b)와 상기 제2받침 포크(85c)로 상기 제3접착필름체(3)를 흡착한 상태로 상기 챔버(40) 내로 삽입되어 상기 제3접착필름체(3)를 상기 상부 필름흡착부(52)의 하부면에 흡착시킨 후 상기 챔버(40)의 외측으로 이동하여 상기 캐리어 웨이퍼(4)를 이송할 수 있도록 위치된다.
도 22는 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치에서 챔버(40) 내 상기 제3접착필름체(3)가 흡착되는 상부 필름흡착부(52)에 필름이 흡착된 예를 도시한 도면으로 도 22를 참고하면 상기 상부 필름흡착부(52)에는 흡착된 상기 제3접착필름체(3)를 클램핑하는 복수의 흡착보조 클램핑부(53)가 구비되는 것이 바람직하다.
상기 흡착보조 클램핑부(53)는 상기 상부 필름흡착부(52)의 측면에 세워져 승하강되는 클램핑 작동링크부재(53a); 일측이 상기 클램핑 작동링크부재(53a)의 하단부에 회전가능하게 결합되며 상기 제3접착필름체(3)의 하부면을 클램핑하는 보조 클램핑부재(53b); 일단이 상기 보조 클램핑부재(53b)에 회전 가능하게 연결되고 타단이 상기 상부 필름흡착부(52)에 회전가능하게 연결되는 클램핑 작동 가이드링크부재(53c)를 포함한다.
상기 보조 클램핑부재(53b)는 상기 클램핑 작동링크부재(53a)의 승하강 작동에 의해 상기 클램핑 작동 가이드링크부재(53c)와 연결된 힌지를 중심으로 회전하여 상기 상부 필름흡착부(52)의 하부면에 흡착된 후 상기 제3접착필름체(3)를 클램핑한다.
상기 흡착보조 클램핑부(53)는 상기 제3접착필름체(3)가 상기 상부 필름흡착부(52)의 하부면에 흡착된 후 상기 제3접착필름체(3)의 외측 둘레를 클램핑하여 상기 제3접착필름체(3)의 위치를 더 견고하게 고정한다.
도 23은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치의 챔버(40) 내에서 캐리어 웨이퍼(4)와 접착필름체를 위치를 정렬하는 예를 도시한 도면으로 도 21을 참고하면 상기 웨이퍼 받침부(51) 상에 상기 캐리어 웨이퍼(4)가 안착되고, 상기 상부 필름흡착부(52)에 상기 제3접착필름체(3)가 흡착된 상태에서 상기 캐리어 웨이퍼(4)의 외측둘레와 상기 제3접착필름체(3)의 접착필름 외측둘레와 일치되는 것을 확인하는 얼라인 기기(100)가 구비된다.
상기 얼라인 기기(100)는, 회전되어 상기 상부 필름흡착부(52)와 상기 웨이퍼 받침부(51) 사이에 삽입되거나 상기 상부 필름흡착부(52)와 상기 웨이퍼 받침부(51) 사이에서 인출되는 정렬확인용 회전암(110);
상기 정렬확인용 회전암(110)의 단부 측에 구비되어 상부 측 상기 제3접착필름체(3)의 접착필름(1a) 외측둘레와 하부 측 상기 캐리어 웨이퍼(4) 외측둘레가 수직 방향에서 일치되는 것을 확인하는 정렬확인부(120)를 포함한다.
상기 정렬확인부(120)는 상기 정렬확인용 회전암(110)의 회전에 의해 상기 제3접착필름체(3)와 상기 캐리어 웨이퍼(4) 사이에 삽입되어 상부 측 수직방향에서 상기 제3접착필름체(3)의 접착필름(1a) 외측둘레 위치를 확인하고 하부 측 수직 방향에서 상기 캐리어 웨이퍼(4) 외측둘레 위치를 확인하여 일치되는 것을 확인하는 비전 얼리인 기기인 것을 일 예로 한다.
상기 정렬확인부(120)에 의해 상부 측 상기 제3접착필름체(3)의 접착필름(1a) 외측둘레와 하부 측 상기 캐리어 웨이퍼(4) 외측둘레가 수직 방향에서 일치되지 않는 경우 상기 웨이퍼 위치정렬부(42)를 이용하여 상기 캐리어 웨이퍼(4)의 위치를 조정한다.
즉, 상기 제1정렬 회전암(42b)과 상기 제2정렬 회전암(42d)의 정회전에 의해 상기 제1위치 정렬롤(42a)과 상기 제2위치 정렬롤(42c)을 각각 상기 웨이퍼 정렬홈 내로 삽입시켜 상기 캐리어 웨이퍼(4)의 외측 둘레에 접촉시키면서 상기 캐리어 웨이퍼(4)를 평면 상에서 이동시켜 상기 제3접착필름체(3)의 접착필름(1a) 외측둘레와 하부 측 상기 캐리어 웨이퍼(4) 외측둘레가 수직 방향에서 일치되도록 한다.
상기 제3접착필름체(3)의 접착필름(1a) 외측둘레와 하부 측 상기 캐리어 웨이퍼(4) 외측둘레가 수직 방향에서 일치되는 것이 확인되면 상기 상부 필름흡착부(52)를 하강시키거나 상기 웨이퍼 받침부(51)를 승강시켜 상기 제3접착필름체(3)의 접착필름(1a)을 상기 캐리어 웨이퍼(4) 상면에 접착시킨다.
상기 제3접착필름체(3)의 접착필름(1a)은 상기 상부 필름흡착부(52)와 상기 웨이퍼 받침부(51) 사이에서 가압되어 상기 캐리어 웨이퍼(4) 상면에 견고하게 접착된다.
도 24는 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치의 챔버(40) 내에서 제3접착필름체(3)가 접착된 캐리어 웨이퍼(4)를 인출하는 예를 도시한 도면으로 도 22를 참고하면 상기 제3접착필름체(3)가 접착된 상기 캐리어 웨이퍼(4)는 상기 이동포크부재(85a)로 파지되어 상기 챔버(40)의 외부로 이송되고 최종 보호필름을 제거할 수 있는 위치로 이송되는 것을 일 예로 한다..
이 때 상기 캐리어 승하강지지부(41)는 상기 캐리어 웨이퍼(4)를 승강시켜 상기 캐리어 웨이퍼(4)와 상기 웨이퍼 받침부(51) 사이에 간격을 형성하고, 상기 캐리어 웨이퍼(4)와 상기 웨이퍼 받침부(51) 사이에 상기 이동포크부재(85a)를 삽입시켜 상기 이동포크부재(85a)로 상기 웨이퍼를 파지할 수 있게 한다.
도 25 내지 도 27은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 장치로 제3접착필름체(3)가 접착된 캐리어 웨이퍼(4)에서 최종 보호필름을 제거하는 예를 도시한 도면으로 도 23 내지 도 25를 참고하면 상기 웨이퍼는 상기 이동포크부재(85a)에 의해 상기 챔버삽입 대기받침부(84) 상에 올려지며 상기 챔버삽입 대기받침부(84)는 상기 제2보호필름 제거기기(200)가 작동되는 위치까지 이동된다.
상기 챔버삽입 대기받침부(84)의 일 측에는 상, 하 이동하여 상기 제3접착필름체(3)에서 상기 제2보호필름(1c)의 일단부 측을 일부 접게 하는 필름 접힘부(84c)가 구비된다.
또한, 상기 제2보호필름 제거기기(200)는 상기 필름 접힘부(84c)에서 접혀 상부로 돌출된 상기 제2보호필름의 일단부측을 클램핑하며 전, 후 이동하는 필름 제거용 클램핑부(210)를 포함하며 상기 필름 제거용 클램핑부(210)는 사이 간격이 좁혀졌다 넓혀지는 작동을 통해 상기 제2보호필름을 파지하는 것이다.
상기 필름 제거용 클램핑부(210)는 상기 필름 접힘부(84c)에 의해 접혀진 상기 제2보호필름(1c)의 일단부 측을 잡아 상기 제2보호필름(1c)의 타단부 측으로 이동하면서 상기
상기 제2보호필름(1c)이 제거될 때 상기 캐리어 웨이퍼(4)는 상기 챔버삽입 대기받침부(84) 상에서 상기 파지용 승하강부(84b)에 의해 흡착되어 고정될 수 있고, 상기 이동포크부재(85a) 상에서 상기 제1웨이퍼 파지부재(85d)와 상기 제2웨이퍼 파지부재(85e)에 의해 파지되어 고정될 수 있다.
상기 캐리어 웨이퍼(4)에서 제거된 상기 제2보호필름(1c)은 상기 필름 제거용 클램핑부(210)에 의해 수거함으로 수거된다.
도 28은 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 방법의 일 실시예를 도시한 공정도로써 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 방법은, 접착필름(1a)의 양면에 제1보호필름(1b)과 제2보호필름(1c)이 부착된 제1접착필름체(1)를 제1보호필름(1b)과 상기 접착필름(1a)을 캐리어 웨이퍼(4)의 형상과 대응되게 절단하는 하프커팅단계(S100), 상기 하프커팅단계에서 절단된 상기 접착필름(1a) 중 캐리어 웨이퍼(4)와 대응되는 부분을 제외한 부분 및 상기 제1보호필름(1b) 중 캐리어 웨이퍼(4)와 대응되는 부분을 제외한 부분을 제거하는 제1필름 제거단계(S200) 및 상기 제1필름 제거단계를 거친 제2접착필름체(2)에서 상기 제1보호필름(1b) 중 나머지 부분을 제거하는 제1보호필름 제거단계(S300), 상기 제1보호필름(1b)이 제거된 제3접착필름체(3)와 캐리어 웨이퍼(4)를 챔버(40) 내로 삽입하고 상기 챔버(40) 내에서 상기 제3접착필름체(3)의 접착필름(1a)과 상기 캐리어 웨이퍼(4)를 동일 수직선상에 위치시키는 캐리어 정렬단계(S500) 및 상기 캐리어 정렬단계 후 상기 제3접착필름체(3)의 접착필름(1a)을 상기 캐리어 웨이퍼(4) 상에 접착시키는 필름 접착단계(S600)를 포함한다.
상기 하프커팅단계(S100)는 상기 제1접착필름체(1)를 이송하면서 상기 제1접착필름체(1) 중 상기 제2보호필름(1c)을 제외한 상기 제1보호필름(1b)과 상기 접착필름(1a)만 캐리어 웨이퍼(4)의 형상과 대응되게 완전히 절단하고 상기 제2보호필름(1c)을 캐리어 웨이퍼(4)의 형상과 대응되게 하프 커팅하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 접착 방법은, 상기 제1필름 제거단계(S200)와 상기 제1보호필름 제거단계(S400)의 사이에서 상기 제2접착필름체(2)를 상기 챔버(40) 내로 삽입할 수 있는 크기로 절단하는 필름 절단단계(S300)를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 접착 방법은, 상기 제3접착필름체(3)가 접착된 상기 캐리어 웨이퍼(4)를 챔버(40) 내에서 배출하는 웨이퍼 배출단계(S700); 및
배출된 상기 캐리어 웨이퍼(4)에서 상기 제2보호필름(1c)을 제거하는 제2보호필름 제거단계(S800)를 더 포함할 수 있다.
도 29는 본 발명에 따른 웨이퍼 접착 방법에서 접착필름체의 상태 변화를 도시한 개략도로써 상기 필름 권취릴부재(60)에 감긴 상기 제1접착필름체(1)가 이송되면서 상기 하프커팅단계에서 하프커팅된 후 상기 제2접착필름체(2)와 상기 제3접착필름체(3)가 되는 과정을 도시하고 있다.
상기 제1접착필름체(1)는 상기 하프커팅단계를 거쳐 상기 제1필름 제거단계를 통해 상기 제2접착필름체(2)가 되고, 상기 제1보호필름제거단계와 상기 필름 절단단계를 통해 상기 제3접착필름체(3)가 된다.
상기 제2접착필름체(2)는 상기 제1접착필름체(1)에서 상기 제2보호필름(1c)은 온전히 유지되고, 상기 접착필름(1a)과 상기 제1보호필름(1b)은 웨이퍼에 대응되는 부분만 남고 나머지 부분은 제거된 상태이다.
또한, 상기 제3접착필름체(3)는 상기 필름 절단단계에서 절단된 형태를 가지고 상기 제1보호필름(1b)이 제거된 상태 즉, 상기 제2보호필름(1c)은 온전히 유지되고 상기 제2보호필름(1c)의 하면에 상기 캐리어 웨이퍼(4)에 대응되는 형상을 가지는 접착필름(1a)만 남게 되는 것이다.
본 발명은 접착필름(1a)의 양면에 보호필름이 부착된 접착필름체를 캐리어 웨이퍼(4)에 진공 접착하는 공정이 하나의 라인으로 연속적으로 이루어지도록 하여 생산성을 향상시킨다.
본 발명은 접착필름(1a)의 양면에 보호필름이 부착된 접착필름체를 캐리어 웨이퍼(4)의 크기로 정확하게 커팅하여 캐리어 웨이퍼(4)와 정확하게 일치되게 용이하게 접착시키며 보호 필름을 용이하게 분리할 수 있어 접착 공정의 편의성을 향상시키고 접착 공정의 불량률을 크게 낮춘다.
상기 본 발명에서 상, 하 작동, 전, 후 작동, 회전 작동 등을 포함하는 직선 왕복 및 회전 왕복 작동에 대한 구성은 공지의 어떠한 예로도 다양하게 변형하여 실시할 수 있으므로 생략하여 설명한 것임을 참고해야 할 것이다.
이와 같은 본 발명의 기본적인 기술적 사상의 범주 내에서, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서는 다른 많은 변형이 가능함은 물론이고, 본 발명의 권리범위는 첨부한 특허청구 범위에 기초하여 해석되어야 할 것이다.
1 : 제1접착필름체 1a : 접착필름
1b : 제1보호필름 1c : 제2보호필름
2 : 제2접착필름체 3 : 제3접착필름체
4 : 캐리어 웨이퍼 10 : 하프커팅 기기
20 : 제1필름 제거기기 21 : 와인더
22 : 필름 제거 가이드롤 23 : 제2필름 텐션조절기
30 : 제1보호필름 제거기기 31 : 테이프 권취롤부
32 : 테이프 접착부 33 : 테이프 회수롤부
34 : 테이프 이동가이드롤부 40 : 챔버
41 : 캐리어 승하강지지부 42 : 웨이퍼 위치정렬부
42a : 제1위치 정렬롤 42b : 제1정렬 회전암
42c : 제2위치 정렬롤 42d : 제2정렬 회전암
50 : 캐리어 접착기기 51 : 웨이퍼 받침부
51a : 웨이퍼 안착 상부플레이트부재 51b : 웨이퍼 정렬용홈
52 : 상부 필름흡착부 53 : 흡착보조 클램핑부
53a : 클램핑 작동링크부재 53b : 보조 클램핑부재
53c : 클램핑 작동 가이드링크부재 60 : 필름 권취릴부재
61 : 필름 이송 가이드 롤부 70 : 제1필름 텐션조절기
80 : 필름 절단위치 이동기기 81 : 제1필름클램핑 이동부
82 : 제2필름클램핑 이동부 82a : 제1상부 클램핑플레이트부재
82b : 제1하부 클램핑플레이트부재 83 : 제3필름클램핑 이동부
83a : 제2상부 클램핑플레이트부재 83b : 제2하부 클램핑플레이트부재
84 : 챔버삽입 대기받침부 84a : 대기 받침플레이트부재
84b : 파지용 승하강부 84c : 필름 접힘부
85 : 챔버 출입이동부 85a : 이동포크부재
85b : 제1받침 포크 85c : 제2받침 포크
85d : 제1웨이퍼 파지부재 85e : 제2웨이퍼 파지부재
86 : 웨이퍼 이동기기 90 : 라인커팅 기기
100 : 얼라인 기기 110 : 정렬확인용 회전암
120 : 정렬확인부 200 : 제2보호필름 제거기기
210 : 필름 제거용 클램핑부 300 : 본체 하우징

Claims (21)

  1. 접착필름의 양면에 제1보호필름과 제2보호필름이 부착된 제1접착필름체를 캐리어 웨이퍼의 형상과 대응되게 하프커팅하는 하프커팅 기기;
    상기 하프커팅 기기로 하프커팅된 제1접착필름체 중에서 상기 접착필름 중 캐리어 웨이퍼와 대응되는 부분을 제외한 부분 및 상기 제1보호필름 중 캐리어 웨이퍼에 대응되는 부분을 제거하여 제2접착필름체를 형성하는 제1필름 제거기;
    상기 제1필름 제거기를 거친 상기 제2접착필름체에서 상기 제1보호필름을 제거하여 제3접착필름체를 형성하는 제1보호필름 제거기;
    상기 제1보호필름 제거기기를 거친 제3접착필름체가 내부에 삽입되고, 상기 제3접착필름체가 접착되는 캐리어 웨이퍼가 내부에 삽입되는 챔버; 및
    상기 챔버 내에 구비되어 상기 제3접착필름체의 접착필름을 상기 캐리어 웨이퍼로 접착시키는 캐리어 접착기기를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 캐리어 접착기기는,
    상기 챔버 내에 상기 캐리어 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 받침부; 및
    상기 웨이퍼 받침부 상에서 상기 제3접착필름체가 하부면에 흡착되는 상부 필름흡착부를 포함하며,
    상기 웨이퍼 받침부와 상기 상부 필름흡착부 중 적어도 어느 하나는 승하강 작동되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1접착필름체가 복수회 감겨진 필름 권취릴부재;
    상기 필름 권취릴부재와 상기 하프커팅 기기 사이에 배치되어 상기 제1접착필름체를 상기 하프커팅 기기로 안내하는 필름 이송 가이드 롤부;
    상기 제2접착필름체를 절단 위치까지 이송시키는 필름 절단위치 이동기기; 및 상기 제2접착필름체를 절단하여 제3접착필름체를 형성하는 라인커팅 기기; 및
    상기 라인커팅 기기에 의해 절단된 상기 제3접착 필름체 또는 캐리어 웨이퍼를 상기 챔버 내로 출입시키는 챔버 출입용 이동기기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 챔버 출입용 이동기기로부터 상기 챔버의 외부로 배출되며 상기 제3접착필름체가 접착된 상기 캐리어 웨이퍼에서 상기 제2보호필름을 제거하는 제2보호필름 제거기기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 필름 절단위치 이동기기는 상기 제2접착필름체를 잡아 이동시키며 상기 제2접착필름체의 이송방향에 대응되게 직선왕복이동하는 제1필름클램핑 이동부와 제2클램핑 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 챔버 출입용 이동기기는,
    상기 제2접착필름체의 이송방향에 대응되게 제1필름클램핑 이동부와 제2클램핑 이동부에 일직선상으로 배치가능하고 횡방향으로 이동 가능한 제3클램핑 이동부;
    상기 제3클램핑 이동부로 이동되는 상기 제3접착필름체 또는 캐리어 웨이퍼가 상부에 올려지는 챔버삽입 대기받침부;
    상기 챔버삽입 대기받침부에 올려진 상기 제3접착필름체 또는 캐리어 웨이퍼를 상기 챔버 내로 출입시키는 챔버 출입이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 장치.
  7. 청구항 4에 있어서,
    상기 하프커팅 기기, 상기 필름 권취릴부재, 상기 필름 이송 가이드 롤부, 상기 제1필름 텐션조절기, 상기 챔버, 상기 제1필름 제거기기, 상기 제1보호필름 제거기기, 상기 필름 절단위치 이동기기, 상기 라인커팅 기기, 상기 챔버 출입용 이동기기, 상기 제2보호필름 제거기기가 하나의 본체 하우징 내에 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 하프커팅 기기는,
    외주면에 상기 캐리어 웨이퍼의 형상에 대응되는 커터날이 구비된 커팅롤부; 및
    상기 커팅롤부에 이격되게 배치되는 받침롤부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 하프커팅 기기는,
    상, 하 이동하며, 상면 또는 하면에 하프 커터날이 구비된 커팅 가압부; 및
    상기 제1접착필름체에서 상기 커팅 가압부로 커팅되는 반대측 면을 지지하는 커팅 받침부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 장치.
  10. 청구항 6에 있어서,
    상기 제2클램핑 이동부는,
    상기 제2접착필름체의 일부를 덮어 가압하는 제1상부 클램핑플레이트부재; 및 상기 제1상부 클램핑플레이트부재의 하부면에 배치되는 제2하부 클램핑플레이트부재를 포함하며,
    상기 제3클램핑 이동부는,
    챔버 출입용 이동기기는 횡방향 및 상, 하 이동 가능한 상기 라인커팅 기기로 절단되는 상기 제2접착필름체의 부분을 덮어 가압하는 제2상부 클램핑플레이트부재; 및
    횡방향으로 이동 가능하며 상기 제2상부 클램핑플레이트부재의 하부에 배치되는 제2하부 클램핑플레이트부재를 포함하고,
    상기 제2상부 클램핑플레이트부재의 하부면에는 상기 제3접착필름체를 흡착할 수 있는 필름흡착부가 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 장치.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1보호필름 제거기기는,
    필름제거용 테이프가 권취된 테이프 권취롤부;
    상기 테이프 권취롤부와 이격되게 배치되고 상기 필름 제거용 테이프가 걸쳐지며 전, 후, 상, 하 이동되어 상기 필름 제거용 테이프를 상기 제3접착필름체의 하부에서 노출된 상기 제1보호필름의 하부면에 접착시키는 테이프 접착부;
    상기 테이프 권취롤부에서 풀린 상기 필름 제거용 테이프를 회수하여 권취하는 테이프 회수롤부;
    상기 필름 제거용 테이프를 상기 테이프 접착부로 안내하고 상기 테이프 접착부를 통과하여 상기 제1보호필름이 부착된 상기 필름 제거용 테이프를 상기 테이프 회수롤부로 안내하는 복수의 테이프 이동가이드롤부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 장치.
  12. 청구항 6에 있어서,
    상기 챔버삽입 대기받침부는,
    대기 받침플레이트부재;
    상기 대기 받침플레이트부재 상에서 상, 하 이동하여 상기 대기 받침플레이트부재 상에 올려지는 캐리어 웨이퍼 또는 상기 제3접착필름체를 승하강하며 상면에 다수의 흡착용 구멍이 형성된 파지용 승하강부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 장치.
  13. 청구항 6에 있어서,
    상기 챔버 출입이동부는,
    상, 하, 전, 후 이동되며 이격되며 상기 제3접착필름체를 흡착시키는 제1받침 포크와 제2받침 포크가 구비되고 이동포크부재; 및
    상기 제1받침 포크와 상기 제2받침 포크에 구비되며 각각 횡방향으로 왕복이동하여 상기 제1받침 포크와 상기 제2받침 포크 상에 안착되는 상기 캐리어 웨이퍼를 파지하는 제1웨이퍼 파지부재와 제2웨이퍼 파지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 장치.
  14. 청구항 2에 있어서,
    상기 챔버 내에는 승하강 이동되며 상부에 상기 캐리어 웨이퍼가 안착되는 캐리어 승하강지지부와 상기 웨이퍼 받침부 상에 올려진 상기 캐리어 웨이퍼의 위치를 조정하는 웨이퍼 위치정렬부가 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 장치.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 웨이퍼 받침부는 상기 캐리어 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 안착 상부플레이트부재를 포함하고, 상기 안착 상부플레이트부재의 외주면에는 웨이퍼 정렬용홈이 방사상으로 이격되게 배치되며,
    상기 웨이퍼 위치정렬부는,
    복수의 상기 웨이퍼 정렬용홈 중 어느 한측에 삽입되며 상기 캐리어 웨이퍼의 외측 둘레에 접촉되는 제1위치 정렬롤;
    상기 제1위치 정렬롤이 설치되며 회전되어 상기 제1위치 정렬롤을 상기 웨이퍼 정렬홈 내로 삽입시키거나 상기 웨이퍼 정렬홈 내에서 이탈시키는 제1정렬 회전암;
    복수의 상기 웨이퍼 정렬용홈 중 다른 한측에 삽입되며 상기 캐리어 웨이퍼의 외측 둘레에 접촉되는 제2위치 정렬롤; 및
    상기 제2위치 정렬롤이 설치되며 회전되어 상기 제2위치 정렬롤을 상기 웨이퍼 정렬홈 내로 삽입시키거나 상기 웨이퍼 정렬홈 내에서 이탈시키는 제2정렬 회전암을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 장치.
  16. 청구항 2에 있어서,
    상기 상부 필름흡착부에는 흡착된 상기 제3접착필름체를 클램핑하는 복수의 흡착보조 클램핑부가 구비되며,
    상기 흡착보조 클램핑부는,
    상기 상부 필름흡착부의 측면에 세워져 승하강되는 클램핑 작동링크부재;
    일측이 상기 클램핑 작동링크부재의 하단부에 회전가능하게 결합되며 상기 제3접착필름체의 하부면을 클램핑하는 보조 클램핑부재; 및
    일단이 상기 보조 클램핑부재에 회전 가능하게 연결되고 타단이 상기 상부 필름흡착부에 회전가능하게 연결되는 클램핑 작동 가이드링크부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 장치.
  17. 청구항 6에 있어서,
    상기 챔버삽입 대기받침부의 일 측에는 상, 하 이동하여 상기 제3접착필름체에서 상기 제2보호필름의 일단부 측을 일부 접게 하는 필름 접힘부가 구비되며,
    상기 제2보호필름 제거기기는 상기 필름 접힘부에서 접혀 상부로 돌출된 상기 제2보호필름의 일단부측을 클램핑하며 전, 후 이동하는 필름 제거용 클램핑부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 장치.
  18. 접착필름의 양면에 제1보호필름과 제2보호필름이 부착된 접착필름체를 제1보호필름과 상기 접착필름을 캐리어 웨이퍼의 형상과 대응되게 절단하는 하프커팅단계;
    상기 하프커팅단계에서 절단된 상기 접착필름 중 캐리어 웨이퍼와 대응되는 부분을 제외한 부분 및 상기 제1보호필름 중 캐리어 웨이퍼와 대응되는 부분을 제외한 부분을 제거하는 제1필름 제거단계;
    상기 제1필름 제거단계를 거친 제2접착필름체에서 상기 제1보호필름 중 나머지 부분을 제거하는 제1보호필름 제거단계;
    상기 제1보호필름이 제거된 제3접착필름체와 캐리어 웨이퍼를 챔버 내로 삽입하고 상기 챔버 내에서 상기 제3접착필름체의 접착필름과 상기 캐리어 웨이퍼를 동일 수직선상에 위치시키는 캐리어 정렬단계; 및
    상기 캐리어 정렬단계 후 상기 제3접착필름체의 접착필름을 상기 캐리어 웨이퍼 상에 접착시키는 필름 접착단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 방법.
  19. 청구항 18에 있어서,
    상기 하프커팅단계는 상기 제1접착필름체를 이송하면서 상기 제1접착필름체 상기 제2보호필름을 제외한 상기 제1보호필름과 상기 접착필름만 캐리어 웨이퍼의 형상과 대응되게 완전히 절단하고 상기 제2보호필름을 캐리어 웨이퍼의 형상과 대응되게 하프 커팅하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 방법.
  20. 청구항 19에 있어서,
    상기 제1필름 제거단계와 상기 제1보호필름 제거단계의 사이에서 상기 제2접착필름체를 상기 챔버 내로 삽입할 수 있는 크기로 절단하는 필름 절단단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 방법.
  21. 청구항 20에 있어서,
    상기 제3접착필름체가 접착된 상기 캐리어 웨이퍼를 챔버 내에서 배출하는 웨이퍼 배출단계; 및
    배출된 상기 캐리어 웨이퍼에서 상기 제2보호필름을 제거하는 제2보호필름 제거단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접착 방법.
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